JP3920831B2 - 塗布膜除去装置及び塗布膜除去方法 - Google Patents
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Description
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板における互いに対向する両辺を挟圧して基板の向きを合わせる位置合わせ機構と、
前記基板保持部及び位置合わせ機構を、当該位置合わせ機構により挟圧されている両辺以外の他の辺が伸びる方向に移動させる移動機構と、
この移動機構によって基板が移動するときに、その位置が固定された状態で前記他の辺の縁部に溶剤を供給すると共にその溶剤及び溶解物を吸引して排出する塗布膜除去手段と、を備えたことを特徴としている。
前記基板を基板保持部に水平に保持する工程と、
次いでこの基板保持部に保持された基板における互いに対向する両辺を位置合わせ機構により挟圧して基板の向きを合わせる工程と、
その後前記基板保持部及び位置合わせ機構を、当該位置合わせ機構により挟圧されている両辺以外の他の辺が伸びる方向に移動させる工程と、
この移動工程時に、その位置が固定された溶剤ノズル部から前記他の辺の縁部に溶剤を供給すると共にその溶剤及び溶解物を吸引して排出する工程と、を備えたことを特徴としている。
30 受け渡しチャック
33 助走ステージ
37 スペーサ
40 アーム部
42 ノズル部
44 供給管
47 供給調節バルブ
50 排気管
Claims (10)
- 塗布膜が形成された角型の基板の縁部に溶剤を吹き付けて当該縁部の不要な塗布膜を除去する塗布膜除去装置において、
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板における互いに対向する両辺を挟圧して基板の向きを合わせる位置合わせ機構と、
前記基板保持部及び位置合わせ機構を、当該位置合わせ機構により挟圧されている両辺以外の他の辺が伸びる方向に移動させる移動機構と、
この移動機構によって基板が移動するときに、その位置が固定された状態で前記他の辺の縁部に溶剤を供給すると共にその溶剤及び溶解物を吸引して排出する塗布膜除去手段と、を備えたことを特徴とする塗布膜除去装置。 - 位置合わせ機構は、前記基板の両辺に近接して夫々一辺が位置すると共に前記基板の他の辺の延長線上またはその外側に他の辺が位置し、当該基板と同じ高さ位置に設けられた助走ステージを備えていることを特徴とする請求項1記載の塗布膜除去装置。
- 塗布膜除去手段を基板に対して進退させる進退機構を更に備え、
塗布膜除去手段は、基板の進行方向に沿って互いに離間して設けられた第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部と、これら第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部の離間間隔を調整する間隔調整機構と、を備え、たことを特徴とする請求項1または2記載の塗布膜除去装置。 - 塗布膜除去手段は、第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部に夫々対応して設けられると共にこれら溶剤ノズル部に連動して互いの離間間隔が夫々調整される第1の吸引排出路及び第2の吸引排出路と、を備えたことを特徴とする請求項3記載の塗布膜除去装置。
- 塗布膜除去手段を基板に対して進退させる進退機構を更に備え、
塗布膜除去手段は、基板の進行方向に沿って互いに離間して設けられた第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部と、第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部への溶剤の供給、停止を夫々行うための第1のバルブ及び第2のバルブと、これら第1のバルブ及び第2のバルブを独立して開閉するための制御部と、を備えたことを特徴とする請求項1または2記載の塗布膜除去装置。 - 塗布膜が形成された角型の基板の縁部に溶剤を吹き付けて当該縁部の不要な塗布膜を除去する塗布膜除去方法において、
前記基板を基板保持部に水平に保持する工程と、
次いでこの基板保持部に保持された基板における互いに対向する両辺を位置合わせ機構により挟圧して基板の向きを合わせる工程と、
その後前記基板保持部及び位置合わせ機構を、当該位置合わせ機構により挟圧されている両辺以外の他の辺が伸びる方向に移動させる工程と、
この移動工程時に、その位置が固定された溶剤ノズル部から前記他の辺の縁部に溶剤を供給すると共にその溶剤及び溶解物を吸引して排出する工程と、を備えたことを特徴とする塗布膜除去方法。 - 前記基板の向きを合わせる工程は、前記基板の両辺に近接して夫々一辺が位置すると共に前記基板の他の辺の延長線上またはその外側に他の辺が位置し、当該基板と同じ高さに設けられた助走ステージによって基板の両辺を挟圧する工程を含み、
溶剤供給部から前記基板の他の辺の縁部に溶剤を供給する工程は、助走ステージと基板の縁部との間で連続して溶剤を供給する工程を含むことを特徴とする請求項6記載の塗布膜除去方法。 - 溶剤供給部から前記他の辺の縁部に溶剤を供給する工程は、基板を移動させながら、基板の進行方向に沿って互いに離間して設けられた第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部から溶剤を供給する工程と、基板が予め設定された位置に達したときに第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部による溶剤の吹き付け位置を基板の内側に寄せると共に第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部の離間間隔を狭める工程と、次いで基板を移動させながら第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部から溶剤を供給する工程と、を含むことを特徴とする請求項6または7記載の塗布膜除去方法。
- 第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部の離間間隔が調整されるときに、これら溶剤ノズル部に夫々対応して設けられた第1の吸引排出路及び第2の吸引排出路の離間間隔を対応して調整することを特徴とする請求項8記載の塗布膜除去方法。
- 溶剤供給部から前記他の辺の縁部に溶剤を供給する工程は、基板を移動させながら、基板の進行方向に沿って互いに離間して設けられた第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部から溶剤を供給する工程と、基板が予め設定された位置に達したときに第1の溶剤ノズル部及び第2の溶剤ノズル部の少なくとも一方の溶剤供給を停止すると共に溶剤の吹き付け位置を基板の内側に寄せる工程と、次いで一方の溶剤ノズル部から溶剤を供給しながら基板を移動させる工程と、を含むことを特徴とする請求項6または7記載の塗布膜除去方法。
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