CN101318405A - 用糊状物分配器分配糊状物的方法及所用的气压供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种使用糊状物分配器分配糊状物的方法，以及一种为此采用的气压供给装置。在所述使用糊状物分配器分配糊状物的方法中，所述糊状物分配器通过相对于工作台以一分配速度水平地移动分配头而将糊状物分配在基板上以形成具有直线部分和曲线部分的糊状物图案，所述分配头包括糊状物通过分配压力从其排出的喷嘴，所述工作台上放置有基板，所述方法包括：从曲线开始位置或从在曲线开始位置前面的预定位置至在曲线末端位置前面的另一个预定位置将分配速度从直线分配速度减少至曲线分配速度；从减速结束位置至曲线末端位置或至在曲线末端位置前面的加速开始位置将分配速度保持在曲线分配速度；从减速开始位置至减速结束位置将分配压力从直线分配压力减少至曲线分配压力；以及从减速结束位置至加速开始位置将分配压力保持在曲线分配压力。

Description

用糊状物分配器分配糊状物的方法及所用的气压供给装置

相关申请的交叉引用

本申请要求2008年1月28日提交的韩国专利申请No.10-2008-0008666的优先权，在此以引用的方式将其公开内容全文合并到本申请中。

技术领域

本发明涉及一种用糊状物分配器以期望的图案分配糊状物的方法，以及为此采用的气压供给装置。

背景技术

糊状物分配器用于在生产平板显示器时以期望的图案将糊状物分配在基板上以将两个基板互相联接或密封。

糊状物分配器包括：放置有基板的工作台；分配头，其包括糊状物从其排出的喷嘴；以及支撑分配头的头支撑单元。工作台和/或头支撑单元通过致动器水平地沿一方向移动。而且，分配头通过不同的致动器也水平地移动，移动方向与工作台和/或头支撑单元移动的方向垂直。相应地，喷嘴可相对于基板移动。致动器由控制器控制。

当包含与将要形成在基板上的糊状物图案相关的信息的数据输入至糊状物分配器时，糊状物分配器将糊状物涂布在基板上，同时根据与糊状物图案相关的信息改变喷嘴的相对位置。

通常，由于平板显示器包括正方形基板，所以糊状物图案具有图1所示的形状。如图1所示，糊状物图案1沿基板S的边缘以正方形形状形成。在此，除基板S的拐角处外，糊状物图案1在基板S的边缘附近以直线形状形成，而在基板S的拐角附近以曲线形状形成。

糊状物图案1的直线部分2通过在分配头保持静止的同时沿Y轴方向移动工作台或通过在工作台保持静止的同时沿X轴方向移动分配头而形成，从而将糊状物从喷嘴排出到基板S上。糊状物图案1的曲线部分3通过在分配头和工作台一起移动的同时将糊状物从喷嘴排出到基板S上而形成。

当分配糊状物以形成曲线部分3时，保持静止的分配头或工作台开始移动。当曲线部分3完全形成时，分配头或工作台停止。糊状物分配器可高速分配糊状物以缩短分配时间。

然而，如果以高分配速度执行分配，则当开始糊状物分配以形成曲线部分3时对保持静止的工作台施加高冲击。而且，当曲线部分3完全形成后糊状物分配结束时，对正在移动的工作台施加高冲击。相应地，工作台或糊状物分配器可能振动。由于这种振动，可能出现曲线部分3的宽度和高度变得与直线部分2的宽度和高度不同的问题。即使当头支撑单元移动而不是工作台移动时，该问题也可能出现。

特别是，在处理大尺寸基板的情况下，工作台和头支撑单元的尺寸和重量必然相应增加，这使上述问题更严重。由于这些原因，增加分配速度受限。

发明内容

本发明提供了一种使用糊状物分配器分配糊状物的方法，其能够确保糊状物图案的均匀性，即使当分配速度增加时或当采用大尺寸基板时也是如此。

本发明还提供了一种气压供给装置，其用于在分配糊状物以形成糊状物图案的曲线部分时改变分配压力。

根据本发明的一方面，提供一种用糊状物分配器分配糊状物的方法，该糊状物分配器通过相对于工作台以一分配速度水平地移动分配头而将糊状物分配在基板上以形成具有直线部分和曲线部分的糊状物图案，所述分配头包括糊状物通过分配压力从其排出的喷嘴，所述工作台上放置有基板，该方法包括：从曲线开始位置或从在曲线开始位置前面的预定位置至在曲线末端位置前面的另一个预定位置将分配速度从直线分配速度减少至曲线分配速度；从减速结束位置至曲线末端位置或至在曲线末端位置前面的加速开始位置将分配速度保持在曲线分配速度；从减速开始位置至减速结束位置将分配压力从直线分配压力减少至曲线分配压力；以及从减速结束位置至加速开始位置将分配压力保持在曲线分配压力。

