CN1531671A - 提高机器生产率的系统及其方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种提高机器生产率的系统及方法。销售方计算机(26)经过通信线路(100)获得由设在机器(10)上的监视设备(18)获得的运行状态数据，并对机器(10)的运行状态进行远程监视。机器(10)还发送进行部件替换时的维护数据，而接收到维护数据的销售方计算机(26)则根据这些数据算出部件的最佳替换周期。算出的各部件的最佳替换周期被发送到工厂(101)中。在工厂(101)一侧，将最佳替换周期反馈到机器(10)的使用中，从而，能够提高生产率。

Description

提高机器生产率的系统及其方法
技术领域
本发明涉及提高机器生产率的系统及其方法，更具体地说，例如涉及：通过能够对生产电子器件等的机器进行远程监视，来提高机器的利用率(可動率)等，从而提高生产率的生产率提高系统及其方法。
背景技术
近年来，随着制造者之间的开发竞争的更加激烈化，工业产品，尤其是电子器件产品的寿命的制造者，提供一种能够确保、维持产品的高生产率的制造设备。更具体地说，就是要求提供在相同的时间内能够制造出更多产品的，或者能够用更少的设备生产出相同数量的产品的制造设备。
为了确保以及维持高生产率，需要有效地使用用于生产产品的机器。在工厂中，用于生产的机器的使用管理，通常，是以利用率为指标进行的。一般来说，机器的利用率，虽然在设备制造者的试验条件下其值是一定的，但是，会根据客户的利用条件的不同而不同。这里，机器的利用率在提供机器的销售商和作为用户的制造者之间决定。例如，对于某一台机器，当设定利用率为90％的运行标准时，使用机器的制造者及提供机器的技术支持(support)的销售商为了使机器的运行状态达到上述值，对机器进行维护管理。
维护管理大致可分为改良维护、事后维护及预防维护。一般的，在开始使用机器的初期，主要进行改良维护来使机器稳定运行。然后，在机器达到规定的利用率，并达到稳定运行的状态后，为了维持机器的运行状态，事后维护及预防维护变得很重要。事后维护是指在机器发生故障以后进行的、事后的维护管理。同时，预防维护是指鉴别可能会发生故障的部分，并对该部分重点进行维护管理的、预防性维护管理。
此外，利用率可以用[(可运行时间)-(停止时间)]/(可运行时间)×100％来表示。所述的可运行时间就是机器能够处于运行状态的时间。因此，可运行时间减去停止时间得到的值表示机器的有效(实际)运行时间。由此式可知，要想获得高利用率来确保高生产能力，就需要缩短机器的运行停止时间。
众所周知，作为缩短停止时间的方法有：将进行机器维护管理(事后维护)的维护管理系统自动化，从而缩短如发生故障时的突发的停止时间。上述可以通过，例如，对在销售商和制造者(用户)之间进行的、有关机器的运行状态、故障状况等的信息交换实行网络化、自动化来进行。日本专利特开平11-15520号公报公开了一种使这种事后维护更有效的、仅在销售商和制造者之间进行的远程监视(远程维护)系统。
上述所公开的远程维护系统由配置在多个工厂中的机器、配置在各工厂中并用于监视的主计算机、配置在供应机器的销售商企业中并用于管理的计算机构成，其中，所述用于管理的计算机与工厂方的主计算机通过通信线路连接。工厂(制造者)方的主计算机时常监视着机器。另一方面，销售方的主计算机监视是否有故障发生的报告，若有故障发生的报告则获得该报告。然后，销售方的主计算机对故障发生的报告进行分析，向工厂方发送对策信息。
但是，对于上述所公开的远程系统，用于监视的主计算机直接与设备连接，构成发送信息的结构，然而从安全的角度考虑，监视和信息的发送最好能分别进行。而且，因为生产是设备的最主要任务，所以，这种将包含用于远程维护的数据外、还包含其它数据的大量数据经主计算机向销售方发送的方法，很有可能会降低设备的生产能力，因此并不现实。
但是，近年来，并不是「损坏之后再修理」的事后维护，而是「损坏之前就进行修理」的预防维护逐渐成为主流。预防维护能够预防故障发生于未然，并且，充分的预防维护还能够减少设备的突发性停止。但是，在进行预防维护的时候需要停止机器，因此，频繁或低效率的预防维护也会使机器的利用率降低、抑制机器的生产率。然而，预防维护可以不是突发性的，而是有计划的维护，从而可以有计划地进行生产。因此，作为用于确保机器高利用率的系统，应该是一种能够有效地进行包含预防维护的维护管理的系统。
发明内容
鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种提高机器生产率的系统及方法。
并且，本发明的另一目的是提供一种能够有效进行机器的维护管理的系统及方法。
为了达到上述目的，本发明的第一技术方案的是一种为了提高机器生产率而对所述机器进行远程监视的系统，其特征在于，具有：
接收装置，通过通信与所述机器连接，从所述机器接收表示所述机器运行状态的运行信息；
监视装置，根据在所述接收装置中接收的运行信息，监视所述机器。
根据上述结构，所述监视装置根据所述运行信息，通过通信进行远程监视。这样，通过通信直接连接机器和监视设备，可以对机器进行实时监视，进而能够进行有效的维护管理。
所述监视装置根据所述运行信息，检测所述机器的故障，并且在确定了该机器的故障部件时，可以进行用于替换该故障部件的部件的订购处理或订购准备处理。于是，能够减少由于没有库存部件等而使机器停止运行的时间，进而能够进行高效的维护管理。
所述监视装置，也可以根据所述机器的运行信息导出该机器最佳定期检查周期，并将导出的该机器最佳定期检查周期反馈给所述机器。
所述接收装置还可以从所述机器接收与所述机器的替换部件有关的维护数据。此时，所述监视装置根据在所述接收装置中接收的维护信息，监视所述机器。于是，在该监视装置中，几乎能够实时掌握关于机器的维护数据。
所述维护数据是在替换构成所述机器的部件时获得的、与该部件的替换时间、种类、使用时间有关的数据。同时，所述监视装置可以根据所述维护数据导出所述部件的最佳替换周期，并反馈给所述机器。于是，能够通过将导出部件的最佳替换周期发送到机器一侧，并反馈到机器的使用上，来提高机器的生产率。
所述监视装置也可以根据所述维护数据，进行替换部件的订购处理或者订购准备处理。于是，能够减少由于没有库存部件等而使机器停止运行的时间，进而能够进行高效的维护管理。
所述运行信息可以包含，所述机器对所述被处理件进行规定处理的规定工序的处理条件参数。所述处理条件参数可以包含所述机器容器(chamber)内的温度、压力、气体流量或者它们的组合。根据所述结构，监视装置(例如，计算机)可以从各种参数的变化知道机器的运行状态。通过各种参数的变化来判断机器状态，能够进行高可靠性的远程监视。同时，除了设备销售商指定的方法以外，设备用户有时也自行设置参数来排除这种简单错误，从而能够获得高利用率。
所述运行信息也可以包含图像数据。即，可以具有如下结构：在机器上设置传感器装置，使用作为该传感器装置的摄像设备来获得与机器的运行状态有关的图像数据，并根据获得的图像数据对机器进行监视。于是，能够从多个方面对机器的运行状态进行监视。
所述运行信息也可以包含所述机器的成品率(步留まり)数据。所述运行信息还可以包含用所述机器处理的被处理件的数量。所述机器可以是半导体器件或液晶显示器件的制造设备。
为了达到上述目的，本发明的第二技术方案是一种系统，其特征在于，具有：
机器，所述机器具有：传感装置，能够获得表示机器运行情况的运行信息；及发送装置，发送在所述传感装置中获得的运行信息；
监视设备，所述监视设备具有：接收装置，通过通信与所述机器连接，接收由所述机器的发送装置发送的运行信息，及监视装置，根据在该接收装置中接收的运行信息，监视所述机器。
根据上述结构，监视设备根据在机器自身具有的传感装置中获得的机器自身的运行状态数据，通过通信对机器进行远程监视。这样，通过通信直接连接机器和远处的监视设备，从而能够在监视设备上对机器进行实时监视，进而能够进行有效的维护管理。
所述监视装置检测所述机器的故障，并在确定了该机器的故障部件时，可以进行用于替换该故障部件的部件的订购处理或订购准备处理。
所述监视装置，也可以根据所述机器的运行信息导出该机器最佳定期检查周期，并将导出的最佳定期检查周期反馈给所述机器。
所述机器也可以具有能够输入与替换该机器的部件有关的维护数据的输入装置。此时，所述发送装置将从所述输入装置输入的维护数据发送到所述监视装置中。
所述维护数据可以是在替换所述机器的部件时获得的、与该部件的替换时间、种类、使用时间有关的数据。同时，所述监视装置可以从所述维护数据导出所述部件的最佳替换周期，并反馈给所述机器。
所述监视装置也可以根据所述维护数据，进行替换部件的订购处理或订购准备处理。
所述机器可以进行规定工序，从而对所述被处理件进行规定处理。并且，所述运行信息也可以包含所述工序的处理条件参数。
所述机器具有容器，而所述处理条件参数可以包含所述容器内的温度、压力、气体流量或者它们的组合。
所述运行信息可以包含图像数据。所述运行信息也可以包含所述机器的成品率数据。所述运行信息还可以包含通过所述机器处理的被处理件的数量。所述机器可以是半导体器件或液晶显示器件的制造设备。
为了达到上述目的，本发明第三技术方案是一种为了提高机器生产率而对所述机器进行远程监视的方法，其特征在于，该方法具有：
接收工序，通过通信从所述机器接收表示所述机器的运行状态的运行信息；
监视工序，根据在所述接收工序中接收的运行信息，监视所述机器。
所述监视工序根据所述运行信息检测所述机器的故障，并在确定了该机器的故障部件时，可以进行用于替换该故障部件的部件的订购处理或者订购准备处理。
