JP6355367B2 - 塗布方法及び塗布装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから塗液を吐出しながら、ノズルに対して相対的に移動する基材上に塗布膜を形成する塗布方法、及び塗布装置に関する。

一定の速度で相対的に移動する基材上に、ノズルから塗液を吐出して塗布を開始する際、ノズルの吐出面と基材との間に塗液ビードが形成されて、基材上に塗布膜が形成される。このとき、基材上に形成される塗布膜は、塗液の供給速度と基材の移動速度によって、目標の膜厚に制御される。しかしながら、塗布開始時及び／または塗布終了時においては、塗布方向端部に形成される塗布膜の膜厚が、目標値から外れるという問題が生じ、このような不良膜厚領域をできるだけ縮小することが課題となっている。

このような課題に対して、特許文献１には、塗布開始時に、ポンプからノズルに供給する塗液の供給量を、目標の膜厚を得るために必要な供給量よりも多くすることによって、塗液ビードの成長時間を短縮し、これにより、不良膜厚領域を縮小する技術が記載されている。

特開２００２−８６０４４号公報

特許文献１に記載された技術では、塗布開始時に、塗液の供給量を一時的に多くすることによって、塗液ビードの成長時間を短縮することはできる。しかしながら、一定の速度で移動している基材に対しては、塗液の供給量を制御するだけで、塗布開始時における塗布方向端部（以下、「塗布開始部」という）の塗布膜を、目標の膜厚に調整することは難しい。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その主な目的は、塗布膜の不良膜厚領域を小さくすることができる塗布方法、及び塗布装置を提供することにある。

本発明は、ノズルから塗液を吐出しながら、ノズルに対して相対的に移動する基材上に塗布膜を形成する塗布方法において、塗布開始前に、予め、ポンプからノズルに通じる供給路内にある塗液に所定の圧力を付与しておくとともに、塗布開始後、所定の時間の間、ポンプの塗液供給速度を、膜厚が安定して形成される塗布時の塗液供給速度よりも遅くするものである。

すなわち、本発明に係る塗布方法は、ポンプから供給路を介してノズルに塗液を供給し、該ノズルから塗液を吐出しながら、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に塗布膜を形成する塗布方法であって、ノズルから塗液を吐出する前に、供給路内の塗液に、第１の圧力を付加する工程（ａ）と、ノズルからの塗液の吐出開始時から所定の時間の間、ポンプの塗液供給速度を、第１の速度から第２の速度に高めながら、ノズルから塗液を吐出する工程（ｂ）と、上記所定の時間の経過後、ポンプの塗液供給速度を、第２の速度に維持しながら、かつ、供給路内の塗液の圧力を、第１の圧力よりも低い第２の圧力に維持しながら、ノズルから塗液を吐出する工程（ｃ）とを含むことを特徴とする。

また、本発明に係る塗布装置は、塗液を基材上に吐出するノズルと、ノズルに塗液を供給するポンプと、塗液を貯えるタンクとを備え、ノズルは、供給路を介してポンプと接続されており、ポンプは、リターン路を介してタンクに接続されており、供給路内の塗液の圧力及びポンプの塗液供給速度は、ノズルから塗液を吐出する前に、供給路内の塗液に第１の圧力が付加されるように制御され、ノズルからの塗液の吐出開始時から所定の時間の間、ポンプの塗液供給速度を、第１の速度から第２の速度に高めるように制御され、上記所定の時間の経過後、ノズルから塗液を吐出する間、ポンプの塗液供給速度を、第２の速度に維持し、かつ、供給路内の塗液の圧力を、第１の圧力よりも低い第２の圧力に維持するように制御されることを特徴とする。

本発明によれば、塗布膜の不良膜厚領域を小さくすることができる塗布方法、及び塗布装置を提供することができる。

本発明の一実施形態における塗布方法に使用する塗布装置の概要を示した図である。 従来の塗布方法におけるポンプの塗液供給速度と、供給路内の塗液の圧力及び塗布膜の膜厚との関係を示した時間線図である。 塗布開始前に予め供給路内の圧力を予め高めたときの、ポンプの塗液供給速度と、供給路内の圧力及び塗布膜の膜厚との関係を示した時間線図である。 本発明の一実施形態における塗布方法におけるポンプの塗液供給速度と、供給路内の塗液の圧力及び塗布膜の膜厚との関係を示した時間線図である。 （ａ）、（ｂ）は、本発明の他の実施形態におけるポンプの塗液供給速度プロファイルを示した時間線図である。 本発明における塗布方法を、間欠塗布に適用した例を示した時間線図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。また、本発明の効果を奏する範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。

