CN1404102A - 管理衬底加工设备的设备信息的衬底加工系统 - Google Patents

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Abstract

一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。

Description

管理衬底加工设备的设备 信息的衬底加工系统
                        发明领域
本发明涉及一种网络通信技术，经网络将半导体衬底上执行预定加工的衬底加工设备、用于液晶显示器的玻璃衬底、用于光掩模的玻璃衬底或用于光盘的衬底(下文中间称为“衬底”)与计算机互相连接。
                        技术背景
通过执行一系列诸如清洗、保护层涂覆、曝光、显影、腐蚀、形成层间绝缘膜和衬底上的热加工的加工制造诸如半导体器件或液晶显示器的产品。通常，有内置保护层涂覆加工、内置显影加工单元等的衬底加工设备执行这种加工。设在衬底加工设备上的传送机器人连续地将衬底传送到各加工单元，从而在沉底上执行一系列加工。
自动控制这种衬底加工，衬底加工设备存储应用程序数据、设置信息等用于自动控制。换句话说，根据设置信息的内容用应用程序来控制衬底加工设备。
存储在衬底加工设备中的设置信息包括衬底加工设备常用的基本信息和衬底加工设备所固有的信息。当衬底加工设备主要由缺省的基本信息控制时，由于设置环境或衬底加工设备的制造错误，不能用相同的设置内容来执行最佳控制。因而，必须校正基本信息来执行控制，每个衬底加工设备都累积这种校正信息作为固有信息。
因而，固有信息是每个用户和每个衬底加工设备所固有的信息。因而，为了将导致了一些诸如硬件故障和丢失累积信息的故障的衬底加工设备返回到出故障以前的状态，就必须周期性地备份设置信息。而且，当用户以自定义方式改变设置信息时，可以要求过去的设置信息。而且，在这种情况下，为了用过去的设置信息操作衬底加工设备，必须周期性地备份设置信息。通常，用户在每个衬底加工设备中在活动盘等中备份设置信息。
然而，在活动盘等中备份衬底加工设备的设置信息很耗时，造成了用户的负担。尤其是当设置了大量衬底加工设备时，备份操作显著造成了等待改进的用户的负担。
另外，必须使备份处理间隔最小化，以便备份数据有效。然而，备份处理的负担太重，以至于要求用户频繁执行周期备份处理是不实际的。
上述基本信息(以初始阶段设在衬底加工设备中)包括很大量的设置项。用户或支持人员先在衬底加工设备中设置基本信息，从而根据基本信息操作衬底加工设备。用户还响应各衬底加工设备设置固有信息。换句话说，用户根据基本信息用固有信息校正衬底加工设备的操作，从而执行最佳控制。
如上所述，设在衬底加工设备中的基本信息包括很大量的设置项。如果设置信息对于一些大量的项是错误的，衬底加工设备就不能执行计划的操作。
当设有多个衬底加工设备的工厂中多个人员分别在不同的衬底加工设备中设置基本信息时，例如，可以因人为误差而使衬底加工设备的基本信息的设置内容不同。这种情况下，即使衬底加工设备执行相同的加工也不能生产出相同的产品。
而且，当证明设在各衬底加工设备中的基本信息包括衬底加工设备操作导致的设置误差时，很难从大量设置项中发现错误设置内容。
形成上述衬底加工设备的元件也包括耗材。例如，设在清洗加工单元中用于清洗衬底的清洗刷和设在灯退火设备中用于用光辐照快速退火衬底的灯通常是耗材。另外，用于驱动传送机器人等的形成驱动机构的皮带、滚筒和电动机等也是耗材。
这种因使用而消耗和损坏的耗材显著耗损后就不能用了，因此，必须周期性订购新的元件以替换耗材。
然而，通常，在耗材耗损或损坏之后才订购和采购新的元件，因此新的元件到达需一段时间，降低了设备的工作效率。因而，最好管理衬底加工设备中耗材的寿命，在一个衬底加工工厂中装有多个衬底加工设备，要求管理所有衬底加工设备中的耗材是个很大的工作。
而且，通常，大量这种衬底加工设备设在制造半导体器件等的一个衬底加工工厂中并由大量操作员来操作。因而必须为操纵设备的方法而适当地培训无经验不熟练的操作员。当改变了设备的说明书等时，也需对熟练操作员讲授新的操作方法。
通常，操作员必须分组参加关于设备的讲授，为各组重复讲授，或集合在一个衬底加工设备周围统一讲解。
然而，这种情况下，必须重复讲授相同内容，否则就不能充分训练所有的操作员，其不利之处使衬底加工设备的用户和销售者都丧失效率。
                            发明概述
本发明涉及一种管理衬底加工设备的衬底加工设备管理系统，能经网络通信。
根据本发明的一个方面，能经网络通信的管理衬底加工设备的衬底加工设备管理系统包括：第一存储部件，存储控制信息，用于控制衬底加工设备的操作；复制信息获取部件，获取存储在第一存储部件中的控制信息的复制信息；和存储部件，在第二存储部件中存储用复制信息获取部件获取的复制信息，第二存储部件包括在经网络连接到衬底加工设备的信息存储计算机中。
经网络连接到信息存储计算机的存储部件存储用于衬底加工设备的控制信息，从而不必对记录媒体备份操作。因此，用户与备份操作有关的负担显著减轻。
根据本发明的另一方面，经网络使衬底加工设备和支持计算机互相连接的衬底加工设备管理系统中，支持计算机包括：第一存储部件，存储衬底加工设备初始所需的基本信息；和基本信息发送部件，将基本信息经网络发送给衬底加工设备。衬底加工设备包括第二存储部件，存储从支持计算机收到的基本信息，衬底加工设备初始状态装有存储在第二存储部件中的基本信息。
可以正确和容易地在衬底加工设备的导入和重置中执行初始化。
在有衬底加工设备的衬底加工设备管理系统和管理衬底加工设备的计算机(都连接到网络)中，本发明的又一方面中，衬底加工设备包括耗损测量部件，测量衬底加工设备的元件耗损。衬底加工设备管理系统包括耗损信息累积部件，累积耗损测量部件测量的耗损，耗损信息公开部件使耗损信息累积部件中累积的耗损可经网络从计算机读取。
可以有效管理衬底加工设备的元件耗损。
根据本发明的再一方面，经网络使多个衬底加工设备和计算机互相连接的衬底加工设备管理系统中，计算机包括教育信息发布部件，经网络发布与多个衬底加工设备操作有关的教育信息，多个衬底加工设备中的每一个都包括：接收部件，接收从计算机发布的教育信息；和显示部件，显示用接收部件收到的教育信息。
计算机经网络发布与多个衬底加工设备操作有关的教育信息，从而可以有效给予操作员操作教育。
本发明也涉及一种衬底加工设备管理方法，用于管理衬底加工设备。
本发明也涉及一种衬底加工设备，经网络连接到预定计算机。
因此，本发明的一个目的是提供一种简便备份存储在衬底加工设备中的信息的技术，同时减轻用户工作负担。
本发明的另一方面是提供一种网络系统，用于简便而可靠地设置衬底加工设备的初始操作，同时减轻用户或支持人员的工作负担。
本发明的又一方面是提供一种技术，能有效管理衬底加工设备部件的耗损。
本发明的还一方面是提供一种衬底加工系统，能有效而可操作地教育操作员。
结合附图，从下面对本发明的详细描述，本发明的上述和其它目的、方面和优点将更明显。
                            附图说明
图1是根据本发明第一实施例的衬底加工系统的示意性框图；
图2是衬底加工设备的示意性平面图；
图3是显示用于衬底加工设备的控制系统结构的框图；
图4说明了信息存储服务器或支持计算机的基本结构；
图5说明了设置信息的示例内容；
图6说明了处方(recipe)数据的示例内容；
图7是显示根据第一实施例的衬底加工系统的功能结构的框图；
图8是根据本发明包括进度控制部分的本地指令(local instruction)部分的框图；
图9是显示根据本发明第二实施例的衬底加工系统的功能结构的框图；
