JP2013184116A - 液体定量吐出装置、その塗布装置および液体定量吐出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 分解、洗浄、組み立ての作業を行う手間を軽減でき、また液体の使用量を大幅に低減でき、さらに圧力損失を小さくし、応答性のよい液体定量吐出装置、その吐出方法及びその塗布装置の提供。
【解決手段】 第１及び第２の計量孔を有する接液部材と、第１の計量孔内を密接摺動する第１のピストン及び第２の計量孔内を密接摺動する第２のピストンと、貯留部と連通する供給流路と、ノズルと連通する排出流路と、接液部材内の空間に配設され、第１の位置及び第２の位置を有する切換バルブと、切換バルブを動作させるバルブ駆動機構と、第１及び第２のピストンと連結されるアームを動作させるピストン駆動機構と、を備え、第１及び第２の計量孔を切換バルブを挟んで対向配置し、供給流路及び排出流路を切換バルブに隣接配置した液体定量吐出装置、その塗布装置および液体定量吐出方法。
【選択図】図１

Description

ピストンの駆動により計量孔内に液体を吸引し、ピストンの駆動により計量孔内に吸引した液体を吐出する液体定量吐出装置、その塗布装置および液体定量吐出方法に関する。

定量の液体を吐出する装置として、ピストンの駆動により計量孔（シリンダ）内に液体を吸引し、ピストンの駆動により計量孔内に吸引した液体を吐出する装置が知られている。その中で、ピストンや計量孔を複数備える装置がこれまで種々提案されている。複数のピストンや計量孔を備えるものでは、液体の吸引と吐出を代わる代わる行って吸引と吐出にかかる時間の無駄を減らす工夫がなされている。これら複数のピストンや計量孔を備える装置のうち、複数の計量孔や液体供給口、液体排出口が接続する流路を一つの多方弁で切り換える装置がある。これらの装置をピストンの形式により大まかに分けると、特許文献１のようにピストンの片側で液体の吸引・吐出を行うもの、特許文献２のようにピストンの両側で液体の吸引・吐出を行うものがある。

特許文献１に開示されている方法は次のようなものである。高粘度塗料を圧送する塗料圧送管路に塗料シリンダを介装すると共に、この塗料シリンダとピストンロッドヘッド同士を連結した油圧シリンダを配設する。そして、塗料圧送ポンプから圧送される高粘度塗料を塗料シリンダ内に送給して一旦貯留し、次いで油圧シリンダに作動油を注入してそのピストンロッドを伸長させることにより塗料シリンダのピストンロッドを収縮させて、塗料シリンダ内に貯留された高粘度塗料を塗料圧送管路を通じてエアレス塗装機に供給する。

また、特許文献２に開示されている装置は次のようなものである。直径の等しい一対のプランジャポンプを同軸に、且つその円筒孔の開放端が対向するよう配列し、両円筒間を調整可能とした状態でプランジャを一体に結合させる。そして、一方のポンプ出口管に加圧液を供給し、他方のポンプ出口管を外気に開放することを交互に繰返し、一体に結合したプランジャをプランジャに作用する両円筒孔内の液圧差によって両円筒孔内を往復摺動させ、外気に開放される出口管より交互に一定量の液を排出させるように構成されている。両円筒間の間隔に応じてプランジャの摺動幅を調整し両ポンプの出口管から交互に排出される液量を所望の値に設定することができる。

ところで出願人は、特許文献３において、ノズルと連通する流路を有する計量部と、計量部の流路内を往復動するプランジャと、を備えた吐出装置において、その計量部のノズルと反対側の端部に取り付け可能な気泡混入防止機構であって、計量部の流路と連通し、その内部をプランジャが往復動する第一の孔と、第一の孔のノズル側の端部に設けられた第一のシール部材と、第一の孔のノズルと反対側の端部に設けられた第二のシール部材と、第一の孔の側面に連通する第二の孔とを含んで構成される気泡混入防止機構を提案した。

特開昭６０−９４１７２号公報 実公昭４８−３４００７号公報 特開２０１１−６７７５６号公報

従来の液体定量装置では、計量孔（シリンダ）や切り換え弁に接続する配管（流路）の数が多いため、メンテナンスや液体の種類を替える際に行う、分解、洗浄、組み立ての作業に手間がかかるという問題があった。
また、計量孔と切り換え弁が離れて設置される構成において、それらをつなぐ配管にも圧力伝達媒体として作用する液体（非吐出液体）を満たさなければならないが、非吐出液体はメンテナンスや液体の種類を替える際に捨てられることとなり、無駄が生じるという問題があった。

また、配管が長いと入口から出口までの間での圧力損失の増大があり、またピストンの作用に対する応答性が鈍化するという問題もある。

二つのピストンを備える液体定量吐出装置においては、複数ピストン間での吐出量を均一にするのが難しいという問題があった。また、複数のピストンごとに駆動機構を設けると、液体定量吐出装置の容積および重量が増え、卓上型の塗布装置に搭載することが困難になるという問題もある。

そこで本発明は、上記課題を解決することのできる液体定量吐出装置、その塗布装置および液体定量吐出方法を提供することを目的とする。

第１の発明は、ピストンを往復動作させることにより計量孔内に液体を吸引し、計量孔内の液体を排出する液体定量吐出装置であって、第１および第２の計量孔を有する接液部材と、第１の計量孔内を密接摺動する第１のピストンおよび第２の計量孔内を密接摺動する第２のピストンと、貯留部と連通する供給流路と、ノズルと連通する排出流路と、接液部材内の空間に配設され、第１の計量孔と供給流路を連通し第２の計量孔と排出流路を連通する第１の位置および第１の計量孔と排出流路を連通し第２の計量孔と供給流路を連通する第２の位置を有する切換バルブと、切換バルブを動作させるバルブ駆動機構と、第１および第２のピストンと連結されるアームを動作させるピストン駆動機構と、を備え、第１および第２の計量孔を切換バルブを挟んで対向配置し、供給流路および排出流路を切換バルブに隣接配置したことを特徴とする液体定量吐出装置である。
第２の発明は、第１の発明において、前記アームが、前記第１および第２のピストン間の距離を一定に保持することを特徴とする。
第３の発明は、第１または２の発明において、前記切換バルブが内部空間に配設された接液部材を、液体定量吐出装置から着脱可能であることを特徴とする。
第４の発明は、第１、２または３の発明において、前記接液部材が、１個の部材で構成されることを特徴とする。

第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明において、前記切換バルブが、内部に二つの流路を有する弁体を含んで構成されることを特徴とする。
第６の発明は、第１ないし５のいずれかの発明において、前記バルブ駆動機構と前記ピストン駆動機構とが、前記接液部の背面側で鉛直方向に隣接して配設されることを特徴とする。
第７の発明は、第１ないし６のいずれかの発明において、前記バルブ駆動機構が、前記ピストン駆動機構の上方に配設され、かつ、動力を前記切換バルブに伝達する動力伝達部材を備えることを特徴とする。

