JP5269130B2 - 基板処理装置及び処理液供給方法 - Google Patents
基板処理装置及び処理液供給方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5269130B2 JP5269130B2 JP2011055738A JP2011055738A JP5269130B2 JP 5269130 B2 JP5269130 B2 JP 5269130B2 JP 2011055738 A JP2011055738 A JP 2011055738A JP 2011055738 A JP2011055738 A JP 2011055738A JP 5269130 B2 JP5269130 B2 JP 5269130B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- processing liquid
- nozzle
- liquid supply
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
- B05C5/0237—Fluid actuated valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0245—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to a moving work of indefinite length, e.g. to a moving web
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/168—Finishing the coated layer, e.g. drying, baking, soaking
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
Description
このフォトリソグラフィ工程では、ガラス基板等の被処理基板に所定の膜を成膜した後、処理液であるフォトレジスト(以下、レジストと呼ぶ)が塗布されレジスト膜(感光膜)が形成される。そして、回路パターンに対応して前記レジスト膜が露光され、これが現像処理され、パターン形成される。
この方法を用いた従来のレジスト塗布装置について、図7を用いて簡単に説明する。
図7に示すレジスト塗布装置200は、基板Gがその上を搬送される長尺のステージ201と、このステージ201の上方に配設されるレジスト供給ノズル202と、ステージ201の長手方向(X方向)に沿って基板Gを搬送する基板搬送手段203とを具備している。レジスト供給ノズル202には、基板の幅方向(Y方向)に延びる微小隙間を有するスリット状の吐出口202aが設けられ、レジスト液供給源204からポンプ205を介して供給されたレジスト液が吐出口202aから吐出される構成となっている。
図8を用いて説明すると、レジスト供給源204は、レジスト液Rを貯留するボトル210と、このボトル210のレジスト液Rを吸引するポンプ205と、ボトル210とポンプ205とを接続する吸入管211とを備える。
また、レジスト液Rが充填されたポンプ205は、レジスト液供給管212を介してノズル202にレジスト液Rを供給するようになっている。
また、ポンプ205の動作、及びバルブV1、V2の動作は制御部215によって制御される構成となっている。
そして、次に塗布処理を行う基板がある場合に(図9のステップSt3)、ステップSt4において、ボトル210からレジスト液Rが圧送されると共にポンプ205の吸引動作がなされ、これにより吸入管211を介してポンプ205に新たにレジスト液Rが充填される(レジスト液Rのリロード工程が完了する)。
また、リロード工程が完了すると、バルブV1が開かれてバルブV2が閉じられ(図9のステップSt5)、再び、ステップSt1の塗布処理が行われる。
その結果、リロード工程に長い時間を要するため、枚葉処理される基板間の処理時間間隔(塗布処理完了後から次の基板Gへの塗布処理開始までの時間間隔)が長くなり、生産効率が低下するという課題があった。
したがって、枚葉処理される基板間の処理時間間隔(塗布処理完了後から次の基板への塗布処理開始までの時間間隔)を従来よりも短縮することができ、生産効率を向上することができる。
或いは、前記制御手段は、前記第一のバルブを閉じると共に前記第二のバルブを開き、前記ポンプに、前記吸入管を介して前記処理液供給源から処理液を吸入させ、前記第一のバルブを開くと共に前記第二のバルブを閉じて、前記ポンプにより所定量の処理液を吸引させるようにしてもよい。
即ち、これによりノズルへの余分な処理液の供給を抑制し、塗布処理時の不具合の発生を防止することができる。
したがって、枚葉処理される基板間の処理時間間隔(塗布処理完了後から次の基板への塗布処理開始までの時間間隔)を従来よりも短縮することができ、生産効率を向上することができる。
或いは、前記第一のバルブを開くと共に前記第二のバルブを閉じて、前記ノズルの吐出口から前記プライミングローラに所定量の処理液を吐出させるステップの後、前記プライミング処理部により前記プライミングローラを回転開始させるステップと、前記第一のバルブを閉じると共に前記第二のバルブを開くステップと、前記ポンプに、前記吸入管を介して前記処理液供給源から処理液を吸入させるステップと、前記第一のバルブを開くと共に前記第二のバルブを閉じるステップと、前記ポンプにより所定量の処理液を吸引するステップとを実施してもよい。
