JP5253178B2 - ポンプの弁シーケンスのためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Description
本願は、2005年12月2日に発明者のGeorge Gonnella、James Cedrone、Iraj Gashgaee、およびPaul Magoonによって出願された、名称「System and Method For Valve Sequencing in a Pump」の米国仮特許出願第60/742,168号の優先権を主張し、その内容は、すべての目的のために参照によって本願明細書に援用される。
本発明は、概して流体ポンプに関する。より具体的には、本発明の実施形態は、多段式ポンプに関する。さらに具体的には、本発明の実施形態は、半導体製造において使用されるポンプ内の弁動作によって生じる圧力変化を改善するたための弁動作のシーケンス決定に関する。
Claims (20)
- ポンプ装置の中に流体を導入することと、
弁シーケンスにしたがって該ポンプ装置の弁システムを操作して、分注サイクルを実装することであって、該弁シーケンスは、一度に1回に1つの弁を操作させ、該弁シーケンスは前記弁システム内の弁操作の間に遅延を含むように構成されることと、
該ポンプ装置から流体を分注することと、を含み、
前記弁システムは、
供給チャンバに結合された入口弁と、
該供給チャンバとフィルタとの間の隔離弁と、
該フィルタ、および前記ポンプ装置の外部領域に結合された排出弁と、
該フィルタと分注チャンバとの間の遮断弁と、
該分注チャンバおよび該ポンプ装置の外部領域に結合されたパージ弁と、
を含む、方法。 - 前記分注サイクルは、排出区分を含み、該排出区分のための前記弁システムを操作することは、前記隔離弁を開放し、次いで前記遮断弁を開放し、次いで前記入口弁を閉鎖し、次いで前記排出弁を開放することを含む、請求項1に記載の方法。
- 充填モータおよび分注モータを操作し、前記流体を濾過することをさらに含み、
該充填モータおよび該分注モータは、前記入口弁の閉鎖後かつ前記排出弁の開放前に操作され、
前記排出区分後に、前記遮断弁を閉鎖し、次いで前記隔離弁を閉鎖し、次いで該排出弁を閉鎖することをさらに含み、
該充填モータは、該排出弁の開放後かつ該排出弁の閉鎖前に操作される、請求項2に記載の方法。 - 前記分注サイクルは、パージ区分を含み、
該パージ区分のための前記弁システムを操作することは、前記入口弁を開放し、次いで前記パージ弁を開放し、
該パージ区分後に、該パージ弁を閉鎖し、次いで該入口弁を閉鎖することをさらに含み、
前記分注モータは、該パージ弁の開放後かつ該パージ弁の閉鎖前に操作される、請求項3に記載の方法。 - 前記分注サイクルは、充填区分および分注区分を含み、
該充填区分および該分注区分のために前記弁システムを操作することは、前記入口弁を開放し、次いで出口弁を開放し、
該分注区分の後に、該出口弁を閉鎖することを含み、
前記充填モータは該入口弁を開放した後で操作され、前記分注モータは該出口弁を閉鎖する前に操作される、請求項4に記載の方法。 - 前記分注サイクルは、パージ区分を含み、
該パージ区分のために前記弁システムを操作することは、前記入口弁を開放し、次いで前記パージ弁を開放することを含み、該パージ区分後に、該パージ弁を閉鎖し、次いで該入口弁を閉鎖することを含み、
前記分注モータは、該パージ弁の開放後かつ該パージ弁の閉鎖前の該パージ区分の間に操作される、請求項3に記載の方法。 - 前記分注サイクルは、充填区分および分注区分を含み、
該充填区分および該分注区分のために前記弁システムを操作することは、前記入口弁を開放し、次いで前記出口弁を開放し、
該分注区分の後で該出口弁を閉鎖することを含み、
前記充填モータは該入口弁を開放した後に操作され、前記分注モータは該出口弁を閉鎖する前に操作される、請求項6に記載の方法。 - 前記分注サイクルは、充填区分および分注区分を含み、
該充填区分および該分注区分のために前記弁システムを操作することは、前記入口弁を開放し、次いで前記出口弁を開放し、
該分注区分後に該出口弁を閉鎖することを含み、
前記充填モータは、該入口弁開放後に操作され、前記分注モータは、該出口弁閉鎖前に操作される、請求項3に記載の方法。 - 前記分注サイクルは、排出区分を含み、
該排出区分のために前記弁システムを操作することは、前記隔離弁を開放し、次いで前記遮断弁を開放し、次いで前記入口弁を閉鎖し、次いで前記排出弁を開放し、充填モータおよび分注モータを操作し、前記流体を濾過することすることを含み、
該充填モータおよび分注モータは、該入口弁の閉鎖後かつ該排出弁の開放前に操作され、
該排出区分後に、該遮断弁を閉鎖し、次いで該隔離弁を閉鎖し、次いで該排出弁を閉鎖し、該排出弁の開放後、かつ該排出弁の閉鎖前に該充填モータを操作することをさらに含む、請求項8に記載の方法。 - 前記分注サイクルは、パージ区分を含み、
該パージ区分のために前記弁システムを操作することは、前記入口弁を開放し、次いで前記パージ弁を開放することを含み、
該パージ区分後に、該パージ弁を閉鎖し、該入口弁を閉鎖することを含み、
該分注モータは、該パージ弁の開放後かつ該パージ弁の閉鎖前の該パージ区分の間に操作される、請求項9に記載の方法。 - ポンプ装置であって、供給チャンバと、分注チャンバと、該ポンプ装置を通る流体の流れを調整するように操作し得る弁システムとを含む、ポンプ装置と、
該ポンプ装置のための分注サイクルを実装するように構成された制御装置であって、該分注サイクルを実装することは、弁シーケンスにしたがって該弁システムの開閉を調整し、該ポンプ装置から流体を分注することを含み、
該弁シーケンスは、一度に1回に1つの弁を操作させ、該弁シーケンスは前記弁システム内の弁操作の間に遅延を含むように構成される、制御装置と
を含み、
前記弁システムは、
供給チャンバに結合された入口弁と、
該供給チャンバとフィルタとの間の隔離弁と、
該フィルタおよび前記ポンプ装置の外部領域に結合された排出弁と、
該フィルタと分注チャンバとの間の遮断弁と、
該分注チャンバおよび該ポンプ装置の外部領域に結合されたパージ弁と、
を含む、システム。 - 前記分注サイクルは、排出区分を含み、
該排出区分のために前記弁システムを調整することは、前記隔離弁を開放し、次いで前記遮断弁を開放し、次いで前記入口弁を閉鎖し、次いで前記排出弁を開放するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含む、請求項11に記載のシステム。 - 充填モータおよび分注モータをさらに含み、
前記分注サイクルは、前記流体を濾過するために、前記入口弁を閉鎖後かつ前記排出弁を開放前に、該充填モータおよび該分注モータを操作することを含み、
前記排出区分後に前記弁システムを調整することは、前記遮断弁を閉鎖し、次いで前記隔離弁を閉鎖し、次いで前記排出弁を閉鎖するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
該充填モータは、該排出弁開放後かつ該排出弁閉鎖前に操作される、請求項12に記載のシステム。 - 前記分注サイクルは、パージ区分を含み、
該パージ区分のために前記弁システムを調整することは、前記入口弁を開放し、次いで前記パージ弁を開放し、該パージ区分後に、該パージ弁を閉鎖し、次いで該入口弁を閉鎖するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
