JP6779682B2 - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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そこで、塗布装置は、前記塗布器又は前記供給流路に接続されていると共に前記吐出口側に流れる塗布液を吸引する吸引手段を、更に備えているのが好ましい。
例えば、塗布休止の際、ポンプから塗布液が塗布器に向かって送られるのを停止すると共に、前記吸引手段によって吐出口側に流れる塗布液を吸引することで、塗布器と被塗布部材とを離さなくても、塗布液のビードを迅速に破壊して塗布休止が可能となる。このように塗布器と被塗布部材とを離さなくて済むことから、次の塗布開始までの間に、そのための動作時間が不要となり、塗布間欠部をより一層短くすることが可能となる。
例えば、塗布開始の際、ポンプから塗布液を送り出している状態で、かつ、タンクに溜められている塗布液を加圧した状態で、前記開閉バルブの開動作によって、塗布器への塗布液の供給が開始されると、塗布器には、ポンプによる塗布液の供給の他に、タンク側からの塗布液の余剰的な供給が成される。このため、塗布開始の際、塗布器と被塗布部材とを接近させなくても、塗布液のビードの形成が適切かつ迅速に行われる。このように、塗布を開始するために、塗布器と被塗布部材とを接近さなくて済むことから、この接近のための動作時間が不要となり、塗布間欠部をより一層短くすることが可能となる。
この場合、開閉バルブを閉じることでポンプから塗布液が塗布器に向かって送られるのを停止すると共に、吐出口側に流れる塗布液が吸引されることで、塗布器と被塗布部材とを離さなくても、塗布液のビードを迅速に破壊して塗布休止が可能となる。このように塗布器と被塗布部材とを離さなくて済むことから、次の塗布開始までの間に、そのための動作時間が不要となり、塗布間欠部をより一層短くすることが可能となる。
この場合、ポンプから塗布液を送り出している状態で、かつ、タンクに溜められている塗布液が加圧された状態で、前記開閉バルブの開動作によって、塗布器への塗布液の供給が開始されると、塗布器には、ポンプによる塗布液の供給の他に、タンク側からの塗布液の余剰的な供給が成される。このため、塗布開始の際、塗布器と被塗布部材とを接近させなくても、塗布液のビードの形成が適切かつ迅速に行われる。このように、塗布を開始するために、塗布器と被塗布部材とを接近さなくて済むことから、この接近のための動作時間が不要となり、塗布間欠部をより一層短くすることが可能となる。
図1は、塗布装置5の概略構成を示す模式図である。この塗布装置5は、被塗布部材に塗布液を吐出して塗膜を形成するための装置である。本実施形態における被塗布部材は帯状の基板Wであり、塗布装置5が行う塗布動作により、この基板W上に塗布液による塗膜C1,C2が形成される。塗布装置5は、塗布器10(ノズル、スリットダイともいう)を備えており、この塗布器10から塗布液を吐出し、基板Wの上面に塗布液を塗布する。基板Wの上面が、塗布液が塗布される被塗布面となり、この被塗布面が上向きとなる姿勢で基板Wはステージ9上に支持され、その状態で塗布が行われる。
供給流路60は、塗布液を流す配管からなり、ポンプ30(接続部30a)から塗布器10までの下流側流路60aと、ポンプ30(接続部30a)から第三開閉バルブ33までの上流側流路60bとを有している。
また、前記圧送の終了のために、第五開閉バルブ35を開状態とし(図3の時刻t4)、吸引手段40によって塗布液を短時間について吸引し、これにより、前記余剰吐出を抑制している(図8参照)。つまり、前記余剰吐出を抑制するために、第五開閉バルブ35を(時刻t4で)開状態とした後、(時刻t5で)第四開閉バルブ34を閉じることにより、吸引手段40が吸引を行うための流路を遮断している。
以上により、一つの基板Wに対して複数の塗膜C1,C2が塗布間欠部dを有して形成される。
定常塗布工程(図4参照):並列の配置にある複数の開閉バルブ31,32の内の一つである第二開閉バルブ32を開とし、残りの第一開閉バルブ31を閉とした状態で、ポンプ30から塗布器10へ塗布液を一定量で供給する。
塗布休止工程(図5、図6参照):前記定常塗布工程において、閉状態にあった第一開閉バルブ31はそのまま閉で、開状態にあった第二開閉バルブ32を閉じることで塗布を一旦休止する。
塗布開始工程(図7、図8参照):前記塗布休止工程で閉じた第二開閉バルブ32はそのまま閉状態で、前記定常塗布工程において閉状態であった第一開閉バルブ31を開き、ポンプ30により塗布器10に塗布液を一定量で供給する。
このように、一つの基板Wに対して複数の塗膜C1,C2を形成する場合において、塗布間欠部dを短くすることが可能であることから、この基板Wを用いた製品の製造において、歩留まりの向上が図れる。
すなわち、制御部50は、第一開閉バルブ31が閉じた状態で第二開閉バルブ32を開状態から閉じるための指令信号を、時刻taで出力すると共に、この第二開閉バルブ32が閉動作している途中、閉動作完了時、又は閉動作完了直後に、第一開閉バルブ31を開くために指令信号を出力することができる。
