KR20110069431A - 도포장치 및 그 동작방법 - Google Patents

도포장치 및 그 동작방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 도포장치 및 도포방법에 관한 것으로서, 페이스트 패턴 형성 시에 안정된 페이스트 패턴이 형성되도록 하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시 형태는 기판을 마련하는 과정과, 상기 기판에 페이스트를 도포하는 과정을 포함하고, 페이스트 도포 속도가 가속되거나 감속되는 구간을 가지며, 상기 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력 변화가 N개의 단계로서 단계별로 진행된다. 상기 페이스트를 도포하는 과정은, 페이스트 도포의 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력 변화를 단계화할 단계화 개수 N을 산출하는 과정과, 상기 가속되거나 감속되는 구간에서의 페이스트 도포 가속도를 산출하는 과정과, 상기 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력을 상기 N개의 단계별로 변화시키면서, 상기 산출된 도포 가속도로서 페이스트를 도포하는 과정을 포함한다.
도포, 페이스트, 속도, 압력, 변곡부, 곡선

Description

도포장치 및 그 동작방법{Apparatus for despensing paste and method for ooperating the same}
본 발명은 도포장치 및 도포방법에 관한 것으로서, 페이스트 패턴 형성 시에 안정된 페이스트 패턴이 형성되도록 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
평판형 기판에 페이스트를 도포하는 도포장치는, 상부기판 및 하부기판이 각각 안치되는 스테이지, 스테이지 상의 기판에 페이스트를 토출하는 노즐을 구비하는 디스펜서, 기판과 노즐 사이의 갭(gap)을 측정하는 센서, 디스펜서를 승하강시키는 구동부, 디스펜서를 수평 이동시키는 이송부 및 디스펜서의 동작을 제어하는 제어부를 포함한다.
도포장치를 이용하여 기판 상에 패턴을 형성하기 위해서는 먼저, 센서를 이용하여 기판과 노즐 간의 갭(gap)을 측정한다. 그리고 디스펜서를 상승 또는 하강시켜, 상기 기판과 노즐 간의 갭(gap)을 조절한다. 이후, 노즐로부터 원료물질을 토출하면서 디스펜서를 이동시켜 원하는 형태의 페이스트 패턴을 형성한다.
예를 들어, 단일 패널용 기판 가장자리에 페이스트 패턴을 형성하는 경우, 페이스트 패턴(110)은 도 1에 도시된 바와 같은 형상을 갖는다. 도 1에 도시된 바 에 의하면, 페이스트 패턴(110)은 기판(100) 위 가장자리에서 기판(100)의 중앙을 둘러싸는 형상을 갖는다. 여기서, 페이스트 패턴(110)은 기판(100)의 각 코너를 제외한 가장자리 쪽에 위치하는 부위가 균일한 폭과 높이를 갖는 직선부(113)로 이루어져 있다. 그리고, 페이스트 패턴(110)은 전체에 걸쳐 균일한 폭과 높이를 갖도록 기판(100)의 각 코너 쪽에 위치하는 부위가 곡선부(112)로 이루어져 있다.
따라서 시작점(111)을 기점으로 도포가 시작되어 직선부(113) 및 곡선부(112)를 돌아서 다시 시작점 직전에 있는 종료점(114)에 도달함으로써 페이스트 패턴(110)이 이루어진다. 일반적으로 페이스트 디스펜서는 도포 시간을 단축하기 위해 고속으로 페이스트를 도포하는 것이 바람직하다.
그런데, 페이스트 도포 작업을 위하여 시작점(111) 또는 종료점(114)에서 디스펜서나 스테이지가 출발 또는 멈추는 과정에서 스테이지에 가해지는 충격(impulse)이 발생한다. 마찬가지로, 곡선부(112)에 진입하거나 곡선부(112)를 벗어나는 과정에서 충격이 발생한다.
그 결과, 페이스트 패턴의 시작점(111), 종료점(113) 및 곡선부(112)의 폭과 높이가 직선부(113)의 폭과 높이와 다르게 되는 불량이 발생하는 문제가 있다.
