JP4001559B2 - インライン接続設定方法および装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定方法および装置に関し、例えば、稼動開始時（電源ＯＮ時）あるいは稼動中に定期的に接続装置を確認し、その度にインライン接続された装置の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体や液晶ディスプレイ等の電子デバイス製造工程におけるフォトリソグラフィ工程では、ウエハあるいはガラス基板へのレジスト液の塗布や現像処理を行なう塗布現像装置と、レジスト液が塗布されたウエハあるいはガラス基板に露光処理を行なう露光装置とが組み合わせられ、インライン処理が行われている。
【０００３】
この塗布現像装置と露光装置とのインライン処理について、特開２０００−１８８２５３号公報（特許文献１）に記載がある。この公報に記載されたインライン処理について、図８に基づいて具体的に説明する。
図８に符号２００で示すパターン形成装置は、塗布現像装置５０と、前記塗布現像装置５０とインライン接続され、ウエハＷに塗布されたレジストを露光する露光装置９０により構成される。
この塗布現像装置５０は、複数枚のウエハＷを収納したカセットＣＳが搬入出される搬入出部６０と、露光前にウエハＷにレジストを塗布し、かつ露光後に現像を行なう塗布現像部７０と、塗布現像部７０と露光装置９０との間でウエハＷの受け渡しを行なうインタフェイス部８０とから構成されている。
また、この塗布現像装置５０における搬入出部６０は、カセットＣＳと塗布現像部７０とにウエハＷを搬送する搬送手段６１を備えている。
【０００４】
前記塗布現像部７０は、ウエハＷにレジストを塗布する塗布部７６と、露光したウエハを現像する現像部７７と、疎水化処理、加熱処理、冷却処理等をなすための２つまたは３つの処理ユニット７１、７３、７５とを備えている。なお、破線で示した処理ユニット７３は着脱自在に構成されると共に、案内レール７４に沿って移動自在に構成されている。
【０００５】
また、塗布現像部７０はウエハＷを搬送する搬送手段７２を備え、この搬送手段７２によって、前記した搬入出部６０、塗布部７６、現像部７７、処理ユニット７１，７３，７５及びインタフェイス部８０との間でウエハＷを搬送可能に構成されている。
この搬送手段７２は図示しない駆動機構により例えば昇降自在、左右、前後に移動自在かつ鉛直軸まわりに回転自在に構成されている。
【０００６】
また、前記インタフェイス部８０には、露光装置９０から戻ってきたウエハＷの周縁部のみを露光する周縁露光装置８１と、ウエハＷを一時的に載置する載置部８３と、前記載置部８３、周縁露光装置８１、露光装置９０との間でウエハＷを搬送する搬送手段８２とを備えている。
なお、インタフェイス部８０の載置部８３は、例えばバッファ用の保持棚を２段に積み重ねることにより構成されている。
【０００７】
また、露光装置９０は、露光前のウエハＷを載置する処理前ステージ９１と、露光を行なう真空室９５と、露光用の電子銃９４と、露光後のウエハＷを載置する処理後ステージ９２と、各ステージ９１，９２と真空室９５との間でウエハＷを搬送する搬送アーム９３を備えている。
【０００８】
以上のように構成されたパターン形成装置２００におけるウエハＷのインライン処理は次のように行なわれる。
先ず、外部からウエハＷが収納されたウエハカセットＣＳが搬入出部６０に配置され、そこで搬送手段６１によりカセットＣＳ内からウエハＷが取り出される。そのウエハＷは、搬送手段７２を介して、処理ユニット７１に渡されて、そこで疎水化処理される。次いで、ウエハＷは塗布部７６に送られ、そこでレジスト液を塗布されてレジスト膜が形成される。その後、ウエハＷは処理ユニット７１内の加熱部においてプリベーク処理された後、搬送手段７２、８２を介してインタフェイス部８０に送られる。
【０００９】
インタフェイス部８０に送られたウエハＷは、インタフェイス部８０内の保持棚に一旦収納され、そこで露光装置９０内の雰囲気温度と同じ温度に設定された後、露光装置９０に送られる。
前記露光装置９０による露光後、ウエハＷは再びインタフェイス部８０に戻され、周縁露光装置８１にてその周縁部のみを露光された後、現像部７７に空きがない場合には一旦インタフェイス部８０内の載置部８３に収納される。
その後、ウエハＷは、搬送手段８２、搬送手段７２を介して処理ユニット７１あるいは７５内の加熱部に送られ、そこでポストベーク処理され、さらに処理ユニット７１あるいは７５内の冷却部で冷却される。冷却後、ウエハＷは現像部７７にて現像処理される。かかる後ウエハＷは、図示しない受け渡し部を経由して搬入出部６０上のカセットＣＳ内に戻される。
【００１０】
この従来のパターン形成装置２００にあっては、塗布現像装置５０と露光装置９０の雰囲気温度が自動的に調整され、被処理体であるウエハＷの塗布現像装置５０と露光装置９０間における受け渡しタイミングも調整されて円滑に行なわれるようになされている。
即ち、塗布現像装置と露光装置とは相互の動作整合が必要であるため、例えば塗布現像装置側において露光装置のソフトウエア体系に合わせて、内部ソフトウエアに関する各種設定がなされている。
【００１１】
ところで、デバイス製造現場でのインライン処理においては、異なるメーカの装置同士がインライン接続されるマルチベンダ環境が多い。
このとき、例えばメーカＡの装置の場合、塗布現像装置とメーカＡの装置間の通信において、塗布現像装置がウエハ搬送を行なう前にＳｅｎｄ信号をＯＮ状態にする（Ｓｅｎｄ信号がＯＮ状態となり、ウエハが搬送される）。一方、メーカＢの装置では、ウエハ搬送後にＳｅｎｄ信号をＯＮ状態にする（ウエハの搬送終了時にＳｅｎｄ信号がＯＮ状態なる。このように、塗布現像装置に異なるメーカの装置が接続されると、両者間の通信において、タイミングがずれ、円滑な動作を行うことができない。
また、図９の表のように、メーカによって通信ケーブルにおけるコネクタピン割り当てが異なる。例えば、メーカＡの装置のコネクタピン３番がエラー信号であるのに対し、メーカＢの装置のコネクタピン３番がロットエンドである等、信号名称等、仕様が異なる場合が多い。
そのため、塗布現像装置のメーカでは、塗布現像装置の納入前に予め、納入先で接続される装置に合わせたデータ設定を、塗布現像装置に対して行っている。
【００１２】
【特許文献１】
特開２０００−１８８２５３号公報（第３頁右欄第１行乃至第４頁右欄第２２行、第１図乃至第３図）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところがデバイス製造現場において、接続されていた相手側装置、例えば露光装置が他メーカのものに交換される、あるいは露光装置の内部ソフトウエアが異なる仕様体系に変更されることがある。この場合、塗布現像装置側は新たな露光装置に合わせた内部ソフトウエア設定を、再設定する必要がある。この再設定は、従来オペレータにより手作業（マニュアル操作）で端末から変更作業、あるいは入力設定を行っていた。
【００１４】
しかしながら、このようなオペレータによるマニュアル操作で対応する場合、どうしても人的ミスを拭い去ることはできず、例えば露光装置が変更されたにもかかわらず、必要なソフトウエア設定の変更を行なわない場合、あるいはソフトウエア設定変更における設定ミスが生じた場合等、塗布現像装置と露光装置とのインライン処理が円滑に行なわれない虞があった。
このようなインライン処理が円滑に行なわれない場合には、例えば、ウエハが破損し、不良品の発生率が高くなり、歩留まりの低下に繋がっていた。
【００１５】
また、インライン接続されている露光装置に故障等の不具合が発生した場合、オペレータのマニュアル操作により、塗布現像装置を待機状態あるいは電源オフさせる等の対処している。
しかしながら、露光装置の故障が回復してないまま、オペレータが前記塗布現像装置を待機状態から再稼動させる等の不適切な処理を行い、事故を誘発する危険性があった。
【００１６】
本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、インライン接続相手側装置本体や相手側装置の内部ソフトウエアに変更があった場合に、自動的に接続相手側装置に対応した内部ソフトウエアの設定作業を行い、また、接続相手側装置に不具合が発生した場合に、自動的に適切な対処を行なうことのできるインライン接続設定方法および装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明にかかるインライン接続設定方法は、被処理体に対してインライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定方法において、第１の処理装置が、該第１の処理装置にインライン接続された第２の処理装置に対し、該第２の処理装置に関する情報であるプロファイル情報の受け渡しを要求する工程と、前記第１の処理装置が、前記第２の処理装置から前記プロファイル情報を受け取る工程と、前記第１の処理装置が、前記プロファイル情報に対応して、該第１の処理装置において使用するソフトウエアファイルを選択する工程とを少なくとも含むことを特徴としている。
このような方法によれば、インライン接続された相手側装置から相手側装置のプロファイル情報を受け取ることにより、相手側装置に関する情報を得ることができるので、相手側装置との整合をとるための適切なソフトウエアファイルを選択することができる。
【００１８】
また、前記第１の処理装置は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）内に形成された通信経路を介して、前記第２の処理装置と直接通信することにより前記プロファイル情報を受け取ることが望ましい。