該分注モータは、該パージ弁開放後かつ該パージ弁閉鎖前の該パージ区分の間に、操作される、請求項13に記載のシステム。 - 前記分注サイクルは、充填区分および分注区分を含み、
該充填区分および該分注区分のための前記弁システムを調整することは、前記入口弁を開放し、次いで前記出口弁を開放するように操作し得る1つ以上の信号を送信することと、該分注区分後に、該出口弁を閉鎖するように操作し得る1つ以上の信号を送信すること、を含み、
前記充填モータは、該入口弁開放後に操作され、前記分注モータは、該出口弁閉鎖前に操作される、請求項14に記載のシステム。 - 前記分注サイクルは、パージ区分を含み、
該パージ区分のために前記弁システムを調整することは、前記入口弁を開放し、次いで前記パージ弁を開放するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
該弁システムを調節することは、該パージ区分後、該パージ弁を閉鎖し、次いで該入口弁を閉鎖するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
前記分注モータは、該パージ弁の開放後かつ該パージ弁の閉鎖前の該パージ区分の間に操作される、請求項13に記載のシステム。 - 前記弁システムは出口弁をさらに含み、
前記分注サイクルは、充填区分および分注区分を含み、
該充填区分および該分注区分のために前記弁システムを調整することは、前記入口弁を開放し、次いで前記出口弁を開放するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
前記弁システムを調整することは、該分注区分後に、該出口弁を閉鎖するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
前記充填モータは、該入口弁開放後に操作され、前記分注モータは、該出口弁閉鎖前に操作される、請求項16に記載のシステム。 - 前記分注サイクルは、充填区分および分注区分を含み、
該充填区分および該分注区分のために前記弁システムを調整することは、前記入口弁を開放し、次いで前記出口弁を開放するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
該弁システムを調整することは、該分注区分後に、前記出口弁を閉鎖するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
前記充填モータは、該入口弁開放後に操作され、前記分注モータは、該出口弁閉鎖前に操作される、請求項13に記載のシステム。 - 前記分注サイクルは、排出区分を含み、
該排出区分のために前記弁システムを調整することは、前記隔離弁を開放し、次いで前記遮断弁を開放し、次いで前記入口弁を閉鎖し、次いで前記排出弁を開放するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
該分注サイクルは、充填モータおよび分注モータを操作し、前記流体を濾過することを含み、
該充填モータおよび該分注モータは、該入口弁閉鎖後かつ該排出弁開放前に操作され、
該排出区分のために前記弁システムを調整することは、該排出区分後に、該遮断弁を閉鎖し、次いで該隔離弁を閉鎖し、次いで該排出弁を閉鎖するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
該充填モータは、該排出弁開放後かつ該排出弁閉鎖前に操作される、請求項18に記載のシステム。 - 前記分注サイクルは、パージ区分を含み、
該パージ区分のために前記弁システムを調整することは、前記入口弁を開放し、次いで前記パージ弁を開放するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
該弁システムを調整することは、該パージ区分後に、該パージ弁を閉鎖し、次いで前記入口弁を閉鎖するように操作し得る1つ以上の信号を送信することを含み、
前記分注モータは、該パージ弁開放後かつ該パージ弁閉鎖前の該パージ区分の間に操作される、請求項19に記載のシステム。
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US8684705B2 (en) * | 2010-02-26 | 2014-04-01 | Entegris, Inc. | Method and system for controlling operation of a pump based on filter information in a filter information tag |
US8727744B2 (en) * | 2010-02-26 | 2014-05-20 | Entegris, Inc. | Method and system for optimizing operation of a pump |
TWI563351B (en) * | 2010-10-20 | 2016-12-21 | Entegris Inc | Method and system for pump priming |
US9081001B2 (en) | 2012-05-15 | 2015-07-14 | Wellstat Diagnostics, Llc | Diagnostic systems and instruments |
US9213043B2 (en) | 2012-05-15 | 2015-12-15 | Wellstat Diagnostics, Llc | Clinical diagnostic system including instrument and cartridge |
US9625465B2 (en) | 2012-05-15 | 2017-04-18 | Defined Diagnostics, Llc | Clinical diagnostic systems |
US9739274B2 (en) * | 2013-03-15 | 2017-08-22 | Integrated Designs, L.P. | Pump system and method having a quick change motor drive |
US9605664B2 (en) | 2014-01-07 | 2017-03-28 | Ingersoll-Rand Company | Pneumatic piston pump metering and dispense control |
JP6543646B2 (ja) | 2014-05-28 | 2019-07-10 | インテグリス・インコーポレーテッド | 高精度のシステムおよび用途におけるモーター駆動コンポーネントのためのバックラッシュ防止メカニズム |
US10155208B2 (en) * | 2014-09-30 | 2018-12-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Liquid mixing system for semiconductor fabrication |
KR20190133063A (ko) * | 2015-06-23 | 2019-11-29 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 장방형 다이어프램 밸브 |
US11772234B2 (en) | 2019-10-25 | 2023-10-03 | Applied Materials, Inc. | Small batch polishing fluid delivery for CMP |
CN111398563A (zh) * | 2020-04-10 | 2020-07-10 | 中国地质调查局水文地质环境地质调查中心 | 一种抽水试验地下水水位流量调节装置 |
TWI760889B (zh) * | 2020-10-14 | 2022-04-11 | 保音股份有限公司 | 流量調整閥及其控制方法 |
Family Cites Families (166)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US269626A (en) | 1882-12-26 | brauee | ||
US826018A (en) | 1904-11-21 | 1906-07-17 | Isaac Robert Concoff | Hose-coupling. |
US1664125A (en) | 1926-11-10 | 1928-03-27 | John R Lowrey | Hose coupling |
US2153664A (en) | 1937-03-08 | 1939-04-11 | Dayton Rubber Mfg Co | Strainer |
US2215505A (en) | 1938-06-13 | 1940-09-24 | Byron Jackson Co | Variable capacity pumping apparatus |
US2328468A (en) | 1940-12-07 | 1943-08-31 | Laffly Edmond Gabriel | Coupling device for the assembly of tubular elements |
US2457384A (en) | 1947-02-17 | 1948-12-28 | Ace Glass Inc | Clamp for spherical joints |
GB661522A (en) | 1949-03-31 | 1951-11-21 | Eureka Williams Corp | Improvements in or relating to oil burners |
US2631538A (en) | 1949-11-17 | 1953-03-17 | Wilford C Thompson | Diaphragm pump |
US2673522A (en) | 1951-04-10 | 1954-03-30 | Bendix Aviat Corp | Diaphragm pump |
US2757966A (en) | 1952-11-06 | 1956-08-07 | Samiran David | Pipe coupling |
US3072058A (en) | 1961-08-18 | 1963-01-08 | Socony Mobil Oil Co Inc | Pipe line control system |
US3227279A (en) | 1963-05-06 | 1966-01-04 | Conair | Hydraulic power unit |
US3250225A (en) | 1964-07-13 | 1966-05-10 | John F Taplin | Mechanical system comprising feed pump having a rolling diaphragm |
US3327635A (en) | 1965-12-01 | 1967-06-27 | Texsteam Corp | Pumps |
DE1910093A1 (de) | 1969-02-28 | 1970-09-10 | Wagner Josef Fa | Farbspritzanlage |
US3741298A (en) | 1971-05-17 | 1973-06-26 | L Canton | Multiple well pump assembly |
JPS4971508A (ja) | 1972-11-13 | 1974-07-10 | ||
US3895748A (en) | 1974-04-03 | 1975-07-22 | George R Klingenberg | No drip suck back units for glue or other liquids either separately installed with or incorporated into no drip suck back liquid applying and control apparatus |
US4023592A (en) | 1976-03-17 | 1977-05-17 | Addressograph Multigraph Corporation | Pump and metering device |
US4093403A (en) | 1976-09-15 | 1978-06-06 | Outboard Marine Corporation | Multistage fluid-actuated diaphragm pump with amplified suction capability |
US4705461A (en) | 1979-09-19 | 1987-11-10 | Seeger Corporation | Two-component metering pump |
SE416889B (sv) | 1979-12-27 | 1981-02-16 | Imo Industri Ab | Forfarande for blandning av tva vetskor med olika viskositet samt anordning for genomforande av forfarandet |
US4483665A (en) | 1982-01-19 | 1984-11-20 | Tritec Industries, Inc. | Bellows-type pump and metering system |
JPS58203340A (ja) | 1982-05-20 | 1983-11-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 給湯装置 |
JPS59177929A (ja) | 1983-03-28 | 1984-10-08 | Canon Inc | サツクバツクポンプ |
US4541455A (en) | 1983-12-12 | 1985-09-17 | Tritec Industries, Inc. | Automatic vent valve |
US4614438A (en) | 1984-04-24 | 1986-09-30 | Kabushiki Kaisha Kokusai Technicals | Method of mixing fuel oils |