所述监视工序可以根据所述机器的运行信息导出该机器的最佳定期检查周期，并将导出的最佳定期检查周期反馈给所述机器。
所述接收工序还可以从所述机器接收与替换所述机器的部件有关的维护数据。此时，所述监视工序根据在所述接收工序接收的维护信息，监视所述机器。
所述维护数据可以是在替换构成所述机器的部件时获得的、与该部件的替换时间、种类、使用时间有关的数据。此时，所述监视工序从所述维护数据导出所述部件的最佳替换周期，并反馈给所述机器。
所述监视工序也可以根据所述维护数据，进行替换部件的订购处理或订购准备处理。
所述运行信息可以包含所述机器对所述被处理件进行规定处理的规定工序的处理条件参数。并且，所述处理条件参数可以包含所述机器容器内的温度、压力、气体流量或者它们的组合。所述机器例如是半导体器件或液晶显示器件的制造设备。
附图的简要说明
图1是本发明实施方式的系统结构图。
图2表示本发明实施方式的历史信息数据库的一个例子。
图3表示本发明实施方式的历史信息数据库的一个例子。
图4表示本发明实施方式的概况(profile)信息数据库的一个例子。
图5表示本发明实施方式的概况信息数据库的的一个例子。
图6表示本发明实施方式的联络方式数据库的一个例子。
图7表示本发明实施方式的联络方式数据库的一个例子。
图8表示本发明实施方式的替换周期数据库的一个例子。
图9是本发明实施方式的系统动作流程图。
图10是本发明实施方式的系统动作流程图。
图11是本发明实施方式的工厂结构图。
图12是本发明实施方式的CVD设备结构图。
图13是图12的控制器结构图。
图14表示本发明实施方式的历史信息数据库的一个例子。
图15表示本发明实施方式的替换周期数据库的一个例子。
发明的最佳实施方式
下面，参照附图，对本发明实施方式的提高机器生产率的系统及其方法进行说明。在本实施方式中，以销售商是半导体制造设备的制造者、而制造者是半导体器件的制造者的场合为例进行说明。
图1是本发明实施方式的系统结构图。
如图1所示，本实施方式的系统由使用销售商提供的机器10的工厂101、离工厂101很远的销售商的企业102及连接工厂101和销售商企业102的通信线路100构成。
工厂101例如是半导体制造工厂，其内部配有机器10、工厂方计算机11及连接机器10和工厂方计算机11的厂内配线网络12。
机器10是一台或多台由销售商提供的用于生产的机器。机器10为半导体制造设备，例如是，用于前工序的机器(成膜设备、热处理设备等)、用于后工序的机器(安装设备、试验设备等)及存储各种数据的计算机(服务器)，在本实施方式中，以具有容器的设备为例进行说明。
如图1所示，机器10具有中央处理部分13、监视部分14、通信控制设备15、输入输出控制部分16及存储部分17。
中央处理部分13具有在图中没有示出的RAM和ROM等，通过进行规定处理来控制机器10整体的动作。监视部分14具有传感器等监视设备，对机器10的运行状态进行监视。而且，中央处理部分13利用监视部分14(监视设备18)依次获得机器10的运行状态数据。
通信控制设备15在LAN(Local Area Network，局域网)等厂内配线网路12中起机器10侧的接口作用。中央处理部分13经过通信控制设备15，与外部进行收发信息。
输入输出控制器16连接在配电盘等输入输出设备19上。输入输出设备19起人机接口的作用。工厂101内的操作员从输入输出设备19对机器10进行主要控制。而且，在对部件进行了定期替换或修理替换时，操作员从输入输出设备19输入部件的替换日期、部件的种类、使用时间等维护数据。另外，维护数据中还包含设备所具有的日志数据(log data)。日志数据和时间戳(timestamp)是数据化了的该设备所有的动作历史，从中能够知道，操作员对该设备进行了何种操作、设备的某个传感器何时进行了何种动作、设备的软件何时进入到何种程序(routine)以及何时向设备内的存储部分(存储器)输入了何种数据等。
存储部分17存储监视设备18获得的运行状态数据及从输入输出设备19输入的维护数据。监视设备18例如是容器所具备的压力传感器、温度传感器、流量传感器等。运行状态数据是通过这些传感器得到的与容器内的压力、温度、气体流量等有关的数据。中央处理部分13向工厂方计算机11实时发送存储在机器部分17内的运行状态数据。同时，每当有新的维护数据输入时，中央处理部分13就将这些维护数据发送到工厂方计算机11内。此外，在图1中，存储部分17被设置在机器10内，但是，例如也可以将存储部分11设置在机器10外。
工厂方计算机11对在工厂101中使用的多台机器10进行集中管理。如图1所示，工厂方计算机11具有中央处理部分20、存储部分21、输入输出控制部分22及通信控制设备23。
中央处理部分20具有在图中没有示出的RAM和ROM等，并通过进行规定处理来控制工厂方计算机11的动作。存储部分21存储经过厂内配线网络12从各工厂10接收的运行状态数据和部件替换日期等的维护数据。
中央处理部分20时常监视着接收的运行状态数据，并且，当检测到机器10的状态(运行状态)出现异常的时候，向工厂101内的操作员及销售商报告发生了故障。此时，若能够通过来自销售商的、对应于故障的应答信息进行修复时，即，例如能够通过更新软件等进行修复时，中央处理部分20，从销售商的计算机26下载规定软件，自动进行修复处理。
从机器10经过厂内配线网络12向工厂方计算机11发送的运行状态数据，经过通信线路100，同样地被发送到销售方。同时，从机器10定期发送的、与部件替换有关的维护数据，也经过工厂方计算机11，被发送到销售方。此外，也可以从销售方连接工厂方计算机11，来获得运行状态数据和维护数据。
输入输出控制部分22与具有显示器、键盘等的输入输出设备25连接。输入输出设备25起人机接口的作用。工厂101内的操作员通过输入输出设备25，对工厂方计算机11及与之相连接的机器10进行控制。并且，当发生故障时，通过输入输出设备25向操作员告知在机器10内发生了故障，此时，操作员有时也通过输入输出设备25进行必要的维护操作。
然而，机器10一般都配置在无尘室内。但是，因为操作员进入无尘室之前，必须要穿防尘服、进行空气淋浴及洗手，所以，也可以将机器10的输入输出设备25设置在无尘室以外。例如，当通过改变设定在机器10内的处理条件(配方)来对机器10内发生的工序异常状况做对应处理的时候，操作员可以不进入无尘室，而是在无尘室外对输入输出设备25进行操作来改变配方。这里，最好在机器10内一发生故障就向输入输出设备25发送发生故障的信息，从而使在无尘室外也能够知道机器10发生了故障。
通信控制设备23在厂内配线网络12及通信线路100中，起工厂方计算机11一侧的接口的作用。中央处理部分20经通信控制设备23与机器10及销售商进行收发信息。
通信线路100，例如，可以使用能够高速通信的互联网、ISDN、光纤等公用线路或专用线路。并且，也可以是公用线路网。而作为连接，可以使用时常连接或者每次使用时连接的方法。
通信线路100连接着上述工厂101、使用销售商提供的机器10的多个工厂110、120及销售商企业102。多个工厂110、120具有与上述工厂101相同的结构(没有图示)。例如，多个工厂110、120具有集中管理机器10的工厂方计算机。各工厂110、120内的机器10的维护管理信息通过该工厂方计算机向销售商发送。
销售商企业102具有销售方计算机26。如图1所示，销售方计算机26具有中央处理部分27、通信控制设备28、存储部分29、输入输出控制部分30。
中央处理部分27具有在图中没有示出的RAM、ROM，并通过进行规定处理来控制销售方计算机26的动作。通信控制设备28在通信线路100中起销售方计算机26一侧的接口的作用。中央处理部分27通过通信控制装置28与多个工厂方计算机11进行收发信息。
输入输出控制部分30与具有显示器(画面)、键盘等的输入输出设备31连接。输入输出设备31起人机接口的作用。销售方操作员(operator)通过输入输出设备31对销售方计算机26进行控制。而且，在发生故障时，销售方操作员能够用邮件等向工厂101一侧发送对应的处理信息，并且，能够确认各机器10的运行状态等。
存储部分29具有历史信息数据库(DB)32、概况信息数据库33、联络方式信息数据库34以及替换周期信息数据库35。
历史信息数据库32，存储从工厂方计算机11接收的运行状态数据和维护数据。历史信息数据库32中所存储的信息是从多个工厂101、110、120等中的运行的各机器10获得的、规定期间内的运行状态数据和维护数据。
图2表示存储在历史信息数据库32中的运行状态数据的一个例子。如图2所示，历史信息数据库32收集机器10的收货方(制造者)、使用的工厂、每个个体(序列号)的运行状态数据。运行状态数据是表示机器10的运行状态的物理数据，例如是，在利用机器10对被处理件进行规定的处理工序中，基于容器内的温度、压力、气体流量等参数的物理量。运行状态数据通过机器10的监视设备18取得，并定期向销售方计算机26发送。历史信息数据库32例如存储作为温度数据的如图2中的*1所示的数据。
图3表示本发明实施方式的历史信息数据库的一个例子。
如图3所示，与运行状态数据一样，在历史信息数据库中存储着收货方、工厂及每个个体的维护数据。每当机器10替换部件的时候从机器10的一侧发送维护数据。
销售方计算机26将接收的维护数据作为构成机器10的各部件的替换历史(时间)及使用时间数据来存储。如后所述，从存储在历史信息数据库32中的使用时间数据导出各部件的最佳替换周期。
