JP3432343B2 - プラント監視装置 - Google Patents

プラント監視装置

Info

Publication number
JP3432343B2
JP3432343B2 JP31398995A JP31398995A JP3432343B2 JP 3432343 B2 JP3432343 B2 JP 3432343B2 JP 31398995 A JP31398995 A JP 31398995A JP 31398995 A JP31398995 A JP 31398995A JP 3432343 B2 JP3432343 B2 JP 3432343B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detector
calibration
data
input
error
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP31398995A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH09152909A (ja
Inventor
雅弘 福山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP31398995A priority Critical patent/JP3432343B2/ja
Publication of JPH09152909A publication Critical patent/JPH09152909A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3432343B2 publication Critical patent/JP3432343B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラント状態を監
視するプラント監視装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般にプラント監視装置に検出信号を入
力する検出器は、プラントの主要箇所全般に配置され、
その数は非常に多い。また、その用途は主に監視用、性
能計算用であり、プラント運用上非常に重要な役割を担
っている。したがって、定期的に校正が行われている。
【0003】図4は、プラント監視装置の検出器校正に
かかる構成の従来例を示すものである。このプラント監
視装置1は、プラントに配置される各検出器3からのプ
ロセス信号を入力するプロセス信号入力処理手段5と、
プロセス信号入力処理手段5によって入力したプロセス
信号を用いて内蔵するプログラムにより各種演算を実施
し、情報収録処理や情報表示処理を行う演算手段7と、
演算手段7からの情報表示処理データをCRT等の表示
装置9やプリンタ11に出力し、キーボード等の入力装
置13からの入力データを入力する入出力処理手段15
とを有する。
【0004】この構成において、検出器側オペレータ1
7が、検出器3に校正用にプラント模擬信号を与える
と、検出器3はこのプラント模擬信号に対応するアナロ
グ電気信号を出力し、プロセス信号伝送路aを介してプ
ラント監視装置1のプロセス信号入力処理手段5に入力
する。
【0005】プロセス信号入力処理手段5では、まず、
A/D変換器5aによりアナログ電気信号からデジタル
信号に変換され、次に、工学単位変換手段5bにより工
学単位変換用データベース5cをもとに工学単位信号に
変換される。工学単位信号のデータは、演算手段7の情
報表示処理機能により、入出力処理手段15から表示装
置9上に表示される。
【0006】監視装置側オペレータ19は、表示装置9
に表示される工学単位信号のデータを校正データとして
記録し、基準値と比較して検出器誤差が許容値内である
かどうかの良否判定を行う。
【0007】以上の操作を一つの検出器に対して、数
点、たとえば、検出器3のフルスケールに対して 0%、
25%、50%、75%、 100%の5点について行う。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従来のプラント監視装
置1は、上記の構成のため、検出器校正において検出器
側とプラント監視装置側に2名のオペレータを要し、何
らかの連絡手段により相互に連絡をとりながら作業を進
める必要がある。一つの検出器3の校正が完了し、次の
検出器3の校正に移るとき、検出器側オペレータ17は
プラント模擬入力を与えるための準備作業に時間を要す
るが、この間、監視装置側オペレータ19は待ち状態に
なるという問題点があった。
【0009】また、従来のプラント監視装置1の検出器
校正において、校正データの記録、基準値との比較によ
る校正データの良否判定は監視装置側オペレータ19が
行うため、データの見落としや計算ミスなどのヒューマ
ンエラーが発生していた。
【0010】また、検出器誤差は、検出器3自身の誤差
とプラント監視装置1内のA/D変換手段5aから生じ
る誤差との和であるが、誤差許容値を逸脱した場合、検
出器3の調整または修理により誤差許容値内におさめて
いる。しかしながら、検出器3固有の誤差のため調整し