US4601409A (en) | 1984-11-19 | 1986-07-22 | Tritec Industries, Inc. | Liquid chemical dispensing system |
JPH0135027Y2 (ja) | 1985-01-29 | 1989-10-25 | ||
US4597721A (en) | 1985-10-04 | 1986-07-01 | Valco Cincinnati, Inc. | Double acting diaphragm pump with improved disassembly means |
SE451153B (sv) | 1986-01-20 | 1987-09-07 | Dominator Ab | Sett att endra trycket i pneumatiska eller hydrauliska system och anordning for att genomfora settet |
US4690621A (en) | 1986-04-15 | 1987-09-01 | Advanced Control Engineering | Filter pump head assembly |
DE3631984C1 (de) | 1986-09-19 | 1987-12-17 | Hans Ing Kern | Dosierpumpe |
US4821997A (en) | 1986-09-24 | 1989-04-18 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Integrated, microminiature electric-to-fluidic valve and pressure/flow regulator |
US4943032A (en) | 1986-09-24 | 1990-07-24 | Stanford University | Integrated, microminiature electric to fluidic valve and pressure/flow regulator |
US4966646A (en) | 1986-09-24 | 1990-10-30 | Board Of Trustees Of Leland Stanford University | Method of making an integrated, microminiature electric-to-fluidic valve |
US4824073A (en) | 1986-09-24 | 1989-04-25 | Stanford University | Integrated, microminiature electric to fluidic valve |
US4797834A (en) | 1986-09-30 | 1989-01-10 | Honganen Ronald E | Process for controlling a pump to account for compressibility of liquids in obtaining steady flow |
JP2604362B2 (ja) | 1986-10-22 | 1997-04-30 | 株式会社日立製作所 | 低脈流ポンプ |
JPS63173866A (ja) | 1987-01-09 | 1988-07-18 | Hitachi Ltd | 無脈動ポンプの制御方式 |
JP2824575B2 (ja) | 1987-08-11 | 1998-11-11 | 株式会社日立製作所 | 低脈流送液ポンプ |
US5246347A (en) | 1988-05-17 | 1993-09-21 | Patients Solutions, Inc. | Infusion device with disposable elements |
US4952386A (en) | 1988-05-20 | 1990-08-28 | Athens Corporation | Method and apparatus for purifying hydrogen fluoride |
US4950134A (en) | 1988-12-27 | 1990-08-21 | Cybor Corporation | Precision liquid dispenser |
US5167837A (en) | 1989-03-28 | 1992-12-01 | Fas-Technologies, Inc. | Filtering and dispensing system with independently activated pumps in series |
US4981418A (en) | 1989-07-25 | 1991-01-01 | Osmonics, Inc. | Internally pressurized bellows pump |
US5062770A (en) | 1989-08-11 | 1991-11-05 | Systems Chemistry, Inc. | Fluid pumping apparatus and system with leak detection and containment |
DE3943585C2 (de) | 1989-08-31 | 1995-04-27 | Wagner Gmbh J | Membranpumpe |
US5135031A (en) | 1989-09-25 | 1992-08-04 | Vickers, Incorporated | Power transmission |
JP2803859B2 (ja) | 1989-09-29 | 1998-09-24 | 株式会社日立製作所 | 流動体供給装置およびその制御方法 |
US5061574A (en) | 1989-11-28 | 1991-10-29 | Battelle Memorial Institute | Thick, low-stress films, and coated substrates formed therefrom |
US5316181A (en) | 1990-01-29 | 1994-05-31 | Integrated Designs, Inc. | Liquid dispensing system |
US5098261A (en) | 1990-05-04 | 1992-03-24 | Brandel Corporation | Peristaltic pump and method for adjustable flow regulation |
US5061156A (en) | 1990-05-18 | 1991-10-29 | Tritec Industries, Inc. | Bellows-type dispensing pump |
US5262068A (en) | 1991-05-17 | 1993-11-16 | Millipore Corporation | Integrated system for filtering and dispensing fluid having fill, dispense and bubble purge strokes |
US5230445A (en) | 1991-09-30 | 1993-07-27 | City Of Hope | Micro delivery valve |
