KR100948626B1 - 고속 코팅 장치 및 고속 코팅 방법 - Google Patents

고속 코팅 장치 및 고속 코팅 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고속 코팅 장치 및 코팅 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 장치는 상기 글래스가 위치되는 테이블; 스테이지; 상기 스테이지 상에서 이동 가능하게 장착되는 갠트리(gantry); 상기 갠트리의 하부 또는 일측면에 고정 장착되는 슬릿 다이; 상기 스테이지 상에 제공되며, 상기 갠트리의 이동을 가이드하는 제 1 가이드 부재; 상기 테이블의 이동을 가이드하는 제 2 가이드 부재; 및 상기 제 2 가이드 부재 상에서 상기 테이블의 이동을 제어하는 테이블 액추에이터를 포함하고, 상기 테이블은 상기 갠트리의 이동 방향을 따라 일시적으로 상대운동하고, 상기 슬릿 다이는 상기 갠트리와 상기 테이블이 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 슬릿 다이가 상기 도액의 토출을 시작하는 것을 특징으로 한다.
고속, 코팅 장치, 코팅 방법

Description

고속 코팅 장치 및 고속 코팅 방법{A High Speed Coating Apparatus and A High Speed Coating Method}
본 발명은 고속 코팅 장치 및 고속 코팅 방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 또는 액정 디스플레이(LCD)를 제조하기 위해 PDP 또는 LCD 글래스 상에 도액을 공급할 때, 테이블을 갠트리의 이동 방향을 따라 일시적으로 상대 운동시키거나 또는 갠트리 상에서 슬릿 다이를 갠트리의 이동 방향과 반대방향으로 일시적으로 상대 운동시킴으로써, 정속 도달 시간이 감소되어(또는 정속 도달 거리가 짧아져) 고속 도액 코팅이 가능하며, 도액의 초기 코팅 부분의 두께 불균일성으로 인한 불균일한 부분의 길이를 현저하게 감소시킬 수 있는 고속 코팅 장치 및 고속 코팅 방법에 관한 것이다.
일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 또는 액정 디스플레이(LCD)를 제조하기 위해서는 글래스와 같은 기재(基材) 또는 작업물(work piece: 이하 "작업물"이라 합니다) 상에 도액을 전면 도포하기 위해서는 슬릿 다이(slit die)를 구비한 코팅 장치가 사용된다.
상술한 종래 기술의 PDP 또는 LCD 제조용 코팅 장치가 도 1에 개략적으로 도 시되어 있다.
도 1을 참조하면, PDP 또는 LCD를 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치(table coater)(100)에서는 코팅할 작업물인 글래스(110)를 석션 테이블(suction table)(120)(이하 "테이블(120)"이라 합니다) 상에 위치시킨다. 그 후 스테이지(stage)(102) 상에서 갠트리(gantry)(125)에 부착된 슬릿 다이(130)를 예를 들어 리니어 모션 가이드(Linear Motion Guide: 이하 "LM 가이드"라 합니다)(104)를 따라 수평방향으로 이동시키면서 글래스(110) 상에 필요한 도액을 도포시키는 방법이 사용되고 있다.
한편, 상술한 도 1에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)에 사용되며, 도액의 토출 압력 및 그에 따른 도액의 토출 속도를 제어하기 위한 도액 펌핑 장치가 도 2a에 개략적으로 도시되어 있다.
도 2a를 참조하면, 종래 기술의 도액 펌핑장치(200)는 슬릿 다이(230) 내로 도액을 공급한다. 슬릿 다이(230)는 통상적으로 제 1 립(232); 상기 제 1 립(232)과 대향하여 위치되는 제 2 립(234); 상기 제 1 립(232) 및 상기 제 2 립(234) 내에 제공되며, 도액을 공급받아 토출하는 챔버(미도시); 및 상기 제 1 립(232) 및 상기 제 2 립(234)의 하부 측에 제공되며, 도액을 토출하기 위한 슬릿(slit)(236)을 포함한다. 슬릿(236)을 구비한 슬릿 다이(230)는 슬릿 노즐로도 지칭된다. 또한, 도액 펌핑장치(200)는 도액 저장 탱크(202) 및 도액 공급관(204)과 각각 연결되며, 저장 탱크(202)로부터 도액을 유입하여, 도액 공급관(204)을 통해 도액을 슬릿 다이(230)로 제공한다.
