JPH11145979A - 半導体製造装置の支援装置 - Google Patents
半導体製造装置の支援装置Info
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- JPH11145979A JPH11145979A JP9310437A JP31043797A JPH11145979A JP H11145979 A JPH11145979 A JP H11145979A JP 9310437 A JP9310437 A JP 9310437A JP 31043797 A JP31043797 A JP 31043797A JP H11145979 A JPH11145979 A JP H11145979A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】投影露光装置と同じ通信プロトコルとデータ構
造のブロックコントローラをホストコンピュータとは別
に設けて、投影露光装置の状況を詳細に監視する。 【解決手段】通信プロトコルおよびデータ構造を含む第
１の通信制御規格で動作するホストコンピュータ１１
と、第１の通信制御規格と異なる第２の通信制御規格で
動作する投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃとの間の通信をイ
ンターフェース装置２５Ａ，２５Ｂにより、論理的整合
性を持たせて通信する。インターフェース装置２５Ａ，
２５Ｂとホストコンピュータ１１が接続されるネットワ
ーク１２には、投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃと共通の通
信制御規格で動作するブロックコントローラ３１が接続
される。ブロックコントローラ３１と投影露光装置１３
Ａ〜１Ｃとの間ではデータやファイルの授受が簡単に行
える。
造のブロックコントローラをホストコンピュータとは別
に設けて、投影露光装置の状況を詳細に監視する。 【解決手段】通信プロトコルおよびデータ構造を含む第
１の通信制御規格で動作するホストコンピュータ１１
と、第１の通信制御規格と異なる第２の通信制御規格で
動作する投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃとの間の通信をイ
ンターフェース装置２５Ａ，２５Ｂにより、論理的整合
性を持たせて通信する。インターフェース装置２５Ａ，
２５Ｂとホストコンピュータ１１が接続されるネットワ
ーク１２には、投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃと共通の通
信制御規格で動作するブロックコントローラ３１が接続
される。ブロックコントローラ３１と投影露光装置１３
Ａ〜１Ｃとの間ではデータやファイルの授受が簡単に行
える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ホストコンピュー
タなどの主制御装置で統括して制御される複数の半導体
製造装置を効率よく管理する支援装置に関する。
タなどの主制御装置で統括して制御される複数の半導体
製造装置を効率よく管理する支援装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、半導体製造ラインとして、レ
チクルのパターンをウエハに塗布されたレジスト上に投
影露光する投影露光装置と、ウエハにレジストを塗布
し、露光後のウエハを現像するコータデベロッパーとを
それぞれ複数台設置し、１台のホストコンピュータでそ
れらを統括して制御するものが知られている。投影露光
装置は、レチクルを照明する照明光学系と、レチクルの
パターンの像をウエハ上に結像する投影光学系と、ウエ
ハに所定の露光量を与える露光量制御などを行う制御装
置とを有している。
チクルのパターンをウエハに塗布されたレジスト上に投
影露光する投影露光装置と、ウエハにレジストを塗布
し、露光後のウエハを現像するコータデベロッパーとを
それぞれ複数台設置し、１台のホストコンピュータでそ
れらを統括して制御するものが知られている。投影露光
装置は、レチクルを照明する照明光学系と、レチクルの
パターンの像をウエハ上に結像する投影光学系と、ウエ
ハに所定の露光量を与える露光量制御などを行う制御装
置とを有している。
【０００３】通常、ホストコンピュータはユーザが用意
し、投影露光装置はメーカが用意する。ユーザ側で構築
される半導体製造ラインには種々の投影露光装置やコー
タデベロッパーが設置され、ホストコンピュータは複数
の投影露光装置とコータデベロッパーを統括して制御す
るように構成されている。また、投影露光装置やコータ
デベロッパーはそれぞれＣＰＵなどの制御装置を備え、
独自にシーケンス制御を行うように構成されている。
し、投影露光装置はメーカが用意する。ユーザ側で構築
される半導体製造ラインには種々の投影露光装置やコー
タデベロッパーが設置され、ホストコンピュータは複数
の投影露光装置とコータデベロッパーを統括して制御す
るように構成されている。また、投影露光装置やコータ
デベロッパーはそれぞれＣＰＵなどの制御装置を備え、
独自にシーケンス制御を行うように構成されている。
【０００４】ホストコンピュータはある通信プロトコル
やデータ構造の第１の通信制御規格で動作し、投影露光
装置やコータデベロッパーの制御装置はその第１の通信
制御規格とは異なる第２，第３の通信制御規格で動作す
るのが一般的である。そこで、たとえば特開平５−２０
３３３２号公報に示すマシンコントローラなるインター
フェース装置を設け、ホストコンピュータと投影露光装
置やコータデベロッパーとの間の論理的整合性を持たせ
て通信を行う必要がある。図３はそのマシンコントロー
ラを用いた従来の支援装置を示すものである。
やデータ構造の第１の通信制御規格で動作し、投影露光
装置やコータデベロッパーの制御装置はその第１の通信
制御規格とは異なる第２，第３の通信制御規格で動作す
るのが一般的である。そこで、たとえば特開平５−２０
３３３２号公報に示すマシンコントローラなるインター
フェース装置を設け、ホストコンピュータと投影露光装
置やコータデベロッパーとの間の論理的整合性を持たせ
て通信を行う必要がある。図３はそのマシンコントロー
ラを用いた従来の支援装置を示すものである。
【０００５】図３において、ホストコンピュータ１１は
ネットワーク１２に接続され、投影露光装置１３Ａ〜１
３Ｃやコータデベロッパー１４Ａ〜１４Ｃはマシンコン
トローラ１５Ａ，１５Ｂを介してネットワーク１２と接
続されている。マシンコントローラ１５Ａは投影露光装
置１３Ａとコータデベロッパー１４Ａに接続され、マシ
ンコントローラ１５Ｂは投影露光装置１３Ｂ，１３Ｃと
コータデベロッパー１４Ｂ，１４Ｃに接続されている。
マシンコントローラ１５Ａ，１５Ｂは、メーカ側で用意
するインターフェース装置であり、このインターフェー
ス装置１５Ａ，１５Ｂは、ホストコンピュータ１１が使
用する通信制御規格と、投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃや
コータデベロッパー１４Ａ〜１４Ｃが使用する通信制御
規格との間で翻訳や変換を行いつつ、すなわち論理的整
合性を持たせてつつ情報を授受するものである。
ネットワーク１２に接続され、投影露光装置１３Ａ〜１
３Ｃやコータデベロッパー１４Ａ〜１４Ｃはマシンコン
トローラ１５Ａ，１５Ｂを介してネットワーク１２と接
続されている。マシンコントローラ１５Ａは投影露光装
置１３Ａとコータデベロッパー１４Ａに接続され、マシ
ンコントローラ１５Ｂは投影露光装置１３Ｂ，１３Ｃと
コータデベロッパー１４Ｂ，１４Ｃに接続されている。
マシンコントローラ１５Ａ，１５Ｂは、メーカ側で用意
するインターフェース装置であり、このインターフェー
ス装置１５Ａ，１５Ｂは、ホストコンピュータ１１が使
用する通信制御規格と、投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃや
コータデベロッパー１４Ａ〜１４Ｃが使用する通信制御
規格との間で翻訳や変換を行いつつ、すなわち論理的整
合性を持たせてつつ情報を授受するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような従来装置で
は、ホストコンピュータ１１により各投影露光装置１３
Ａ〜１３Ｃやコータデベロッパー１４Ａ〜１４Ｃの作業
中のエラーを検出したり、稼働していない投影露光装置
１３Ａ〜１３Ｃやコータデベロッパー１４Ａ〜１４Ｃを
検出したり、あるいはインターフェース装置１５Ａ，１
５Ｂを操作するようにしている。そのため、ホストコン
ピュータ１１の負担が増加し、インターフェース装置１
５Ａ，１５Ｂを介してホストコンピュータ１１との間で
授受できる情報は最小限に設定されている。また、各投
影露光装置１３Ａ〜１３Ｃやコータデベロッパー１４
Ａ，１４Ｂの状況を把握するためには、インターフェー
ス装置１５Ａ，１５Ｂのモニタで確認せざるを得なかっ
た。そのため、インターフェース装置１５Ａ，１５Ｂの
設置場所が離れている場合には、作業者はいちいちその
場所へ出向かなければならず、管理効率が悪いという問
題がある。
は、ホストコンピュータ１１により各投影露光装置１３
Ａ〜１３Ｃやコータデベロッパー１４Ａ〜１４Ｃの作業
中のエラーを検出したり、稼働していない投影露光装置
１３Ａ〜１３Ｃやコータデベロッパー１４Ａ〜１４Ｃを
検出したり、あるいはインターフェース装置１５Ａ，１
５Ｂを操作するようにしている。そのため、ホストコン
ピュータ１１の負担が増加し、インターフェース装置１
５Ａ，１５Ｂを介してホストコンピュータ１１との間で
授受できる情報は最小限に設定されている。また、各投
影露光装置１３Ａ〜１３Ｃやコータデベロッパー１４
Ａ，１４Ｂの状況を把握するためには、インターフェー
ス装置１５Ａ，１５Ｂのモニタで確認せざるを得なかっ
た。そのため、インターフェース装置１５Ａ，１５Ｂの
設置場所が離れている場合には、作業者はいちいちその
場所へ出向かなければならず、管理効率が悪いという問
題がある。
【０００７】本発明の目的は、投影露光装置やコータデ
ベロッパーなどの半導体製造装置と同じ通信制御規格で
動作する副制御装置を主制御装置とは別に設けて、半導
体製造装置の状況を詳細に監視できるようにした半導体
製造装置の支援装置を提供することにある。
ベロッパーなどの半導体製造装置と同じ通信制御規格で
動作する副制御装置を主制御装置とは別に設けて、半導
体製造装置の状況を詳細に監視できるようにした半導体
製造装置の支援装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】一実施の形態を示す図面
に対応づけて本発明を説明する。 （１）請求項１の発明は、複数の半導体製造装置１３Ａ
〜１３Ｃを統括して制御する装置であって、通信プロト
コルおよびデータ構造を含む第１の通信制御規格で動作
する主制御装置１１と、半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃ
のなかの特定の半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃであっ
て、第１の通信規格と異なる第２の通信制御規格で動作
する半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃと主制御装置１１と
の間で論理的整合性を持たせて通信するためのインター
フェース装置２５Ａ，２５Ｂと、主制御装置１１とイン
ターフェース装置２５Ａ，２５Ｂを接続するネットワー
ク１２とを備える半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃの支援
装置に適用される。そして、第２の通信制御規格で動作
する副制御装置３１をネットワーク１２に接続すること
により上記目的を達成する。 （２）請求項２の発明は、請求項１の支援装置におい
て、インターフェース装置２５Ａ，２５Ｂにより、ネッ
トワーク１２上の通信情報に応じて、主制御装置１１と
特定の半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃとの間での情報通
信と、副制御装置３１と特定の半導体製造装置１３Ａ〜
１３Ｃとの間での情報通信とのいずれかを選択して情報
を授受することを特徴とするものである。 （３）請求項３の発明は、請求項１の支援装置におい
て、副制御装置３１により複数のインターフェース装置
２５Ａ，２５Ｂを統括して制御することを特徴とするも
のである。 （４）請求項４の発明は、請求項３の支援装置におい
て、副制御装置３１にモニタ画面３１ａを設け、特定の
半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃから入手した情報をその
モニタ画面３１ａに表示することを特徴とするものであ
る。
に対応づけて本発明を説明する。 （１）請求項１の発明は、複数の半導体製造装置１３Ａ
〜１３Ｃを統括して制御する装置であって、通信プロト
コルおよびデータ構造を含む第１の通信制御規格で動作
する主制御装置１１と、半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃ
のなかの特定の半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃであっ
て、第１の通信規格と異なる第２の通信制御規格で動作
する半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃと主制御装置１１と
の間で論理的整合性を持たせて通信するためのインター
フェース装置２５Ａ，２５Ｂと、主制御装置１１とイン
ターフェース装置２５Ａ，２５Ｂを接続するネットワー
ク１２とを備える半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃの支援
装置に適用される。そして、第２の通信制御規格で動作
する副制御装置３１をネットワーク１２に接続すること
により上記目的を達成する。 （２）請求項２の発明は、請求項１の支援装置におい
て、インターフェース装置２５Ａ，２５Ｂにより、ネッ
トワーク１２上の通信情報に応じて、主制御装置１１と
特定の半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃとの間での情報通
信と、副制御装置３１と特定の半導体製造装置１３Ａ〜
１３Ｃとの間での情報通信とのいずれかを選択して情報
を授受することを特徴とするものである。 （３）請求項３の発明は、請求項１の支援装置におい
て、副制御装置３１により複数のインターフェース装置
２５Ａ，２５Ｂを統括して制御することを特徴とするも
のである。 （４）請求項４の発明は、請求項３の支援装置におい
て、副制御装置３１にモニタ画面３１ａを設け、特定の
半導体製造装置１３Ａ〜１３Ｃから入手した情報をその
モニタ画面３１ａに表示することを特徴とするものであ
る。
【０００９】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が実施の形態に限定されるものではない。
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が実施の形態に限定されるものではない。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態について説明する。図１は本発明の実施の形態に
よる半導体製造装置の支援装置を示す。図３と同一の箇
所には同一の符号を付して相違点を主に説明する。
の形態について説明する。図１は本発明の実施の形態に
よる半導体製造装置の支援装置を示す。図３と同一の箇
所には同一の符号を付して相違点を主に説明する。
【００１１】図２により投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃ
（以下、代表して１３で表わすこともある）を説明す
る。投影露光装置１３は、レチクルＲが保持されるレチ
クルステージ１３１と、ウエハＷを保持するウエハステ
ージ１３２と、レチクルＲを照明する照明光学系１３３
と、レチクルＲのパターンの像をウエハＷ上に結像する
投影光学系１３４と、レチクルステージ１３１やウエハ
ステージ１３２を制御したり露光量を制御するためのコ
ンピュータ１３５と、各種情報を表示するモニタ１３６
と、各種データを入力する入力部１３７とを備えて構成
される。露光装置１３Ａ〜１３Ｃは個別に各種の露光条
件などをホストコンピュータ１１とは別に設定できるよ
うになっている。図示は省略するが、コータデペロッパ
１４Ａ〜１４Ｃも独自にコンピュータとモニタを備え、
個別に各種の処理条件を設定できるようになっている。
（以下、代表して１３で表わすこともある）を説明す
る。投影露光装置１３は、レチクルＲが保持されるレチ
クルステージ１３１と、ウエハＷを保持するウエハステ
ージ１３２と、レチクルＲを照明する照明光学系１３３
と、レチクルＲのパターンの像をウエハＷ上に結像する
投影光学系１３４と、レチクルステージ１３１やウエハ
ステージ１３２を制御したり露光量を制御するためのコ
ンピュータ１３５と、各種情報を表示するモニタ１３６
と、各種データを入力する入力部１３７とを備えて構成
される。露光装置１３Ａ〜１３Ｃは個別に各種の露光条
件などをホストコンピュータ１１とは別に設定できるよ
うになっている。図示は省略するが、コータデペロッパ
１４Ａ〜１４Ｃも独自にコンピュータとモニタを備え、
個別に各種の処理条件を設定できるようになっている。
【００１２】この実施の形態では、図１に示すように、
投影露光装置１３Ａとコータデベロッパー１４Ａとがマ
シンコントローラ２５Ａに接続され、投影露光装置１３
Ｂ，１３Ｃとコータデベロッパー１４Ｂ，１４Ｃとがマ
シンコントローラ２５Ｂに接続され、さらに、マシンコ
ントローラ２５Ａ，２５Ｂがネットワーク１２を介して
ホストコンピュータ１１に接続されている。ネットワー
ク１２には後述するブロックコントローラ３１が接続さ
れている。
投影露光装置１３Ａとコータデベロッパー１４Ａとがマ
シンコントローラ２５Ａに接続され、投影露光装置１３
Ｂ，１３Ｃとコータデベロッパー１４Ｂ，１４Ｃとがマ
シンコントローラ２５Ｂに接続され、さらに、マシンコ
ントローラ２５Ａ，２５Ｂがネットワーク１２を介して
ホストコンピュータ１１に接続されている。ネットワー
ク１２には後述するブロックコントローラ３１が接続さ
れている。
【００１３】マシンコントローラ２５Ａ，２５Ｂは、上
述したようにホストコンピュータ１１が使用する通信プ
ロトコルやデータ構造を含む通信制御規格と、投影露光
装置１３Ａ〜１３Ｃやコータデベロッパー１４Ａ〜１４
Ｃが使用する通信プロトコルやデータ構造を含む通信制
御規格との間で論理的整合性を持たせる翻訳や変換を行
いつつ情報を授受するものである。また、本実施の形態
では、マシンコントローラ２５Ａ，２５Ｂは、ネットワ
ーク１２上の通信データを監視して、ホストコンピュー
タ１１と投影露光装置１３との通信であるか、ブロック
コントローラ３１と投影露光装置１３との通信であるか
を判別する。ホストコンピュータ１１との間の通信であ
るときは、情報を相互の通信プロトコルやデータ構造に
変換して通信を行う。一方、ブロックコントローラ３１
と投影露光装置１３との通信であるときは、両者は通信
プロトコルやデータ構造は同じであるから、とくに翻訳
や変換をせずにネットワーク上の情報をそのまま通信す
る。
述したようにホストコンピュータ１１が使用する通信プ
ロトコルやデータ構造を含む通信制御規格と、投影露光
装置１３Ａ〜１３Ｃやコータデベロッパー１４Ａ〜１４
Ｃが使用する通信プロトコルやデータ構造を含む通信制
御規格との間で論理的整合性を持たせる翻訳や変換を行
いつつ情報を授受するものである。また、本実施の形態
では、マシンコントローラ２５Ａ，２５Ｂは、ネットワ
ーク１２上の通信データを監視して、ホストコンピュー
タ１１と投影露光装置１３との通信であるか、ブロック
コントローラ３１と投影露光装置１３との通信であるか
を判別する。ホストコンピュータ１１との間の通信であ
るときは、情報を相互の通信プロトコルやデータ構造に
変換して通信を行う。一方、ブロックコントローラ３１
と投影露光装置１３との通信であるときは、両者は通信
プロトコルやデータ構造は同じであるから、とくに翻訳
や変換をせずにネットワーク上の情報をそのまま通信す
る。
【００１４】ブロックコントローラ３１はモニタ３１ａ
と入力部３１ｂとを有し、投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃ
を集中管理して全ての状態をリアルタイムで表示するこ
とができる。したがって、作業者は、各マシンコントロ
ーラ２５Ａ，２５Ｂの設置場所まで出向くことなく、ブ
ロックコントローラ３１の設置場所でマシンコントロー
ラ２５ａ，２５Ｂを介してそれぞれの投影露光装置１３
Ａ〜１３Ｃの状態を知ることができ、さらには各投影露
光装置１３Ａ〜１３Ｃに各種情報を送ることができる。
と入力部３１ｂとを有し、投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃ
を集中管理して全ての状態をリアルタイムで表示するこ
とができる。したがって、作業者は、各マシンコントロ
ーラ２５Ａ，２５Ｂの設置場所まで出向くことなく、ブ
ロックコントローラ３１の設置場所でマシンコントロー
ラ２５ａ，２５Ｂを介してそれぞれの投影露光装置１３
Ａ〜１３Ｃの状態を知ることができ、さらには各投影露
光装置１３Ａ〜１３Ｃに各種情報を送ることができる。
【００１５】ブロックコントローラ３１は投影露光装置
１３と共通の通信プロトコル、データ構造などを含む通
信制御規格で動作するから、マシンコントローラ２５
Ａ，２５Ｂに特別の変換プログラムを搭載することな
く、ブロックコントローラ３１と投影露光装置１３との
間で各種プログラムやデータの授受も容易であるし、投
影露光装置１３Ａ〜１３Ｃの制御装置１３６内の全ての
情報をブロックコントローラ３１から入手することもで
きる。この場合、ホストコンピュータ１１と投影露光装
置１３との間で全ての情報の授受を可能にすることもで
きるが、マシンコントローラ２５に搭載する変換プログ
ラムの容量や種類が非常に大きくなるし、また、ホスト
コンピュータ１１の負担も大きくなり好ましくない。こ
の点、特定の投影露光装置１３と同じ通信制御規格で動
作するブロックコンピュータ３１をホストコンピュータ
１１とは別に設ければ、ホストコンピュータ１１やイン
ターフェース装置２５Ａ，２５Ｂに負担をかけることな
く投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃとの間で各種情報を授受
できる。
１３と共通の通信プロトコル、データ構造などを含む通
信制御規格で動作するから、マシンコントローラ２５
Ａ，２５Ｂに特別の変換プログラムを搭載することな
く、ブロックコントローラ３１と投影露光装置１３との
間で各種プログラムやデータの授受も容易であるし、投
影露光装置１３Ａ〜１３Ｃの制御装置１３６内の全ての
情報をブロックコントローラ３１から入手することもで
きる。この場合、ホストコンピュータ１１と投影露光装
置１３との間で全ての情報の授受を可能にすることもで
きるが、マシンコントローラ２５に搭載する変換プログ
ラムの容量や種類が非常に大きくなるし、また、ホスト
コンピュータ１１の負担も大きくなり好ましくない。こ
の点、特定の投影露光装置１３と同じ通信制御規格で動
作するブロックコンピュータ３１をホストコンピュータ
１１とは別に設ければ、ホストコンピュータ１１やイン
ターフェース装置２５Ａ，２５Ｂに負担をかけることな
く投影露光装置１３Ａ〜１３Ｃとの間で各種情報を授受
できる。
【００１６】なお、以上では投影露光装置１３Ａ〜１３
Ｃは全て同一の通信制御規格で動作するものとして説明
したが、投影露光装置１３Ａが異なる通信制御規格で動
作する場合には、ブロクコントローラ３１は投影露光装
置１３Ｂ，１３Ｃとのみ論理的整合性を持たせることな
く通信するようにする。この場合、投影露光装置１３
Ｂ，１３Ｃが特定の投影露光装置である。また、ブロッ
クコントローラ３１をコータデベロッパー１４Ａ〜１４
Ｃの通信制御規格と共通としてもよい。
Ｃは全て同一の通信制御規格で動作するものとして説明
したが、投影露光装置１３Ａが異なる通信制御規格で動
作する場合には、ブロクコントローラ３１は投影露光装
置１３Ｂ，１３Ｃとのみ論理的整合性を持たせることな
く通信するようにする。この場合、投影露光装置１３
Ｂ，１３Ｃが特定の投影露光装置である。また、ブロッ
クコントローラ３１をコータデベロッパー１４Ａ〜１４
Ｃの通信制御規格と共通としてもよい。
【００１７】以上の実施の形態と請求項との対応におい
て、ホストコンピュータ１１が主制御装置を、ブロック
コントローラ３１が副制御装置を、マシンコントローラ
２５がインターフェース装置を、投影露光装置１３が半
導体製造装置をそれぞれ構成する。
て、ホストコンピュータ１１が主制御装置を、ブロック
コントローラ３１が副制御装置を、マシンコントローラ
２５がインターフェース装置を、投影露光装置１３が半
導体製造装置をそれぞれ構成する。
【００１８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、特定の半導体製造装置と共通の通信制御規格で動作
する副制御装置をネットワークに接続したので、インタ
ーフェース装置の容量を増加することなく、主制御装置
に負担を欠けることなく、半導体製造装置の状態をより
詳細に監視することができる。とくに、請求項２，３の
ように、１台の副制御装置で複数台の半導体製造装置を
制御するようにすれば、１箇所で複数の半導体製造装置
の状況をモニタ画面で把握でき、作業者の効率が向上す
る。
ば、特定の半導体製造装置と共通の通信制御規格で動作
する副制御装置をネットワークに接続したので、インタ
ーフェース装置の容量を増加することなく、主制御装置
に負担を欠けることなく、半導体製造装置の状態をより
詳細に監視することができる。とくに、請求項２，３の
ように、１台の副制御装置で複数台の半導体製造装置を
制御するようにすれば、１箇所で複数の半導体製造装置
の状況をモニタ画面で把握でき、作業者の効率が向上す
る。
【図１】本発明の実施の形態による支援装置の構成を示
すブロック図
すブロック図
【図２】本発明の実施の形態による投影露光装置の詳細
を示す図
を示す図
【図３】本発明の実施の形態による支援装置の構成を示
すブロック図
すブロック図
１１ ホストコンピュータ １２ ネットワーク １３，１３Ａ〜１３Ｃ 投影露光装置 １４，１４Ａ〜１４Ｃ コータデベロッパー ２５Ａ，２５Ｂ マシンコントローラ ３１ ブロックコントローラ
Claims (4)
- 【請求項１】複数の半導体製造装置を統括して制御する
装置であって、通信プロトコルおよびデータ構造を含む
第１の通信制御規格で動作する主制御装置と、 前記半導体製造装置のなかの特定の半導体製造装置であ
って、前記第１の通信規格と異なる第２の通信制御規格
で動作する半導体製造装置と前記主制御装置との間で論
理的整合性を持たせて通信するためのインターフェース
装置と、 前記主制御装置と前記インターフェース装置を接続する
ネットワークとを備える半導体製造装置の支援装置にお
いて、 前記第２の通信制御規格で動作する副制御装置を前記ネ
ットワークに接続したことを特徴とする半導体製造装置
の支援装置。 - 【請求項２】請求項１の支援装置において、 前記インターフェース装置は、前記ネットワーク上の通
信情報に応じて、前記主制御装置と前記特定の半導体製
造装置との間での情報通信と、副制御装置と前記特定の
半導体製造装置との間での情報通信とのいずれかを選択
して情報を授受することを特徴とする半導体製造装置の
支援装置。 - 【請求項３】請求項１の支援装置において、 前記副制御装置は複数の前記インターフェース装置を統
括して制御することを特徴とする半導体製造装置の支援
装置。 - 【請求項４】請求項３の支援装置において、 前記副制御装置はモニタ画面を有し、前記特定の半導体
製造装置から入手した情報をそのモニタ画面に表示する
ことを特徴とする半導体製造装置の支援装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9310437A JPH11145979A (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | 半導体製造装置の支援装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9310437A JPH11145979A (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | 半導体製造装置の支援装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11145979A true JPH11145979A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=18005243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9310437A Pending JPH11145979A (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | 半導体製造装置の支援装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11145979A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004505366A (ja) * | 2000-07-31 | 2004-02-19 | アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド | アドバンストプロセスコントロール（ａｐｃ）フレームワークを用いた処理ツールの故障検出およびその制御のための方法および装置 |
| WO2004086469A1 (ja) * | 2003-03-04 | 2004-10-07 | Tokyo Electron Limited | インライン接続設定方法および装置ならびに基板処理装置および基板処理システム |
-
1997
- 1997-11-12 JP JP9310437A patent/JPH11145979A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004505366A (ja) * | 2000-07-31 | 2004-02-19 | アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド | アドバンストプロセスコントロール（ａｐｃ）フレームワークを用いた処理ツールの故障検出およびその制御のための方法および装置 |
| WO2004086469A1 (ja) * | 2003-03-04 | 2004-10-07 | Tokyo Electron Limited | インライン接続設定方法および装置ならびに基板処理装置および基板処理システム |
| US7167769B2 (en) | 2003-03-04 | 2007-01-23 | Tokyo Electron Limited | Inline connection setting method and device and substrate processing devices and substrate processing system |
| CN100442470C (zh) * | 2003-03-04 | 2008-12-10 | 东京毅力科创株式会社 | 联机连接设定方法与装置以及基板处理装置与系统 |
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