ても誤差許容値内におさめることができない場合、工学
単位変換用データベース5c内の変換用データを変更す
ることにより、工学単位変換手段5bから出力される工
学単位信号を検出器誤差が最小になるように調整してい
る。このため、検出器校正が完了すると、校正データを
もとに工学単位変換用データを見直す必要があった。
【0011】本発明は、かかる点に対処してなされたも
ので、検出器側オペレータのみで検出器校正を可能とし
たプラント監視装置を提供することを目的とする。
【0012】また本発明は、校正データの良否判定を自
動で行い、工学単位変換用データを変更することなく検
出器誤差補正用データを用いて工学単位信号を補正し、
要求により校正データをもとに検出器誤差補正用データ
修正して、プラント監視や性能計算に影響を与える検出
器誤差を最小限にすることのできるプラント監視装置を
提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項1の発
明は、検出器からの信号を入力処理するプロセス信号入
力処理手段と、このプロセス信号入力処理手段で入力処
理されたプロセス信号を入力し表示情報を作成する演算
手段と、この演算手段から出力された表示情報を表示装
置に表示するとともに入力装置を介して入力されるオペ
レータからの情報を入力処理する入出力処理手段とを備
えたプラント監視装置において、校正対象の検出器の近
くに設置され、当該検出器の校正にかかる情報の入力お
よび当該検出器誤差についての判定結果の出力を行う検
出器校正用端末装置と、この検出器校正用端末装置との
情報の入出力を行う端末装置インタフェース部と、プロ
セス信号入力処理手段からのプロセス信号を校正データ
として入力し、この校正データと端末装置インタフェー
ス部からの入力情報に基づいて検出器誤差を算出し、こ
の検出器誤差が許容範囲か否かを判定してその結果を端
末装置インタフェース部を介して検出器校正用端末装置
に出力する検出器校正手段と、この検出器校正手段から
の校正データおよび検出器誤差データを記憶し、オペレ
ータからの参照要求により入出力処理手段を介して出力
する校正履歴データ格納手段と、プロセス信号入力処理
手段からのプロセス信号を検出器誤差補正用データベー
スに設定されている検出器誤差補正用データにより補正
し演算手段に出力する検出器誤差補正手段と、検出器誤
差補正用データベース内の検出器誤差補正用データの設
定ないし修正を行うデータ修正手段とを備えたことを特
徴とする 請求項2の発明は、上記データ修正手段が、前記入力装
置を介して入力されるオペレータからのデータ修正要求
により検出器誤差補正用データベースを更新することを
特徴とする。
【0014】請求項3の発明は、上記データ修正手段
が、検出器校正用端末装置を介して入力されるオペレー
タからのデータ修正要求により検出器誤差補正用データ
ベースを更新することを特徴とする。
【0015】請求項4の発明は、上記データ修正手段
が、オペレータからのデータ修正要求により校正履歴デ
ータ格納手段により記憶されている検出器誤差データに
基づいて検出器誤差補正用データベース内の検出器誤差
補正用データの設定ないし修正を行うことを特徴とす
る。
【0016】請求項5の発明は、上記検出器校正手段
が、算出した検出器誤差について許容範囲より逸脱して
いる判定したとき、データ修正手段にデータ修正要求を
出力し、上記データ修正手段が、検出器校正手段からの
データ修正要求により検出器校正手段で算出された検出
器誤差に基づいて検出器誤差補正用データベース内の検
出器誤差補正用データの設定ないし修正を行うことを特
徴とする。
【0017】請求項6の発明は、請求項1ないし5のプ
ラント監視装置において、検出器からの出力信号はプロ
セス信号伝送路を介してプロセス信号入力処理手段に送
信され、検出器校正用端末装置と端末装置インタフェー
ス部との間の情報は前記プロセス信号伝送路と同一もし
くは別の伝送路を介して伝送されることを特徴とする。
【0018】請求項7の発明は、請求項1のプラント監
視装置において、検出器校正用端末装置より入力される
検出器の校正にかかる情報が、校正する検出器番号およ
び校正段階を示す情報を含むことを特徴とする。
【0019】請求項1のように構成された装置において
は、検出器校正を行う際、検出器側オペレータが検出器
にプラント模擬入力を与えるとその場に設置される検出
器校正用端末装置に表示される良否判定情報により校正
結果を知ることができるため、プラント監視装置側にオ
ペレータがいなくても良い。また、校正データの良否判
定を自動で行うため、オペレータのヒューマンエラーを
防止することができる。 請求項2〜5のように構成さ
れた装置においては、検出器校正の結果を反映した検出
器誤差補正データによりプロセス信号を補正するため、
検出器誤差を最小限にすることができ、プラント監視や
性能計算の精度を向上することができる。
【0020】請求項5のように構成された装置において
は、校正データの良否判定結果に応じて自動的に検出器
誤差補正用データの修正が行われるため、オペレータの
負荷が軽減されるとともにオペレータのヒューマンエラ
ーを防止することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。なお、従来例と共通する部分には