다시 도 1 및 도 2a를 참조하면, 상술한 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)를 사용하여 도액을 글래스(110) 상에 연속적으로 도포하기 위해서는 갠트리(125)가 LM 가이드(104)를 따라 이동하는 동안, 슬릿 다이(130)는 도액 펌핑장치(200)의 펌핑 동작에 의해 슬릿(slit)(236)을 통해 도액을 글래스(110) 상에 토출한다.
상술한 슬릿 다이(130)의 연속적인 도액 토출 동작을 위해 갠트리(125)는 스테이지(102) 상에서 LM 가이드(104)를 따라 정지 상태에서 일정한 속도(정속)에 도달할 때까지(또는 슬릿 다이(230)에서 공급되는 도액의 공급 압력이 일정한 값(정압)에 도달할 때까지) 가속되어야 한다.
상술한 도 1에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)를 사용하여 글래스(110) 상에 도액을 도포하는 경우, 도액의 도포 시작 위치에서부터 도액이 거의 일정하게 도포되는 도포압력(정압)에 대응되는 정속에 도달하는 시간이 도 2b에 도시되어 있다. 또한, 도 2c는 상술한 도 1에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)를 사용하여 글래스(110) 상에 도액을 도포하는 경우, 도액의 도포 시작 위치에서부터 도액이 거의 일정하게 도포되는 도포압력(정압)에 대응되는 정속에 도달하기까지의 갠트리(130)의 가속 패턴을 도시하고 있다.
도 2b 및 도 2c를 참조하면, 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)를 사용하여 도액을 도포할 경우, 슬릿 다이(230)가 일정한 도포압력(정압)에 대응되는 정속에 도달하는데 필요한 시간(이하 "정속 도달 시간"이라 합니다)이 대략 600ms(밀리초)(즉, 0.6초)가 요구된다. 또한, PDP 또는 LCD의 양산에 필요한 도액의 도포 두께는 스캔 방향(Scan Direction)으로 대략 1 내지 1.5% 범위 내의 균일 성(Uniformity)(구체적으로, (실제 도포 두께의 최대치-최소치)x100/요구되는 도포 두께)이 요구된다. 예를 들어, 도 2c에 도시된 바와 같이 정속이 150mm/sec이고, 이를 2b에 도시된 실시예에 적용하여 도포압력(정압)에 대응하는 정속에 도달하는 시간을 거리(이하 "정속 도달 거리"라 합니다)로 환산하면 대략 45mm 정도이다.
상술한 정속 도달 시간 또는 정속 도달 거리를 줄이기 위한 하나의 방법으로 예를 들어 갠트리(230)를 급가속하는 방법이 사용될 수 있다. 그러나, 갠트리(230)가 급가속되면, 슬릿다이(230)가 급가속 초기에 수직 방향으로 흔들림이 발생하게 된다는 문제점이 발생한다.
또한, 도 2b 및 도 2c를 참조하면, 슬릿다이(230)를 0.6초 동안 도 1에 도시된 글래스(110)의 도포 시작 위치로부터 대략 45mm 위치(즉, 정속 도달 시간 또는 정속 도달 거리에 대응하는 위치)에서 150mm/sec의 정속에 도달하도록 가속하는 경우(이 경우 평균 가속도는 250mm/sec2임), 도액의 도포 시작 부분(시작 시점)과 정속 구간(도액이 일정량 도포되는 시점)에서 얼룩(즉, 도액 두께의 불균일)이 발생한다는 문제점이 존재한다. 정속 도달 시간 또는 정속 도달 거리를 줄이기 위해 예를 들어 슬릿다이(230)를 0.5초 동안 도 1에 도시된 글래스(110)의 도포 시작 위치로부터 대략 45mm 위치(즉, 정속 도달 시간 또는 정속 도달 거리에 대응하는 위치)에서 200mm/sec의 정속에 도달하도록 급가속하는 경우(이 경우 평균 가속도는 360mm/sec2임), 얼룩 발생 문제가 더욱 더 악화된다는 문제가 발생한다.
따라서, 슬릿다이(230)를 급가속하여 빠른 시간 내에 정속 도달 시간 또는 정속 도달 거리에 도달하면서도 얼룩 발생 문제가 발생하지 않는 새로운 고속 코팅 장치 및 고속 코팅 방법이 요구된다.
