JP3880766B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの製造に用いるガラス基板、半導体ウエハ、半導体製造装置用のマスク基板、プリント基板などの各種基板を取扱い、それらの基板に対して、純水、洗浄薬液、現像液、剥離液などの各種処理液を供給する液処理、紫外線を照射する光処理、加熱したり冷却したりする熱処理など、各種の処理を施すための基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば半導体や液晶表示パネル、プラズマ表示パネルなどの製造工程で用いられるフォトリソグラフィのプロセスにおいては、処理される基板は一般にカセットと呼ばれる収納容器に複数枚を並べて平行な姿勢で収納された状態とされて、その状態で搬送されたり、各種基板処理装置に装填されたり搬出される。基板を１枚づつ処理する枚葉式の基板処理装置では、基板が水平姿勢で上下方向に並ぶように収納容器を装填し、そこから基板を水平姿勢で取り出して搬送して各種処理を施すのが一般的である。
【０００３】
このような基板処理装置については、収納容器から取り出された基板が処理された後に収納される場所によって、取り出されたその同じ収納容器に収納されるいわゆるユニカセットとよばれる仕様と、取り出された収納容器とは別の新たな収納容器に収納されるいわゆるローダ／アンローダと呼ばれる仕様とがあるが、いずれにしてもそのような場合、処理前の基板が入った収納容器から基板を払い出す際には下方位置にある基板から順に取り出し、逆に、処理済みの基板を収納容器に収納しようとする際には収納容器の上方位置から順に入れていくのが一般的である。
【０００４】
すなわちこの順序にすれば、基板を収納容器に出し入れする際に、基板と収納容器との接触部位や基板を搬送するための機構などから、もし発塵が生じたとしても、その下方には基板が存在しない状態にできるため、そのような発塵の悪影響を受けにくく、その意味では安全であるからである。そしてこのような基板処理装置では、基板を収納容器から取り出す機構は常に下側の基板から順に払い出し、基板を収納容器に入れる機構は常に上側から収納容器に収めればよかった。
【０００５】
ところで、このような製造プロセスの管理について、これまで一般に収納容器１つ単位で行っていたが、近年はＣＩＭによる少量多品種生産工程などに対応するため、収納容器内の１枚１枚の基板について管理を行うことが望まれている。これには、一つの収納容器内の基板をある基板処理装置で処理するときに、処理前と処理後とで各基板の収納位置が変化しないことが管理上から望ましい。ところが、先に述べたような「下から払い出し、上から収納」という方式では、一つの基板処理装置を経る毎に収納容器内の基板の収納位置が変わり、不都合である。他方、近年では、施そうとする処理の内容によって、収納容器からの払い出しや収納の順序を、収納容器単位で「上→下」「下→上」と任意に切り替えるといった要望も出てきている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、収納容器からの払い出しや収納の順序を「上→下」「下→上」と任意に切り替えるような場合でも、処理後での収納容器内の個々の基板の位置を認識できて個々の基板を管理することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、複数の基板を収納している収納容器から基板を順次取り出し、所定の処理を施した後に収納容器に収納する基板処理装置において、収納容器に収納されている基板を取り出す取出機構と、基板に処理を施す処理手段と、収納容器に基板を収納する収納機構と、基板の管理方式情報を入力する入力手段と、収納容器からの基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報と前記入力手段により入力された管理方式情報とを当該基板に対応付ける対応付け手段と、前記対応付け手段により当該基板と対応付けられている情報に基づき、当該基板を収納すべき位置情報を算出する算出手段と、前記算出手段により算出された位置情報が示す位置に当該基板を収納するように前記収納手段を動作させる収納制御手段と、前記処理手段の処理段階ごとに設けられた複数の情報保持手段とを備え、前記管理方式情報は、取出機構による基板取り出し時の取出しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号および収納機構による基板収納時の収納しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号であり、前記対応付け手段により基板に対応づけられた前記位置情報は、基板の処理段階に応じて下流側の前記情報保持手段に伝達されることを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、複数の基板を収納している収納容器から基板を順次取り出し、所定の処理を施した後に収納容器に収納する基板処理装置において、収納容器に収納されている基板を取り出す取出機構と、基板に処理を施す処理手段と、収納容器に基板を収納する収納機構と、基板の管理方式情報を入力する入力手段と、収納容器からの基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報を当該基板に対応付ける対応付け手段と、前記対応付け手段により当該基板と対応付けられている情報と前記入力手段により入力された管理方式情報に基づき当該基板を収納すべき位置情報を算出する算出手段と、前記算出手段により算出された位置情報が示す位置に当該基板を収納するように前記収納手段を動作させる収納制御手段と、前記処理手段の処理段階ごとに設けられた複数の情報保持手段とを備え、前記管理方式情報は、取出機構による基板取り出し時の取出しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号および収納機構による基板収納時の収納しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号であり、前記対応付け手段により基板に対応づけられた前記位置情報は、基板の処理段階に応じて下流側の前記情報保持手段に伝達されることを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、複数の基板を収納している収納容器から基板を順次取り出し、所定の処理を施した後に収納容器に収納する基板処理装置において、収納容器に収納されている基板を取り出す取出機構と、基板に処理を施す処理手段と、収納容器に基板を収納する収納機構と、基板の管理方式情報を入力する入力手段と、収納容器からの基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報と前記入力手段により入力された管理方式情報に基づき当該基板を収納すべき位置情報を算出して当該基板に対応付ける算出対応付け手段と、前記算出対応付け手段により対応付けられている位置情報が示す位置に当該基板を収納するように前記収納手段を動作させる収納制御手段と、前記処理手段の処理段階ごとに設けられた複数の情報保持手段とを備え、前記管理方式情報は、取出機構による基板取り出し時の取出しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号および収納機構による基板収納時の収納しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号であり、前記算出対応付け手段により基板に対応づけられた前記位置情報は、基板の処理段階に応じて下流側の前記情報保持手段に伝達されることを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、前記基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報が、前記収納容器の何段目に収納されていたかを示す符号であることを特徴とする。
【０００８】
請求項５に記載の発明は、前記算出手段が、基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での収納段と同一段を収納すべき位置情報とすることを特徴とする。
【０００９】
請求項６に記載の発明は、前記算出手段が、基板取り出し時と基板収納時とで基板の並び順が逆となるような収納段を収納すべき位置情報とすることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係る物体検出装置としての基板処理装置の概略構成を示す平面図、図２は本発明に係る基板処理装置の制御系統を示す模式図である。
【００１２】
基板処理装置１は、角型（四角形）のガラス基板に対して塗布液の塗布処理を行なうものであって、処理前の基板を保管して後述する処理装置に供給するローダＬと、基板に対して回転塗布処理を施す塗布処理装置ＳＣと、加熱処理装置ＨＰと、冷却処理装置ＣＰと、処理装置から処理済みの基板を受け取って収納保管するアンローダＵＬと、塗布装置ＳＣにある基板を加熱処理装置ＨＰへ、また加熱処理装置ＨＰにある基板を冷却処理装置ＣＰへ、それぞれの間で基板を搬送する搬送装置ＴＲとを備えている。搬送装置ＴＲは基板を保持するためのハンドＨを２対備えている。
【００１３】
この基板処理装置１において処理される基板は、ローダＬおよびアンローダＵＬは、複数の基板を水平姿勢でかつ互いに平行に上下方向に多段に収納できる収納容器２に収納されており、その状態で基板処理装置１への搬入、搬出が行われる。ローダＬおよびアンローダＵＬは、それぞれ２つの収納容器２を載置できる載置台４と、その載置台４と平行に移動可能でそこに載置される収納容器２に対して基板を取り出しまた収納し、また隣接する処理装置と基板を受け渡しする搬送ロボット６とを備える。
【００１４】
ここで、基板処理装置１を構成するローダＬ、塗布処理装置ＳＣ、加熱処理装置ＨＰ、冷却処理装置ＣＰ、アンローダＵＬ、搬送装置ＴＲは、それぞれの装置を制御するための中央演算装置（以下、ｃｐｕ）Ｃ１〜Ｃ６とメモリＭ１〜Ｍ６を備え、各ｃｐｕは互いに接続されて制御のための情報をやり取りする。また、ローダＬのｃｐｕＣ１には情報を入力するための入力機構であるキーボード８が接続されている。
【００１５】
さて、この基板処理装置１の動作にそって、各部の機能や動作を合わせて以下に説明する。この基板処理装置１では、まず、複数の基板を収納しているローダＬに置かれた収納容器２から基板を順次取り出し、塗布処理装置ＳＣで塗布処理を、加熱処理装置ＨＰで加熱処理を、冷却処理装置ＣＰで冷却処理を、順次施し、それら所定の処理を施した後にアンローダＵＬに置かれた収納容器に収納する動作を行う。
ここにおいて、基板処理装置１のオペレータは、処理しようとしている収納容器２内の基板について、その基板を取扱おうとする管理の方式についての情報を、コード化した符号によりローダＬのキーボード８からｃｐｕＣ１に入力する。その符号と管理方式の一例として、符号を次のように定義する。
【００１６】
符号「Ｐ」：意味「上から払い出し、上から収納」
【００１７】
符号「Ｑ」：意味「下から払い出し、下から収納」
【００１８】
符号「Ｒ」：意味「上から払い出し、下から収納」
【００１９】
符号「Ｓ」：意味「下から払い出し、上から収納」
【００２０】
例えばここで、図３（ａ）の側面図に示すようにローダＬの収納容器２ＬとアンローダＵＬの収納容器２ＵＬとが共に１０枚の基板を収納できる１０段の棚を持つものであって、それぞれの棚を下から数えて１、２、３、…、９、１０と表すものとし、ここでは同図に示すようにローダＬの収納容器２Ｌには、１、２、３、６、９、１０の棚に基板が入っており、４、５、７、８の棚には基板が入っていないものとする。図３ではローダＬの収納容器２Ｌ内で１、２、３、６、９、１０の棚に入っている基板にそれぞれ１、２、３、６、９、１０と付記して他と区別する。
【００２１】
もしこの状態で符号「Ｐ」が管理の方式として入力されて基板処理が開始された場合、ローダＬのｃｐｕＣ１は当該符号「Ｐ」をメモリＭ１に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｐ」が意味するところの払い出し順序に従い、収納容器２Ｌ内の基板のうち、その収納容器２内の棚の最も上段に入っているもの、すなわち棚１０に入っている基板Ｗをまず取り出して保持する。またそれとともに、 ｃｐｕＣ１は収納容器２Ｌの棚１０に入っていた基板Ｗ取り出し時における当該基板Ｗの収納容器２Ｌ内での位置情報すなわち「１０」と、前記キーボード８から入力された管理方式情報すなわち符号「Ｐ」とを、当該基板Ｗに対応づけて、その対応をメモリＭ１に保存記憶させる。
【００２２】
そしてローダＬのｃｐｕＣ１は引き続いてその搬送ロボット６を動作させ、先に取り出して保持している基板Ｗを塗布処理装置ＳＣに搬入し引き渡すと同時に、当該基板Ｗに対応づけられている情報「Ｐ」「１０」をその基板Ｗの引き渡し先である塗布処理装置ＳＣのｃｐｕＣ２に伝達する。 ｃｐｕＣ２は情報「Ｐ」「１０」を、現在塗布処理装置ＳＣ内にある基板Ｗに対応づけられている情報として認識し、メモリＭ２に保存記憶させる。 ｃｐｕＣ２はさらに塗布処理装置ＳＣの動作を制御して基板Ｗに塗布処理を行う。
【００２３】
塗布処理装置ＳＣにおける塗布処理が終了すると、塗布処理装置ＳＣのｃｐｕＣ２は搬送装置ＴＲのｃｐｕＣ６に基板の搬送指示を出し、搬送装置ＴＲが塗布処理装置ＳＣ内の基板Ｗを加熱処理装置ＨＰに搬送し、それと同時にｃｐｕＣ２は、当該基板Ｗに対応づけられている情報「Ｐ」「１０」をその基板Ｗの引き渡し先である加熱処理装置ＨＰのｃｐｕＣ３に伝達する。ｃｐｕＣ３は情報「Ｐ」「１０」を、現在加熱処理装置ＨＰ内にある基板Ｗに対応づけられている情報として認識し、メモリＭ３に保存記憶させる。
【００２４】
このときローダＬでは、メモリＭ１に保存記憶されている情報「Ｐ」が意味するところの払い出し順序に従い、その搬送ロボット６を動作させて、収納容器２Ｌ内の基板のうち次に上段である棚９に入っている２枚目の基板Ｗを取り出して保持する。またそれとともに、 ｃｐｕＣ１は収納容器２Ｌの棚９に入っていた基板Ｗ取り出し時における当該基板Ｗの収納容器２Ｌ内での位置情報すなわち「９」と、前記キーボード８から入力された管理方式情報すなわち符号「Ｐ」とを、当該基板Ｗに対応づけて、その対応をメモリＭ１に保存記憶させる。
【００２５】
そしてローダＬのｃｐｕＣ１は引き続いてその搬送ロボット６を動作させ、先に取り出して保持している２枚目の基板Ｗを塗布処理装置ＳＣに搬入し引き渡すと同時に、当該基板Ｗに対応づけられている情報「Ｐ」「９」をその基板Ｗの引き渡し先である塗布処理装置ＳＣのｃｐｕＣ２に伝達する。 ｃｐｕＣ２は情報「Ｐ」「９」を、現在塗布処理装置ＳＣ内にある基板Ｗに対応づけられている情報としてメモリＭ２に保存記憶させる。 ｃｐｕＣ２はさらに塗布処理装置ＳＣの動作を制御して基板Ｗに塗布処理を行う。この状態を図３（ｂ）に示す。
【００２６】
このように以下同様に、各処理装置の処理の進行にあわせてローダＬは基板Ｗを収納容器２Ｌの上段側に入っているものから順次取り出して塗布処理装置ＳＣに供給し、かつローダＬのｃｐｕＣ１は、収納容器２Ｌからの基板Ｗ取り出し時における当該基板Ｗの収納容器２内での位置情報と、キーボード８から入力された管理方式情報とを当該基板Ｗに対応付ける。そして、当該基板Ｗを下流の各処理装置へ搬送する際にはその基板Ｗと共に、当該基板Ｗに対応づけられているそれらの情報を下流の各処理装置へ伝達する。そして、その基板Ｗが送られた各処理装置は、伝達されたそれらの情報をその基板Ｗと対応づけて記憶し、当該基板Ｗをさらに下流側へ搬送する際には、それらの情報もあわせて下流側へ伝達する。
【００２７】
さて、このようにして、最初に取り出された基板Ｗ「Ｐ」「１０」が塗布処理装置ＳＣで塗布処理を、加熱処理装置ＨＰで加熱処理を、冷却処理装置ＣＰで冷却処理を、それぞれ順次施し終わると、アンローダＵＬのｃｐｕＣ５は、その搬送ロボット６を動作させて冷却処理装置ＣＰから基板Ｗを受け取る。それと同時に冷却処理装置ＣＰのｃｐｕＣ４は、当該基板Ｗに対応づけられている情報「Ｐ」「１０」をその基板Ｗの引き渡し先であるアンローダＵＬのｃｐｕＣ５に伝達する。ｃｐｕＣ５は情報「Ｐ」「１０」を、現在アンローダＵＬの搬送ロボット６が保持している基板Ｗに対応づけられている情報として認識し、メモリＭ５に保存記憶させる。
【００２８】
そして、このｃｐｕＣ５は当該基板Ｗと対応づけられている認識した情報「Ｐ」「１０」に基づき、当該基板を収納すべき位置情報を算出する。すなわちこの場合、符号「Ｐ」の意味は「上から払い出し、上から収納」であり、「１０」は最も上の１０の棚に入っていたことを意味するから、この基板Ｗを収納すべき位置はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの最も上の１０の棚であると算出する。アンローダＵＬのｃｐｕＣ５はこのようにして基板Ｗを収納すべき位置を定めると、搬送ロボット６が保持している基板Ｗを定めた収納位置である収納容器２ＵＬの最も上の１０の棚に収納するように、搬送ロボット６を動作させる。この状態を図３（ｃ）に示す。
【００２９】
以下、同様にしてアンローダＵＬのｃｐｕＣ５は順次搬送されてくる基板Ｗについて、当該基板と対応付けられている情報に基づき、その基板を収納すべき位置情報を算出し、かつ算出された位置情報に基づき、当該基板を収納すべき位置に収納するよう搬送ロボット６を動作させる。情報「Ｐ」「９」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの９の棚であり、情報「Ｐ」「６」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの６の棚である。
【００３０】
ローダＬの収納容器２Ｌ内のすべての基板について、すべての処理を終了し、すべての基板をアンローダＵＬの収納容器２ＵＬに収納した状態を図３（ｄ）に示す。このときのアンローダＵＬの収納容器２ＵＬにおける基板の収納状態は、処理開始前のローダＬの収納容器２Ｌの収納状態（図３（ａ））と同じであり、各基板の収納位置は不変である。なお、この図３（ａ）の例のようにローダＬの収納容器２Ｌに基板Ｗが収納されていない棚（４、５、７、８の棚）がある場合には、アンローダＵＬ側の収納容器２ＵＬでもそれに対応する棚には基板は収納されない。
【００３１】
また、処理開始時に収納容器２Ｌの収納状態が図３（ａ）と同じ状態であったとして、例えば符号「Ｑ」が入力されて基板処理が開始された場合、ローダＬのｃｐｕＣ１は当該符号「Ｑ」をメモリＭ１に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｑ」が意味するところの払い出し順序に従い、収納容器２Ｌ内の基板のうち、その収納容器２内の棚の最も下段に入っているもの、すなわち棚１に入っている基板Ｗをまず取り出して保持する。またそれとともに、 ｃｐｕＣ１は収納容器２Ｌの棚１に入っていた基板Ｗ取り出し時における当該基板Ｗの収納容器２Ｌ内での位置情報すなわち「１」と、前記キーボード８から入力された管理方式情報すなわち符号「Ｑ」とを、当該基板Ｗに対応づけて、その対応をメモリＭ１に保存記憶させる。
【００３２】
このように以下同様に、各処理装置の処理の進行にあわせてローダＬは基板Ｗを収納容器２Ｌから順次取り出して塗布処理装置ＳＣに供給するが、符号「Ｐ」の場合と異なるのは、収納容器２Ｌから基板Ｗを取り出す際に、収納容器２Ｌの下段側に入っているものから順次取り出す点である。ローダＬのｃｐｕＣ１は、収納容器２Ｌからの基板Ｗ取り出し時における当該基板Ｗの収納容器２内での位置情報と、キーボード８から入力された管理方式情報とを当該基板Ｗに対応付ける。そして、当該基板Ｗを下流の各処理装置へ搬送する際にはその基板Ｗと共に、当該基板Ｗに対応づけられているそれらの情報を下流の各処理装置へ伝達する。そして、その基板Ｗが送られた各処理装置は、伝達されたそれらの情報をその基板Ｗと対応づけて記憶し、当該基板Ｗをさらに下流側へ搬送する際には、それらの情報もあわせて下流側へ伝達する。これらは符号「Ｐ」の場合と同じである。
【００３３】
また、一連の処理を終えた基板がアンローダＵＬに達すると、アンローダＵＬのｃｐｕＣ５は順次搬送されてくる基板Ｗについて、当該基板と対応付けられている情報に基づき、その基板を収納すべき位置情報を算出し、かつ算出された位置情報に基づき、当該基板を収納すべき位置に収納するよう搬送ロボット６を動作させる。情報「Ｑ」「１」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの１の棚であり、情報「Ｑ」「２」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの２の棚である。このように基板Ｗのそれぞれは、ローダＬの収納容器２Ｌに入っていた時の棚と同じ高さの棚に収納される。なお、収納容器２Ｌに基板Ｗが収納されていない棚がある場合には、先の例と同様に、アンローダＵＬ側でも対応する棚には基板は収納されない。
【００３４】
ローダＬの収納容器２Ｌ内のすべての基板について、すべての処理を終了し、すべての基板をアンローダＵＬの収納容器２ＵＬに収納した状態は、先の情報「Ｐ」の場合で図３（ｄ）に示すものと同じである。このときのアンローダＵＬの収納容器２ＵＬにおける基板の収納状態は、処理開始前のローダＬの収納容器２Ｌの収納状態（図３（ａ））と同じであり、各基板の収納位置は不変である。
【００３５】
このように情報「Ｐ」「Ｑ」の方式で処理をおこなうと、処理開始前と処理終了後とで収納容器２内の各基板Ｗの収納位置は不変であり、各基板Ｗの位置を容易に認識できるので、個々の管理が容易である。一方、符号「Ｒ」「Ｓ」の方式で処理をおこなうと、処理開始前と処理終了後とで収納容器２内の各基板Ｗの収納位置が上下入れ替わり、処理前にローダＬの収納容器２Ｌ内で上にあったものがアンローダＵＬの収納容器２ＵＬでは下に、処理前に下にあったものが上になる。
【００３６】
すなわち、処理開始時に収納容器２Ｌの収納状態が図３（ａ）と同じ状態であったとして、例えば処理開始時に符号「Ｓ」が入力されて基板処理が開始された場合、ローダＬのｃｐｕＣ１は当該符号「Ｓ」をメモリＭ１に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｓ」が意味するところの払い出し順序に従い、収納容器２Ｌ内の基板のうち、その収納容器２内の基板のうち、最も下に位置している基板Ｗをまず取り出して保持し、情報「Ｓ」「１」を対応づけて搬出する。以後、各処理装置の処理の進行にあわせて収納容器２Ｌ内で下方に位置しているものから順に搬出してゆく。
【００３７】
そして、処理が終わった基板がアンローダＵＬに運ばれると、アンローダＵＬのｃｐｕＣ５は当該符号「Ｓ」をメモリＭ５に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｓ」が意味するところの収納順序に従い、基板収納容器２Ｌの上側の棚のほうから順に、運ばれた基板を収納してゆく。具体的には、情報「Ｓ」「１」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの１０の棚である。この棚番号Ｔ＝１０は次式により算出される。
【００３８】
Ｔ＝１１−（基板に対応づけられている棚番号）＝１１−１＝１０
【００３９】
同様に、情報「Ｓ」「２」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの９の棚である。収納容器２Ｌに基板Ｗが収納されていない棚がある場合には、アンローダＵＬ側の収納容器２ＵＬにおいて同じく次式で算出される棚番号Ｔの棚には基板は収納されない。
【００４０】
Ｔ＝１１−（収納容器２Ｌで基板が収納されていない棚番号）
【００４１】
ローダＬの収納容器２Ｌ内のすべての基板について、すべての処理を終了し、すべての基板をアンローダＵＬの収納容器２ＵＬに収納した状態を図３（ｅ）に示す。このときのアンローダＵＬの収納容器２ＵＬにおけるそれぞれの基板は、処理開始前のローダＬの収納容器２Ｌでの収納位置を上下逆にした位置に収納されており、処理開始前の収納位置が変化している。
【００４２】
また、同様の場合に符号「Ｒ」の方式で処理をおこなうと、同様に、ローダＬのｃｐｕＣ１は当該符号「Ｒ」をメモリＭ１に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｒ」が意味するところの払い出し順序に従い、収納容器２Ｌ内の基板のうち、その収納容器２内の基板のうち、最も上に位置している基板Ｗをまず取り出して保持し、情報「Ｒ」「１０」を対応づけて搬出する。以後、各処理装置の処理の進行にあわせて収納容器２Ｌ内で上方に位置しているものから順に搬出してゆく。
【００４３】
そして、処理が終わった基板がアンローダＵＬに運ばれると、アンローダＵＬのｃｐｕＣ５は当該符号「Ｒ」をメモリＭ５に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｒ」が意味するところの収納順序に従い、基板収納容器２Ｌの下側の棚のほうから順に、運ばれた基板を収納してゆく。具体的には、情報「Ｒ」「１０」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの１の棚である。この棚番号Ｔ＝１は次式により算出される。
【００４４】
Ｔ＝１１−（基板に対応づけられている棚番号）＝１１−１０＝１
【００４５】
同様に、情報「Ｒ」「９」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの２の棚である。収納容器２Ｌに基板Ｗが収納されていない棚がある場合には、アンローダＵＬ側の収納容器２ＵＬにおいて同じく次式で算出される棚番号Ｔの棚には基板は収納されない。
【００４６】
Ｔ＝１１−（収納容器２Ｌで基板が収納されていない棚番号）
【００４７】
ローダＬの収納容器２Ｌ内のすべての基板について、すべての処理を終了し、すべての基板をアンローダＵＬの収納容器２ＵＬに収納した状態は、先の情報「Ｓ」の例である図３（ｅ）と同じである。このときのアンローダＵＬの収納容器２ＵＬにおけるそれぞれの基板は、処理開始前のローダＬの収納容器２Ｌでの収納位置を上下逆にした位置に収納されており、処理開始前の収納位置が変化している。
【００４８】
このように、各基板Ｗが処理終了後にアンローダＬにおける収納容器２ＵＬ内に収納される位置は、キーボード８からローダＬのｃｐｕＣ１に入力されたその符号が意味する管理方式によって一義的に定まる。従って、収納容器２Ｌからの払い出しや収納の順序を「上→下」「下→上」と任意に切り替えるような場合でも、処理後での収納容器２ＵＬ内の個々の基板の位置を容易に認識できて、個々の基板を確実に管理することができる。特に、上記例において符号「Ｐ」「Ｑ」で定義される管理方式、すなわちローダＬにおける払い出しとアンローダＵＬにおける収納とを同じ側から同じ向きに行なうようにすれば、ローダＬ側とアンローダＵＬ側とで収納容器内の各基板の収納位置が変化せず、管理がより容易になる。
【００４９】
なお、上記実施形態は、各処理装置などが個別に制御装置としてＣＰＵとメモリを持つ場合であったが、例えばすべての処理装置やローダ、アンローダを一つの制御装置で制御する場合でも本発明は適用できる。その場合、例えばその制御装置内ＣＰＵが、各処理装置などに入っている基板それぞれに、基板Ｗの収納容器２Ｌ内での位置情報と、入力された管理方式情報とを、当該基板Ｗに対応づけて、その対応をメモリに保存記憶させればよい。
【００５０】
また、上記実施形態は、処理前の基板を保管して処理装置に供給するローダＬと、処理装置から処理済みの基板を受け取って収納保管するアンローダＵＬとを備えたものであったが、それらの２つの機能を兼ね備えたいわゆるインデクサータイプの基板供給収納装置を備えたものであっても、本発明は同様に実施できる。この場合、収納容器に対して基板を出し入れする搬送ロボットが１台であれば、その搬送ロボットが取出機構と収納機構とを兼用する。
【００５１】
また、上記実施形態は、ローダＬにおいて取り出し時における位置情報と管理方式情報とを基板Ｗに対応付けてその情報を基板と共に各処理装置間を移動伝播させ、アンローダＵＬにおいて収納位置を算出するものであったが、これに限らず、例えば、ローダＬにおいては取り出し時における位置情報のみを基板Ｗに対応付けて基板とともに各処理装置間を移動伝播させるとともに、ローダＬのｃｐｕＣ１からアンローダＵＬのｃｐｕＣ５へ直接的に管理方式情報を伝達し、アンローダＵＬにおいてその二つの情報から基板Ｗを収納すべき位置情報を算出するものでもよい（請求項２）。
【００５２】
具体的には、例えば符号を次のように定義する。
【００５３】
符号「Ｓ」：意味「収納状態を処理前と同じにする」
【００５４】
符号「Ｒ」：意味「収納状態を処理前と逆にする」
【００５５】
そして、処理開始時にキーボード８からローダＬのｃｐｕＣ１に、ローダＬの収納容器２Ｌからの払い出し順を、「上から」か「下から」かのいずれかを選択入力するとともに、処理後の収納状態を上記符号のいずれかで入力する。すると、ローダＬのｃｐｕＣ１は入力された符号をアンローダＵＬのｃｐｕＣ５に伝達し、他方、収納容器２Ｌ内の基板を「上から」か「下から」か先に指定された順番に払い出してゆく。そしてこの払い出し時に、各基板が取り出された棚の番号を取り出し時の位置情報として基板に対応させて、下流側の装置のｃｐｕに伝達してゆく。そしてアンローダＵＬに基板が到達した際に、アンローダＵＬのｃｐｕＣ５はさきにｃｐｕＣ１から伝達された収納方法を意味する符号と、到達した基板に対応付けられている取り出し時の位置情報とに基づいて、収納容器２ＵＬ内において当該基板を収納すべき位置を算出し、その位置に基板を収納する。
【００５６】
またローダＬのｃｐｕＣ１において、取り出し時における位置情報と管理方式情報の二つの情報から先に基板Ｗを収納すべき位置情報を算出しておき、その算出した収納すべき位置情報を基板Ｗに対応付けてその情報を基板と共に各処理装置間を移動伝播させてアンローダＵＬのｃｐｕＣ５に伝達するものでもよい（請求項３）。
【００５７】
またこれらの形態において、各基板に対応する情報をその基板が現在ある位置の情報とともに直接アンローダＵＬへ伝達し、アンローダＵＬ側のｃｐｕにおいて各基板と各情報とを対応させて、収納すべき位置情報を算出するものであってもよい。
【００５８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、収納容器からの払い出しや収納の順序を「上→下」「下→上」と任意に切り替えるような場合でも、処理後での収納容器内の個々の基板の位置を認識できて個々の基板を管理することができる基板処理装置を提供できる。
【００５９】
特に、基板取り出し時における当該基板の収納容器内での収納段と同一段を収納すべき位置情報とすることで、すべての基板の収納位置を不変とし、より容易に管理可能な基板処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理装置の実施形態の概略構成を示す模式的平面図である。
【図２】本発明に係る基板検出装置の実施形態の制御系統を示す模式図である。
【図３】本発明に係る基板検出装置の実施形態の動作に伴う基板の動きを示す模式的側面図である。
【符号の説明】
Ｗ・・・基板
１・・・基板処理装置
２（２Ｌ，２ＵＬ）・・・収納容器
８・・・キーボード
Ｌ・・・ローダ
ＵＬ・・・アンローダ
ＳＣ・・・塗布処理装置
ＨＰ・・・加熱処理装置
ＣＰ・・・冷却処理装置
Ｃ１〜Ｃ６・・・ｃｐｕ
Ｍ１〜Ｍ６・・・メモリ
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの製造に用いるガラス基板、半導体ウエハ、半導体製造装置用のマスク基板、プリント基板などの各種基板を取扱い、それらの基板に対して、純水、洗浄薬液、現像液、剥離液などの各種処理液を供給する液処理、紫外線を照射する光処理、加熱したり冷却したりする熱処理など、各種の処理を施すための基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば半導体や液晶表示パネル、プラズマ表示パネルなどの製造工程で用いられるフォトリソグラフィのプロセスにおいては、処理される基板は一般にカセットと呼ばれる収納容器に複数枚を並べて平行な姿勢で収納された状態とされて、その状態で搬送されたり、各種基板処理装置に装填されたり搬出される。基板を１枚づつ処理する枚葉式の基板処理装置では、基板が水平姿勢で上下方向に並ぶように収納容器を装填し、そこから基板を水平姿勢で取り出して搬送して各種処理を施すのが一般的である。
【０００３】
このような基板処理装置については、収納容器から取り出された基板が処理された後に収納される場所によって、取り出されたその同じ収納容器に収納されるいわゆるユニカセットとよばれる仕様と、取り出された収納容器とは別の新たな収納容器に収納されるいわゆるローダ／アンローダと呼ばれる仕様とがあるが、いずれにしてもそのような場合、処理前の基板が入った収納容器から基板を払い出す際には下方位置にある基板から順に取り出し、逆に、処理済みの基板を収納容器に収納しようとする際には収納容器の上方位置から順に入れていくのが一般的である。
【０００４】
すなわちこの順序にすれば、基板を収納容器に出し入れする際に、基板と収納容器との接触部位や基板を搬送するための機構などから、もし発塵が生じたとしても、その下方には基板が存在しない状態にできるため、そのような発塵の悪影響を受けにくく、その意味では安全であるからである。そしてこのような基板処理装置では、基板を収納容器から取り出す機構は常に下側の基板から順に払い出し、基板を収納容器に入れる機構は常に上側から収納容器に収めればよかった。
【０００５】
ところで、このような製造プロセスの管理について、これまで一般に収納容器１つ単位で行っていたが、近年はＣＩＭによる少量多品種生産工程などに対応するため、収納容器内の１枚１枚の基板について管理を行うことが望まれている。これには、一つの収納容器内の基板をある基板処理装置で処理するときに、処理前と処理後とで各基板の収納位置が変化しないことが管理上から望ましい。ところが、先に述べたような「下から払い出し、上から収納」という方式では、一つの基板処理装置を経る毎に収納容器内の基板の収納位置が変わり、不都合である。他方、近年では、施そうとする処理の内容によって、収納容器からの払い出しや収納の順序を、収納容器単位で「上→下」「下→上」と任意に切り替えるといった要望も出てきている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、収納容器からの払い出しや収納の順序を「上→下」「下→上」と任意に切り替えるような場合でも、処理後での収納容器内の個々の基板の位置を認識できて個々の基板を管理することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、複数の基板を収納している収納容器から基板を順次取り出し、所定の処理を施した後に収納容器に収納する基板処理装置において、収納容器に収納されている基板を取り出す取出機構と、基板に処理を施す処理手段と、収納容器に基板を収納する収納機構と、基板の管理方式情報を入力する入力手段と、収納容器からの基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報と前記入力手段により入力された管理方式情報とを当該基板に対応付ける対応付け手段と、前記対応付け手段により当該基板と対応付けられている情報に基づき、当該基板を収納すべき位置情報を算出する算出手段と、前記算出手段により算出された位置情報が示す位置に当該基板を収納するように前記収納手段を動作させる収納制御手段と、前記処理手段の処理段階ごとに設けられた複数の情報保持手段とを備え、前記管理方式情報は、取出機構による基板取り出し時の取出しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号および収納機構による基板収納時の収納しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号であり、前記対応付け手段により基板に対応づけられた前記位置情報は、基板の処理段階に応じて下流側の前記情報保持手段に伝達されることを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、複数の基板を収納している収納容器から基板を順次取り出し、所定の処理を施した後に収納容器に収納する基板処理装置において、収納容器に収納されている基板を取り出す取出機構と、基板に処理を施す処理手段と、収納容器に基板を収納する収納機構と、基板の管理方式情報を入力する入力手段と、収納容器からの基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報を当該基板に対応付ける対応付け手段と、前記対応付け手段により当該基板と対応付けられている情報と前記入力手段により入力された管理方式情報に基づき当該基板を収納すべき位置情報を算出する算出手段と、前記算出手段により算出された位置情報が示す位置に当該基板を収納するように前記収納手段を動作させる収納制御手段と、前記処理手段の処理段階ごとに設けられた複数の情報保持手段とを備え、前記管理方式情報は、取出機構による基板取り出し時の取出しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号および収納機構による基板収納時の収納しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号であり、前記対応付け手段により基板に対応づけられた前記位置情報は、基板の処理段階に応じて下流側の前記情報保持手段に伝達されることを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、複数の基板を収納している収納容器から基板を順次取り出し、所定の処理を施した後に収納容器に収納する基板処理装置において、収納容器に収納されている基板を取り出す取出機構と、基板に処理を施す処理手段と、収納容器に基板を収納する収納機構と、基板の管理方式情報を入力する入力手段と、収納容器からの基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報と前記入力手段により入力された管理方式情報に基づき当該基板を収納すべき位置情報を算出して当該基板に対応付ける算出対応付け手段と、前記算出対応付け手段により対応付けられている位置情報が示す位置に当該基板を収納するように前記収納手段を動作させる収納制御手段と、前記処理手段の処理段階ごとに設けられた複数の情報保持手段とを備え、前記管理方式情報は、取出機構による基板取り出し時の取出しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号および収納機構による基板収納時の収納しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号であり、前記算出対応付け手段により基板に対応づけられた前記位置情報は、基板の処理段階に応じて下流側の前記情報保持手段に伝達されることを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、前記基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報が、前記収納容器の何段目に収納されていたかを示す符号であることを特徴とする。
【０００８】
請求項５に記載の発明は、前記算出手段が、基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での収納段と同一段を収納すべき位置情報とすることを特徴とする。
【０００９】
請求項６に記載の発明は、前記算出手段が、基板取り出し時と基板収納時とで基板の並び順が逆となるような収納段を収納すべき位置情報とすることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係る物体検出装置としての基板処理装置の概略構成を示す平面図、図２は本発明に係る基板処理装置の制御系統を示す模式図である。
【００１２】
基板処理装置１は、角型（四角形）のガラス基板に対して塗布液の塗布処理を行なうものであって、処理前の基板を保管して後述する処理装置に供給するローダＬと、基板に対して回転塗布処理を施す塗布処理装置ＳＣと、加熱処理装置ＨＰと、冷却処理装置ＣＰと、処理装置から処理済みの基板を受け取って収納保管するアンローダＵＬと、塗布装置ＳＣにある基板を加熱処理装置ＨＰへ、また加熱処理装置ＨＰにある基板を冷却処理装置ＣＰへ、それぞれの間で基板を搬送する搬送装置ＴＲとを備えている。搬送装置ＴＲは基板を保持するためのハンドＨを２対備えている。
【００１３】
この基板処理装置１において処理される基板は、ローダＬおよびアンローダＵＬは、複数の基板を水平姿勢でかつ互いに平行に上下方向に多段に収納できる収納容器２に収納されており、その状態で基板処理装置１への搬入、搬出が行われる。ローダＬおよびアンローダＵＬは、それぞれ２つの収納容器２を載置できる載置台４と、その載置台４と平行に移動可能でそこに載置される収納容器２に対して基板を取り出しまた収納し、また隣接する処理装置と基板を受け渡しする搬送ロボット６とを備える。
【００１４】
ここで、基板処理装置１を構成するローダＬ、塗布処理装置ＳＣ、加熱処理装置ＨＰ、冷却処理装置ＣＰ、アンローダＵＬ、搬送装置ＴＲは、それぞれの装置を制御するための中央演算装置（以下、ｃｐｕ）Ｃ１〜Ｃ６とメモリＭ１〜Ｍ６を備え、各ｃｐｕは互いに接続されて制御のための情報をやり取りする。また、ローダＬのｃｐｕＣ１には情報を入力するための入力機構であるキーボード８が接続されている。
【００１５】
さて、この基板処理装置１の動作にそって、各部の機能や動作を合わせて以下に説明する。この基板処理装置１では、まず、複数の基板を収納しているローダＬに置かれた収納容器２から基板を順次取り出し、塗布処理装置ＳＣで塗布処理を、加熱処理装置ＨＰで加熱処理を、冷却処理装置ＣＰで冷却処理を、順次施し、それら所定の処理を施した後にアンローダＵＬに置かれた収納容器に収納する動作を行う。
ここにおいて、基板処理装置１のオペレータは、処理しようとしている収納容器２内の基板について、その基板を取扱おうとする管理の方式についての情報を、コード化した符号によりローダＬのキーボード８からｃｐｕＣ１に入力する。その符号と管理方式の一例として、符号を次のように定義する。
【００１６】
符号「Ｐ」：意味「上から払い出し、上から収納」
【００１７】
符号「Ｑ」：意味「下から払い出し、下から収納」
【００１８】
符号「Ｒ」：意味「上から払い出し、下から収納」
【００１９】
符号「Ｓ」：意味「下から払い出し、上から収納」
【００２０】
例えばここで、図３（ａ）の側面図に示すようにローダＬの収納容器２ＬとアンローダＵＬの収納容器２ＵＬとが共に１０枚の基板を収納できる１０段の棚を持つものであって、それぞれの棚を下から数えて１、２、３、…、９、１０と表すものとし、ここでは同図に示すようにローダＬの収納容器２Ｌには、１、２、３、６、９、１０の棚に基板が入っており、４、５、７、８の棚には基板が入っていないものとする。図３ではローダＬの収納容器２Ｌ内で１、２、３、６、９、１０の棚に入っている基板にそれぞれ１、２、３、６、９、１０と付記して他と区別する。
【００２１】
もしこの状態で符号「Ｐ」が管理の方式として入力されて基板処理が開始された場合、ローダＬのｃｐｕＣ１は当該符号「Ｐ」をメモリＭ１に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｐ」が意味するところの払い出し順序に従い、収納容器２Ｌ内の基板のうち、その収納容器２内の棚の最も上段に入っているもの、すなわち棚１０に入っている基板Ｗをまず取り出して保持する。またそれとともに、 ｃｐｕＣ１は収納容器２Ｌの棚１０に入っていた基板Ｗ取り出し時における当該基板Ｗの収納容器２Ｌ内での位置情報すなわち「１０」と、前記キーボード８から入力された管理方式情報すなわち符号「Ｐ」とを、当該基板Ｗに対応づけて、その対応をメモリＭ１に保存記憶させる。
【００２２】
そしてローダＬのｃｐｕＣ１は引き続いてその搬送ロボット６を動作させ、先に取り出して保持している基板Ｗを塗布処理装置ＳＣに搬入し引き渡すと同時に、当該基板Ｗに対応づけられている情報「Ｐ」「１０」をその基板Ｗの引き渡し先である塗布処理装置ＳＣのｃｐｕＣ２に伝達する。 ｃｐｕＣ２は情報「Ｐ」「１０」を、現在塗布処理装置ＳＣ内にある基板Ｗに対応づけられている情報として認識し、メモリＭ２に保存記憶させる。 ｃｐｕＣ２はさらに塗布処理装置ＳＣの動作を制御して基板Ｗに塗布処理を行う。
【００２３】
塗布処理装置ＳＣにおける塗布処理が終了すると、塗布処理装置ＳＣのｃｐｕＣ２は搬送装置ＴＲのｃｐｕＣ６に基板の搬送指示を出し、搬送装置ＴＲが塗布処理装置ＳＣ内の基板Ｗを加熱処理装置ＨＰに搬送し、それと同時にｃｐｕＣ２は、当該基板Ｗに対応づけられている情報「Ｐ」「１０」をその基板Ｗの引き渡し先である加熱処理装置ＨＰのｃｐｕＣ３に伝達する。ｃｐｕＣ３は情報「Ｐ」「１０」を、現在加熱処理装置ＨＰ内にある基板Ｗに対応づけられている情報として認識し、メモリＭ３に保存記憶させる。
【００２４】
このときローダＬでは、メモリＭ１に保存記憶されている情報「Ｐ」が意味するところの払い出し順序に従い、その搬送ロボット６を動作させて、収納容器２Ｌ内の基板のうち次に上段である棚９に入っている２枚目の基板Ｗを取り出して保持する。またそれとともに、 ｃｐｕＣ１は収納容器２Ｌの棚９に入っていた基板Ｗ取り出し時における当該基板Ｗの収納容器２Ｌ内での位置情報すなわち「９」と、前記キーボード８から入力された管理方式情報すなわち符号「Ｐ」とを、当該基板Ｗに対応づけて、その対応をメモリＭ１に保存記憶させる。
【００２５】
そしてローダＬのｃｐｕＣ１は引き続いてその搬送ロボット６を動作させ、先に取り出して保持している２枚目の基板Ｗを塗布処理装置ＳＣに搬入し引き渡すと同時に、当該基板Ｗに対応づけられている情報「Ｐ」「９」をその基板Ｗの引き渡し先である塗布処理装置ＳＣのｃｐｕＣ２に伝達する。 ｃｐｕＣ２は情報「Ｐ」「９」を、現在塗布処理装置ＳＣ内にある基板Ｗに対応づけられている情報としてメモリＭ２に保存記憶させる。 ｃｐｕＣ２はさらに塗布処理装置ＳＣの動作を制御して基板Ｗに塗布処理を行う。この状態を図３（ｂ）に示す。
【００２６】
このように以下同様に、各処理装置の処理の進行にあわせてローダＬは基板Ｗを収納容器２Ｌの上段側に入っているものから順次取り出して塗布処理装置ＳＣに供給し、かつローダＬのｃｐｕＣ１は、収納容器２Ｌからの基板Ｗ取り出し時における当該基板Ｗの収納容器２内での位置情報と、キーボード８から入力された管理方式情報とを当該基板Ｗに対応付ける。そして、当該基板Ｗを下流の各処理装置へ搬送する際にはその基板Ｗと共に、当該基板Ｗに対応づけられているそれらの情報を下流の各処理装置へ伝達する。そして、その基板Ｗが送られた各処理装置は、伝達されたそれらの情報をその基板Ｗと対応づけて記憶し、当該基板Ｗをさらに下流側へ搬送する際には、それらの情報もあわせて下流側へ伝達する。
【００２７】
さて、このようにして、最初に取り出された基板Ｗ「Ｐ」「１０」が塗布処理装置ＳＣで塗布処理を、加熱処理装置ＨＰで加熱処理を、冷却処理装置ＣＰで冷却処理を、それぞれ順次施し終わると、アンローダＵＬのｃｐｕＣ５は、その搬送ロボット６を動作させて冷却処理装置ＣＰから基板Ｗを受け取る。それと同時に冷却処理装置ＣＰのｃｐｕＣ４は、当該基板Ｗに対応づけられている情報「Ｐ」「１０」をその基板Ｗの引き渡し先であるアンローダＵＬのｃｐｕＣ５に伝達する。ｃｐｕＣ５は情報「Ｐ」「１０」を、現在アンローダＵＬの搬送ロボット６が保持している基板Ｗに対応づけられている情報として認識し、メモリＭ５に保存記憶させる。
【００２８】
そして、このｃｐｕＣ５は当該基板Ｗと対応づけられている認識した情報「Ｐ」「１０」に基づき、当該基板を収納すべき位置情報を算出する。すなわちこの場合、符号「Ｐ」の意味は「上から払い出し、上から収納」であり、「１０」は最も上の１０の棚に入っていたことを意味するから、この基板Ｗを収納すべき位置はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの最も上の１０の棚であると算出する。アンローダＵＬのｃｐｕＣ５はこのようにして基板Ｗを収納すべき位置を定めると、搬送ロボット６が保持している基板Ｗを定めた収納位置である収納容器２ＵＬの最も上の１０の棚に収納するように、搬送ロボット６を動作させる。この状態を図３（ｃ）に示す。
【００２９】
以下、同様にしてアンローダＵＬのｃｐｕＣ５は順次搬送されてくる基板Ｗについて、当該基板と対応付けられている情報に基づき、その基板を収納すべき位置情報を算出し、かつ算出された位置情報に基づき、当該基板を収納すべき位置に収納するよう搬送ロボット６を動作させる。情報「Ｐ」「９」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの９の棚であり、情報「Ｐ」「６」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの６の棚である。
【００３０】
ローダＬの収納容器２Ｌ内のすべての基板について、すべての処理を終了し、すべての基板をアンローダＵＬの収納容器２ＵＬに収納した状態を図３（ｄ）に示す。このときのアンローダＵＬの収納容器２ＵＬにおける基板の収納状態は、処理開始前のローダＬの収納容器２Ｌの収納状態（図３（ａ））と同じであり、各基板の収納位置は不変である。なお、この図３（ａ）の例のようにローダＬの収納容器２Ｌに基板Ｗが収納されていない棚（４、５、７、８の棚）がある場合には、アンローダＵＬ側の収納容器２ＵＬでもそれに対応する棚には基板は収納されない。
【００３１】
また、処理開始時に収納容器２Ｌの収納状態が図３（ａ）と同じ状態であったとして、例えば符号「Ｑ」が入力されて基板処理が開始された場合、ローダＬのｃｐｕＣ１は当該符号「Ｑ」をメモリＭ１に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｑ」が意味するところの払い出し順序に従い、収納容器２Ｌ内の基板のうち、その収納容器２内の棚の最も下段に入っているもの、すなわち棚１に入っている基板Ｗをまず取り出して保持する。またそれとともに、 ｃｐｕＣ１は収納容器２Ｌの棚１に入っていた基板Ｗ取り出し時における当該基板Ｗの収納容器２Ｌ内での位置情報すなわち「１」と、前記キーボード８から入力された管理方式情報すなわち符号「Ｑ」とを、当該基板Ｗに対応づけて、その対応をメモリＭ１に保存記憶させる。
【００３２】
このように以下同様に、各処理装置の処理の進行にあわせてローダＬは基板Ｗを収納容器２Ｌから順次取り出して塗布処理装置ＳＣに供給するが、符号「Ｐ」の場合と異なるのは、収納容器２Ｌから基板Ｗを取り出す際に、収納容器２Ｌの下段側に入っているものから順次取り出す点である。ローダＬのｃｐｕＣ１は、収納容器２Ｌからの基板Ｗ取り出し時における当該基板Ｗの収納容器２内での位置情報と、キーボード８から入力された管理方式情報とを当該基板Ｗに対応付ける。そして、当該基板Ｗを下流の各処理装置へ搬送する際にはその基板Ｗと共に、当該基板Ｗに対応づけられているそれらの情報を下流の各処理装置へ伝達する。そして、その基板Ｗが送られた各処理装置は、伝達されたそれらの情報をその基板Ｗと対応づけて記憶し、当該基板Ｗをさらに下流側へ搬送する際には、それらの情報もあわせて下流側へ伝達する。これらは符号「Ｐ」の場合と同じである。
【００３３】
また、一連の処理を終えた基板がアンローダＵＬに達すると、アンローダＵＬのｃｐｕＣ５は順次搬送されてくる基板Ｗについて、当該基板と対応付けられている情報に基づき、その基板を収納すべき位置情報を算出し、かつ算出された位置情報に基づき、当該基板を収納すべき位置に収納するよう搬送ロボット６を動作させる。情報「Ｑ」「１」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの１の棚であり、情報「Ｑ」「２」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの２の棚である。このように基板Ｗのそれぞれは、ローダＬの収納容器２Ｌに入っていた時の棚と同じ高さの棚に収納される。なお、収納容器２Ｌに基板Ｗが収納されていない棚がある場合には、先の例と同様に、アンローダＵＬ側でも対応する棚には基板は収納されない。
【００３４】
ローダＬの収納容器２Ｌ内のすべての基板について、すべての処理を終了し、すべての基板をアンローダＵＬの収納容器２ＵＬに収納した状態は、先の情報「Ｐ」の場合で図３（ｄ）に示すものと同じである。このときのアンローダＵＬの収納容器２ＵＬにおける基板の収納状態は、処理開始前のローダＬの収納容器２Ｌの収納状態（図３（ａ））と同じであり、各基板の収納位置は不変である。
【００３５】
このように情報「Ｐ」「Ｑ」の方式で処理をおこなうと、処理開始前と処理終了後とで収納容器２内の各基板Ｗの収納位置は不変であり、各基板Ｗの位置を容易に認識できるので、個々の管理が容易である。一方、符号「Ｒ」「Ｓ」の方式で処理をおこなうと、処理開始前と処理終了後とで収納容器２内の各基板Ｗの収納位置が上下入れ替わり、処理前にローダＬの収納容器２Ｌ内で上にあったものがアンローダＵＬの収納容器２ＵＬでは下に、処理前に下にあったものが上になる。
【００３６】
すなわち、処理開始時に収納容器２Ｌの収納状態が図３（ａ）と同じ状態であったとして、例えば処理開始時に符号「Ｓ」が入力されて基板処理が開始された場合、ローダＬのｃｐｕＣ１は当該符号「Ｓ」をメモリＭ１に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｓ」が意味するところの払い出し順序に従い、収納容器２Ｌ内の基板のうち、その収納容器２内の基板のうち、最も下に位置している基板Ｗをまず取り出して保持し、情報「Ｓ」「１」を対応づけて搬出する。以後、各処理装置の処理の進行にあわせて収納容器２Ｌ内で下方に位置しているものから順に搬出してゆく。
【００３７】
そして、処理が終わった基板がアンローダＵＬに運ばれると、アンローダＵＬのｃｐｕＣ５は当該符号「Ｓ」をメモリＭ５に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｓ」が意味するところの収納順序に従い、基板収納容器２Ｌの上側の棚のほうから順に、運ばれた基板を収納してゆく。具体的には、情報「Ｓ」「１」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの１０の棚である。この棚番号Ｔ＝１０は次式により算出される。
【００３８】
Ｔ＝１１−（基板に対応づけられている棚番号）＝１１−１＝１０
【００３９】
同様に、情報「Ｓ」「２」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの９の棚である。収納容器２Ｌに基板Ｗが収納されていない棚がある場合には、アンローダＵＬ側の収納容器２ＵＬにおいて同じく次式で算出される棚番号Ｔの棚には基板は収納されない。
【００４０】
Ｔ＝１１−（収納容器２Ｌで基板が収納されていない棚番号）
【００４１】
ローダＬの収納容器２Ｌ内のすべての基板について、すべての処理を終了し、すべての基板をアンローダＵＬの収納容器２ＵＬに収納した状態を図３（ｅ）に示す。このときのアンローダＵＬの収納容器２ＵＬにおけるそれぞれの基板は、処理開始前のローダＬの収納容器２Ｌでの収納位置を上下逆にした位置に収納されており、処理開始前の収納位置が変化している。
【００４２】
また、同様の場合に符号「Ｒ」の方式で処理をおこなうと、同様に、ローダＬのｃｐｕＣ１は当該符号「Ｒ」をメモリＭ１に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｒ」が意味するところの払い出し順序に従い、収納容器２Ｌ内の基板のうち、その収納容器２内の基板のうち、最も上に位置している基板Ｗをまず取り出して保持し、情報「Ｒ」「１０」を対応づけて搬出する。以後、各処理装置の処理の進行にあわせて収納容器２Ｌ内で上方に位置しているものから順に搬出してゆく。
【００４３】
そして、処理が終わった基板がアンローダＵＬに運ばれると、アンローダＵＬのｃｐｕＣ５は当該符号「Ｒ」をメモリＭ５に保存記憶させるとともに、その搬送ロボット６を動作させて、当該符号「Ｒ」が意味するところの収納順序に従い、基板収納容器２Ｌの下側の棚のほうから順に、運ばれた基板を収納してゆく。具体的には、情報「Ｒ」「１０」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの１の棚である。この棚番号Ｔ＝１は次式により算出される。
【００４４】
Ｔ＝１１−（基板に対応づけられている棚番号）＝１１−１０＝１
【００４５】
同様に、情報「Ｒ」「９」が対応づけられている基板を収納すべき位置情報はアンローダＵＬの収納容器２ＵＬの２の棚である。収納容器２Ｌに基板Ｗが収納されていない棚がある場合には、アンローダＵＬ側の収納容器２ＵＬにおいて同じく次式で算出される棚番号Ｔの棚には基板は収納されない。
【００４６】
Ｔ＝１１−（収納容器２Ｌで基板が収納されていない棚番号）
【００４７】
ローダＬの収納容器２Ｌ内のすべての基板について、すべての処理を終了し、すべての基板をアンローダＵＬの収納容器２ＵＬに収納した状態は、先の情報「Ｓ」の例である図３（ｅ）と同じである。このときのアンローダＵＬの収納容器２ＵＬにおけるそれぞれの基板は、処理開始前のローダＬの収納容器２Ｌでの収納位置を上下逆にした位置に収納されており、処理開始前の収納位置が変化している。
【００４８】
このように、各基板Ｗが処理終了後にアンローダＬにおける収納容器２ＵＬ内に収納される位置は、キーボード８からローダＬのｃｐｕＣ１に入力されたその符号が意味する管理方式によって一義的に定まる。従って、収納容器２Ｌからの払い出しや収納の順序を「上→下」「下→上」と任意に切り替えるような場合でも、処理後での収納容器２ＵＬ内の個々の基板の位置を容易に認識できて、個々の基板を確実に管理することができる。特に、上記例において符号「Ｐ」「Ｑ」で定義される管理方式、すなわちローダＬにおける払い出しとアンローダＵＬにおける収納とを同じ側から同じ向きに行なうようにすれば、ローダＬ側とアンローダＵＬ側とで収納容器内の各基板の収納位置が変化せず、管理がより容易になる。
【００４９】
なお、上記実施形態は、各処理装置などが個別に制御装置としてＣＰＵとメモリを持つ場合であったが、例えばすべての処理装置やローダ、アンローダを一つの制御装置で制御する場合でも本発明は適用できる。その場合、例えばその制御装置内ＣＰＵが、各処理装置などに入っている基板それぞれに、基板Ｗの収納容器２Ｌ内での位置情報と、入力された管理方式情報とを、当該基板Ｗに対応づけて、その対応をメモリに保存記憶させればよい。
【００５０】
また、上記実施形態は、処理前の基板を保管して処理装置に供給するローダＬと、処理装置から処理済みの基板を受け取って収納保管するアンローダＵＬとを備えたものであったが、それらの２つの機能を兼ね備えたいわゆるインデクサータイプの基板供給収納装置を備えたものであっても、本発明は同様に実施できる。この場合、収納容器に対して基板を出し入れする搬送ロボットが１台であれば、その搬送ロボットが取出機構と収納機構とを兼用する。
【００５１】
また、上記実施形態は、ローダＬにおいて取り出し時における位置情報と管理方式情報とを基板Ｗに対応付けてその情報を基板と共に各処理装置間を移動伝播させ、アンローダＵＬにおいて収納位置を算出するものであったが、これに限らず、例えば、ローダＬにおいては取り出し時における位置情報のみを基板Ｗに対応付けて基板とともに各処理装置間を移動伝播させるとともに、ローダＬのｃｐｕＣ１からアンローダＵＬのｃｐｕＣ５へ直接的に管理方式情報を伝達し、アンローダＵＬにおいてその二つの情報から基板Ｗを収納すべき位置情報を算出するものでもよい（請求項２）。
【００５２】
具体的には、例えば符号を次のように定義する。
【００５３】
符号「Ｓ」：意味「収納状態を処理前と同じにする」
【００５４】
符号「Ｒ」：意味「収納状態を処理前と逆にする」
【００５５】
そして、処理開始時にキーボード８からローダＬのｃｐｕＣ１に、ローダＬの収納容器２Ｌからの払い出し順を、「上から」か「下から」かのいずれかを選択入力するとともに、処理後の収納状態を上記符号のいずれかで入力する。すると、ローダＬのｃｐｕＣ１は入力された符号をアンローダＵＬのｃｐｕＣ５に伝達し、他方、収納容器２Ｌ内の基板を「上から」か「下から」か先に指定された順番に払い出してゆく。そしてこの払い出し時に、各基板が取り出された棚の番号を取り出し時の位置情報として基板に対応させて、下流側の装置のｃｐｕに伝達してゆく。そしてアンローダＵＬに基板が到達した際に、アンローダＵＬのｃｐｕＣ５はさきにｃｐｕＣ１から伝達された収納方法を意味する符号と、到達した基板に対応付けられている取り出し時の位置情報とに基づいて、収納容器２ＵＬ内において当該基板を収納すべき位置を算出し、その位置に基板を収納する。
【００５６】
またローダＬのｃｐｕＣ１において、取り出し時における位置情報と管理方式情報の二つの情報から先に基板Ｗを収納すべき位置情報を算出しておき、その算出した収納すべき位置情報を基板Ｗに対応付けてその情報を基板と共に各処理装置間を移動伝播させてアンローダＵＬのｃｐｕＣ５に伝達するものでもよい（請求項３）。
【００５７】
またこれらの形態において、各基板に対応する情報をその基板が現在ある位置の情報とともに直接アンローダＵＬへ伝達し、アンローダＵＬ側のｃｐｕにおいて各基板と各情報とを対応させて、収納すべき位置情報を算出するものであってもよい。
【００５８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、収納容器からの払い出しや収納の順序を「上→下」「下→上」と任意に切り替えるような場合でも、処理後での収納容器内の個々の基板の位置を認識できて個々の基板を管理することができる基板処理装置を提供できる。
【００５９】
特に、基板取り出し時における当該基板の収納容器内での収納段と同一段を収納すべき位置情報とすることで、すべての基板の収納位置を不変とし、より容易に管理可能な基板処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理装置の実施形態の概略構成を示す模式的平面図である。
【図２】本発明に係る基板検出装置の実施形態の制御系統を示す模式図である。
【図３】本発明に係る基板検出装置の実施形態の動作に伴う基板の動きを示す模式的側面図である。
【符号の説明】
Ｗ・・・基板
１・・・基板処理装置
２（２Ｌ，２ＵＬ）・・・収納容器
８・・・キーボード
Ｌ・・・ローダ
ＵＬ・・・アンローダ
ＳＣ・・・塗布処理装置
ＨＰ・・・加熱処理装置
ＣＰ・・・冷却処理装置
Ｃ１〜Ｃ６・・・ｃｐｕ
Ｍ１〜Ｍ６・・・メモリ
Claims (6)
- 複数の基板を収納している収納容器から基板を順次取り出し、所定の処理を施した後に収納容器に収納する基板処理装置において、
収納容器に収納されている基板を取り出す取出機構と、
基板に処理を施す処理手段と、
収納容器に基板を収納する収納機構と、
基板の管理方式情報を入力する入力手段と、
収納容器からの基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報と前記入力手段により入力された管理方式情報とを当該基板に対応付ける対応付け手段と、
前記対応付け手段により当該基板と対応付けられている情報に基づき、当該基板を収納すべき位置情報を算出する算出手段と、
前記算出手段により算出された位置情報が示す位置に当該基板を収納するように前記収納手段を動作させる収納制御手段と、
前記処理手段の処理段階ごとに設けられた複数の情報保持手段と
を備え、
前記管理方式情報は、取出機構による基板取り出し時の取出しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号および収納機構による基板収納時の収納しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号であり、
前記対応付け手段により基板に対応づけられた前記位置情報および前記管理方式情報は、基板の処理段階に応じて下流側の前記情報保持手段に伝達されることを特徴とする基板処理装置。 - 複数の基板を収納している収納容器から基板を順次取り出し、所定の処理を施した後に収納容器に収納する基板処理装置において、
収納容器に収納されている基板を取り出す取出機構と、
基板に処理を施す処理手段と、
収納容器に基板を収納する収納機構と、
基板の管理方式情報を入力する入力手段と、
収納容器からの基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報を当該基板に対応付ける対応付け手段と、
前記対応付け手段により当該基板と対応付けられている情報と前記入力手段により入力された管理方式情報に基づき当該基板を収納すべき位置情報を算出する算出手段と、
前記算出手段により算出された位置情報が示す位置に当該基板を収納するように前記収納手段を動作させる収納制御手段と、
前記処理手段の処理段階ごとに設けられた複数の情報保持手段と
を備え、
前記管理方式情報は、取出機構による基板取り出し時の取出しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号および収納機構による基板収納時の収納しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号であり、
前記対応付け手段により基板に対応づけられた前記位置情報は、基板の処理段階に応じて下流側の前記情報保持手段に伝達されることを特徴とする基板処理装置。 - 複数の基板を収納している収納容器から基板を順次取り出し、所定の処理を施した後に収納容器に収納する基板処理装置において、
収納容器に収納されている基板を取り出す取出機構と、
基板に処理を施す処理手段と、
収納容器に基板を収納する収納機構と、
基板の管理方式情報を入力する入力手段と、
収納容器からの基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報と前記入力手段により入力された管理方式情報に基づき当該基板を収納すべき位置情報を算出して当該基板に対応付ける算出対応付け手段と、
前記算出対応付け手段により対応付けられている位置情報が示す位置に当該基板を収納するように前記収納手段を動作させる収納制御手段と、
前記処理手段の処理段階ごとに設けられた複数の情報保持手段と
を備え、
前記管理方式情報は、取出機構による基板取り出し時の取出しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号および収納機構による基板収納時の収納しはじめが収納容器のどちら側であるかを示す符号であり、
前記算出対応付け手段により基板に対応づけられた前記位置情報は、基板の処理段階に応じて下流側の前記情報保持手段に伝達されることを特徴とする基板処理装置。 - 前記基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での位置情報は、前記収納容器の何段目に収納されていたかを示す符号であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記算出手段は、基板取り出し時における当該基板の前記収納容器内での収納段と同一段を収納すべき位置情報とすることを特徴とする請求項４に記載の基板処理装置。
- 前記算出手段は、基板取り出し時と基板収納時とで基板の並び順が逆となるような収納段を収納すべき位置情報とすることを特徴とする請求項４に記載の基板処理装置。
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