同一符号を付して、重複する説明は省略する。
【0022】図1は、本発明のプラント監視装置100
の一実施の形態を示すもので、この実施の形態では、図
3に示す従来構成と比較して、検出器誤差補正手段21
と、検出器誤差補正用データベース23と、データ修正
手段25と、検出器校正用端末装置27と、端末装置イ
ンターフェース部29と、校正データ作成手段31aお
よび校正データ判定手段31bからなる検出器校正手段
31と、校正履歴データ格納手段33とをさらに付加し
ている。
【0023】検出器校正用端末装置27は、校正対象の
検出器の近くに設置され、検出器番号および校正段階
(検出器のフルスケールの 0%、25%、…等)などの校
正データの判定に必要な情報の設定や、校正データの判
定結果の表示に用いられ、端末装置インターフェース部
29は、この検出器校正用端末装置27に対してデータ
の入出力を行うものである。
【0024】検出器校正手段31は校正データ作成手段
31aおよび校正データ判定手段31bからなり、校正
データ作成手段31aにおいて工学単位変換手段5bか
らの工学単位信号を校正データとして入力し、この校正
データと端末装置インターフェース部29からの設定情
報に基づく基準値との比較により検出器誤差を算出し、
校正データ判定手段31bにおいてあらかじめ設定され
た誤差許容値と比較して検出器誤差が許容範囲か否かを
判定し、その判定結果を端末装置インターフェース部2
9を介して検出器校正用端末装置27へ表示する。
【0025】検出器誤差補正手段21は、検出器誤差補
正用データベース23を参照して工学単位変換手段5b
からの工学単位信号を補正し、演算手段7に渡す。
【0026】データ修正手段25は、オペレータからの
要求により検出器誤差補正用データベース23に検出器
誤差補正データの設定ないし修正を行う。
【0027】校正履歴データ格納手段33は、校正デー
タ判定手段31bを介して校正データ作成手段31aで
作成された検出器誤差データおよび校正データを校正履
歴として保存する。
【0028】次に、上記構成からなる本実施の形態のプ
ラント監視装置100の作用を説明する。
【0029】検出器校正試験にあたって、検出器校正用
端末装置21が伝送路bを介してプラント監視装置10
0に接続される。検出器側オペレータが校正を行う検出
器3にプラント模擬入力を与えると、検出器3はこのプ
ラント模擬信号に対応するアナログ電気信号を出力し、
プロセス信号伝送路aを介してプラント監視装置100
のプロセス信号入力処理手段5に入力する。
【0030】プロセス信号入力処理手段5では、まず、
A/D変換器5aによりアナログ電気信号からデジタル
信号に変換され、ついで工学単位変換手段5bにより工
学単位信号に変換される。この工学単位信号は、検出器
誤差補正手段21に渡される一方、検出器校正手段31
の校正データ作成手段31aに送られる。
【0031】検出器誤差補正手段21に渡された工学単
位信号は、検出器誤差を相殺する検出器誤差補正用デー
タにより補正された後、演算手段7および入出力処理手
段15を介して表示装置9上に表示される。なお、検出
器誤差補正用データは、データ修正手段25により設定
・修正可能に検出器誤差補正用データベース23に格納
される。
【0032】また検出器側オペレータは、検出器校正用
端末装置27を用いて校正対象の検出器番号と校正段階
を示す情報を設定する。これらの設定情報は、伝送路b
を介してプラント監視装置100の端末装置インタフェ
ース部29に入力され、検出器校正手段31に伝送され
る。
【0033】検出器校正手段31では、校正データ作成
手段31aにより、検出器番号および校正段階に基づく
基準値情報と、プロセス信号入力処理手段5からの工学
単位信号とから検出器誤差が計算される。この検出器誤
差は、校正データ判定手段31bにおいてあらかじめ設
定された誤差許容値と比較され、誤差許容値内であれば
良、誤差許容値外であれば不良と判定される。
【0034】校正データ作成手段31aで算出された検
出器誤差および検出器からの信号である工学単位信号は
それぞれ検出器誤差データおよび校正データとして校正
履歴データ格納手段33により記憶される。
【0035】一方、校正データ判定手段31bで良否判
定された結果は、端末装置インタフェース部29および
伝送路bを介して検出器校正用端末装置27に伝送さ
れ、検出器側オペレータに通知される。検出器側オペレ
ータは、この結果をもとに検出器の再調整を行うか、も
しくは次の校正段階に進むかの判断を行う。
【0036】以上の操作を全校正段階について繰り返し
行うことにより、校正データ作成手段31aで作成され
た検出器誤差データおよび校正データは、校正履歴デー
タ格納手段33により記憶され校正履歴として蓄積され
る。この校正履歴データ格納手段33に記憶されている
データは、オペレータの要求により入出力処理手段15
を介して表示装置9への表示が行われたり、プリンタ1
1への印刷出力が行われる。
【0037】オペレータは、表示装置9に表示された校
正履歴、または印刷出力された校正履歴から、その中に
検出器誤差が誤差許容値から逸脱している校正データが