US5527161A (en) | 1992-02-13 | 1996-06-18 | Cybor Corporation | Filtering and dispensing system |
US5312233A (en) * | 1992-02-25 | 1994-05-17 | Ivek Corporation | Linear liquid dispensing pump for dispensing liquid in nanoliter volumes |
US5380019A (en) | 1992-07-01 | 1995-01-10 | Furon Company | Spring seal |
US5344195A (en) | 1992-07-29 | 1994-09-06 | General Electric Company | Biased fluid coupling |
US5261442A (en) | 1992-11-04 | 1993-11-16 | Bunnell Plastics, Inc. | Diaphragm valve with leak detection |
WO1994015099A1 (en) * | 1992-12-18 | 1994-07-07 | Abbott Laboratories | Solution pumping system for maximizing output while minimizing pumping pressures |
US6190565B1 (en) | 1993-05-17 | 2001-02-20 | David C. Bailey | Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir |
US5490765A (en) | 1993-05-17 | 1996-02-13 | Cybor Corporation | Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir |
US6203759B1 (en) | 1996-05-31 | 2001-03-20 | Packard Instrument Company | Microvolume liquid handling system |
US5511797A (en) | 1993-07-28 | 1996-04-30 | Furon Company | Tandem seal gasket assembly |
JPH0727150U (ja) | 1993-10-07 | 1995-05-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | シリカ系被膜形成用塗布液吐出装置 |
US5350200A (en) | 1994-01-10 | 1994-09-27 | General Electric Company | Tube coupling assembly |
US5434774A (en) | 1994-03-02 | 1995-07-18 | Fisher Controls International, Inc. | Interface apparatus for two-wire communication in process control loops |
DE4412668C2 (de) | 1994-04-13 | 1998-12-03 | Knf Flodos Ag | Pumpe |
US5476004A (en) | 1994-05-27 | 1995-12-19 | Furon Company | Leak-sensing apparatus |
US5447287A (en) | 1994-06-24 | 1995-09-05 | Robertshaw Controls Company | Fuel control device and methods of making the same |
US5580103A (en) | 1994-07-19 | 1996-12-03 | Furon Company | Coupling device |
US5599100A (en) | 1994-10-07 | 1997-02-04 | Mobil Oil Corporation | Multi-phase fluids for a hydraulic system |
US5546009A (en) | 1994-10-12 | 1996-08-13 | Raphael; Ian P. | Detector system using extremely low power to sense the presence or absence of an inert or hazardous fuild |
US5784573A (en) | 1994-11-04 | 1998-07-21 | Texas Instruments Incorporated | Multi-protocol local area network controller |
US5575311A (en) | 1995-01-13 | 1996-11-19 | Furon Company | Three-way poppet valve apparatus |
US5653251A (en) | 1995-03-06 | 1997-08-05 | Reseal International Limited Partnership | Vacuum actuated sheath valve |
US5652391A (en) | 1995-05-12 | 1997-07-29 | Furon Company | Double-diaphragm gauge protector |
DE19525557A1 (de) | 1995-07-13 | 1997-01-16 | Knf Flodos Ag | Dosierpumpe |
US5645301A (en) | 1995-11-13 | 1997-07-08 | Furon Company | Fluid transport coupling |
US5991279A (en) | 1995-12-07 | 1999-11-23 | Vistar Telecommunications Inc. | Wireless packet data distributed communications system |
US5793754A (en) | 1996-03-29 | 1998-08-11 | Eurotherm Controls, Inc. | Two-way, two-wire analog/digital communication system |
US5839828A (en) | 1996-05-20 | 1998-11-24 | Glanville; Robert W. | Static mixer |
US6378907B1 (en) * | 1996-07-12 | 2002-04-30 | Mykrolis Corporation | Connector apparatus and system including connector apparatus |
US6131766A (en) * | 1996-08-12 | 2000-10-17 | Restaurant Automation Development Inc. | System for dispensing controlled amounts of flowable material from a flexible container |
US5947702A (en) | 1996-12-20 | 1999-09-07 | Beco Manufacturing | High precision fluid pump with separating diaphragm and gaseous purging means on both sides of the diaphragm |
JP3854691B2 (ja) | 1997-01-14 | 2006-12-06 | キヤノン株式会社 | 無線通信システムおよび無線通信装置 |
EP0863538B1 (en) | 1997-03-03 | 2003-05-21 | Tokyo Electron Limited | Coating apparatus and coating method |
JP3940854B2 (ja) | 1997-03-25 | 2007-07-04 | Smc株式会社 | サックバックバルブ |
US5967173A (en) | 1997-07-14 | 1999-10-19 | Furon Corporation | Diaphragm valve with leak detection |
DE19732708C1 (de) | 1997-07-30 | 1999-03-18 | Henkel Kgaa | Verwendung von Fettethern |
US6033302A (en) | 1997-11-07 | 2000-03-07 | Siemens Building Technologies, Inc. | Room pressure control apparatus having feedforward and feedback control and method |
US5848605A (en) | 1997-11-12 | 1998-12-15 | Cybor Corporation | Check valve |
JP3364207B2 (ja) | 1998-04-27 | 2003-01-08 | 株式会社デジタル | 制御システム、表示装置、および、データ伝送方法、並びに、そのプログラムが記録された記録媒体 |
US6045332A (en) * | 1998-05-08 | 2000-04-04 | Celanese International Corporation | Control system for multi-pump operation |
JP3621829B2 (ja) * | 1998-06-01 | 2005-02-16 | 日本分光株式会社 | 複数種流体混合ポンプ装置 |
JP4011210B2 (ja) | 1998-10-13 | 2007-11-21 | 株式会社コガネイ | 薬液供給方法および薬液供給装置 |
ATE268867T1 (de) | 1998-11-23 | 2004-06-15 | Mykrolis Corp | Pumpensteuergerät für hochpräzisionsdosierpumpe |
US7029238B1 (en) | 1998-11-23 | 2006-04-18 | Mykrolis Corporation | Pump controller for precision pumping apparatus |
US8172546B2 (en) | 1998-11-23 | 2012-05-08 | Entegris, Inc. | System and method for correcting for pressure variations using a motor |
US6203288B1 (en) | 1999-01-05 | 2001-03-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Reciprocating pumps with linear motor driver |
US6298941B1 (en) | 1999-01-29 | 2001-10-09 | Dana Corp | Electro-hydraulic power steering system |
US6575264B2 (en) | 1999-01-29 | 2003-06-10 | Dana Corporation | Precision electro-hydraulic actuator positioning system |
JP2000265949A (ja) | 1999-03-18 | 2000-09-26 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 可変容量型圧縮機 |
DE29909100U1 (de) | 1999-05-25 | 1999-08-12 | Arge Meibes Pleuger | Rohrleitungsanordnung mit Filter |
US6210745B1 (en) * | 1999-07-08 | 2001-04-03 | National Semiconductor Corporation | Method of quality control for chemical vapor deposition |
US6330517B1 (en) | 1999-09-17 | 2001-12-11 | Rosemount Inc. | Interface for managing process |
US6250502B1 (en) | 1999-09-20 | 2001-06-26 | Daniel A. Cote | Precision dispensing pump and method of dispensing |
JP2001098908A (ja) | 1999-09-29 | 2001-04-10 | Mitsubishi Electric Corp | バルブタイミング調整装置 |
JP3958926B2 (ja) | 1999-10-18 | 2007-08-15 | インテグレイテッド・デザインズ・リミテッド・パートナーシップ | 流体を分配する装置および方法 |
DE19950222A1 (de) | 1999-10-19 | 2001-04-26 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren und Vorrichtung zur Diagnose eines Kraftstoffversorgungssystems |
JP3361300B2 (ja) | 1999-10-28 | 2003-01-07 | 株式会社イワキ | チューブフラムポンプ |
US6325932B1 (en) | 1999-11-30 | 2001-12-04 | Mykrolis Corporation | Apparatus and method for pumping high viscosity fluid |