図１は、本発明の一実施形態における塗布方法に使用する塗布装置（ダイコータ）１００の概要を示した図である。

図１に示すように、塗布装置１００は、塗液を基材３１上に吐出するノズル（ダイヘッド）１０と、ノズル１０に塗液を供給するポンプ１１と、塗液を貯えるタンク１２とを備えている。ノズル１０は、供給路２０を介してポンプ１１と接続され、ポンプ１１は、リターン路２１を介してタンク１２に接続されている。供給路２０には、ポンプ１１とノズル１０との間に供給弁１３が設けられ、リターン路２１には、ポンプ１１とタンク１２との間にリターン弁１４が設けられている。

基材３１は、バックアップロール３０に巻き掛けられ、バックアップロール３０の回転により基材３１が連続的に走行する。ポンプ１１から供給路２０を介してノズル１０に塗液が供給され、ノズル１０から塗液を吐出しながら、ノズルに対して相対的に移動する基材３１上に塗布膜が形成される。

ここで、ポンプ１１は、例えば、シリンジポンプ等の定容量ポンプで構成され、塗布開始前に、シリンジポンプ内のピストン（不図示）を下方に移動させることによって、ポンプ１１内に、タンク１２に貯められた塗液がリターン路２１を介して充填される。塗布開始時には、リターン弁１４を閉じ、供給弁１３を開けて、シリンジポンプ内のピストンを上方に移動させることによって、ノズル１０に、ポンプ１１内に充填された塗液が供給路２０を介して供給される。ノズル１０から吐出する塗液の供給速度は、シリンジポンプ内のピストンの移動速度で制御される。

図２は、従来の塗布方法におけるポンプの塗液供給速度と、供給路２０内の塗液の圧力（以下、単に「圧力」という）及び塗布膜の膜厚との関係を示した時間線図である。

図２に示すように、塗布開始時（時刻ｔ１）に供給弁１３を開けて、ポンプ１１から塗液を一定の供給速度でノズル１０に供給する。このとき、供給路２０内の圧力はすぐには上がらず、所定の圧力に達するまで（時刻ｔ２）、一定の時間を要する。これは、ポンプ１１とノズル１０との間にある供給路２０が、例えば、可撓性を有する樹脂で構成されている場合、供給路２０の膨張に、供給された塗液が消費され、供給路２０内の圧力上昇が遅れたためと考えられる。その結果、塗布開始部で、塗布膜は薄くなり、所定の膜厚に達するまでの範囲（不良膜厚領域）Ａが広くなってしまう。

そこで、本願発明者等は、塗布開始前に、供給路２０内の圧力を予め高めておけば、塗布開始後の供給路２０内の圧力上昇の応答性を向上できると考えた。なお、ノズル１０と供給弁１３との間の供給路２０ｂの長さが、ポンプ１１と供給弁１３との間の供給路２０ａの長さよりも短ければ、供給路２０内の圧力は、ポンプ１１と供給弁１３との間の供給路２０ａ内の圧力によって実質的に制御されると考えられる。

図３は、塗布開始前に予め供給路２０ａ内の圧力を予め高めたときの、ポンプの塗液供給速度と、供給路２０ａ内の圧力及び塗布膜の膜厚との関係を示した時間線図である。

図３に示すように、塗布開始時（時刻ｔ１）より前（時刻ｔ０）に、供給弁１３及びリターン弁１４を閉じて、ポンプ１１を始動させ、ポンプ１１の塗液供給速度が所定の値に達した時（時刻ｔ１）、供給弁１３を開けて塗布を開始する。この場合、塗布開始時（時刻ｔ１）には、供給路２０ａ内の圧力がすでに上昇しているため、所定の圧力に達するまで（時刻ｔ２）の時間を短縮することができる。その結果、塗布開始部での不良膜厚領域Ａを、図２に示した従来の塗布方法よりも縮小させることができる。

なお、塗布開始時の供給路２０ａ内の圧力は、ポンプ１１の作動時（時刻ｔ０）から塗布開始時（時刻ｔ１）までのポンプ１１の塗液供給速度プロファイルで制御することができる。例えば、図３に示すように、塗布開始時の供給路２０ａ内の圧力を、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力よりも高めることによって、塗布開始時の液着きが向上し、その結果、塗布開始部における塗布膜の直進性を向上させることができる。

しかしながら、塗布開始時の供給路２０ａ内の圧力を高めると、その分、塗液の供給量が増えるため、図３に示すように、塗布開始部において、塗布膜の膜厚が厚くなってしまうという問題が生じる。この問題は、塗布膜の膜厚が薄くなる（例えば、１０μｍ以下）ほど顕著になり、液着けの向上と膜厚の制御とを両立させて制御することは難しい。

本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、以下、図１及び図４を参照しながら、本発明の一実施形態における塗布方法を説明する。

本実施形態における塗布方法は、図１に示すように、ポンプ１１から供給路２０を介してノズル１０に塗液を供給し、ノズル１０から塗液を吐出しながら、ノズル１０に対して相対的に移動する基材３１上に塗布膜を形成するものである。

図４は、本実施形態における塗布方法におけるポンプの塗液供給速度と、供給路２０ａ内の塗液の圧力及び塗布膜の膜厚との関係を示した時間線図である。

図４に示すように、ノズル１０から塗液を吐出する前、すなわち塗布開始前（時刻ｔ０からｔ１）に、供給路２０ａ内の塗液に、第１の圧力Ｐ１を付加する（工程（ａ））。具体的には、供給弁１３及びリターン弁１４は閉じた状態で、ポンプ１１を作動させて、ポンプ１１の塗液供給速度を第２の速度Ｖ２まで上げて、塗布開始時（時刻ｔ１）における供給路２０ａ内の圧力を第１の圧力Ｐ１まで高める。そして、塗布開始時（時刻ｔ１）までに、ポンプ１１の塗液供給速度を第１の速度Ｖ１まで下げておく。

次に、ノズル１０からの塗液の吐出開始時（塗布開始時）から、ポンプ１１の塗液供給速度を、所定の時間の間（時刻ｔ１からｔ２）、第１の速度Ｖ１から第２の速度Ｖ２に高めながら、ノズル１０から塗液を吐出する（工程（ｂ））。これにより、供給路２０ａ内の圧力は、第１の圧力Ｐ１から第２の圧力Ｐ２に徐々に下がる。

次に、上記所定の時間の経過後、ポンプ１１の塗液供給速度を、第２の速度Ｖ２に維持しながら、かつ、供給路２０ａ内の塗液の圧力を、第２の圧力Ｐ２に維持しながら、ノズル１０から塗液を吐出する（工程（ｃ））。

本実施形態における塗布方法によれば、塗布開始前に、予め、供給路２０ａ内の塗液に所定の圧力（第１の圧力Ｐ１）を付与しているため、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力（第２の圧力Ｐ２）に達するまで（時刻ｔ２）の時間を短縮させることができる。さらに、塗布開始時（時刻ｔ１）における供給路２０ａ内の圧力（第１の圧力Ｐ１）を、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力（第２の圧力Ｐ２）よりも高めることによって、塗布開始時の液着きが向上し、その結果、塗布開始部における塗布膜の直進性を向上させることができる。加えて、塗布開始後、所定の時間の間（時刻ｔ１からｔ２）、ポンプ１１の塗液供給速度を、膜厚が安定して形成される塗布時の塗液供給速度（第２の速度Ｖ２）よりも遅くすることによって、液着け時における塗液の供給量を抑えることができる。これにより、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力（第２の圧力Ｐ２）に達するまで（時刻ｔ２）の時間を、図３に示した塗布方法よりも、さらに短縮させることができるとともに、塗布開始部において、塗布膜の膜厚が厚くなるのを抑制することができる。その結果、図４に示すように、塗布開始部での不良膜厚領域Ａを大幅に縮小させることができる。

本実施形態において、塗布開始前（時刻ｔ０からｔ１）におけるポンプ１１の塗液供給速度プロファイルは、任意に決めることができるが、第１の圧力Ｐ１まで高める時間を短縮するために、ポンプ１１の塗液供給速度は、少なくとも、第１の速度Ｖ１よりも大きいことが好ましい。

また、本実施形態では、塗布開始前（時刻ｔ０からｔ１）におけるポンプ１１の塗液供給速度を、膜厚が安定して形成される塗布時の塗液供給速度（第２の速度Ｖ２）まで高めたが、これに限定されず、例えば、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、塗布開始前におけるポンプ１１の塗液供給速度（第３の速度Ｖ３）を、第２の速度Ｖ２よりも低く、もしくは高く設定してもよい。

また、本実施形態において、塗布開始前（時刻ｔ０からｔ１）に、ポンプ１１を作動させて、供給路２０ａ内の塗液に、第１の圧力Ｐ１を付加したが、これに限定されず、例えば、供給路２０ａに、別途、加圧弁を介して他の加圧手段（例えば、圧空源など）を連結し、塗布開始前に、加圧弁を開けて、所定の背圧を供給路２０ａ内の塗液に付与してもよい。

また、本実施形態では、時刻ｔ１からｔ２の間、ポンプ１１の塗液供給速度を、第１の速度Ｖ１から第２の速度Ｖ２まで直線的に変化させたが、これに限定されず、任意の速度プロファイル（例えば、多段階に変化）を設定することができる。

なお、本発明において、塗布開始前に、供給路２０内の内圧を高める（第１の圧力Ｐ１を付与する）工程は、必ずしも、ポンプ１１とノズル１０との間にある供給路２０内全体の内圧を高めることに限定されない。

本実施形態で示したように、例えば、ノズル１０と供給弁１３との間の供給路２０ｂの長さを、ポンプ１１と供給弁１３との間の供給路２０ａの長さよりも短くすることによって、供給路２０内全体の圧力を、供給路２０ａ内の圧力によって、実質的に制御することができる。また、供給弁１３とノズル１０との間の供給路２０ｂに、別途、加圧弁を介して他の加圧手段（例えば、圧空源など）を連結し、塗布開始前に、供給路２０ａ内の内圧の上昇に連動させて、供給路２０ｂ内の内圧を高めることによって、供給路２０内全体の圧力を、実質的に制御することができる。

本発明の一実施形態における塗布装置は、図１に示すように、塗液を基材３１上に吐出するノズル１０と、ノズル１０に塗液を供給するポンプ１１と、塗液を貯えるタンク１２とを備え、ノズル１０は、供給路２０を介してポンプ１１と接続され、ポンプ１１は、リターン路２１を介してタンク１２に接続されている。

本実施形態の塗布装置において、供給路２０ａ内の塗液の圧力及びポンプ１１の塗液供給速度は、次のように制御される。まず、ノズル１０から塗液を吐出する前に、供給路２０ａ内の塗液に第１の圧力Ｐ１が付加される。次に、ノズル１０からの塗液の吐出開始時から所定の時間の間、ポンプ１１の塗液供給速度を、第１の速度Ｖ１から第２の速度Ｖ２に高める。次に、上記所定の時間の経過後、ノズル１０から塗液を吐出する間、ポンプ１１の塗液供給速度を、第２の速度Ｖ２に維持し、かつ、供給路２０ａ内の塗液の圧力を、第１の圧力Ｐ１よりも低い第２の圧力Ｐ２に維持する。

このような制御を行うことにより、塗布開始後、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力（第２の圧力Ｐ２）に達するまでの時間を短縮させることができる。さらに、塗布開始時の液着きが向上し、塗布開始部における塗布膜の直進性を向上させることができるとともに、塗布開始部において、塗布膜の膜厚が厚くなるのを抑制することができる。その結果、塗布開始部での不良膜厚領域Ａを大幅に縮小させることができる。

なお、本実施形態において、ノズル１０と供給弁１３との間の供給路２０ｂの長さを、ポンプ１１と供給弁１３との間の供給路２０ａの長さよりも短くすることが好ましい。これにより、塗布開始前に供給路２０内の塗液に付加した圧力（第１の圧力Ｐ１）が、供給弁１３を開けて塗布を開始する際、ノズル１０と供給弁１３との間の供給路２０ｂで損失するのを抑制することができる。これにより、塗布開始時におけるノズル１０からの塗液吐出の応答性を高めることができる。その結果、塗布開始時の液着きが向上し、塗布開始部における塗布膜の直進性を向上させることができる。

図６は、本発明における塗布方法を、間欠塗布に適用した例を示した時間線図である。

図６に示すように、塗布開始前（時刻ｔ０からｔ１）に、供給弁１３及びリターン弁１４は閉じた状態で、ポンプ１１を作動させる（工程（ａ））。これにより、図４に示したように、塗布開始時（時刻ｔ１）における供給路２０ａ内の圧力が第１の圧力Ｐ１まで高められる。次に、塗布開始時に、リターン弁１４を閉じたまま、供給弁１３を開け、ポンプ１１の塗液供給速度を、一端、第１の速度Ｖ１まで下げ、時刻ｔ１からｔ２の間、ポンプ１１の塗液供給速度を、第１の速度Ｖ１から第２の速度Ｖ２に高めながら、ノズル１０から塗液を吐出する（工程（ｂ））。これにより、図４に示したように、供給路２０ａ内の圧力は、第１の圧力Ｐ１から第２の圧力Ｐ２に徐々に下がる。次に、時刻ｔ２からｔ３の間、ポンプ１１の塗液供給速度を、第２の速度Ｖ２に維持しながら、ノズル１０から塗液を吐出する（工程（ｃ））。このとき、図４に示したように、供給路２０ａ内の塗液の圧力は、第２の圧力Ｐ２に維持される。次に、時刻ｔ３で、供給弁１３を閉じるとともに、ポンプ１１の作動を停止して、ノズル１０からの塗液の吐出を停止する（工程（ｄ））。そして、上記工程（ａ）〜（ｄ）を繰り返すことによって、基材３１上に、図６に示すような、間欠塗布された塗布パターンが形成される。

ところで、塗布終了時には、ポンプ１１と供給弁１３及びリターン弁１４との間にある供給路２０及びリターン路２１には、塗液が一定の圧力をもった状態で残留している。この状態で、再び、塗布開始前のポンプ１１を作動させると、ポンプ１１の作動によって高められた供給路２０ａ内の圧力に、残留した塗液の圧力が付加されてしまうため、塗布開始時の供給路２０ａ内の圧力が、所定の値（第１の圧力Ｐ１）に制御できないおそれがある。その結果、間欠塗布を繰り返すと、第１の圧力Ｐ１が安定しないため、不良膜厚領域Ａの幅にバラツキが生じるおそれがある。

このような問題を解決するために、ノズル１０からの塗液の吐出終了後、供給路２０ａ内に残留している塗液の圧力を開放することが好ましい。具体的には、図６に示すように、塗布終了時（時刻ｔ３）に、供給弁１３を閉じ、リターン弁１４を開くことによって、供給路２０ａ内にある塗液の圧力を、タンク１２側に開放することができる。例えば、タンク１２に貯められた塗液が大気に開放されていれば、供給路２０ａ内にある塗液の圧力も、大気圧に開放される。これにより、供給路２０ａ内に残留した塗液の圧力は、常に一定の圧力にリセットされるため、間欠塗布を繰り返しても、塗布開始時に供給路２０ａ内に付与する圧力を、常に一定の値（第１の圧力Ｐ１）に制御することができる。その結果、不良膜厚領域Ａの幅のバラツキを抑えることができる。

なお、供給路２０ａ内に残留する塗液の圧力は、必ずしも大気圧に開放する必要はなく、塗布開始時に供給路２０ａ内に付与する第１の圧力Ｐ１に影響の与えない程度の圧力、例えば、少なくとも、膜厚が安定して形成される塗布時の圧力（第２の圧力Ｐ２）以下に開放すればよい。

なお、供給路２０ａ内に残留した塗液の圧力の開放は、上記の方法に限定されず、例えば、リターン路２１に、別途、大気に通じる開放弁を設け、塗布終了後に、開放弁を開けて、供給路２０内に残留した塗液の圧力を大気に開放してもよい。

また、図６に示すように、塗布開始時（時刻ｔ０）に、ノズル１０の位置を低くして、基材３１に近づけてもよい。ノズル１０と基材３１とのギャップを狭めることによって、液着きを向上させることができ、これにより、塗布開始部における直線性をより向上させることができる。

また、図６に示すように、塗布終了時（時刻ｔ３）に、ノズル１０の位置を高くして、基材３１から遠ざけてもよい。これにより、ノズル１０と基材３１との間にある塗液ビードが切れ、塗布終了部の直進性をより向上させることができる。

以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、もちろん、種々の改変が可能である。例えば、上記実施形態において、ポンプ１１として、シリンジポンプを例に説明したが、これに限定されず、他の定容量ポンプ等を用いることができる。また、基材３１の搬送機構として、バックアップロールを例に説明したが、これに限定されず、例えば、枚葉式の搬送機構を用いることができる。

１０ ノズル
１１ ポンプ
１２ タンク
１３ 供給弁
１４ リターン弁
２０ 供給路
２１ リターン路
３０ バックアップロール
３１ 基材
１００ 塗布装置

Claims (10)

