CN108146068B - 喷墨型液体涂布模块及其除气方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种喷墨型液体涂布模块，包括：液体储存单元，其具有储存液体的液体储存空间；以及喷墨式喷嘴单元，其被供应有来自液体储存单元的液体，并且经由喷嘴以喷墨方式排出液体，其中，喷嘴覆盖单元被附接以关闭喷墨式喷嘴单元的下侧。本发明还提供一种喷墨型液体涂布模块的除气方法，其特征为在喷嘴覆盖单元附接到喷墨型液体涂布模块的状态下对喷墨型液体涂布模块进行除气。

Description

喷墨型液体涂布模块及其除气方法

技术领域

本发明涉及一种喷墨型液体涂布模块及其除气方法。更具体地，本发明涉及一种喷墨型液体涂布模块及其除气方法，所述喷墨型液体涂布模块临时储存供应的液体，将储存的液体供应到喷墨式喷嘴中，并以喷墨方式排出液体。

背景技术

排出或施加用于在基板上执行特定功能的液体的设备被用于制造电子器件。例如，为了制造诸如液晶显示器(LCD)或OLED显示器的平板显示器(FPD)，使用各种涂布装置，以形成用于在基板上执行预定功能的配置。

作为一个实例，通过接合设置有彩色滤光片层的彩色基板和在其上排列驱动元件的薄膜晶体管(TFT)基板来制造液晶显示器。液晶施加在彩色基板与TFT基板之间，并且施加胶粘浆糊或密封剂，以将彩色基板和TFT基板接合在一起。

为了制造液晶显示器、OLED元件或OLED显示器，使用各种涂布装置，用于形成液晶层、密封胶图案、配向层、间隔件、导电图案、彩色滤光片、发光层、黑色矩阵或荧光层。

图1是示出了现有技术中的涂布装置的实例的视图。

涂布装置1包括：框架3；托台5，托台设置在框架3上，并且预定的液体被涂布在其上的基板S装载在托台上；头支承件7，其设置在托台5之上；以及涂布头单元9，其设置在头支承件7上并且涂布预定液体。托台5可以配置为沿X轴或Y轴方向操作。头支承件7可以安装为通过驱动马达8沿Y轴方向在框架3之上直线移动。涂布头单元9的位置可以沿Z轴方向被调整，以调整涂布头单元9与基板之间的相对位置，并且还可以沿X轴方向或/和Y轴方向操作。

最近，以喷墨方式排出液体以将精准量的液体提供到基板的涂布装置的使用增加。

作为实例，韩国专利No.0701442公开了一种喷墨型液晶施加方法，其能够在短时间内将液晶同时施加在大的区域上。

在经由喷嘴以喷墨方式排出液体的喷墨型液体涂布模块的情况下，在空气存在于液体供应通道中或要排出的液体中的情况下发生排出缺陷。为了去除存在于喷墨型液体涂布模块中的空气或气泡，在供应液体之后，需要经由喷嘴经过试验多次排出液体，这引起液体的浪费使用的问题。

同时，在从涂布装置去除喷墨型液体涂布模块的情况下，存在的问题是液体从喷嘴泄露。泄露的液体引起污染涂布装置中的托台或基板的问题。

发明内容

已经努力做出本发明以提供一种喷墨型液体涂布模块，其能够防止液体从喷嘴泄露并有效地去除气泡。

还努力做出本发明以提供一种喷墨型液体涂布模块的除气方法，其去除存在于喷墨型液体涂布模块中的空气。

本发明的示例性实施例提供一种喷墨型液体涂布模块，包括：液体储存单元，其具有储存液体的液体储存空间；以及喷墨式喷嘴单元，其被供应有来自液体储存单元的液体，并且经由喷嘴以喷墨方式排出液体，其中，喷嘴覆盖单元被附接，以关闭喷墨式喷嘴单元的下侧。

喷墨型液体涂布模块还可以包括喷墨式喷嘴单元下盖，所述喷墨式喷嘴单元下盖具有喷嘴插入空间，喷墨式喷嘴单元的下端部插入到喷嘴插入空间中，并且喷墨式喷嘴单元下盖连接到液体储存单元，其中，喷嘴覆盖单元附接到喷墨式喷嘴单元下盖的底表面。

喷墨式喷嘴容纳空间可以形成在液体储存单元的一侧处，突出空间部分可以形成在液体储存单元的喷墨式喷嘴容纳空间的两侧处，并且喷墨式喷嘴单元可以容纳在喷墨式喷嘴容纳空间中。

