KR100710928B1 - 기기의 보수 관리 방법 및 보수 관리 시스템 - Google Patents

Abstract

기기(15)의 보수 관리 서비스를 제공하는 사업자는 소정의 서비스 기간에서의 상기 기기(15)의 생산성을 정량화한다(S42). 정량화한 생산성을 미리 정해진 생산성 기준과 비교해서 그 차를 산출한다(S43). 산출한 차에 근거하여, 서비스 기간내의 보수 관리에 대한 과금액을 결정한다(S45). 이에 의해, 기기(15)의 사용자와 보수 관리 사업자와의 쌍방을 만족시킬 수 있는 과금을 할 수 있다.

Description

기기의 보수 관리 방법 및 보수 관리 시스템{CHARGING METHOD AND CHARGING SYSTEM}

본 발명은 생산용 기기의 보수 관리 방법 및 보수 관리 시스템에 관한 것이다.

최근, 기술의 장족의 진보, 제조사간의 개발 경쟁의 한층 더한 격화 등에 의해 제조사가 생산하는 제품의 종류는 증가하고, 한편, 그 라이프 사이클은 단기화하고 있다. 이러한 상황하에서는, 제조사에는 사회나 고객의 수요에 즉응하여 제품의 생산이 가능한, 이른바 다품종 소량 생산에 대응 가능한 생산 체제를 확립하는 것이 요구된다.

상기한 바와 같은 생산 체제를 확립하기 위해서는, 생산용 기기의 생산성을 높게 유지하는 것이 유효하다. 예를 들면, 급한 생산 요구를 받았을 때에, 바로 대응하여 생산할 수 있으면, 기회 손실을 피하고 고객 만족도를 향상시킬 수 있다. 이러한 기기의 생산성의 지표로서 가동률(Availability)을 이용할 수 있다.

가동률(Availability)은 {(가동 가능 시간(Operations Time))-(정지 시간(Downtime))}/(가동 가능 시간(Operations Time))×100으로 표현된다. 가동 가능 시간(Operations Time)은, 예를 들면 기기가 배치된 공장의 조업 시간에서 생산 정지 기간(Non-Scheduled Time)을 뺀 시간과 일치한다. 또한, 정지 시간(Downtime)은 정기 점검 등을 위한 예정 정지 시간(Scheduled Downtime)과, 돌발적인 장해 등에 의한 비예정 정지 시간(Unscheduled Downtime)으로 구성된다. 식으로부터, 높은 가동률(Availability)을 달성하기 위해서는 정지 시간(Downtime)을 단축하는 것이 유효하다.

기기의 가동률(Availability)을 소정 정도로 유지하기 위해서는 보수 관리가 불가결하다. 기기의 보수 관리는 기기를 제공하는 벤더, 또는 벤더로부터 위탁을 받은 사업자(이하, 사업자 등)가 서비스 업무로서 행한다. 이러한 경우, 보수 관리 서비스는, 기기가 제조사와 사업자 등과의 사이에서 결정한 가동률(Availability)을 만족하도록 행해진다. 따라서, 보수 관리 서비스 기간 동안 기기는 소정의 가동률(Availability)로 가동하여, 그 생산성은 거의 일정하다고 말할 수 있다.

최근, 보수 관리에 의해 생산성의 향상이 가능한 시스템이 개발되고 있다. 이러한 시스템에서는 제조사(기기의 사용자)와 벤더가 공동하여 보수 관리를 한다. 구체적으로는, 벤더가 통신망을 거쳐서 기기의 가동 정보를 원격으로부터 취득하여 제조사와 마찬가지로 실시간으로 기기의 가동 상황을 파악하고, 사용자와 협동하여 필요한 보수 관리 작업을 한다. 사용자와 벤더가 기기 정보를 공유하고, 정보에 근거하여 협동해서 보수 관리 작업을 하는 것에 의해, 작업은 효율화된다. 이에 의해, 장해 복구의 신속화에 의해 기기의 비예정 정지 시간(Unscheduled Downtime) 을 단축할 수 있는 등, 기기의 가동률(Availability)의 향상이 가능해진다.