即ち、これによりノズルへの余分な処理液の供給を抑制し、塗布処理時の不具合の発生を防止することができる。
図1に示すレジスト供給部30は、少なくとも塗布処理1回分(基板1枚分)のレジスト液Rを充填可能なレジストポンプ22と、このレジストポンプ22とノズル11とを接続するレジスト液供給管23とを備えている。
塗布処理時においては、レジストポンプ22よりレジスト液Rがレジスト液供給管23を介してノズル11に圧送され、ノズル11から基板G上にレジスト液Rが吐出されるようになされている。
前記レジストポンプ22は、例えばシリンジポンプからなり、ポンプ室を有するポンプ本体22aと、ポンプ室の容積を任意に変えるためのプランジャ22bと、このプランジャ22bを往復運動させるためのポンプ駆動部22cとを有している。
即ち、前記バルブV1は、図2(a)、図2(b)に示すように、円筒状に形成されたシリンダ16を備え、このシリンダ16の側部にレジスト液供給管23の流入側端部23aが接続され、シリンダ16の底部中央にレジスト液供給管23の流出側端部23bが接続されている。
一方、バルブV1の閉弁時にあっては、図2(b)に示すようにピストンロッド19の駆動によりニードル部17及びピストン18が下方に移動され、ニードル部17が流出側端部23bを閉じる。
前記ボトル20は密閉されており、ボトル内の液面へ向けてガス管27より圧送ガス(例えばN2ガス)が一定の圧力で供給されるようになっている。また、ガス管27には、例えばエアオペレートバルブからなるバルブV3が設けられている。
このプライミングユニット36は、円柱状または円筒状のプライミングローラ35を有し、このプライミングローラ35は軸周りに回転可能に設けられている。また、プライミングユニット36は、プライミング駆動部37の駆動によって、ノズル11の下方に進退可能に設けられている。
これにより、スリット状のノズル吐出口11aに付着しているレジスト液Rが整えられるように構成されている。
また、基板Gは、基板保持部7によって保持され、塗布処理時にあっては、前記基板保持部7が設けられたスライダ6が、搬送駆動部8の駆動によってレール5に沿ってノズル11の下方を移動し、それにより基板Gの上面をノズル11が相対的に走査するようになされている。
また、レジスト供給部30の各部と、プライミング処理ユニットと、ノズル昇降部13と、搬送駆動部8とは、制御部10(制御手段)によって駆動制御される構成となっている。
複数の基板Gに対するレジスト液Rの塗布処理を枚葉処理で行う場合、最初に、ノズル吐出口11aに付着したレジスト液Rを整えるプライミング処理が行われる。
このプライミング処理にあっては、プライミング駆動部37の駆動により、プライミングユニット36がノズル11直下に移動される。また、制御部10の制御によりバルブV2が閉じられ、バルブV1が開かれた状態となされる。
次にプライミングローラ35が所定方向に回転開始され、プライミング処理が開始される(図3のステップS2)。
そして、バルブV3が開かれてN2ガスがボトル20に送出され、ポンプ駆動部22cの駆動によってポンプ22は吸引動作を行う。即ち、ポンプ本体22aに塗布処理1回分のレジスト液Rが吸入されるリロード工程が行われる(図3のステップS4)。このリロード工程は、前記プライミングローラ35の回転動作が終了するまでに完了する。
プライミング処理が終了すると、プライミング駆動部37の駆動により、プライミングユニット36がノズル11の下方から退避される。
また、ノズル昇降部13の駆動によりノズル11が下降移動して、吐出口11aが基板Gに近接される。
また、制御部10の制御によりバルブV1が開かれると共にバルブV2が閉じられ(図3のステップS6)、ノズル吐出口11aから所定量のレジスト液Rが基板G上に吐出される(図3のステップS7)。これにより、ノズル先端のレジスト液Rが基板Gに着液し、吐出口11aと基板Gの上面とがレジスト液Rで繋がった状態になされる。
塗布処理が終了すると、その基板Gは後段の処理部に搬出され、次の基板Gが有る場合には(図3のステップS9)、再びプライミング処理(図3のステップS1)以降の処理が繰り返される。
このため、前記リロード工程は、プライミングローラ35の回転動作と並行して行われるが、リロード工程に要する時間よりも、プライミングローラの回転動作の所要時間が長いため(プライミング処理時間が長いため)、プライミング処理の終了前にリロード工程を完了させることができる。
したがって、枚葉処理される基板間の処理時間間隔(塗布処理完了後から次の基板への塗布処理開始までの時間間隔)を従来よりも短縮することができ、生産効率を向上することができる。
図4は、レジスト供給部30の第二の実施形態の構成を示すブロック図である。図4に示すレジスト供給部30にあっては、図1に示した構成に対し、バルブV4を追加した構成となる。
このバルブV4は、バルブV1と同じ構成であって、バルブV1とノズル11との間にカウンタバランスバルブとして設けられる。これにより、ノズル吐出口11aに付着しているレジスト液Rの状態を均一に保つことが出来る。
即ち、ノズル吐出口11aの両端部にレジスト液Rの段差R1を生じさせることがなく、レジスト液Rの状態を均一に保つことが出来る。
尚、このバルブV4を設ける場合には、その他のバルブV1の開閉動作の際にも、その動作に同期して、バルブV1とは逆の開閉動作を行うよう制御することが望ましい。
図6(a)、図6(b)は、この第三の実施形態におけるバルブV1の構成を示す断面図である。
図6(a)はバルブが開いた状態を示し、図6(b)はバルブが閉じた状態を示している。図示するように、このバルブV1は、第一の実施形態において図2に示した構成に対し、ピストン18に代えてダイアフラム25を備える。