喷墨式喷嘴单元下盖可以连接到突出空间部分的下部。

喷嘴覆盖单元可以设置有第一磁性耦合部分，并且喷墨式喷嘴单元下盖可以设置有对应于第一磁性耦合部分的第二磁性耦合部分。

泄露液体容纳槽可以形成在指向喷墨式喷嘴单元下侧的喷嘴覆盖单元的表面中。

本发明的另一示例性实施例提供一种喷墨型液体涂布模块的除气方法，所述喷墨型液体涂布模块包括储存液体的液体储存单元以及被供应有液体并经由喷嘴以喷墨方式排出液体的喷墨式喷嘴单元，所述除气方法包括：步骤(a)，附接喷嘴覆盖单元以关闭喷墨式喷嘴单元的下侧；步骤(b)，在喷嘴覆盖单元附接到喷墨型液体涂布模块的状态下将喷墨型液体涂布模块装载在真空室中；以及步骤(c)，在真空室处于真空状态的状态下对喷墨型液体涂布模块执行除气。

可以在喷墨型液体涂布模块与涂布头单元分离之前执行步骤(a)。

在步骤(a)中，可以在附接了喷嘴覆盖单元的状态下将负压力施加到液体储存单元。

可以在喷墨型液体涂布模块安装在除气装配架的液体涂布装置安装单元上的状态下执行步骤(b)。

液体涂布装置安装单元可以设置有加热板，并且在执行步骤(c)的至少一部分过程期间，可以通过使用加热板加热喷墨型液体涂布模块。

除气方法还可以包括步骤(d)，在完成除气之后将喷墨型液体涂布模块安装在涂布头单元上，将负压力施加到液体储存单元，然后分离喷嘴覆盖单元。

根据本发明，喷嘴覆盖单元安装在喷墨型液体涂布模块的喷嘴的下侧处，结果，可以保持喷墨型液体涂布模块的喷嘴中的负压力。

因此，可以防止液体从喷墨型液体涂布模块的喷嘴泄露。

在喷嘴覆盖单元设置在喷墨型液体涂布模块中的状态下进行喷墨型液体涂布模块的除气、喷墨型液体涂布模块安装在涂布头单元上、然后完成负压力调节之后去除喷嘴覆盖单元，结果，可以使气泡的发生最少。根据本发明，当在喷墨型液体涂布模块安装在涂布头单元之后经过试验排出液体时，可以减少液体的消耗。

根据本发明的喷墨型液体涂布模块的除气方法提高了除气效率和方便性。

上述发明内容仅是说明性的，而不意图以任何方式进行限制。除了上述说明性的方面、实施例和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，其它方面、实施例和特征将变得清楚。

附图说明

图1是示出了现有技术中的涂布装置的实例的视图。

图2是示出了根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块安装在其上的涂布头单元的视图。

图3是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的立体图。

图4是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的分解立体图。

图5是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的(沿图3中的线B-B'截取的)截面图。

图6是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的(沿图3中的线C-C'截取的)竖直截面图。

图7是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的立体图，其示出了喷嘴覆盖单元安装在喷墨型液体涂布模块的下侧处的状态。

图8是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的(沿图7中的线D-D'截取的)横截面图，其示出了喷嘴覆盖单元安装在喷墨型液体涂布模块的下侧处的状态。

图9是示出了用于根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块除气的除气装配架的视图。

图10是示出了喷墨型液体涂布模块安装在用于根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的除气装配架上的状态的侧视图。

图11是示出了用于根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块除气的除气装配架装载在真空室中的状态的视图。

应该理解的是，附图不一定是按比例的，而是呈现本发明基本原理的各种特征说明的有些简化的表示。如本文所公开的本发明的具体设计特征(包括，例如特定尺寸、方向、位置和形状)在某种程度上由特定应用和使用环境确定。

在图中，附图标记在附图的几个图中指代本发明的相同或等效部件。

具体实施方式

下文将参考附图详细描述本发明的示例性实施方式。首先，在表示各个图的构成元件的附图标记中，应该注意的是，尽管它们在不同的图中被示出，但如果可能，将由相同附图标记表示相同构成元件。另外，在本发明的以下描述中，当确定详细的描述可能使本发明的主题不清楚时，将省略结合在本文中的公知配置或功能的详细描述。另外，将在以下描述本发明的示例性实施例，但是本发明的技术主旨不限于此，而是可以被本领域技术人员修改和不同地实现。

图2是示出了根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块安装在其上的涂布头单元的视图。

如图1所示，涂布头单元可以连接到涂布装置1的头支承件7上，并且可以通过使用喷墨型液体涂布模块220以喷墨方式排出储存在液体供应瓶230中的液体。

涂布头单元可以包括基体模块10和以可拆卸的方式连接到基体模块10的头模块20。储存在液体供应瓶230中并经由喷墨型液体涂布模块220排出的液体可以是具有预定粘度的液体，并且可以是用于在基板上形成液晶层、密封胶图案、配向层、间隔件、导电图案、彩色滤光片、发光层、黑色矩阵或荧光层中的至少一个的液体。

基体模块10包括：基体面板100，所述基体面板沿竖直方向设置；头模块安装单元110，所述头模块安装单元沿水平方向固定在基体面板100的中心部分处，并且头模块20连接到所述头模块安装单元并与所述头模块安装单元对齐；以及头单元120，所述头单元沿水平方向固定在基体面板100的下端部处。

头模块20包括沿竖直方向设置的主面板200、沿水平方向连接到主面板200的固定板210以及连接到主面板200的下部的喷墨型液体涂布模块220。液体供应瓶230可以设置在固定板210的上部上。头模块20可以设置有连接到主面板200的至少一个手柄202，并且操作者可以握住手柄202并支承或移动头模块20。头模块20可以包括过滤单元240，所述过滤单元去除从液体供应瓶230供应的液体中的外来物质或气泡，并且将液体传送到喷墨型液体涂布模块220。

喷墨型液体涂布模块220连接在主面板200的下端部处。喷墨型液体涂布模块220包括液体供应孔222和压力调节孔224，经由过滤单元240给所述液体供应孔供应液体，所述压力调节孔被供应有压力，以调节喷墨型液体涂布模块220的液体储存单元中的压力。

过滤单元240包括过滤入口242和过滤出口244，并且可以借助于过滤器支承部件246固定到主面板200。

液体供应瓶230设置在固定板210的上部上。关闭件250连接到液体供应瓶230的上部。液体供应瓶压力供应孔252形成在关闭件250的一侧处，并且将压力供应到液体供应瓶230中的管(未示出)可以连接到液体供应瓶压力供应孔252。第一液体供应管300插入到其中的液体供应管插入孔254形成在关闭件250中。经由液体供应管插入孔254插入的第一液体供应管300插入到液体供应瓶230中。第一液体供应管300连接到过滤单元240的过滤入口242，并且将储存在液体供应瓶230中的液体供应到过滤单元240中。

第二液体供应管310的一侧连接到过滤单元240的过滤出口244，而第二液体供应管310的另一侧连接到喷墨型液体涂布模块220的液体供应孔222。储存在液体供应瓶230中的液体经由第一液体供应管300传送到过滤单元240，并且通过过滤单元240去除了外来物质或气泡的液体经由第二液体供应管310传送到喷墨型液体涂布模块220。

根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块220设置在涂布头单元上，并且以喷墨方式排出从液体供应瓶230供应的液体。

根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块220的附加特征是，在喷墨型液体涂布模块220与涂布头单元分离之前，下面要描述的喷嘴覆盖单元安装在喷墨型液体涂布模块220的下侧处。首先将描述安装喷嘴覆盖单元之前的喷墨型液体涂布模块220的配置。

图3是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的立体图，而图4是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的分解立体图。图5是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的(沿图3中的线B-B'截取的)截面图。

喷墨型液体涂布模块220以喷墨方式排出供应的液体。喷墨型液体涂布模块220包括：液体储存单元400，其被供应有要被排出的液体，并且储存液体；以及喷墨式喷嘴单元450，其被供应有来自液体储存单元400的液体，并且以喷墨方式排出液体。

在头模块20连接到基体模块10的状态下，液体储存单元400的底表面与设置在基体模块10上的加热单元120的上表面接触。因此，可以不断地保持储存在液体储存单元400中的液体的温度。特别是，在液体的粘度根据温度变化的情况下，对于精确的排出控制，液体温度控制是重要的因素。根据本发明，液体储存单元400的底表面与基体模块的加热单元120直接接触，并且液体可以通过热传导被加热，结果，可以有效地控制液体的温度。

在一个示例性实施例中，液体储存单元400包括液体储存单元盖子420。液体储存单元400在其上侧处具有打开的部分，并且打开的部分被液体储存单元盖子420覆盖，以便液体储存单元400的上侧可以关闭。

液体储存单元盖子420设置有液体供应孔222和压力调节孔224，所述液体供应孔被供应有液体，所述压力调节孔被供应有来自外部的压力，以调节液体储存单元400中的压力。在一个示例性实施例中，液体供应孔222经由第二液体供应管310连接到过滤单元240的过滤出口244，并且被供应有经过过滤单元240的液体。压力调节孔224经由未示出的管被供应有压力，以调节液体储存单元400的内部压力。压力调节孔224被供应有正压力，或者在必要时被供应有负压力。可以控制喷墨式喷嘴单元450，以便当经由压力调节孔224供应正压力时，喷墨式喷嘴单元450可以排出液体，而当经由压力调节孔224供应负压力时，喷墨式喷嘴单元450不能排出液体。

液体储存单元400的内部空间限定了液体储存空间401。

在一个示例性实施例中，液体储存单元400具有喷墨式喷嘴单元容纳空间402，其形成在液体储存单元400的一侧处并容纳喷墨式喷嘴单元450，并且液体储存单元400包括突出空间部分406a和406b，突出空间部分406a和406b在喷墨式喷嘴单元容纳空间402的两侧处突出。同时，中央突出空间部分408可以形成在与喷墨式喷嘴单元容纳空间402相反的一侧处。视窗410可以形成在限定中央突出空间部分408的两侧壁表面中。视窗410可以由透明材料制成。通过彼此面对的视窗410传输并接收光的光学传感器可以设置为测量液体储存单元400中的液体的水平。

至少一个水平调节构件412形成在液体储存单元400的内壁上。水平调节构件412可以设置为从液体储存单元400的内壁表面突伸出。在一个示例性实施例中，水平调节构件412可以具有半圆形、椭圆形或弧形的横截面，并且可以设置为从液体储存单元400的内壁沿竖直方向突伸出。水平调节构件412可以以锯齿形的方式设置在彼此面对的表面上。

当附接到头支承件7上的涂布头单元9移动时，储存在液体储存单元400中的液体可能泼溅出。当涂布头单元9停止并稳定时，储存在液体储存单元400中的液体可以是不变的。但是，当涂布头单元9的速度随着涂布头单元9移动而改变时，储存在液体储存单元400中的液体朝向一侧倾斜。这可能导致感测液体储存单元400中的液体水平的错误。

可以基于液体储存单元400中的液体的水平来控制液体从液体供应瓶230到液体储存单元400的供应。但是，当在感测液体储存单元400中的液体的水平时发生错误时，可能发生将液体供应到液体储存单元400中的过程的问题。例如，在液体储存单元400中的液体的水平由于液体的晃动被测为高于液体的实际水平的情况下，可能存在的问题是，即使由于液体储存单元400中的液体的低水平而需要从液体供应瓶230供应液体，液体也不能在正确的时间被供应到液体储存单元400中。

但是，在设置了从液体储存单元400的内壁表面突伸出的水平调节构件412的情况下，水平调节构件412在某种程度上抑制了液体储存单元400中的液体的晃动，由此防止了液体水平的快速变化。因此，这可以减少感测液体储存单元400中的液体水平的错误。

从底表面415突伸出到预定高度的隔壁414形成在液体储存单元400中。隔壁414的高度小于液体储存单元400的总深度。隔壁414分开液体存储单元400中的液体储存空间401。隔壁414将液体储存空间401分成液体经由液体供应孔222供应的一部分和剩余的部分。当在液体储存单元400是空的状态下经由液体供应孔222供应液体时，设置在液体供应孔222之下并由隔壁414限定的空间首先填充有液体，并且当液体的水平变得比隔壁414的高度高时，液体被传送到剩余的空间。在一个示例性实施例中，隔壁414可以形成为朝向第一突出空间部分406a偏置。

喷墨式喷嘴单元下盖430设置在液体储存单元400的底表面上。喷墨式喷嘴单元下盖430固定喷墨式喷嘴单元450的下部，并且喷墨式喷嘴单元下盖430的两侧连接到液体储存单元400的突出空间部分406a和406b的下端部。

喷墨式喷嘴单元下盖430具有沿水平方向形成在其中心部分处的喷嘴插入空间432以及形成在喷墨式喷嘴单元下盖430的两侧处的固定孔434。喷嘴插入空间432的中心部分沿竖直方向是穿透的。固定螺丝(未示出)经由固定孔434从喷墨式喷嘴单元下盖430的底表面插入并固定到液体储存单元400的底表面，结果，喷墨式喷嘴单元下盖430可以连接到液体储存单元400。

喷墨式喷嘴单元下盖430具有设置在喷墨式喷嘴单元下盖430的两侧处并容纳喷墨式喷嘴单元保护盖440的下端部的容纳槽436，并且至少一个第一保护盖固定孔438形成在容纳槽436中。

喷墨式喷嘴单元450被喷墨式喷嘴单元保护盖440保护，而喷墨式喷嘴单元450的下端部451暴露到喷墨式喷嘴单元保护盖440的下侧。喷墨式喷嘴单元保护盖440可以包括具有中空四角形柱体形状的保护盖本体442。第二保护盖固定孔444可以形成在保护盖本体442的下端部处。

第一液体连通孔456和第二液体连通孔458形成在喷墨式喷嘴单元450的下端部451的两侧处的突出部分中。喷墨式喷嘴单元固定孔453可以分别形成在第一液体连通孔456和第二液体连通孔458的外侧处。用于接收来自外部的喷墨式喷嘴单元450的控制信号的接线插脚452可以设置在喷墨式喷嘴单元450的上端部处。

将描述喷墨式喷嘴单元450和喷墨式喷嘴单元保护盖440的连接本体连接到喷墨式喷嘴单元下盖430的配置。喷墨式喷嘴单元450的下端部以及第一液体连通孔456、第二液体连通孔458和喷墨式喷嘴单元固定孔453形成在其中的部分插入到喷嘴插入空间432中。在此情况下，形成有喷嘴的喷墨式喷嘴单元450的部分定位在竖直穿透的喷嘴插入空间432的部分处。喷墨式喷嘴单元保护盖440的下端部定位在喷墨式喷嘴单元下盖430的容纳槽436中，并且喷墨式喷嘴单元保护盖440和喷墨式喷嘴单元450可以通过将固定螺丝经由第二保护盖固定孔444连接到第一保护盖固定孔438而固定到喷墨式喷嘴单元下盖430。

之后，当喷墨式喷嘴单元下盖430连接到液体储存单元400时，喷墨型液体涂布模块220完全组装。

图6是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的(沿图3中的线C-C'截取的)竖直截面图。

插入到喷墨式喷嘴单元保护盖440中的喷墨式喷嘴单元450的一侧定位在液体储存单元400的喷墨式喷嘴容纳空间402中。喷墨式喷嘴单元450的下端部451插入到喷墨式喷嘴单元下盖430的喷嘴插入空间432中，并且暴露出形成在喷墨式喷嘴单元450的底侧处的喷嘴460的端部。

组装螺丝437经由形成在喷墨式喷嘴单元下盖430的底表面中的组装螺纹孔435插入，并且组装螺丝437穿透喷墨式喷嘴单元固定孔453并固定到液体储存单元400的外壁。因此，喷墨型液体涂布模块220被组装。

在喷墨型液体涂布模块220完全组装的状态下，喷墨式喷嘴单元450的第一液体连通孔456定位在液体储存单元的第一突出空间部分406a的下侧处，而第二液体连通孔458定位在第二突出空间部分406b的下侧处。向下穿透下表面415的第一通孔416形成在第一突出空间部分406a中的底表面415中，而向下穿透底表面415的第二通孔418形成在第二突出空间部分406b中的底表面415中。第一通孔416与喷墨式喷嘴单元450的第一液体连通孔456连通，而第二通孔418与第二液体连通孔458连通。

喷墨式喷嘴单元450形成有液体供应通道454，所述液体供应通道与第一液体连通孔456和第二液体连通孔458连通，并具有定位在其下侧处的多个喷嘴460。喷墨式喷嘴单元450经由多个喷嘴460以喷墨的方式排出供应到液体供应通道454中的液体。作为通过使用喷墨式喷嘴单元450排出液体的方法，可以使用诸如使用压电元件的方法的公知技术。

经由第一通孔416或第二通孔418储存在液体储存单元400的储存空间401中的液体被传送到喷墨式喷嘴单元450的液体供应通道454，并且供应到液体供应通道454中的液体经由喷嘴460以喷墨的方式排出。

同时，当在液体储存单元400是空的状态下液体最初供应到液体储存空间401中时，由隔壁414限定的一个空间首先填充有液体。在一个示例性实施例中，所述一个空间可以是形成第一通孔416的空间。最初供应的液体经由第一通孔416传送到液体供应通道454。如果空气存在于液体供应通道454中，则空气排出到第二通孔418，并且液体供应通道454填充有液体。因此，可以使由液体供应通道454中的空气引起的气泡或困气的发生最小化。

图7是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的立体图，其示出了喷嘴覆盖单元安装在喷墨型液体涂布模块的下侧处的状态。

在喷墨型液体涂布模块220与涂布头单元分离之前，喷嘴覆盖单元500安装在喷墨型液体涂布模块220的下侧处，并且在喷墨型液体涂布模块安装在涂布头单元上之后，从喷墨型液体涂布模块220的下侧去除喷嘴覆盖单元500。

在涂布头单元配置为喷墨型液体涂布模块220安装在头模块20上并且如图2所示的头模块20连接到基体模块10的情况下，在头模块20与基体模块10分离之前喷嘴覆盖单元500连接在液体涂布模块220的下侧处。

参见图7，第二液体供应管310连接到喷墨型液体涂布模块220的液体供应孔222，而用于控制液体储存单元400中的压力的压力供应管320连接到压力调节孔224。

在喷墨型液体涂布模块220分离之前，经由压力供应管320传送负压力，以保持液体储存单元400中的负压力。原因是防止液体从喷墨式喷嘴单元450的喷嘴460泄露。在液体储存单元400的内部压力设定为负压力之后，压力供应管320可以在压力调节孔224关闭的状态下分离，或者压力供应管320的一个端部可以在压力供应管320连接到压力调节孔224的状态下分离。在一个示例性实施例中，压力供应管320经由分离阀330与主压力供应管320a连接，并且分离阀330可以在压力供应管320连接到压力调节孔224的情况下分离。分离阀330配置为双关闭阀，并且可以分成第一分离阀330a和第二分离阀330b。在此情况下，当第一分离阀330a和第二分离阀330b彼此连接时第一分离阀330a和第二分离阀330b可以打开，而当第一分离阀330a和第二分离阀330b彼此分离时第一分离阀330a和第二分离阀330b可以关闭。

同时，甚至在第二液体供应管310的情况下，在第二液体供应管310连接到液体供应孔222的状态下第二液体供应管310的另一侧可以关闭。另外，在第二液体供应管310与液体供应孔222分离并且液体供应孔222关闭之后，可以经由压力供应管320供应负压力。

因为喷墨式喷嘴单元450的下侧暴露到大气压力，所以即使在液体储存单元400中保持负压力，空气也可以经由喷嘴460引入或者液体也可以从喷嘴460滴漏。

喷嘴覆盖单元500附接到喷墨式喷嘴单元450的下侧，以防止大气压力供应到喷墨式喷嘴单元450的下侧中，并且喷嘴覆盖单元500容纳从喷嘴460滴漏的液体。在喷嘴覆盖单元500附接到喷墨型液体涂布模块220的下侧的状态下，负压力可以供应到液体储存单元400中，或者喷嘴覆盖单元500在负压力供应到液体储存单元400中的同时或之后立即附接到喷墨型液体涂布模块220的下侧。

喷嘴覆盖单元500附接到喷墨式喷嘴单元下盖430的底表面。喷嘴覆盖单元500可以以块的形式配置，并且泄露液体容纳槽502可以形成在喷嘴覆盖单元500的上表面中。在喷嘴覆盖单元500附接到喷墨式喷嘴单元下盖430的底表面的状态下，从喷嘴460滴漏的液体被收集在泄露液体容纳槽502中。

同时，如有可能，喷嘴覆盖单元500的上表面可以紧密地附接到喷墨式喷嘴单元下盖430的底表面，并且空气可以不流入喷嘴覆盖单元500中或不从喷嘴覆盖单元500流出。在某些情况下，用于提高气密性的密封构件可以形成在喷嘴覆盖单元500的上表面上。

喷嘴覆盖单元500设置有至少一个第一磁性耦合部分504。第一磁性耦合部分504的数量可以多于一个。第一磁性耦合部分504可以由永久磁铁或磁性材料制成。

图8是根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的(沿图7中的线D-D'截取的)横截面图，其示出了喷嘴覆盖单元安装在喷墨型液体涂布模块的下侧处的状态。

喷嘴覆盖单元500附接到喷墨型液体涂布模块220的底表面，并且多个喷嘴460定位在泄露液体容纳槽502之上。

同时，在本发明的示例性实施例中，第二磁性耦合部分510设置在喷墨型液体涂布模块220的底表面中，即，在喷墨式喷嘴单元下盖430的底表面中。

第二磁性耦合部分510可以由永久磁铁或磁性材料制成。在第一磁性耦合部分504由永久磁铁制成的情况下，第二磁性耦合部分510可以是极性与第一磁性耦合部分504的极性相反的永久磁铁或磁性材料。在第一磁性耦合部分504由磁性材料制成的情况下，第二磁性耦合部分510可以是永久磁铁。

具有第一磁性耦合部分504和第二磁性耦合部分510的配置，喷嘴覆盖单元500可以容易地附接到喷墨型液体涂布模块220的底表面。

接下来，将描述根据本发明的喷墨型液体涂布模块的除气方法。

在现有技术中的以喷墨方式排出液体的模块中，存在的问题是，在模块安装在涂布头单元上之后，需要经过多次试验排出液体，直到液体从多个喷嘴正常排出。特别是，空气存在于喷墨式排出模块中，这引起喷嘴堵塞。

为了解决这些问题，本发明提出了一种方法，其去除喷墨型液体涂布模块220中的空气，并且在去除了空气的状态下将喷墨型液体涂布模块220安装在涂布头单元上，由此减少将喷墨型液体涂布模块220安装在涂布头单元上之后的准备时间。

在喷嘴覆盖单元500安装在喷墨型液体涂布模块220的底表面上的状态下，喷墨型液体涂布模块220与涂布头单元分离。在喷嘴覆盖单元500分离之后，与喷嘴覆盖单元500附接的喷墨型液体涂布模块220的内部可以被清洗。另外，喷墨型液体涂布模块220可以在分离之后立即经受除气过程。

本发明中提出的除气方法可以应用到已经开始使用或完成清洗的所有喷墨型液体涂布模块220或者与涂布头单元分离的所有喷墨型液体涂布模块220。

在喷嘴覆盖单元500安装在喷墨型液体涂布模块220的底表面上的状态下，准备喷墨型液体涂布模块220。

图9是示出了用于根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块除气的除气装配架的视图，而图10是示出了将喷墨型液体涂布模块安装在用于根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块的除气装配架上的状态的侧视图。

除气装配架600包括下装配架面板602、上装配架面板604以及连接下装配架面板602和上装配架面板604的多个连接杆608。

液体涂布装置安装单元620形成在上装配架面板604上。上装配架面板604还可以包括液体供应瓶230可以安装在其上的液体供应瓶安装单元610。

加热板622可以设置在上装配架面板604的液体涂布装置安装单元620的底表面上。加热板622接触喷墨型液体涂布模块220的一部分，并且可以加热喷墨型液体涂布模块220。在一个示例性实施例中，加热板622设置为接触喷墨型液体涂布模块220的液体储存单元400的底表面。

装配架手柄606可以设置在除气装配架600上以容易地移动除气装配架600。

在喷嘴覆盖单元500附接在喷墨型液体涂布模块220的底表面的状态下，喷墨型液体涂布模块220安装在除气装配架600上。

图11是示出了用于根据本发明示例性实施例的喷墨型液体涂布模块除气的除气装配架装载在真空室中的状态的视图。

在喷嘴覆盖单元500附接在喷墨型液体涂布模块220上的状态下，喷墨型液体涂布模块220安装在除气装配架600上，并且除气装配架600装载在真空室700中。在此情况下，喷墨型液体涂布模块220的液体供应孔222和/或压力调节孔224处于打开的状态。

除气装配架600可以放置在真空室700中的装配架台630上。装配架台630设置有台板630和支承台板630的支承腿634，并且固定除气装配架600位置的位置固定单元636可以形成在台板630的上部上。

同时，电力供应到真空室700中，并且供应的电力被供应给除气装配架600的加热板622。

真空泵(未示出)连接到真空室700的排气口702，由此排出真空室700中的空气。同时，加热板622操作，以加热喷墨型液体涂布模块220。加热板622的加热操作可以在40至80℃的范围内进行。加热板622的加热操作可以帮助开始准备喷墨型液体涂布模块220，并且帮助顺利排出喷墨型液体涂布模块220中的空气。

从真空室700排出空气，以便真空室700中的压力等于或低于参考值，并且当预定时间过去时，喷墨型液体涂布模块220中的空气也被排出。

在真空环境下，喷墨型液体涂布模块220的液体供应孔222和压力调节孔224关闭。在一个示例性实施例中，其一侧处于关闭状态的第二液体供应管310可以连接到液体供应孔222。其一侧处于关闭状态的压力供应管320可以连接到压力调节孔224。同时，喷墨型液体涂布模块220的下侧被喷嘴覆盖单元500关闭，以便大气压力不直接供应到喷嘴460的下侧中。

从其去除了内部空气的喷墨型液体涂布模块220安装在涂布头单元上。在一个示例性实施例中，喷墨型液体涂布模块220安装在头模块20上，然后头模块20连接到基体模块10上。

在喷墨型液体涂布模块220安装在涂布头单元上之后，管连接到压力调节孔224，以供应负压力。在一个示例性实施例中，在压力供应管320连接到压力调节孔224的状态下，设置在压力供应管320的端部处的第一分离阀330a可以与主压力供应管320a的第二分离阀330b连接。

在负压力经由压力供应管320施加到喷墨型液体涂布模块220之后，去除喷嘴覆盖单元500。在某些情况下，可以在液体经由第二液体供应管310供应到液体储存单元400中之后去除喷嘴覆盖单元500。

因为在完成控制喷墨型液体涂布模块220中的压力的过程之后去除喷嘴覆盖单元500，所以防止了外部空气经由喷嘴引入到液体涂布模块220中，直到设定完成除气的喷墨型液体涂布模块220的过程完成。因此，可以减少喷墨型液体涂布模块220完成准备以排出液体所需要的时间。

在液体存在于喷墨型液体涂布模块220中的状态下进行除气过程的情况下，喷嘴覆盖单元500防止液体的泄露。

如上所述，已经在附图和说明书中描述和示出了示例性实施例。选择和描述示例性实施例是为了解释本发明的某些原理和它们的实际应用，由此能够使本领域技术人员制造和利用本发明的各种示例性实施例及其各种替代和修改。从上述描述明白，本发明的某些方面不受在此所示出的实例的具体细节限制，因此，可以预见的是，本领域技术人员将作出的其它修改和应用或其等同。但是，在考虑了说明书和附图之后，本发明的许多变化、修改、变体和其它用途和应用对于本领域技术人员将变得清楚。不能从本发明的主旨和范围脱离的所有这些改变、修改、变体和其它用途和应用被认为被仅由以下权利要求限定的本发明覆盖。

Claims (13)

1.一种喷墨型液体涂布模块，包括：

液体储存单元，其具有储存液体的液体储存空间；以及

喷墨式喷嘴单元，其被供应有来自液体储存单元的液体，并且经由喷嘴以喷墨方式排出液体，

其中，喷嘴覆盖单元被附接，从而以密封的方式关闭喷墨式喷嘴单元的下侧。

2.如权利要求1所述的喷墨型液体涂布模块，还包括：

喷墨式喷嘴单元下盖，其具有喷嘴插入空间，喷墨式喷嘴单元的下端部插入到喷嘴插入空间中，并且喷墨式喷嘴单元下盖连接到液体储存单元，

其中，喷嘴覆盖单元附接到喷墨式喷嘴单元下盖的底表面。

3.如权利要求2所述的喷墨型液体涂布模块，其中，喷墨式喷嘴容纳空间形成在液体储存单元的一侧处，突出空间部分形成在液体储存单元的喷墨式喷嘴容纳空间的两侧处，并且喷墨式喷嘴单元容纳在喷墨式喷嘴容纳空间中。

4.如权利要求3所述的喷墨型液体涂布模块，其中，喷墨式喷嘴单元下盖连接到突出空间部分的下部。

5.如权利要求2所述的喷墨型液体涂布模块，其中，喷嘴覆盖单元设置有第一磁性耦合部分。

6.如权利要求5所述的喷墨型液体涂布模块，其中，喷墨式喷嘴单元下盖设置有对应于第一磁性耦合部分的第二磁性耦合部分。

7.如权利要求1至6中任一项所述的喷墨型液体涂布模块，其中，泄露液体容纳槽形成在指向喷墨式喷嘴单元下侧的喷嘴覆盖单元的表面中。

8.一种喷墨型液体涂布模块的除气方法，所述喷墨型液体涂布模块包括储存液体的液体储存单元以及被供应有液体并经由喷嘴以喷墨方式排出液体的喷墨式喷嘴单元，所述除气方法包括：

步骤(a)，附接喷嘴覆盖单元，从而以密封的方式关闭喷墨式喷嘴单元的下侧；

步骤(b)，在喷嘴覆盖单元附接到喷墨型液体涂布模块的状态下将喷墨型液体涂布模块装载在真空室中；以及

步骤(c)，在真空室处于真空状态的状态下对喷墨型液体涂布模块执行除气。

9.如权利要求8所述的除气方法，其中，在喷墨型液体涂布模块与涂布头单元分离之前执行步骤(a)。

10.如权利要求9所述的除气方法，其中，在步骤(a)中，在附接了喷嘴覆盖单元的状态下将负压力施加到液体储存单元。

11.如权利要求8至10中任一项所述的除气方法，其中，在喷墨型液体涂布模块安装在除气装配架的液体涂布装置安装单元上的状态下执行步骤(b)。

12.如权利要求11所述的除气方法，其中，液体涂布装置安装单元设置有加热板，并且在执行步骤(c)的至少一部分过程期间，通过使用加热板加热喷墨型液体涂布模块。

13.如权利要求8至10中任一项所述的除气方法，还包括：

步骤(d)，在完成除气之后将喷墨型液体涂布模块安装在涂布头单元上，将负压力施加到液体储存单元，然后分离喷嘴覆盖单元。

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