또한, 상기 시스템에서는 가동 정보와 함께, 벤더는 부품의 사용 기간 등 기기의 부품 교환에 관한 정보를 취득한다. 벤더는 취득한 정보에 근거하여 부품의 최적의 교환 주기를 산출하고, 산출한 교환 주기를 사용자에게 피드백한다. 이에 의해, 사용자는 효율적으로 부품 교환을 할 수 있고, 기기의 예정 정지 시간(Scheduled Downtime)을 실질적으로 삭감할 수 있는 등, 가동률(Availability)의 향상이 가능해진다.

이와 같이, 상기 방법에서는 보수 관리 기간 동안에서의 기기의 가동률(Availability)의 향상, 즉, 생산성의 향상이 가능하며, 때로는 보수 계약 등에서 미리 설정한 값보다도 높은 생산성(가동률(Availability))이 실현될 수 있다. 이러한 경우, 벤더는 「보수」 작업뿐만 아니라, 또한 「개선」 작업을 하고 있다고 말할 수 있다.

그런데, 사업자 등이 행하는 보수 관리 서비스는 통상 무상이 아니라, 사용자(제조사)에게 대가를 요구한다. 예를 들면, 사업자 등은 소정의 작업에 대해서 일정한 금액, 또는 보수 작업에 필요한 시간에 비례한 금액을 사용자에게 과금한다. 또한, 일본 특허 공개 제2002-117336호 공보에는 웨이퍼 처리 매수 등 기기의 실제 가동량에 대해서 과금하는 방법이 개시되어 있다.

그러나, 이들 종래의 과금 방법은 미리 설정한 가동률(Availability) 등을 지표로서, 일정의 생산성을 실현하기 위한 보수 관리 서비스에 적용되는 것이며, 상술한 「개선」 작업을 다른 「보수」 작업과 나누어서 과금할 수 있는 것은 아니 다. 이 때문에, 종래의 과금 방법을 단순히 적용해서 과금액을 결정한 경우에는, 이하와 같은 이유 때문에 사업자 등과 사용자의 쌍방을 만족시킬 수 없다.

먼저, 서비스를 제공하는 사업자 등에게 있어서, 상기한 사용자와의 협동 작업은 실시간의 대기 태세가 요구되어 비용 부담이 증대한다. 따라서, 벤더 등이 보수 관리의 대가를 요구할 때에, 종래의 「보수」 작업으로의 대가 이외에 「개선」 작업으로의 대가를 요구하는 것은 당연하다.

한편, 사용자에게 있어서도 기기의 생산성의 향상에 의해, 제조 비용의 저감 등의 은혜를 받을 수 있다. 이 때문에, 사업자 등의 요구에 따라서 「개선」 작업으로의 대가를 지불하는 것에는 납득할 것이다. 그러나, 사용자에게 있어서, 주문 상태 등에 의해 가동 가능 시간(Operations Time)은 생산 시간과 동등한 것이 아니라, 단순한 과금액의 증대는 제조 비용의 증대를 초래하기 때문에 받아들이기 어렵다.

이러한 것 때문에, 보수 관리 작업 중, 생산성의 향상에 기여한 정도(개선 작업분)에 대해서 정량적으로 과금할 수 있고, 사용자와 보수 관리 사업자의 쌍방을 만족시킬 수 있는 과금 방법이 요구되고 있었지만, 이러한 과금 방법은 종래 없었다.

상기 사정을 감안하여, 본 발명은 기기의 사용자와 보수 관리 사업자의 쌍방을 만족시킬 수 있는 과금 기능을 갖는 보수 관리 방법 및 보수 관리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

발명의 개시

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 원리에 따라서 이하의 발명을 개시한다.