본 발명의 기술적 과제는 폭과 높이가 균일한 페이스트 패턴을 제조하는 방법에 있다. 또한, 본 발명의 기술적 과제는 시작점, 종료점 및 곡선부의 폭과 높이를 직선부의 폭과 높이와 일치하도록 하여 패터닝된 페이스트의 품질을 향상시키는데 있다. 또한, 본 발명의 기술적 과제는 페이스트 도포 시에 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력 제어 방법을 제공하는데 있다. 또한, 본 발명의 기술적 과제는 가속되거나 감속되는 구간에서 단계별 도포압력이 이루어질 때 수행되어야 하는 가속도를 제어 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 실시 형태는 기판을 마련하는 과정과, 상기 기판에 페이스트를 도포하는 과정을 포함하고, 페이스트 도포 속도가 가속되거나 감속되는 구간을 가지며, 상기 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력 변화가 N개의 단계로서 단계별로 진행된다.
상기 페이스트를 도포하는 과정은, 페이스트 도포의 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력 변화를 단계화할 단계화 개수 N을 산출하는 과정과, 상기 가속되거나 감속되는 구간에서의 페이스트 도포 가속도를 산출하는 과정과, 상기 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력을 상기 N개의 단계별로 변화시키면서, 상기 산출된 도포 가속도로서 페이스트를 도포하는 과정을 포함한다.
상기 가속되거나 감속되는 구간은, 페이스트 도포 시작점에서 가속되어 직선 부의 정속도 도달할 때까지의 시작 구간, 직선부의 정속도에서 감속되어 페이스트 도포 종료점에 이르기까지의 종료 구간, 곡선부 감속 시작점에서부터 곡선부 진입점까지의 곡선부 진입 구간, 곡선부 종료점에서부터 곡선부 가속 종료점까지의 곡선부 이탈 구간 중 어느 하나 이상을 포함한다.
본 발명의 실시 형태는 시린지에 담긴 페이스트가 가스압력에 의해 도포되는 적어도 하나 이상의 디스펜서와, 가스압력의 양을 조절하여 상기 시린지로 제공하는 압력조절부와, 상기 디스펜서를 이송시키는 이송부와, 페이스트 도포속도를 가속시키거나 감속시키도록 상기 이송부를 제어하며, 도포속도가 가속되거나 감속되는 구간에서 도포압력을 단계별로 가압 또는 감압시키도록 압력조절부를 제어하는 제어부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 페이스트 도포 시에 곡선부 진입이나 이탈시에 가감속과 동시에 도포압력을 단계별로 수행함으로써, 곡선부에서 균일한 도포량을 유지할 수 있다. 또한, 페이스트 도포의 시작점 및 종료점에서 이루어지는 가감속과 동시에 도포압력을 단계별로 수행함으로써, 시작점 및 종료점에서 균일한 도포량을 유지할 수 있다. 따라서 기판에 도포되는 페이스트 패턴의 형태, 즉 폭과 높이를 균일하게 제조할 수 있다. 또한, 다수의 디스펜서를 하나의 구동수단으로 가감속 이송 제어할 때 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포 압력을 단계별로 제어함으로써, 전체적인 디스펜서의 도포 품질을 최상으로 유지할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 도포장치의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 디스펜서의 단면도이다.
실시예에 따른 도포장치는 기판(100)이 안치되는 스테이지(300), 스테이지(300) 상의 기판(100)에 원료물질을 토출하는 노즐(210)을 가진 디스펜서(200)를 포함한다.
실시예에 따른 기판(100)은 액정 표시 패널에 사용되는 상부기판 및 하부기판 중 어느 하나일 수 있다. 이때, 상부기판에는 도시되지는 않았지만 예를 들어, 컬러 필터와 공통 전극이 형성되어 있고, 하부기판에는 예를 들어 복수의 박막 트런지스터와 화소 전극이 형성되어 있다. 그리고 상부기판과 하부기판을 접합시켜 액정 표시 패널을 제작할 때, 상기 상부기판과 하부기판 간의 통전을 위하여 상부기판 및 하부기판 중 어느 하나에 금속 페이스트로 이루어진 복수의 패턴(110)을 형성하는 것이 바람직하다. 실시예에서는 시린지(220) 내에 저장되어 기판(100) 상에 도포되는 원료물질로 은(Ag) 페이스트를 사용한다.
디스펜서(200)는 이송부(300)에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동하여 기판(100) 상에 패턴(110)을 형성한다. 이때, 모터와 레일 등의 구동수단(구동모션) 을 이용하여 스테이지(100) 및 디스펜서(200)를 이동시킨다. 물론 이외의 다양한 수단을 이용할 수 있다. 다수개의 디스펜서는 하나의 구동수단(구동모션)을 통해 이동이 이루어지며, 이러한 구동수단은 하나의 이송부의 제어를 통해 동시에 모든 디스펜서에 대한 구동이 이루어진다.