본 발명은 PDP 또는 LCD를 제조하기 위해 PDP 또는 LCD 글래스 상에 도액을 공급할 때, 테이블을 갠트리의 이동 방향을 따라 일시적으로 상대 운동시키거나 또는 갠트리 상에서 슬릿 다이를 갠트리의 이동 방향과 반대방향으로 일시적으로 상대 운동시킴으로써, 정속 도달 시간이 감소되어(또는 정속 도달 거리가 짧아져) 고속 도액 코팅이 가능하며, 도액의 초기 코팅 부분의 두께 불균일성으로 인한 불균일한 부분의 길이를 현저하게 감소시킬 수 있는 고속 코팅 장치 및 고속 코팅 방법에 관한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따르면, LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 장치에 있어서, 상기 글래스가 위치되는 테이블; 스테이지; 상기 스테이지 상에서 이동 가능하게 장착되는 갠트리(gantry); 상기 갠트리의 하부 또는 일측면에 고정 장착되는 슬릿 다이; 상기 스테이지 상에 제공되며, 상기 갠트리의 이동을 가이드하는 제 1 가이드 부재; 상기 테이블의 이동을 가이드하는 제 2 가이드 부재; 및 상기 제 2 가이드 부재 상에서 상기 테이블의 이동을 제어하는 테이블 액추에이터를 포함하고, 상기 테이블은 상기 갠트리의 이동 방향을 따라 일시적으로 상대운동하고, 상기 슬릿 다이는 상기 갠트리와 상기 테이블이 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 슬릿 다이가 상기 도액의 토출을 시작하는 고속 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 2 특징에 따르면, LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 장치에 있어서, 상기 글래스가 위치되는 테이블; 스테이지; 상기 스테이지 상에서 이동 가능하게 장착되는 갠트리(gantry); 상기 갠트리의 하부 또는 일측면에 고정 장착되는 슬릿 다이; 상기 스테이지 상에 제공되며, 상기 갠트리의 이동을 가이드하는 제 1 가이드 부재; 및 상기 갠트리 상에서 상기 슬릿 다이의 수평 방향 이동을 제어하는 액추에이터를 포함하고, 상기 슬릿 다이는 상기 갠트리의 이동 방향과 반대방향을 따라 일시적으로 상대운동하고, 상기 슬릿 다이와 상기 갠트리가 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 슬릿 다이가 도액의 토출을 시작하는 고속 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 3 특징에 따르면, LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 방법에 있어서, a) 도액 펌핑 장치가 도액 공급관 상의 펌핑 밸브를 개방하는 단계; b) 갠트리가 글래스 상의 미리 정해진 시점에서 가속되기 시작함과 동시에 테이블이 상기 갠트리와 동일한 방향으로 가속되기 시작하는 단계; c) 상기 갠트리와 상기 테이블이 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 갠트리는 계속 가속되고 상기 테이블은 감속되는 단계; 및 d) 상기 갠트리는 미리 정해진 정속에 도달하고, 상기 테이블은 계속 감속되어 정지하는 단계를 포함하고, 상기 갠트리와 상기 테이블이 미리 정해진 속도에 도달한 시점에서 상기 도액이 슬릿 다이로부터 토출되기 시작하는 고속 코팅 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 4 특징에 따르면, LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 방법에 있어서, a) 도액 펌핑 장치가 도액 공급관 상의 펌핑 밸브를 개방하는 단계; b) 테이블이 정지한 상태에서 갠트리가 글래스 상의 미리 정해진 시점에서 가속되기 시작함과 동시에 슬릿 다이가 상기 갠트리와 반대 방향으로 가속되기 시작하는 단계; c) 상기 갠트리가 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 갠트리는 계속 가속되고 상기 슬릿 다이는 감속되는 단계; 및 d) 상기 갠트리는 미리 정해진 정속에 도달하고, 상기 슬릿 다이는 계속 감속되어 정지하는 단계를 포함하고, 상기 갠트리와 상기 슬릿 다이가 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 도액이 상기 슬릿 다이로부터 토출되기 시작하는 고속 코팅 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 고속 코팅 장치 및 고속 코팅 방법에서는 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 테이블과 갠트리 간의 일시적인 상대운동 또는 슬릿 다이와 갠트리 간의 일시적인 상대운동으로 인하여 정속 도달 시간이 감소되어(또는 정속 도달 거리가 짧아져) 고속 도액 코팅이 가능하다.
2. 도액의 초기 코팅 부분의 두께 불균일성으로 인한 불균일한 부분의 길이가 현저하게 감소된다.