概况信息数据库33存储机器10的每个动作工序的参数(温度、压力等)的基准概况。例如，在机器10进行规定工序的时候，该工序中的温度变化是已经规定好了的。概况信息数据库33中存储着与各工序的各种参数有关的基准概况。
图4是概况信息数据库33内的、机器10的工序A、B等中的各参数的基准概况的一个例子。如图4所示，作为在工序A中变化的参数，使用压力和温度等。因此，作为各参数的概况，存储着如*2(压力)、*3(温度)所示的基准概况。
同时，如图5所示，概况信息数据库33中存储每个机器10的工序表。工序表表示各收货方(制造者)、各工厂及每个机器10的使用计划，这些是预先由制造方向销售商通知的。例如，工序表如图5的*4所示。在此例中，机器10连续进行工序A、B、C后停止，然后重新进行工序A、B、C。
在机器10的动作中，销售方计算机26按照图5所示的工序表，并关于各参数，读取图4所示的基准概况，同时，对从机器10接收的实际运行状态数据中的、各参数的变化概况和读取的基准概况进行比较，来监视机器10的状态。例如，各参数的实际变化概况与基准概况间的误差不在5％范围内时，销售方计算机26判断为机器10处于异常状态。
联络方式信息数据库34存储构成机器10的每个部件的部件供应商与其联络方式(邮件地址、移动电话号码等)。图6是部件供应商的联络方式数据库34的一个例子。当销售方计算机26从机器10接收到维护数据(部件替换信息)时，就进行订购处理或者订购准备处理。即，销售方计算机26参照图6所示的联络方式信息数据库34，向供应部件的供应生产商(業者)发送该部件的订购信息。
同时，销售方计算机26在监视动作中检测机器10的异常，当判断出需要替换特定的部件时，参照联络方式信息数据库34，向生产商发送该部件的订购信息(订购处理或订购准备处理)。
此外，联络方式信息数据库34中存储工厂方操作员及销售商操作员(现场工程师)的联络方式(邮件地址等)。图7是已建立的数据库的一个例子。在图7所示的数据库中，链接着与各机器10有关的、收货方(制造者)、收货方负责部门(人)的邮件地址，以及销售商负责部门(人)的邮件地址。
销售方计算机26在检测出运行状态异常的时候，参照如图7所示的联络方式信息数据库34，向工厂方及销售方报告发生了故障的信息及故障内容。工厂方的责任操作员，基于报告的信息，确认机器10的状态，并进行必要的处理。同时，销售商的责任操作员基于报告的信息，根据需要，携带替换部件到发生故障的机器10所在的工厂101，进行修复作业。
替换周期数据库35存储构成机器10的各部件的最佳替换周期。图8是替换周期数据库35的一个例子。存储在替换周期数据库35中的部件替换周期，作为初始数据，存储着销售商向用户交付所述机器10的时候作为使用条件向用户侧提供的周期。
中央处理部分27，参照上述初始信息和存储在历史信息数据库32中的维护数据，通过规定的程序算出各部件的最佳替换周期。中央处理部分27在每次取得新的维护数据时都进行上述处理，并将算出的新的最佳替换周期更新存储到替换周期信息数据库35中。存储在替换周期信息数据库35中的最佳替换周期，作为能够反馈到机器10的使用中的信息，定期被发送到工厂方。
这里，作为初始数据最初存储在替换周期信息数据库35中的部件替换周期，是销售商从设计或制造时进行的耐久试验得出的值，而不是实际使用条件下的值。此外，为了避免故障的发生，该值一般设定的要比实际预想的小一些，因此，可能会与实际使用条件下的值有很大的差距。此时，若按照上述替换周期进行部件替换等预防维护，则会无法有效使用机器，实际上会降低利用率。而且，还会对实际中尚能完全继续使用的部件进行了替换，造成成本的浪费。
但是，如上所述，通过积累来自机器10的、实际使用条件下的维护数据，并实施最适合于所积累的维护数据的处理，使更新存储在替换周期数据库35中的各部件的替换周期，随着接收的数据量的增加逐渐接近实际值。此外，销售商所积累的数据，并不局限于同一个用户(制造者)、而是能够从多个不同用户收集。由此，增加了所得的数据量，而所导出的值也比只从单独用户收集的值更可靠。
于是，发送到用户侧的最佳替换周期，作为更有效的机器的使用条件，将此信息反馈到用户方。用户方将接收到的替换周期信息和各自的工厂的操作计划组合起来，使预防维护更有率，从而能够以更高的效率使用机器。
下面，参照附图说明上述系统的动作。图9、图10表示销售方计算机26的动作流程。当然，在图9、图10中所示的流程仅是销售方计算机26的动作的一个例子，只要能够产生同样的效果，可以采用任何一种结构。
监视动作中，销售方计算机26接收设在机器10上的监视设备18所获得的机器10的实时运行状态数据(步骤S11)。销售方计算机26将接收到的运行状态数据存储到历史信息数据库32中(步骤S12)。
销售方计算机26从历史信息数据库32的运行状态数据中，读出规定参数，例如，基于温度的数据(变化概况)(步骤S13)。
其次，销售方计算机26参照存储在概况信息数据库33中的与温度有关的基准概况，和读出的(实测)数据的概况进行比较(步骤S14)。
接下来，销售方计算机26判断实测的概况与基准概况之间的差是否在规定误差范围内(例如，5％)(步骤S15)。
在步骤S15中，当判断为实测的概况与基准概况之间的差在规定误差范围内时(步骤S15：Yes)，返回到步骤S11，销售方计算机26接收运行状态数据继续监视机器10。
相反，当判断为两者的差不在规定误差范围内时(步骤S15：No)，销售方计算机26判断为机器10发生了故障。于是，销售方计算机26通过工厂方计算机11的输入输出设备25向工厂101侧通知发生了故障及其状况，同时，从联络方式数据库34读取制造方(收货方)的负责维护的部门(人)的邮件地址等联络方式信息，向负责维护的部门告知发生了故障(步骤S16)。
此外，销售方计算机26还通过销售方计算机26的输入输出设备31向销售方操作员通知发送了故障及其状况，同时，从联络方式信息数据库34读取销售方的负责维护的部门(人)的邮件地址等联络方式信息，向负责维护的部门(现场工程师)告知发生了故障(步骤S16)。
工厂101一侧及销售方的操作员根据来自销售方计算机26的通知，进行对应的处理。当然，用于通知工厂101一侧及销售方的负责维护的部门的通知装置并不局限于邮件，也可以是移动电话、无线电寻呼机等。
而且，销售方计算机26可以从运行状态数据确定导致发生异常的部件，并判断为需要替换部件时，参照存储在联络方式信息数据库34中的供应替换部件的生产商的联络方式信息，向所述生产商发送订购信息。
例如，销售方计算机26判断出是与气体流量有关的数据概况出现了异常，并从积累的数据等判断出需要替换阀时，向现场工程师指示进行替换阀的同时，参照联络方式信息数据库34，读取阀供应生产商的联络方式信息，向生产商发送订购信息。
检测出发生了故障的销售方计算机26向工厂101一侧发送进行处理所必要的维护信息(步骤S17)。这里，若是轻微故障、或是软件上的故障时，工厂方计算机11例如能够通过从销售方计算机26下载规定软件等来自动进行修复处理。若不是这种情况，就由接收到销售方计算机26的报告的销售方及工厂101一侧的操作员直接进行修复处理。
以上，根据图9所示的流程，销售方计算机26对配置在工厂101内的机器10进行远程监视。销售方计算机26从设在机器10上的监视设备18所取得的温度等运行状态数据判断机器10的运行状态。当判断出机器10处于异常状态时，销售方计算机26向工厂101一侧及销售方的操作员报告发生异常的情况。此时，销售方计算机26如果判断出需要替换部件时，则同时进行替换部件的订购。这样，因为销售方计算机26对机器10进行远程监视，所以能够对故障进行快速反应，从而能够缩短因故障而导致机器10停止的停止时间。因此，能够延长机器10的运行时间，进而能够提高机器10的利用率。
此外，销售方计算机26并不仅如上述那样对机器10进行远程监视，而且还收集与机器10有关的维护数据，并对应所得维护数据实施规定的处理动作。
从机器10向销售方计算机26，一般逐次发送运行状态数据，而在进行部件替换等维护作业时，发送由操作员输入的与维护有关的数据。
这里，机器10的部件替换在机器10的定期检查(定期分解检修)中的替换期到来时，或者因为部件的原因发生了故障，必须要进行替换修理时进行。替换部件的时候，操作员先停止机器10后替换应替换的部件。替换作业结束后，操作员从机器10上的输入输出设备19输入所替换部件的种类、日期、使用期限等维护数据。维护数据存储在存储部分17中。中央处理部分13将存储在存储部分17中的维护数据，通过厂内配线网络12发送到工厂方计算机11中。工厂方计算机11将接收的维护数据存储到存储部分21中，同时，通过通信线路100发送到销售方计算机26中。
下面，参照图10所示的流程，对销售方计算机26的进行维护数据处理时的动作进行说明。
首先，销售方计算机26从工厂101一侧接收维护数据(步骤S21)。销售方计算机26(中央处理部分27)将接收的维护数据存储到历史信息数据库32中(步骤S22)。
然后，销售方计算机26从存储在历史信息数据库32中的维护数据中读出替换部件的种类，并参照图6所示的联络方式信息数据库34读出该部件供应生产商的联络方式，向所述供应生产商发送订购信息(步骤S23)。
回到图10，接下来，销售方计算机26进一步对存储在历史信息数据库32中的维护数据进行规定的分析处理。即，对于定期替换或修理替换的部件，算出每种部件的平均使用时间，并对所得值取规定的幅度(margin)，导出最佳替换周期(步骤S24)。
导出的最佳替换周期被更新存储到替换周期信息数据库35中(步骤S25)。于是，每当对多个机器10进行部件替换，从而获得新的维护数据时，存储在替换周期信息数据库35中的部件的替换周期就会得到优化。