상기에서는 디스펜서(200)가 X 축 및 Y축 방향으로 수평이동하는 것으로 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 스테이지(100)가 X축 및 Y축 방향으로 이동하여 기판(100)에 원료물질을 도포할 수도 있다. 또한, 스테이지(100)와 디스펜서(200) 모두가 X축 및 Y축 방향으로 이동하여 원료물질을 도포할 수도 있으며, 스테이지(100)가 일 축 방향으로 이동하고 디스펜서(200)는 타축 방향으로 이동하여 도포 물질을 도포할 수도 있다.
디스펜서(200)는 시린지(220), 노즐(210), 거리센서(240), 사출 밸브(250) 및 노즐(210)을 포함한다.
상기 시린지(220)는 내부 공간을 구비하여 원료물질(예컨대, 은(Ag) 페이스트)이 저장되며, 노즐(210)은, 내부에 시린지(220)가 장착 고정된 몸체부(230), 몸체부(230) 하부에 설치되어 시린지(220) 내에 저장된 원료물질을 기판(100) 상에 토출한다.
거리센서(240)는 노즐과 이격 설치되어 디스펜서(200)의 노즐(210)과 기판(100) 간의 갭(gap)을 측정한다. 사출 밸브(250)는 N2 가스 등의 가스압력을 시린지(220)에 제공한다.
상기 거리센서(240)는 기판(100)과 노즐(210) 사이의 갭(gap)을 측정하는 역 할을 한다. 이러한 거리센서(240)는 도시되지는 않았지만 거리 측정용 광을 기판(100)을 향하여 출력하는 발광부(미도시) 및 상기 발광부(미도시)에서 출사된 광이 수신되는 수광부(미도시)로 구성된다. 이때, 발광부(미도시)의 수광부(미도시)는 한 몸체로 이루어지되, 소정거리 이격되어 배치되는 것이 바람직하다. 그리고 거리센서(240)로부터 측정된 측정값을 이용하여 디스펜서(200)를 승하강시켜 기판(100)과 노즐(210) 간의 갭이 예를 들어, 40㎛가 되도록 조절한다.
상기 사출 밸브(250)는 압력 조절부에 의해 제공되는 압력을 온/오프 시켜 시린지에 압력을 충진하는 기능을 수행한다. 시린지(220)에 압력을 제공함으로써, 시린지의 원료물질을 노즐을 통해 토출시킬 수 있다.
경우에 따라서는 시린지(220)와 노즐(210) 사이에는 상기 시린지(220)와 노즐(210) 사이의 연통을 제어하는 솔레노이드 밸브가 구비될 수 있다. 원료물질이 저장된 시린지(220) 내부에 압력을 충진시키고 솔레노이드 밸브를 이용하여 시린지(220)와 노즐(210) 사이를 연통시키면, 상기 시린지(220) 내부에 원료물질이 노즐(210)로 공급된다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 도포장치의 블록도이다.
압력 조절부(600)는 압력 공급원에서 제공된 가스압력의 양을 조절하여 사출밸브(250)를 통해 시린지로 제공한다. 압력 공급원(620)에서 제공되는 가스는 버퍼탱크(610)에서 맥동류 정화되어 일정한 압력으로서 압력 조절부(600)에 제공된다.
사출 밸브(250)는 압력 조절부(600)에 의해 제공되는 압력을 온/오프 시켜 시린지에 압력을 충진하는 기능을 수행한다. 시린지(220)에 압력을 제공함으로써, 시린지(220)의 원료물질을 노즐(210)을 통해 토출시킬 수 있다.
이송부(500)는 모터와 레일 등의 구동수단(구동모션)을 이용하여 디스펜서(200)를 이동시킨다. 물론 이외의 다양한 수단을 이용할 수 있다. 실질적으로는 디스펜서가 장착되는 도포 헤드를 X축, Y축 레일 이동하여 결과적으로 디스펜서를 이송시킨다.
제어부(400)는 페이스트 도포 시에 가속 또는 감속 구간에서 도포압력을 단계화하여 압력 조절부를 통해 도포압력을 단계별로 조절한다. 또한, 이러한 가속 또는 감속 구간에서 단계별로 도포압력을 변화시킬때 걸리는 총 소요시간을 산출하여 이를 근거로 가속도를 산출한 후 해당 가속도로서 이송부를 제어한다.
상기에서 가속 또는 감속 구간은 페이스트 도포 시에 도포속도가 가속되거나 감속되는 구간을 말하는 것으로서, 예를 들어, 페이스트 도포가 시작되어 정속도 도달할 때까지의 구간, 페이스트 도포가 정속도에서 멈출때까지의 구간, 곡선부의 페이스트 도포를 위해 속도를 늦추는 구간이거나 곡선부를 벗어나서 속도를 높이는 구간을 말한다.
도포장치는 특정한 모양의 패턴(직선 및 곡선)대로 기판에 페이스트 도포하는데, 특히, 페이스트를 드로잉(drawing)함에 있어서, 변곡점에서의 디스펜서의 급속한 가감속에 대한 충격을 줄이는 것이 중요한 문제이다. 변곡점에서의 급가감속에 따른 충격을 줄임으로써 진동 감쇄 및 장비 경량화에 따른 안정성을 도모할 수 있기 때문이다.
따라서 제어부(400)는 도포의 출발, 종료, 곡선부 진입 및 이탈 시에 충격을 줄이기 위하여 적당한 도포 속도로서 가속 또는 감속시키며, 아울러, 압력 조절부(600)을 통해 가속되거나 감속되는 구간에서 단계별로 도포압력을 조절한다.
도포 속도의 가속 또는 감속 예를 설명하면, 도 5(a)에 도시한 바와 같이 디스펜서가 시작점(S)을 출발할 때 직선부의 정속도까지 가속시키는 경우, S->S1 구간에서 가속이 이루어지도록 한다. 마찬가지로, 도 5(c)에 도시한 바와 같이 디스펜서가 종료점(E)에 도달하여 멈추는 경우, E1->E 구간에서 정속도를 감속시켜 멈추게 한다.
곡선부의 경우에도 도 5(b)에 도시한 바와 같이, 곡선부 진입점(C2)에서 곡선부 이탈점(C3)까지 도포속도를 곡선부 속도로 낮추기 위하여 곡선부 진입점 이전의 곡선부 감속 시작점(C1)에서부터 감속을 수행하며, 곡선부를 벗어나서 도포속도를 정속도로 높이기 위하여 곡선부 이탈점(C3)부터 가속하여 곡선부 가속 종료점(C4)까지 가속을 수행한다.
상기에서 정속도는 직선부에서 도포되는 속도를 말하며, 곡선부 속도는 곡선부에서 도포되는 속도를 말한다.
이러한 가속되거나 감속되는 구간(S->S1, E1->E, C1->C2, C3->C4)에서의 도포속도 변화가 이루어질 때, 일정한 너비 및 두께로 안정적으로 페이스트 도포가 계속적으로 이루어질 수 있다. 따라서 이러한 가속되거나 감속되는 구간에서 안정적인 페이스트 도포를 위하여 도포의 가속도 산출이 중요하다. 특히, 다수개의 디 스펜서가 하나의 구동수단(구동모션)을 통해 이동 제어가 이루어질 때 중요시된다. 이러한 가속도 산출 방법은 후술한다.
한편, 가속되거나 감속되는 구간에서 가속도 제어가 이루어질 때, 일정한 높이의 페이스트 도포를 위하여 가속되거나 감속되는 구간에서 그에 대응되는 도포압력 변화가 이루어져야 한다. 즉, 도포속도가 낮을수록 도포압력을 적게 하여 도포량을 적게 하며, 도포속도가 높을수록 도포압력을 높게 하여 도포량을 많게 한다.
예컨대, 도 5(c)에 도시한 바와 같이 시작점에서는 도포속도 가속이 이루어지면 도포압력을 정속압력이 되도록 높이며, 마찬가지로, 감속되기 시작하는 곡선부 감속 시작점(C1)부터 감압하여 변곡압력이 되도록 한다. 상기에서, 정속압력이라 함은 직선부에서 이루어지는 도포압력을 말하며, 곡선부압력이라 함은 곡선부에서의 도포압력을 말한다.
그런데, 실제로 도포장치 구현 시에 도포압력을 도 5(c)와 같이 선형적(linear)으로 증압 또는 감압시킬 수 없다. 따라서 도포 압력을 일시에 승압 또는 감압시킬 경우, 각 디스펜서의 성능에 따라 올바른 제어가 일어나지 않을 수 있다. 디스펜서는 압력 제어를 통한 도포 시에 압력 충진 시간 및 솔레노이드 밸브 온오프 시간을 필요로 하기 때문이다.
따라서, 본 발명의 실시예는 가속되거나 감속되는 구간에서 가속도 제어가 이루어질 때, 안정적인 페이스트 도포를 위하여 가속되거나 감속되는 구간에서 도포압력 변화를 단계별로 수행한다. 도포압력의 단계화를 수행하는 것은, 도 2에 도 시된 다수의 디스펜서(도포헤드)를 하나의 압력 조절부를 이용하여 제어할 때, 가속되거나 감속되는 구간에서 도포압력에 대해 단계화 제어함으로써, 여러개의 디스펜서를 하나의 압력 조절부로 구동할 경우 발생할 수 있는 디스펜서별 차이를 감소시킬 수 있다.
도포의 가속되거나 감속되는 구간에서 도포속도 및 도포압력 제어 방법을 도 6의 플로차트와 함께 상술한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포 과정을 도시한 플로차트이다.
우선, 페이스트 도포의 가속되거나 감속되는 구간에서 도포압력 변화를 단계화할 단계화 개수 N을 산출하는 과정을 갖는다(S601).
상기 가속되거나 감속되는 구간은, 페이스트 도포 시작점에서 가속되어 직선부의 정속도 도달할 때까지의 시작 구간, 직선부의 정속도에서 감속되어 페이스트 도포 종료점에 이르기까지의 종료 구간, 곡선부 감속 시작점에서부터 곡선부 진입점까지의 곡선부 진입 구간, 곡선부 종료점에서부터 곡선부 가속 종료점까지의 곡선부 이탈 구간 중 어느 하나 이상을 포함한다. 이하, 설명에서는 가속되거나 감속되는 구간으로서 곡선부 감속 시작점에서부터 곡선부 진입점까지의 곡선부 진입 구간을 예로 들어 설명한다.
본 발명의 실시예에 따라 가속되거나 감속되는 구간(C1->C2, C3->C4)에서의 도포압력을 단계화한 도 7(c)의 그래프를 참조하면, 상기 단계화 개수 N을 산출하 는 것은 미리 설정된 정수 N개로서 구할 수 있다. 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력의 변화 단계의 개수를 디스펜서 성능 시험 등을 통하여 미리 설정할 수 있다.
그밖에, 상기 단계화 개수 N의 산출은 다수의 디스펜서에 대한 평균적인 변곡압력값을 이용하여 단계화 개수 N개를 산출할 수 있다. 즉, 다수의 디스펜서의 성능 실험을 거쳐 평균적인 변곡압력을 알아낸 후 이를 이용하여 단계화 개수 N을 산출하는 것이다.
즉, 단계화 개수 N은 다수의 평균변곡압력을 단위압력당변화시간으로 나눈값인 N개로서 단계화할 수 있다. 이를 식으로 표시하면 다음과 같다.
하기에서 정속도 압력은 직선부에서의 도포 압력이다.
가감속종료 압력은 가감속이 완료된 후의 압력으로서 직선부에서 곡선부 구간으로 진입하여 곡선부 압력을 유지하게 되면, 곡선부 압력이 가감속종료 압력에 해당된다. K는 압력 조절부에 의해 도포압력을 제공받는 디스펜서들의 전체 개수를 말한다.
또한, 단위압력당변화시간은 압력 조절부를 통해 시린지의 압력이 변화될 수 있는 최소 단위압력의 변화시간을 말한다. 압력 조절부에 의해 압력 변화가 이루어질 때, 최소한의 압력 변화 시간이 필요하다. 압력 조절부에서 특정 압력으로 원료물질을 토출하라는 명령신호를 보내도 곧바로 토출이 이루어지지 않는다. 노즐로 원료물질을 공급하기 위하여 상기 원료물질이 저장된 시린지 내부에 압력을 충진시키며 사출밸브를 동작시키는데 데 소정 시간이 소요되기 때문이다.
평균변곡압력 = {(제1디스펜서의 정속도 압력 - 제1디스펜서의 가감속종료 압력) + (제2디스펜서의 정속도 압력 - 제2디스펜서의 가감속종료 압력) + ..... + (제K디스펜서의 정속도 압력 - 제K디스펜서의 가감속종료 압력)} ÷ K
단계화 개수(N) = 평균변곡압력 ÷ 단위압력당변화시간
따라서, 평균변곡압력 = 580Kpa로 구해지고, 단위압력당변화시간이 100msec로 구해지는 경우 단계화 개수는 5.8이 되고, 5.8을 반올림시켜 6이 단계화 개수 N이 된다.
상기와 같이 단계화 개수 N을 산출한 후에는, 가속되거나 감속되는 구간에서 페이스트 도포할 가속도를 산출하는 과정을 갖는다(S602).
가속되거나 감속되는 구간에서의 도포 가속도를 산출하기 위하여 우선, 총 가감속 시간을 산출한 후, 이를 이용해 가속되거나 감속되는 구간에서 도포 가속도를 산출한다. 산출식은 하기와 같다.
특정 가감속 구간에서의 가감속 총 시간(T) = 압력 가감속 스텝 갯수(N) × 단위압력당변화시간(msec)
도포 가속도(A) = 가감속 구간 거리(S) ÷ 해당 가감속 구간에서의 총 가감속 시간(T) × 해당 가감속 구간에서의 총 가감속 시간(T)
압력 가감속이 이루어지는 전체 스텝 개수에 단위압력당변화시간을 곱하면, 해당 가감속 구간에서의 가감속 총 시간을 산출할 수 있다.
예를 들어, 총 10개의 단계로로 감압이 이루어지며 한번의 단위압력당변화시간이 1mec 소요된다고 가정하면, 곡선부 감속 시작점(C1)부터 곡선부 진입점(C2)까지 디스펜서 이동이 이루어질 때 직선부의 정속도 압력에서 곡선부의 곡선부 압력으로 감압이 이루어지는 총 가감속 시간(T)은 10msec가 소요된다.
따라서 도포 가속도(A)는, 곡선부 감속 시작점(C1)부터 곡선부 진입점(C2)까지의 거리 ÷ 10msec × 10msec에 의해 구해질 수 있다.
하기는 총 가감속 시간(T)가 10msec가 소요된다고 가정할 때, 곡선부 감속 시작점(C1)부터 곡선부 진입점(C2)까지의 거리에 따라 달리 맵핑되는 도포 가속도를 도시한 테이블이다.
총 가감속 시간(T) 코너감속 시작점부터 코너 진입점까지의 거리(S) 도포 가속도(A) = S/T2

10ms
 1cm 0.01[cm/ms2]
2cm 0.02[cm/ms2]
3cm 0.03[cm/ms2]
상기와 같이 단계화 개수 및 가속도가 산출되면, 이에 따라서 가속되거나 감속되는 구간에서 도포압력을 단계별로 변화시키면서 상기 산출된 도포 가속도로서 페이스트 도포를 수행한다(S603).
가속되거나 감속되는 구간에서 가속도 제어 모습을 살펴보면, 곡선부 진입점(C2)으로부터 1cm 이전의 지점을 곡선부 감속 시작점(C1)으로 하여 감속하고자 하는 경우, 0.01[cm/ms2]의 가속도로서 감속시켜 나간다.
마찬가지로, 곡선부 진입점(C2)으로부터 2cm 이전의 지점을 곡선 감속 시작점(C1)으로 하여 감속하고자 하는 경우 0.02[cm/ms2]의 가속도로서 감속시키며, 곡선부 진입점(C2)로부터 3cm 이전의 지점을 곡선부 감속 시작점(C1)으로 하여 감속하고자 하는 경우 0.03[cm/ms2]의 가속도로서 감속한다.
또한, 가속되거나 감속되는 구간에서는 도 7(c)에 도시한 바와 같이 산출된 단계 개수 N개로서 해당 구간을 단계별로 도포압력을 시키는 제어를 수행한다.
한편, 본 발명의 실시예는 상기 설명한 곡선부의 가속되거나 감속되는 구간 이외에도 페이스트 도포가 시작되는 가속구간 및 도포가 종료되는 감속구간에서도 마찬가지로 도포압력이 단계화되어 변화될 수 있음은 자명할 것이다.