ＬＡＮは既に敷設されている場合が多く、このようなＬＡＮを利用して通信経路を確保することにより、装置コストを低減することができる。
【００１９】
なお、前記プロファイル情報には、前記第２の処理装置のメーカ情報と、型式情報と、該第２の処理装置において使用されるソフトウエアのバージョン情報とが少なくとも含まれることが望ましい。
このような情報により、接続相手側装置の動作条件を特定することができるため、それに対応したソフトウエアファイルの設定を行なうことができる。
【００２０】
また、前記プロファイル情報には、前記第２の処理装置が正常状態であるか否かの情報が含まれることが望ましい。
このように、接続された相手側装置が正常な状態か異常な状態かの情報を受け取ることにより、適切な対処を行なうことができる。
更に、前記第１の処理装置は、前記第２の処理装置と通信ケーブルにより１対１接続されると共に、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを備え、前記プロファイル情報に対応して、前記複数種のハード定義ファイルの中から、前記第１の処理装置で使用するソフトウエアファイルであるハード定義ファイルを選択することが望ましい。
このように、予め複数種のハード定義ファイルを備えておくことにより、プロファイル情報に対応したハード定義ファイルを選択して使用することができる。
【００２１】
また、前記第１の処理装置は、被処理体を処理するためのソフトウエアと、前記ハード定義ファイルと、複数種のインタフェイスファイルを備え、使用する前記ハード定義ファイルに対応して、前記複数種のインタフェイスファイルの中から、前記第１の処理装置で使用するインタフェイスファイルを選択することが望ましい。
このように、予め複数種のインタフェイスファイルを備えておくことにより、前記ハード定義ファイルに対応したインタフェイスファイルを選択して使用することができる。
【００２２】
また、前記第１の処理装置は前記第２の処理装置に対し、所定時間毎に、前記プロファイル情報の受け渡しを要求することが望ましい。
このようにすれば、被処理体の処理中に相手側装置に異常があっても、その情報を得ることができ、適切な対処を行なうことができる。
【００２３】
また、本発明にかかるインライン接続設定装置は、被処理体に対してインライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定装置において、インライン接続された相手側装置との情報通信の接続確認を行なう接続状態確認と、前記相手側装置に対し、プロファイル情報の受け渡しを要求して該プロファイル情報を受け取る情報取得と、前記プロファイル情報に対応して使用するソフトウエアファイルを選択するファイル選択とを順次実行するためのプログラムを記憶する第１の記憶手段を少なくとも備えることを特徴としている。
このように構成することにより、本発明にかかるインライン接続設定方法と同様に、インライン接続された相手側装置から相手側装置のプロファイル情報を受け取ることにより、相手側装置に関する情報を得ることができるので、相手側装置との整合をとるための適切なソフトウエアファイルを選択することができる。
【００２４】
ここで、前記インライン接続設定装置において、インライン接続された相手側装置とは通信ケーブルにより１対１接続され、前記第１の記憶手段は、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを記憶していることが望ましい。
このように、予め複数種のハード定義ファイルを備えておくことにより、プロファイル情報に対応したハード定義ファイルを選択して使用することができる。
【００２５】
また、前記第１の記憶手段は、被処理体を処理するためのソフトウエアと前記複数種のハード定義ファイルと複数種のインタフェイスファイルとを記憶していることが望ましい。
このように、予め複数種のインタフェイスファイルを備えておくことにより、前記ハード定義ファイルに対応したインタフェイスファイルを選択して使用することができる。
【００２６】
また、前記プロファイル情報に対応して使用するソフトウエアファイルを選択するファイル選択を実行するファイル選択部は、ハード定義ファイル選択部とインタフェイスファイル選択部とにより構成され、前記ハード定義ファイル選択部は、前記第１の記憶手段に記憶されている複数種のハード定義ファイルの中から使用するソフトウエアファイルであるハード定義ファイルを選択し、前記インタフェイスファイル選択部は、前記第１の記憶手段に記憶されている複数種のインタフェイスファイルの中から使用するソフトウエアファイルであるインタフェイスファイルを選択することが望ましい。
このように構成することにより、前記第１の記憶手段に記憶されたハード定義ファイルやインタフェイスファイルを選択することができる。
【００２７】
また、相手側装置に対し、プロファイル情報の受け渡しを要求して該プロファイル情報を受け取る情報取得を実行する情報取得部は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）内に形成された通信経路を介して、前記インライン接続された相手側装置と直接通信することにより前記プロファイル情報を受け取ることが望ましい。
ＬＡＮは既に敷設されている場合が多く、このようなＬＡＮを利用して通信経路を確保することにより、装置コストを低減することができる。
【００２８】
また、前記プロファイル情報は、少なくとも、前記相手側装置のメーカ情報と、型式情報と、該相手側装置において使用されるソフトウエアのバージョン情報とを含むと共に、受け取った前記プロファイル情報を記憶するための第２の記憶手段を備えることが望ましい。
このようにプロファイル情報を受け取る場所を用意することにより、これを参照して接続相手側装置の動作条件を特定することができるため、それに対応したソフトウエアファイルの設定を行なうことができる。
【００２９】
更にまた、前記プロファイル情報は、前記相手側装置が正常状態にあるか否かの情報を含むことが望ましい。
このように、接続された相手側装置が正常な状態か異常な状態かの情報を受け取ることにより、適切な対処を行なうことができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかるインライン接続設定方法及び装置につき、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
図１は、例えば半導体や液晶ディスプレイ等の電子デバイス製造工程のフォトリソグラフィ工程において使用される複数のパターン形成装置とホストコンピュータとの関係を示すブロック図である。
図１において、パターン形成装置１００を構成する塗布現像装置１と露光装置２０とが搬送ライン３３（図１に示すインタフェイス部８０に相当）によって被処理体であるウエハの搬送が確保されるよう配置されるとともに相互に通信経路３５によって接続されている。
【００３１】
図１に示すように複数のパターン形成装置１００（図１では４つのパターン形成装置を図示）は、例えばイーサネット（登録商標）等によるＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）を形成するＬＡＮケーブル３４に夫々接続されている。このとき、塗布現像装置１と露光装置２０の夫々がＬＡＮケーブル３４に接続され、さらにＬＡＮケーブル３４にはホストコンピュータ４５が接続されている。
【００３２】
このホストコンピュータ４５は、このＬＡＮを介して複数のパターン形成装置１００に対し動作制御をするよう構成されている。例えば、夫々のパターン形成装置１００に対して、被処理体であるウエハへの処理レシピを指定し、処理開始命令等を行なうようにされている。
なお、夫々のパターン形成装置１００においては、図８に示したパターン形成装置と同様な構成を備え、被処理体であるウエハへのレジスト塗布から露光、現像処理までの一連のフォトリソグラフィ工程が行なわれ、パターン形成されたウエハが得られるように構成されている。
【００３３】
図２は、図１に示したパターン形成装置１００を構成する塗布現像装置１と露光装置２０の一部内部構成を示すブロック図である。
図２に示すように、第１の処理装置であり、インライン接続設定装置である塗布現像装置１にはハードウエアとして以下のものを備えている。
先ず、塗布現像装置１には、内部の全体制御を行なう、動作制御の要となる中央処理ユニット２を備える。
そして、この中央処理ユニット２に、操作部１０と、第１記憶手段である不揮発性の補助記憶部１１と、第２記憶手段であり一時的に情報の読み出し及び書き込みを行なう主記憶部１２と、機械的動作の制御を行なう機械制御部１３と、そして情報通信を行なうための通信インタフェイス１５、１６とが接続されている。また、前記機械制御部１３には、ウエハ搬入出を行なうための入出力ポート１４が接続されている。
【００３４】
更に、前記中央処理ユニット２は、ＣＰＵ３と特定用途向けＩＣ４を備え、前記ＩＣ４には、接続検出部５と、処理指令部６と、レシピ選択部７と、近況報告部８と、通信制御部９とが構成されている。
この接続検出部５は、露光装置２０との通信ケーブルでの接続を検出する機能を備えている。また、処理指令部６はホストコンピュータ４５からの処理指示、例えば処理開始指示やウエハのロット切り替わり指示などに基づいて塗布現像装置１に対して指令を出力する等の機能を備えている。
【００３５】