根据本发明的另一方面，提供了一种气压供给装置，其用于执行如权利要求1至13中任一项所述的糊状物分配方法并对容纳糊状物的注射器施加分配压力以将糊状物从与注射器连接的喷嘴排出，该气压供给装置包括：接收正压空气的正压自动调节器，其调节正压空气的压力，并且向注射器供应压力调节后的正压空气；接收负压空气的负压自动调节器，其调节负压空气的压力，并且向注射器供应压力调节后的负压空气；以及压力传感器，其测量其中从正压自动调节器供应的正压空气与从负压自动调节器供应的负压空气混合的空气的压力，其中正压自动调节器和负压自动调节器基于压力传感器测到的压力值分别调节正压空气和负压空气，使得注射器内的分配压力具有预定压力值。

本发明另外的方面将在以下说明中陈述，并且根据此说明本发明的这些方面在一定程度上会变得很明显，或可通过实践本发明领会本发明的这些方面。

应当理解，上述概括说明及以下详细说明都是示例性和说明性的，并且意在为要求保护的发明提供进一步的解释。

附图说明

在此包括附图以便于进一步理解本发明，附图合并到本说明书中并且构成了本说明书的一部分，其中示出了本发明的实施方式，并且连同其描述一起起到解释本发明的各方面的作用。

图1示出涂布在基板上的糊状物图案的示例；

图2是应用根据本发明实施方式的糊状物分配方法的糊状物分配器的立体图；

图3是图2所示的头单元的立体图；

图4是用于执行根据本发明实施方式的糊状物分配方法的气压供给装置的框图；

图5和图6是用于解释根据本发明实施方式的糊状物分配方法的视图；

图7示出分配糊状物以形成糊状物图案的位置；

图8示出在图6中所示减速结束位置和加速开始位置的其他示例；以及

图9示出在图6中所示减速开始位置和加速结束位置的其他示例。

具体实施方式

下面参照附图更充分地说明本发明，附图中示出了本发明的示例性实施方式。然而，本发明可以以许多不同的形式实施而不应理解为限于在此所述的示例性实施方式。其实，提供这些示例性实施方式使得本次公开彻底，并且对本领域的普通技术人员充分传达本发明的范围。图中，为清晰起见可能放大了层和区域的尺寸及相对尺寸。图中相同的附图标记表示相同的元件。

图2是应用根据本发明实施方式的糊状物分配方法的糊状物分配器10的立体图。

如图2所示，糊状物分配器10包括框架11、工作台12、头支撑单元13、头单元21和控制器(未示出)。工作台12布置在框架11上方。从框架11一侧供应的基板S放置在工作台12上。

工作台12可被固定至框架11，或通过第一致动器(未示出)以滑动方式沿Y轴方向移动。而且，工作台12可通过第二致动器(未示出)以滑动方式沿X轴方向移动。

头支撑单元13布置在工作台12上方。两侧均由框架11支撑的头支撑单元13沿X轴方向延伸。头支撑单元13可通过第三致动器(未示出)以滑动方式沿Y轴方向移动。

每一头单元21由头支撑单元13支撑并可沿X轴方向移动。头单元21可通过第四致动器(未示出)以滑动方式沿X轴方向移动。头单元21具有如图3中所示的结构。

头单元21包括分配头23，该分配头具有从其排出糊状物的喷嘴22。喷嘴22与其中容纳了所述糊状物的注射器24连接。

分配头23可通过第五致动器(未示出)向上移动以改变喷嘴22的位置。该第五致动器可包括电机25和由电机25提升的提升单元(未示出)。这里，所述提升单元可被固定至分配头23。如果该提升单元被电机25提升，则固定至该提升单元的分配头23也被提升。如果分配头23被提升，则喷嘴22上升。

距离传感器26设置在喷嘴22的旁边。距离传感器26测量喷嘴22和基板S之间的距离，并将测到的距离值提供至所述控制器。所述控制器基于测到的距离值控制喷嘴22的高度。而且，所述控制器也控制第一至第五致动器使得喷嘴22可相对于基板S移动。

同时，图4中所示的气压供给单元100可安装在注射器24内。气压供给单元100将具有预定压力的空气供应到注射器24内以在注射器24内施加预定压力。施加在注射器24内的预定压力用作用于从喷嘴22排出糊状物的分配压力。从喷嘴22排出的糊状物的量取决于该分配压力。

如图4所示，气压供给单元100包括正压自动调节器110、负压自动调节器120和压力传感器130。

正压自动调节器110从正压空气供应源101接收正压空气。该正压空气可以是洁净干空气(CDA)。正压自动调节器110调节接收到的正压空气的压力并将压力调节后的空气供应至注射器24。负压自动调节器120从负压空气供应源102接收负压空气。负压自动调节器120调节接收到的负压空气的压力并将压力调节后的空气供应至注射器24。

压力传感器130测量其中从正压自动调节器110供应的正压空气与从负压自动调节器120供应的负压空气混合的空气的压力。正压自动调节器110和负压自动调节器120基于测到的压力值分别调节正压空气和负压空气的压力，使得注射器24内的分配压力具有预定值。

正压自动调节器110和负压自动调节器120可由控制器30控制。可将压力传感器130测到的压力值提供至控制器30。因此，控制器30可基于从压力传感器130接收的压力值控制正压自动调节器110和负压自动调节器120，使得注射器24内的分配压力具有预定值。

例如，如果将要施加在注射器24内的预定的分配压力值输入至控制器30，则控制器30将压力传感器130测到的压力值与预定的分配压力值进行比较。如果所测到的压力值小于预定的分配压力值，则控制器30控制正压自动调节器110并以测到的压力值和预定的分配压力值之间的差值增加正压空气的压力，并将所得的正压空气供应至注射器24。

同时，控制器30可控制负压自动调节器120以增加负压空气的压力并将所得的负压空气供应至注射器24。此时，控制器30控制正压自动调节器110和负压自动调节器120，使得其中所述正压空气与所述负压空气混合的空气的压力达到预定的分配压力。相应地，注射器24内的分配压力可与该预定值相等。

如果测到的压力值大于预定的分配压力值，则控制器30控制正压自动调节器110并以测到的压力值和预定的分配压力值之间的差值降低正压空气的压力，并且同时控制负压自动调节器120以降低负压空气的压力。

如以上所述，根据本发明当前实施方式的气压供给装置100同时调节正压空气的压力和负压空气的压力，从而将分配压力改变为预定压力。与采用单个正压自动调节器改变分配压力的对比示例相比，使用两个调节器(即，正压自动调节器和负压自动调节器)改变分配压力的当前实施方式可在更短的时间内将分配压力改变为预定压力。

例如，如果以相同的比率改变分配压力，则当前实施方式将分配压力改变为预定压力的时间比在所述对比示例中更短(至少是所述对比示例中消耗的时间的一半)。相应地，如图6中所示，当前实施方式与所述对比示例相比可更加线性地改变分配压力。同时，通过适当调节形成所述糊状物图案要消耗的时间，可在允许的范围内接近线性地改变分配压力。

由于气压供给装置100采用了正压自动调节器110和负压自动调节器120两者来调节压力，所以可以进行高真空控制。而且，由于气压供给装置100包括负压自动调节器120，所以在分配结束后或当所述糊状物分配器保持静止时气压供给装置100可控制压力以反吸残留在喷嘴尖端的糊状物。

气压供给装置100可进一步包括正压阀115和负压阀125。正压阀115用来打开或关闭正压自动调节器110和压力传感器130之间的气流。当不需要将来自正压自动调节器110的正压空气供应至注射器24时正压阀115可防止将正压空气供应至注射器24。

负压阀125用来打开或关闭负压自动调节器120和压力传感器130之间的气流。当不需要将来自负压自动调节器120的负压空气供应至注射器24时负压阀125可防止将负压空气供应至注射器24。正压阀115和负压阀125可由控制器30控制。

现在将说明利用具有上述配置的糊状物分配器10分配糊状物的方法，其中假定要形成在基板上的糊状物图案具有图1中所示的正方形。

图5是用于解释图2所示的头单元21的移动速度相对于头单元21的位置的变化以及图2所示的工作台12的移动速度相对于工作台12的位置的变化的视图。图6是用于解释图2中所示的喷嘴22的分配速度和分配压力变化的视图，并且图7示出在其上分配糊状物以形成糊状物图案的位置。

如图5和6中所示，分配速度变化对应于头单元21的移动速度Vx的变化和工作台12的移动速度Vy的变化之和。

下面参照图5和7说明分配速度的变化。

在减速开始位置L1之前分配速度保持在直线分配速度V1。由于减速开始位置L1位于第一直线分配区域A1中，所以减速开始位置L1可以是在曲线开始位置L2前面的预定位置。

在减速开始位置L1，所述分配速度开始减小并在减速结束位置L3降低至曲线分配速度V2。减速结束位置L3可与曲线开始位置L2等同。这里，在减速开始位置L1和减速结束位置L3之间所述分配速度可线性地减小。

然后，从减速结束位置L3至加速开始位置L4所述分配速度保持在曲线分配速度V2。加速开始位置L4可与曲线末端位置L5等同。

接着，从加速开始位置L4至加速结束位置L6所述分配速度增加至直线分配速度V1。由于加速结束位置L6位于第二直线分配区域A3中，所以加速结束位置L6可以是在曲线末端位置L5后面的预定位置。这里，在加速开始位置L4和加速结束位置L6之间所述分配速度可线性地增加。加速开始位置L4和加速结束位置L6之间的距离可与减速开始位置L1和减速结束位置L3之间的距离相同。所述分配速度从加速结束位置L6开始保持在直线分配速度V1。

如图5所示，通过采用上述方法改变所述分配速度，工作台12可从曲线开始位置L2加速至加速结束位置L6。这里，加速结束位置L6在曲线末端位置L5的后面。

相应地，当直线分配速度V1增加时，为了启动保持静止的工作台12而对工作台12施加的冲击比加速结束位置L6在曲线末端位置L5前面的常规情况低。

而且，当工作台12的重量增加时，对工作台12施加的冲击比在所述常规情况下更低。所以，可相应减少工作台12的振动，并且分配糊状物的速度增加，从而防止了糊状物图案的曲线部分的形状变得与预定形状不同的问题。

工作台12停止的方式可与头单元31停止时的方式相同。亦即，工作台12从减速开始位置L1减速，并在曲线末端位置L5停止。这里，减速开始位置L1可在曲线开始位置L2的前面。

相应地，当直线分配速度V1增加时，为了使正在移动的工作台12停止而对工作台12施加的冲击比减速开始位置L1在曲线开始位置L2后面的常规情况低。

同时，相似地，当头支撑单元13移动而不是工作台12移动时，为启动或停止头支撑单元13而对头支撑单元13施加的冲击比在所述常规情况下低。

在减速开始位置L1和加速结束位置L6之间，所述分配速度低于直线分配速度V1。如果每小时从喷嘴22排出的糊状物的量恒定，则涂布在减速开始位置L1和加速结束位置L6之间的糊状物的宽度和高度将变得大于以直线分配速度V1涂布的糊状物的宽度和高度。

相应地，为了调节每小时从喷嘴22排出的糊状物的量，必须调节排出压力。下面将参照图6说明调节分配压力的细节。

在减速开始位置L1，分配压力保持在直线分配压力P1。当分配速度从减速开始位置L1减少时，所述分配压力开始降低并在减速结束位置L3达到曲线分配压力P2。

这里，可将曲线分配压力P2和曲线分配速度V2设定至预定值，使得在曲线分配压力P2下以曲线分配速度V2涂布的糊状物的宽度和高度等于在直线分配压力P1下以直线分配速度V1涂布的糊状物的宽度和高度。而且，在减速开始位置L1和减速结束位置L3之间，可以以与分配速度的减速比率相同的比率减少所述分配压力。相应地，在减速开始位置L1和减速结束位置L3之间涂布的糊状物的宽度和高度变得与在第一直线分配区域A1中形成的直线部分的宽度和高度相等。

在所述分配压力在减速结束位置L3降低至曲线分配压力P2之后，从减速结束位置L3至加速开始位置L4所述分配压力保持在曲线分配压力P2。相应地，在曲线分配区域A2中形成的曲线部分的宽度和高度变得与在第一直线部分分配区域A1中形成的直线部分的宽度和高度相等。

然后，从加速开始位置L4至加速结束位置L6所述分配压力增加至直线分配压力P1。这里，所述分配压力增加的比率可与所述分配速度的加速比率相同。相应地，在加速开始位置L4和加速结束位置L6之间涂布的糊状物的宽度和高度变得与在第二直线分配区域A3中涂布的糊状物的宽度和高度相等。

在加速结束位置L6之后，所述分配压力保持在直线分配压力P1。所以，在第二直线分配区域A3中形成的直线部分的宽度和高度变得等于在第一直线分配区域A1中形成的直线部分的宽度和高度。通过如上述改变所述分配压力，整个糊状物图案的宽度和高度变得均匀，从而实现糊状物图案的均匀性。

同时，如果当所述分配压力改变时喷嘴22(见图3)和基板S(见图2)之间的距离也改变，则喷嘴22涂布的糊状物的宽度和高度变得与预定的宽度和高度不同。相应地，当所述分配压力改变时，喷嘴22和基板S之间的距离必须保持均匀。

如图8中所示，在另一示例中，如果减速开始位置L1在曲线开始部分L2的前面，则减速结束位置L3可在曲线开始位置L2的前面。而且，如果加速结束位置L6在曲线末端位置L5的后面，则加速开始位置L4可在曲线末端位置L5的后面。在减速开始位置L1和减速结束位置L3之间减少分配压力的情况以及在加速开始位置L4和加速开始位置L6之间增加分配压力的情况与上述实施方式相同。

如图9中所示，在又一示例中，减速开始位置L1等同于曲线开始位置L2。这种情况下，减速结束位置L3在曲线开始位置L2的后面。而且，加速结束位置L6可等同于曲线末端位置L5。这种情况下，加速开始位置L4在曲线末端位置L5的前面。在减速开始位置L1和减速结束位置L3之间减少分配压力的情况以及在加速开始位置L4和加速结束位置L6之间增加分配压力的情况与上述实施方式相同。

如以上所述，在根据本发明当前实施方式的糊状物分配方法中，当所述直线分配速度增加时，为了启动或停止保持静止或正在移动的工作台而对所述工作台施加的冲击比在常规情况下低。而且，当所述工作台的重量增加时，与在所述常规情况下相比对所述工作台施加的冲击更低，这样减少了所述工作台的振动。而且，当所述头支撑单元移动而不是所述工作台移动时，为了启动或停止所述头支撑单元而对头支撑单元施加的冲击比在常规情况下更低，这样减少了所述头支撑单元的振动。相应地，可增加分配糊状物的速度，并且可防止糊状物图案的曲线部分的形状与预定形状不同的问题。

而且，通过在分配速度改变时改变分配压力来防止涂布的糊状物的宽度和高度增加，使得糊状物图案的宽度和高度变得均匀。相应地，可确保糊状物图案的均匀性。

由于当形成糊状物图案的拐角部分时根据本发明当前实施方式的气压供给装置100改变分配压力，所以所述糊状物图案可形成期望的形状。而且，气压供给装置100可控制压力以在分配结束后或在所述糊状物分配器保持静止时反吸残留在喷嘴尖端的糊状物。相应地，气压供给装置100可实现高真空控制。

本发明可应用于与糊状物分配器相关的各种技术领域。

显然，对本领域的普通技术人员而言，在不偏离本发明的精神和范围的情况下在本发明中可作出各种改型和变型。因此，本发明意在覆盖该发明的改型和变型，只要它们落在所附权利要求书及其对等物的范围之内即可。

Claims (15)

1.一种用糊状物分配器分配糊状物的方法，所述糊状物分配器通过相对于基板所在的工作台以分配速度水平地移动包括喷嘴的分配头而将所述糊状物分配在所述基板上以形成具有直线部分和曲线部分的糊状物图案，所述喷嘴以分配压力排出所述糊状物，所述方法包括：

从曲线开始位置或从所述曲线开始位置前面的预定位置至曲线末端位置前面的另一个预定位置将所述分配速度从直线分配速度减少至曲线分配速度；

从减速结束位置至所述曲线末端位置或至所述曲线末端位置前面的加速开始位置将所述分配速度保持在所述曲线分配速度；

从减速开始位置至所述减速结束位置将所述分配压力从直线分配压力减少至曲线分配压力；以及

从所述减速结束位置至所述加速开始位置将所述分配压力保持在所述曲线分配压力。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

从所述加速开始位置至所述加速结束位置将所述分配速度从所述曲线分配速度增加至所述直线分配速度；

从所述加速结束位置开始将所述分配速度保持在所述直线分配速度；

从所述加速开始位置至所述加速结束位置将所述分配压力从所述曲线分配压力增加至所述直线分配压力；

从所述加速结束位置开始将所述分配压力保持在所述直线分配压力。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述减速开始位置在所述曲线开始位置的前面，所述减速结束位置等同于所述曲线开始位置，并且

所述加速开始位置就是所述曲线末端位置，所述加速结束位置在所述曲线末端位置的后面。

4.如权利要求3所述的方法，其中将所述曲线分配速度和所述曲线分配压力设定至预定值，使得在所述曲线分配压力下以所述曲线分配速度涂布的糊状物的宽度和高度与在所述直线分配压力下以所述直线分配速度涂布的糊状物的宽度和高度相同。

5.如权利要求4所述的方法，进一步包括：

在所述减速开始位置和所述减速结束位置之间线性地减少所述分配速度；以及

在所述减速开始位置和所述减速结束位置之间以与所述分配速度的减少比率相同的比率减少所述分配压力。

6.如权利要求5所述的方法，进一步包括：

在所述加速开始位置和所述加速结束位置之间线性地增加所述分配速度；以及

在所述加速开始位置和所述加速结束位置之间以与所述分配速度的增加比率相同的比率增加所述分配压力。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述减速开始位置和所述减速结束位置之间的距离等于所述加速开始位置和所述加速结束位置之间的距离。

8.如权利要求1所述的方法，其中在形成所述糊状物图案的同时所述喷嘴和所述基板之间的间距保持恒定。

9.一种用糊状物分配器分配糊状物的方法，所述糊状物分配器通过相对于基板所在的工作台以一分配速度水平地移动分配头而将所述糊状物分配在所述基板上以形成具有直线部分和曲线部分的糊状物图案，所述喷嘴以分配压力排出所述糊状物所述方法包括：

从曲线末端位置或从所述曲线末端位置前面的预定位置至加速结束位置将所述分配速度从曲线分配速度增加至直线分配速度；

从所述加速结束位置开始将所述分配速度保持在所述直线分配速度；

从加速开始位置至所述加速结束位置将所述分配压力从曲线分配压力增加至直线分配压力；以及

从所述加速结束位置开始将所述分配压力保持在所述直线分配压力。

10.如权利要求9所述的方法，其中所述加速开始位置就是所述曲线末端位置，并且所述加速结束位置在所述曲线末端位置的后面。

11.如权利要求10所述的方法，其中将所述曲线分配速度和所述曲线分配压力设定至预定值，使得在所述曲线分配压力下以所述曲线分配速度涂布的糊状物的宽度和高度与在所述直线分配压力下以所述直线分配速度涂布的糊状物的宽度和高度相同。

12.如权利要求11所述的方法，进一步包括：

在所述曲线末端位置和所述加速结束位置之间线性地增加所述分配速度；

在所述曲线末端位置和所述加速结束位置之间以与所述分配速度的增加比率相同的比率增加所述分配压力。

13.如权利要求9所述的方法，其中在形成所述糊状物图案的同时所述喷嘴和所述基板之间的间距保持恒定。

14.一种气压供给装置，其用来执行如权利要求1至13中任一项所述的糊状物分配方法并对容纳糊状物的注射器施加分配压力以将所述糊状物从与所述注射器连接的喷嘴排出，所述气压供给装置包括：

接收正压空气的正压自动调节器，其调节所述正压空气的压力，并且向所述注射器供应压力调节后的正压空气；

接收负压空气的负压自动调节器，其调节所述负压空气的压力，并且向所述注射器供应压力调节后的负压空气；以及

压力传感器，其测量从所述正压自动调节器供应的正压空气与从所述负压自动调节器供应的负压空气混合的空气的压力，

其中所述正压自动调节器和所述负压自动调节器基于所述压力传感器测到的压力值分别调节所述正压空气和所述负压空气，使得所述注射器内的分配压力具有预定的压力值。

15.如权利要求14所述的气压供给装置，进一步包括：

正压阀，其用于打开或关闭所述正压自动调节器和所述压力传感器之间的正压空气的流动；以及

负压阀，其用于打开和关闭所述负压自动调节器和所述压力传感器之间的负压空气的流动。

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