3. 급가속 초기에 발생하는 갠트리의 수직 방향 흔들림이 도액의 초기 코팅 부분의 두께 불균일성에 미치는 영향이 상대적으로 작거나 실질적으로 없다.
4. 도액의 고속 코팅이 가능하므로 PDP 또는 LCD 제조 공정 시간(tact time)이 감소되어, 생산성이 향상된다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 기술한다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고속 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3a를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 장치(300)는 상기 글래스(미도시)가 위치되는 테이블(320); 스테이지(302); 상기 스테이지(302) 상에서 이동 가능하게 장착되는 갠트리(gantry)(325); 상기 갠트리(325)의 하부 또는 일측면에 고정 장착되는 슬릿 다이(330); 상기 스테이지(302) 상에 제공되며, 상기 갠트리(325)의 이동을 가이드하는 제 1 가이드 부재 (304); 상기 테이블(320)의 이동을 가이드하는 제 2 가이드 부재(322); 및 상기 제 2 가이드 부재(322) 상에서 상기 테이블(320)의 이동을 제어하는 테이블 액추에이터(324)를 포함한다. 여기서, 제 1 가이드 부재(304) 및 제 2 가이드 부재(322)는 각각 LM 가이드로 구현될 수 있다. 그러나 당업자라면 제 1 가이드 부재(304) 및 제 2 가이드 부재(322)가 각각 갠트리(325) 및 테이블(320)의 이동을 가이드하는 에어 슬라이드(에어 베어링) 등과 같은 임의의 가이드 부재로 구현될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
상술한 본 발명의 제 1 실시예에서는 고속 코팅 장치(300)가 상기 테이블(320)의 이동을 가이드하는 제 2 가이드 부재(322); 및 상기 제 2 가이드 부재(322) 상에서 상기 테이블(320)의 이동을 제어하는 테이블 액추에이터(324)를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다. 좀 더 구체적으로, 도 3a의 실시예에서는 테이블(320)이 2개의 지지 부재(321)에 의해 지지되고, 2개의 지지 부재(321)가 2개의 제 2 가이드 부재(322) 상에서 이동 가능하게 장착되어 있다. 여기서, 2개의 제 2 가이드 부재(322)가 각각 테이블(320)을 지지하는 2개의 지지 부재(321)의 하부에 제공되는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 2개의 제 2 가이드 부재(322)가 각각 2개의 지지 부재(321)의 일측면 또는 양측면에 제공될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 또 다른 실시예에서는, 테이블(320)이 2개의 지지 부재(321)에 의해 지지되는 대신, 테이블(320)의 중앙 하부에 단일의 지지 부재(미도시)가 제공될 수도 있다. 이 경우 단일의 지지 부재(미도시)는 테이블(320)을 지지하기에 충분한 강도를 구비하여야 한다.
한편, 도 3a에 도시된 실시예에서 제 2 가이드 부재(322)는 제 1 가이드 부재와는 달리 길이방향의 길이(longitudinal length)가 대략 10mm 내지 20mm 범위의 상당히 짧은 길이를 갖는다는 점에 유의하여야 한다. 그 이유는 테이블(320)이 테이블 액추에이터(324)에 의해 제 2 가이드 부재(322) 상에서 일시적으로 가속된 다음 감속 및 정지하므로 이동 거리가 상대적으로 짧기 때문이다.
도 3b는 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)와 도 3a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고속 코팅 장치(300)를 사용하여 도액을 도포하는 경우 정속 도달 상태를 도시한 다이어그램이다.
이하에서는 도 1, 도 2a, 도 3a 및 도 3b를 참조하여, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고속 코팅 장치(300)의 고속 코팅의 구체적인 방법을 종래 기술과 비교하여 상세히 기술한다.
먼저, 도 1, 도 2a 및 도 3b를 참조하면, 도 2a에 도시된 도액 펌핑 장치(200)가 A 시점(또는 A 위치)에서 도액 공급관(204) 상의 펌핑 밸브(미도시)를 개방한다. 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)에서는 테이블(120)이 정지한 상태에서 갠트리(125)가 B 시점(또는 B 위치)에서 LM 가이드(104) 상에서 가속되기 시작한다. 이 경우, 갠트리(125)의 빔(beam)(160)에 장착된 슬릿 다이(130)가 B 시점(또는 B 위치)에서부터 도액을 글래스(110) 상에 공급하여 도액의 도포가 시작된다. 그 후, 갠트리(125)가 대략 45mm를 이동한 후 D 시점(또는 D 위치)에서 정속 시점 또는 정속 위치에 도달한다. 즉, B 위치와 D 위치 사이의 거리가 대략 45mm이고, B 시점과 D 시점 간의 시간이 대략 600ms(밀리초)(도 2b 참조)에 해당된다.
한편, 도 2, 도 3a 및 도 3b를 참조하면, 도 2a에 도시된 도액 펌핑 장치(200)가 A 시점(또는 A 위치)에서 도액 공급관(204) 상의 펌핑 밸브(미도시)를 개방한다. 본 발명에 따른 고속 코팅 장치(300)에서는 갠트리(325)가 B 시점(또는 B 위치)에서 제 1 가이드 부재(304) 상에서 가속되기 시작함과 동시에 테이블(320)도 제 2 가이드 부재(322) 상에서 갠트리(325)와 동일한 방향으로 가속되기 시작한다. 그 후, 갠트리(325)와 테이블(320)이 미리 정해진 속도(도 3b의 다이어그램에서는 170mm/sec)에 도달하면(즉, C 시점 또는 C 위치에 도달하면), 갠트리(325)는 계속 가속되지만, 테이블(320)은 감속된다. 또한, 컨트롤러(controller)(미도시)는 상기 C 시점 또는 C 위치에서 슬릿 다이(330)로부터 도액이 토출되기 시작하도록 슬릿 다이(330)의 도액 토출 시점을 제어한다. 그 후, 갠트리(325)는 D 시점 또는 D 위치에서 정속(예를 들어 200mm/sec)에 도달하고, 테이블(320)은 계속 감속되어 정지된다. 여기서, 테이블(320)은 D 시점 또는 D 위치 이후에도 정지될 때까지 갠트리(325)와 동일한 진행방향으로 이동한다는 점에 유의하여야 한다. 따라서, 갠트리(325)가 대략 45mm를 이동하여 D 시점 또는 D 위치에서 정속에 도달하는 것은 도 1에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치(100)의 갠트리(125)의 경우와 동일하다. 그러나, 도 3a의 실시예에서는 테이블(320)이 가속 및 감속됨으로써 갠트리(125)와 동일한 방향으로 이동한다. 또한, 도액 토출 시점이 종래 기술에서는 B 시점(또는 B 위치)에서 시작되지만 도 3a의 실시예에서는 C 시점(또는 C 위치)에서 시작된다. 그 결과, 도 3a의 실시예에서는 정속 도달 시간이 감소되고 또한 정속 도달 거리가 짧아져 고속 도액 코팅이 가능해진다.
한편, 급가속으로 인하여 갠트리(325)가 급가속 초기에 수직 방향으로 흔들리더라도, 갠트리(325)가 C 시점 또는 C 위치에 도달할 때까지는 콘트롤러(미도시)가 슬릿 다이(330)로부터 도액이 토출되지 않도록 제어하므로, 초기 코팅 부분의 두께 불균일성에 미치는 영향이 상대적으로 작거나 실질적으로 없게 된다.
나아가, 상술한 도 3a 및 도 3b의 실시예에서는, 테이블(320)의 감속이 시작되는 미리 정해진 속도가 170mm/sec인 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 테이블(320)의 감속이 시작되는 미리 정해진 속도를 예를 들어 50mm/sec, 80mm/sec, 120mm/sec, 또는 180mm/sec 등 사용자가 임의로 선택 및 조정할 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 아울러, 당업자라면 갠트리(325)의 감속 비율도 예를 들어 테이블(320)의 정지 시점 또는 정지 위치가 D 시점 또는 D 위치에서 이루어지도록 사용자에 의해 임의로 선택 및 조정될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
도 3c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 갠트리의 일부 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3c를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고속 코팅 장치(300)(도 3a 참조)에서는 빔(360)에 장착된 슬릿 다이(330)가 갠트리(325) 내에서 수평 방향(X축 방향)으로 이동하는 구성을 구비한다. 즉, 종래 기술에서는 빔(360)의 일측면에 제공되는 빔 지지 부재(362)가 갠트리(325)의 일측면에 장착되고 수직 방향(Z축 방향)으로 승강 가능하게 이동될 수 있다. 좀 더 구체적으로, 갠트리(325)가 테이블(320) 상에서 수평 방향(X축 방향)으로 이동하면서 도액을 토출하기 위해서는 글래스(110)(도 1 참조) 일측면 상부에 도달하기 전에 약간 상승한다(도 3b의 갠트리 Z 위치 다이어그램 참조).
다시 도 3c를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고속 코팅 장치(300)는 빔 지지 부재(362)의 하부에 상기 빔 지지 부재(362)를 수평 방향(X축 방향)으로 이동시키는 제 3 가이드 부재(372) 및 상기 제 3 가이드 부재(372)를 지지하는 가이드 지지 부재(370)를 포함한다. 이 경우, 빔 지지 부재(362)의 이동은 상기 제 3 가이드 부재(372) 상에서 상기 빔 지지 부재(362)의 이동을 제어하는 빔 액추에 이터(미도시)에 의해 제어된다.
도 3a와 도 3c를 도 3b와 함께 참조하면, 도 3a의 실시예에서는 빔(360)과 슬릿 다이(330)가 갠트리(325)에 고정된 상태에서, 갠트리(325)와 테이블(320)이 상대 운동을 하는 반면, 도 3c의 실시예에서는 테이블(320)이 정지한 상태에서 갠트리(325)가 이동하면서 갠트리(325)와 슬릿 다이(330)가 상대 운동을 한다. 좀 더 구체적으로, 도 3c의 실시예에서는 갠트리(325)가 도 3b에 도시된 갠트리(325) Z 위치 다이어그램과 같은 동작을 하는 동안, 빔(360)과 슬릿 다이(330)가 빔 액추에이터(미도시)에 의해 제 3 가이드 부재(372) 상에서 -X축 방향으로 도 3b의 테이블 위치에 대응하는 동일한 패턴으로 가속 및 감속된다. 즉, 도 3a의 실시예에서는 슬릿 다이(330)가 고정된 상태에서 테이블(320)이 갠트리(325)와 동일한 이동 방향으로 가속, 감속, 및 정지되는 반면, 도 3c의 실시예에서는 테이블(320)이 정지된 상태에서 슬릿 다이(330)가 갠트리(325)와 정반대의 이동 방향으로 가속, 감속, 및 정지된다. 이러한 도 3c에 도시된 슬릿 다이(330)의 가속, 감속, 및 정지 패턴은 상술한 콘트롤러(미도시)에 의해 제어된다. 여기서, 도 3c에 도시된 슬릿 다이(330)의 가속, 감속, 및 정지 패턴은 도 3a에 도시된 테이블(320)의 가속, 감속, 및 정지 패턴과 방향이 반대라는 점을 제외하고는 완전히 동일하다. 따라서, 도 3c에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 갠트리의 구성을 구비한 고속 코팅 장치는 도 3a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고속 코팅 장치와 동일한 효과를 달성한다는 것은 자명하다.
상술한 도 3c에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 갠트리의 일부 구성에 서는 제 3 가이드 부재(372)를 지지하는 가이드 지지 부재(370)가 사용되는 것으로 예시적으로 도시되어 있다. 그러나, 당업자라면 가이드 지지 부재(370)가 사용되지 않을 수도 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 이 경우, 제 3 가이드 부재(372)가 갠트리(325)의 일측면 내에서 -X축과 X축 방향을 따라 제공되고, 빔 지지 부재(362)가 제 3 가이드 부재(372) 상에서 -X축 방향을 이동될 수 있다.
또한, 도 3c에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 갠트리의 일부 구성에서는, 빔 지지 부재(362), 제 3 가이드 부재(372), 및 가이드 지지 부재(370)가 빔(360)의 일측면(도 3c에서는 우측면)에만 제공되는 것으로 도시되어 있지만, 당업자라면 빔 지지 부재(362), 제 3 가이드 부재(372), 및 가이드 지지 부재(370)로 구성된 동일한 구조가 빔(360)의 타측면(도 3c에서는 좌측면)에도 제공되어야 한다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
도 4a는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 고속 코팅 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 4a를 참조하면, 본 발명에 따른 LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 방법(400)은 a) 도액 펌핑 장치가 도액 공급관 상의 펌핑 밸브를 개방하는 단계(410); b) 갠트리가 글래스 상의 미리 정해진 시점에서 가속되기 시작함과 동시에 테이블이 상기 갠트리와 동일한 방향으로 가속되기 시작하는 단계(420); c) 상기 갠트리와 상기 테이블이 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 갠트리는 계속 가속되고 상기 테이블은 감속되는 단계(430); 및 d) 상기 갠트리는 미리 정해진 정속에 도달하고, 상기 테이블은 계속 감속되어 정지하는 단계(440)를 포함하고, 상기 갠트리와 상기 테이블이 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 도액이 슬릿 다이로부터 토출되기 시작하는 것을 특징으로 한다.
도 4b는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 고속 코팅 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 4b를 참조하면, 본 발명에 따른 LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 방법(400)은 a) 도액 펌핑 장치가 도액 공급관 상의 펌핑 밸브를 개방하는 단계(410); b) 테이블이 정지한 상태에서 갠트리가 글래스 상의 미리 정해진 시점에서 가속되기 시작함과 동시에 슬릿 다이가 상기 갠트리와 반대 방향으로 가속되기 시작하는 단계(420); c) 상기 갠트리가 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 갠트리는 계속 가속되고 상기 슬릿 다이는 감속되는 단계(430); 및 d) 상기 갠트리는 미리 정해진 정속에 도달하고, 상기 슬릿 다이는 계속 감속되어 정지하는 단계(440)를 포함하고, 상기 갠트리와 상기 슬릿 다이가 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 도액이 상기 슬릿 다이로부터 토출되기 시작하는 것을 특징으로 한다.
상술한 도 3a 내지 도 3c, 도 4a, 및 도 4b의 본 발명에 따른 고속 코팅하 장치(300) 및 고속 코팅 방법(400)에서 상기 미리 정해진 속도, 상기 미리 정해진 정속, 및 상기 도액의 토출 시작 시점은 별도로 제공되는 컨트롤러(controller)(미도시)에 의해 제어된다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예 시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
도 1는 종래 기술의 PDP 또는 LCD 제조용 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되며, 도액의 토출 압력 및 그에 따른 도액의 토출 속도를 제어하기 위한 도액 펌핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2b는 종래 기술에 따른 코팅 장치를 사용하여 글래스 상에 도액을 도포하는 경우, 도액의 도포 시작 위치에서부터 도액이 거의 일정하게 도포되는 도포압력(정압)에 도달하는 시간을 도시한 도면이다.
도 2c는 종래 기술에 따른 코팅 장치를 사용하여 글래스 상에 도액을 도포하는 경우, 도액의 도포 시작 위치에서부터 도액이 거의 일정하게 도포되는 도포압력(정압)에 대응되는 정속에 도달하기까지의 갠트리의 가속 패턴을 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고속 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3b는 종래 기술에 따른 코팅 장치와 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고속 코팅 장치를 사용하여 도액을 도포하는 경우 정속 도달 상태를 도시한 다이어그램이다.
도 3c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 갠트리의 일부 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4a는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 고속 코팅 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 4b는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 고속 코팅 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.

Claims (14)

  1. LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 장치에 있어서,
    상기 글래스가 위치되는 테이블;
    스테이지;
    상기 스테이지 상에서 이동 가능하게 장착되는 갠트리(gantry);
    상기 갠트리의 하부 또는 일측면에 고정 장착되는 슬릿 다이;
    상기 스테이지 상에 제공되며, 상기 갠트리의 이동을 가이드하는 제 1 가이드 부재;
    상기 테이블의 이동을 가이드하는 제 2 가이드 부재; 및
    상기 제 2 가이드 부재 상에서 상기 테이블의 이동을 제어하는 테이블 액추에이터
    를 포함하고,
    상기 테이블은 상기 갠트리의 이동 방향을 따라 일시적으로 상대운동하고,
    상기 슬릿 다이는 상기 갠트리와 상기 테이블이 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 슬릿 다이가 상기 도액의 토출을 시작하는
    고속 코팅 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 미리 정해진 속도는 상기 갠트리는 계속 가속되지만, 상기 테이블은 감속되는 시점의 속도인 고속 코팅 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 미리 정해진 속도 및 상기 도액의 토출 시작 시점은 별도로 제공되는 컨트롤러(controller)에 의해 제어되는 고속 코팅 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 가이드 부재 및 제 2 가이드 부재는 각각 리니어 모션(LM) 가이드로 구현되는 고속 코팅 장치.
  5. LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 장치에 있어서,
    상기 글래스가 위치되는 테이블;
    스테이지;
    상기 스테이지 상에서 이동 가능하게 장착되는 갠트리(gantry);
    상기 갠트리의 하부 또는 일측면에 고정 장착되는 슬릿 다이;
    상기 스테이지 상에 제공되며, 상기 갠트리의 이동을 가이드하는 제 1 가이드 부재; 및
    상기 갠트리 상에서 상기 슬릿 다이의 수평 방향 이동을 제어하는 액추에이 터
    를 포함하고,
    상기 슬릿 다이는 상기 갠트리의 이동 방향과 반대방향을 따라 일시적으로 상대운동하고,
    상기 슬릿 다이와 상기 갠트리가 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 슬릿 다이가 도액의 토출을 시작하는
    고속 코팅 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 갠트리는
    상기 슬릿 다이가 고정 장착되는 빔(beam);
    상기 빔의 양쪽 측면에 제공되는 한 쌍의 빔 지지 부재; 및
    상기 한 쌍의 빔 지지 부재의 하부에 제공되며, 상기 한 쌍의 빔 지지 부재를 수평 방향으로 이동시키는 한 쌍의 가이드 부재
    를 포함하고,
    상기 액추에이터는 상기 한 쌍의 빔 지지 부재를 상기 한 쌍의 가이드 부재 상에서 수평 방향으로 이동 가능하도록 제어하는
    고속 코팅 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 갠트리가 상기 한 쌍의 가이드 부재를 지지하는 한 쌍의 가이드 지지 부재를 추가로 포함하는 고속 코팅 장치.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 미리 정해진 속도는 상기 갠트리는 계속 가속되지만, 상기 슬릿 다이는 감속되는 시점의 속도인 고속 코팅 장치.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 미리 정해진 속도 및 상기 도액의 토출 시작 시점은 별도로 제공되는 컨트롤러(controller)에 의해 제어되는 고속 코팅 장치.
  10. 제 5항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 가이드 부재 또는 상기 한 쌍의 가이드 부재는 각각 리니어 모션(LM) 가이드로 구현되는 고속 코팅 장치.
  11. LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 방법에 있어서,
    a) 도액 펌핑 장치가 도액 공급관 상의 펌핑 밸브를 개방하는 단계;
    b) 갠트리가 글래스 상의 미리 정해진 시점에서 가속되기 시작함과 동시에 테이블이 상기 갠트리와 동일한 방향으로 가속되기 시작하는 단계;
    c) 상기 갠트리와 상기 테이블이 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 갠트리는 계속 가속되고 상기 테이블은 감속되는 단계; 및
    d) 상기 갠트리는 미리 정해진 정속에 도달하고, 상기 테이블은 계속 감속되어 정지하는 단계
    를 포함하고,
    상기 갠트리와 상기 테이블이 미리 정해진 속도에 도달한 시점에서 상기 도액이 슬릿 다이로부터 토출되기 시작하는
    고속 코팅 방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 미리 정해진 속도, 상기 미리 정해진 정속, 및 상기 도액의 토출 시작 시점은 별도로 제공되는 컨트롤러(controller)에 의해 제어되는 고속 코팅 방법.
  13. LCD 또는 PDP 글래스 상에 도액을 고속으로 공급하는 고속 코팅 방법에 있어서,
    a) 도액 펌핑 장치가 도액 공급관 상의 펌핑 밸브를 개방하는 단계;
    b) 테이블이 정지한 상태에서 갠트리가 글래스 상의 미리 정해진 시점에서 가속되기 시작함과 동시에 슬릿 다이가 상기 갠트리와 반대 방향으로 가속되기 시작하는 단계;
    c) 상기 갠트리가 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 갠트리는 계속 가속되 고 상기 슬릿 다이는 감속되는 단계; 및
    d) 상기 갠트리는 미리 정해진 정속에 도달하고, 상기 슬릿 다이는 계속 감속되어 정지하는 단계
    를 포함하고,
    상기 갠트리와 상기 슬릿 다이가 미리 정해진 속도에 도달하면, 상기 도액이 상기 슬릿 다이로부터 토출되기 시작하는
    고속 코팅 방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 미리 정해진 속도, 상기 미리 정해진 정속, 및 상기 도액의 토출 시작 시점은 별도로 제공되는 컨트롤러(controller)에 의해 제어되는 고속 코팅 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20050082239A (ko) * 2004-02-18 2005-08-23 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 도포기의 제어방법
KR20060037996A (ko) * 2004-10-29 2006-05-03 삼성전자주식회사 액정도포장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004344734A (ja) 2003-05-21 2004-12-09 Toppan Printing Co Ltd 単板塗布装置
KR20050082239A (ko) * 2004-02-18 2005-08-23 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 도포기의 제어방법
KR20060037996A (ko) * 2004-10-29 2006-05-03 삼성전자주식회사 액정도포장치

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