また、前記レシピ選択部７は、ホストコンピュータ４５から送られる識別コードに基づいて補助記憶部１１に記憶されているレシピ群の中から対応する処理レシピを選択する機能を備えている。この処理レシピとは、被処理基板であるウエハを処理するプログラムソフトウエアであり、例えば塗布現像装置１において使用するレジスト液や現像液の種類、処理時間等の様々な条件が取り決めされたものであり、それら種々の組み合わせにより複数種が用意されレシピ群を成している。
また、前記近況報告部８は、主記憶部１２に一時記憶された処理状況報告や処理結果報告、または故障情報等の塗布現像装置１の情報をホストコンピュータ４５並びに露光装置２０に報告する機能を有している。
更に、前記通信制御部９は、通信インタフェイス１５、１６を介して露光装置２０並びにホストコンピュータ４５との通信制御を行なう機能を備えている。
【００３６】
一方、第２の処理装置であり、塗布現像装置１の相手側装置である露光装置２０は、ハードウエアとして以下のものを備える。
先ず、露光装置２０の動作制御の要となる中央処理ユニット２１を備える。
そして、この中央処理ユニット２１に不揮発性である補助記憶部２８と、一時的に情報の読み出し及び書き込みを行なうための主記憶部２９と、露光装置２０内部の機械的動作の制御を行なうための機械制御部３０と、そして情報通信を行なうための通信インタフェイス３２、３３とが接続されている。また、前記機械制御部３０にウエハ搬入出を行なうための入出力ポート３１が接続されている。
【００３７】
更に、中央処理ユニット２１はＣＰＵ２２と特定用途向けＩＣ２３とを備え、このＩＣ２３には処理指令部２４と、レシピ選択部２５と、近況報告部２６と、通信制御部２７とが構成されている。
前記処理指令部２４は、ホストコンピュータ４５からの処理指示に基づいて露光装置２０に対して指令を出力する等の機能を備えている。
また、前記レシピ選択部２５は、ホストコンピュータ４５から送られる識別コードに基づいて補助記憶部２８に記憶されているレシピ群の中から対応する処理レシピを選択する機能を備えている。なお、露光装置２０における処理レシピは、レクチルの種別や露光時間、露光量等が取り決めされている。
【００３８】
また、前記近況報告部２６は、主記憶部２９に記憶された処理状況報告や故障情報等の露光装置２０の情報をホストコンピュータ４５並びに塗布現像装置１に報告する機能を有している。
更に、前記通信制御部２７は、通信インタフェイス３２、３３を介して塗布現像装置１並びにホストコンピュータ４５との通信制御を行なう機能を備えている。
【００３９】
また、塗布現像装置１と露光装置２０とは、塗布現像装置１の通信インタフェイス１５と露光装置２０の通信インタフェイス３２とが８ピンのパラレルケーブルＰによって接続され、通信経路３５を形成している。更に、前記したように塗布現像装置１と露光装置２０は、夫々ＬＡＮケーブル３４に接続されるが、夫々、通信インタフェイス１６、３３を介して接続され、ＬＡＮ上に通信経路３６を形成している。
【００４０】
このように構成されたパターン形成装置１００においては、稼動開始時（電源ＯＮ時）において次のように動作する。
先ず、塗布現像装置１及び露光装置２０が共に電源投入された状態となると、塗布現像装置１の中央処理ユニット２において、接続検出部５が露光装置２０とのハードウエア上の接続を検出する。即ち、塗布現像装置１の通信インタフェイス１５と露光装置２０の通信インタフェイス３２とが通信ケーブルであるパラレルケーブルＰによって１対１接続されていることを検出する。
次いで、塗布現像装置１において、露光装置２０とのソフトウエア上のインライン接続設定がＬＡＮ上の通信経路３６を介した情報交換に従って自動的に行なわれる。なお、このソフトウエア上の接続設定は、本発明の特徴にかかるところであり、詳細に後述する。
【００４１】
塗布現像装置１と露光装置２０との接続設定が行なわれた後、塗布現像装置１のレシピ選択部７は、ホストコンピュータ４５（図１参照）の指令に従い、補助記憶部１１に記憶された処理レシピ群の中から対応する処理レシピを選択する。選択された処理レシピは、高速で情報の書き込み及び読み出しが可能である主記憶部１２に一旦読み込まれる。処理指令部６は露光装置２０と連携しながら主記憶部１２上の処理レシピに従って機械制御部１３等に指令し、被処理体であるウエハに対する処理が実行される。
【００４２】
一方、露光装置２０においてもホストコンピュータ４５の指令に従い、レシピ選択部２４が補助記憶部２８に記憶された処理レシピ群の中から対応する処理レシピを選択する。選択された処理レシピは高速で情報の書き込み及び読み出しが可能である主記憶部２９に一旦読み込まれる。処理指令部２４は塗布現像装置１と連携しながら主記憶部２９上の処理レシピに従って機械制御部２０等に指令し、被処理体であるウエハに対する露光処理が実行される。
【００４３】
続いて、塗布現像装置１における露光装置２０とのソフトウエア上のインライン接続設定について図３乃至図７に基づき説明する。
図３は塗布現像装置１の補助記憶部１１の一部記憶要素を示したものである。図４は、塗布現像装置１におけるソフトウエアプログラムの実行フローであり、図５は接続設定プログラムの構成モジュールを示している。
また、図６は補助記憶部１１にデータとして記憶されているコードテーブル例であり、図７は接続設定プログラムの処理フローを示している。
【００４４】
前記塗布現像装置１の補助記憶部１１には、図３に示すように接続設定プログラム４０と、コードテーブル４１と、処理レシピ群４２と、ハード定義ファイル群４３と、インタフェイスファイル群４４とが少なくとも記憶されている。
この接続設定プログラム４０は、塗布現像装置１における露光装置２０とのソフトウエア上の接続設定を自動的に行なうためのプログラムである。また、処理レシピ群４２は複数の処理レシピにより構成されている。
【００４５】
前記コードテーブル４１は、図６に示すように、メーカ名、型式、ソフトウエアバージョンの組み合わせを種別コードに対応して表したものである。
また、前記ハード定義ファイル群４３は、前記種別コードに対応して通信ケーブルＰ（図２参照）におけるコネクタピン割り当て情報が記載され、選択された処理レシピ中で使用される、複数種のファイルで構成されている。
そしてまた、前記インタフェイスファイル群４４は、前記種別コードに対応し、選択された処理レシピのプログラム中において使用される、複数種のインタフェイスファイルで構成されている。なお、このインタフェイスファイルは選択された処理レシピのプログラムにおいて使用されるハード定義ファイルと処理レシピとのインタフェイス部となるソフトウエアファイルである。
【００４６】
このインライン接続設定は図４に示すように、塗布現像装置１において、先ず、接続されている露光装置２０とのインライン処理を円滑に行なうために接続設定プログラム４０が実行される（ステップＳ１）。これは、補助記憶部１１に記憶されている接続設定プログラム４０が塗布現像装置１と露光装置２０の電源投入後に起動されることにより実現される。
接続設定プログラム４０の実行により、塗布現像装置１と露光装置２０との整合がとられ、その後ホストコンピュータ４５により指定され選択された処理レシピがレシピ選択部７により選択されて実行され、被処理体であるウエハに対して、所定の処理が実行される（ステップＳ２）。
【００４７】
前記した接続設定プログラム４０について、さらに詳細に説明する。接続設定プログラム４０には、図５に示すように接続状態確認部４０ａと、情報取得部４０ｂと、ファイル選択部４０ｃとのサブプログラムが少なくとも含まれる。また、前記ファイル選択部４０ｃは、ハード定義ファイル選択部４０ｄとインタフェイスファイル選択部４０ｅとで構成される。
【００４８】
前記接続状態確認部４０ａは、ＬＡＮ上に形成された通信経路３６を介して露光装置２０との通信が可能な状態であるかどうかを確認し、通信可能であれば通信可能状態を確立する機能（プログラム）を備えている。
また、前記情報取得部４０ｂは、前記通信経路３６を介して露光装置２０の近況報告部２６等から、露光装置２０側のプロファイル情報を取得する機能（プログラム）を備えている。このプロファイル情報には、露光装置２０のメーカ、型式、ソフトウエアバージョン等の情報や、露光装置２０に異常がないかどうかの情報等が含まれている。
更に、前記ハード定義ファイル選択部４０ｃは、情報取得部４０ｂが取得したプロファイル情報から対応する種別コードを割り出し、その種別コードに対応するハード定義ファイルを補助記憶部１１に記憶されているハード定義ファイル群４３の中から選択する機能（プログラム）を備えている。
そしてまた、前記インタフェイスファイル選択部４０ｄは、前記種別コードに対応するインタフェイスファイルを補助記憶部１１に記憶されたインタフェイスファイル群４４の中から選択する機能（プログラム）を備えている。
【００４９】
次に、図７を用いて、接続設定プログラム４０の実行時動作について説明する。なお、塗布現像装置１と露光装置２０とがＬＡＮ上に形成された通信経路３６を用いて行なう情報通信は、共通に規定されたプロトコルに則って行なわれるものとする。
先ず、塗布現像装置１と露光装置２０の電源が投入され、中央処理ユニット２の接続検出部５が露光装置２０との接続を検出すると、接続設定プログラム４０は、高速でデータの書き込み及び読み出しが可能な主記憶部１２に読み込まれて起動される。
【００５０】
プログラム起動後、接続状態確認部４０ａは露光装置２０に対し、ＬＡＮ上に形成された通信経路３６を介して問い合わせ信号を発行する（ステップＳ１１）。これに対して、露光装置２０側から正常な応答信号が返ってきたならば、正常に接続されていると判断し（ステップＳ１２）、次のステップに進む。もし、ここで露光装置２０側から正常な応答信号がない場合には（ステップＳ１２）、再び露光装置２０に対して問い合わせを繰り返し、正常な応答がない間、塗布現像装置１は待機状態となっている。
【００５１】
露光装置２０との接続が確認されると、露光装置２０に対し、情報取得部４０ｂはプロファイル情報要求コマンドを発行する（ステップＳ１３）。ここで、露光装置２０からは、ＬＡＮ上の通信経路３６を介して露光装置２０のメーカ名、型式、ソフトウエアバージョン等の情報や、露光装置２０に異常がないかどうかの情報等がプロファイル情報として情報取得部４０ｂに返される。
【００５２】
これらプロファイル情報から、露光装置２０に異常がないと判断すると（ステップＳ１４）、ハード定義ファイル選択設定を行なう（ステップＳ１８）。
このハード定義ファイル選択設定では、ハード定義ファイル選択部４０ｄが、ステップＳ１３において情報取得部４０ｂが取得したプロファイル情報から、コードテーブル４１を用いて対応する種別コードを割り出し、その種別コードに対応するハード定義ファイルを補助記憶部１１に記憶されているハード定義ファイル群４３の中から選択する。実際には、処理レシピの実行中に使用されるハード定義ファイルの読み出しアドレスが決定される。
【００５３】
次いで、このハード定義ファイル選択設定に続き、インタフェイスファイルの選択設定が行われる（ステップＳ１９）。インタフェイスファイルの選択設定においては、インタフェイスファイル選択部４０ｅが、前記種別コード及び前記選択されたハード定義ファイルに対応するインタフェイスファイルを補助記憶部１１に記憶されたインタフェイスファイル群４４の中から選択する。実際には、処理レシピの実行中に使用されるインタフェイスファイルの読み出しアドレスが決定される。
【００５４】
一方、前記ステップＳ１４において、露光装置２０が異常状態であると判断されると、このレポートからさらに修復可能かどうかが判断される（ステップＳ１５）。ここで修復可能でないと判断されると、稼動停止命令を処理指令部６に発行し（ステップＳ１７）、塗布現像装置１の稼動を停止し（電源をＯＦＦし）終了する。
また、ステップＳ１５において修復可能と判断された場合には、所定時間待機後（ステップＳ１６）、再びステップＳ１３に戻って露光装置２０の情報取得を要求する。
【００５５】
なお、前記したように、この接続設定プログラム終了後、選択された処理レシピが実行されるが、処理レシピプログラム、選択されたハード定義ファイル、選択されたインタフェイスファイルが主記憶部１２に読み込まれて実行される。このとき、処理レシピプログラムは選択されたハード定義ファイル及びインタフェイスファイルを用いながら実行される。
また、処理レシピプログラム実行中においても、定期的に露光装置２０からプロファイル情報の受け渡しを要求することにより（図７のステップＳ１３）、露光装置の近況を把握し、変更や異常がある場合には、稼動停止（電源ＯＦＦ）等の適切な対処を行なうようにしてもよい。
【００５６】
以上のように、本発明にかかる一実施形態においては、インライン接続された相手側装置からプロファイル情報を取得し、そのプロファイル情報に対応してインライン接続における設定を自動的に行なうため、相手側装置に変更があった場合にも自動的に対処することがでる。すなわち、人為的ミスを低減し、歩留まりの低下を防ぐことができる。
また、インライン接続された相手側装置に異常が発生した場合には、相手側装置から異常情報を受け取り適切な対処をすることができ、事故等を未然に防ぐことができる。
【００５７】
さらに、稼動中に塗布現像装置１あるいは相手側装置に異常が発生した場合の対策として、前記補助記憶部１１にトラブルリカバリ（復帰処理）のプログラム、及び異常の種類、相手側装置の種類に応じたシナリオ（手順）ファイルを準備してもよい。
これによって、異常発生時に前記トラブルリカバリのプログラムが自動的に動作し、前記シナリオファイルを参照し、適切な回復処理を行なうことができる。この場合、シナリオファイルは、塗布現像装置１と相手側装置の動作を同期させるために、同じファイルをお互いの装置に予め準備することが望ましい。
【００５８】
なお、前記した一実施形態においては、塗布現像装置１内の補助記憶部１１を１つの不揮発性の記憶部としたが、これを複数に分けてもよい。また、補助記憶部１１に記憶されている接続設定プログラム４０による工程を含む方法をハードウエア化により実現してもよい。更に、前記一実施の形態においては、塗布現像装置１を第１の処理装置並びにインライン接続設定装置としたが、露光装置２０を第１の処理装置並びにインライン接続設定装置としてもよい。更にまた、インライン接続装置を塗布現像装置と露光装置に限定することはなく、インライン接続装置であれば他の装置にも本発明のインライン接続設定方法および装置を適用することができる。
【００５９】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなとおり、本発明によれば、インライン接続相手側装置本体や相手側装置の内部ソフトウエアに変更があった場合に、自動的に接続相手側装置に対応した内部ソフトウエアの設定作業を行うことができる。また、接続相手側装置に不具合が発生した場合に、自動的に適切な対処を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、複数のパターン形成装置とホストコンピュータとの関係を示すブロック図である。
【図２】図２は、パターン形成装置を構成する塗布現像装置と露光装置の一部内部構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、塗布現像装置の補助記憶部の一部記憶要素を示す図である。
【図４】図４は、塗布現像装置におけるソフトウエアプログラムの実行フローを示す図である。
【図５】図５は、接続設定プログラムの構成モジュールを示す図である。
【図６】図６は、補助記憶部にデータとして記憶されているコードテーブル例を示す図である。
【図７】図７は、接続設定プログラムの処理フローを示す図である。
【図８】図８は、従来のパターン形成装置の構成を示す平面図である。
【図９】図９は、接続相手側装置のコネクタピン割り当て例を示す図である。
【符号の説明】
１ 塗布現像装置
２ 中央処理ユニット
３ ＣＰＵ
４ ＩＣ
５ 接続検出部
６ 処理指令部
７ レシピ選択部
８ 近況報告部
９ 通信制御部
１０ 操作部
１１ 補助記憶部
１２ 主記憶部
１３ 機械制御部
１４ 入出力ポート
１５ 通信インタフェイス
１６ 通信インタフェイス
２０ 露光装置
２１ 中央処理ユニット
３４ ＬＡＮケーブル
３５ 通信経路
３６ 通信経路
４０ 接続設定プログラム
４０ａ 接続状態確認部
４０ｂ 情報取得部
４０ｃ ファイル選択部
４０ｄ ハード定義ファイル選択部
４０ｅ インタフェイスファイル選択部
４１ コードテーブル
１００ パターン形成装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、インライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定方法および装置に関し、例えば、稼動開始時（電源ＯＮ時）あるいは稼動中に定期的に接続装置を確認し、その度にインライン接続された装置の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体や液晶ディスプレイ等の電子デバイス製造工程におけるフォトリソグラフィ工程では、ウエハあるいはガラス基板へのレジスト液の塗布や現像処理を行なう塗布現像装置と、レジスト液が塗布されたウエハあるいはガラス基板に露光処理を行なう露光装置とが組み合わせられ、インライン処理が行われている。
【０００３】
この塗布現像装置と露光装置とのインライン処理について、特開２０００−１８８２５３号公報（特許文献１）に記載がある。この公報に記載されたインライン処理について、図８に基づいて具体的に説明する。
図８に符号２００で示すパターン形成装置は、塗布現像装置５０と、前記塗布現像装置５０とインライン接続され、ウエハＷに塗布されたレジストを露光する露光装置９０により構成される。
この塗布現像装置５０は、複数枚のウエハＷを収納したカセットＣＳが搬入出される搬入出部６０と、露光前にウエハＷにレジストを塗布し、かつ露光後に現像を行なう塗布現像部７０と、塗布現像部７０と露光装置９０との間でウエハＷの受け渡しを行なうインタフェイス部８０とから構成されている。
また、この塗布現像装置５０における搬入出部６０は、カセットＣＳと塗布現像部７０とにウエハＷを搬送する搬送手段６１を備えている。
【０００４】
前記塗布現像部７０は、ウエハＷにレジストを塗布する塗布部７６と、露光したウエハを現像する現像部７７と、疎水化処理、加熱処理、冷却処理等をなすための２つまたは３つの処理ユニット７１、７３、７５とを備えている。なお、破線で示した処理ユニット７３は着脱自在に構成されると共に、案内レール７４に沿って移動自在に構成されている。
【０００５】
また、塗布現像部７０はウエハＷを搬送する搬送手段７２を備え、この搬送手段７２によって、前記した搬入出部６０、塗布部７６、現像部７７、処理ユニット７１，７３，７５及びインタフェイス部８０との間でウエハＷを搬送可能に構成されている。
この搬送手段７２は図示しない駆動機構により例えば昇降自在、左右、前後に移動自在かつ鉛直軸まわりに回転自在に構成されている。
【０００６】
また、前記インタフェイス部８０には、露光装置９０から戻ってきたウエハＷの周縁部のみを露光する周縁露光装置８１と、ウエハＷを一時的に載置する載置部８３と、前記載置部８３、周縁露光装置８１、露光装置９０との間でウエハＷを搬送する搬送手段８２とを備えている。
なお、インタフェイス部８０の載置部８３は、例えばバッファ用の保持棚を２段に積み重ねることにより構成されている。
【０００７】
また、露光装置９０は、露光前のウエハＷを載置する処理前ステージ９１と、露光を行なう真空室９５と、露光用の電子銃９４と、露光後のウエハＷを載置する処理後ステージ９２と、各ステージ９１，９２と真空室９５との間でウエハＷを搬送する搬送アーム９３を備えている。
【０００８】
以上のように構成されたパターン形成装置２００におけるウエハＷのインライン処理は次のように行なわれる。
先ず、外部からウエハＷが収納されたウエハカセットＣＳが搬入出部６０に配置され、そこで搬送手段６１によりカセットＣＳ内からウエハＷが取り出される。そのウエハＷは、搬送手段７２を介して、処理ユニット７１に渡されて、そこで疎水化処理される。次いで、ウエハＷは塗布部７６に送られ、そこでレジスト液を塗布されてレジスト膜が形成される。その後、ウエハＷは処理ユニット７１内の加熱部においてプリベーク処理された後、搬送手段７２、８２を介してインタフェイス部８０に送られる。
【０００９】
インタフェイス部８０に送られたウエハＷは、インタフェイス部８０内の保持棚に一旦収納され、そこで露光装置９０内の雰囲気温度と同じ温度に設定された後、露光装置９０に送られる。
前記露光装置９０による露光後、ウエハＷは再びインタフェイス部８０に戻され、周縁露光装置８１にてその周縁部のみを露光された後、現像部７７に空きがない場合には一旦インタフェイス部８０内の載置部８３に収納される。
その後、ウエハＷは、搬送手段８２、搬送手段７２を介して処理ユニット７１あるいは７５内の加熱部に送られ、そこでポストベーク処理され、さらに処理ユニット７１あるいは７５内の冷却部で冷却される。冷却後、ウエハＷは現像部７７にて現像処理される。かかる後ウエハＷは、図示しない受け渡し部を経由して搬入出部６０上のカセットＣＳ内に戻される。
【００１０】
この従来のパターン形成装置２００にあっては、塗布現像装置５０と露光装置９０の雰囲気温度が自動的に調整され、被処理体であるウエハＷの塗布現像装置５０と露光装置９０間における受け渡しタイミングも調整されて円滑に行なわれるようになされている。
即ち、塗布現像装置と露光装置とは相互の動作整合が必要であるため、例えば塗布現像装置側において露光装置のソフトウエア体系に合わせて、内部ソフトウエアに関する各種設定がなされている。
【００１１】
ところで、デバイス製造現場でのインライン処理においては、異なるメーカの装置同士がインライン接続されるマルチベンダ環境が多い。
このとき、例えばメーカＡの装置の場合、塗布現像装置とメーカＡの装置間の通信において、塗布現像装置がウエハ搬送を行なう前にＳｅｎｄ信号をＯＮ状態にする（Ｓｅｎｄ信号がＯＮ状態となり、ウエハが搬送される）。一方、メーカＢの装置では、ウエハ搬送後にＳｅｎｄ信号をＯＮ状態にする（ウエハの搬送終了時にＳｅｎｄ信号がＯＮ状態なる。このように、塗布現像装置に異なるメーカの装置が接続されると、両者間の通信において、タイミングがずれ、円滑な動作を行うことができない。
また、図９の表のように、メーカによって通信ケーブルにおけるコネクタピン割り当てが異なる。例えば、メーカＡの装置のコネクタピン３番がエラー信号であるのに対し、メーカＢの装置のコネクタピン３番がロットエンドである等、信号名称等、仕様が異なる場合が多い。
そのため、塗布現像装置のメーカでは、塗布現像装置の納入前に予め、納入先で接続される装置に合わせたデータ設定を、塗布現像装置に対して行っている。
【００１２】
【特許文献１】
特開２０００−１８８２５３号公報（第３頁右欄第１行乃至第４頁右欄第２２行、第１図乃至第３図）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところがデバイス製造現場において、接続されていた相手側装置、例えば露光装置が他メーカのものに交換される、あるいは露光装置の内部ソフトウエアが異なる仕様体系に変更されることがある。この場合、塗布現像装置側は新たな露光装置に合わせた内部ソフトウエア設定を、再設定する必要がある。この再設定は、従来オペレータにより手作業（マニュアル操作）で端末から変更作業、あるいは入力設定を行っていた。
【００１４】
しかしながら、このようなオペレータによるマニュアル操作で対応する場合、どうしても人的ミスを拭い去ることはできず、例えば露光装置が変更されたにもかかわらず、必要なソフトウエア設定の変更を行なわない場合、あるいはソフトウエア設定変更における設定ミスが生じた場合等、塗布現像装置と露光装置とのインライン処理が円滑に行なわれない虞があった。
このようなインライン処理が円滑に行なわれない場合には、例えば、ウエハが破損し、不良品の発生率が高くなり、歩留まりの低下に繋がっていた。
【００１５】
また、インライン接続されている露光装置に故障等の不具合が発生した場合、オペレータのマニュアル操作により、塗布現像装置を待機状態あるいは電源オフさせる等の対処している。
しかしながら、露光装置の故障が回復してないまま、オペレータが前記塗布現像装置を待機状態から再稼動させる等の不適切な処理を行い、事故を誘発する危険性があった。
【００１６】
本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、インライン接続相手側装置本体や相手側装置の内部ソフトウエアに変更があった場合に、自動的に接続相手側装置に対応した内部ソフトウエアの設定作業を行い、また、接続相手側装置に不具合が発生した場合に、自動的に適切な対処を行なうことのできるインライン接続設定方法および装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明にかかるインライン接続設定方法は、被処理体に対してインライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定方法において、第１の処理装置が、該第１の処理装置にインライン接続された第２の処理装置に対し、該第２の処理装置に関する情報であるプロファイル情報の受け渡しを要求する工程と、前記第１の処理装置が、前記第２の処理装置から前記プロファイル情報を受け取る工程と、前記第１の処理装置が、前記プロファイル情報に対応して、該第１の処理装置において使用するソフトウエアファイルを選択する工程とを少なくとも含むことを特徴としている。
このような方法によれば、インライン接続された相手側装置から相手側装置のプロファイル情報を受け取ることにより、相手側装置に関する情報を得ることができるので、相手側装置との整合をとるための適切なソフトウエアファイルを選択することができる。
【００１８】
また、前記第１の処理装置は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）内に形成された通信経路を介して、前記第２の処理装置と直接通信することにより前記プロファイル情報を受け取ることが望ましい。
ＬＡＮは既に敷設されている場合が多く、このようなＬＡＮを利用して通信経路を確保することにより、装置コストを低減することができる。
【００１９】
なお、前記プロファイル情報には、前記第２の処理装置のメーカ情報と、型式情報と、該第２の処理装置において使用されるソフトウエアのバージョン情報とが少なくとも含まれることが望ましい。
このような情報により、接続相手側装置の動作条件を特定することができるため、それに対応したソフトウエアファイルの設定を行なうことができる。
【００２０】
また、前記プロファイル情報には、前記第２の処理装置が正常状態であるか否かの情報が含まれることが望ましい。
このように、接続された相手側装置が正常な状態か異常な状態かの情報を受け取ることにより、適切な対処を行なうことができる。
更に、前記第１の処理装置は、前記第２の処理装置と通信ケーブルにより１対１接続されると共に、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを備え、前記プロファイル情報に対応して、前記複数種のハード定義ファイルの中から、前記第１の処理装置で使用するソフトウエアファイルであるハード定義ファイルを選択することが望ましい。
このように、予め複数種のハード定義ファイルを備えておくことにより、プロファイル情報に対応したハード定義ファイルを選択して使用することができる。
【００２１】
また、前記第１の処理装置は、被処理体を処理するためのソフトウエアと、前記ハード定義ファイルと、複数種のインタフェイスファイルを備え、使用する前記ハード定義ファイルに対応して、前記複数種のインタフェイスファイルの中から、前記第１の処理装置で使用するインタフェイスファイルを選択することが望ましい。
このように、予め複数種のインタフェイスファイルを備えておくことにより、前記ハード定義ファイルに対応したインタフェイスファイルを選択して使用することができる。
【００２２】
また、前記第１の処理装置は前記第２の処理装置に対し、所定時間毎に、前記プロファイル情報の受け渡しを要求することが望ましい。
このようにすれば、被処理体の処理中に相手側装置に異常があっても、その情報を得ることができ、適切な対処を行なうことができる。
【００２３】
また、本発明にかかるインライン接続設定装置は、被処理体に対してインライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定装置において、インライン接続された相手側装置との情報通信の接続確認を行なう接続状態確認と、前記相手側装置に対し、プロファイル情報の受け渡しを要求して該プロファイル情報を受け取る情報取得と、前記プロファイル情報に対応して使用するソフトウエアファイルを選択するファイル選択とを順次実行するためのプログラムを記憶する第１の記憶手段を少なくとも備えることを特徴としている。
このように構成することにより、本発明にかかるインライン接続設定方法と同様に、インライン接続された相手側装置から相手側装置のプロファイル情報を受け取ることにより、相手側装置に関する情報を得ることができるので、相手側装置との整合をとるための適切なソフトウエアファイルを選択することができる。
【００２４】
ここで、前記インライン接続設定装置において、インライン接続された相手側装置とは通信ケーブルにより１対１接続され、前記第１の記憶手段は、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを記憶していることが望ましい。
このように、予め複数種のハード定義ファイルを備えておくことにより、プロファイル情報に対応したハード定義ファイルを選択して使用することができる。
【００２５】
また、前記第１の記憶手段は、被処理体を処理するためのソフトウエアと前記複数種のハード定義ファイルと複数種のインタフェイスファイルとを記憶していることが望ましい。
このように、予め複数種のインタフェイスファイルを備えておくことにより、前記ハード定義ファイルに対応したインタフェイスファイルを選択して使用することができる。
【００２６】
また、前記プロファイル情報に対応して使用するソフトウエアファイルを選択するファイル選択を実行するファイル選択部は、ハード定義ファイル選択部とインタフェイスファイル選択部とにより構成され、前記ハード定義ファイル選択部は、前記第１の記憶手段に記憶されている複数種のハード定義ファイルの中から使用するソフトウエアファイルであるハード定義ファイルを選択し、前記インタフェイスファイル選択部は、前記第１の記憶手段に記憶されている複数種のインタフェイスファイルの中から使用するソフトウエアファイルであるインタフェイスファイルを選択することが望ましい。
このように構成することにより、前記第１の記憶手段に記憶されたハード定義ファイルやインタフェイスファイルを選択することができる。
【００２７】
また、相手側装置に対し、プロファイル情報の受け渡しを要求して該プロファイル情報を受け取る情報取得を実行する情報取得部は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）内に形成された通信経路を介して、前記インライン接続された相手側装置と直接通信することにより前記プロファイル情報を受け取ることが望ましい。
ＬＡＮは既に敷設されている場合が多く、このようなＬＡＮを利用して通信経路を確保することにより、装置コストを低減することができる。
【００２８】
また、前記プロファイル情報は、少なくとも、前記相手側装置のメーカ情報と、型式情報と、該相手側装置において使用されるソフトウエアのバージョン情報とを含むと共に、受け取った前記プロファイル情報を記憶するための第２の記憶手段を備えることが望ましい。
このようにプロファイル情報を受け取る場所を用意することにより、これを参照して接続相手側装置の動作条件を特定することができるため、それに対応したソフトウエアファイルの設定を行なうことができる。
【００２９】
更にまた、前記プロファイル情報は、前記相手側装置が正常状態にあるか否かの情報を含むことが望ましい。
このように、接続された相手側装置が正常な状態か異常な状態かの情報を受け取ることにより、適切な対処を行なうことができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかるインライン接続設定方法及び装置につき、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
図１は、例えば半導体や液晶ディスプレイ等の電子デバイス製造工程のフォトリソグラフィ工程において使用される複数のパターン形成装置とホストコンピュータとの関係を示すブロック図である。
図１において、パターン形成装置１００を構成する塗布現像装置１と露光装置２０とが搬送ライン３３（図１に示すインタフェイス部８０に相当）によって被処理体であるウエハの搬送が確保されるよう配置されるとともに相互に通信経路３５によって接続されている。
【００３１】
図１に示すように複数のパターン形成装置１００（図１では４つのパターン形成装置を図示）は、例えばイーサネット（登録商標）等によるＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）を形成するＬＡＮケーブル３４に夫々接続されている。このとき、塗布現像装置１と露光装置２０の夫々がＬＡＮケーブル３４に接続され、さらにＬＡＮケーブル３４にはホストコンピュータ４５が接続されている。
【００３２】
このホストコンピュータ４５は、このＬＡＮを介して複数のパターン形成装置１００に対し動作制御をするよう構成されている。例えば、夫々のパターン形成装置１００に対して、被処理体であるウエハへの処理レシピを指定し、処理開始命令等を行なうようにされている。
なお、夫々のパターン形成装置１００においては、図８に示したパターン形成装置と同様な構成を備え、被処理体であるウエハへのレジスト塗布から露光、現像処理までの一連のフォトリソグラフィ工程が行なわれ、パターン形成されたウエハが得られるように構成されている。
【００３３】
図２は、図１に示したパターン形成装置１００を構成する塗布現像装置１と露光装置２０の一部内部構成を示すブロック図である。
図２に示すように、第１の処理装置であり、インライン接続設定装置である塗布現像装置１にはハードウエアとして以下のものを備えている。
先ず、塗布現像装置１には、内部の全体制御を行なう、動作制御の要となる中央処理ユニット２を備える。
そして、この中央処理ユニット２に、操作部１０と、第１記憶手段である不揮発性の補助記憶部１１と、第２記憶手段であり一時的に情報の読み出し及び書き込みを行なう主記憶部１２と、機械的動作の制御を行なう機械制御部１３と、そして情報通信を行なうための通信インタフェイス１５、１６とが接続されている。また、前記機械制御部１３には、ウエハ搬入出を行なうための入出力ポート１４が接続されている。
【００３４】
更に、前記中央処理ユニット２は、ＣＰＵ３と特定用途向けＩＣ４を備え、前記ＩＣ４には、接続検出部５と、処理指令部６と、レシピ選択部７と、近況報告部８と、通信制御部９とが構成されている。
この接続検出部５は、露光装置２０との通信ケーブルでの接続を検出する機能を備えている。また、処理指令部６はホストコンピュータ４５からの処理指示、例えば処理開始指示やウエハのロット切り替わり指示などに基づいて塗布現像装置１に対して指令を出力する等の機能を備えている。
【００３５】
また、前記レシピ選択部７は、ホストコンピュータ４５から送られる識別コードに基づいて補助記憶部１１に記憶されているレシピ群の中から対応する処理レシピを選択する機能を備えている。この処理レシピとは、被処理基板であるウエハを処理するプログラムソフトウエアであり、例えば塗布現像装置１において使用するレジスト液や現像液の種類、処理時間等の様々な条件が取り決めされたものであり、それら種々の組み合わせにより複数種が用意されレシピ群を成している。
また、前記近況報告部８は、主記憶部１２に一時記憶された処理状況報告や処理結果報告、または故障情報等の塗布現像装置１の情報をホストコンピュータ４５並びに露光装置２０に報告する機能を有している。
更に、前記通信制御部９は、通信インタフェイス１５、１６を介して露光装置２０並びにホストコンピュータ４５との通信制御を行なう機能を備えている。
【００３６】
一方、第２の処理装置であり、塗布現像装置１の相手側装置である露光装置２０は、ハードウエアとして以下のものを備える。
先ず、露光装置２０の動作制御の要となる中央処理ユニット２１を備える。
そして、この中央処理ユニット２１に不揮発性である補助記憶部２８と、一時的に情報の読み出し及び書き込みを行なうための主記憶部２９と、露光装置２０内部の機械的動作の制御を行なうための機械制御部３０と、そして情報通信を行なうための通信インタフェイス３２、３３とが接続されている。また、前記機械制御部３０にウエハ搬入出を行なうための入出力ポート３１が接続されている。
【００３７】
更に、中央処理ユニット２１はＣＰＵ２２と特定用途向けＩＣ２３とを備え、このＩＣ２３には処理指令部２４と、レシピ選択部２５と、近況報告部２６と、通信制御部２７とが構成されている。
前記処理指令部２４は、ホストコンピュータ４５からの処理指示に基づいて露光装置２０に対して指令を出力する等の機能を備えている。
また、前記レシピ選択部２５は、ホストコンピュータ４５から送られる識別コードに基づいて補助記憶部２８に記憶されているレシピ群の中から対応する処理レシピを選択する機能を備えている。なお、露光装置２０における処理レシピは、レクチルの種別や露光時間、露光量等が取り決めされている。
【００３８】
また、前記近況報告部２６は、主記憶部２９に記憶された処理状況報告や故障情報等の露光装置２０の情報をホストコンピュータ４５並びに塗布現像装置１に報告する機能を有している。
更に、前記通信制御部２７は、通信インタフェイス３２、３３を介して塗布現像装置１並びにホストコンピュータ４５との通信制御を行なう機能を備えている。
【００３９】
また、塗布現像装置１と露光装置２０とは、塗布現像装置１の通信インタフェイス１５と露光装置２０の通信インタフェイス３２とが８ピンのパラレルケーブルＰによって接続され、通信経路３５を形成している。更に、前記したように塗布現像装置１と露光装置２０は、夫々ＬＡＮケーブル３４に接続されるが、夫々、通信インタフェイス１６、３３を介して接続され、ＬＡＮ上に通信経路３６を形成している。
【００４０】
このように構成されたパターン形成装置１００においては、稼動開始時（電源ＯＮ時）において次のように動作する。
先ず、塗布現像装置１及び露光装置２０が共に電源投入された状態となると、塗布現像装置１の中央処理ユニット２において、接続検出部５が露光装置２０とのハードウエア上の接続を検出する。即ち、塗布現像装置１の通信インタフェイス１５と露光装置２０の通信インタフェイス３２とが通信ケーブルであるパラレルケーブルＰによって１対１接続されていることを検出する。
次いで、塗布現像装置１において、露光装置２０とのソフトウエア上のインライン接続設定がＬＡＮ上の通信経路３６を介した情報交換に従って自動的に行なわれる。なお、このソフトウエア上の接続設定は、本発明の特徴にかかるところであり、詳細に後述する。
【００４１】
塗布現像装置１と露光装置２０との接続設定が行なわれた後、塗布現像装置１のレシピ選択部７は、ホストコンピュータ４５（図１参照）の指令に従い、補助記憶部１１に記憶された処理レシピ群の中から対応する処理レシピを選択する。選択された処理レシピは、高速で情報の書き込み及び読み出しが可能である主記憶部１２に一旦読み込まれる。処理指令部６は露光装置２０と連携しながら主記憶部１２上の処理レシピに従って機械制御部１３等に指令し、被処理体であるウエハに対する処理が実行される。
【００４２】
一方、露光装置２０においてもホストコンピュータ４５の指令に従い、レシピ選択部２４が補助記憶部２８に記憶された処理レシピ群の中から対応する処理レシピを選択する。選択された処理レシピは高速で情報の書き込み及び読み出しが可能である主記憶部２９に一旦読み込まれる。処理指令部２４は塗布現像装置１と連携しながら主記憶部２９上の処理レシピに従って機械制御部２０等に指令し、被処理体であるウエハに対する露光処理が実行される。
【００４３】
続いて、塗布現像装置１における露光装置２０とのソフトウエア上のインライン接続設定について図３乃至図７に基づき説明する。
図３は塗布現像装置１の補助記憶部１１の一部記憶要素を示したものである。図４は、塗布現像装置１におけるソフトウエアプログラムの実行フローであり、図５は接続設定プログラムの構成モジュールを示している。
また、図６は補助記憶部１１にデータとして記憶されているコードテーブル例であり、図７は接続設定プログラムの処理フローを示している。
【００４４】
前記塗布現像装置１の補助記憶部１１には、図３に示すように接続設定プログラム４０と、コードテーブル４１と、処理レシピ群４２と、ハード定義ファイル群４３と、インタフェイスファイル群４４とが少なくとも記憶されている。
この接続設定プログラム４０は、塗布現像装置１における露光装置２０とのソフトウエア上の接続設定を自動的に行なうためのプログラムである。また、処理レシピ群４２は複数の処理レシピにより構成されている。
【００４５】
前記コードテーブル４１は、図６に示すように、メーカ名、型式、ソフトウエアバージョンの組み合わせを種別コードに対応して表したものである。
また、前記ハード定義ファイル群４３は、前記種別コードに対応して通信ケーブルＰ（図２参照）におけるコネクタピン割り当て情報が記載され、選択された処理レシピ中で使用される、複数種のファイルで構成されている。
そしてまた、前記インタフェイスファイル群４４は、前記種別コードに対応し、選択された処理レシピのプログラム中において使用される、複数種のインタフェイスファイルで構成されている。なお、このインタフェイスファイルは選択された処理レシピのプログラムにおいて使用されるハード定義ファイルと処理レシピとのインタフェイス部となるソフトウエアファイルである。
【００４６】
このインライン接続設定は図４に示すように、塗布現像装置１において、先ず、接続されている露光装置２０とのインライン処理を円滑に行なうために接続設定プログラム４０が実行される（ステップＳ１）。これは、補助記憶部１１に記憶されている接続設定プログラム４０が塗布現像装置１と露光装置２０の電源投入後に起動されることにより実現される。
接続設定プログラム４０の実行により、塗布現像装置１と露光装置２０との整合がとられ、その後ホストコンピュータ４５により指定され選択された処理レシピがレシピ選択部７により選択されて実行され、被処理体であるウエハに対して、所定の処理が実行される（ステップＳ２）。
【００４７】
前記した接続設定プログラム４０について、さらに詳細に説明する。接続設定プログラム４０には、図５に示すように接続状態確認部４０ａと、情報取得部４０ｂと、ファイル選択部４０ｃとのサブプログラムが少なくとも含まれる。また、前記ファイル選択部４０ｃは、ハード定義ファイル選択部４０ｄとインタフェイスファイル選択部４０ｅとで構成される。
【００４８】
前記接続状態確認部４０ａは、ＬＡＮ上に形成された通信経路３６を介して露光装置２０との通信が可能な状態であるかどうかを確認し、通信可能であれば通信可能状態を確立する機能（プログラム）を備えている。
また、前記情報取得部４０ｂは、前記通信経路３６を介して露光装置２０の近況報告部２６等から、露光装置２０側のプロファイル情報を取得する機能（プログラム）を備えている。このプロファイル情報には、露光装置２０のメーカ、型式、ソフトウエアバージョン等の情報や、露光装置２０に異常がないかどうかの情報等が含まれている。
更に、前記ハード定義ファイル選択部４０ｃは、情報取得部４０ｂが取得したプロファイル情報から対応する種別コードを割り出し、その種別コードに対応するハード定義ファイルを補助記憶部１１に記憶されているハード定義ファイル群４３の中から選択する機能（プログラム）を備えている。
そしてまた、前記インタフェイスファイル選択部４０ｄは、前記種別コードに対応するインタフェイスファイルを補助記憶部１１に記憶されたインタフェイスファイル群４４の中から選択する機能（プログラム）を備えている。
【００４９】
次に、図７を用いて、接続設定プログラム４０の実行時動作について説明する。なお、塗布現像装置１と露光装置２０とがＬＡＮ上に形成された通信経路３６を用いて行なう情報通信は、共通に規定されたプロトコルに則って行なわれるものとする。
先ず、塗布現像装置１と露光装置２０の電源が投入され、中央処理ユニット２の接続検出部５が露光装置２０との接続を検出すると、接続設定プログラム４０は、高速でデータの書き込み及び読み出しが可能な主記憶部１２に読み込まれて起動される。
【００５０】
プログラム起動後、接続状態確認部４０ａは露光装置２０に対し、ＬＡＮ上に形成された通信経路３６を介して問い合わせ信号を発行する（ステップＳ１１）。これに対して、露光装置２０側から正常な応答信号が返ってきたならば、正常に接続されていると判断し（ステップＳ１２）、次のステップに進む。もし、ここで露光装置２０側から正常な応答信号がない場合には（ステップＳ１２）、再び露光装置２０に対して問い合わせを繰り返し、正常な応答がない間、塗布現像装置１は待機状態となっている。
【００５１】
露光装置２０との接続が確認されると、露光装置２０に対し、情報取得部４０ｂはプロファイル情報要求コマンドを発行する（ステップＳ１３）。ここで、露光装置２０からは、ＬＡＮ上の通信経路３６を介して露光装置２０のメーカ名、型式、ソフトウエアバージョン等の情報や、露光装置２０に異常がないかどうかの情報等がプロファイル情報として情報取得部４０ｂに返される。
【００５２】
これらプロファイル情報から、露光装置２０に異常がないと判断すると（ステップＳ１４）、ハード定義ファイル選択設定を行なう（ステップＳ１８）。
このハード定義ファイル選択設定では、ハード定義ファイル選択部４０ｄが、ステップＳ１３において情報取得部４０ｂが取得したプロファイル情報から、コードテーブル４１を用いて対応する種別コードを割り出し、その種別コードに対応するハード定義ファイルを補助記憶部１１に記憶されているハード定義ファイル群４３の中から選択する。実際には、処理レシピの実行中に使用されるハード定義ファイルの読み出しアドレスが決定される。
【００５３】
次いで、このハード定義ファイル選択設定に続き、インタフェイスファイルの選択設定が行われる（ステップＳ１９）。インタフェイスファイルの選択設定においては、インタフェイスファイル選択部４０ｅが、前記種別コード及び前記選択されたハード定義ファイルに対応するインタフェイスファイルを補助記憶部１１に記憶されたインタフェイスファイル群４４の中から選択する。実際には、処理レシピの実行中に使用されるインタフェイスファイルの読み出しアドレスが決定される。
【００５４】
一方、前記ステップＳ１４において、露光装置２０が異常状態であると判断されると、このレポートからさらに修復可能かどうかが判断される（ステップＳ１５）。ここで修復可能でないと判断されると、稼動停止命令を処理指令部６に発行し（ステップＳ１７）、塗布現像装置１の稼動を停止し（電源をＯＦＦし）終了する。
また、ステップＳ１５において修復可能と判断された場合には、所定時間待機後（ステップＳ１６）、再びステップＳ１３に戻って露光装置２０の情報取得を要求する。
【００５５】
なお、前記したように、この接続設定プログラム終了後、選択された処理レシピが実行されるが、処理レシピプログラム、選択されたハード定義ファイル、選択されたインタフェイスファイルが主記憶部１２に読み込まれて実行される。このとき、処理レシピプログラムは選択されたハード定義ファイル及びインタフェイスファイルを用いながら実行される。
また、処理レシピプログラム実行中においても、定期的に露光装置２０からプロファイル情報の受け渡しを要求することにより（図７のステップＳ１３）、露光装置の近況を把握し、変更や異常がある場合には、稼動停止（電源ＯＦＦ）等の適切な対処を行なうようにしてもよい。
【００５６】
以上のように、本発明にかかる一実施形態においては、インライン接続された相手側装置からプロファイル情報を取得し、そのプロファイル情報に対応してインライン接続における設定を自動的に行なうため、相手側装置に変更があった場合にも自動的に対処することがでる。すなわち、人為的ミスを低減し、歩留まりの低下を防ぐことができる。
また、インライン接続された相手側装置に異常が発生した場合には、相手側装置から異常情報を受け取り適切な対処をすることができ、事故等を未然に防ぐことができる。
【００５７】
さらに、稼動中に塗布現像装置１あるいは相手側装置に異常が発生した場合の対策として、前記補助記憶部１１にトラブルリカバリ（復帰処理）のプログラム、及び異常の種類、相手側装置の種類に応じたシナリオ（手順）ファイルを準備してもよい。
これによって、異常発生時に前記トラブルリカバリのプログラムが自動的に動作し、前記シナリオファイルを参照し、適切な回復処理を行なうことができる。この場合、シナリオファイルは、塗布現像装置１と相手側装置の動作を同期させるために、同じファイルをお互いの装置に予め準備することが望ましい。
【００５８】
なお、前記した一実施形態においては、塗布現像装置１内の補助記憶部１１を１つの不揮発性の記憶部としたが、これを複数に分けてもよい。また、補助記憶部１１に記憶されている接続設定プログラム４０による工程を含む方法をハードウエア化により実現してもよい。更に、前記一実施の形態においては、塗布現像装置１を第１の処理装置並びにインライン接続設定装置としたが、露光装置２０を第１の処理装置並びにインライン接続設定装置としてもよい。更にまた、インライン接続装置を塗布現像装置と露光装置に限定することはなく、インライン接続装置であれば他の装置にも本発明のインライン接続設定方法および装置を適用することができる。
【００５９】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなとおり、本発明によれば、インライン接続相手側装置本体や相手側装置の内部ソフトウエアに変更があった場合に、自動的に接続相手側装置に対応した内部ソフトウエアの設定作業を行うことができる。また、接続相手側装置に不具合が発生した場合に、自動的に適切な対処を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、複数のパターン形成装置とホストコンピュータとの関係を示すブロック図である。
【図２】図２は、パターン形成装置を構成する塗布現像装置と露光装置の一部内部構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、塗布現像装置の補助記憶部の一部記憶要素を示す図である。
【図４】図４は、塗布現像装置におけるソフトウエアプログラムの実行フローを示す図である。
【図５】図５は、接続設定プログラムの構成モジュールを示す図である。
【図６】図６は、補助記憶部にデータとして記憶されているコードテーブル例を示す図である。
【図７】図７は、接続設定プログラムの処理フローを示す図である。
【図８】図８は、従来のパターン形成装置の構成を示す平面図である。
【図９】図９は、接続相手側装置のコネクタピン割り当て例を示す図である。
【符号の説明】
１ 塗布現像装置
２ 中央処理ユニット
３ ＣＰＵ
４ ＩＣ
５ 接続検出部
６ 処理指令部
７ レシピ選択部
８ 近況報告部
９ 通信制御部
１０ 操作部
１１ 補助記憶部
１２ 主記憶部
１３ 機械制御部
１４ 入出力ポート
１５ 通信インタフェイス
１６ 通信インタフェイス
２０ 露光装置
２１ 中央処理ユニット
３４ ＬＡＮケーブル
３５ 通信経路
３６ 通信経路
４０ 接続設定プログラム
４０ａ 接続状態確認部
４０ｂ 情報取得部
４０ｃ ファイル選択部
４０ｄ ハード定義ファイル選択部
４０ｅ インタフェイスファイル選択部
４１ コードテーブル
１００ パターン形成装置
Claims (14)
- 被処理体に対してインライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定方法において、
第１の処理装置が、該第１の処理装置にインライン接続された第２の処理装置に対し、該第２の処理装置に関する情報であるプロファイル情報の受け渡しを要求する工程と、
前記第１の処理装置が、前記第２の処理装置から前記プロファイル情報を受け取る工程と、
前記第１の処理装置が、前記プロファイル情報に対応して、該第１の処理装置において使用するソフトウエアファイルを選択する工程と
を少なくとも含むことを特徴とするインライン接続設定方法。 - 前記第１の処理装置は、ＬＡＮ内に形成された通信経路を介して、前記第２の処理装置と直接通信することにより前記プロファイル情報を受け取ることを特徴とする請求項１に記載されたインライン接続設定方法。
- 前記プロファイル情報には、前記第２の処理装置のメーカ情報と、型式情報と、該第２の処理装置において使用されるソフトウエアのバージョン情報とが少なくとも含まれることを特徴とする請求項１または請求項２に記載されたインライン接続設定方法。
- 前記プロファイル情報には、前記第２の処理装置が正常状態であるか否かの情報が含まれることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載されたインライン接続設定方法。
- 前記第１の処理装置は、前記第２の処理装置と通信ケーブルにより１対１接続されると共に、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを備え、
前記プロファイル情報に対応して、前記複数種のハード定義ファイルの中から、前記第１の処理装置で使用するソフトウエアファイルであるハード定義ファイルを選択することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載されたインライン接続設定方法。 - 前記第１の処理装置は、被処理体を処理するためのソフトウエアと、前記ハード定義ファイルと、複数種のインタフェイスファイルを備え、使用する前記ハード定義ファイルに対応して、前記複数種のインタフェイスファイルの中から、前記第１の処理装置で使用するインタフェイスファイルを選択することを特徴とする請求項５に記載されたインライン接続設定方法。
- 前記第１の処理装置は前記第２の処理装置に対し、所定時間毎に、前記プロファイル情報の受け渡しを要求することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載されたインライン接続設定方法。
- 被処理体に対してインライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定装置において、
インライン接続された相手側装置との情報通信の接続確認を行なう接続状態確認と、前記相手側装置に対し、プロファイル情報の受け渡しを要求して該プロファイル情報を受け取る情報取得と、前記プロファイル情報に対応して使用するソフトウエアファイルを選択するファイル選択とを順次実行するためのプログラムを記憶する第１の記憶手段を少なくとも備えることを特徴とするインライン接続設定装置。 - 前記インライン接続設定装置において、インライン接続された相手側装置とは通信ケーブルにより１対１接続され、
前記第１の記憶手段は、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを記憶していることを特徴とする請求項８に記載されたインライン接続設定装置。 - 前記第１の記憶手段は、被処理体を処理するためのソフトウエアと前記複数種のハード定義ファイルと複数種のインタフェイスファイルとを記憶していることを特徴とする請求項９に記載されたインライン接続設定装置。
- 前記プロファイル情報に対応して使用するソフトウエアファイルを選択するファイル選択を実行するファイル選択部は、ハード定義ファイル選択部とインタフェイスファイル選択部とにより構成され、
前記ハード定義ファイル選択部は、前記第１の記憶手段に記憶されている複数種のハード定義ファイルの中から使用するソフトウエアファイルであるハード定義ファイルを選択し、
前記インタフェイスファイル選択部は、前記第１の記憶手段に記憶されている複数種のインタフェイスファイルの中から使用するソフトウエアファイルであるインタフェイスファイルを選択することを特徴とする請求項１０に記載されたインライン接続設定装置。 - 相手側装置に対し、プロファイル情報の受け渡しを要求して該プロファイル情報を受け取る情報取得を実行する情報取得部は、
ＬＡＮ内に形成された通信経路を介して、前記インライン接続された相手側装置と直接通信することにより前記プロファイル情報を受け取る
ことを特徴とする請求項８乃至請求項１１のいずれかに記載されたインライン接続設定装置。 - 前記プロファイル情報は、少なくとも、前記相手側装置のメーカ情報と、型式情報と、該相手側装置において使用されるソフトウエアのバージョン情報とを含むと共に、
受け取った前記プロファイル情報を記憶するための第２の記憶手段を備えることを特徴とする請求項８乃至請求項１２のいずれかに記載されたインライン接続設定装置。 - 前記プロファイル情報は、前記相手側装置が正常状態にあるか否かの情報を含むことを特徴とする請求項８乃至請求項１３のいずれかに記載されたインライン接続設定装置。
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