US7247245B1 (en) | 1999-12-02 | 2007-07-24 | Entegris, Inc. | Filtration cartridge and process for filtering a slurry |
US6348124B1 (en) | 1999-12-14 | 2002-02-19 | Applied Materials, Inc. | Delivery of polishing agents in a wafer processing system |
US6497680B1 (en) | 1999-12-17 | 2002-12-24 | Abbott Laboratories | Method for compensating for pressure differences across valves in cassette type IV pump |
US6474950B1 (en) | 2000-07-13 | 2002-11-05 | Ingersoll-Rand Company | Oil free dry screw compressor including variable speed drive |
US6925072B1 (en) | 2000-08-03 | 2005-08-02 | Ericsson Inc. | System and method for transmitting control information between a control unit and at least one sub-unit |
US6618628B1 (en) | 2000-10-05 | 2003-09-09 | Karl A. Davlin | Distributed input/output control systems and methods |
US6520520B2 (en) | 2000-10-31 | 2003-02-18 | Durrell U. Howard | Steering stabilizer with trimming accumulator |
AU2001295360A1 (en) | 2000-11-17 | 2002-05-27 | Tecan Trading Ag | Device and method for separating samples from a liquid |
US6708239B1 (en) | 2000-12-08 | 2004-03-16 | The Boeing Company | Network device interface for digitally interfacing data channels to a controller via a network |
US6540265B2 (en) | 2000-12-28 | 2003-04-01 | R. W. Beckett Corporation | Fluid fitting |
KR20030096247A (ko) | 2001-01-22 | 2003-12-24 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기기의 생산성 향상 시스템 및 그 방법 |
US6554579B2 (en) | 2001-03-29 | 2003-04-29 | Integrated Designs, L.P. | Liquid dispensing system with enhanced filter |
US6767877B2 (en) | 2001-04-06 | 2004-07-27 | Akrion, Llc | Method and system for chemical injection in silicon wafer processing |
US6805841B2 (en) | 2001-05-09 | 2004-10-19 | The Provost Fellows And Scholars Of The College Of The Holy And Undivided Trinity Of Queen Elizabeth Near Dublin | Liquid pumping system |
US6697701B2 (en) | 2001-08-09 | 2004-02-24 | Lincoln Global, Inc. | Welding system and methodology providing multiplexed cell control interface |
US6823283B2 (en) | 2001-08-14 | 2004-11-23 | National Instruments Corporation | Measurement system including a programmable hardware element and measurement modules that convey interface information |
US7249628B2 (en) | 2001-10-01 | 2007-07-31 | Entegris, Inc. | Apparatus for conditioning the temperature of a fluid |
US20030114942A1 (en) | 2001-12-17 | 2003-06-19 | Varone John J. | Remote display module |
GB2384947B (en) | 2002-02-01 | 2006-01-18 | Sendo Int Ltd | Enabling and/or inhibiting an operation of a wireless communicatons unit |
US6766810B1 (en) | 2002-02-15 | 2004-07-27 | Novellus Systems, Inc. | Methods and apparatus to control pressure in a supercritical fluid reactor |
US6914543B2 (en) | 2002-06-03 | 2005-07-05 | Visteon Global Technologies, Inc. | Method for initializing position with an encoder |
US6837484B2 (en) | 2002-07-10 | 2005-01-04 | Saint-Gobain Performance Plastics, Inc. | Anti-pumping dispense valve |
DE10233127C1 (de) | 2002-07-20 | 2003-12-11 | Porsche Ag | Vorrichtung zur Wanddurchführung von Rohrleitungen, Schläuchen oder elektrischen Kabeln für Kraftfahrzeuge |
JP3809406B2 (ja) * | 2002-08-29 | 2006-08-16 | キヤノン株式会社 | 記録装置及び記録装置の制御方法 |