そこで、本実施形態の塗布休止工程では、塗布を一旦休止するために、図5及び図6に示すように、塗布器10の吐出口11側に流れる塗布液を前記吸引手段40によって吸引しながら、第二開閉バルブ32を閉じている。
これにより、第二開閉バルブ32を閉じることでポンプ30から塗布液が塗布器10に向かって送られるのを停止すると共に、吐出口11側に流れる塗布液を吸引することで、塗布器10を基板Wから高さ方向に離さなくても、塗布液のビードBを迅速に破壊して塗布休止が可能となる。このように本実施形態の場合、塗布器10を基板Wから離さなくて済むことから、次の塗布開始までの間に、そのための動作時間が不要となり、塗布間欠部dをより一層短くすることが可能となる。また、吸引手段40の前記吸引により、余分な塗布液が吐出されず、図10に示すように、一番目の塗膜C1の終端における膜厚不良部81の範囲を小さくすることが可能となる。
これは、塗布間欠部dをより一層短くするためである。すなわち、塗布開始の際、ポンプ30から塗布液を送り出している状態で、かつ、タンク45に溜められている塗布液を加圧した状態で、開閉バルブ31が開動作することによって、塗布器10へ塗布液の供給が開始されると、塗布器10には、ポンプ30による塗布液の定量的な供給の他に、タンク45側からの塗布液の余剰的な供給が成される。このため、図7に示すように、塗布開始の際、塗布器10を基板Wに高さ方向に接近させなくても、塗布液のビードBの形成が適切かつ迅速に行われる。このように、塗布を開始するために、塗布器10を基板Wに接近さなくて済むことから、この接近のための動作時間が不要となり、塗布間欠部dをより一層短くすることが可能となる。また、吐出口11から塗布液の余剰吐出が行われることで、図10に示すように、二番目の塗膜C2の始端のための塗布液不足を抑制することができ、膜厚不良部82の範囲を小さくすることが可能となる。
例えば三つとする場合、前記実施形態のとおり、一旦、塗布液の供給をやめて塗布を休止し、その後、塗布液の供給を再開して塗布を開始した後、直ぐに塗布液の供給をやめて塗布を休止する場合に好適である。つまり、二番目以降の塗膜の長さを短くする場合、並列に配置した三つの開閉バルブをそれぞれ所定のタイミングで開閉動作させればよい。
10:塗布器
11:吐出口
20:移動手段
30:ポンプ
31:第一開閉バルブ
32:第二開閉バルブ
40:吸引手段
45:タンク
46:圧力調整手段
50:制御部
60:供給流路
70:供給手段
W:基板(被塗布部材)
Claims (6)
- 被塗布部材の被塗布面に対して塗布液を吐出する吐出口を有する塗布器と、前記塗布器と前記被塗布部材とを相対的に移動させる移動手段と、前記塗布器に塗布液を供給する供給手段と、を備え、
前記供給手段は、前記塗布器に繋がる供給流路と、前記供給流路を通じて前記塗布器に塗布液を供給するポンプと、前記供給流路の前記ポンプと前記塗布器との間において並列に配置されている複数の開閉バルブと、を有し、
前記複数の開閉バルブの開閉動作を制御する制御部を、更に備え、
前記制御部は、前記複数の開閉バルブの内の、第一の開閉バルブが閉じた状態で第二の開閉バルブを開状態から閉じるための指令信号を出力すると共に、当該第二の開閉バルブが閉動作している途中、閉動作完了時、又は閉動作完了直後に、前記第一の開閉バルブを開くために指令信号を出力する、塗布装置。 - 前記塗布器又は前記供給流路に接続されていると共に前記吐出口側に流れる塗布液を吸引する吸引手段を、更に備えている、請求項1に記載の塗布装置。
- 前記塗布器又は前記供給流路に接続され塗布液を溜めるタンクと、当該タンクに溜められている塗布液を加圧可能とさせる圧力調整手段と、を更に備えている、請求項1又は2に記載の塗布装置。
- ポンプから塗布器までの供給流路に第一の開閉バルブと第二の開閉バルブとが並列に配置されている塗布装置によって、当該塗布器と被塗布部材とを相対移動させながら、当該被塗布部材に対して塗布液を間欠塗布する方法であって、
並列の配置にある前記第一の開閉バルブ及び第二の開閉バルブの内の第二の開閉バルブを開とし、第一の開閉バルブを閉とした状態で、前記ポンプから前記塗布器へ塗布液を供給する定常塗布工程と、
前記定常塗布工程において開状態にあった前記第二の開閉バルブを閉じることで塗布を一旦休止する塗布休止工程と、
前記塗布休止工程のために前記第二の開閉バルブが閉動作している途中、閉動作完了時、又は閉動作完了直後に、前記定常塗布工程において閉状態であった前記第一の開閉バルブを開き、前記ポンプにより前記塗布器に塗布液を供給する塗布開始工程と、
を含む、塗布方法。 - 前記塗布休止工程では、塗布を一旦休止するために、前記塗布器の吐出口側に流れる塗布液を吸引しながら前記開閉バルブを閉じる、請求項4に記載の塗布方法。
- 前記塗布開始工程では、前記供給流路に接続されかつ塗布液を溜めているタンクの当該塗布液を加圧した状態で、前記開閉バルブの一つを開く、請求項4又は5に記載の塗布方法。
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