第８の発明は、第１ないし７のいずれかの発明において、前記ピストン駆動機構が、前記バルブ駆動機構の上方に配設され、前記バルブ駆動機構と前記切換バルブとが直結されることを特徴とする。
第９の発明は、第１ないし７のいずれかの発明において、前記バルブ駆動機構が、端部に凹部または凸部を有する接続部を備え、当該接続部の凹部または凸部と嵌合する凸部または凹部が前記切換バルブの端部に設けられていることを特徴とする。

第１０の発明は、第１ないし９のいずれかの発明において、前記供給流路を有し、前記接液部材に着脱可能な供給用接続部材と、前記排出流路を有し、前記接液部材に着脱可能な排出用接続部材と、を備えることを特徴とする。
第１１の発明は、第１ないし１０のいずれかの発明において、前記接液部材が、第１の計量孔と連通し、その内部をピストンが往復動する第１の孔と、該第１の孔の側面に連通する第２の孔とを含んで構成される第１の気泡混入防止機構と、第２の計量孔と連通し、その内部をピストンが往復動する第１の孔と、該第１の孔の側面に連通する第２の孔とを含んで構成される第２の気泡混入防止機構と、を備えることを特徴とする。

第１２の発明は、第１ないし１１いずれかの発明に係る液体定量吐出装置と、貯留容器に貯留された液体に圧力を印加するための圧縮気体を供給する圧縮気体源と、前記液体定量吐出装置の各駆動機構および圧縮気体源気体圧を制御する吐出制御部と、塗布対象物を載置するワークテーブルと、前記液体定量吐出装置とワークテーブルとを相対的に移動させるＸＹＺ駆動機構と、ＸＹＺ駆動機構の動作を制御する駆動制御部と、を備える塗布装置である。
第１３の発明は、第１２の発明において、卓上型であることを特徴とする。

第１４の発明は、第１および第２の計量孔を有する接液部材と、第１の計量孔内を密接摺動する第１のピストンおよび第２の計量孔内を密接摺動する第２のピストンと、貯留部と連通する供給流路と、ノズルと連通する排出流路と、接液部材内の空間に配設され、第１の計量孔と供給流路を連通し第２の計量孔と排出流路を連通する第１の位置および第１の計量孔と排出流路を連通し第２の計量孔と供給流路を連通する第２の位置を有する切換バルブと、切換バルブを動作させるバルブ駆動機構と、第１および第２のピストンと連結されるアームを動作させるピストン駆動機構と、を備え、第１および第２の計量孔を切換バルブを挟んで対向配置し、供給流路および排出流路を切換バルブに隣接配置した液体定量吐出装置を用い、ピストンを往復動作させることにより計量孔内に液体を吸引し、計量孔内の液体を排出する液体定量吐出方法であって、切換バルブを第１の位置とし、アームを一の方向に移動することにより、第１の計量孔に液体を吸引し、かつ第２の計量孔から液体を排出する第１の工程と、切換バルブを第２の位置とし、アームを第１の工程と反対方向に移動することにより、第１の計量孔から液体を排出し、かつ第２の計量孔に液体を吸引する第２の工程と、第１および第２の工程を繰り返すことにより液体を連続定量吐出する第３の工程と、を有することを特徴とする液体定量吐出方法である。

本発明によれば、次の効果が奏される。
（１）分解、洗浄、組み立ての作業を行う手間を軽減できる。
（２）液体の使用量、特に圧力伝達媒体などの非吐出液体の使用量を大幅に低減できる。
（３）圧力損失を小さくし、応答性をよくできる。
（４）液体定量吐出装置から接液部を着脱することが容易である。
（５）ピストンの細かな位置決めが可能となり、二つのピストン・計量孔間での吐出量の差をほぼ無くすことができる。
（６）卓上型の塗布装置に搭載することが可能な、二つのピストンを備える小型の液体定量吐出装置を提供することが可能である。

本発明の第１の実施形態に係る液体定量吐出装置の模式図である。 本発明の第１の実施形態に係る接液部の要部断面正面図である。 本発明に係る液体定量吐出装置における駆動部の各駆動機構の配置（１）を説明する側面図である。 本発明に係る液体定量吐出装置における駆動部の各駆動機構の配置（２）を説明する側面図である。 液体定量吐出装置における接液部着脱箇所の要部拡大図である。 液体定量吐出装置における吐出動作（１）を説明する説明図である。 液体定量吐出装置における吐出動作（２）を説明する説明図である。 液体定量吐出装置における吐出動作（３）を説明する説明図である。 液体定量吐出装置における吐出動作（４）を説明する説明図である。 液体定量吐出装置における吐出動作（５）を説明する説明図である。 液体定量吐出装置における吐出動作（６）を説明する説明図である。 液体定量吐出装置における吐出動作（７）を説明する説明図である。 本発明の第２の実施形態に係る接液部の要部断面正面図である。 本発明の第３の実施形態に係る気泡混入防止機構の説明図である。ここで、（ａ）は平面断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡＡ断面図である。 実施例１に係る液体定量吐出装置の概略斜視図である。 実施例２に係る液体定量吐出装置の概略斜視図である。 実施例３に係る塗布装置の概略斜視図である。

以下に、本発明を実施するための形態例を説明する。
［第１の実施形態］
図１は、第１の実施形態に係る液体定量吐出装置の模式図である。本実施形態に係る液体定量吐出装置１は、接液部７と、バルブ駆動機構８およびピストン駆動機構９からなる駆動部１０とから主に構成されている。
また図２は、第１の実施形態に係る接液部の要部断面正面図である。

［接液部７］
接液部材２は、肉厚の円筒状部材であり、内部に二つの円柱状の空間である計量孔１１が形成されると共に、弁体１４を配設するための空間が設けられている。また、接液部材２には貯留容器１７を接続するための接続部材２６（供給流路５）、ノズル１８を接続するための接続部材２７（排出流路６）が弁体１４を挟んで上下対向位置に設けられている。この接続部材（２６、２７）を交換することで、貯留容器１７やノズル１８の種類が変わり、接続箇所の形状が変わる場合にも容易に対応することが可能である。ここで、接続部材（２６、２７）は弁体１４に隣接配置すればよく、必ずしも弁体１４を挟んで上下対向位置に配置する必要はない。

本実施形態では、一つのピストン駆動機構９で複数（ここでは二つ）のピストン３を交互に動作させるために、二つのピストン３の中心軸線が同一直線上となるような機器配置としている。ピストン３が挿入される計量孔１１の開口端には、液体が漏れるのを防ぐためのシール部材２４が設置され、そのシール部材２４が外れないようにするための押さえ部材２５が接液部材２の両端部に設置されている。押さえ部材２５は取り外し容易に構成されており、シール部材２４の交換を容易にしている。

ピストン３は細径部１２と太径部１３とからなり、細径部１２の一部が計量孔１１内に挿入され、太径部１３が後述するアーム１９に取り付けるときのつまみ及びストッパーとなる。ピストン３が計量孔１１の内壁に密接摺動しながら往復動することで、液体を計量孔１１へ吸い込んだり、計量孔１１から押し出したりする。細径部１２の太径部１３側の所定領域にはネジが切ってあり、このネジ部がアーム１９先端に設けられた孔に螺合してピストン３が固定される。ネジの切ってある所定領域は、例えば、アーム１９の部材の厚さと同程度から二倍くらいまでの範囲とするとよい。

切換バルブ４は、計量孔１１と供給流路５および排出流路６との連通を切り換える。切換バルブ４は、二つの内部流路１５を有する弁体１４を備える。弁体１４が第１の位置および第２の位置をとることで、計量孔１１と供給流路５や排出流路６とを連通する流路を切り換える。本実施形態では、弁体１４は円柱体状をなし、外周面に流路１５に連通する四つの口１６を有する。第１の位置および第２の位置の切り換えは弁体１４を回転して行う。切換バルブの動作の詳細については後述する。
なお、二つの流路を切換えできるのであれば、上記のような円柱体状の回転バルブでなくてもよい。例えば、平板に流路となる凹みを設け、平板をスライドさせるスライドバルブとすることで第１の位置および第２の位置をとるようにしてもよい。

供給流路５は、直線状の流路であり、一方の開口が液体材料５８を貯留する貯留容器１７と直接または間接に接続され、もう一方の開口が切換バルブ４（弁体１４）に接続される。排出流路６は、直線状の流路であり、一方の開口が切換バルブ４（弁体１４）に接続され、もう一方の開口が液体材料５８を放出するノズル１８に接続される。本実施形態では、切換バルブ４を中心として、供給流路５および排出流路６を接液部材２と直角をなす位置に配置した。言い換えると、弁体１４が配置される空間を中心に流路が十字形となるような機器配置とした。これに合わせ、二つの計量孔１１が交互に供給流路５と排出流路６に連通するよう弁体１４内部の流路を形成した。

以上に説明した本実施形態の接液部７は、切換バルブ４を挟んで二つの接液部材２をピストン挿入側が互いに外側を向くよう同一直線上に配置すると共に、切換バルブ４を挟んで上下の接続部材２６、２７を配置している。このように、切換バルブ４を中心にして各部材を集約して配置しているので、流路を直線的に短くでき、また液体の使用量（特に圧力伝達媒体などの吐出される液体以外の液体の使用量）を大幅に低減でき、また圧力損失を小さくし、応答性をよくできるという効果を奏する。
また、接液部材２を一個の部材により形成しているので、分解や洗浄などの作業を行う手間を軽減できる、組み立て時の接続の間違いを減らすことができるという効果を奏する。

［駆動部１０］
可動部材を動作させる駆動部１０は、バルブ駆動機構８と、ピストン駆動機構９とを備える。
バルブ駆動機構８は、切換バルブ４の弁体１４を動作させるためのものである。本実施形態では、バルブ駆動機構８にロータリアクチュエータを用い、ロータリアクチュエータの動力を切換バルブ４に伝達している。バルブ駆動機構８は電動式、エア式など様々な方式のものを用いることができる。切換バルブ４が回転式でない場合（例えばスライド式の場合）、その方式に合わせて適切なバルブ駆動機構８を採用する。

ピストン駆動機構９は、ピストン３を支持するアーム１９を有し、アーム１９を往復移動させることによりピストン３を動作させる。本実施形態では、細かな制御が可能なよう電動モータとボールネジを組み合わせた構成を用いている。電動モータには、例えば、サーボモータやパルスモータなどを用いることができる。また、これらの組合せに代えてリニアモータを用いてもよい。いずれのモータであっても、エンコーダを備え、位置の制御を精度良く行えるものとすることが好ましい。

ピストン３を支持するアーム１９はＵ字形状をしており、両端に突き出たアーム突出部２０の先端にピストン３が固設されている。各ピストン３は、それらの細径部１２が互いに向き合うように細径部１２がアーム突出部２０に螺合固定される。アーム１９のアーム突出部２０を連結する板状の連結部は、ピストン駆動機構９のスライダ２１に連結され、移動自在になっている。ここで、アーム１９は一つの硬い部材でできており、往復動作時も形状は不変であるので、二つのピストン間距離（すなわち一方の細径部１２先端から他方の細径部１２先端までの距離）を一定に保つことができる。ここで、「一つの計量孔１１の長さ」と「弁体１４の幅」を足し合わせた距離を上限距離とし、「切換バルブ４の幅」を下限距離としたとき、アーム１９に固定されたピストン間の距離が、上限距離を上回らず、かつ下限距離を下回らないようにする。上限距離を上回るとアーム１９を往復動作したときにピストン３が計量孔１１から外れてしまうし、下限距離を下回ると動作自体ができなくなってしまうからである。

［その他の要素］
吐出装置１は、前述の二つの駆動機構（８、９）の動作を制御すると共に、貯留容器１７に蓄えられた液体材料５８に印加される気体圧の制御も行う吐出制御部２３を備える。吐出制御部２３は、吐出装置１とは別体に設けられる。このように、制御主体を一箇所にまとめることで、各種パラメータの設定値の管理が楽になる。また、吐出装置１には、貯留容器１７に蓄えられた液体材料５８に圧力を印加するための圧縮気体を供給する圧縮気体源２２が接続される。この圧縮気体が計量孔１１内に液体材料５８を吸引する際の補助となる。圧縮気体源２２は、吐出制御部２３を介して貯留容器１７と連通される。

［駆動部の配置関係］
駆動部１０を構成する二つの駆動機構（８、９）の配置関係について更に詳しく説明する。
正面から接液部７を着脱することを容易にするためには、接液部７の背面側に二つの駆動機構（８、９）を隣接して設置する方が都合がよい。しかし、接液部７では、ピストン中心軸線５６とバルブ弁体中心軸線５７とが同一平面上にあり、かつ直交していることから、それらを動作させる二つの駆動機構（８、９）を単純に横並びにして設置することは難しい。そこで、一つの駆動機構を接液部７の各軸線（５６、５７）と同一水平面上に、もう一つの駆動機構をそれに重なり合うように立体的に配置することで、二つの駆動機構（８、９）を鉛直方向にほぼ隣接して配置することを可能とした。二つの駆動機構（８、９）の位置関係は、例えば次の二つが考えられる。

（Ａ）バルブ駆動機構を上、ピストン駆動機構を下に配置した構成例
図３は、吐出装置１において、バルブ駆動機構８を上、ピストン駆動機構９を下に配置した構成例を示す。同図は装置側面から見た図であり、一部透視図となっている。同図の左側が正面側となり、右側が背面側となる。
この構成例の場合、ピストン駆動機構９が接液部７の各軸線（５６、５７）と同一水平面上にあり、バルブ駆動機構８がその上方にある。バルブ駆動機構８が上方にあるので、バルブ駆動機構８と接液部７との連結のために動力伝達部材２８を設け、動力伝達部材２８を介してバルブ駆動機構８の動力を切換バルブ４の弁体１４へ伝える。ピストン駆動機構９と接液部７との連結はアーム１９が行い、アーム１９を動作させることでピストン３を動作させる。

接液部７は固定ブロック４１に固定具２９により固定され、固定ブロック４１はＵ字状部材３０に設置される。固定具２９は、ロッド部とロッド部と比べ大径の固定部とから構成される。本実施形態では、固定具２９につまみ付きネジを用い、手で簡単に緊緩できるようにしている。ここで、固定部に、頭付きネジに見られるような「マイナス」や「プラス」の溝、「六角穴」を設け、ドライバーやレンチなどの工具を用いて緊緩できるようにしてもよい。これにより、手で締めるよりもきつく、確実に固定できるようになる。

ピストン駆動機構９とＵ字状部材３０との間は、アーム１９が動作できるよう隙間が開いている。このＵ字状部材３０の上にバルブ駆動機構８が設置される。図３の配置では、一般にピストン駆動機構９の方が大きく（長く）、重いので、ピストン駆動機構９を下に配置する構成は重量バランスがよい、ピストン駆動機構９の動作軸とピストンの中心軸線５６とが同一平面上にあるので、ピストン３の位置決め精度がよい等の利点がある。

（Ｂ）バルブ駆動機構を下、ピストン駆動機構を上に配置した構成例
図４は、吐出装置１において、バルブ駆動機構８を下、ピストン駆動機構９を上に配置した構成例を示す。同図は装置側面から見た図である。同図の左側が正面側となり、右側が背面側となる。
この構成例の場合、バルブ駆動機構８が接液部７の各軸線（５６、５７）と同一水平面上にあり、ピストン駆動機構９がその上方にある。ピストン駆動機構９と接液部７との連結はアーム１９により行う。ピストン駆動機構９が上方にあるので、ピストン駆動機構９から延出するアームは途中で下方に屈曲され、アーム突出部分２０が下方へ傾斜して延出するよう構成される。バルブ駆動機構８と接液部７とは直接連結され、図３の場合と異なり、間に動力伝達部材２８は介在しない。

接液部７はＵ字状部材３０に固定具２９により固定される。接液部７とＵ字状部材３０とをブロック状部材（台）を介して固定しても良い。ピストン駆動機構９はＵ字状部材３０の上に設置される。
図４の配置では、接液部７と駆動部１０との間に動力伝達部材２８を介在しないので、装置前後幅を小さく、かつ装置重量を軽くできる、切換バルブ４を直接駆動できるので、切り換え動作に対するバルブの応答性がよい等の利点がある。

上記二つの構成例のいずれを用いるかは、要求する性能や使用する状況などに応じて適宜選択する。しかし、上記二つの構成例のいずれを採用したとしても、接液部７の背面側に二つの駆動機構（８、９）を設置する構成とすることができるので、接液部７の着脱作業を正面から行う際に円滑に作業を行うことができる。

［接液部と駆動部との着脱］
切換バルブ４とバルブ駆動機構８（或いは動力伝達部材２８）との接続・着脱を容易にするための構成を設けることが好ましい。ネジ等の締結手段を用いずとも嵌合するのみで動力を伝えられるようにすることが好ましく、例えば図５に示すように、切換バルブ４の側面に溝３１を設け、バルブ駆動機構８（或いは動力伝達部材２８）の端部に突起３２を設け、これらが互いに嵌合する構成とする。図５では、溝３１及び突起３２を断面長円形状に構成しているが、これに限定されるものではなく、少なくとも一面が平面、或いは断面で考えれば少なくとも一辺が直線となるようにすればよい。例えば、断面が「半円形ないし半楕円形」、「多角形」となっているものなどが考えられる。また、上記のような形状になるよう溝３１及び突起３２を形成することは次のような利点もある。すなわち、弁体１４の溝３１の向きと弁体内部に形成する流路１５とが所定の位置関係を持つよう形成することで、接液部材２の中が見えなくとも、溝３１と突起３２とを嵌合するのみで弁体１４の連通する口１６の位置或いは向きを決めることができる。

本実施形態では、接液部材２には、計量孔１１に干渉しない位置に固定具２９を挿入するための貫通孔３３が、切換バルブ４を挟んで対称の位置に二箇所設けられている。接液部７と駆動部１０とは、ロッド部と固定部とから構成される２本の固定具２９で固定される。本実施形態では、接液部材２が一個の部材からなり、接液部材２内に弁体１４が配置され、接続部材２６および２７も固定されているので、接液部７の着脱に関する作業が容易である。

接液部７の具体的な着脱手順を以下に説明する。
（１）取り付け
まず、接液部材２の貫通孔３３に固定具２９を挿通し、駆動部１０に取り付け、固定する。この際、弁体１４の溝３１と、バルブ駆動機構８（或いは動力伝達部材２８）の突起３２の嵌合も併せて行う（図５参照）。ついで、ピストン３をアーム１９先端の穴に通した後、接液部材２のピストン挿入口に挿入する。そして、ピストン細径部１２の太径部１３側に形成したネジ部分をアーム１９先端に螺合して固定する。これを２つのピストン３について行う。以上で接液部７の駆動部１０へ取り付けは完了である。吐出を行うためには、液体が入っている貯留容器１７を接続部材２６に取り付け、さらに吐出制御部２３に各駆動機構（８、９）を接続する。ノズル１８は取り付け作業の前に予め取り付けておくことが好ましい。

（２）取り外し
取り外す場合は、上記（１）と逆の手順を辿ればよい。まず、貯留容器１７、吐出制御部２３との接続を外す。ノズル１８は取り外し作業の最後に取り外すことが好ましい。ついで、ピストン３を回してネジを緩めて接液部材２およびアーム１９先端の孔からピストン３を抜き取る。これを２つのピストン３について行う。そして、固定具２９を外して、接液部材２を駆動部１０より外す。以上で取り外し作業は完了である。作業の開始前には、吐出装置１内の液体材料５８をはき出して空にすることが好ましい。液体材料５８が作業者の手や衣服に付着することもなくなり、作業場所を汚すこともなくなるからである。

以上の着脱作業において、ピストン３や固定具２９の固定部には、つまみ部分が設けてあるので、手作業でも容易に作業が行える。また、仮に工具が必要でも、専用の特殊な工具が必要な訳ではなく、一般の工具で容易に作業が行える。本実施形態に係る装置と出願人が製造する従来品と比べたところ、分解・組み立ての時間を約５分から約３分へと短縮することができた。

［吐出動作］
図６ないし図１２を参照しながら、吐出動作を説明する。なお、図６ないし図１２は、接液部７の主要部分のみを簡略化して描いている。
接液部７の初期状態は以下の通りとする。ピストン３はどちらか一方が接液部材２内に最も進入した状態とする。また、切換バルブ４はピストン３が最も進入した方の計量孔１１と供給流路５を、かつピストン３が最も退出した方の計量孔１１と排出流路６を連通する位置にある状態とする。具体的には、例えば図６の状態を初期状態とする。吐出装置１は、液体が供給されていない空の状態にあるものとする。

図６ないし図１２の左側にあるピストン３および計量孔１１は「第１のピストン３６」および「第１の計量孔３４」、右側にあるピストン３および計量孔１１は「第２のピストン３７」および「第２の計量孔３５」と呼ぶ。また、初期状態（図６）で第１の計量孔３４に連通している切換バルブ４内部の流路を「第１の流路３８」、第２の計量孔３５に連通している切換バルブ４内部の流路を「第２の流路３９」と呼ぶ。さらに、図６の状態に切換バルブ４が位置しているときを「第１の位置」と呼び、９０度時計回りに回転した図８の状態に切換バルブ４が位置しているときを「第２の位置」と呼ぶ。

（１）第１の計量孔への供給開始（図６）
図示しない貯留容器１７に圧縮気体を供給すると、液体材料５８が供給流路５から切換バルブ４内部の第１の流路３８を通り、第１の計量孔３４へ流れ込む。ここで、貯留容器１７に圧縮気体を供給して液体材料５８に圧力を印加するのは、液体材料５８が円滑に計量孔へと供給されるようにするためであり、圧力の印加はピストンが吸引工程のときのみ行うようにすることが好ましい。

（２）第１のピストン吸引工程（図７）
ピストン駆動機構９により第１のピストン３６を第１の計量孔３４内から退出する方向へ移動させると、貯留容器１７に印加された圧力と第１のピストン３６の退出動作の作用により、第１の計量孔３４内に液体材料５８が吸引される。このとき、二つのピストン（３６、３７）間の距離が一定になるよう各ピストンはアーム１９により固定されているので、第１のピストン３６の移動に伴い、第２のピストン３７が第２の計量孔３５内へ進入する。ただし、この時点では、第２の計量孔３５はまだ空なので液体材料５８が排出されることはない。吸引動作が終わったら貯留容器１７への圧力の印加を止める。

（３）バルブ切り換え及び第２の計量孔への供給開始（図８）
バルブ駆動機構８を動作させて、第１の計量孔３４と排出流路６を連通し、第２の計量孔３５と供給流路５を連通する第２の位置へ切換バルブ４を９０度時計回りに回転させる。そして、貯留容器１７内の液体材料５８に圧力を印加すると、液体材料５８は供給流路５から切換バルブ４内部の第１の流路３８を通り、第２の計量孔３５へ流れ込む。

（４）第２のピストン吸引工程及び第１のピストン排出工程（図９）
ピストン駆動機構９により第２のピストン３７を第２の計量孔３５内から退出する方向へ移動させると、液体材料５８に印加された圧力と第２のピストン３７の退出動作の作用により、第２の計量孔３５内に液体材料５８が吸引される。このとき、二つのピストン（３６、３７）間の距離が一定になるよう各ピストンはアーム１９により固定されているので、第２のピストン３７の移動に伴い、第１のピストン３６が第１の計量孔３４内へ進入し、（２）で吸引した液体材料５８を排出流路６からノズル１８を通じて排出することになる。その際、排出流路６（ノズル１８）下方には排出された液体材料５８を受ける排出用容器等があるとよい。吸引動作が終わったら圧力の印加を止める。

（５）バルブ切り換え（図１０）
バルブ駆動機構８を動作させて、第１の計量孔３４と供給流路５を連通し、第２の計量孔３５と排出流路６を連通する第１の位置へ切換バルブ４を９０度反時計回りに回転させる。
ここまでで吐出動作の準備が完了する。つまり、流路の全てが液体で満たされたことになる。

（６）吐出動作１：第２のピストン排出工程及び第１のピストン吸引工程（図１１）
ピストン駆動機構９により第１のピストン３６を第１の計量孔３４内から退出する方向へ移動させると共に、第２のピストン３７を第２の計量孔３５内へ進入する方向へ移動させる。これにより、液体材料５８が供給流路５から切換バルブ４内部の第１の流路３８を通って第１の計量孔３４内に吸引されると共に、第２の計量孔３５内の液体材料５８が切換バルブ４内部の第２の流路３９を通って排出流路６から排出（吐出）される。
ピストン（３６、３７）の移動が終了したら、バルブ駆動機構８を動作させて、第１の計量孔３４と排出流路６を連通し、第２の計量孔３５と供給流路６を連通する第２の位置へ切換バルブ４を９０度時計回りに回転させる。

（７）吐出動作２：第１のピストン排出工程及び第２のピストン吸引工程（図１２）
上記（６）とほぼ同じ動作であるが、左右のピストン（３６、３７）の動作が逆になっている。
ピストン駆動機構９により第１のピストン３６を第１の計量孔３４内へ進入する方向へ移動させると共に、第２のピストン３７を第２の計量孔３５内から退出する方向へ移動させる。これにより、第１の計量孔３４内の液体材料５８が切換バルブ４内部の第２の流路３９を通って排出流路６からノズル１８を通じて排出（吐出）されると共に、液体材料５８が供給流路５から切換バルブ４内部の第１の流路３８を通って第２の計量孔３４内に吸引される。
ピストン（３６、３７）の移動が終了したら、バルブ駆動機構８を動作させて、第１の計量孔３４と供給流路５を連通し、第２の計量孔３５と排出流路６を連通する第１の位置へ切換バルブ４を９０度反時計回りに回転させる。

以降、続けて吐出を行う場合は、予め設定した貯留容器１７内の液体材料５８残量の下限や液体材料５８のポットライフなどに達するまで上記した（６）と（７）の動作を繰り返す。
以上のように、ピストン及び計量孔を複数（ここでは二つ）設けることにより、吐出と吸引を交互に行うことが可能となり、吸引のたびに吐出を止める必要が無くなるので、連続して吐出する際、無駄な時間を減らして時間短縮を図ることができる。

［第２の実施形態］
第２の実施形態は、接液部材２を複数個の部材により構成した点で第１の実施形態と相違する。図１３に、本発明に係る液体定量吐出装置の接液部の要部断面図を示す。ここで図１３は装置正面から見た図であり、接液部材２、接続部材２６およびそれに連通する貯留容器１７、接続部材２７およびそれに連通するノズル１８、並びに切換バルブ４を、接液部材２中心を通る面で切断した図である。以下では、接液部材２以外の要素については、第１の実施形態と同じ構成であるため説明を割愛する。

本実施形態の接液部材２は、３つの接液部材２ａ〜２ｃから構成される。接液部材２ａおよび２ｃには、液体を吸引して一時溜め込む流路として作用する計量孔１１が内設されている。接液部材２ｂには、弁体１４が配置される空間が設けられている。接液部材２ａ〜２ｃを相互に嵌合する部分６９にはシール部材６８が配設されている。嵌合部６９には、例えば、ネジやはめあいなどを採用することができる。

以上に説明した本実施形態の接液部７は、計量孔１１を流路長や径の異なるものに交換することが容易である。
また、第１の実施形態と同様に、切換バルブ４を中心にして各部材を集約して配置しているので、流路を直線的に短くでき、また液体の使用量（特に圧力伝達媒体などの吐出される液体以外の液体の使用量）を大幅に低減でき、また圧力損失を小さくし、応答性をよくできるという効果を奏する。

［第３の実施形態］
第３の実施形態は、気泡混入防止機構・方法を備える点で第１の実施形態と相違する。図１４は、本発明の第３の実施形態に係る気泡混入防止機構の説明図である。ここで、（ａ）は平面断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡＡ断面図である。以下では、気泡混入防止機構以外の要素については、第１の実施形態と同じ構成であるため説明を割愛する。

ピストン式（プランジャ式）吐出装置では、計量孔内に液体材料５８を充填する操作を行うと、ピストン（プランジャ）が後退移動することによる圧力の低下のために気泡が発生したり、流路内の角部などで液体材料５８が満たされない部分に気泡が残留したりといったことが起きる。液体材料５８に気泡が混入していると、気泡の圧縮性の影響を受け、ピストン（プランジャ）移動量に対する液体材料５８の吐出量が安定せず、精密な吐出が行えないことになる。特に、空の状態から液体を満たすまでの手順（前述の［吐出動作］でいえば（１）〜（５））で気泡が流路内に残留しやすい。そこで図１４に示す気泡混入防止機構を設けた。

図１４の気泡混入防止機構は、計量孔部１１と連通し、その内部をピストン３が往復動する第１の孔６０と、第１の孔６０のノズル側の端部に設けられた第１のシール部材６２と、第１の孔のノズルと反対側の端部に設けられた第２のシール部材６３と、第１の孔の側面に連通する第２の孔６１とを含んで構成される。さらに、第一の孔６０の内周がピストン３外周よりも大きく構成されており、また、第一のシール部材６２および第二のシール部材６３の内周がピストン３外周と実質的に同じ大きさで、第一のシール部材６２および第二のシール部材６３の外周が第一の孔６０の内周よりも大きく構成されている。加えて、第二の孔６１の第一の孔６０とは反対側（第二の孔の開放端６７側）には液受け部６５が設けられている。
そして、このように構成されている機構において、液体材料５８を計量孔１１に満たす際、ピストン３を第二の孔６１が第一の孔６０と連通する端部の外端位置と第二のシール部材６３との間まで移動させる第一ステップ、少なくとも第二の孔６１の第一の孔６０とは反対の端部６７から液体材料５８が溢れるまで計量孔１１に液体材料５８を供給する第二のステップ、ピストン３を第一のシール部材６２に当接するまで移動させる第三のステップを実行することで、気泡の混入を防止することができる。本実施形態の場合は、この気泡混入防止機構を二つの計量孔１１の切換バルブ４と反対側の端部にそれぞれ設けるとよい。そうすることで、計量孔部１１内に気泡が混入することを防止できる。

また、上記のような気泡混入防止機構を設けずに、気泡を除去する簡易な方法を実施することでもよい。すなわち、次の手順で気泡を簡易に除去することができる。
第１に、前述の［吐出動作］（２）の動作に加えて、動作後、第１のピストン３６を取り外し、液体材料５８に圧力を再び印加する。そして、第１の計量孔３４のピストン挿入側から液体材料５８が溢れ出てきたところで圧力の印加を止め、そこへ第１のピストン３６を挿入する。
また第２に、前述の［吐出動作］（４）の動作に加えて、動作後、第２のピストン３７を取り外し、液体材料５８に圧力を再び印加する。そして、第２の計量孔３５のピストン挿入側から液体材料５８が溢れ出てきたところで圧力の印加を止め、そこへ第２のピストン３７を挿入する。
以上の二つの操作を加えるとよい。そうすることで、流路内に気泡が混入することを防止できる。なお、液体材料５８を溢れ出させる場合には、その下部に液体材料５８を受けるための排出用容器等を設置しておくことが必要である。吐出動作のところで使用した排出用容器と兼用してよい。

上記の機構や方法を用いて流路内への気泡の混入を防止することにより、気泡の圧縮性の影響を受けることなく、プランジャ（ピストン）移動量に対する液体材料５８の吐出量が安定し、精度よく吐出を行うことが可能となる。本実施形態に係る装置と出願人が製造する従来品と比較したところ、吐出量のバラツキにして約±７％を約±３％へと精度を向上することができた。

以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明は何ら実施例により限定されるものではない。

実施例１の吐出装置１は、実施形態で説明した、バルブ駆動機構８を上、ピストン駆動機構９を下に配置した構成の駆動部１０（図３参照）を備える吐出装置１を具体化したものである。図１５に実施例１に係る吐出装置の概略斜視図を示す。
装置正面には、接液部材２、ピストン３、切換バルブ４、貯留容器１７、ノズル１８等からなる接液部７が配設されている。接液部７の背面にはバルブ駆動機構８、ピストン駆動機構９からなる駆動部１０が配設されている。以下では、実施形態と構成が同様である要素については説明を割愛し、異なる要素について説明する。

接液部７は、接液部材２と、接液部材２の内部を密接摺動する二つのピストン３と、切換バルブ４と、供給流路５を有する接続部材２６と、排出流路６を有する接続部材２７とを備える。接液部材２内では、切換バルブ４を中心にして、ピストン３挿入側が互いに外側を向くよう同一直線上に配設される。また、供給流路５および排出流路６は上下に対向し、かつ、接液部材２と直角をなす方向に配設される。

駆動部１０は、バルブ駆動機構８と、ピストン駆動機構９とを備える。バルブ駆動機構８は、ベース板４０に取り付けられたＵ字状の支持部材３０上に配設される。ピストン駆動機構９は、Ｕ字状の支持部材３０の凹み内に配設される。ピストン駆動機構９にはスライダ２１が配設されており、スライダ２１にはピストン３を固定するアーム１９が固設されている。スライダ２１およびアーム１９は、Ｕ字状の支持部材３０の内側壁面と接触しないように取り付けられており、支持部材３０の凹み内で移動自在になっている。言い換えると、Ｕ字状の支持部材３０は、ピストン駆動機構９とスライダ２１の厚さとアーム１９の厚さとを足し合わせた厚さを超える脚の長さ（凹みの深さ）を有している。かかる構成により、スライダ２１およびアーム１９が支持部材３０に接触して動作の妨げになったり、擦れてゴミ等が発生したりすることを防ぐことができる。

本実施例では、バルブ駆動機構８がピストン駆動機構９の上方にあるので、バルブ駆動機構８の動力を切換バルブ４の弁体１４へ伝えるための機構が必要である。そこで、本実施例では、ベルトおよびベルト受軸（図示せず）を動力伝達部材２８としてロータリアクチュエータの動力を切換バルブ４の弁体１４へ伝達している。ここで、動力伝達部材２８はベルトに限定されるものではなく、例えばチェーンやラックとピニオン等を用いてもよい。動力伝達部材２８は、支持部材３０に着脱可能に固設された上面視Ｙ字状の固定ブロック４１と支持部材３０との間の空間に、非接触で挿通される。ベルト受軸は固定ブロック４１に挿通されており、軸端に突起３２を有する（図５参照）。弁体１４には、突起３２と勘合する溝３１が設けられている。接液部材２には二つの貫通孔３３が設けられており、ロッド部と固定部からなる二つの固定具２９により固定ブロック４１に固定される（図３参照）。

なお、駆動部１０はカバーで覆うことが好ましい。これは、スライダ２１や動力伝達部材（ベルト）２８など動く部分に手や工具などを巻き込まれることを防ぎ、また、ゴミや小さな部品など動作に支障をきたす異物が付着することを防ぐためである。

実施例２の吐出装置１は、実施形態で説明した、バルブ駆動機構８を下、ピストン駆動機構９を上に配置した構成の駆動部１０（図４参照）を備える吐出装置１を具体化したものである。図１６に実施例２に係る吐出装置の概略斜視図を示す。実施例２は、各駆動機構（８、９）の配置および各駆動機構（８、９）と接液部７との連絡の態様が実施例１と異なる。以下では実施例１と異なる点のみ説明する。

本実施例では、ピストン駆動機構９がバルブ駆動機構８の上方にあるので、ピストン駆動機構９の動力をピストン３へ伝えるための機構が必要である。他方で、接液部７を構成する部品をできるだけ少なくすべしとの要請もある。そこで、本実施例では、屈曲した形状のアーム１９を採用し、ピストン駆動機構９の動力をピストン３へ伝えることとした。具体的には、接液部７の計量孔中心軸線上でピストン３を摺動自在に固定できるよう、アーム１９両端の突出部２０が下方へ傾斜した形状とすることで、ピストン駆動機構９の動力を伝達している。ここで、屈曲した形状のアーム１９を採用するのではなく、直線状のアーム１９を採用しつつ、ピストン駆動機構９自体を傾斜姿勢で固定するＵ字状部材３０を採用してもよい。

接液部材２は、Ｕ字状部材３０に固設されたブロック状部材４１に着脱可能に固定される。接液部材２の固定は、実施例１と同様に、接液部材２に設けられた二つの貫通孔３３に二つの固定具２９を挿通することにより行う。また、ブロック状部材４１には、バルブ駆動機構８の動力軸が挿通される貫通孔が設けられている。バルブ駆動機構８の動力軸端には突起３２が設けられ、バルブ弁体１４には突起３２が嵌合する溝３１が設けられている。なお、ここで、ブロック状部材４１を設けるか否かは、ピストン駆動機構９からピストン３までの距離などにより適宜選択する事項である。実施例２においても、実施例１と同様に駆動部１０をカバーで覆うことが好ましい。

実施例３は、実施例１の吐出装置を搭載した卓上型の塗布装置に関する。図１７に実施例３に係る塗布装置の概略斜視図を示す。
本実施例に係る塗布装置４２は、符号４６方向に移動可能とするＸ駆動機構４３、符号４７方向に移動可能とするＹ駆動機構４４、符号４８方向に移動可能とするＺ駆動機構４５を備える。吐出装置１はＺ駆動機構４５上に設置され、Ｚ駆動機構４５はＸ駆動機構４３上に設置される。また、Ｙ駆動機構４４上には塗布対象物４９を載置するワークテーブル５０が設置されている。すなわち、吐出装置１を塗布対象物４９に対しＸＹＺ方向（４６、４７、４８）に相対移動させることができる。

また、塗布装置４２には吐出制御部２３が設置され、吐出装置１は吐出制御部２３を通じて、圧縮気体ライン５１からは液体材料５８を圧送するための圧縮気体を、動力ライン５２からはピストン３やバルブ４を駆動するための動力を供給される。また、吐出制御部２３は、吐出装置１のピストン３の移動距離や移動速度などを制御して吐出量を制御することができる。さらに吐出制御部２３は、ＸＹＺの各駆動機構（４３、４４、４５）の動作を制御する駆動制御部５４とも制御ライン５３で接続されているので、ＸＹＺの各駆動機構（４３、４４、４５）の動作に合わせて、吐出を行うことが可能である。

吐出装置１内の空の流路に液体材料５８を満たす準備段階において（図６ないし図１２参照）、液体材料５８を排出する操作があるので、排出される液体材料５８を受ける容器５５を基台上に設けておくことが好ましい。本実施例の容器５５の上面は液体材料５８を受け入れやすいよう大きく開口している。そして、この容器５５を吐出装置１の移動範囲内で、かつワークテーブル５０の移動に干渉しない位置に設置する。塗布対象物４９が小さく、ワークテーブル５０上のスペースに余裕がある場合には、ワークテーブル５０上に設置してもよい。排出された液体材料５８は、手動で処理するようにしてもよいし、自動で処理するようにしてもよい。手動で処理する場合には、容器５５を着脱自在にしておき、液体材料５８で満杯になったとき取り外して排出するようにする。自動で処理する場合には、容器５５に配管を接続してポンプ等の作用で別の容器等へ排出するようにする。