图10说明了根据第二实施例的支持计算机中管理的版本的设备基本数据；
图11示意性说明了根据本发明第三实施例的衬底加工系统的结构；
图12是根据第三实施例的衬底加工设备的示意性平面图；
图13示意性说明了图12所示衬底加工设备的表面清洗加工单元的结构；
图14是显示根据第三实施例的用于衬底加工设备的控制系统结构的框图；
图15说明了信息存储服务器、支持计算机或订购接受服务器的基本结构；
图16是显示根据第三实施例的衬底加工系统功能结构的功能性框图；
图17是显示根据第三实施例的衬底加工系统中程序的流程图；
图18说明了示例性耗损信息；
图19是显示根据第三实施例的另一衬底加工系统的功能结构的功能性框图，它设有具有报警功能和传送元件订购信号功能的衬底加工设备；
图20是显示根据本发明第四实施例的衬底加工系统示例性功能结构的功能性框图；
图21是显示根据第四实施例的衬底加工系统的另一示例性功能结构的功能性框图。
                            最佳实施例描述
现在，参考附图描述本发明的实施例。
1.第一实施例
首先，描述根据本发明第一实施例的整体衬底加工系统10的概况。图1示意性说明了衬底加工系统10的结构。如图1所示，多个衬底加工设备1和信息存储服务器2包括在衬底加工工厂4中，支持计算机3包括在支持中心5中，衬底加工设备1、信息存储服务器2和支持计算机3在衬底加工系统10中经网络6互连。在支持中心5上公布遥控衬底加工设备1的遥控人员。
衬底加工工厂4中，衬底加工设备1和信息存储服务器2经LAN(局域网)41互连。LAN41经有路由器、防火墙等功能的连接器42连接到诸如因特网的广域网61。支持中心5也有连接到支持计算机3的LAN51，该LAN51也经有路由器、防火墙等功能的连接器52连接到诸如因特网的广域网61。因此，衬底加工设备1、信息存储服务器2和支持计算机3可以相互进行多种类型的数据通信。整个说明书中，41和51和广域网61通常称为网络6。
参考图1，衬底加工工厂4可以包括单个衬底加工设备1来代替多个衬底加工设备1，支持中心5也可包括单个支持计算机3来代替多个支持计算机3。
现在描述设在衬底加工工厂4上的每个衬底加工设备1。图2是衬底加工设备1的示意性平面图。该衬底加工设备1执行保护层涂覆加工、显影加工和接下来在衬底上的热加工。衬底加工设备1包括：分度器ID，从载体递送未加工的衬底，同时接收加工后的衬底并将其存储在载体中；涂覆加工单元(所谓的旋涂器)SC，当旋转衬底以向其涂覆光刻胶将光刻胶时滴到衬底的主要表面上；显影加工单元(所谓的旋转显影器(spin developer))SD，将显影剂供应给曝光的衬底，从而执行显影加工；和传送机器人TR，传送分度器ID和各个加工单元之间的衬底。热加工单元(未画)经扇形滤波单元布置在上述涂覆加工单元SC和显影加工单元SD上。设置加热衬底的加热单元(所谓的热板)和冷却加热的衬底的冷却单元(所谓的冷板)将衬底加工到恒温，作为热处理单元。整个说明书中，涂覆加工单元SC、显影加工单元SD和热加工单元通常称为加工单元110，在衬底上执行预定加工。
图3是显示用于衬底加工设备1的控制系统结构的框图。如图3所示，用于衬底加工设备1的控制系统由控制整体设备1的系统控制部分100和单独控制多个加工单元110的单元控制部分115组成。
以统一方式控制整体设备1的系统控制部分100包括微机。详细地说，系统控制部分100包括：CPU101，起主体部分作用；ROM102，起存储基本程序等的只读存储器作用；RAM103，起主要定义运算工作区域的随机存取存储器作用；存储部分104，它包括硬盘等，存储应用程序数据等；和通信部分105，执行与外部装置的数据通信。它们用总线190彼此连接。
通信部分105经网络接口(未画)连接到网络6，以便衬底加工设备1可以将多种数据传送到信息存储服务器2、支持计算机3等或从信息存储服务器2、支持计算机3等接收多种数据。通信部分105可经网络6执行有线通信或无线电通信，本实施例中使用有线通信系统。
和系统控制部分100和多个加工单元110一起，显示部分130(显示多种信息)、操作部分140(接受操作员的处方输入操作、命令操作等)、阅读器150(从诸如磁盘或磁光盘等的记录媒体91读取多种数据)也电连接到总线190。因此，数据可以在系统控制部分100的控制下经总线190在衬底加工设备1的各个部分之间传送。
实践中，每个加工单元110包括单元控制部分115以及衬底加工部分116，衬底加工部分116起加工衬底的工作部分(例如，旋转衬底的机构、将加工溶液释放到衬底上的机构、加热衬底的机构等)的作用。单元控制部分115(单独控制加工单元110)控制和监控设有该单元控制部分115的加工单元110的衬底加工部分116的操作。换句话说，上述系统控制部分100负责统一控制整个衬底加工设备1，而每个单元控制部分115负责控制响应每个衬底加工部分116的加工内容。单元控制部分115包括类似系统控制部分100的微机。更具体地说，单元控制部分115包括：CPU111，起主体作用；ROM112，起存储基本程序等的只读存储器的作用；RAM113，起主要定义运算工作区域的随机存取存储器作用；存储部分114，它包括用电池备份的SRAM，用于存储多种数据。
系统控制部分100的存储部分104存储：控制程序152，起用于和整体设备1有关的系统控制的应用程序的作用；设置信息151，用于判定衬底加工设备1的操作等(见图7)。当系统控制部分100的CPU101根据控制程序152和设置信息151执行运算处理时，随后在整个衬底加工设备1上实现操作控制和数据处理单元控制部分115的存储部分114存储控制程序153，它起应用程序的作用，用于响应加工单元110的衬底加工部分116的加工内容的单元控制。当单元控制部分115的CPU111根据控制程序153执行运算处理时，随后在衬底加工部分116上实现操作控制和数据处理。
因此，用于控制衬底加工设备1操作的控制信息包括：控制程序152和153，用于控制衬底加工设备1；和设置信息151，用于判定衬底加工设备1的操作，而存储部分104和114形成了存储控制信息的第一存储装置。
现在描述布置在衬底加工工厂4上的信息存储服务器2和布置在支持中心5上的每个支持计算机3。信息存储服务器2和支持计算机3的硬盘结构类似于普通计算机。因而，参考图4描述每个信息存储服务器2和支持计算机3(彼此类似)的基本结构。如图4所示，通过将CPU21或31(CPU21用于信息存储服务器2，CPU31用于支持计算机3：这也应用于下文的描述)、存储基本程序的ROM22或32和存储多种信息的RAM23或33连接到总线形成各信息存储服务器2和支持计算机3。硬盘24或34(存储诸如应用程序的多种信息)、显示器25或35(显示多种信息)、键盘26a或36a和鼠标26b或36b(从操作员接受输入操作)、阅读器27或37(从诸如磁盘或磁光盘的记录媒体91读取多种数据)和通信部分28或38(经网络6与外部装置通信)也经接口(I/F)等适当连接到总线。
各信息存储服务器2和支持计算机3可以经阅读器27或37从记录媒体91读取数据，并将其存储在硬盘24或34中。各信息存储服务器2和支持计算机3也可以经网络6从另一服务器下载数据，并将其存储在硬盘24或34中。CPU21或31根据存储在硬盘24或34中的多种程序执行运算处理以执行不同的操作。
衬底加工设备1的操作由存储在存储部分104或114中的控制程序152或153根据上文描述流程处方的程序来控制。控制程序152或153根据存储在存储部分104中的设置信息151来控制衬底加工设备1。图5说明了存储在存储部分104的设置信息151的示例性内容。
设置信息151包括与衬底加工设备1总控制有关的设置信息和与各加工单元110控制有关的设置信息，假设系统控制部分100的存储部分104共同存储设置信息151(包括本实施例中的设置信息151)。或者，各单元控制部分115的存储部分114可存储各加工单元110的设置信息。
设置信息151是包括处方数据151a、设备基本数据151b和设备固有数据151c的数据。操作员经操作部分140输入控制这些数据151a、151b和151c，从而按需更新。或者支持计算机3或信息存储服务器2可以通过遥控来输入控制设置信息151。
处方数据151a是定义衬底加工设备1的程序的数据。换句话说，衬底加工设备1的传送机器人TR根据处方数据151a中描述的加工进度将衬底传送到目标加工单元110。
图6说明了处方数据151a中描述的示例性流程处方。参考图6，以循环方式用传送机器人TR传送的各衬底以下面的顺序加工：
步骤1：在热板中的附着力增强加工；
步骤2：在冷板中的冷却加工；
步骤3：在任何涂覆加工单元SC中的保护层涂覆加工；
步骤4：在热板中的预焙加工；
因此，处方数据151a(是定义衬底加工设备1程序的信息)用户的技术诀窍而存储。换句话说，用户建立能执行最有效加工的处方数据151a，并根据处方数据151a控制衬底加工设备1。
设备基本数据151b是衬底加工设备1所共有的信息，即，用于衬底加工设备1的缺省设置信息。每个加工单元110中，衬底加工设备1包括大量工作部分和诸如传送机器人的控制部分设备基本数据151b定义了划分工作部分和控制部分的设置值。例如，设备基本数据151b包括诸如机器人基本数据、温度控制数据等的数据。
机器人基本数据定义了传送机器人TR的操作。换句话说，机器人基本数据定义了传送机器人TR操作的设置值(关于移动距离的设置值、用于臂选择角度的设置值等)，将衬底传送到每个加工单元110、分度器ID、热加工单元等。温度控制数据设置了衬底加工设备1中的热加工单元温度等。
设备固有数据151c是固有设置用于多个衬底加工设备1中每一个的校正数据。衬底加工设备1可以基本用相同的设置信息来控制，即，设备基本数据151b，当它们结构相同时，实践中必须校正每个设备的信息。这是因为衬底加工设备1的结构严格来讲是有离差的，还因为要求响应环境来进行调节，原因是衬底加工设备1的设置位置或设置环境之间有差异。换句话说，设置信息必须对每个设备1校正，以便衬底加工设备1执行相同的加工，从而得到相同的加工结果。
例如，设备固有数据151c包括诸如教导数据和温度控制校正数据的数据。
教导数据是用于校正上述机器人基本数据的数据。当衬底加工设备1结构彼此相同时，传送机器人TR可以基本根据相同的设置信息来执行相同操作。然而，传送机器人TR(包括大量元件和可移动部分)由于结构之间的细微差异而导致操作误差。因而，传送机器人TR的操作被调节为最佳，用于该调节的设置信息存储为教导数据。传送机器人TR的控制可以通过用教导数据校正机器人基本数据来最优化。
温度控制校正数据是用于响应衬底加工设备1设置位置和设置环境之间的差异而校正缺省设置的温度控制数据的数据。
因此，处方数据151a确定每个衬底加工设备1的加工步骤顺序，而缺省设置的设备基本数据151b和作为每个设备1的校正数据的设备固有数据151c控制衬底加工设备1的操作。当被存储作为用户的技术诀窍的处方数据151a和是每个设备1的固有数据的设备固有数据151c是极重要的信息，不易恢复这些数据151a和151c。因而必须有效备份数据151a和151c，防止其消失。
已经描述了衬底加工系统10和衬底加工设备1的硬盘结构、形成它的信息存储服务器2和支持计算机3以及设置信息151的内容，现在描述衬底加工系统10的功能和加工内容。图7是显示衬底加工系统10功能结构的功能性框图。
参考图7，系统控制部分100的CPU101运行维护程序154，从而实现了本地指令部分121、复制信息获取部分122、和恢复处理部分123作为处理部分。存储部分104存储维护程序154。
参考图7，信息存储服务器2的CPU21运行维护程序252，从而实现了存储部分221和差异提取部分222作为处理部分。支持计算机3的CPU31允许维护程序351，从而实现远程指令部分321作为处理部分。硬盘34存储维护程序351。
本地指令部分121有将用于设置信息151和控制程序152和153的备份处理的指令命令传送到复制信息获取部分122的功能，和将用于设置信息151和控制程序152和153的恢复处理的指令命令传送到恢复处理部分123的功能。
当因内设的进程功能确定备份定时的时候，本地指令部分121传送备份处理的指令命令。除根据进程功能周期性备份处理外，用户可以通过衬底加工设备1的操作部分140执行输入操作，从而明确指令对设置信息151和控制程序152和153备份处理。
换句话说，由于根据进程功能的指令，设置信息151等易计划的方式自动备份。另一方面，用户可以置备份处理，以在维护之前或设备1临时存储之前在任意时间点保持当前的设备状态。
当本地指令部分121发布备份处理的指令命令时，复制信息获取部分122产生存储在系统控制部分100的存储部分104中的设置信息151和控制程序152以及存储单元控制部分115的存储部分114中的控制程序153的复制信息，并将产生的复制信息(即，设置信息151和控制程序152和153的数据)经LAN41传送到信息存储服务器2。
备份处理可以对设置信息151和控制程序152和153所有的数据执行，或只对单个数据执行。
如图8所示，本地指令部分121包括进程控制部分121a。进程控制部分121a是设置备份处理进程的功能部分，本地指令部分121根据设在进程控制部分121a中的进程设置传送备份处理的指令命令。进程设定显示了在什么时间备份哪个信息。
例如，有可能安排备份处理每周备份设置信息151而每个月备份控制程序152和153。也可能设置备份所有数据还是备份差异数据，如下所述。例如，可能设置一个进程对设置信息151每周备份所有数据而每天备份差异数据。用户可以通过操作部分140设置进程。在显示部分130上显示向导菜单就更方便了，所以用户可以根据菜单设置进程。
从复制信息获取部分122发送的复制信息被传送给信息存储服务器2的存储部分221，所以存储部分221在作为第二存储装置的硬盘24中存储复制信息。图7显示了作为备份数据251存储在硬盘24中的复制信息。
为了备份差异数据，即，但进程控制部分121a指定差异数据的备份操作或用户明确指令备份差异数据时，复制信息获取部分122将表示备份差异数据的信息添加到复制信息并将其发送到存储部分221。存储部分221可以在硬盘24中存储设置信息151和控制程序152和153作为完全数据，当收到指令备份差异数据的信息时，差异提取部分222提取备份对象数据的差异数据，然后将复制信息存储在硬盘24中。
换句话说，差异提取部分222比较从复制信息获取部分122收到的复制信息和存储在硬盘24中的备份数据251，并提取差异数据。
当根据本地指令部分121的进程功能周期性执行备份处理时，例如，以每次存储完全数据的方法，存储在硬盘24中的备份数据251的质量显著增高。不仅最后的数据而且过去备份的数据也可被要求作为备份数据251。例如，可以接受请求设备1的设置信息返回到几周前的状态。另外，可以接受将试验和误差改变的流程处方返回到2个月以前。
因而，在长时期内在大量的点遗留备份数据251很有效，而硬盘24的容量不受限。因而，差异提取部分222提取复制信息和先前的备份数据251之间的差异数据并只在硬盘24中存储差异数据。
因此，根据第一实施例的衬底加工系统10在经网络6连接到衬底加工设备1的信息存储服务器2中周期性存储设置信息151作为备份数据251，以控制衬底加工设备1和控制程序152和153的操作，以便用户可不执行复杂的备份操作。
尤其是，衬底加工设备1有根据用户技术窍门更新的处方数据151a和调节设备1的设备固有数据151c，同时在实际设置位置工作，因此，周期性备份这些处方数据151a和151c十分重要，以防止它们消失。
衬底加工设备1设在清洁的房间里，当经网络6连接的信息存储服务器2设在清洁房间外时，备份处理所存储的数据可以在清洁房间外被维护。
本实施例中，用户可以经衬底加工设备1的操作部分140手动执行备份处理，或者，信息服务器2经网络6发送用于备份处理的指令命令。因此用于备份处理的指令命令可以从清洁房间外发送。
信息存储服务器2可不必设在衬底加工工厂4中。或者，系统管理中心可设在衬底加工工厂4附近，经专线传送备份数据251。
根据上述处理，信息存储服务器2周期性或在任意时间保存设置信息151和控制程序152和153的备份数据251。
包括在系统控制部分100中的恢复处理部分123从硬盘24取得备份数据251，用于恢复设置信息151和控制程序152和153。
可以在任何时候恢复设置信息151和控制程序152和153。例如，恢复设置信息151和控制程序152和153可以因硬件故障而消失，或用户在维护操作时错误地丢失数据。这种情况下，在非正常恢复时间恢复数据，用户可以请求将设置信息151和控制程序152和153返回到过去的备份数据。
例如，用户可以请求将更新以来操作衬底加工设备1的处方数据151a返回到先前的处方数据151a。另外，重新精细地控制传送机器人TR的操作和更新教导数据的用户可以请求将教导数据返回到先前状态。
这种情况下，用户经衬底加工设备1的操作部分140输入恢复处理的指令。更具体地说，用户通过指定关于要恢复的数据的信息、恢复目标等来指令恢复处理。因此，本地指令部分121将恢复指令命令发送到恢复处理部分123。恢复处理部分123参考存储在信息存储服务器2的硬盘24中的备份数据251，提取必须的信息和执行恢复处理。
当作为恢复处理的目标而指定的设置信息151和控制程序152和153作为完全数据恢复时，恢复处理部分123提取同样完全数据并将其存储在系统控制部分100的存储部分104中或单元控制部分115的存储部分114中。
当作为恢复处理的目标而指定的设置信息151和控制程序152和153作为差异数据保留时，恢复处理部分123提取通过累积在备份差异数据的日期以前备份的完全数据和从完全数据和指定数据备份日期开始的差异数据而获得的数据。因此，恢复处理部分123也恢复关于作为差异数据存储的备份数据251的完全数据。
根据第一实施例的衬底加工系统10中，经网络6与各衬底加工设备1连接的信息存储服务器2存储备份数据，从而可以在恢复处理中通过网络6简单地执行恢复操作。因此，可以在短时间内完成恢复操作，从而提高衬底加工设备1的工作效率。
如上所述，系统控制部分100的本地指令部分121发送处理命令，从而执行备份处理。本地指令部分121根据进度功能，或当用户经衬底加工设备1的操作部分140输入指令时发送备份处理命令。
根据第一实施例的系统结构中，支持中心5的每个支持计算机3经广域网61连接到衬底加工设备1，也可能通过从支持计算机3遥控来执行备份处理。
当遥控衬底加工设备1的人员在支持中心5的支持计算机3中输入备份处理指令时，远程指令部分321经网络6发送备份处理命令。当备份处理命令被传送到衬底加工设备1中的复制信息获取部分122时，执行类似于上述的处理。
当支持中心5通过遥控执行备份处理时，可以提供更易于接受的用户支持系统。备份数据251可以被传送给支持中心5。
2.第二实施例
现在描述本发明的第二实施例。根据第二实施例的衬底加工系统10的整体示意性结构与图1所示相同。衬底加工设备1的硬件结构与参考图2和3所述的第一实施例相同。各信息存储服务器2和支持计算机3的硬件结构也与参考图4所述的第一实施例相同。
与第一实施例类似，通过存储在存储部分104和存储部分114中的控制程序152和153根据先前所述流程处方的程序来控制衬底加工设备1的操作。控制程序152和153根据存储在存储部分104中的设置信息151控制衬底加工设备1。
设置信息151的内容与图5所示的第一实施例相同。然而，在参考第一实施例说明的那些以外，设备基本数据151b包括很大量的数据种类。这些是每个衬底加工设备1初始化的信息，当在大量数据中错误设置了部分数据内容时，衬底加工设备1不能执行计划的操作。而有可能用设备固有数据151c校正衬底加工设备1的操作，如果设备基本数据151b未可靠地设为基本信息，这种校正极其复杂或不可能。因而，在衬底加工设备1的导入和重置中，必须正确地设置设备基本数据151b。
图9是显示根据第二实施例的衬底加工系统10的功能结构的功能性框图。参考图9，系统控制部分100的CPU101运行维护程序154，从而实现基本数据请求部分1121、版本获取部分1122和基本数据注册部分1123作为处理部分。存储部分104存储维护程序154。
参考图9，信息存储服务器2的CPU21运行维护程序252，从而实现基本数据请求部分1221作为处理部分。硬盘24存储维护程序252。
参考图9，支持计算机3的CPU31运行维护程序351，从而实现基本数据设置部分作为处理部分。硬盘34存储维护程序351。
基本数据请求部分1121是将对设备基本数据151b的发送请求从衬底加工设备1发送到支持中心5的功能部分。用户指令经设在衬底加工设备1上的操作部分140获取设备基本数据151b。相应该指令，基本数据请求部分1121请求支持计算机3的基本数据设置部分1321发送设备基本数据151b。
为了简化操作员的输入操作，显示部分130可以显示菜单以获取设备基本数据151b。当根据向导进行输入操作时，可以减轻操作员的负担。如果支持中心5有多个支持计算机3且请求发送设备基本数据151b的支持计算机3不固定，操作员就通过输入操作指定支持计算机3发送设备基本数据151b。
版本获取部分1122是检测控制程序152版本的功能部分，控制程序152控制整体的衬底加工设备1。衬底加工设备1请求支持计算机3发送设备基本数据151b，设备基本数据151b的设置内容随控制衬底加工设备1的控制程序152的软件版本而变化。因而，衬底加工设备1将控制程序152的软件版本公布给支持计算机3，从而请求发送相应于软件版本的设备基本数据151b。
包括在信息存储服务器2中的基本数据请求部分1221也包括与包括在衬底加工设备1中的基本数据请求部分1121类似的功能。当操作员经键盘26a或鼠标26b在信息存储服务器2中输入用于基本数据的请求指令时，基本数据请求部分1221发送用于设备基本数据151b的发送请求指令。
然而，假设当信息存储服务器2请求发送设备基本数据151b时，执行指定注册设备基本数据151b的衬底加工设备1的操作。这样，信息存储服务器2可以发送对关于设在衬底加工工厂4中的衬底加工设备1的设备基本数据151b的发送请求。基本数据请求部分1221请求经LAN41将软件版本获取到衬底加工设备1的版本获取部分1122。因此，基本数据请求部分1221在指定软件版本之后将对设备基本数据151b的发送请求发送到支持计算机3。
图10显示了存储在支持计算机3的硬盘34中的多种版本的设备基本数据151b。设备基本数据151b的版本相应于用于衬底加工设备1的控制程序152的版本。
根据第二实施例，当相应于控制整个衬底加工设备1的控制程序152的软件版本管理设备基本数据151b时，也可管理相应于控制各加工单元的控制程序153的设备基本数据。这种情况下，系统控制部分100的版本获取部分1122也检测存储在单元控制部分115的存储部分114中的控制程序153的版本信息。
当从基本数据请求部分1121(或基本数据请求部分1221)收到对设备基本数据151b的发送请求指令时，支持计算机3的基本数据设置部分1321获取包括在发送请求指令数据中的控制程序152软件版本，并从硬盘34提取相应于该软件版本的设备基本数据151b。基本数据设置部分1321将提取的设备基本数据151b发送到衬底加工设备1。
在衬底加工设备1中，基本数据注册部分1123接收支持计算机3发送的设备基本数据151b，并存储在存储部分104中。因此，随后，衬底加工设备1相应于用于该衬底加工设备1的控制程序152初始化。
图10显示的状态下，安装有控制程序152版本1.0的衬底加工设备1A存储设备基本数据(Ver1.0)，安装有控制程序152版本2.0的衬底加工设备1B存储设备基本数据(Ver2.0)。
因此，根据第二实施例的衬底加工系统10可以容易地获取设备基本数据152b和反映衬底加工设备1上的设备基本数据152b，设备基本数据152b是用于经网络控制衬底加工设备1的基本信息，从而，随后，可以在相同衬底加工设备1上执行稳定的初始化操作。而且，当在由相同软件版本控制的多个衬底加工设备1上执行初始化操作时，衬底加工设备1彼此统一地初始化。换句话说，多个衬底加工设备1的初始化状态可以彼此同步。这样，当操作员手动复制设备基本数据151b时，就可能完全避免设备1之间设置造成的离差。
在每个衬底加工设备1中注册设备基本数据151b之后，各衬底加工设备1执行固有调谐。随后，根据从支持计算机3收到的设备基本数据151b和各设备2建立的设备固有数据151c优化控制各衬底加工设备1。
第二实施例中，当支持计算机3确定安装在衬底加工设备1中的控制程序152的软件版本从而发送适当的设备基本数据151b时，如果各衬底加工设备1将其类型作为信息公布给支持计算机3，当不同的衬底加工设备1混杂存在时，可能响应各衬底加工设备1的类型发送设备基本数据151b。
第二实施例中，当支持计算机3管理对衬底加工设备1公共设置的设备基本数据151b时，支持计算机3可以用管理设备固有数据151c来代替它。如上所述，当设备固有数据151c是每个设备1固有的信息时，数据151c就可以不必在另一设备中直接应用，用户可以对另一设备1使用对某个衬底加工设备1设置的设备固有数据151c作为技术窍门。
第二实施例中，当包括在系统控制部分100中的版本获取部分1122自动检测控制程序152软件版本时，功能部分就不重要了。如上所述，当经操作部分140输入对设备基本数据151b的发送请求指令时，用户可以指定设备1的软件版本。为了避免人为误差，版本获取部分1122自动检测软件版本更好。
3.第三实施例
现在描述本发明的第三实施例。图11示意性说明了根据第三实施例的衬底加工系统10A的结构。如图11所示，衬底加工系统10A的这种结构是：包括在衬底加工工厂4中的多个加工设备1C和信息存储服务器2；包括在支持中心5中的支持计算机3，这里，衬底加工设备1C的支持人员公布出来；和包括在元件中心7中的订购接受服务器8，元件中心7将衬底加工设备1的元件供应给衬底加工工厂4。多个加工设备1C和信息存储服务器2、支持计算机3和订购接受服务器8都经网络6互连。
衬底加工系统10A中，信息存储服务器2累积描述装配在衬底加工设备1C上的耗材(下文中，名词“元件”指耗材)的耗损的耗损信息，以便支持计算机3可以经网络6读取所存储的耗损信息。订购接受服务器8接受经网络6对元件的订购。
衬底加工工厂4中，衬底加工设备1C和信息存储服务器2经LAN(局域网)41互连。LAN41经有路由器、防火墙等功能的连接器42连接到诸如因特网的广域网61。支持中心5也有与支持计算机3连接的LAN51，该LAN51也经有路由器、防火墙等功能的连接器52连接到诸如因特网的广域网61。元件中心7也有与订购接受服务器8连接的LAN71，该LAN71也经有路由器、防火墙等功能的连接器72连接到诸如因特网的广域网61。这样，可以在衬底加工设备1C、信息存储服务器2、支持计算机3和订购接受服务器8之间进行多种数据通信。整个说明书中，LAN41、51和71以及广域网61通常称为网络6。
参考图11，或者，包括多个衬底加工设备1C的衬底加工工厂4可包括单个衬底加工设备1C。或者，包括多个支持计算机3的支持中心5也可包括单个支持计算机3。而且，或者，元件中心7也可包括多个订购接受服务器8。
现在，描述布置在衬底加工工厂4上的每个衬底加工设备1C。图12是衬底加工设备1C的示意性平面图。该衬底加工设备1C清洗衬底的前后表面。衬底加工设备1C包括：分度器ID，当收到加工的衬底时递送来自载体的未加工衬底和将其存储在载体中；表面清洗加工单元SS，使清洗刷与衬底表面接触或在旋转衬底时使前者接近后者，从而执行衬底清洗加工；后表面清洗加工单元SSR，使清洗刷与衬底的后表面接触或在旋转衬底时使前者与后者接触，从而执行后表面清洗加工；和传送机器人TR，在分度器ID和各清洗加工单元之间传送衬底。衬底加工设备1C也包括表面反转单元(未画)。
图13示意性说明了各表面清洗加工单元SS的结构。表面清洗加工单元SS即所谓的旋转洗涤器。旋转卡盘13即所谓的真空卡盘，它真空吸住衬底W的后表面，从而水平保持衬底W。电动机(未画)的电动机轴14挂在旋转卡盘13下表面中央。电动机经电动机轴14旋转旋转卡盘13，从而旋转其保持的衬底W。
绕衬底W布置杯15，以接收和恢复旋转衬底W所散射的加工溶液。杯15用提升机构(未画)垂直移动。当垂直机构将杯15向下移动时，杯15的上端在旋转卡盘13的下前方。这种状态下，传送机器人TR可以将衬底W引入到旋转卡盘13中和从旋转卡盘13释放。当向上移动时，杯15包围旋转卡盘13所保持的衬底W，而杯15的上端位于衬底W的上前方。杯15向上移动时清洗衬底W。
在刷臂12的前端装配清洗刷11。刷臂12垂直移动并可经驱动机构(未画)在水平平面上摆动。当在衬底W上执行表面清洗加工时，刷臂12摆动，同时使清洗刷11与衬底W表面接触或使前者接近后者并旋转衬底W，从而去除粘到衬底W表面的诸如颗粒的杂质。每个后表面清洗加工单元SSR(结构基本类似于表面清洗加工单元SS)都用所谓的机械夹来抓住衬底W的边缘，从而水平保持衬底W，如旋转卡盘13。第三实施例中，表面清洗加工单元SS和后表面清洗加工单元SSR通常指在衬底上执行预定加工的加工单元110。
图14是显示用于衬底加工设备1C的控制系统结构的框图。如图14所示，用于衬底加工设备1C的控制系统由控制衬底加工设备1C的系统控制部分100和分别控制多个加工单元110的单元控制部分115构成。
以统一方式控制衬底加工设备1C的系统控制部分100包括微机。更具体地说，系统控制部分100包括：CPU101，起主体部分作用；ROM102，起存储基本程序等的只读存储器作用；RAM103，起主要定义运算工作区域的随机存取存储器作用；存储部分104，它包括硬盘等，存储应用程序数据等；和通信部分105，执行与外部装置的数据通信。它们用总线190彼此连接。
通信部分105经网络接口(未画)连接到网络6，以便衬底加工设备1C可以将多种数据传送到信息存储服务器2、支持计算机3等或从信息存储服务器2、支持计算机3等接收多种数据。通信部分105可经网络6执行有线通信或无线电通信，本实施例中使用有线通信系统。
和系统控制部分100和多个加工单元110一起，显示部分130(显示多种信息)、操作部分140(从操作员接受处方输入操作和命令操作)、阅读器150(从诸如磁盘或磁光盘等的记录媒体91读取多种数据)也电连接到总线190。因此，数据可以在系统控制部分100的控制下经总线190在衬底加工设备1C的各个部分之间传送。
实践中，每个加工单元110包括单元控制部分115以及衬底加工部分116，衬底加工部分116起加工衬底的工作部分(例如，旋转衬底的机构、将加工溶液释放到衬底上的机构、驱动清洗刷11的机构等)的作用。单元控制部分115(单独控制加工单元110)控制和监控设有该单元控制部分115的加工单元110的衬底加工部分116的操作。换句话说，上述系统控制部分100负责统一控制整个衬底加工设备1C，而每个单元控制部分115负责控制响应每个衬底加工部分116的加工内容。单元控制部分115包括类似系统控制部分100的微机。更具体地说，单元控制部分115包括：CPU111，起主体作用；ROM112，起存储基本程序等的只读存储器的作用；RAM113，起主要定义运算工作区域的随机存取存储器作用；存储部分114，它包括用电池备份的SRAM，用于存储多种数据。
各加工单元110还设有定时器117和计算器118。定时器117有测量诸如例如加工单元110的清洗刷11元件使用时间(换为新的清洗刷11后用于衬底加工的时间)的功能。当加工单元110设有多个元件时，定时器117测量每个元件的使用时间。计算器118有计算诸如例如加工单元110的清洗刷11的元件加工的衬底数(换为新清洗刷11后加工的衬底数)的功能。当加工单元110设有多个元件时，计算器118测量每个元件的加工衬底数。
系统控制部分100的ROM102和存储部分104预先存储关于整体设备1C的系统控制程序。当系统控制部分100的CPU101根据系统控制程序执行运算处理时，随后，在整个衬底加工设备1C上实现操作控制和数据处理。单元控制部分115的ROM112和存储部分114预先存储响应加工单元110的衬底加工部分116的加工内容的单元控制程序。当单元控制部分115的CPU111根据单元控制程序执行运算处理时，随后在衬底加工部分116上实现操作控制和数据处理。
可以通过经阅读器150从记录媒体91读取或经网络6从预定服务器存储器等下载来获取和更新这些程序。每个程序都有一个版本，当更新程序时，改变用于识别版本的诸如数值的版本信息。系统控制部分100的存储部分104存储衬底加工设备1C运行的每个程序的版本信息。
现在描述布置在衬底加工工厂4上的信息存储服务器2、布置在支持中心5上的支持计算机3和布置在元件中心7上的订购接受服务器8。信息存储服务器2、支持计算机3和订购接受服务器8的硬盘结构与普通计算机类似。因而，参考图15，描述彼此类似的信息存储服务器2、支持计算机3和订购接受服务器8的基本结构。如图15所示，通过将CPU21、31或81(CPU21用于信息存储服务器2，CPU31用于支持计算机3，CPU81用于订购接受服务器8：这也应用于下面的描述)、ROM22、32或82(存储基本程序)和RAM23、33或83(存储多种信息)连接到总线来形成信息存储服务器2、支持计算机3和订购接受服务器8。硬盘24、34或84(存储多种信息)、显示器25、35或85(显示多种信息)、键盘26a、36a或86a和鼠标26b、36b或86b(从操作员接受输入)、阅读器27、37或87(从诸如光盘、磁盘或磁光盘的记录媒体91读取多种数据)以及通信部分28、38或88(经网络6与外部装置通信)也适当经接口(I/F)等连接到总线。
各信息存储服务器2、支持计算机3和订购接受服务器8可以经阅读器27、37或87从记录媒体91读取程序或将程序存储在硬盘24、34或84里。各信息存储服务器2、支持计算机3和订购接受服务器8也可经网络6从另一服务器下载程序和将其存储在硬盘24、34或84里。CPU21、31或81根据存储在硬盘24、34或84中的程序执行运算处理以执行操作。换句话说，随后，根据程序执行运算操作的结果是，信息存储服务器2作为信息存储服务器2执行操作，支持计算机3作为支持计算机3执行操作，订购接受服务器8作为订购接受服务器8执行操作。
已经描述了衬底加工系统10A、衬底加工设备1C和形成它们的信息存储服务器2、支持计算机3和订购接受服务器8，现在描述衬底加工系统10A的功能和加工内容。图16是显示衬底加工系统10A功能结构的功能性框图。图17是显示衬底加工系统10A中程序的流程图。参考图16，信息存储服务器2的CPU21运行处理程序，从而将耗损信息注册部分231和信息公开部分236分别作为处理部分来实现，支持计算机3的CPU31运行处理程序，从而将WEB浏览器312、报警部分313和订购信号发送部分314分别作为处理部分来实现。
在图17的步骤S1，测量衬底加工设备1C的元件耗损。测量每个加工单元110的耗损。根据本实施例，定时器117测量诸如清洗刷11的元件的使用时间作为耗损。单元控制部分115收集每个加工单元110测得的耗损并将其发送到系统控制部分100。系统控制部分100收集每个衬底加工设备1C测得的耗损并将衬底加工设备1C的每个元件耗损经LAN41从通信部分105发送到信息存储服务器2的耗损信息注册部分231。
然后，过程进行到图17的步骤S2，所以耗损信息注册部分231在硬盘24中注册衬底加工设备1C的每个元件的耗损。硬盘24逐渐存储衬底加工设备1C的每个元件耗损作为耗损信息241。
图18说明了示例性耗损信息241。参考图18，“设备”列显示了分配给各衬底加工设备1C的识别号，“元件”列表示耗材名称，“使用时间”和“加工衬底数”列表示耗损。本实施例应用使用时间作为耗损，因此耗损信息241不描述加工衬底数。如图18所示，耗损信息241累积关于布置在衬底加工工厂4上的每个衬底加工设备1C的每个元件的耗损。对于有设备号“8101”的衬底加工设备1C，例如，耗损信息241记录：设有“刷2”的清洗刷11的使用时间是12小时。定时器117以恒定间期测量每个元件的使用时间，耗损信息注册部分231连续在硬盘24中登记测量结果，从而构建耗损信息241。
信息公开部分236公开可经网络6读取的信息存储服务器2的硬盘24中累积的耗损信息241。支持中心5的人员可以经WEB浏览器312通过从信息公开部分236获取硬盘24中累积的耗损信息241和在显示器35上显示它来读取耗损信息241，以确认布置在衬底加工工厂4上的衬底加工设备1C的每个元件的耗损。因此，支持中心5可以有效地管理衬底加工设备1C的每个元件的耗损。经WEB浏览器312规律地获取耗损信息241。
支持计算机3的CPU31根据经WEB浏览器312获取的耗损信息241，确定衬底加工设备1C的元件耗损是否超过预设值(步骤S3)。CPU31对注册在耗损信息241中的每个元件进行该确定，即，对多个衬底加工设备1C的每个元件进行确定。当任何元件的耗损超过了预定值，即，当使用时间超过了预定值时，过程进行到步骤S4，所以报警部分313发出警报，提示更换元件。换句话说，报警部分313在硬盘24中累积的元件耗损达到预定值时发出警报提示更换元件。例如，可以在显示器35上显示警报或发出声音。
维护衬底加工设备1C的人员可以通过提示更换的警报认出元件达到其使用寿命。
第三实施例中，当任何元件的耗损超过了预设值时，过程进行到步骤S5，所以订购信号发送部分314将对新元件的订购信号发送到订购接受服务器8。当硬盘24中累积的耗损元件的耗损达到预定值时，订购信号发送部分314将用于更换该元件的新元件订购信号发送到订购接受服务器8。
当订购接受服务器8收到订购信号时，元件中心7立即将供应新元件的处理送到衬底加工工厂4。步骤S4和S5彼此顺序替换，或同时执行。
根据第三实施例，随后，当衬底加工设备1C的任何元件损耗掉或损坏时，已经在衬底加工工厂4预备了新元件，从而可立即更换该元件，元件更换造成的衬底加工设备1C停止时间可以最小化，以便可以防止设备1C工作效率显著降低。
因而，如上所述的预定值最好恰设为元件耗损到要求更换而不能使用的状态的值。当任何元件在例如100小时的使用时间后不能使用时，将90小时的时期设为要求更换的值。每个元件的寿命可通过试验来获得，计算要求更换的值，或可以用以上述方式从累积的耗损信息241推测而获得要求更换的值。更具体地说，耗损信息241记录每个元件的耗损，以便可以掌握元件不可使用时耗损。每个元件的寿命可以通过掌握导致多个元件不可使用状态的耗损水平或对其进行推测处理来获得，以便可以根据寿命来确定元件恰耗损到不可使用状态之前的值(要求更换的值)。
第三实施例中，信息存储服务器2布置在衬底加工工厂4中，本发明不限于此，但只要它可连接到网络6，能与衬底加工设备1C和支持计算机3通信，信息存储服务器2可以布置到任何地方。
第三实施例中，当任何元件的耗损超过预定值时，同时执行报警和订购信号的发送，也可执行二者之一。当只执行报警且支持中心5的支持人员意识到任何元件达到其寿命终点而用电子邮件等向元件中心7订购新元件时，随后，当衬底加工设备1C损耗或损坏时，衬底加工工厂4准备新元件，从而可以立即更换该元件，可以防止衬底加工设备1C工作效率显著减低。
可既不执行报警也不执行订购信号发送。这种情况下，随后，支持中心5的支持人员监控耗损信息241，确定更换时期和用电子邮件等向元件中心7订购新元件。
第三实施例中，耗损信息241构成为让支持计算机3确定任何元件的耗损是否超过了预定值(要求更换的值)，或者，衬底加工设备1C的系统控制部分100可以直接将元件耗损发送到支持计算机3而无须构成耗损信息241。
第三实施例中，当使用时间用作耗损时，或者，加工衬底数可用作耗损。当加工的衬底数用作耗损时，计算器118测量用诸如清洗刷11的任何元件加工的衬底数作为耗损。处理测量的耗损与上述使用时间相同。也在这种情况下，可以获得类似于将使用时间用作耗损的情况下类似的效果。或者，可以同时使用使用时间和加工衬底数作为耗损。这种情况下，当使用时间和加工衬底数超过预设值时均可报警或发送对新元件的订购信号。
而且，不仅是支持计算机3而且衬底加工设备1C或支持计算机3也可有报警功能和发送对新元件的订购信号的功能。图19是显示设有衬底加工设备1C(有报警功能和发送元件订购信号功能)的衬底加工系统10A的功能结构的功能性框图。参考图19，有与图16相同功能的部件用相同的参考数字表示。参考图19，系统控制部分100的CPU101运行处理程序，从而实现订购信号发送部分108和报警部分109，分别作为与图16所示的订购信号发送部分314和报警部分313起相同作用的处理部分。
这种情况下，系统控制部分100(严格来讲，是CPU101)确定定时器117或计算器118测量的耗损是否超出了预定值(要求更换的值)，以便报警部分109从显示部分130等给出警报或订购信号发送部分108经对新元件的订购信号从通信部分105经网络6发送到订购接受服务器8。这种情况下也可获得类似于第三实施例的效果。
假设衬底加工设备1C在衬底上执行清洗加工，在第三实施例中管理形成它的清洗刷11的耗损，本发明不限于此，也可以将根据本发明的技术应用到管理例如用光照射加热衬底形成灯退火设备的灯耗损的情况。而且，根据本发明的技术也可用于管理用于驱动传送机器人TR的皮带、滚筒、电动机等耗损的情况。
4.第四实施例
现在描述本发明的第四实施例。根据第四实施例的衬底加工系统10的整个结构与图1所示相同。然而，根据第四实施例的衬底加工系统10中，每个支持计算机3将与各衬底加工设备1操作有关的教育信息经网络6发布给衬底加工设备1，在支持中心5公布递送关于衬底加工设备1操作的讲稿的人员。
衬底加工设备1的硬件结构与参考图2和3描述的第一实施例中的硬件结构相同。而且，信息存储服务器2和支持计算机3的硬件结构也与参考图4描述的第一实施例的硬件结构相同。
图20是显示根据第四实施例的衬底加工系统10的功能结构的功能性框图。参考图20，系统控制部分100的CPU101运行控制程序，从而实现发布请求部分2108作为处理部分，支持计算机3的CPU31运行控制程序，从而实现发布部分2315作为处理部分。
包括在支持中心5中的支持计算机3内的硬盘34存储教育程序2341，以便分散部分2315可以从通信部分38经网络6发布关于衬底加工工厂4的各衬底加工设备1操作的教育信息。例如，可以使用流发布技术作为发布模式。通信部分105接收从支持计算机3发布的教育信息并将其显示在显示部分130上。
关于发布定时，教育信息可以同时发布到布置在确定衬底加工工厂4上的多个衬底加工设备1，无论存在/不存在来自衬底加工设备1的发布请求，或者，可以只发布到存在发布请求的衬底加工设备1。更具体地说，当从操作部分140输入发布请求命令时，发布请求部分2108将发布请求从通信部分105经网络6发送到支持计算机3。接收发布请求的支持计算机3的发布部分2315将教育信息从通信部分38经网络6发布给衬底加工设备1。
在将关于操作说明的讲稿同时递送给大量衬底加工工厂4的操作员时，教育信息可同时发布到多个衬底加工设备1。大量操作员可以用分配给各小组的衬底加工设备1来操作设备1和观看显示在显示部分130上的教育信息的方法来学习。
在将关于操作说明的讲稿递送给部分不熟练的衬底加工工厂4操作员的情况下，操作员可以被公布给衬底加工设备1，它反过来产生发布请求以便教育信息只发布给该衬底加工设备1。操作员可以通过观看显示部分130上显示的教育信息来学会操作设备1的方法。
在任何一种情况下，设备销售者可以通过简单地建立教育程序2341和将其存储在支持计算机3中来递送关于操作说明的讲稿，而用户可以在预期的时间反复保有关于操作说明的讲稿，有效地教育操作员操作。
第四实施例中，支持计算机3存储教育程序2341，以便支持中心5将教育信息经因特网递送给衬底加工设备1，或者，信息存储服务器2可以起支持计算机3的作用。图21是显示根据第四实施例的衬底加工系统10另一示例性功能结构的框图。参考图21，信息存储服务器2的CPU21运行控制程序，从而实现发布部分2215作为处理部分。
包括在信息存储服务器2中的硬盘24存储教育程序2241。信息存储服务器2的CPU21读取和运行该2241，以便发布部分2215可以从通信部分28经LAN41发布衬底加工工厂4的各衬底加工设备1的操作。发布的模式和定时类似于上述实施例。
而且，当经LAN41发布教育信息时，设备销售者可以通过简单地建立教育程序2241和将其存储在信息存储服务器2中来递送关于操作说明的讲稿，而用户可以在预期的时间反复保有关于操作说明的讲稿，有效地教育操作员操作。
根据本发明的技术可用于任何衬底加工设备，诸如：用光照射加热衬底的灯退火设备，执行去除颗粒的清洗加工同时旋转衬底的清洗设备，或例如通过将衬底浸渍到加工溶液(诸如氢氟酸)中执行表面加工的浸渍设备，在衬底上执行预定加工。
虽然已显示和详细描述了本发明，上述描述都是说明性的而非限制。因而，可以理解，可以涉及大量修改和改变而不背离本发明的范围。

Claims (40)

1.一种管理衬底加工设备的衬底加工设备管理系统，能经网络通信，包括：
a)第一存储部件，存储控制信息，用于控制衬底加工设备的操作；
b)复制信息获取部件，获取存储在所述第一存储部件中的所述控制信息的复制信息；和
c)存储部件，在第二存储部件中存储用所述复制信息获取部件获取的所述复制信息，第二存储部件包括在经所述网络连接到所述衬底加工设备的信息存储计算机中。
2.根据权利要求1的衬底加工设备管理系统，其中
所述控制信息包括用于控制所述衬底加工设备的控制程序。
3.根据权利要求2的衬底加工设备管理系统，其中
所述控制信息包括定义所述衬底加工设备所述操作的设置信息。
4.根据权利要求3的衬底加工设备管理系统，其中
所述设置信息包括：
基本信息，用于定义所述衬底加工设备的所述操作，和
 校正信息，添加到所述基本信息，用于优化所述衬底加工设备的控制。
5.根据权利要求4的衬底加工设备管理系统，还包括：
d)进程控制部分，让所述复制信息获取部件周期性执行获取所述复制信息的处理。
6.根据权利要求5的衬底加工设备，其中
所述存储部件包括：
c-1)提取所述复制信息获取部件获取的所述控制信息的所述复制信息和已存储在所述第二存储部件中的复制信息之间的差异信息，和
c-2)在所述第二存储部件中存储所述差异信息的部件。
7.根据权利要求6的衬底加工设备管理系统，还包括：
e)遥控计算机，经广域网与所述衬底加工设备连接，包括发送获取所述复制信息的指令命令到所述复制信息获取部件的远程指令部件。
8.一种经网络连接到预定计算机的衬底加工设备，包括：
a)第一存储部件，存储控制信息，用于控制所述衬底加工设备的操作；
b)复制信息获取部件，获取存储在所述第一存储部件中的所述控制信息的复制信息；和
c)发送部件，将所述复制信息获取部件获取的所述复制信息发送到所述计算机。
9.根据权利要求8的衬底加工设备，其中
所述控制信息包括控制程序，用于控制所述衬底加工设备。
10.根据权利要求9的衬底加工设备，其中
所述控制信息包括设置信息，定义所述衬底加工设备的所述操作。
11.根据权利要求10的衬底加工设备，其中
所述设置信息包括：
基本信息，用于定义所述衬底加工设备的所述操作，和
校正信息，添加到所述基本信息，用于优化所述衬底加工设备的控制。
12.根据权利要求11的衬底加工设备，还包括：
d)进程控制部件，让所述复制信息获取部件周期性执行获取所述复制信息的处理。
13.一种衬底加工设备管理方法，用于管理衬底加工设备，包括步骤：
a)获取控制信息的复制信息(存储在包括在所述衬底加工设备中的第一存储部件里)，用于控制所述衬底加工设备的操作；和
b)将所述步骤a)获取的所述复制信息存储在包括在信息存储计算机中的第二存储部件里，信息存储计算机经网络连接到所述衬底加工设备。
14.一种衬底加工设备管理系统，经网络使衬底加工设备和支持计算机互连，其中
所述支持计算机包括：
a-1)第一存储部件存储所述衬底加工设备初始化所必须的基本信息，和
a-2)基本信息发送部件将所述基本信息经所述网络发送到所述衬底加工设备，
所述衬底加工设备包括：
b-1)第二存储部件存储从所述支持计算机收到的所述基本信息，和
所述衬底加工设备的初始化状态安装有存储在所述第二存储部件中的所述基本信息。
15.根据权利要求14的衬底加工设备管理系统，其中
所述基本信息是对相同类型的衬底加工设备共有设置的信息。
16.根据权利要求15的衬底加工设备管理系统，其中
所述基本信息是随控制所述衬底加工设备的控制程序版本改变的信息，
所述衬底加工设备还包括：
b-2)公布部件将安装在所述衬底加工设备中的所述控制程序版本公布给所述支持计算机，和
所述基本信息发送部件包括：
a-2-1)将相应于所述衬底加工设备公布的所述控制程序版本的基本信息公布给所述衬底加工设备。
17.根据权利要求16的衬底加工设备管理系统，其中
所述衬底加工设备还包括：
b-3)指令所述支持计算机对所述基本信息的发送请求的部件。
18.根据权利要求17的衬底加工设备管理系统，其中
所述支持计算机还包括：
a-3)指令所述衬底加工设备发送所述基本信息的部件。
19.一种衬底加工设备，用作为初始化信息存储在存储部件中的基本信息控制，包括：
a)接收部件，经网络从连接到所述衬底加工设备的计算机接收所述基本信息；和
b)存储部件，将收到的所述基本信息存储在所述存储部件中。
20.根据权利要求19的衬底加工设备，其中
所述基本信息是相同类型的衬底加工设备共有设置的信息。
21.根据权利要求20的衬底加工设备，其中
所述基本信息是随控制所述衬底加工设备的控制程序版本变化的信息，
所述衬底加工设备还包括：
c)公布部件，将安装在所述衬底加工设备中的所述控制程序版本公布给所述计算机。
22.根据权利要求21的衬底加工设备，还包括：
d)指令所述计算机对所述基本信息的发送请求的部件。
23.一种管理衬底加工设备的衬底加工设备管理方法，衬底加工设备用基本信息来控制，基本信息作为初始化信息存储在存储部件中，该方法包括步骤：
a)从经网络连接到所述衬底加工设备的计算机接收所述基本信息；和
b)将收到的所述基本信息存储在所述存储部件中。
24.一种有衬底加工设备的衬底加工设备管理系统和一种管理所述衬底加工设备的计算机，它们都连接到网络，其中
所述衬底加工设备包括耗损测量部分，它测量所述衬底加工设备元件的耗损，
所述衬底加工设备管理系统包括：
耗损信息累积部件，累积耗损测量部件测量的耗损；和
耗损信息公开部件，使所述耗损信息累积部件中累积的所述耗损可经网络从所述计算机读取。
25.根据权利要求24的衬底加工设备管理系统，其中
所述耗损测量部件测量所述元件的使用时间作为所述耗损。
26.根据权利要求24的衬底加工设备管理系统，其中
所述耗损测量部件测量用所述元件加工的衬底数作为所述耗损。
27.根据权利要求24的衬底加工设备管理系统，其中
所述计算机包括报警部件，当所述耗损信息累积部件中累积的所述元件的所述耗损达到预定值时，发出警报提示更换所述元件。
28.根据权利要求27的衬底加工设备管理系统，其中
接受元件订购的订购接受服务器连接到所述网络，和
所述计算机还包括订购信号发送部件，当所述耗损信息累积部件中累积的所述元件的所述耗损达到预定值时，将关于更换新元件的订购信号发送到所述订购接受服务器。
29.一种有衬底加工设备的衬底加工设备管理系统和一种管理所述衬底加工设备的计算机，它们都连接到网络，其中
所述多个衬底加工设备均包括耗损测量部件，测量所述衬底加工设备的元件耗损，
所述衬底加工设备管理系统，包括报警部件，当所述元件的所述耗损达到预定值时发出警报以提示更换任一所述多个衬底加工设备的所述元件。
30.一种有衬底加工设备的衬底加工设备管理系统、一种管理所述衬底加工设备的计算机和一种接受订购所述衬底加工设备元件的订购接受服务器，它们都连接到网络，其中
所述衬底加工设备包括耗损测量部件，测量所述衬底加工设备的所述元件的耗损，
所述衬底加工设备管理系统包括：
订购信号发送部件，当所述衬底加工设备的所述元件的所述耗损达到预定值时，将用新元件更换所述元件的订购信号发送到所述订购接受服务器。
31.一种衬底加工设备管理方法，管理衬底加工设备元件的更换，该方法包括步骤：
测量所述衬底加工设备的所述元件的耗损；和
当所述衬底加工设备的所述元件的所述耗损达到预定值时，将用新元件更换所述元件的订购信号发送到接受元件订购的订购接受服务器。
32.根据权利要求31的衬底加工设备管理方法，还包括当所述衬底加工设备的所述元件的所述耗损达到所述预定值时，发出警报提示更换所述元件的步骤。
33.一种衬底加工设备，在衬底上执行预定加工，包括：
耗损测量部件，测量所述衬底加工设备的元件耗损；和
耗损信息发送部件，从所述衬底加工设备向外发送所述耗损测量部件测得的所述耗损。
34.一种衬底加工设备，在所述衬底上执行预定加工，包括：
耗损测量部件，测量所述衬底加工设备的元件耗损；和
订购信号发送部件，当所述元件的所述耗损达到预定值时，从所述衬底加工设备向外发送用新元件更换所述元件的订购信号。
35.根据权利要求34的衬底加工设备，还包括报警部件，当所述元件的所述耗损达到所述预定值时，发出警报提示更换所述元件。
36.一种衬底加工设备管理系统，经网络使多个衬底加工设备和计算机互连，其中
所述计算机包括教育信息发布部件，经所述网络发布与所述多个衬底加工设备的操作有关的教育信息，和
所述多个衬底加工设备均包括：
接收部件，接收从所述计算机发布的所述教育信息，和
显示部件，显示所述接收部件收到的所述教育信息。
37.根据权利要求36的衬底加工设备管理系统，其中
所述多个衬底加工设备中还都包括发布请求部件，请求所述计算机发布所述教育信息。
38.根据权利要求36的衬底加工设备管理系统，其中
所述计算机同时将所述教育信息发布给多个衬底加工设备。
39.根据权利要求36的衬底加工设备管理系统，其中
所述网络是因特网。
40.根据权利要求36的衬底加工设备管理系统，其中
所述网络是局域网。
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