JP6512894B2 - 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法 - Google Patents
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Description
すなわち、本発明に係る処理液供給装置は、処理液を流通させる処理液流路と、前記処理液流路を開閉させる開閉弁と、前記開閉弁よりも下流の下流側処理液流路に設けられ、処理液を流通させる開口部を有する弁座と、前記開閉弁よりも下流に設けられ、前記開口部に通して前記開口部との隙間を調整することで前記処理液流路の絞りを調整するニードルと、前記開閉弁よりも下流に設けられ、前記ニードルの先端部が突出するように前記ニードルに取り付けられることで前記ニードルと連動し、前記下流側処理液流路の体積を変化させるダイアフラムと、前記ニードルを駆動させる弁体駆動部と、前記処理液流路を前記開閉弁で閉じている際に、前記弁体駆動部で前記ニードルと連動する前記ダイアフラムを移動させて前記下流側処理液流路の体積を大きくし、前記処理液流路を前記開閉弁で開いている際に、前記弁体駆動部で前記ニードルを移動させて前記処理液の流量を調整する制御部と、を備えることを特徴とするものである。
本発明に係る処理液供給装置によれば、処理液流路を開閉させる開閉弁よりの下流には、処理液流路の絞りを調整する弁体と、弁体と連動し、開閉弁よりも下流の下流側処理液流路の体積を変化させる体積変化部が設けられている。弁体は、弁体駆動部で駆動される。制御部は、処理液流路を開閉弁で閉じている際に、弁体駆動部で弁体と連動する体積変化部を移動させて下流側処理液流路の体積を大きくする。そのため、サックバックでき、処理液のぼた落ちを防止できる。また、制御部は、処理液流路を開閉弁で開いている際に、弁体駆動部で弁体を移動させて処理液の流量を調整する。そのため、操作者の感覚により調整されていた処理液の流量調整を弁体駆動部によって容易に調整できる。また、同一の弁体駆動部で、処理液のぼた落ち防止と処理液の流量調整ができるので、個別に弁体駆動部等を設ける構成に比べて、構成の無駄を省き、省スペースなものにすることができる。そのため、基板ごとに異なる流量で処理液を供給でき、また、同一基板において、処理液の流量を途中で変えることができる。
また、処理液流路を開閉弁で開ける際に、前記弁体駆動部で前記弁体を移動させて、前記下流側処理液流路の体積を更に大きくして予め設定された流量にする。そのため、処理液が押し出されず、更にサックバックされる。そのため、液だれする心配がない。
また、吐出ノズルの先端部を液体に浸した状態でかつ、処理液流路を開閉弁で閉じている際に、弁体駆動部でニードルと連動するダイアフラムを往復移動させている。例えば、処理液として現像液を吐出する吐出ノズルの先端部を純水に浸し、純水を吸引させたり、吸引した純水を一定時間保持したり、吸引した純水を押し出したりすることにより、吐出ノズル先端を洗浄させることができる。
図1を参照する。基板処理装置1は、略水平姿勢で基板Wを保持して回転させる保持回転部2と、処理液を供給する処理液供給部3とを備えている。処理液は、例えばフォトレジスト液の塗布液、現像液、溶剤、または純水等のリンス液が用いられる。処理液供給部3は、本発明の処理液供給装置に相当する。
次に、開閉弁17およびサックバック弁19の詳細な構成を説明する。図2を参照する。開閉弁17は、後述する上流側流路43、開閉室内流路50、連結流路51、弁室内流路63、下流側流路67からなる処理液流路70を開閉させる。サックバック弁19は、開閉弁17の動作と組み合わせて、処理液をサックバックし、また、処理液の流量を調整する。
開閉弁17は、処理液配管15の経路途中に設けられており、上流側流路43、開閉室41、サックバック弁19の弁室61と連通する連結流路51とを直列に連結して構成されている。処理液配管15は、上流側継手部71により開閉室41に取り付けており、開閉弁17の上流側流路43と流路接続している。開閉弁17は、後述するようにその開閉動作によって開閉室41内において、処理液の流れを流通状態と遮断状態とに切り替える。
サックバック弁19は、図2のように、開閉弁17よりも下流に設けられている。サックバック弁19は、中空の箱状部材である弁室61と、弁室61内部を図2の上下方向に移動可能に設けられたニードル62と、下流側流路67とを備えている。
次に、基板処理装置1の動作のうち、特に、処理液供給部3の動作について説明する。図3は、開閉弁17と流量調整機能を有するサックバック弁19の動作を説明するためのタイミング図である。制御部31は、予め設定された吐出条件(レシピ)に基づき、基板処理装置1の各構成を制御する。
3 … 処理液供給部
11 … 吐出ノズル
15 … 処理液配管
17 … 開閉弁
19 … サックバック弁
31 … 制御部
43 … 上流側流路
50 … 開閉室内流路
51 … 連結流路
62,82 … ニードル
63 … 弁室内流路
66 … ダイアフラム
67 … 下流側流路
68 … モータ
70 … 処理液流路
81 … 勾配
t1〜t8,t11〜t19 … 時間
Claims (11)
- 処理液を流通させる処理液流路と、
前記処理液流路を開閉させる開閉弁と、
前記開閉弁よりも下流の下流側処理液流路に設けられ、処理液を流通させる開口部を有する弁座と、
前記開閉弁よりも下流に設けられ、前記開口部に通して前記開口部との隙間を調整することで前記処理液流路の絞りを調整するニードルと、
前記開閉弁よりも下流に設けられ、前記ニードルの先端部が突出するように前記ニードルに取り付けられることで前記ニードルと連動し、前記下流側処理液流路の体積を変化させるダイアフラムと、
前記ニードルを駆動させる弁体駆動部と、
前記処理液流路を前記開閉弁で閉じている際に、前記弁体駆動部で前記ニードルと連動する前記ダイアフラムを移動させて前記下流側処理液流路の体積を大きくし、前記処理液流路を前記開閉弁で開いている際に、前記弁体駆動部で前記ニードルを移動させて前記処理液の流量を調整する制御部と、
を備えることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1に記載の処理液供給装置において、
前記弁体駆動部は、モータであることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1または2に記載の処理液供給装置において、
前記制御部は、前記弁体駆動部で前記ニードルをサックバック基準位置に移動させて前記処理液の流量を少なくさせた後、前記処理液流路を前記開閉弁で閉じ、更に、前記弁体駆動部で前記ニードルと連動する前記ダイアフラムを移動させて前記処理液流路の体積を大きくすることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記制御部は、前記下流側処理液流路の体積を大きくした状態の前記ニードルの位置から、予め設定された流量になる位置に、前記弁体駆動部で前記ニードルを移動させて、前記処理液流路を前記開閉弁で開けることを特徴とする処理液供給装置。 - 処理液を流通させる処理液流路と、
前記処理液流路を開閉させる開閉弁と、
前記開閉弁よりも下流に設けられ、前記処理液流路の絞りを調整する弁体と、
前記開閉弁よりも下流に設けられ、前記弁体と連動し、前記開閉弁よりも下流の下流側処理液流路の体積を変化させる体積変化部と、
前記弁体を駆動させる弁体駆動部と、
前記処理液流路を前記開閉弁で閉じている際に、前記弁体駆動部で前記弁体と連動する前記体積変化部を移動させて前記下流側処理液流路の体積を大きくし、前記処理液流路を前記開閉弁で開いている際に、前記弁体駆動部で前記弁体を移動させて前記処理液の流量を調整する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記下流側処理液流路の体積を大きくした状態の前記弁体の位置から予め設定された流量になる位置に、前記弁体駆動部で前記弁体を移動させて、更に、前記下流側処理液流路の体積を大きくし、前記処理液流路を前記開閉弁で開けることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項4に記載の処理液供給装置において、
予め設定された流量となる位置に前記ニードルを下降させる際に、前記弁体駆動部により、前記予め設定された流量になるように前記ニードルの下降速度を変更することを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から6のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記処理液流路は、単一部品で構成されていることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から4、6のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記ニードルよりも下流に設けられ、配管を介在して前記処理液流路と接続し、前記処理液を吐出する吐出ノズルを更に備えていることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から8のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記処理液は、現像液であることを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1から4、6、8のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記制御部は、前記処理液流路を前記開閉弁で閉じている際に、前記弁体駆動部で前記ニードルと連動する前記ダイアフラムを往復移動させることを特徴とする処理液供給装置。
- 処理液を流通させる処理液流路と、
前記処理液流路を開閉させる開閉弁と、
前記開閉弁よりも下流に設けられ、前記処理液流路の絞りを調整する弁体と、
前記開閉弁よりも下流に設けられ、前記開閉弁よりも下流の下流側処理液流路の体積を変化させる体積変化部と、
前記弁体を駆動させる弁体駆動部と、
前記弁体よりも下流に設けられ、配管を介在して前記処理液流路と接続し、前記処理液を吐出する吐出ノズルと、
を備えることを特徴とする処理液供給装置の制御方法であって、
前記処理液流路を前記開閉弁で閉じている際に、前記弁体駆動部で前記弁体と連動する前記体積変化部を移動させて前記下流側処理液流路の体積を大きくする工程と、前記処理液流路を前記開閉弁で開いている際に、前記弁体駆動部で前記弁体を移動させて前記処理液の流量を調整する工程と、
容器に入っている液体に前記吐出ノズルの先端部を浸す工程と、
前記吐出ノズルの先端部を前記液体に浸した状態でかつ、前記処理液流路を前記開閉弁で閉じている際に、前記弁体駆動部で前記弁体と連動する前記体積変化部を往復移動させる工程と、
を備えることを特徴とする処理液供給装置の制御方法。
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