あれば、表示装置9に表示された検出器誤差補正手段2
1による補正済み校正データを必要に応じて参照して、
検出器誤差補正用データの修正要求をキーボード等の入
力装置13を介して入力する。
【0038】データ修正手段25は、オペレータからの
データ修正要求を入出力処理手段15より受け取ると、
校正履歴データ格納手段33に記憶されている検出器誤
差に基づいて検出器誤差補正用データベース23内に最
適な検出器誤差補正用データを設定ないし修正して、検
出器誤差補正用データベース23を更新する。
【0039】また、データ修正手段25による検出器誤
差補正用データの設定ないし修正は、検出器校正用端末
装置27に表示ないし出力された良否判定結果に基づい
て、検出器側オペレータが検出器校正用端末装置27か
らデータ修正手段25に対して要求するようにすること
もできる。
【0040】以上の説明からも明らかなように、本実施
の形態によれば、検出器校正手段31を設け、校正デー
タの良否判定を自動的に行うようにすることにより、検
出器校正用端末装置27の操作により、検出器側オペレ
ータ単独で検出器校正を可能にすることができるととも
に、ヒューマンエラーの発生を未然に抑えることができ
る。
【0041】また、検出器誤差の大きい校正データにつ
いては、検出器誤差補正手段21により検出器誤差補正
用データを用いて補正するようにするとともに、この検
出器誤差補正用データをデータ修正手段25により設定
・変更することにより、検出器誤差を最小にすることが
可能となる。
【0042】図2は、本発明のプラント監視装置100
の他の実施の形態を示すもので、図1に示す実施の形態
と比較して、検出器誤差補正用データベース23内の検
出器誤差補正用データのデータ修正手段25による修正
が校正データ判定手段31bの判定結果に基づいて自動
的に行われるよう構成されている。
【0043】すなわち、校正データ判定手段31bにお
いて校正データ作成手段31aで作成された検出器誤差
データがあらかじめ設定された誤差許容値を逸脱してい
ると判定されたとき、校正データ判定手段31bよりデ
ータ修正手段25に対してデータ修正要求が自動的に出
力される。
【0044】データ修正手段25は、校正データ判定手
段31bからのデータ修正要求により、校正データ作成
手段31aによって算出された検出器誤差に基づいて検
出器誤差補正用データベース23を自動的に更新する。
【0045】本実施の形態のその他の作用は、前述した
図1に示す実施の形態と同様である。
【0046】本実施の形態によれば、プラント監視装置
の判断により自動的に検出器誤差補正用データの設定を
行い、この検出器誤差補正用データにより補正すること
により、自動的に検出器誤差を最小に抑えることがで
き、オペレータの負荷をさらに軽減することができる。
【0047】図3は、本発明のプラント監視装置100
のさらに他の実施の形態を示すもので、図2に示す実施
の形態と比較して、端末装置インタフェース部29と検
出器校正用端末装置27間に伝送路bを設けず、検出器
3からのプロセス信号伝送路aを併用している。すなわ
ち、検出器校正用端末装置27と端末装置インタフェー
ス部29間に検出器3からのプロセス信号に影響の少な
い伝送信号を用いることにより、専用伝送路bの排除を
行うことができる。なお、これ以外の構成は、前述した
図1または図2に示す実施の形態と同様な構成をとるこ
とができる。
【0048】
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、検出
器側オペレータの操作のみで検出器校正を可能とし、校
正データの良否判定をプラント監視装置に行わせること
により、ヒューマンエラーの発生を未然に抑えることが
できる。
【0049】また本発明によれば、検出器誤差の大きい
検出器に対して、オペレータの要求により最適な検出器
誤差補正用データを設定して、この検出器誤差補正用デ
ータにより検出器からのプロセス信号を補正するように
することにより、検出器誤差を最小に抑えることができ
る。
【0050】また、本発明によれば、検出器誤差があら
かじめ設定された誤差許容値を逸脱した場合、プラント
監視装置の判断により自動的に検出器誤差補正用データ
の修正を行うようにすることにより、自動的に検出器誤
差を最小に抑えることができ、オペレータの負荷を軽減
することができる。
【0051】なお、検出器校正用端末装置とプラント監
視装置間の信号の伝送に検出器からプラント監視装置へ
のプロセス信号の入力に使用されるプロセス信号伝送路
を併用すれば、専用の伝送路を排除することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のプラント監視装置の一実施の形態を示
すブロック図である。
【図2】本発明のプラント監視装置の他の実施の形態を
示すブロック図である。
【図3】本発明のプラント監視装置のさらに他の実施の
形態を示すブロック図である。
【図4】従来のプラント監視装置を示すブロック図であ
る。
【符号の説明】
