JP2013071026A - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態の塗布装置は、塗布対象物に材料を吐出して塗布するノズルと、前記ノズルに供給される材料を貯留する貯留部と、前記貯留部と前記ノズルとを連通する流路と、前記流路の開閉状態を切り替える吐出用ダイヤフラムバルブと、前記流路に接続され前記流路における材料の流量を調整するとともに、そのサックバック量が調節可能なサックバック部と、を有する吐出弁と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図5
Description
Claims (5)
- 塗布対象物に材料を吐出して塗布するノズルと、
前記ノズルに供給される材料を貯留する貯留部と、
前記貯留部と前記ノズルとを連通する流路と、
前記流路の開閉状態を切り替える吐出用ダイヤフラムバルブと、前記流路に接続され前記流路における材料の流量を調整するとともに、そのサックバック量が調節可能なサックバック部と、を有する吐出弁と、を備えることを特徴とする塗布装置。 - 前記吐出用ダイヤフラムバルブは、前記タンクに連通するインポートと、前記ノズルに連通する第1のアウトポートと、材料を排出する排出部に連通する第2のアウトポートと、を有する三方式であり、
前記サックバック部は、前記流路に接続されたサックバックバルブであり、
前記吐出用ダイヤフラムバルブの切替制御を行う際にサックバックバルブの動作を制御することにより前記流路における材料の流量を調整する制御部を備えたことを特徴とする請求項1記載の塗布装置。 - 前記吐出弁と前記貯留部との間の流路に接続され、前記材料を前記ノズルに送り出す供給ポンプと、
前記吐出弁と前記貯留部との間の流路の開閉状態を切り替える供給弁と、
前記塗布ノズルのメニスカスの状態を検出するメニスカス検出部と、を備え、
前記制御部は、前記メニスカスの状態に基づいて前記供給ポンプを作動させて前記塗布ノズルのメニスカスの状態を調整することを特徴とする請求項2記載の塗布装置。 - 塗布対象物が載置される載置面を有するステージと、
前記ステージを回転させる回転機構と、
前記ステージと前記塗布ノズルとを前記回転の方向に交わる交差方向に相対移動させる移動機構と、を備え
前記制御部は、前記塗布対象物が載置された前記ステージを前記回転機構により回転させながら、前記移動機構により前記ステージと前記塗布ノズルとを前記載置面に沿って相対移動させ、前記塗布ノズルにより前記ステージ上の塗布対象物に前記材料を塗布する制御を行うとともに、前記吐出弁を制御して前記材料の流れを制御することを特徴とする請求項1記載の塗布装置。 - 塗布対象物が載置されたステージと対向配置された塗布ノズルとを相対的に移動させ、
前記塗布ノズルに連通する流路の開閉状態を切り替える吐出用ダイヤフラムバルブの動作を制御して前記塗布ノズルに前記ステージ上の塗布対象物に前記材料を吐出させるとともに、前記流路に接続され前記流路における材料の流量を調整するサックバック部の動作を制御して前記塗布ノズルのメニスカスを調整することを特徴とする塗布方法。
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