この構成において、バルブV1の開弁時にあっては、図6(a)に示すようにピストンロッド19の駆動によりニードル部17及びダイアフラム25が撓みながら上方に移動され、レジスト液供給管23の流入側端部23aと流出側端部23bとが連通する。
一方、バルブV1の閉弁時にあっては、図6(b)に示すようにピストンロッド19の駆動によりニードル部17及びダイアフラム25が撓みながら下方に移動され、ニードル部17が流出側端部23bを閉じる。
即ち、図6に示すバルブV1の構成によれば、図3のステップS3において、バルブV1を閉じる動作が行われても、シリンダ10内の容積を殆ど変化させずに、流出側端部23bを閉じることができる。このため、図5(b)に示したレジスト液Rの段差R1の発生を防止することができる。
即ち、塗布処理のために図3のステップS6においてバルブV1を開いた後、ポンプ22を吸引動作(サックバック)させ、バルブV1からノズル11に余分に供給された量のレジスト液Rを吸引させてもよい。
11 ノズル
11a ノズル吐出口
20 ボトル(処理液供給源)
21 吸入管(処理液供給源)
23 レジスト液供給管(処理液供給管)
35 プライミングローラ
36 プライミング処理部
G ガラス基板(被処理基板)
R レジスト液(処理液)
V1 バルブ(第一のバルブ)
V2 バルブ(第二のバルブ)
Claims (8)
- 被処理基板に対しスリット状の吐出口を有するノズルから処理液を供給し、所定の塗布膜を形成する基板処理装置であって、
前記ノズルの下方に進退自在に設けられ、前記ノズルの吐出口から所定量の処理液が吐出されたプライミングローラを回転させることにより、前記ノズルの吐出口に付着した処理液を整えるプライミング処理部と、処理液が充填可能であって、充填された処理液を、処理液供給管を介して前記ノズルに供給するポンプと、前記ポンプに、吸入管を介して処理液を供給可能な処理液供給源と、前記処理液供給管に設けられ、処理液の流路を開閉する第一のバルブと、前記吸入管に設けられ、処理液の流路を開閉する第二のバルブと、前記プライミング処理部と前記ポンプと前記処理液供給源と前記第一のバルブと前記第二のバルブの動作制御を行う制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記第一のバルブを開くと共に前記第二のバルブを閉じて、前記ノズルの吐出口から前記プライミングローラに所定量の処理液を吐出させ、
前記プライミング処理部において前記プライミングローラを回転させる一方、前記第一のバルブを閉じると共に前記第二のバルブを開き、前記ポンプに、前記吸入管を介して前記処理液供給源から処理液を吸入させることを特徴とする基板処理装置。 - 前記第一のバルブと前記ノズルとの間の前記処理液供給管に設けられ、前記第一のバルブが閉じられた際に前記処理液供給管に流れる所定量の処理液を吸引可能なカウンタバランスバルブを備え、
前記制御手段は、
前記第一のバルブを閉じると共に前記第二のバルブを開き、且つ前記カウンタバランスバルブを開いた状態で、前記ポンプに、前記吸入管を介して前記処理液供給源から処理液を吸入させることを特徴とする請求項1に記載された基板処理装置。 - 前記第一のバルブは、
前記処理液供給管の流入側端部と流出側端部とが接続されたシリンダと、前記シリンダ内において前記流出側端部を開閉自在に設けられた弁体と、前記弁体の変位動作に伴い撓曲し、前記シリンダ内における処理液の流路を形成するダイアフラムとを有し、
前記制御手段は、
前記第一のバルブを閉じると共に前記第二のバルブを開き、前記ポンプに、前記吸入管を介して前記処理液供給源から処理液を吸入させることを特徴とする請求項1に記載された基板処理装置。 - 前記制御手段は、
前記第一のバルブを閉じると共に前記第二のバルブを開き、前記ポンプに、前記吸入管を介して前記処理液供給源から処理液を吸入させ、
前記第一のバルブを開くと共に前記第二のバルブを閉じて、前記ポンプにより所定量の処理液を吸引させることを特徴とする請求項1に記載された基板処理装置。 - 被処理基板に対しスリット状の吐出口から処理液を吐出するノズルと、前記ノズルの下方に進退自在に設けられ、前記ノズルの吐出口から所定量の処理液が吐出されたプライミングローラを回転させることにより、前記ノズルの吐出口に付着した処理液を整えるプライミング処理部と、処理液が充填可能であって、充填された処理液を、処理液供給管を介して前記ノズルに供給するポンプと、前記ポンプに、吸入管を介して処理液を供給可能な処理液供給源と、前記処理液供給管に設けられ、処理液の流路を開閉する第一のバルブと、前記吸入管に設けられ、処理液の流路を開閉する第二のバルブとを具備する基板処理装置において、処理液を前記ノズルに供給した前記ポンプに対し、新たに処理液を充填させる処理液供給方法であって、
前記第一のバルブを開くと共に前記第二のバルブを閉じて、前記ノズルの吐出口から前記プライミングローラに所定量の処理液を吐出させるステップと、
前記プライミング処理部により前記プライミングローラを回転させる一方、前記第一のバルブを閉じると共に前記第二のバルブを開き、前記ポンプに、前記吸入管を介して前記処理液供給源から処理液を吸入させるステップとを含むことを特徴とする処理液供給方法。 - 前記第一のバルブと前記ノズルとの間の前記処理液供給管に設けられ、前記第一のバルブが閉じられた際に前記処理液供給管に流れる所定量の処理液を吸引可能なカウンタバランスバルブとを備える前記基板処理装置において、
前記第一のバルブを開くと共に前記第二のバルブを閉じて、前記ノズルの吐出口から前記プライミングローラに所定量の処理液を吐出させるステップの後、
前記プライミング処理部により前記プライミングローラを回転開始させるステップと、
前記第一のバルブを閉じると共に前記第二のバルブを開き、且つ前記カウンタバランスバルブを開くステップと、
前記ポンプに、前記吸入管を介して前記処理液供給源から処理液を吸入させるステップとを実施することを特徴とする請求項5に記載された処理液供給方法。 - 前記第一のバルブは、前記処理液供給管の流入側端部と流出側端部とが接続されたシリンダと、前記シリンダ内において前記流出側端部を開閉自在に設けられた弁体と、前記弁体の変位動作に伴い撓曲し、前記シリンダ内における処理液の流路を形成するダイアフラムとを有する前記基板処理装置において、
前記第一のバルブを開くと共に前記第二のバルブを閉じて、前記ノズルの吐出口から前記プライミングローラに所定量の処理液を吐出させるステップの後、
前記プライミング処理部により前記プライミングローラを回転開始させるステップと、
前記第一のバルブを閉じると共に前記第二のバルブを開くステップと、
前記ポンプに、前記吸入管を介して前記処理液供給源から処理液を吸入させるステップとを実施することを特徴とする請求項5に記載された処理液供給方法。 - 前記第一のバルブを開くと共に前記第二のバルブを閉じて、前記ノズルの吐出口から前記プライミングローラに所定量の処理液を吐出させるステップの後、
前記プライミング処理部により前記プライミングローラを回転開始させるステップと、
前記第一のバルブを閉じると共に前記第二のバルブを開くステップと、
前記ポンプに、前記吸入管を介して前記処理液供給源から処理液を吸入させるステップと、
前記第一のバルブを開くと共に前記第二のバルブを閉じるステップと、
前記ポンプにより所定量の処理液を吸引するステップとを実施することを特徴とする請求項5に記載された処理液供給方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011055738A JP5269130B2 (ja) | 2011-03-14 | 2011-03-14 | 基板処理装置及び処理液供給方法 |
KR1020120021100A KR101827579B1 (ko) | 2011-03-14 | 2012-02-29 | 기판 처리 장치 및 처리액 공급방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011055738A JP5269130B2 (ja) | 2011-03-14 | 2011-03-14 | 基板処理装置及び処理液供給方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012191141A JP2012191141A (ja) | 2012-10-04 |
JP5269130B2 true JP5269130B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=47083943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011055738A Active JP5269130B2 (ja) | 2011-03-14 | 2011-03-14 | 基板処理装置及び処理液供給方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5269130B2 (ja) |
KR (1) | KR101827579B1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6512894B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2019-05-15 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法 |
JP6576217B2 (ja) * | 2015-11-10 | 2019-09-18 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法 |
CN111687003B (zh) * | 2020-06-29 | 2021-09-14 | 上海德沪涂膜设备有限公司 | 高粘度材料的涂膜装置和涂膜方法 |
CN112427236A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-03-02 | 上海卫星装备研究所 | 适用于航天器柔性加热器的均匀涂胶设备 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3483461B2 (ja) * | 1997-04-01 | 2004-01-06 | 宮崎沖電気株式会社 | レジスト吐出システムとレジスト吐出方法 |
JP3990567B2 (ja) | 2001-12-18 | 2007-10-17 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ダイヤフラムバルブ、基板処理ユニットおよび基板処理装置 |
JP4422006B2 (ja) * | 2004-12-08 | 2010-02-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及び処理液供給方法及び処理液供給プログラム |
JP4578381B2 (ja) * | 2005-10-19 | 2010-11-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布方法及び塗布装置 |
JP4516034B2 (ja) * | 2006-02-03 | 2010-08-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布方法及び塗布装置及び塗布処理プログラム |
JP2008038837A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Saginomiya Seisakusho Inc | 定量送液ポンプおよびそれを用いた薬液塗布装置 |
JP4701257B2 (ja) * | 2008-03-03 | 2011-06-15 | 日本ピラー工業株式会社 | 液体ポンプシステム |
-
2011
- 2011-03-14 JP JP2011055738A patent/JP5269130B2/ja active Active
-
2012
- 2012-02-29 KR KR1020120021100A patent/KR101827579B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101827579B1 (ko) | 2018-03-22 |
KR20120104935A (ko) | 2012-09-24 |
JP2012191141A (ja) | 2012-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4564454B2 (ja) | 塗布方法及び塗布装置及び塗布処理プログラム | |
JP5269130B2 (ja) | 基板処理装置及び処理液供給方法 | |
JP6490409B2 (ja) | 塗布装置、塗布方法、及びディスプレイ用部材の製造方法 | |
KR101845090B1 (ko) | 도포막 형성 장치 및 도포막 형성 방법 | |
JP4516034B2 (ja) | 塗布方法及び塗布装置及び塗布処理プログラム | |
JP2014180604A (ja) | 間欠塗布装置および間欠塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
KR20060064541A (ko) | 처리 장치 및 처리액 공급 방법 및 처리액 공급 프로그램 | |
JP4366757B2 (ja) | 塗布装置、塗布方法ならびにプラズマディスプレイまたはディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2014022545A (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
TWI508790B (zh) | Coating device | |
JP2002086044A (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材およびプラズマディスプレイの製造方法およびその製造装置 | |
TW201534400A (zh) | 塗層裝置 | |
JP2006059844A (ja) | 減圧乾燥装置 | |
JP2008114137A (ja) | 塗布器、塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造装置および製造方法 | |
JP2011125779A (ja) | 塗布方法および塗布装置 | |
TW201534403A (zh) | 用於防止分配器中的液體凝聚的方法以及設備 | |
JP6860357B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
JP2011177707A (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2000153199A (ja) | 塗布装置および塗布方法並びにプラズマディスプレイの製造方法および製造装置 | |
JP2019171271A (ja) | 塗布装置、塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法 | |
JPH09173939A (ja) | 塗布装置および塗布方法ならびにカラーフィルタの製造装置および製造方法 | |
TWI531416B (zh) | 液處理裝置及噴嘴之起動注給處理方法 | |
JP2001062371A (ja) | 塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および方法 | |
JP2000157905A (ja) | 塗布装置および塗布方法並びにプラズマディスプレイ用部材の製造方法および製造装置 | |
JP2012192332A (ja) | 塗布装置、塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130408 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130415 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5269130 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |