KR20050105266A - 인 라인 접속 설정 방법 및 장치 및 그리고 기판 처리 장치및 기판 처리 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 인라인 접속설정 방법 및 장치 그리고 기판처리장치 및 기판처리 시스템에 관한 것으로서 도포 현상 장치가 인 라인 접속된 노광 장치에 대해 노광 장치에 관한 정보인 프로 파일 정보의 인수 ·인도를 요구하는 공정과 도포 현상 장치가 노광 장치로부터 상기 프로 파일 정보를 수취하는 공정과 도포 현상 장치가 상기 프로 파일 정보에 대응하여 도포 현상 장치에 있어서 사용하는 소프트웨어 파일을 선택하는 공정을 적어도 포함하는 기술을 제공한다.

Description

인 라인 접속 설정 방법 및 장치 및 그리고 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템{INLINE CONNECTION SETTING METHOD AND DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM}

본 발명은 인 라인 처리를 행하는 장치간의 접속 설정을 자동적으로 행하는 인 라인 접속 설정 방법 및 장치 또 기판 처리 기술에 관계되어 예를 들면 가동 개시시(전원 ON시) 혹은 가동중에 정기적으로 접속 장치를 확인해 그 때마다 인 라인 접속된 장치의 접속 설정을 자동적으로 행하는 인 라인 접속 설정 방법 및 장치에 관한 것이다.

예를 들면 반도체나 액정 디스플레이등의 전자 디바이스 제조 공정에 있어서의 포트리소 그래피 공정에서는 웨이퍼 혹은 유리 기판으로 레지스트액의 도포나 현상 처리를 행하는 도포 현상 장치와 레지스트액이 도포된 웨이퍼 혹은 유리 기판에 노광 처리를 행하는 노광 장치가 조합되어 인 라인 처리를 하고 있다.

이 도포 현상 장치와 노광 장치의 인 라인 처리에 대해서는 일본국 특개 2000-188253호 공보에 개시되고 있다.

그런데 디바이스 제조 현장에서의 인 라인 처리에 있어서는 다른 메이커의 장치끼리가 인 라인 접속되는 멀티벤더 환경이 많다.

예를 들면 도포 현상 장치에 메이커 A의 노광 장치 및 메이커 B의 노광 장치가 접속할 수 있는 환경으로 되어 있는 경우 예를 들면 메이커 A의 노광 장치와 도포 현상 장치의 사이의 통신에 있어서는 도포 현상 장치가 웨이퍼 반송을 행하기 전에 Send 신호를 ON 상태로 하는(Send 신호가 ON 상태가 되어 웨이퍼가 반송된다) 것에 대해 메이커 B의 노광 장치와 도포 현상 장치의 사이의 통신에 있어서는 웨이퍼 반송 후에 Send 신호를 ON 상태로 하는(웨이퍼의 반송 종료시에 Send 신호가 ON 상태가 된다)바와 같이 노광 장치의 메이커에 의해 양자 사이의 통신의 타이밍이 달라 원활한 동작을 실시할 수가 없다.

또 일반적으로 메이커에 의해 통신케이블에 있어서의 커넥터 핀 할당이 다르다. 예를 들면 메이커 A의 노광 장치의 특정 핀 번호의 커넥터 핀이 에러 신호에 할당할 수 있는데 대해 메이커 B의 노광 장치의 같은 핀 번호의 커넥터 핀이 로트 엔드 신호에 할당될 수 있는 바와 같은 핀 번호에서도 신호 명칭의 할당등의 사양이 다른 경우가 많다.

그 때문에 도포 현상 장치의 메이커로는 도포 현상 장치의 납입전에 미리 도포 현상 장치에 대해서 납입처에서 접속되는 장치에 맞춘 데이터 설정을 실시하고 있다.

그런데 디바이스 제조 현장에 있어서 접속되고 있던 상대측 장치 예를 들면 노광 장치가 타메이커의 것으로 교환되는 혹은 노광 장치의 내부 소프트웨어가 다른 사양 체계로 변경되는 일이 있다. 이 경우 도포 현상 장치측은 새로운 노광 장치에 맞춘 내부 소프트웨어 설정을 재설정할 필요가 있다. 이 재설정은 종래 오퍼레이터에 의해 수작업(메뉴얼 조작)으로 단말로부터 변경 작업 혹은 입력 설정을 실시하고 있다.

그렇지만 이러한 오퍼레이터에 의한 메뉴얼 조작으로 대응하는 경우 아무래도 인적 미스를 없애지 못하고 예를 들면 노광 장치가 변경되었음에도 불구하고 필요한 소프트웨어 설정의 변경을 행하지 않는 경우 혹은 소프트웨어 설정 변경에 있어서의 설정 미스가 생겼을 경우 등 도포 현상 장치와 노광 장치의 인 라인 처리가 원활히 행해지고 있지 않은 우려가 있다.

이러한 인 라인 처리가 원활히 행해지고 있지 않은 경우에는 예를 들면 웨이퍼가 파손해 불량품의 발생율이 높아져 제품 비율의 저하에 연결된다.

또 인 라인 접속되고 있는 노광 장치에 고장등의 불편이 발생했을 경우 오퍼레이터의 메뉴얼 조작에 의해 도포 현상 장치를 대기 상태 혹은 전원 오프 시키는 등의 대처를 하고 있다.

그렇지만 노광 장치의 고장이 회복 하지 않는 채 오퍼레이터가 상기 도포 현상 장치를 대기 상태로부터 재가동시키는 등의 부적절한 처리를 실시하는 위험성이 있다.

도 1은 복수의 패턴 형성 장치와 호스트 컴퓨터의 관계를 나타내는 블럭도이다.

도 2는 패턴 형성 장치의 기구계의 구성예를 나타내는 평면도이다.

도 3은 패턴 형성 장치를 구성하는 도포 현상 장치와 노광 장치의 제어계의 내부 구성예를 나타내는 블럭도이다.

도 4는 도포 현상 장치의 보조 기억부의 일부 기억 요소를 나타내는 도이다.

도 5는 도포 현상 장치에 있어서의 소프트웨어 프로그램의 실행 플로우를 나타내는 도이다.

도 6은 접속 설정 프로그램의 구성 모듈을 나타내는 도이다.

도 7은 보조 기억부에 데이터로서 기억되고 있는 코드테이블예를 나타내는 도이다.

도 8A 및 8B는 각각 A사 B사의 노광 장치에 있어서의 커넥터 핀 할당예를 나타내는 도이다.

도 9는 접속 설정 프로그램의 처리 플로우를 나타내는 도이다.

본 발명의 목적은 인 라인 접속 상대측 장치 본체나 상대측 장치의 내부 소프트웨어에 변경이 있는 경우에 자동적으로 접속 상대측 장치에 대응한 내부 소프트웨어의 설정 작업을 실시해 또 접속 상대측 장치에 불편이 발생했을 경우에 자동적으로 적절한 대처를 행할 수 있는 인 라인 접속 설정 방법 및 장치를 제공하는 것에 있다.

즉 본 발명의 제 1의 관점에 의하면 피처리체에 대해서 인 라인 처리를 행하는 장치간의 접속 설정을 자동적으로 행하는 인 라인 접속 설정 방법으로서 제 1의 처리 장치가 상기 제 1의 처리 장치에 인 라인 접속된 제 2의 처리 장치에 대해 상기 제 2의 처리 장치에 관한 정보인 프로 파일 정보의 인도를 요구하는 공정과 상기 제 1의 처리 장치가 상기 제 2의 처리 장치로부터 상기 프로 파일 정보를 수취하는 공정과,

상기 제 1의 처리 장치가 상기 프로 파일 정보에 대응해 상기 제 1의 처리 장치에 있어서 사용하는 소프트웨어 파일을 선택하는 공정을 포함한 인 라인 접속 설정 방법이 제공된다.

이러한 방법에 의하면 인 라인 접속된 상대측 장치로부터 상대측 장치의 프로 파일 정보를 수취하는 것으로 상대측 장치에 관한 정보를 얻을 수 있으므로 상대측 장치와의 정합을 취하기 위한 적절한 소프트웨어 파일을 선택할 수가 있다.

또 상기 제 1의 처리 장치는 LAN(Local Area Network) 내에 형성된 통신 경로를 개입시켜 상기 제 2의 처리 장치와 직접 통신함으로써 상기 프로 파일 정보를 수취하는 것이 바램직하다.

LAN은 이미 부설되고 있는 경우가 많아 이러한 LAN을 이용해 통신 경로를 확보함으로써 장치 코스트를 저감 할 수가 있다.

덧붙여 상기 프로 파일 정보에는 상기 제 2의 처리 장치의 메이커 정보와 형식 정보와 상기 제 2의 처리 장치에 있어서 사용되는 소프트웨어의 버젼 정보가 적어도 포함되는 것이 바램직하다.

이러한 정보에 의해 접속 상대측 장치의 동작 조건을 특정할 수가 있기 때문에 거기에 대응한 소프트웨어 파일의 설정을 행할 수가 있다.

또 상기 프로 파일 정보에는 상기 제 2의 처리 장치가 정상 상태인지 아닌지의 정보가 포함되는 것이 바램직하다.

이와 같이 접속된 상대측 장치가 정상적인 상태인가 이상 상태인가의 정보를 수취하는 것으로 적절한 대처를 행할 수가 있다.

또한 상기 제 1의 처리 장치는 상기 제 2의 처리 장치와 통신케이블에 의해 1대 1 접속되어 상기 통신케이블의 커넥터 핀 할당 정보인 복수종류의 하드 정의 파일을 갖고 상기 프로 파일 정보에 대응해 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 상기 제 1의 처리 장치로 사용하는 하드 정의 파일을 선택하는 것이 바램직하다.

또 상기 제 1의 처리 장치는 피처리체를 처리하기 위한 소프트웨어와 복수종류의 인터페이스 파일을 더 가져 상기 선택된 하드 정의 파일에 대응해 상기 복수종류의 인터페이스 파일중에서 상기 제 1의 처리 장치로 사용하는 인터페이스 파일을 선택하는 것이 바램직하다.

이와 같이 미리 복수종류의 인터페이스 파일을 준비해 두는 것으로 상기 하드 정의 파일에 대응한 인터페이스 파일을 선택해 사용할 수가 있다.

또 상기 제 1의 처리 장치는 상기 제 2의 처리 장치에 대해 소정 시간마다 상기 프로 파일 정보의 인도를 요구하는 것이 바램직하다.

이와 같이 하면 피처리체의 처리중에 상대측 장치에 이상이 있어도 그 정보를 얻을 수 있어 적절한 대처를 행할 수가 있다.

또 본 발명의 제 2의 관점에 의하면 피처리체에 대해서 인 라인 처리를 행하는 제 1의 처리 장치에 대한 제 2의 처리 장치의 접속 설정을 자동적으로 행하는 인 라인 접속 설정 장치로서 상기 제 1의 처리 장치에 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치의 정보통신의 접속 확인을 행하는 접속 상태 확인부와 상기 제 2의 처리 장치에 대해 상기 제 2의 처리 장치에 관한 프로 파일 정보의 인도를 요구해 상기 프로 파일 정보를 수취하는 정보 취득부와 상기 프로 파일 정보에 대응해 사용하는 소프트웨어 파일을 선택하는 파일 선택부를 가져 이들을 차례차례 실행하기 위한 프로그램을 기억하는 제 1의 기억 수단과 ; 상기 제 1의 기억 수단에 기억된 프로그램을 실행하기 위한 제어 수단을 갖추는 인 라인 접속 설정 장치가 제공된다.

여기서 상기 인 라인 접속 설정 장치에 있어서 상기 제 1의 처리 장치는 인 라인 접속된 상대측 장치인 제 2의 처리 장치와는 통신케이블에 의해 1대 1 접속되고 상기 제 1의 기억 수단은 상기 통신케이블의 커넥터 핀 할당 정보인 복수종류의 하드 정의 파일을 기억하고 있는 것이 바램직하다.

또 상기 파일 선택부는 하드 정의 파일 선택부를 갖고 상기 하드 정의 파일 선택부는 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 사용하는 하드 정의 파일을 선택하는 것이 바램직하다.

또 상기 제 1의 기억 수단은 피처리체를 처리하기 위한 소프트웨어와 상기 복수종류의 하드 정의 파일과 복수종류의 인터페이스 파일을 기억하고 있는 것이 바램직하다.

이와 같이 미리 복수종류의 인터페이스 파일을 준비해 두는 것으로 상기 하드 정의 파일에 대응한 인터페이스 파일을 선택해 사용할 수가 있다.

또 상기 파일 선택부는 하드 정의 파일 선택부와 인터페이스 파일 선택부를 갖고 상기 하드 정의 파일 선택부는 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 사용하는 하드 정의 파일을 선택하고 상기 인터페이스 파일 선택부는 상기 복수종류의 인터페이스 파일중에서 사용하는 인터페이스 파일을 선택하는 것이 바램직하다.

이와 같이 구성함으로써 상기 제 1의 기억 수단에 기억된 하드 정의 파일이나 인터페이스 파일을 선택할 수가 있다.

또 상기 정보 취득부는 LAN(Local Area Network) 내에 형성된 통신 경로를 개입시켜 상기 인 라인 접속된 상대측 장치와 직접 통신함으로써 상기 프로 파일 정보를 수취하는 것이 바램직하다.

LAN은 이미 부설되고 있는 경우가 많아 이러한 LAN를 이용해 통신 경로를 확보함으로써 장치 코스트를 저감 할 수가 있다.

또 상기 프로 파일 정보는 적어도 상기 상대측 장치의 메이커 정보와 형식 정보와 상기 상대측 장치에 있어서 사용되는 소프트웨어의 버젼 정보를 포함하고 상기 인 라인 접속 설정 장치는 수취한 상기 프로 파일 정보를 기억하기 위한 제 2의 기억 수단을 더 갖추는 것이 바램직하다.

이와 같이 프로 파일 정보를 수취하는 장소를 준비함으로써 이것을 참조해 접속 상대측 장치의 동작 조건을 특정할 수가 있기 때문에 거기에 대응한 소프트웨어 파일의 설정을 행할 수가 있다.

또 상기 프로 파일 정보는 상기 상대측 장치가 정상 상태에 있는지 아닌지의 정보를 포함하는 것이 바램직하다.

이와 같이 접속된 상대측 장치가 정상적인 상태인가 이상 상태인가의 정보를 수취하는 것으로 적절한 대처를 행할 수가 있다.

또 본 발명의 제 3의 관점에 의하면 상대측 장치와 협동하여 기판에 대해서 인 라인 처리를 실시하는 기판 처리 장치로서 상기 기판에 대해서 인 라인 처리를 실시하는 처리부와; 상기 처리부와 상대측 장치의 사이에 상기 기판의 인도를 실시하는 기판 인도 기구와 상대측 장치의 사이에 상기 기판에 대한 상기 인 라인 처리를 행하기 위한 정보통신을 실시하는 제 1의 통신 인터페이스와 상대측 장치의 사이에 소프트웨어 정보의 통신을 실시하는 제 2의 통신 인터페이스와 ; 상대측 장치로부터 제 2의 통신 인터페이스를 경유해 해당 상대측 장치에 관한 프로 파일 정보를 취득하는 정보 취득 수단과 자체 장치의 동작을 제어하기 위한 복수의 소프트웨어 파일을 기억하는 소프트웨어 파일 기억 수단과 ; 상대측 장치로부터 상기 제 2의 통신 인터페이스를 경유해 취득한 상기 프로 파일 정보에 대응해 상기 소프트웨어 파일 기억 수단으로부터 자체 장치의 동작을 제어하는 소프트웨어 파일을 선택하는 파일 선택 수단과을 구비한 기판 처리 장치가 제공된다.

이러한 기판 처리 장치에 의하면 인 라인 접속된 상대측의 기판 처리 장치로부터 그 장치의 프로 파일 정보를 수취하는 것으로 상대측의 기판 처리 장치에 관한 정보를 얻을 수 있으므로 상대측의 기판 처리 장치와 제휴해 기판에 대해서 일련의 처리를 실시하는 인 라인 처리에 있어서 상대측의 기판 처리 장치와의 정합을 취하기 위한 적절한 소프트웨어 파일을 선택할 수가 있다.

또 본 발명과 관련되는 제 4의 관점에 의하면 피처리체에 대해서 인 라인 처리를 행하는 제 1의 처리 장치 및 제 2의 처리 장치로 이루어지는 기판 처리 시스템으로서 상기 제 1의 처리 장치는 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와의 정보통신의 접속 확인을 행하는 접속 상태 확인부와; 상기 제 2의 처리 장치에 대해 상기 제 2의 처리 장치에 관한 프로 파일 정보의 인도를 요구하여 상기 프로 파일 정보를 수취하는 정보 취득부와 ; 상기 프로 파일 정보에 대응해 사용하는 소프트웨어 파일을 선택하는 파일 선택부를 갖고 이들을 차례차례 실행하기 위한 프로그램을 기억하는 제 1의 기억 수단과; 상기 제 1의 기억 수단에 기억된 프로그램을 실행하기 위한 제어 수단을 가지는 접속 설정부를 갖추는 기판 처리 시스템이 제공된다.

이러한 기판 처리 시스템에 의하면 인 라인 접속된 제 1의 처리 장치 및 제 2의 처리 장치는 상대측의 처리 장치로부터 그 장치의 프로 파일 정보를 수취하는 것으로 상대측의 처리장치에 관한 정보를 얻을 수 있으므로 상대측의 처리 장치와 제휴해 기판에 대해서 일련의 처리를 실시하는 인 라인 처리에 있어서 상대측의 처리 장치와의 정합을 취하기 위한 적절한 소프트웨어 파일을 선택할 수가 있다.

이하 첨부 도면을 참조해 본 발명의 실시의 형태에 대해서 설명한다.

도 1은 예를 들면 반도체나 액정 디스플레이등의 전자 디바이스 제조 공정의 포트리소그래피 공정에 있어서 사용되는 복수의 패턴 형성 시스템과 호스트 컴퓨터와의 관계를 나타내는 블럭도이다.

도 1에 나타나는 바와 같이 패턴 형성 시스템(100)은 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)를 가지고 있어 이들은 반송 라인(33, 도 2에 나타내는 인터페이스부(80)에 해당)에 의해 피처리체인 웨이퍼(기판)의 반송이 확보되도록 배치되는 것과 동시에 통신 경로(35)에 의해 서로 접속되고 있다.

또 복수의 패턴 형성 시스템(1OO, 도 1에서는 4개의 패턴 형성 장치를 도시)은 예를 들면 이서네트(등록상표) 등에 의한 LAN(Local Area Network)를 형성하는 LAN 케이블(34)에 각각 접속되고 있다. 구체적으로는 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)의 각각이 LAN 케이블(34)에 접속되고 LAN 케이블(34)에는 호스트 컴퓨터(45)가 접속되고 있다.

이 호스트 컴퓨터(45)는 이 LAN을 개입시켜 복수의 패턴 형성 시스템(100)의 동작 제어를 실시한다. 예를 들면 각각의 패턴 형성 시스템(100)에 대해서 피처리체인 웨이퍼로의 처리 레시피를 지정하고 처리 개시 명령을 발표한다.

각 패턴 형성 시스템(100)은 도 2에 나타나는 바와 같이 웨이퍼(W)로의 레지스트 도포 및 노광 후의 현상을 실시하는 도포 현상 장치(1)와 웨이퍼(W)에 도포된 레지스트를 노광하는 노광 장치(20)을 가지고 있어 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)는 인 라인 접속되고 있다.

이 도포 현상 장치(1)는 복수매의 웨이퍼(W)를 수납한 카셋트(CS)가 반입출되는 반입출부(60)와 웨이퍼(W)에 레지스트를 도포하고 또한 노광 후에 현상을 행하는 도포 현상부(70)와 도포 현상부(70) 노광 장치(20)의 사이에 웨이퍼(W)의 인도를 행하는 인터페이스부(80)로 구성되고 있다.

반입출부(60)는 카셋트(CS)와 도포 현상부(70)의 사이에 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 기구(61)를 갖추고 있다.

도포 현상부(70)는 웨이퍼(W)에 레지스트를 도포하는 2개의 도포 유니트(76)와 노광한 웨이퍼를 현상 하는 2개의 현상 유니트(77)와 소수화 처리 가열 처리 냉각 처리등을 이루는 복수의 처리 유니트를 상하로 중복되어 구성된 2개의 처리 유니트 타워(71,73)를 갖추고 있다. 또한 파선으로 나타낸 처리 유니트 타워(75)를 설치할 수도 있고 처리 유니트 타워(75)를 설치하는 경우에는 안내 레일(74)을 따라 이동 자유롭게 된다.

1개의 도포 유니트(76)와 1개의 현상 유니트(77)라는 것은 도포 유니트(76)을 아래로 하여 2단으로 중복되어 있고 다른 도포 유니트(76)와 다른 현상 유니트(77)도 동일하게 2단으로 중복되어 있다.

도포 현상부(70)는 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 기구(72)를 구비하고 이 반송 기구(72)의 주위에 도포 유니트(76) ; 현상 유니트(77) ; 처리 유니트 타워(71; 73)가 배치되고 있다. 그리고 이 반송 기구(72)에 의해 도포 유니트(76) ; 현상 유니트(77) ; 처리 유니트 타워(71, 73)의 각 처리 유니트에 대한 웨이퍼(W) 인도를 한다.

이 반송 기구(72)는 도시하지 않는 구동 기구에 의해 예를 들면 승강 자유롭게 전후에 이동 자유롭게 또한 수직축 주위로 회전 자유롭게 구성되고 있다.

인터페이스부(80)는 웨이퍼(W)의 주변부만을 노광하는 주변 노광 장치(81)와 웨이퍼(W)를 일시적으로 재치하는 재치부(83)와 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 기구(82)를 갖추고 있다. 반송 기구(82)는 재치부(83); 주변 노광 장치(81)에 대한 웨이퍼(W)의 인도 도포 현상부(70) 사이 및 노광 장치(20) 사이의 웨이퍼(W)의 인도를 실시한다. 재치부(83)는 예를 들면 버퍼용의 보지 선반을 2단으로 쌓는 것으로 구성되고 있다.

노광 장치(20)는 노광전의 웨이퍼(W)를 재치 하는 처리 전스테이지(91)와 노광을 행하는 진공실(95)과 노광용의 전자총(94)과 노광 후의 웨이퍼(W)를 재치 하는 처리 후 스테이지(92)와 각 스테이지(91,92)와 진공실(95) 사이에 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 암(93)을 갖추고 있다.

또한 반입출부(60)와 도포 현상부(70) 사이의 웨이퍼(W)의 인수· 인도 및 도포 현상부(70)와 인터페이스부(80)의 사이의 웨이퍼(W)의 인수·인도는 처리 유니트 타워(71 및 73)에 각각 설치된 인수·인도 유니트를 개입시켜 행해진다.

이상과 같이 구성된 패턴 형성 시스템(100)에 있어서의 웨이퍼(W)의 인 라인 처리는 다음과 같이 행해진다.

먼저 외부로부터 웨이퍼(W)가 수납된 웨이퍼 카셋트(CS)가 반입출부(60)에 배치되어 거기서 반송 기구(61)에 의해 카셋트(CS)내로부터 웨이퍼(W)가 꺼내진다. 그 웨이퍼(W)는 처리 유니트 타워(71)의 인수·인도 유니트에 반송된다. 인수·인도 유니트에 놓여진 웨이퍼(W)는 반송 기구(72)에 의해 처리 유니트 타워(71)내의 소수화 처리 유니트에 반송되어 거기서 소수화 처리된다. 그 다음에 웨이퍼(W)는 도포 유니트(76)에 반송되어 거기서 레지스트액을 도포하여 레지스트막이 형성된다. 그 후 웨이퍼(W)는 처리 유니트 타워(71)내의 가열 유니트에 있어서 프리 베이크 처리된 후 반송 기구(72)에 의해 처리 유니트 타워(73)의 인수·인도 유니트에 반송되어 반송 기구(82)에 의해 인터페이스부(80)에 반송된다.

인터페이스부(80)에 보내진 웨이퍼(W)는 재치부(83)의 보지 선반에 일단 수납되어 거기서 노광 장치(20)내의 환경 온도와 동일한 온도로 설정된 후 노광 장치(20)에 보내진다.

노광 장치(20)에 의한 노광 후 웨이퍼(W)는 다시 인터페이스부(80)에 되돌려져 주변 노광 장치(81)에서 그 주변부만을 노광한 후 현상 유니트(77)에 공간이 없는 경우에는 일단 재치부(83)에 수납된다.

그 후 웨이퍼(W)는 반송 기구(82)에 의해 처리 유니트 타워(73)내의 인수·인도 유니트로 반송되어 반송 기구(72)에 의해 처리 유니트 타워(71 혹은 73)내의 가열 유니트에 반송되어 거기서 포스트 익스포져 베이크 처리되고 또한 처리 유니트 타워(71 혹은 73)내의 냉각 유니트로 냉각된다. 냉각 후 웨이퍼(W)는 현상 유니트(77)에서 현상 처리된다. 그 후 필요에 따라서 처리 유니트 타워(71 또는 73)의 가열 유니트로 포스트베이크 처리되어 냉각 유니트로 냉각된다. 그 후 웨이퍼(W)는 반송 기구(72)에 의해 처리 유니트 타워(71)내의 인수·인도 유니트에 반송되어 반송 기구(61)에 의해 반입출부(60)의 카셋트(CS)내에 되돌려진다.

이 패턴 형성 시스템(100)에 있어서는 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)의 환경 온도가 자동적으로 조정되어 피처리체인 웨이퍼(W)의 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)간에 있어서의 인도 타이밍도 조정되어 원활히 행해지도록 되고 있다.

즉 도포 현상 장치와 노광 장치는 상호의 동작 정합이 필요하기 때문에 본 실시의 형태에서는 후술과 같은 제어계에 의해 예를 들면 도포 현상 장치 측에 있어서 노광 장치의 소프트웨어 체계에 맞추어 내부 소프트웨어에 관한 각종 설정이 이루어진다.

도 3은 도 1 및 도 2에 나타난 패턴 형성 시스템(100)을 구성하는 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)에 있어서의 제어계의 구성예를 나타내는 블럭도이다.

도 3에 나타나는 바와 같이 제 1의 처리 장치이고 인 라인 접속 설정 장치(기판 처리 장치)인 도포 현상 장치(1)는 제어계의 하드웨어로서 내부의 전체 제어를 행하는 동작 제어의 요점이 되는 중앙 처리 유니트(2)를 갖춘다. 그리고 이 중앙 처리 유니트(2)에 다른 제어계 하드웨어로서 조작부(10)와 제 1 기억 수단인 불휘발성의 보조 기억부(11)와 제 2 기억 수단이고 일시적으로 정보의 독출 및 기입을 행하는 주기억부(12)와 기계적 동작의 제어를 행하는 기계 제어부(13)와 정보통신을 행하기 위한 통신 인터페이스(15 ; 16)가 접속되고 있다. 또 기계 제어부(13)에는 웨이퍼 반입출을 행하기 위한 입출력 포트(14)가 접속되고 있다.

중앙 처리 유니트(2)는 CPU(3)와 특정용도 전용 IC(4)를 구비하고 IC(4)는 접속 검출부(5); 처리 지령부(6); 레시피 선택부(7); 근황 보고부(8); 통신 제어부(9)로 구성되고 있다.

접속 검출부(5)는 노광 장치(20)와의 통신케이블에서의 접속을 검출하는 기능을 갖추고 있다. 또 처리 지령부(6)는 호스트 컴퓨터(45)로부터의 처리 지시 예를 들면 처리 개시 지시나 웨이퍼의 로트 교체 지시 등에 기초를 두어 도포 현상 장치(1)에 대해서 지령을 출력 하는 등의 기능을 갖추고 있다.

레시피 선택부(7)는 호스트 컴퓨터(45)로부터 보내지는 식별 코드에 근거해 보조 기억부(11)에 기억되고 있는 레시피군중에서 대응하는 처리 레시피를 선택하는 기능을 갖추고 있다. 이 처리 레시피라는 것은 피처리 기판인 웨이퍼를 처리하는 프로그램 소프트웨어이고 예를 들면 도포 현상 장치(1)에 있어서 사용하는 레지스트액이나 현상액의 종류 처리 시간등의 여러가지 조건이 결정되어진 것이고 그들 여러 가지의 조합에 의해 복수종류가 준비되고 레시피군을 이루고 있다.

또 상기 근황 보고부(8)는 주기억부(12)에 일시 기억된 처리 상황 보고나 처리 결과 보고 또는 고장 정보등의 도포 현상 장치(1)의 정보를 호스트 컴퓨터(45) 및 노광 장치(20)에 보고하는 기능을 가지고 있다.

통신 제어부(9)는 통신 인터페이스(15 , 16)를 개입시켜 노광 장치(20) 및 호스트 컴퓨터(45)와의 통신 제어를 행하는 기능을 갖추고 있다.

한편 제 2의 처리 장치이고 도포 현상 장치(1)의 상대측 장치인 노광 장치(20 ,기판 처리 장치)는 제어계의 하드웨어로서 노광 장치(20)의 동작 제어의 요점이 되는 중앙 처리 유니트(21)를 갖춘다. 그리고 이 중앙 처리 유니트(21)에 다른 제어계 하드웨어로서 불휘발성의 보조 기억부(28)와 일시적으로 정보의 독출 및 기입을 행하기 위한 주기억부(29)와 노광 장치(20) 내부의 기계적 동작의 제어를 행하기 위한 기계 제어부(30)와 정보통신을 행하기 위한 통신 인터페이스(32 ; 33)가 접속되고 있다. 또 상기 기계 제어부(30)에 웨이퍼 반입출을 행하기 위한 입출력 포트(31)가 접속되고 있다.

중앙 처리 유니트(21)는 CPU(22)와 특정용도 전용 IC(23)를 갖추고 이 IC(23)는 처리 지령부(24) ;레시피 선택부(25) ;근황 보고부(26) ; 통신 제어부(27)로 구성되고 있다.

처리 지령부(24)는 호스트 컴퓨터(45)로부터의 처리 지시에 근거해 노광 장치(20)에 대해서 지령을 출력 하는 기능을 갖추고 있다.

레시피 선택부(25)는 호스트 컴퓨터(45)로부터 보내지는 식별 코드에 근거해 보조 기억부(28)에 기억되고 있는 레시피군중에서 대응하는 처리 레시피를 선택하는 기능을 갖추고 있다. 또한 노광 장치(20)에 있어서의 처리 레시피에는 예를 들면 목표 종별이나 노광 시간 노광량이 결정되어 있다.

근황 보고부(26)는 주기억부(29)에 기억된 처리 형상 황 보고나 고장 정보등의 노광 장치(20)의 정보를 호스트 컴퓨터(45) 및 도포 현상 장치(1)에 보고하는 기능을 가지고 있다.

통신 제어부(27)는 통신 인터페이스(32, 33)를 개입시켜 도포 현상 장치(1)및 호스트 컴퓨터(45)와의 통신 제어를 행하는 기능을 갖추고 있다.

도포 현상 장치(1)의 통신 인터페이스(15)와 노광 장치(20)의 통신 인터페이스(32)라는 것은 8 핀의 패러렐 케이블(P)에 의해 접속되어 통신 경로(35)를 형성하고 있다. 상술한 것처럼 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)는 각각 LAN 케이블(34)에 접속되지만 각각 통신 인터페이스(16,33)를 개입시켜 접속되어 LAN상에 통신 경로(36)를 형성하고 있다.

이와 같이 구성된 패턴 형성 시스템(100)에 있어서는 가동 개시시(전원 ON시)에 있어서 다음과 같이 동작한다.

먼저 도포 현상 장치(1) 및 노광 장치(20)가 모두 전원 투입된 상태가 되면도포 현상 장치(1)의 중앙 처리 유니트(2)에 있어서 접속 검출부(5)가 노광 장치(20)와의 하드웨어상의 접속을 검출한다. 즉 도포 현상 장치(1)의 통신 인터페이스(15)와 노광 장치(20)의 통신 인터페이스(32)가 통신케이블인 패러렐 케이블(P)에 의해 1대 1 접속되고 있는 것을 검출한다.

그 다음에 도포 현상 장치(1)에 있어서 노광 장치(20)와의 소프트웨어상의 인 라인 접속 설정이 LAN상의 통신 경로(36)를 개입시킨 정보 교환에 따라서 자동적으로 행해진다. 또한 이 소프트웨어상의 접속 설정은 본 발명의 특징에 관련되는 점이고 상세하게는 후술 한다.

도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)의 접속 설정이 행해진 후 도포 현상 장치(1)의 레시피 선택부(7)는 호스트 컴퓨터(45, 도 1 참조)의 지령에 따라 보조 기억부(11)에 기억된 처리 레시피군중에서 대응하는 처리 레시피를 선택한다.

선택된 처리 레시피는 고속으로 정보의 기입 및 독출이 가능한 주기억부(12)에 일단 읽힌다. 처리 지령부(6)는 노광 장치(20)와 제휴하면서 주기억부(12)상의 처리 레시피에 따라서 기계 제어부(13)등에 지령해 피처리체인 웨이퍼에 대한 처리가 실행된다.

한편 노광 장치(20)에 있어서도 호스트 컴퓨터(45)의 지령에 따라 레시피 선택부(25)가 보조 기억부(28)에 기억된 처리 레시피군중에서 대응하는 처리 레시피를 선택한다. 선택된 처리 레시피는 고속으로 정보의 기입 및 독출이 가능한 주기억부(29)에 일단 읽힌다. 처리 지령부(24)는 도포 현상 장치(1)와 제휴하면서 주기억부(29)상의 처리 레시피에 따라서 기계 제어부(30)등에 지령해 피처리체인 웨이퍼에 대한 노광 처리가 실행된다.

이어서 도포 현상 장치(1)에 있어서의 노광 장치(20)와의 소프트웨어상의 인 라인 접속 설정에 대해서 설명한다.

도 4는 도포 현상 장치(1)의 보조 기억부(11)의 일부 기억 요소를 나타낸 것이다. 도 5는 도포 현상 장치(1)에 있어서의 소프트웨어 프로그램의 실행 플로우이고 도 6은 접속 설정 프로그램의 구성 모듈을 나타내고 있다. 또 도 7은 보조 기억부(11)에 데이터로서 기억되고 있는 코드 테이블예이고 ;도 8A 및 도 8B는 각각 A사 및 B사의 노광 장치의 핀 할당 테이블예이고 ; 도 9는 접속 설정 프로그램의 처리 플로우를 나타내고 있다.

도포 현상 장치(1)의 보조 기억부(11)에는 도 4에 나타나는 바와 같이 적어도 접속 설정 프로그램(40); 코드 테이블(41) ; 처리 레시피군(42) ; 하드 정의 파일군(43) ; 인터페이스 파일군(44)이 기억되고 있다.

접속 설정 프로그램(40)은 도포 현상 장치(1)에 있어서의 노광 장치(20)와의 소프트웨어상의 접속 설정을 자동적으로 행하기 위한 프로그램이다. 또 처리 레시피군(42)은 복수의 처리 레시피에 의해 구성되고 있다.

코드 테이블(41)은 도 7에 나타나는 바와 같이 메이커명 ; 형식 ; 소프트웨어 버젼의 조합을 종별 코드에 대응해 나타낸 것이다.

하드 정의 파일군(43)은 상기 종별 코드에 대응해 통신케이블(P, 도 3 참조)에 있어서의 커넥터 핀 할당 정보가 기재되어 선택된 처리 레시피중에서 사용되는 복수종류의 파일로 구성되고 있다.

하드 정의 파일군(43)에는 커넥터 핀의 할당 정보로서 도 8A 및 8B에 예시되는바와 같이 상대측의 노광 장치의 메이커 A ; 메이커 B등의 개개의 메이커마다 통신케이블에 있어서의 「커넥터 핀」의 핀 번호에 할당할 수 있었던 신호명 기능 이 격납되고 있다.

인터페이스 파일군(44)은 상기 종별 코드에 대응해 선택된 처리 레시피의 프로그램중에 있어서 사용되는 복수종류의 인터페이스 파일로 구성되어 있다. 또한 이 인터페이스 파일은 선택된 처리 레시피의 프로그램에 있어서 사용되는 하드 정의 파일과 처리 레시피의 인터페이스부가 되는 소프트웨어 파일이다.

이 인 라인 접속 설정은 도 5에 나타나는 바와 같이 도포 현상 장치(1)에 있어서 먼저 접속되고 있는 노광 장치(20)와의 인 라인 처리를 원활히 행하기 위해서접속 설정 프로그램(40)이 실행된다(스텝 S1). 이것은 보조 기억부(11)에 기억되고 있는 접속 설정 프로그램(40)이 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)의 전원 투입 후에 기동됨으로써 실현된다.

접속 설정 프로그램(40)의 실행에 의해 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)의 정합이 취해져 그 후 호스트 컴퓨터(45)에 의해 지정되고 선택된 처리 레시피가 레시피 선택부(7)에 의해 선택되어 그 선택 레시피 프로그램이 실행되어 피처리체인 웨이퍼에 대해서 소정의 처리가 실시된다(스텝 S2).

상술한 접속 설정 프로그램(40)에 대해서 또한 상세하게 설명한다. 접속 설정 프로그램(40)에는 도 6에 나타나는 바와 같이 서브 프로그램으로서 적어도 접속 상태확인부(40a)와 정보 취득부(40b)와 파일 선택부(40c)가 포함된다. 또 파일 선택부(40c)는 하드 정의 파일 선택부(40d)와 인터페이스 파일 선택부(40e)로 구성된다.

접속 상태확인부(40a)는 LAN상에 형성된 통신 경로(36)를 개입시켜 노광 장치(20)와의 통신이 가능한 상태인지를 확인해 통신 가능하면 통신 가능 상태를 확립하는 기능(프로그램)을 갖추고 있다.

정보 취득부(40b)는 상기 통신 경로(36)를 개입시켜 노광 장치(20)의 근황 보고부(26)등으로부터 노광 장치(20)측의 프로 파일 정보를 취득하는 기능(프로그램)을 갖추고 있다. 이 프로 파일 정보에는 노광 장치(20)의 메이커 형식 소프트웨어 버젼등의 정보나 노광 장치(20)에 이상이 있는지 없는지의 정보등이 포함되어 있다.

하드 정의 파일 선택부(40d)는 정보 취득부(40b)가 취득한 프로 파일 정보로부터 대응하는 종별 코드를 산출해 그 종별 코드에 대응하는 하드 정의 파일을 보조 기억부(11)에 기억되고 있는 하드 정의 파일군(43)중에서 선택하는 기능(프로그램) 을 갖추고 있다.

인터페이스 파일 선택부(40e)는 상기 종별 코드에 대응하는 인터페이스 파일을 보조 기억부(11)에 기억된 인터페이스 파일군(44)중에서 선택하는 기능(프로그램)을 갖추고 있다.

다음에 도 9를 이용해 접속 설정 프로그램(40)의 실행시 동작에 대해서 설명한다. 또한 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)가 LAN상에 형성된 통신 경로(36)를 이용해 행하는 정보통신은 공통으로 규정된 프로토콜에 따라서 행해지는 것으로 한다.

먼저 도포 현상 장치(1)와 노광 장치(20)의 전원이 투입되어 중앙 처리 유니트(2)의 접속 검출부(5)가 노광 장치(20)과의 접속을 검출하면(자) 접속 설정 프로그램(40)은 고속으로 데이터의 기입 및 독출이 가능한 주기억부(12)에 읽혀 기동된다.

프로그램 기동 후 접속 상태확인부(40a)는 노광 장치(20)에 대해 LAN상에 형성된 통신 경로(36)를 개입시켜 문의 신호를 발행한다(스텝 S11). 이것에 대해서 노광 장치(20)측으로부터 정상적인 응답 신호가 되돌아 왔다면 정상적으로 접속되고 있다고 판단해(스텝 S12) 다음 스텝으로 진행된다. 만약 여기서 노광 장치(20)측으로부터 정상적인 응답 신호가 없는 경우에는(스텝 S12) 다시 노광 장치(20)에 대해서 문의를 반복해 정상적인 응답이 없는 동안 도포 현상 장치(1)는 대기 상태가 되고 있다.

노광 장치(20)와의 접속이 확인되면 노광 장치(20)에 대해 정보 취득부(40b)는 프로 파일 정보 요구 커멘드를 발행한다(스텝 S13). 여기서 노광 장치(20)로부터는 LAN상의 통신 경로(36)를 개입시켜 노광 장치(20)의 메이커명 ; 형식 소프트웨어 버젼등의 정보나 노광 장치(20)에 이상이 있는지 없는지의 정보등이 프로 파일 정보로서 정보 취득부(40b)에 되돌려진다.

이들 프로 파일 정보로부터 노광 장치(20)에 이상이 없다고 판단하면(스텝 S14) 하드 정의 파일 선택 설정을 행한다(스텝 S18).

이 하드 정의 파일 선택 설정에서는 하드 정의 파일 선택부(40d)가 스텝 S13 에 있어서 정보 취득부(40b)가 취득한 프로 파일 정보로부터 코드 테이블(41)을 이용해 대응하는 종별 코드를 산출해 그 종별 코드에 대응하는 하드 정의 파일을 보조 기억부(11)에 기억되고 있는 하드 정의 파일군(43)중에서 선택한다. 실제로는 처리 레시피의 실행중에 사용되는 하드 정의 파일의 독출 주소가 결정된다.

그 다음에 이 하드 정의 파일 선택 설정에 이어서 인터페이스 파일의 선택 설정을 한다(스텝 S19). 인터페이스 파일의 선택 설정 에 있어서는 인터페이스 파일 선택부 40 e가 상기 종별 코드 및 상기 선택된 하드 정의 파일에 대응하는 인터페이스 파일을 보조 기억부(11)에 기억된 인터페이스 파일군(44)중에서 선택한다. 실제로는 처리 레시피의 실행중에 사용되는 인터페이스 파일의 독출 주소가 결정된다.

한편 상기 스텝 S14 에 있어서 노광 장치(20)가 이상 상태으로 판단되면 이 리포트로부터 또 수복 가능한지가 판단된다(스텝 S15). 여기서 수복 가능하지 않다고 판단되면 가동 정지 명령을 처리 지령부(6)에 발행하고(스텝 S17) 도포 현상 장치(1)의 가동을 정지해(전원을 OFF 해) 종료한다.

또 스텝 S15 에 있어서 수복 가능하다고 판단되었을 경우에는 소정 시간 대기 후(스텝 S16) 다시 스텝 S13로 돌아가 노광 장치(20)의 정보 취득을 요구한다.

또한 상기 한 것처럼 이 접속 설정 프로그램 종료후 선택된 처리 레시피가 실행되지만 처리 레시피 프로그램; 선택된 하드 정의 파일 ; 선택된 인터페이스 파일이 주기억부(12)에 읽혀 실행된다. 이 때 처리 레시피프로그램은 선택된 하드 정의 파일 및 인터페이스 파일을 이용하면서 실행된다.

또 처리 레시피 프로그램 실행중에 있어서도 정기적으로 노광 장치(20)로부터 프로 파일 정보의 인수 ·인도를 요구함으로써(도 9의 스텝 S13) 노광 장치의 근황을 파악해 변경이나 이상이 있는 경우에는 가동 정지(전원 OFF) 등의 적절한 대처를 행하도록 해도 괜찮다.

이상과 같이 본 발명에 관한 일실시 형태에 있어서는 인 라인 접속된 상대측 장치로부터 프로 파일 정보를 취득해 그 프로 파일 정보에 대응해 인 라인 접속에 있어서의 설정을 자동적으로 행하기 때문에 상대측 장치로 변경이 있었을 경우에도 자동적으로 대처할 수가 있다. 즉 인위적 미스를 저감 해 제품 비율의 저하를 막을 수가 있다.

또 인 라인 접속된 상대측 장치에 이상이 발생했을 경우에는 상대측 장치로부터 이상 정보를 받아 적절한 대처를 할 수가 있어 사고등을 미연에 방지할 수가 있다.

또한 가동중에 도포 현상 장치(1) 혹은 상대측 장치에 이상이 발생했을 경우의 대책으로서 상기 보조 기억부(11)에 트래블 리커버(복귀 처리)의 프로그램 및 이상의 종류 상대측 장치의 종류에 따른 시나리오(순서) 파일을 준비해도 괜찮다.

이것에 의해 이상 발생시에 상기 트러블 리커버리의 프로그램이 자동적으로 동작해 상기 시나리오 파일을 참조해 적절한 회복 처리를 행할 수가 있다. 이 경우 시나리오 파일은 도포 현상 장치(1)와 상대측 장치의 동작을 동기 시키기 위해서(때문에) 같은 파일을 서로의 장치에 미리 준비하는 것이 바램직하다.

덧붙여 상기 한 일실시 형태에 있어서는 도포 현상 장치(1)내의 보조 기억부(11)를 1개의 불휘발성의 기억부로 했지만 이것을 복수로 나누어도 괜찮다. 또 보조 기억부(11)에 기억되고 있는 접속 설정 프로그램(40)에 의한 공정을 포함한 방법을 하드웨어화에 의해 실현되어도 괜찮다. 또한 상기 일실시의 형태에 있어서는 도포 현상 장치(1)를 제 1의 처리 장치 및 인 라인 접속 설정 장치로 했지만 노광 장치(20)를 제 1의 처리 장치 및 인 라인 접속 설정 장치로 하여도 좋다. 또한 인 라인 접속 장치를 도포 현상 장치와 노광 장치로 한정할 것은 없고 인 라인 접속 장치이면 다른 장치에도 본 발명의 인 라인 접속 설정 방법 및 장치를 적용할 수가 있다.

이상의 설명으로 밝혀진바와 같이 본 발명에 의하면 인 라인 접속 상대측 장치 본체나 상대측 장치의 내부 소프트웨어로 변경이 있는 경우에 자동적으로 접속 상대측 장치에 대응한 내부 소프트 웨이퍼의 설정 작업을 실시할 수가 있다. 또 접속 상대측 장치에 악조건이 발생했을 경우에 자동적으로 적절한 대처를 행할 수가 있다.

또한 본 발명은 웨이퍼등의 기판에 한정하지 않고 액정 디스플레이 플라스마 디스플레이등의 평판 디스플레이에 있어서의 기판등의 인 라인 처리에도 넓게 적용할 수 있다.

Claims (33)

1. 피처리체에 대해서 인 라인 처리를 행하는 장치간의 접속 설정을 자동적으로 행하는 인 라인 접속 설정 방법으로서,

   제 1의 처리 장치가 상기 제 1의 처리 장치에 인 라인 접속된 제 2의 처리 장치에 대해 상기 제 2의 처리 장치에 관한 정보인 프로 파일 정보의 인수·인도를 요구하는 공정과,

   상기 제 1의 처리 장치가 상기 제 2의 처리 장치로부터 상기 프로 파일 정보를 수취하는 공정과,

   상기 제 1의 처리 장치가 상기 프로 파일 정보에 대응해 상기 제 1의 처리 장치에 있어서 사용하는 소프트웨어 파일을 선택하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 방법.
2. 청구항 1의 인 라인 접속 설정 방법에 있어서,

   상기 제 1의 처리 장치는 LAN내에 형성된 통신 경로를 개입시켜 상기 제 2의 처리 장치와 직접 통신함으로써 상기 프로 파일 정보를 수취하는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 방법.
3. 청구항 1의 인 라인 접속 설정 방법에 있어서,

   상기 프로 파일 정보에는 상기 제 2의 처리 장치의 메이커 정보와 형식 정보와 상기 제 2의 처리 장치에 있어서 사용되는 소프트웨어의 버젼 정보가 적은것도 포함되는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 방법.
4. 청구항 1의 인 라인 접속 설정 방법에 있어서,

   상기 프로 파일 정보에는 상기 제 2의 처리 장치가 정상 상태인지 아닌지의 정보가 포함되는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 방법.
5. 청구항 1의 인 라인 접속 설정 방법에 있어서,

   상기 제 1의 처리 장치는 상기 제 2의 처리 장치와 통신케이블에 의해 1대 1 접속되어 상기 통신케이블의 커넥터 핀 할당 정보인 복수종류의 하드 정의 파일을 갖고,

   상기 프로파일 정보에 대응하여 상기 복수종류의 하드 정의 파일안에서 상기 제 1 처리장치에서 사용하는 하드 정의 파일을 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 방법.
6. 청구항 5의 인 라인 접속 설정 방법에 있어서,

   상기 제 1의 처리 장치는 피처리체를 처리하기 위한 소프트웨어와 복수종류의 인터페이스 파일을 더 갖고,

   상기 선택된 하드 정의 파일에 대응해 상기 복수종류의 인터페이스 파일중에서 상기 제 1의 처리 장치로 사용하는 인터페이스 파일을 선택하는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 방법.
7. 청구항 1의 인 라인 접속 설정 방법에 있어서,

   상기 제 1의 처리 장치는 상기 제 2의 처리 장치에 대해 소정 시간마다 상기 프로 파일 정보의 인도를 요구하는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 방법.
8. 피처리체에 대해서 인 라인 처리를 행하는 제 1의 처리 장치에 대한 제 2의 처리 장치의 접속 설정을 자동적으로 행하는 인 라인 접속 설정 장치로서,

   상기 제 1의 처리 장치에 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와의 정보통신의 접속 확인을 행하는 접속 상태확인부와 상기 제 2의 처리 장치에 대해 상기 제 2의 처리 장치에 관한 프로 파일 정보의 인수·인도를 요구하여 상기 프로 파일 정보를 수취하는 정보 취득부와; 상기 프로 파일 정보에 대응해 사용하는 소프트웨어 파일을 선택하는 파일 선택부를 갖고 이들을 차례차례 실행하기 위한 프로그램을 기억하는 제 1의 기억 수단과,

   상기 제 1의 기억 수단에 기억된 프로그램을 실행하기 위한 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 장치.
9. 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,

   상기 제 1의 처리 장치는 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와는 통신케이블에 의해 1대 1 접속되고,

   상기 제 1의 기억 수단은 상기 통신케이블의 커넥터 핀 할당 정보인 복수종류의 하드 정의 파일을 기억하고 있는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 장치.
10. 청구항 9의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,

    상기 파일 선택부는 하드 정의 파일 선택부를 갖고,

    상기 하드 정의 파일 선택부는 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 사용하는 하드 정의 파일을 선택하는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 장치.
11. 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,

    상기 제 1의 기억 수단은 피처리체를 처리하기 위한 소프트웨어와 상기 복수종류의 하드 정의 파일과 복수종류의 인터페이스 파일을 기억하고 있는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 장치.
12. 청구항 11의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,

    상기 파일 선택부는 하드 정의 파일 선택부와 인터페이스 파일 선택부를 갖고,

    상기 하드 정의 파일 선택부는 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 사용하는 하드 정의 파일을 선택하고,

    상기 인터페이스 파일 선택부는 상기 복수종류의 인터페이스 파일중에서 사용하는 인터페이스 파일을 선택하는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 장치.
13. 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,

    상기 정보 취득부는 LAN내에 형성된 통신 경로를 개입시켜 상기 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와 직접 통신함으로써 상기 프로 파일 정보를 수취하는것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 장치.
14. 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,

    상기 프로 파일 정보는 적어도 상기 제 2의 처리 장치의 메이커 정보와 형식 정보와 상기 제 2의 처리 장치에 있어서 사용되는 소프트웨어의 버젼 정보를 포함하고,

    상기 인 라인 접속 설정 장치는 수취한 상기 프로 파일 정보를 기억하기 위한 제 2의 기억 수단을 더 갖추는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 장치.
15. 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,

    상기 프로 파일 정보는 상기 제 2의 처리 장치가 정상 상태에 있는지 아닌지의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 장치.
16. 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,

    상기 제 1의 처리 장치는 레지스트 도포·현상 장치이고 상기 제 2의 처리 장치는 노광 장치인 것을 특징으로 하는 인 라인 접속 설정 장치.
17. 상대측 장치와 협동하여 기판에 대해서 인 라인 처리를 실시하는 기판 처리 장치로서,

    상기 기판에 대해서 인 라인 처리를 실시하는 처리부와,

    상기 처리부와 상대측 장치의 사이에 상기 기판의 인수 ·인도를 실시하는 기판 인도 기구와,

    상대측 장치와의 사이에 상기 기판에 대한 상기 인 라인 처리를 행하기 위한 정보통신을 실시하는 제 1의 통신 인터페이스와,

    상대측 장치와의 사이에 소프트웨어 정보의 통신을 실시하는 제 2의 통신 인터페이스와,

    상대측 장치로부터 제 2의 통신 인터페이스를 경유하여 취득한 상기 프로파일 정보에 대응하여 해당 상대측 장치에 관한 프로 파일 정보를 취득하는 정보 취득 수단과 자체 장치의 동작을 제어하기 위한 복수의 소프트웨어 파일을 기억하는 소프트웨어 파일 기억 수단과,

    상대측 장치로부터 상기 제 2의 통신 인터페이스를 경유해 취득한 상기 프로 파일 정보에 대응해 상기 소프트웨어 파일 기억 수단으로부터 자체 장치의 동작을 제어하는 소프트웨어 파일을 선택하는 파일 선택 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
18. 청구항 17의 기판 처리 장치에 있어서,

    상기 제 2의 통신 인터페이스는 상기 상대측 장치가 대응하는 인터페이스와 LAN 접속되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
19. 청구항 17의 기판 처리 장치에 있어서,

    상기 프로 파일 정보에는 상기 상대측의 기판 처리 장치의 메이커 정보와 형식 정보와 상기 상대측의 기판 처리 장치에 있어서 사용되는 소프트웨어의 버젼 정보가 적어도 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
20. 청구항 17의 기판 처리 장치에 있어서,

    상기 프로 파일 정보에는 상기 상대측의 기판 처리 장치가 정상 상태인지 아닌지의 정보가 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
21. 청구항 17의 기판 처리 장치에 있어서,

    상기 제 1의 통신 인터페이스는 상기 상대측 장치의 대응하는 인터페이스와 통신케이블에 의해 1대 1 접속되고 상기 소프트웨어 파일 기억 수단은 상기 통신케이블의 커넥터 핀 할당 정보인 복수종류의 하드 정의 파일을 갖고,

    상기 파일 선택 수단은 상기 프로 파일 정보에 대응해 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 상기 기판 처리 장치로 사용하는 하드 정의 파일을 선택하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
22. 청구항 21의 기판 처리 장치에 있어서,

    상기 소프트웨어 파일 기억 수단은 상기 기판을 처리하기 위한 소프트웨어와 복수종류의 인터페이스 파일을 더 갖고,

    상기 파일 선택 수단은 상기 선택된 하드 정의 파일에 대응해 상기 복수종류의 인터페이스 파일중에서 해당 기판 처리 장치로 사용하는 인터페이스 파일을 선택하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
23. 청구항 17의 기판 처리 장치에 있어서,

    상기 정보 취득 수단은 상기 상대측의 기판 처리 장치에 대해 소정 시간마다 상기 프로 파일 정보의 인수·인도를 요구하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
24. 청구항 17의 기판 처리 장치는 레지스트 도포·현상 장치이고 상대측 장치는 노광 장치인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
25. 피처리체에 대해서 인 라인 처리를 행하는 제 1의 처리 장치 및 제 2의 처리 장치로 이루어지는 기판 처리 시스템 으로서,

    상기 제 1의 처리 장치는,

    인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와의 정보통신의 접속 확인을 행하는 접속 상태확인부와 상기 제 2의 처리 장치에 대해 상기 제 2의 처리 장치에 관한 프로 파일 정보의 인수·인도를 요구하여 상기 프로 파일 정보를 수취하는 정보 취득부와 상기 프로 파일 정보에 대응해 사용하는 소프트웨어 파일을 선택하는 파일 선택부를 갖고 이들을 차례로 실행하기 위한 프로그램을 기억하는 제 1의 기억 수단과,

    상기 제 1의 기억 수단에 기억된 프로그램을 실행하기 위한 제어 수단을 가지는 접속 설정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
26. 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,

    상기 제 1의 처리 장치는 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와는 통신케이블에 의해 1대 1 접속되고,

    상기 제 1의 기억 수단은 상기 통신케이블의 커넥터 핀 할당 정보인 복수종류의 하드 정의 파일을 기억하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
27. 청구항 26의 기판 처리 시스템에 있어서,

    상기 파일 선택부는 하드 정의 파일 선택부를 갖고,

    상기 하드 정의 파일 선택부는 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 사용하는 하드 정의 파일을 선택하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
28. 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,

    상기 제 1의 기억 수단은 피처리체를 처리하기 위한 소프트웨어와 상기 복수종류의 하드 정의 파일과 복수종류의 인터페이스 파일을 기억하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
29. 청구항 28의 기판 처리 시스템에 있어서,

    상기 파일 선택부는 하드 정의 파일 선택부와 인터페이스 파일 선택부를 갖고,

    상기 하드 정의 파일 선택부는 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 사용하는 하드 정의 파일을 선택하고,

    상기 인터페이스 파일 선택부는 상기 복수종류의 인터페이스 파일중에서 사용하는 인터페이스 파일을 선택하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
30. 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,

    상기 정보 취득부는 LAN내에 형성된 통신 경로를 개입시켜 상기 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와 직접 통신함으로써 상기 프로 파일 정보를 수취하는것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
31. 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,

    상기 프로 파일 정보는 적어도 상기 제 2의 처리 장치의 메이커 정보와 형식 정보와 상기 제 2의 처리 장치에 있어서 사용되는 소프트웨어의 버젼 정보를 포함하고,

    상기 접속 설정부는 수취한 상기 프로 파일 정보를 기억하기 위한 제 2의 기억 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
32. 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,

    상기 프로 파일 정보는 상기 제 2의 처리 장치가 정상 상태에 있는지 아닌지의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
33. 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,

    상기 제 1의 처리 장치는 레지스트 도포·현상 장치이고 상기 제 2의 처리장 치는 노광 장치인 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.