1、100………プラント監視装置、 3………検出器 5………プロセス信号入力処理手段 5a………A/D変換器 5b………工学単位変換手段 7………演算手段 9………表示装置 11………プリンタ 13………入力装置 15………入出力処理手段 21………検出器誤差補正手段 23………検出器誤差補正用データベース 25………データ修正手段 27………検出器校正用端末装置 29………端末装置インタフェース部 31………検出器校正手段 31a………校正データ作成手段 31b………校正データ判定手段 33………校正履歴データ格納手段

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検出器からの信号を入力処理するプロセ
    ス信号入力処理手段と、このプロセス信号入力処理手段
    で入力処理されたプロセス信号を入力し表示情報を作成
    する演算手段と、この演算手段から出力された表示情報
    を表示装置に表示するとともに入力装置を介して入力さ
    れるオペレータからの情報を入力処理する入出力処理手
    段とを備えたプラント監視装置において、 校正対象の検出器の近くに設置され、当該検出器の校正
    にかかる情報の入力および当該検出器誤差についての判
    定結果の出力を行う検出器校正用端末装置と、 この検出器校正用端末装置との情報の入出力を行う端末
    装置インタフェース部と、 前記プロセス信号入力処理手段からのプロセス信号を校
    正データとして入力し、この校正データと前記端末装置
    インタフェース部からの入力情報に基づいて検出器誤差
    を算出し、この検出器誤差が許容範囲か否かを判定して
    その結果を前記端末装置インタフェース部を介して前記
    検出器校正用端末装置に出力する検出器校正手段と、 この検出器校正手段からの校正データおよび検出器誤差
    データを記憶し、オペレータからの参照要求により前記
    入出力処理手段を介して出力する校正履歴データ格納手
    段と、 前記プロセス信号入力処理手段からのプロセス信号を検
    出器誤差補正用データベースに設定されている検出器誤
    差補正用データにより補正し前記演算手段に出力する検
    出器誤差補正手段と、 前記検出器誤差補正用データベース内の検出器誤差補正
    用データの設定ないし修正を行うデータ修正手段とを備
    えたことを特徴とするプラント監視装置。
  2. 【請求項2】 前記データ修正手段が、前記入力装置を
    介して入力されるオペレータからのデータ修正要求によ
    り前記検出器誤差補正用データベースを更新することを
    特徴とする請求項1記載のプラント監視装置。
  3. 【請求項3】 前記データ修正手段が、前記検出器校正
    用端末装置を介して入力されるオペレータからのデータ
    修正要求により前記検出器誤差補正用データベースを更
    新することを特徴とする請求項1記載のプラント監視装
    置。
  4. 【請求項4】 前記データ修正手段が、オペレータから
    のデータ修正要求により前記校正履歴データ格納手段に
    より記憶されている検出器誤差データに基づいて前記検
    出器誤差補正用データベース内の検出器誤差補正用デー
    タの設定ないし修正を行うことを特徴とする請求項2ま
    たは3に記載のプラント監視装置。
  5. 【請求項5】 前記検出器校正手段が、算出した検出器
    誤差について許容範囲より逸脱している判定したとき、
    前記データ修正手段にデータ修正要求を出力し、 前記データ修正手段が、前記検出器校正手段からのデー
    タ修正要求により前記検出器校正手段で算出された検出
    器誤差に基づいて前記検出器誤差補正用データベース内
    の検出器誤差補正用データの設定ないし修正を行うこと
    を特徴とする請求項1記載のプラント監視装置。
  6. 【請求項6】 検出器からの出力信号はプロセス信号伝
    送路を介して前記プロセス信号入力処理手段に送信さ
    れ、前記検出器校正用端末装置と前記端末装置インタフ
    ェース部との間の情報は前記プロセス信号伝送路と同一
    もしくは別の伝送路を介して伝送されることを特徴とす
    る請求項1ないし5のいずれか1項に記載のプラント監
    視装置。
  7. 【請求項7】 前記検出器校正用端末装置より入力され
    る検出器の校正にかかる情報が、校正する検出器番号お
    よび校正段階を示す情報を含むことを特徴とする請求項
    1記載のプラント監視装置。
JP31398995A 1995-12-01 1995-12-01 プラント監視装置 Expired - Fee Related JP3432343B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31398995A JP3432343B2 (ja) 1995-12-01 1995-12-01 プラント監視装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31398995A JP3432343B2 (ja) 1995-12-01 1995-12-01 プラント監視装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09152909A JPH09152909A (ja) 1997-06-10