1. ポンプから供給路を介してノズルに塗液を供給し、該ノズルから塗液を吐出しながら、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に塗布膜を形成する塗布方法であって、
   前記ノズルから塗液を吐出する前に、前記供給路内の塗液に、第１の圧力を付加する工程（ａ）と、
   前記ノズルからの塗液の吐出開始時から、前記ポンプの塗液供給速度を、第１の速度から第２の速度に高めながら、前記ノズルから塗液を吐出する工程（ｂ）と、
   前記ポンプの塗液供給速度が、前記第２の速度に達した後、前記ポンプの塗液供給速度を、前記第２の速度に維持しながら、かつ、前記供給路内の塗液の圧力を、前記第１の圧力よりも低い第２の圧力に維持しながら、前記ノズルから塗液を吐出する工程（ｃ）と、
   を含み、
   前記工程（ａ）において、前記ポンプの塗液供給速度を、少なくとも第１の速度以上に作動させて、前記供給路内の塗液に、前記第１の圧力を付加するとともに、前記塗液の吐出開始時までに、前記ポンプの塗液供給速度を第１の速度まで下げておく、塗布方法。
2. 前記ポンプはリターン路を介して前記塗液を貯えるタンクと接続されており、
   前記供給路には、前記ポンプと前記ノズルとの間に供給弁が設けられ、前記リターン路には、前記ポンプと前記タンクとの間にリターン弁が設けられており、
   前記工程（ａ）において、前記供給弁及び前記リターン弁は閉じた状態で、前記供給路内の塗液に、前記第１の圧力を付加する、請求項１に記載の塗布方法。
3. 前記工程（ｂ）及び（ｃ）において、前記供給弁は開き、前記リターン弁は閉じている、請求項２に記載の塗布方法。
4. 前記ノズルからの塗液の吐出終了後、前記供給路内の塗液の圧力を、少なくとも前記第２の圧力以下に開放する工程（ｄ）をさらに含む、請求項１に記載の塗布方法。
5. 前記ポンプはリターン路を介して前記塗液を貯えるタンクと接続されており、
   前記供給路には、前記ポンプと前記ノズルとの間に供給弁が設けられ、前記リターン路には、前記ポンプと前記タンクとの間にリターン弁が設けられており、
   前記工程（ｄ）は、前記供給弁を閉じ、前記リターン弁を開くことにより実行される、請求項４に記載の塗布方法。
6. 前記工程（ａ）〜前記工程（ｄ）を繰り返し行うことによって、前記基材上に塗布膜を間欠的に形成する、請求項４または５に記載の塗布方法。
7. 前記ノズルからの塗液の吐出開始時に、前記ノズルを前記基材に近づけ、前記ノズルから塗液を吐出する終了時に、前記ノズルを前記基材から遠ざける、請求項１に記載の塗布方法。
8. 塗液を基材上に吐出するノズルと、
   前記ノズルに塗液を供給するポンプと、
   前記塗液を貯えるタンクと、
   を備えた塗布装置であって、
   前記ノズルは、供給路を介して前記ポンプと接続されており、
   前記ポンプは、リターン路を介して前記タンクに接続されており、
   前記供給路内の塗液の圧力及びポンプの塗液供給速度は、
   前記ノズルから塗液を吐出する前に、前記ポンプの塗液供給速度を、少なくとも第１の速度以上に作動させて、前記供給路内の塗液に、第１の圧力を付加するとともに、前記塗液の吐出開始時までに、前記ポンプの塗液供給速度を第１の速度まで下げておくように制御され、
   前記ノズルからの塗液の吐出開始時から、前記ポンプの塗液供給速度を、前記第１の速度から第２の速度に高めるように制御され、
   前記ポンプの塗液供給速度が、前記第２の速度に達した後、前記ノズルから塗液を吐出する間、前記ポンプの塗液供給速度を、前記第２の速度に維持し、かつ、前記供給路内の塗液の圧力を、前記第１の圧力よりも低い第２の圧力に維持するように制御される、塗布装置。
9. 前記供給路内の塗液の圧力は、前記ノズルからの塗液の吐出終了後に、少なくとも前記第２の圧力以下に開放するように制御される、請求項８に記載の塗布装置。
10. 前記供給路には、前記ポンプと前記ノズルとの間に供給弁が設けられ、
    前記ノズルと前記供給弁との間の前記供給路の長さは、前記ポンプと前記供給弁との間の前記供給路の長さよりも短い、請求項８に記載の塗布装置。
    

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