通过上述处理得到的部件的最佳替换周期，定期的，例如，每隔1～2周，被发送到所有的工厂101、110、120一侧。而工厂101、110、120，能够参照所接收的替换周期信息，制定新计划，使得机器10及工厂101等能够更有效地运行。同时，为了避免发生故障，一般要设定部件的替换周期比实际预想的短一些，因此，随着部件的最佳替换周期的可靠性的提高，部件的替换周期会变长。于是，能够有效使用机器。
以上，按照如图10所示的流程，销售方计算机26处理包含部件替换周期的维护数据。销售方计算机26在进行替换部件的订购的同时，根据所得的部件的使用时间等进行规定的分析处理，导出部件的最佳替换周期。通过分析处理得到的信息，被发送到用户(工厂101等)方，并被反馈到机器10的使用中。
其次，将设有CVD设备等机器10的工厂101为例，对系统进行说明。图11表示本发明实施方式的工厂101的结构。如图11所示，工厂101具有工厂方计算机11和多台机器10，并且，各机器10和工厂方计算机11之间通过厂内配线网络12连接。机器10具有n台CVD(Chemical Vapor Deposition，化学汽相沉积)设备36(361～36n)、其他机器(在图11中是m台氧化设备37(371～37m))及j台测定设备(411～41j)。n台CVD设备36(361～36n)具有同样的结构，并分别装载半导体晶片等被处理件，并通过CVD对被处理件进行成膜处理。作为机器10的一个例子，参照图12，对CVD设备36的一个结构例进行说明。
如图12所示，CVD设备36是批量式设备，它具有由内管302a和外管302b所构成的双重管结构的反应管302，在反应管302的下面设有筒形金属管道(manifold)321。反应管302内设有多片晶片W，例如，构成被处理件的150片晶片W上下以一定间隔水平地配置在晶片槽323上，成隔板形状。该晶片槽323由盖324上的保温筒325支承着。
反应管302的周围设有五段结构的加热器331～335。加热器331～335通过电力控制器336～340，分别独立供电，并能够独立控制。反应管302、管道321及加热器331～335构成加热炉。反应管302被加热器331～335分成五个区域。
此外，在管道321中设有向内管302a内供应气体的3根气体供应管341、342、343。经质量流控制器(MFC)344、345、346，用于成膜的原料气体和载体气体分别被供应到气体供应管341、342、343内。而且，管道321连接着排气管327，以便从内管302a和外管302b之间的空隙排气。同时，在反应管302内设有用于测定反应管302内的压力的压力传感器(图中没有示出)。
，作为监视设备18的5个温度传感器(热电偶)S1～S5在内管302a的内表面上沿垂直方向排成一列。为了防止晶片W受金属污染，温度传感器S1～S5被石英管等完全覆盖，并分别配置在每个区域内。
CVD设备36具有控制器400，用于控制反应管302内的处理气氛的温度、气体流量、压力等处理条件参数。图13表示控制器400的结构。如图13所示，控制器400和上述系统一样，具有中央处理部分13、监视部分14、通信控制设备15、输入输出控制部分16及存储部分17。监视部分14具有包含温度传感器S1～S5、MFC344～346、电力控制器336～340的监视设备18。而且，控制器400的通信控制设备15通过厂内配线网络12与工厂方计算机11连接，而工厂方计算机11通过通信线路100与销售方计算机26(通信控制设备28)连接。
此外，销售方计算机26的存储部分29具有历史信息数据库32、概况信息数据库33、联络方式信息数据库34及替换周期信息数据库35。
历史信息数据库32存储运行状态数据、维护数据及晶片W的测定数据。运行状态数据和维护数据的构成与上述系统的数据几乎相同。此外，运行状态数据还存储表示在替换或清洁规定部件后的第几次运行(或者第几时间)的RAN次数(RAN时间)。这是因为在晶片W上所成的膜的物性也会根据CVD设备36的RAN次数的不同而不同。如图14所示，测定数据是利用CVD设备36在晶片W上形成的膜的膜厚、膜的均匀性等数据，与运行状态数据对应存储。测定数据由测定设备41测定，并定期被发送到销售方计算机26中。
替换周期信息数据库35存有构成机器的各部件的最佳替换周期等。图15表示替换周期信息数据库35的一个例子。如图15所示，替换周期信息数据库35除了存储替换部件的最佳周期外，还存储清洁部件的清洁周期。
此外，概况信息数据库33和联络方式信息数据库34的构成与上述系统的数据相同。
下面，参照图9，说明使用如上述构成的CVD设备36的系统的动作。
在监视动作中，销售方计算机26接收由设在CVD设备36上的温度传感器S1～S5等监视设备18获得的、CVD设备36的实时运行状态数据(步骤S11)。然后，销售方计算机26将接收的运行状态数据存储到历史信息数据库32中(步骤S12)。
其次，销售方计算机26从历史信息数据库32的运行状态数据中读出规定参数，如基于温度的数据(变化概况)(步骤S13)。销售方计算机26参照存储在概况信息数据库33内的与温度有关的基准概况，和读出的(实测)数据的概况进行比较(步骤S14)。这里，在本实施方式中，预先备有针对每个区域已经调整好的基准概况(温度配方)，并且在每一区域，比较实测的概况与基准概况，使得晶片W的表面之间的、以及面内的处理结果均匀。
接下来，销售方计算机26判断实测概况与基准概况的温度差是否在规定范围内(例如，5％)(步骤S15)。
销售方计算机26，当判断为实测概况与基准概况的温度差在规定范围5％内的时候(步骤S15：Yes)，返回到步骤S11，接收运行状态数据，继续监视CVD设备。
销售方计算机26，当判断为实测概况与基准概况的温度差大于规定范围5％的时候(步骤S15：No)，判断在CVD设备36内发生了故障。
销售方计算机26向销售商操作员通知发生了故障及其状况，同时，向销售方的负责维护的部门(现场工程师)告知发生了故障(步骤S16)。同时，销售方计算机26向配有CVD设备36的工厂方通知发生了故障及其状况，同时，向制造方的负责维护的部门报告发生了故障(步骤S16)。
销售方计算机26根据实测概况和运行状态数据内存储的数据确定发生异常的原因。然后，销售方计算机26可以从运行状态数据确定导致发生异常的部件，并且在判断为需要替换部件的时候，向供应替换部件的生产商发送订购信息。例如，销售方计算机26，判断出：反应管302的最上部分区域的温度的数据概况出现了异常，并且尽管指示控制器400升高加热器331的温度，反应管302的最上部分区域的温度还是很低，而且根据累计数据等来看需要替换最上部分的加热器331时，销售方计算机26指示现场工程师对加热器331进行替换，同时，向加热器的供应生产商发送订购加热器的信息。
销售方计算机26向工厂方发送进行处理所必要的维护信息(步骤S17)。然后，工厂方及销售方的操作员根据来自销售方计算机26的通知，进行对应的处理。
此外，销售方计算机26也可以通知工厂方及销售方的操作员，使他们根据存储在历史信息数据库32中的测定数据和存储在历史信息数据库32中的积累数据，改变加热器331～335的温度、反应管内的压力等。由此，能够将测定设备41的测定结果反馈到CVD设备36的成膜条件中。此时，并不局限于测定结果在规定的误差范围以外的场合，例如，也可以是成膜膜厚虽然符合规格但还稍微厚的、测定结果在规定的误差范围内的场合。
接下来，参照图10，销售方计算机26处理维护数据时的动作进行说明。
首先，销售方计算机26从中央处理部分15经过工厂方计算机11，接收存储在存储部分17中的维护数据(步骤S21)。销售方计算机26将接收的维护数据存储在历史信息数据库32内(步骤S22)。
其次，销售方计算机26从存储在历史信息数据库32内的维护数据中读出替换部件的种类，并向该部件的供应生产商发送订购信息(步骤S23)。
接着，销售方计算机26进一步对维护数据进行规定的分析处理，导出最佳替换周期(步骤S24)，并更新存储到替换周期信息数据库35中(步骤S25)。通过上述处理获得的部件的最佳替换周期，定期地，例如，每隔1～2周被发送到工厂101一侧。工厂101一侧，则参照接收的替换周期信息，能够制定新计划，使得CVD设备36能够更有效地运行。
此外，销售方计算机26还会根据机器的使用次数、使用时间，向工厂方及销售方的操作员报告需要替换部件等信息。例如，销售方计算机26从存储在历史信息数据库32中的运行状态数据判断CVD设备36进行晶片W的成膜处理的次数。然后，销售方计算机26参照如图15所示的替换周期信息数据库35，在进行了规定次数如××次晶片W的成膜处理后(RUN××次)，向工厂方及销售方的操作员通知需要清洁晶槽323。而且，当销售方计算机26判断出进行了○○次晶片W的成膜处理的时候(RUN○○次)，向工厂方及销售方的操作员通知需要更换晶槽323。
如以上说明，根据本发明的系统，根据机器10的监视设备18所获得的运行状态数据，销售方计算机26对机器10进行远程监视。同时，从机器10向销售方计算机26发送与部件替换有关的维护数据。销售方计算机26从维护数据算出部件的最佳替换周期，并以数据库形式进行存储。形成数据库的信息，定期被发送到工厂101一侧，而工厂方，能够将该信息作为机器10的更有效的使用条件以反馈的方式使用。因此，用户方将接收的替换周期信息和各自的使用计划结合起来，从而可提高预防维护的效率，并能够以更高的利用率运行机器10。进而，能够提高使用机器10的产品的生产率。
本发明并不局限于上述的实施方式，可以进行各种变形和应用。下面，对能够适用于本发明的上述实施方式的变形例进行说明。
在上述的实施方式中，与部件替换有关的维护数据，是通过设在机器10上的输入输出设备19输入的。但是，并不局限于此，维护数据也可以从工厂方计算机11输入，并发送到销售方计算机26。此外，从机器10发送的运行状态数据及维护数据通过厂内配线网络12被发送到销售方计算机26中，但是，也可以将设在机器10内的通信控制设备15直接连接在互联网等通信线路上，直接将上述数据发送到销售方计算机26中。
在上述实施方式中，设在机器10上的监视设备18是温度传感器、压力传感器、流量传感器等。同时，从机器10发送的运行信息数据是与温度、压力、气体流量等有关的物理数据。但是，运行状态数据因为只要是表示机器10的运行状态的物理数据就可以，所以，例如也可以包含经机器10处理过的半导体晶片等被处理件的数量。此时，例如只要使销售方计算机26监视单位时间内的处理量(生产量)就可以。而且，此时，也可以在工厂方进行显示，使工厂方每次在处理规定片数的晶片后更换规定部件。
此外，运行状态数据还可以包含成品率数据。此时，也可以使工厂101一侧的操作员从机器10的输入输出设备19输入机器10的成品率数据，并将此成品率数据发送到销售方计算机26中。这样，通过对表示机器10的运行状态的各种物理数据进行组合，能够从各种角度对机器10的运行状态进行监视。
在上述的实施方式中，销售方计算机26将从机器10接收的运行状态数据，和对应于机器10的使用计划(工序表)的、与规定参数有关的基准概况作比较，从而判断机器10的运行状态。此时，当与规定的基准概况的差在规定的误差范围外时，判断为机器10出现了异常状态。但是，判断方法并不局限于此，也可以使用其它既知的判断方法，或者与它组合起来使用。
此外，销售方计算机26也可以是通过CCD图像、SEM图像等来判断机器10的状态的结构。此时，监视设备18具有CCD、SEM等摄影设备。例如，用CCD图像数据对机器10的状态进行判断时，定期对容器的构成部件进行摄影，并从所摄的图象判断各部件的恶化状态。此外，使用SEM图像数据时，例如，先获得处理后的晶片表面的SEM图像数据后，比较所得图像与基准图像(期望的处理后图像)，判断有无微粒(particle)、图形(pattern)缺陷等，从而判断机器10的运行状态。此外，也可以将这种图像数据和上述物理数据组合起来，对机器10的运行状态进行多方面的监视。
在上述实施方式中，销售方计算机26对从机器10获得的维护信息进行分析处理，算出部件的最佳替换周期，并反馈给用户(工厂)侧。但是，并不局限于此，如果能够反馈到机器10的使用上，则可以通过维护信息的分析处理，导出任何信息。
例如，也可以将反馈到用户侧的信息作为机器10的定期检查周期。一般，机器10在进行部件替换以外，还定期进行检查作业，以便进行机器的清洁、机构部件的润滑油添加(grease up)等。销售方将机器10交给用户侧的时候，还将通过试验得到的、与定期检查周期有关的数值提供给用户。因此，和部件替换周期一样，所得的定期检查周期也和实际的使用条件不符。于是，如下述，通过对实际的使用数据进行收集、处理，能够优化定期检查周期。
此时，例如，可以选择各种从机器10向销售方计算机26发送的信息(运行信息、维护信息)。具体的说，可以将从机器10发送的维护信息作为机器10的晶片处理片数，从和处理片数间的关系求出最佳定期检查周期，或者，作为监视设备18使用微粒计数器(particle counter)，通过和由微粒计数器得到的容器内微粒量的增减间的关系求得最佳定期检查周期等，并反馈到用户侧。这样，对定期检查周期进行优化后，反馈到用户侧，也能够使将预防维护包含在内的维护管理效率化。
在上述的实施方式中，销售方计算机26从收集的维护数据导出部件的最佳替换周期，并形成数据库，向用户侧定期发送。该数据库形式的部件的最佳替换周期，也可以具有通过在销售方计算机26及工厂方计算机11上配置各自的浏览器，从而能够在互联网上公开或检索的结构。
在上述实施方式中，通过工厂方计算机11与销售方计算机26连接的机器都是同一类型的机器。但是，也可以在一个工厂内配置多种类型的机器，并由销售方计算机26通过与上述实施方式相同的结构，管理每个机器的维护管理信息。此时，销售方计算机26按种类分别建立数据库来管理维护管理信息。
在上述实施方式中，工厂101是半导体制造工厂，在工厂101所使用的机器是半导体器件、液晶显示器件等的制造设备。但是，并不局限于此，本发明的系统也能够适用于CCD、太阳能电池等其他器件的，乃至，其他普通工业产品的制造工厂。
根据本发明，能够提高生产率。同时，能够更有效地进行维护管理。
工业实用性
本发明可以用于如电子器件产品等工业产品的制造设备中。
本发明是以2001年1月22日申请的日本专利申请号2001-13571为基础的，其中，包括它的说明书、权利要求书、附图及说明书摘要。在本说明书中以引例的方式包含了在上述申请中所公开的全部内容。

Claims (36)

1.一种系统，该系统是为了提高机器(10)的生产率而对所述机器(10)进行远程监视的系统(26)，
其特征在于，具有：
接收装置(28)，通过通信与所述机器(10)连接，从所述机器(10)接收表示所述机器(10)的运行状态的运行信息；
监视装置(27)，根据在所述接收装置(28)中接收的运行信息，监视所述机器(10)。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述监视装置(27)，根据所述运行信息，检测所述机器(10)的故障，并在确定了该机器(10)的故障部件时，进行用于替换该故障部件的部件的订购处理或订购准备处理。
3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述监视装置(27)，根据所述机器(10)的运行信息，导出该机器(10)的最佳定期检查周期，并将导出的最佳定期检查周期反馈给所述机器(10)。
4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，
所述监视装置(27)，根据所述机器(10)的运行信息，导出该机器(10)的最佳定期检查周期，并将导出的最佳定期检查周期反馈给所述机器(10)。
5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述接收装置(28)，还从所述机器(10)接收与所述机器(10)的部件替换有关的维护数据；
所述监视装置(27)，根据在所述接收装置(28)中接收的维护数据，监视所述机器(10)。
6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，
所述维护数据是在替换构成所述机器(10)的部件时获得的、与该部件的替换日期、种类、使用时间有关的数据；
所述监视装置(27)，从所述维护数据导出所述部件的最佳替换周期，并反馈给所述机器(10)。
7.如权利要求5所述的系统，其特征在于，
所述监视装置(27)，根据所述维护数据，进行替换部件的订购处理或订购准备处理。
8.如权利要求6所述的系统，其特征在于，
所述监视装置(27)，根据所述维护数据，进行替换部件的订购处理或订购准备处理。
9.如权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述运行信息包含所述机器(10)对被处理件进行规定处理的规定工序的处理条件参数。
10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，
所述处理条件参数包含所述机器(10)容器内的温度、压力、气体流量或者它们的组合。
11.如权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述运行信息包含图像数据。
12.如权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述运行信息包含所述机器(10)的成品率数据。
13.如权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述运行信息包含通过所述机器处理的被处理件的数量。
14.如权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述机器(10)是半导体器件或液晶显示器件的制造设备。
15.一种系统，其特征在于，具有：
机器(10)，该机器(10)具有：传感装置(18)，获得表示机器(10)的运行状态的运行信息；及发送装置(15)，发送在所述传感装置(18)中获得的运行信息；
监视设备(26)，该监视设备(26)具有：接收装置(28)，通过通信(100)与所述机器(10)连接，接收由所述机器(10)的发送装置(15)发送的运行信息；监视装置(26)，根据在该接收装置(28)中接收的运行信息，监视所述机器(10)。
16.如权利要求15所述的系统，其特征在于，
所述监视装置(27)，检测所述机器(10)的故障，并在确定了该机器(10)的故障部件时，进行用于替换该故障部件的部件的订购处理或订购准备处理。
17.如权利要求15所述的系统，其特征在于，
所述监视装置(27)，根据所述机器(10)的运行信息，导出该机器(10)的最佳定期检查周期，并将导出的最佳定期检查周期反馈给所述机器(10)。
18.如权利要求16所述的系统，其特征在于，
所述监视装置(27)，根据所述机器(10)的运行信息，导出该机器(10)的最佳定期检查周期，并将导出的最佳定期检查周期反馈给所述机器(10)。
19.如权利要求15所述的系统，其特征在于，
所述机器(10)，还具有能够输入与该机器(10)的部件替换有关的维护数据的输入装置(19)；
所述发送装置(15)，向所述监视装置(27)发送从所述输入装置(19)输入的维护数据。
20.如权利要求19所述的系统，其特征在于，
所述维护数据是在替换构成所述机器(10)的部件时获得的、与该部件的替换日期、种类、使用时间有关的数据；
所述监视装置(27)，从所述维护数据导出所述部件的最佳替换周期，并反馈给所述机器(10)。
21.如权利要求19所述的系统，其特征在于，
所述监视装置(27)，根据所述维护数据，进行替换部件的订购处理或订购准备处理。
22.如权利要求20所述的系统，其特征在于，
所述监视装置(27)，根据所述维护数据，进行替换部件的订购处理或订购准备处理。
23.如权利要求15所述的系统，其特征在于，
所述机器(10)进行规定工序，从而对被处理件进行规定处理；
所述运行信息包含所述工序的处理条件参数。
24.如权利要求23所述的系统，其特征在于，
所述处理条件参数包含所述容器内的温度、压力、气体流量或者它们的组合。
25.如权利要求15所述的系统，其特征在于，
所述运行信息包含图像数据。
26.如权利要求15所述的系统，其特征在于，
所述运行信息包含所述机器(10)的成品率数据。
27.如权利要求15所述的系统，其特征在于，
所述运行信息包含通过所述机器(10)处理的被处理件的数量。
28.如权利要求15所述的系统，其特征在于，
所述机器(10)是半导体器件或液晶显示器件的制造设备。
29.一种方法，为了提高机器生产率而对所述机器进行远程
监视，
其特征在于，具有：
接收工序，通过通信从所述机器接收表示所述机器的运行状态的运行信息；
监视工序，根据在所述接收工序中接收的运行信息，对所述机器进行监视。
30.如权利要求29所述的方法，其特征在于，
所述监视工序，根据所述运行信息，检测所述机器的故障，并在确定了该机器的故障部件时，进行用于替换该故障部件的部件的订购处理或订购准备处理。
31.如权利要求29所述的方法，其特征在于，
所述监视工序，根据所述机器的运行信息，导出该机器的最佳定期检查周期，并将导出的最佳定期检查周期反馈给所述机器。
32.如权利要求29所述的方法，其特征在于，
所述接收工序，还从所述机器接收与所述机器的部件替换有关的维护数据；
所述监视工序，根据在所述接收工序中接收的维护数据，监视所述机器。
33.如权利要求32所述的方法，其特征在于，
所述维护数据是在替换构成所述机器的部件时获得的、与该部件的替换日期、种类、使用时间有关的数据；
所述监视工序，从所述维护数据导出所述部件的最佳替换周期，并反馈给所述机器。
34.如权利要求32所述的方法，其特征在于，
所述监视工序，根据所述维护数据，进行替换部件的订购处理或订购准备处理。
35.如权利要求29所述的方法，其特征在于，
所述运行信息，包含所述机器对被处理件进行规定处理的规定工序的处理条件参数；
所述处理条件参数，包含所述机器容器内的温度、压力、气体流量或者它们的组合。
36.如权利要求29所述的方法，其特征在于，
所述机器是半导体器件或液晶显示器件的制造设备。
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Families Citing this family (66)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8172546B2 (en) 1998-11-23 2012-05-08 Entegris, Inc. System and method for correcting for pressure variations using a motor
JP3987741B2 (ja) * 2002-03-19 2007-10-10 東京エレクトロン株式会社 保守管理ポイントサービスシステム，サーバ装置，プログラム，記録媒体及び保守管理ポイントサービスシステムの処理方法
EP1495485A4 (en) * 2002-04-12 2007-10-10 Fujifilm Electronic Materials REMOTE MONITORING SYSTEM FOR DELIVERY OF CHEMICAL LIQUIDS
JP2004213419A (ja) * 2003-01-06 2004-07-29 Mitsubishi Electric Corp 遠隔プラント監視システムおよび遠隔プラント監視方法
JP2004257824A (ja) * 2003-02-25 2004-09-16 Shimadzu Corp 液晶基板管理装置
US7151975B2 (en) * 2004-02-09 2006-12-19 Macronix International Co., Ltd. System and method for monitoring wafer furnace production efficiency
US7502068B2 (en) * 2004-06-22 2009-03-10 International Business Machines Corporation Sensor for imaging inside equipment
US7336201B2 (en) * 2004-07-09 2008-02-26 Ezra Green Remote access energy meter system and method
EP1859169A2 (en) 2004-11-23 2007-11-28 Entegris, Inc. System and method for a variable home position dispense system
US7751921B2 (en) * 2004-12-28 2010-07-06 Tokyo Electron Limited Semiconductor manufacturing apparatus, method of detecting abnormality, identifying cause of abnormality, or predicting abnormality in the semiconductor manufacturing apparatus, and storage medium storing computer program for performing the method
JP2006251842A (ja) * 2005-03-08 2006-09-21 Yazaki Corp 生産設備管理支援装置
JP2007041661A (ja) * 2005-08-01 2007-02-15 Makoto Nakamura 半導体製造装置の稼動時間集計システム
US8753097B2 (en) 2005-11-21 2014-06-17 Entegris, Inc. Method and system for high viscosity pump
JP5339914B2 (ja) 2005-11-21 2013-11-13 インテグリス・インコーポレーテッド 低減された形状要因を有するポンプのためのシステムと方法
US7878765B2 (en) * 2005-12-02 2011-02-01 Entegris, Inc. System and method for monitoring operation of a pump
US7940664B2 (en) * 2005-12-02 2011-05-10 Entegris, Inc. I/O systems, methods and devices for interfacing a pump controller
KR101243509B1 (ko) 2005-12-02 2013-03-20 엔테그리스, 아이엔씨. 펌프에서의 압력 보상을 위한 시스템 및 방법
US8083498B2 (en) 2005-12-02 2011-12-27 Entegris, Inc. System and method for position control of a mechanical piston in a pump
JP5253178B2 (ja) 2005-12-02 2013-07-31 インテグリス・インコーポレーテッド ポンプの弁シーケンスのためのシステムおよび方法
US7850431B2 (en) 2005-12-02 2010-12-14 Entegris, Inc. System and method for control of fluid pressure
CN101360678B (zh) 2005-12-05 2013-01-02 恩特格里公司 用于泵的误差容积系统和方法
TWI402423B (zh) 2006-02-28 2013-07-21 Entegris Inc 用於一幫浦操作之系統及方法
US7494265B2 (en) 2006-03-01 2009-02-24 Entegris, Inc. System and method for controlled mixing of fluids via temperature
EP1965281A1 (en) * 2007-03-02 2008-09-03 Abb Research Ltd. Dynamic maintenance plan for an industrial robot