US7013223B1 (en) | 2002-09-25 | 2006-03-14 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Method and apparatus for analyzing performance of a hydraulic pump |
US20040072450A1 (en) | 2002-10-15 | 2004-04-15 | Collins Jimmy D. | Spin-coating methods and apparatuses for spin-coating, including pressure sensor |
US7156115B2 (en) | 2003-01-28 | 2007-01-02 | Lancer Partnership, Ltd | Method and apparatus for flow control |
DE20304731U1 (de) * | 2003-03-25 | 2003-06-26 | Megaplast Gmbh & Co Kg | Dosierpumpe aus Kunststoff |
JP4206308B2 (ja) | 2003-08-01 | 2009-01-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 液体クロマトグラフ用ポンプ |
JP4377639B2 (ja) | 2003-09-18 | 2009-12-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ポンプおよびクロマトグラフ用液体ポンプ |
US20050173463A1 (en) | 2004-02-09 | 2005-08-11 | Wesner John A. | Dispensing pump having linear and rotary actuators |
JP4319105B2 (ja) | 2004-02-18 | 2009-08-26 | 三菱電機株式会社 | 製造システム、ゲートウェイ装置、ゲートウェイプログラムおよび被制御装置の制御方法 |
DE102004014793A1 (de) | 2004-03-24 | 2005-10-20 | Bosch Rexroth Ag | Verfahren zur Datenübertragung |
US7272452B2 (en) | 2004-03-31 | 2007-09-18 | Siemens Vdo Automotive Corporation | Controller with configurable connections between data processing components |
US7363195B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-04-22 | Sensarray Corporation | Methods of configuring a sensor network |
US20060083259A1 (en) | 2004-10-18 | 2006-04-20 | Metcalf Thomas D | Packet-based systems and methods for distributing data |
KR101231945B1 (ko) | 2004-11-23 | 2013-02-08 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 가변 홈 위치 토출 장치용 시스템 및 방법 |
US20080089361A1 (en) | 2005-10-06 | 2008-04-17 | Metcalf Thomas D | System and method for transferring data |
US8753097B2 (en) | 2005-11-21 | 2014-06-17 | Entegris, Inc. | Method and system for high viscosity pump |
US8087429B2 (en) | 2005-11-21 | 2012-01-03 | Entegris, Inc. | System and method for a pump with reduced form factor |
US7878765B2 (en) | 2005-12-02 | 2011-02-01 | Entegris, Inc. | System and method for monitoring operation of a pump |
EP1958039B9 (en) | 2005-12-02 | 2011-09-07 | Entegris, Inc. | I/o systems, methods and devices for interfacing a pump controller |
KR20080073778A (ko) | 2005-12-02 | 2008-08-11 | 엔테그리스, 아이엔씨. | O링 없는 로우 프로파일 피팅 및 피팅 조립체 |
KR101243509B1 (ko) | 2005-12-02 | 2013-03-20 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 펌프에서의 압력 보상을 위한 시스템 및 방법 |
JP5355091B2 (ja) | 2005-12-02 | 2013-11-27 | インテグリス・インコーポレーテッド | モータを用いて圧力変動を補正するためのシステムおよび方法 |
US8083498B2 (en) | 2005-12-02 | 2011-12-27 | Entegris, Inc. | System and method for position control of a mechanical piston in a pump |
US7850431B2 (en) | 2005-12-02 | 2010-12-14 | Entegris, Inc. | System and method for control of fluid pressure |
JP5345853B2 (ja) | 2005-12-05 | 2013-11-20 | インテグリス・インコーポレーテッド | ポンプのための誤差容積システムおよび方法 |
TWI402423B (zh) | 2006-02-28 | 2013-07-21 | Entegris Inc | 用於一幫浦操作之系統及方法 |
US7684446B2 (en) | 2006-03-01 | 2010-03-23 | Entegris, Inc. | System and method for multiplexing setpoints |
US7494265B2 (en) | 2006-03-01 | 2009-02-24 | Entegris, Inc. | System and method for controlled mixing of fluids via temperature |
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