또한, 본 발명의 실시예는 하나의 기판에 복수개의 디스펜서를 이용해 페이스트를 도포하는 것을 설명하였으나, 단일 기판에 페이스트를 도포하는 경우에도 적용될 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 실시예는 상기 패턴 형태 이외에도, 곡선 및 직선을 가지는 페이스트 패턴이라면 본 발명이 적용될 수 있음은 자명할 것이다.
본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.
도 1은 페이스트 패턴을 도시한 그림이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 도포장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 디스펜서의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 도포장치의 블록도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 페이스트 도포 시의 도포 가속도를 도시한 그림이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포 방법을 도시한 플로차트이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포속도 및 단계별 도포압력 조절 모습을 도시한 그림이다.

Claims (10)

  1. 기판을 마련하는 과정;
    상기 기판에 페이스트를 도포하는 과정을 포함하고,
    페이스트 도포 속도가 가속되거나 감속되는 구간을 가지며, 상기 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력 변화가 N개의 단계로서 단계별로 진행됨을 특징으로 하는 도포장치의 도포방법.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 페이스트를 도포하는 과정은,
    페이스트 도포의 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력 변화를 단계화할 단계화 개수 N을 산출하는 과정;
    상기 가속되거나 감속되는 구간에서의 페이스트 도포 가속도를 산출하는 과정; 및
    상기 가속되거나 감속되는 구간에서의 도포압력을 상기 N개의 단계별로 변화시키면서, 상기 산출된 도포 가속도로서 페이스트를 도포하는 과정
    을 포함하는 도포장치의 도포방법.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 가속되거나 감속되는 구간은, 페이스트 도포 시작점에서 가속되어 직선부의 정속도 도달할 때까지의 시작 구간, 직선부의 정속도에서 감속되어 페이스트 도포 종료점에 이르기까지의 종료 구간, 곡선 부 감속 시작점에서부터 곡선부 진입점까지의 곡선부 진입 구간, 곡선부 종료점에서부터 곡선부 가속 종료점까지의 곡선부 이탈 구간 중 어느 하나 이상을 포함하는 도포장치의 도포방법.
  4. 청구항 3에 있어서, 다수의 디스펜서에 대한 정속도 압력과 가감속종료 압력간의 차이값의 평균인 평균변곡압력을 단위압력당변화시간으로 나누어서 단계화 개수 N개를 산출하는 도포장치의 도포방법.
  5. 청구항 2에 있어서, 상기 도포 가속도를 산출하는 과정은,
    상기 단계별로 압력 변화한 전체의 총 소요시간을 산출하는 과정;
    가감속 구간 ÷ (총 소요시간 × 총 소요시간)으로서 가감속 구간에서의 도포 가속도를 산출하는 과정
    을 포함하는 도포장치의 도포방법.
  6. 청구항 5에 있어서, 상기 총 소요시간은, 단계화 개수(N) × 단위압력당변화시간에 의해 산출됨을 특징으로 하는 도포장치의 도포방법.
  7. 청구항 5에 있어서, 상기 도포 가속도를 산출하는 과정은, 가속되가나 감속되는 구간의 길이를 달리하여 각 길이별로 도포 가속도를 산출하여 맵핑시키는 도포장치의 도포방법.
  8. 시린지에 담긴 페이스트가 가스압력에 의해 도포되는 적어도 하나 이상의 디스펜서;
    가스압력의 양을 조절하여 상기 시린지로 제공하는 압력조절부;
    상기 디스펜서를 이송시키는 이송부; 및
    페이스트 도포속도를 가속시키거나 감속시키도록 상기 이송부를 제어하며, 도포속도가 가속되거나 감속되는 구간에서 도포압력을 단계별로 가압 또는 감압시키도록 압력조절부를 제어하는 제어부
    를 포함하는 도포장치.
  9. 청구항 8에 있어서, 상기 제어부는,
    페이스트 도포의 시작점, 종료점, 곡선부 진입전, 곡선부 이탈후에는 도포 속도를 일정 기간동안 가속시키거나 감속시키며, 도포 속도가 가속되거나 감속되는 구간에서는 도포압력을 단계화 개수 N개의 단계로서 단계별로 가압 또는 감압시키는 도포장치.
  10. 청구항 9에 있어서, 다수의 디스펜서에 대한 직선부에서의 압력과 가감속종료 압력간의 차이값의 평균인 평균변곡압력을 단위압력당변화시간으로 나누어서 단계화 개수 N개를 산출하는 도포장치.
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