JP3432343B2 true JP3432343B2 (ja) 2003-08-04

Family

ID=18047892

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31398995A Expired - Fee Related JP3432343B2 (ja) 1995-12-01 1995-12-01 プラント監視装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3432343B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106840653A (zh) * 2017-01-25 2017-06-13 天津大学 精密减速器综合性能检测仪的误差标定方法

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2002057860A1 (ja) * 2001-01-22 2004-05-27 東京エレクトロン株式会社 機器の生産性向上システム及びその方法
US8046318B2 (en) 2008-04-15 2011-10-25 Honeywell International Inc. Automated system for checking proposed human adjustments to operational or planning parameters at a plant
JP5303347B2 (ja) * 2009-04-27 2013-10-02 株式会社日立製作所 プラント制御装置
CN103715582B (zh) * 2012-12-31 2016-03-02 上海万卡信实业有限公司 插植监控系统及插植方法
JP2015134393A (ja) * 2014-01-17 2015-07-27 株式会社荏原製作所 キャリブレーション装置、及び基板処理装置
JP6738466B1 (ja) * 2019-06-28 2020-08-12 Dmg森精機株式会社 情報処理装置、情報処理方法および情報処理プログラム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106840653A (zh) * 2017-01-25 2017-06-13 天津大学 精密减速器综合性能检测仪的误差标定方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09152909A (ja) 1997-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3698444B2 (ja) プロセスに於ける欠陥センサの検出と特定を行うための方法及び装置
JP3432343B2 (ja) プラント監視装置
JP2006226961A (ja) 重量測定装置
JPH0856160A (ja) Adコンバータの異常検出装置
JPH01121747A (ja) ガスクロマトグラフ質量分析装置
US4608593A (en) Color television camera apparatus with self-diagnosis function
JPH0915139A (ja) 分析装置における校正不能警告方法
JP4347548B2 (ja) ヒステリシス誤差補正装置
EP0157997B1 (en) Programmable multi-channel tool monitor with multiple alarm limits and sensor taring
JP3201882B2 (ja) ロックウエル試験機における誤差補正方法
JP2000065694A (ja) 異常発生原因探索装置
JPH05183673A (ja) 画像処理装置
JPH09280939A (ja) 複数の計量センサーをもつ秤装置
JPH1026668A (ja) 校正装置および中性子束測定装置
JP3556796B2 (ja) 漏れ電流計
JPS61133412A (ja) 故障診断装置
JP2689241B2 (ja) ガス分析計の自動校正装置
JPH05248843A (ja) 走査型電子顕微鏡
JPH01129118A (ja) 試験検査業務の自動化装置
JPH0234576Y2 (ja)
JPH09152907A (ja) プラント監視装置
KR960002279B1 (ko) 매스 플로우 콘트롤러 유량의 전대역 자동 점검 방법
JPH01284710A (ja) 計測値指示装置
JP3735782B2 (ja) 座標入力装置の検査方法
JPS61155871A (ja) 自己診断装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20030506

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090523

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees