KR100860880B1 - 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법 및 이에 사용되는공기압 공급장치 - Google Patents
페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법 및 이에 사용되는공기압 공급장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (15)
- 도포 압력에 의해 페이스트가 토출되는 노즐을 구비한 도포 헤드를 기판이 안착되는 스테이지에 대해 도포 속도로 수평으로 상대 이동시키면서, 직선부들 사이가 곡선부로 연결된 형상을 갖는 페이스트 패턴을 상기 기판 위에 도포하는 페이스트 디스펜서에 있어서,곡선부 시작 위치나 상기 곡선부 시작 위치보다 앞선 위치로부터 곡선부 종료 위치보다 앞선 위치까지, 직선부 도포 속도에서 곡선부 도포 속도로 도포 속도를 감속하는 단계;감속종료 위치로부터 곡선부 종료 위치나 상기 곡선부 종료 위치보다 앞선 위치로 설정된 가속시작 위치까지, 곡선부 도포 속도로 도포 속도를 유지하는 단계;감속시작 위치로부터 감속종료 위치까지, 직선부 도포 압력에서 곡선부 도포 압력으로 도포 압력을 감압하는 단계; 및감속종료 위치로부터 가속시작 위치까지 곡선부 도포 압력으로 도포 압력을 유지하는 단계;를 포함하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 1항에 있어서,가속시작 위치로부터 가속종료 위치까지 곡선부 도포 속도에서 직선부 도포 속도로 도포 속도를 가속하는 단계;가속종료 위치로부터 직선부 도포 속도로 도포 속도를 유지하는 단계; 및가속시작 위치로부터 가속종료 위치까지, 곡선부 도포 압력에서 직선부 도포 압력으로 도포 압력을 가압하는 단계; 및가속종료 위치로부터 직선부 도포 압력으로 도포 압력을 유지하는 단계;를 더 포함하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 2항에 있어서,감속시작 위치는 곡선부 시작 위치보다 앞서 위치하고, 감속종료 위치는 곡선부 시작 위치로 설정되며;가속시작 위치는 곡선부 종료 위치이고, 가속종료 위치는 곡선부 종료 위치를 지난 위치로 설정된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 3항에 있어서,곡선부 도포 속도와 곡선부 도포 압력을 직선부 도포 속도와 직선부 도포 압력에 의해 도포된 페이스트의 폭과 높이와 동일한 폭과 높이로 페이스트를 도포하도록 설정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 4항에 있어서,감속시작 위치와 감속종료 위치 사이의 구간에서 도포 속도를 선형적으로 감 소시키며;감속시작 위치와 감속종료 위치 사이의 구간에서 도포 압력을 도포 속도의 감소 비율과 동일한 비율로 감소시키는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 5항에 있어서,가속시작 위치와 가속종료 위치 사이의 구간에서 도포 속도를 선형적으로 증가시키며;가속시작 위치와 가속종료 위치 사이의 구간에서 도포 압력을 도포 속도의 증가 비율과 동일한 비율로 증가시키는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 6항에 있어서,감속시작 위치와 감속종료 위치 사이의 거리를 가속시작 위치와 가속종료 위치 사이의 거리와 동일하게 설정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 페이스트 패턴을 도포하는 동안, 상기 노즐과 기판 사이의 간격을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 도포 압력에 의해 페이스트가 토출되는 노즐을 구비한 도포 헤드를 기판이 안착되는 스테이지에 대해 도포 속도로 수평으로 상대 이동시키면서, 직선부들 사이가 곡선부로 연결된 형상을 갖는 페이스트 패턴을 상기 기판 위에 도포하는 페이스트 디스펜서에 있어서,곡선부 종료 위치나 상기 곡선부 종료 위치보다 앞선 위치로부터 가속종료 위치까지, 곡선부 도포 속도에서 직선부 도포 속도로 도포 속도를 가속하는 단계;가속종료 위치로부터 직선부 도포 속도로 도포 속도를 유지하는 단계;가속시작 위치로부터 가속종료 위치까지 곡선부 도포 압력에서 직선부 도포 압력으로 도포 압력을 가압하는 단계; 및가속종료 위치로부터 직선부 도포 압력으로 도포 압력을 유지하는 단계;를 포함하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 9항에 있어서,가속시작 위치는 곡선부 종료 위치이고, 가속종료 위치는 곡선부 종료 위치를 지난 위치로 설정된 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 10항에 있어서,곡선부 도포 속도와 곡선부 도포 압력을 직선부 도포 속도와 직선부 도포 압 력에 의해 도포된 페이스트의 폭과 높이와 동일한 폭과 높이로 페이스트를 도포하도록 설정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 11항에 있어서,곡선부 종료 위치와 가속종료 위치 사이의 구간에서 도포 속도를 선형적으로 증가시키며;곡선부 종료 위치와 가속종료 위치 사이의 구간에서 도포 압력을 도포 속도의 증가 비율과 동일한 비율로 증가시키는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 9항에 있어서,상기 페이스트 패턴을 도포하는 동안, 상기 노즐과 기판 사이의 간격을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 페이스트 도포 방법.
- 제 1항 내지 제 13항 중 어느 한 항의 페이스트 도포 방법에 사용되는 공기압 공급장치로서, 페이스트가 저장된 시린지 내에 도포 압력을 가하여 상기 시린지와 연결된 노즐로부터 페이스트가 토출되게 하는 것으로,정압(positive pressure) 공기를 공급받으며, 공급받은 정압 공기의 압력을 조정해서 상기 시린지로 공급하는 정압용 전공 레귤레이터;부압(negative pressure) 공기를 공급받으며, 공급받은 부압 공기의 압력을 조정해서 상기 시린지로 공급하는 부압용 전공 레귤레이터; 및상기 정압용 전공 레귤레이터로부터 공급되는 정압 공기와 부압용 전공 레귤레이터로부터 공급되는 부압 공기가 혼합된 공기의 압력을 측정하는 압력 센서;를 구비하며,상기 압력 센서로부터 측정된 압력 값을 토대로, 상기 정압용 전공 레귤레이터와 부압용 전공 레귤레이터는 상기 시린지 내에 가해지는 도포 압력이 설정된 값을 갖도록 정압 공기와 부압 공기의 압력을 각각 조정하는 것을 특징으로 하는 공기압 공급장치.
- 제 14항에 있어서,상기 정압용 전공 레귤레이터와 압력 센서 사이에서 정압 공기의 흐름을 개폐하는 정압용 밸브와,상기 부압용 전공 레귤레이터와 압력 센서 사이에서 부압 공기의 흐름을 개폐하는 부압용 밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 공기압 공급장치.
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