１：吐出装置、２：接液部材、３：ピストン、４：切換バルブ、５：供給流路、６：排出流路、７：接液部、８：バルブ駆動機構、９：ピストン駆動機構、１０：駆動部、１１：計量孔、１２：細径部、１３：太径部、１４：弁体、１５：流路、１６：連通口、１７：貯留容器（貯留部）、１８：ノズル、１９：アーム、２０：アーム突出部、２１：スライダ、２２：圧縮気体源、２３：吐出制御部、２４：シール部材、２５：シール押さえ部材、２６：（供給用）接続部材、２７：（排出用）接続部材、２８：動力伝達部材、２９：固定具、３０：Ｕ字状部材、３１：溝、３２：突起、３３：貫通孔、３４：第１の計量孔、３５：第２の計量孔、３６：第１のピストン、３７：第２のピストン、３８：第１の流路、３９：第２の流路、４０：ベース板、４１：固定ブロック、４２：塗布装置、４３：Ｘ駆動機構、４４：Ｙ駆動機構、４５：Ｚ駆動機構、４６：Ｘ移動方向、４７：Ｙ移動方向、４８：Ｚ移動方向、４９：塗布対象物、５０：ワークテーブル、５１：圧縮気体ライン、５２：動力ライン、５３：制御ライン、５４：駆動制御部、５５：容器、５６：ピストン中心軸線、５７：バルブ弁体中心軸線、５８：液体材料、５９：気泡混入防止機構、６０：第１の孔、６１：第２の孔、６２：第１のシール部材、６３：第２のシール部材、６４：ブロック部材、６５：液受け部、６６：シール押さえ板、６７： 第２の孔の開放端、６８：シール部材、６９：嵌合部

Claims (14)

1. ピストンを往復動作させることにより計量孔内に液体を吸引し、計量孔内の液体を排出する液体定量吐出装置であって、
   第１および第２の計量孔を有する接液部材と、
   第１の計量孔内を密接摺動する第１のピストンおよび第２の計量孔内を密接摺動する第２のピストンと、
   貯留部と連通する供給流路と、
   ノズルと連通する排出流路と、
   接液部材内の空間に配設され、第１の計量孔と供給流路を連通し第２の計量孔と排出流路を連通する第１の位置および第１の計量孔と排出流路を連通し第２の計量孔と供給流路を連通する第２の位置を有する切換バルブと、
   切換バルブを動作させるバルブ駆動機構と、
   第１および第２のピストンと連結されるアームを動作させるピストン駆動機構と、
   を備え、
   第１および第２の計量孔を切換バルブを挟んで対向配置し、
   供給流路および排出流路を切換バルブに隣接配置したことを特徴とする液体定量吐出装置。
2. 前記アームが、前記第１および第２のピストン間の距離を一定に保持することを特徴とする請求項１の液体定量吐出装置。
3. 前記切換バルブが内部空間に配設された接液部材を、液体定量吐出装置から着脱可能であることを特徴とする請求項１または２の液体定量吐出装置。
4. 前記接液部材が、１個の部材で構成されることを特徴とする請求項１、２または３の液体定量吐出装置。
5. 前記切換バルブが、内部に二つの流路を有する弁体を含んで構成されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかの液体定量吐出装置。
6. 前記バルブ駆動機構と前記ピストン駆動機構とが、前記接液部の背面側で鉛直方向に隣接して配設されることを特徴とする請求項１ないし５いずれかの液体定量吐出装置。
7. 前記バルブ駆動機構が、前記ピストン駆動機構の上方に配設され、かつ、動力を前記切換バルブに伝達する動力伝達部材を備えることを特徴とする請求項１ないし６いずれかの液体定量吐出装置。
8. 前記ピストン駆動機構が、前記バルブ駆動機構の上方に配設され、
   前記バルブ駆動機構と前記切換バルブとが直結されることを特徴とする請求項１ないし７いずれかの液体定量吐出装置。
9. 前記バルブ駆動機構が、端部に凹部または凸部を有する接続部を備え、当該接続部の凹部または凸部と嵌合する凸部または凹部が前記切換バルブの端部に設けられていることを特徴とする請求項１ないし７いずれかの液体定量吐出装置。
10. 前記供給流路を有し、前記接液部材に着脱可能な供給用接続部材と、
    前記排出流路を有し、前記接液部材に着脱可能な排出用接続部材と、を備えることを特徴とする請求項１ないし９いずれかの液体定量吐出装置。
11. 前記接液部材が、第１の計量孔と連通し、その内部をピストンが往復動する第１の孔と、該第１の孔の側面に連通する第２の孔とを含んで構成される第１の気泡混入防止機構と、第２の計量孔と連通し、その内部をピストンが往復動する第１の孔と、該第１の孔の側面に連通する第２の孔とを含んで構成される第２の気泡混入防止機構と、を備えることを特徴とする請求項１ないし１０いずれかの液体定量吐出装置。
12. 請求項１ないし１１いずれかの液体定量吐出装置と、
    貯留容器に貯留された液体に圧力を印加するための圧縮気体を供給する圧縮気体源と、
    前記液体定量吐出装置の各駆動機構および圧縮気体源気体圧を制御する吐出制御部と、
    塗布対象物を載置するワークテーブルと、
    前記液体定量吐出装置とワークテーブルとを相対的に移動させるＸＹＺ駆動機構と、
    ＸＹＺ駆動機構の動作を制御する駆動制御部と、
    を備える塗布装置。
13. 卓上型である請求項１２の塗布装置。
14. 第１および第２の計量孔を有する接液部材と、第１の計量孔内を密接摺動する第１のピストンおよび第２の計量孔内を密接摺動する第２のピストンと、貯留部と連通する供給流路と、ノズルと連通する排出流路と、接液部材内の空間に配設され、第１の計量孔と供給流路を連通し第２の計量孔と排出流路を連通する第１の位置および第１の計量孔と排出流路を連通し第２の計量孔と供給流路を連通する第２の位置を有する切換バルブと、切換バルブを動作させるバルブ駆動機構と、第１および第２のピストンと連結されるアームを動作させるピストン駆動機構と、を備え、第１および第２の計量孔を切換バルブを挟んで対向配置し、供給流路および排出流路を切換バルブに隣接配置した液体定量吐出装置を用い、ピストンを往復動作させることにより計量孔内に液体を吸引し、計量孔内の液体を排出する液体定量吐出方法であって、
    切換バルブを第１の位置とし、アームを一の方向に移動することにより、第１の計量孔に液体を吸引し、かつ第２の計量孔から液体を排出する第１の工程と、
    切換バルブを第２の位置とし、アームを第１の工程と反対方向に移動することにより、第１の計量孔から液体を排出し、かつ第２の計量孔に液体を吸引する第２の工程と、
    第１および第２の工程を繰り返すことにより液体を連続定量吐出する第３の工程と、を有することを特徴とする液体定量吐出方法。