US8180594B2 (en) * 2007-09-06 2012-05-15 Asm International, N.V. System and method for automated customizable error diagnostics
JP5241374B2 (ja) * 2008-08-07 2013-07-17 キヤノン株式会社 配信装置、配信方法、及びコンピュータプログラム
US8204717B2 (en) * 2009-04-01 2012-06-19 Honeywell International Inc. Cloud computing as a basis for equipment health monitoring service
US9412137B2 (en) * 2009-04-01 2016-08-09 Honeywell International Inc. Cloud computing for a manufacturing execution system
US20100262403A1 (en) * 2009-04-10 2010-10-14 Bradford White Corporation Systems and methods for monitoring water heaters or boilers
JP5546197B2 (ja) * 2009-10-05 2014-07-09 株式会社日立国際電気 基板処理システム、群管理装置および基板処理装置の情報解析方法
EP2862034B1 (en) * 2012-06-19 2020-01-01 GKN Aerospace Sweden AB Method for determining a machine condition
US9864823B2 (en) 2015-03-30 2018-01-09 Uop Llc Cleansing system for a feed composition based on environmental factors
US10095200B2 (en) 2015-03-30 2018-10-09 Uop Llc System and method for improving performance of a chemical plant with a furnace
JP6382892B2 (ja) 2016-07-27 2018-08-29 三菱日立パワーシステムズ株式会社 運転情報分析装置
US10222787B2 (en) 2016-09-16 2019-03-05 Uop Llc Interactive petrochemical plant diagnostic system and method for chemical process model analysis
KR20180076423A (ko) * 2016-12-27 2018-07-06 삼성전자주식회사 반도체 제조 설비를 판단 및 제어하기 위한 전자 시스템
US10678272B2 (en) 2017-03-27 2020-06-09 Uop Llc Early prediction and detection of slide valve sticking in petrochemical plants or refineries
US10754359B2 (en) 2017-03-27 2020-08-25 Uop Llc Operating slide valves in petrochemical plants or refineries
US11037376B2 (en) 2017-03-28 2021-06-15 Uop Llc Sensor location for rotating equipment in a petrochemical plant or refinery
US10962302B2 (en) 2017-03-28 2021-03-30 Uop Llc Heat exchangers in a petrochemical plant or refinery
US11130111B2 (en) 2017-03-28 2021-09-28 Uop Llc Air-cooled heat exchangers
US10670027B2 (en) 2017-03-28 2020-06-02 Uop Llc Determining quality of gas for rotating equipment in a petrochemical plant or refinery
US10752844B2 (en) 2017-03-28 2020-08-25 Uop Llc Rotating equipment in a petrochemical plant or refinery
US10794401B2 (en) 2017-03-28 2020-10-06 Uop Llc Reactor loop fouling monitor for rotating equipment in a petrochemical plant or refinery
US10844290B2 (en) 2017-03-28 2020-11-24 Uop Llc Rotating equipment in a petrochemical plant or refinery
US10752845B2 (en) 2017-03-28 2020-08-25 Uop Llc Using molecular weight and invariant mapping to determine performance of rotating equipment in a petrochemical plant or refinery
US11396002B2 (en) 2017-03-28 2022-07-26 Uop Llc Detecting and correcting problems in liquid lifting in heat exchangers
US10794644B2 (en) 2017-03-28 2020-10-06 Uop Llc Detecting and correcting thermal stresses in heat exchangers in a petrochemical plant or refinery
US10663238B2 (en) 2017-03-28 2020-05-26 Uop Llc Detecting and correcting maldistribution in heat exchangers in a petrochemical plant or refinery
US10670353B2 (en) 2017-03-28 2020-06-02 Uop Llc Detecting and correcting cross-leakage in heat exchangers in a petrochemical plant or refinery
US10816947B2 (en) 2017-03-28 2020-10-27 Uop Llc Early surge detection of rotating equipment in a petrochemical plant or refinery
JP6860406B2 (ja) * 2017-04-05 2021-04-14 株式会社荏原製作所 半導体製造装置、半導体製造装置の故障予知方法、および半導体製造装置の故障予知プログラム
US10695711B2 (en) 2017-04-28 2020-06-30 Uop Llc Remote monitoring of adsorber process units
US10913905B2 (en) 2017-06-19 2021-02-09 Uop Llc Catalyst cycle length prediction using eigen analysis
US11365886B2 (en) 2017-06-19 2022-06-21 Uop Llc Remote monitoring of fired heaters
US10739798B2 (en) 2017-06-20 2020-08-11 Uop Llc Incipient temperature excursion mitigation and control
US11130692B2 (en) 2017-06-28 2021-09-28 Uop Llc Process and apparatus for dosing nutrients to a bioreactor
US10994240B2 (en) 2017-09-18 2021-05-04 Uop Llc Remote monitoring of pressure swing adsorption units
US11194317B2 (en) 2017-10-02 2021-12-07 Uop Llc Remote monitoring of chloride treaters using a process simulator based chloride distribution estimate
US11676061B2 (en) 2017-10-05 2023-06-13 Honeywell International Inc. Harnessing machine learning and data analytics for a real time predictive model for a FCC pre-treatment unit
US11105787B2 (en) 2017-10-20 2021-08-31 Honeywell International Inc. System and method to optimize crude oil distillation or other processing by inline analysis of crude oil properties
US10901403B2 (en) 2018-02-20 2021-01-26 Uop Llc Developing linear process models using reactor kinetic equations
US10734098B2 (en) 2018-03-30 2020-08-04 Uop Llc Catalytic dehydrogenation catalyst health index
US10953377B2 (en) 2018-12-10 2021-03-23 Uop Llc Delta temperature control of catalytic dehydrogenation process reactors
WO2021059398A1 (ja) * 2019-09-25 2021-04-01 シャープＮｅｃディスプレイソリューションズ株式会社 電子機器、電子機器の管理方法、及びプログラム
US11995577B2 (en) * 2022-03-03 2024-05-28 Caterpillar Inc. System and method for estimating a machine's potential usage, profitability, and cost of ownership based on machine's value and mechanical state

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4399428A (en) * 1978-03-02 1983-08-16 United Brands Company Thermostat
DE3541343A1 (de) * 1985-11-22 1987-06-25 Nixdorf Computer Ag Schaltungsanordnung zur intermittierenden selbsttaetigen ueberwachung mehrerer analoger elektrischer signale
JPH01276301A (ja) 1988-04-28 1989-11-06 Toshiba Corp 多重化システムの保守支援装置
JP2642438B2 (ja) 1988-09-05 1997-08-20 株式会社東芝 プラント機器保守管理支援装置
JP3335779B2 (ja) 1994-08-30 2002-10-21 株式会社東芝 プラント性能監視システム
DE59503378D1 (de) * 1994-10-26 1998-10-01 Siemens Ag Verfahren zur analyse eines messwertes sowie messwertanalysator zur durchführung des verfahrens
JP3432343B2 (ja) * 1995-12-01 2003-08-04 株式会社東芝 プラント監視装置
TWI249760B (en) * 1996-07-31 2006-02-21 Canon Kk Remote maintenance system
JP3919294B2 (ja) 1997-06-24 2007-05-23 キヤノン株式会社 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法
TW331650B (en) * 1997-05-26 1998-05-11 Taiwan Semiconductor Mfg Co Ltd Integrated defect yield management system for semiconductor manufacturing
JP3771050B2 (ja) 1997-06-20 2006-04-26 東京エレクトロン株式会社 制御システム
US6006171A (en) * 1997-07-28 1999-12-21 Vines; Caroline J. Dynamic maintenance management system
EP0895399B1 (en) * 1997-07-30 2008-05-28 Xerox Corporation Improvements in or relating to servers
JP4054410B2 (ja) * 1997-08-19 2008-02-27 ゼロックス コーポレイション サーバ
JPH11134018A (ja) 1997-10-31 1999-05-21 Nec Corp 診断装置及びプログラムを記録した機械読み取り可能な記録媒体
JPH11161327A (ja) 1997-11-28 1999-06-18 Mitsubishi Chemical Corp プロセスの異常診断方法及び装置
JP3065053B2 (ja) * 1998-01-06 2000-07-12 セイコーエプソン株式会社 機器監視システム、ローカル監視装置、統合監視装置、機器監視方法、及び、プログラムを格納したコンピュータ可読媒体
JP3590553B2 (ja) 1998-05-08 2004-11-17 株式会社デジタル 表示装置および該表示装置を備えた制御システム
JPH11327626A (ja) * 1998-05-20 1999-11-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 保守計画支援装置
JP2000122899A (ja) * 1998-10-15 2000-04-28 Yokogawa Electric Corp 生産ラインの保守支援システム
JP2000207019A (ja) 1999-01-18 2000-07-28 Toshiba Corp プラント監視装置
JP2000259234A (ja) 1999-03-04 2000-09-22 Hitachi Engineering & Services Co Ltd 産業設備の監視システムおよび監視方法
JP2000263381A (ja) 1999-03-19 2000-09-26 Komatsu Ltd プレスラインの保全管理システム
CN2371733Y (zh) * 1999-05-10 2000-03-29 张明亮 消防远程集群网络监视监控监测装置
CN2378742Y (zh) * 1999-05-10 2000-05-17 张明亮 远程监视监控监测供水设备装置
US6303395B1 (en) * 1999-06-01 2001-10-16 Applied Materials, Inc. Semiconductor processing techniques
JP3954243B2 (ja) 1999-06-07 2007-08-08 株式会社東芝 プラント運転支援システム
JP2001007935A (ja) 1999-06-24 2001-01-12 Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd データ収集装置
US6490543B1 (en) * 1999-07-13 2002-12-03 Scientific Monitoring Inc Lifeometer for measuring and displaying life systems/parts
JP3751192B2 (ja) * 2000-08-23 2006-03-01 株式会社日立製作所 臨床検査装置用遠隔保守システム
KR20020022530A (ko) * 2000-09-20 2002-03-27 가나이 쓰도무 반도체제조장치의 원격진단시스템 및 원격진단방법

Also Published As

Publication number Publication date
US7454317B2 (en) 2008-11-18
CN1304911C (zh) 2007-03-14
WO2002057860A1 (fr) 2002-07-25
US20070179751A1 (en) 2007-08-02
KR20030096247A (ko) 2003-12-24
JPWO2002057860A1 (ja) 2004-05-27
US20040073405A1 (en) 2004-04-15
TW576959B (en) 2004-02-21
US7133807B2 (en) 2006-11-07

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