본 발명의 제 1 관점에 따른 기기의 보수 관리 방법은, 기기의 보수 관리 서비스의 대가의 금액을 결정하기 위한 과금 방법으로서, 보수 관리 서비스의 대상으로 되는 기기의 가동 상황을 나타내는 물리량을 나타내는 가동 상황 데이터를 센서에 의해 취득하는 가동 상황 데이터 취득 공정과, 상기 가동 상황 데이터 취득 공정에서 취득한 가동 상황 데이터가 나타내는 물리량과 기준으로 되는 물리량에 근거하여, 기기가 정상인지 이상인지를 판별하고, 이상이다고 판별한 경우에 출력 수단에 의해 소정의 경보를 발하는 경보 공정과, 소정의 서비스 기간에 있어서 기기가 온으로 되어 있는 시간을 계측하는 계측 수단에 의해 상기 기기의 가동 시간을 취득하는 가동 시간 검출 공정과, 상기 가동 시간 검출 공정에 의해 검출된 가동 시간과 소정의 가동 가능 시간에 근거하여, 소정의 서비스 시간에 있어서의 상기 기기의 정량화한 생산성을 나타내는 지표값을 계산하는 정량화 공정과, 상기 정량화 공정에서 정량화한 상기 기기의 생산성을 미리 정해진 생산성 기준과 비교 수단으로 비교하여 그 차를 산출하는 비교 공정과, 과금 기준값 기억 수단으로부터, 과금 기준 데이터를 판독하고, 당해 과금 기준 데이터와 상기 비교 수단이 상기 비교 공정에서 산출한 차에 근거하여, 상기 서비스 기간 내의 상기 보수 관리 서비스에 대한 과금액을 결정하는 과금액 결정 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.

소정의 예비 기간에 기기가 온으로 되어 있는 시간을 계측 수단에 의해 계측함으로써, 예비 기간에 있어서의 상기 기기의 가동 시간을 검출하는 예비 기간 가동 시간 검출 공정과, 상기 가동 시간 검출 공정에 의해 검출된 예비 기간 내의 가동 시간과 예비 기간 내의 가동 가능 시간에 근거하여, 소정의 예비 기간에 있어서의 상기 기기의 정량화한 생산성을 나타내는 지표값을 컴퓨터에 의해 계산함으로써, 상기 생산성 기준을 결정하는 생산성 기준 결정 공정을 배치해도 된다.

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본 발명의 제 2 관점에 따른 기기의 보수 관리 시스템은, 기기의 보수 관리 서비스의 대가의 금액을 결정하기 위한 과금 시스템으로서, 보수 관리 서비스의 대상으로 되는 기기의 가동 상황을 나타내는 물리량을 나타내는 가동 상황 데이터를 취득하는 가동 상황 취득 수단과, 상기 가동 상황 데이터 취득 수단이 취득한 가동 상황 데이터를 나타내는 물리량과 기준으로 되는 물리량에 근거하여, 기기가 정상인지 이상인지를 판별하고, 이상이다고 판별한 경우에 소정의 경보를 출력 수단으로부터 발하는 경보 수단과, 소정의 서비스 기간에 있어서의 기기가 온으로 되어 있는 시간을 계측함으로써, 당해 기기의 가동 시간을 검출하는 가동 시간 검출 수단과, 상기 가동 시간 검출 수단에 의해 검출된 가동 시간과 소정의 가동 가능 시간에 근거하여, 소정의 서비스 기간에 있어서의 상기 기기의 정량화한 생산성을 나타내는 지표값을 계산하는 정량화 수단과, 상기 정량화 수단이 정량화한 상기 기기의 생산성을 미리 정해진 생산성 기준과 비교하여 그 차를 산출하는 비교 수단과, 상기 비교 수단에 의해 산출된 생산성의 차와 과금액과의 대응 관계를 기억하는 과금 기준값 기억 수단과, 상기 과금 기준값 기억 수단에 기억되어 있는 기준값과 상기 비교 수단이 산출한 차에 근거하여, 상기 서비스 기간 내의 상기 보수 관리 서비스에 대한 과금액을 결정하는 과금액 결정 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성의 과금 시스템은 소정의 예비 기간에 상기 기기를 가동시키고, 상기 예비 기간에서의 상기 기기의 생산성을 정량화하여 상기 생산성 기준을 결정하는 생산성 기준 결정 수단을 구비해도 된다.

상기 구성의 과금 시스템에 있어서, 상기 정량화 수단은, 예를 들면 가동률(Availability), 가동 시간(Uptime) 및 생산량 중 적어도 어느 하나에 근거하여 상기 기기의 생산성을 정량화한다.

상기 구성의 과금 시스템에 있어서, 상기 과금액 결정 수단은 산출한 차에 미리 정해진 변환 레이트를 곱하여 과금액을 결정해도 된다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 과금 시스템의 구성을 나타내는 도면,

도 2는 기기의 구성예를 나타내는 도면,

도 3은 공장측 컴퓨터의 구성을 나타내는 도면,

도 4는 사업자측 컴퓨터의 구성을 나타내는 도면,

도 5는 기기 정보 DB에 저장된 가동 상황 데이터의 일례를 나타내는 도면,

도 6은 기기 정보 DB에 저장된 유지 보수 데이터의 일례를 나타내는 도면,

도 7은 프로파일 정보 DB에 저장된 데이터의 일례를 나타내는 도면,

도 8은 프로파일 정보 DB에 저장된 데이터의 일례를 나타내는 도면,

도 9는 연락처 정보 DB에 저장된 데이터의 일례를 나타내는 도면,

도 10은 부품 정보 DB에 저장된 데이터의 일례를 나타내는 도면,

도 11은 과금 정보 DB에 저장된 데이터의 일례를 나타내는 도면,

도 12는 과금 동작의 흐름의 일례를 나타내는 도면,

도 13은 보수ㆍ감시 동작의 흐름의 일례를 나타내는 도면,

도 14는 교환 주기 산출 동작의 흐름의 일례를 나타내는 도면,

도 15는 과금액 결정 동작의 흐름의 일례를 나타내는 도면,

도 16은 청구서의 일례를 나타내는 도면이다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

본 실시예에 따른 생산용 기기의 보수 관리 방법 및 보수 관리 시스템에 대해서 이하에, 도면을 참조하여 설명한다.

본 실시예에서 생산용 기기는 반도체 제조 장치로서, 사용자인 반도체 디바이스 제조사가 공장에서 사용하고 있다. 기기의 보수 관리 서비스는 기기를 제공한 벤더 또는 벤더로부터 위탁을 받은 사업자(이하, 사업자)가 행하고, 사업자는 제공한 서비스에 대해서 사용자에게 과금한다.

도 1에 본 실시예에 따른 과금 시스템(11)의 구성을 나타낸다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시예의 과금 시스템(11)은 1 또는 복수의 사용자의 1 또는 복수의 공장(12)과, 서비스 사업자의 사업소(13)가 통신 회선(14)으로 접속되어 구성된다.

통신 회선(14)은, 예를 들면 인터넷으로 구성된다. 또한, 통신 회선(14)은, 예를 들면, 전용선, 공중 회선망, ISDN망, 유선 방송망, 무선 통신망, 위성 통신망 등의 어느 하나이든지, 또는 이들의 조합으로 구성되더라도 무방하다.

공장(12)에는 1 또는 복수의 기기(15)와, 공장측 컴퓨터(16)가 배치되어 있다. 기기(15)와 공장측 컴퓨터(16)는 LAN(Local Area Network) 등의 공장내 배선망(17)에 의해서 접속되어 있다. 공장측 컴퓨터(16)는 공장(12)에서 사용되고 있는 기기(15)를 집중 관리한다.

기기(15)는 반도체 장치, 액정 표시 장치 등의 전자 디바이스의 제조에 이용하는 장치로서, 예를 들면, 전(前) 공정용 기기(15)(성막 장치, 열처리 장치 등)이나 후속 공정용 기기(15)(실장 장치, 시험 장치 등)이다. 하나의 공장(12)내에는 1 또는 복수종의 기기(15)가 배치되어 있다.

도 2에 기기(15)의 구성을 나타낸다. 도 2에서는 기기(15)로서 매엽식의 플라즈마 CVD 장치를 이용하는 경우를 예로서 설명한다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 기기(15)는 원통 형상으로 성형된 챔버(110)를 구비한다.

챔버(110)의 측벽에는 배기구(111)가 형성되어 있다. 배기구(111)에는 APC(자동 압력 조절 장치)(112)를 거쳐서 진공 펌프(113)가 접속되어 있다. 진공 펌프(113)는 터보 분자 펌프 등으로 구성되고, 챔버(110)내를 소정의 감압 분위기까지 진공시킨다. 또한, 챔버(110)의 측벽에는 게이트 밸브(114)가 마련되고 있고, 게이트 밸브(114)를 개방한 상태에서 챔버(110)와 외부 사이에서 웨이퍼 W가 반송된 다.

챔버(110)의 대략 중앙에는 서셉터(115)가 마련되어 있다. 서셉터(115)는 알루미늄 등의 도체로 구성되고, 평행 평판 전극의 하부 전극을 구성한다. 서셉터(115)의 상면에는 웨이퍼 W가 재치된다.

서셉터(115)는 샤프트(116)로 지지된 스테이지(117)상에 마련되어 있다. 샤프트(116)는 챔버(110)의 바닥면에 개설된 개구를 관통해서 배치되어 있다. 샤프트(116)는 도시하지 않은 승강 기구에 접속되어, 스테이지(117)와 함께 서셉터(115)를 승강시킨다. 샤프트(116)의 내부는 중공(中空)으로 구성되고, 내부에는 배선 등이 삽입되어 연결된다.

스테이지(117)의 하부는 스테인레스 강철 등으로 이루어지는 벨로우즈(118)로 덮여 있다. 벨로우즈(118)는 그 상단과 하단이 각각 스테이지(117)의 하부 및 챔버(110)의 바닥면에 나사 고정되어 있다. 벨로우즈(118)는 스테이지(117)의 승강과 함께 신축하여 챔버(110)내의 기밀 상태를 유지한다.

서셉터(115)에는 제 1 고주파 전원(119)이 접속되어 있다. 제 1 고주파 전원(119)은 0.1~13㎒의 범위의 주파수를 갖고 있다.

서셉터(115)의 위쪽에는 샤워헤드(120)가 마련되어 있다. 샤워헤드(120)는 서셉터(115)를 평행하게 대향하도록 마련되고, 그 서셉터(115)와의 대향면에 전극판(121)을 갖는다.

전극판(121)은 도체로 구성된 원판 형상 부재로 구성되고, 그 면 전체에 다수의 가스 구멍(121a)을 갖는다. 전극판(121)에는 제 2 고주파 전원(122)이 접속 되어 있다. 제 2 고주파 전원(122)은 13~150㎒의 범위의 주파수를 갖고 있다. 전극판(121)은 서셉터(115)와 함께, 평행 평판 전극의 1쌍의 대향 전극을 구성한다.

샤워헤드(120)는 전극판(121)의 가스 구멍(121a)과 도통하는 중공부(120a)를 구비한다. 또한, 샤워헤드(120)는 가스 공급관(123)에 접속되어 있다. 가스 공급관(123)은 매스 플로우 컨트롤러(MFC)(124)를 거쳐서 가스원(125)에 접속되어 있다. 가스원(125)으로부터 공급되는 가스는 MFC(124)에 의해서 소정의 유량으로 제어되어 샤워헤드(120)의 중공부(120a)에 공급되고, 가스 구멍(121a)으로부터 챔버(110) 내부에 분출된다.

가스원(125)으로부터는 플라즈마 CVD 처리에 필요한 프로세스 가스 및 캐리어 가스가 공급된다. 성막 동작시, 서셉터(115) 및 전극판(121)에는 소정의 고주파 전압이 인가되고, 이들 2개 사이의 공간에는 가스의 플라즈마가 생성된다. 플라즈마내의 활성 종류에 따라, 웨이퍼 W의 표면에는 소정의 CVD막이 형성된다.

또한, 기기(15)는 타임 카운터(126)를 구비한다. 타임 카운터(126)는 기기(15)가 온으로 되어 있는 시간을 카운트한다. 카운트된 시간은 후술하는 바와 같이 가동 시간(Uptime)으로서 기기 상황 DB에 축적된다.

기기(15)는 마이크로 컴퓨터, 메모리 등으로 구성되는 중앙 처리부(127)를 구비한다. 중앙 처리부(127)는 기기(15)의 전체 동작을 제어하는 신호를 송출한다.

상기 기기(15)의 동작에 있어서, 중앙 처리부(127)는 APC(112)에 접속되어 챔버(110)의 내부 압력을 검지하고, 또한, 압력을 소정 범위내로 유지한다. 또한, 중앙 처리부(127)는 MFC(124)에 접속되어 챔버(110)에 공급되는 가스의 유량을 소정량으로 조절한다. 이와 같이, 중앙 처리부(127)는 APC(112), MFC(124) 등을 거쳐서 반응을 제어하고, 또한, 챔버(110) 내부의 정보를 취득한다.

또한, 기기(15)는 웨이퍼 W의 온도를 검지하기 위한 온도 센서, 웨이퍼 W의 처리 매수를 카운트하는 웨이퍼 카운터, 챔버(110)내의 이물질량을 카운트하는 이물질 카운터 등을 더 구비하고, 중앙 처리부(127)는 다른 데이터를 취득하도록 해도 된다.

중앙 처리부(127)는 이들 기기(15)의 가동 상황에 관한 가동 상황 데이터를 기억부(128)에 저장하고, 또한, 통신부(129)를 거쳐서 공장측 컴퓨터(16)에 송출한다. 또한, 도면에서는 기억부(128)가 기기(15)에 설치되어 있지만, 기억부(128)를 기기(15)로부터 떼어, 예를 들면 도 1의 컴퓨터(16)내에 마련해도 무방하다.

또한, 기기(15)는 중앙 처리부(127)에 접속된 입출력 제어부(130)를 구비한다. 입출력 제어부(130)는 표시 화면, 키보드 등을 구비한 입출력 장치(131)에 접속되어 있다. 입출력 장치(131)는 휴먼 인터페이스(human interface)로서 기능한다. 공장(12)내의 작업원은 입출력 장치(131)로부터 설정 조건 등의 소정의 제어 정보를 입력하고, 그리고, 기기(15)의 상태를 나타내는 정보를 출력으로서 판독한다.

또한, 작업원은 입출력 장치로부터 기기(15)에 대해서 행한 유지 보수 작업에 관한 데이터를 입력한다. 예를 들면, 작업원은 부품을 고장에 의해 또는 정기적으로 교환했을 때에는, 그 일시, 부품의 종류, 사용 시간 등의 기기(15)의 유지 보수에 관한 정보를 입력한다. 입력된 정보는 기억부(128)에 유지 보수 데이터로서 기억된다.

유지 보수 데이터에는 유지 보수에 관계하지 않는 다른 로그 데이터도 포함된다. 로그 데이터는 타임 스탬프(time stamp)와 함께, 그 기기(15)의 모든 동작의 이력을 데이터화한 것으로서, 공장(12)의 작업자가 기기(15)에 어떤 조작을 했는지, 기기(15)의 어느 센서가 언제 어떻게 동작했는지, 기기(15)의 소프트웨어가 언제 어떠한 루틴으로 들어갔는지, 기억부(128)에 언제 어떠한 데이터가 들어갔는지 등을 나타낸다.

중앙 처리부(127)는 입출력 장치(131)로부터 입력된 상기 유지 보수 데이터에 대해서도 기억부(128)에 저장하고, 또한, 공장측 컴퓨터(16)에 송출한다.

도 3에 공장측 컴퓨터(16)의 구성을 나타낸다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 공장측 컴퓨터(16)는 중앙 처리부(18)와, 통신부(19)와, 기억부(20)와, 입출력 제어부(21)를 구비한다.

중앙 처리부(18)는 마이크로 컴퓨터, 메모리 등으로 구성되고, 공장측 컴퓨터(16)의 동작을 제어한다.

통신부(19)는 공장내 배선망(17) 및 통신 회선(14)의 공장측 컴퓨터(16)의 인터페이스로서 기능한다. 중앙 처리부(18)는 통신부(19)를 거쳐서 공장(12)내의 기기(15) 등과의 사이에서 정보의 송수신을 실행한다.

중앙 처리부(18)는 기기(15)로부터 수취한 가동 상황 데이터 및 유지 보수 데이터를, 통신부(19)를 거쳐서 후술하는 사업자측 컴퓨터에 송출한다. 가동 상황 데이터는 사업자측 컴퓨터에 거의 실시간으로 보내어지고, 유지 보수 데이터는 발생과 동시에 또는 소정 간격마다 보내어진다.

기억부(20)는 가동 상황 데이터 및 유지 보수 데이터를 기억한다. 중앙 처리부(18)는 기기(15)로부터 공장내 배선망(17)을 거쳐서 수신한 상기 데이터를 기억부(20)에 저장한다.

또한, 기억부(20)는 기기(15)의 기억부(128)와 동일한 내용의 상기 데이터를 저장해도 되고, 또는 기기(15)의 기억부(128)보다도 긴 기간의 데이터를 축적하도록 해도 된다. 또한, 기기(15)의 기억부(128) 및 공장측 컴퓨터(16)의 기억부(20) 중 어느 한쪽에 상기 데이터를 저장하도록 해도 무방하다.

입출력 제어부(21)는 표시 화면, 키보드 등을 구비한 입출력 장치(22)에 접속되어 있다. 입출력 장치(22)는 휴먼 인터페이스로서 기능한다. 공장(12)내의 작업원은 입출력 장치(22)로부터 공장측 컴퓨터(16) 및 기기(15)의 제어를 행하고, 또한, 기기(15) 등에 관한 정보를 취득한다.

장해 발생시에는, 예를 들면, 사용자측 작업원은 공장측 컴퓨터(16)의 입출력 장치(22)를 거쳐서 사업자로부터 장해 대응에 관한 정보를 수취하여 필요한 처치를 행한다.

여기서, 공장측 컴퓨터(16)는 장해의 발생시 등의 비예정 정지 시간(Unscheduled Downtime), 및 정기 점검시 등의 예정 정지 시간(Scheduled Downtime) 이외는 기기(15)를 항상 온으로 하여, 언제든지 생산 가능한 상태이도록 하고 있다.

공장측 컴퓨터(16)는 기기(15)가 생산 동작을 행하지 않는 대기 상태에 있을 때, 기기(15)에 소정 시간마다 테스트 동작을 행하게 한다. 이 때, 기기(15)는 소정의 테스트 프로그램에 따라서, 더미 웨이퍼에 대하여 통상의 성막 동작을 행한다. 공장측 컴퓨터(16)는 테스트 동작에서 이상이 검출되면, 필요에 따라서 기기(15)를 오프로 하여 복구 처리를 실행한다. 또한, 테스트 동작시에도, 후술하는 사업자측 컴퓨터는 기기(15)의 가동 상황을 감시하여 이상을 검출하면, 그 취지를 사용자측에 통지한다.

상술한 바와 같이, 타임 카운터(126)는 기기(15)가 온으로 되어 있는 시간을 카운트한다. 즉, 타임 카운터(126)는 기기(15)가 실제로 정상으로 가동하고, 및, 정상으로 가동 가능한 상태에 있는 시간을 카운트한다. 본 명세서에서는 기기(15)가 실제로 정상으로 가동하고, 및, 정상으로 가동 가능한 상태에 있는 시간을 「가동 시간(Uptime)」으로서 나타낸다.

도 1로 되돌아가, 서비스 사업자의 사업소(13)에는 사업자측 컴퓨터(23)가 배치되어 있다. 도 4에 사업자측 컴퓨터(23)의 구성을 나타낸다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 사업자측 컴퓨터(23)는 중앙 처리부(24)와, 통신부(25)와, 입출력 제어부(26)와, 기억부(27)를 구비한다.

중앙 처리부(24)는 마이크로 컴퓨터, 메모리 등으로 구성되고, 사업자측 컴퓨터(23)의 동작을 제어한다.

통신부(25)는 사업자측 컴퓨터(23)측의 외부 인터페이스로서 기능한다. 중앙 처리부(24)는 통신부(25)를 거쳐서 1 또는 복수의 공장측 컴퓨터(16)와의 사이 에서 정보의 송수신을 실행한다.

입출력 제어부(26)는 화면, 키보드 등을 구비한 입출력 장치(28)에 접속되어 있다. 입출력 장치(28)는 휴먼 인터페이스로서 기능한다. 사업자측의 오퍼레이터는 입출력 장치(28)로부터 소정의 입력 처리를 실행하여 사업자측 컴퓨터(23)를 제어한다. 또한, 사업자의 작업원은 입출력 장치(28)로부터 사용자측에 전자 메일 등에 의해 대처 정보를 송신하고, 또한 기기(15)의 가동 상황을 확인한다.

기억부(27)는 각종 데이터베이스(DB)를 포함하여 구성된다. 기억부(27)는 기기 정보 DB(29)와, 프로파일 정보 DB(30)와, 연락처 정보 DB(31)와, 부품 정보 DB(32)와, 과금 정보 DB(33)를 구비한다.

기기 정보 DB(29)에는 보수 관리 서비스의 대상인 기기(15)의 가동 상황 데이터와, 유지 보수 데이터가 기기(15)마다 축적되어 있다. 기기 정보 DB(29)는, 예를 들면 사용자, 공장(12)마다 분류되어 있다.

도 5에 기기 정보 DB(29)에 저장된 가동 상황 데이터의 일례를 나타낸다. 도 5에 나타내는 예에서는, 기기 정보 DB(29)에는 기기(15)의 가동 상황 데이터가 도 5내의 *1로 나타내는 형태로 축적되어 있다.

또한, 가동 상황 데이터에는 기기(15)의 타임 카운터(126)로부터 취득한 기기(15)의 가동 시간(Uptime)이 포함되어 있다. 상술한 바와 같이, 가동 시간(Uptime)은 기기(15)가 온으로 되어 있는 시간을 나타낸다. 타임 카운터(126)는, 예를 들면 후술하는 단위 과금 기간마다 리셋되고, 타임 카운터(126)가 나타내는 값은 단위 과금 기간내의 가동 시간(Uptime)을 나타낸다.

가동 시간(Uptime)은 기기(15)가 실제로 생산을 행하고 있는 시간(Productive Time)에 한정되지 않고, 생산은 하고 있지 않지만 대기하고 있는 시간(Standby Time)도 포함한다. 공장(12)의 조업 시간중에 기기(15)는 항상 온으로 되어 있어, 생산을 하고 있지 않은 상태이더라도 고객으로부터 급한 수주에 즉응할 수 있도록 대기하고 있다. 이와 같이, 가동 시간(Uptime)은 생산 기간(Productive Time)과 대기 기간(Standby Time)을 포함하고, 기기(15)가 온으로 되어 있는 시간으로 구성되어 있다.

도 6에 기기 정보 DB(29)에 저장된 유지 보수 데이터의 일례를 나타낸다. 도 6에 나타내는 예에서는, 기기 정보 DB(29)에는 부품 교환에 관한 유지 보수 데이터가 종류마다 축적되어 있다. 유지 보수 데이터는 부품마다의 교환일(시), 통산 사용 시간 등으로 구성되어 있다.

프로파일 정보 DB(30)에는 기기(15)의 동작의 레시피로 되는, 각 공정시의 파라미터(온도, 압력 등)의 표준 프로파일이 기억되어 있다.

도 7에 프로파일 정보 DB(30)에 저장된, 공정 A, B, …에서의 각 파라미터의 표준 프로파일의 일례를 나타낸다. 도 7에 나타내는 예에서는, 공정 A에서의 변화 파라미터로서 압력, 가스 유량 등이 *2 및 *3에 나타내는 형태로 저장되어 있다.

또한, 프로파일 정보 DB(30)에는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 각 기기(15)의 소정의 처리에서의 공정표(레시피)가 저장되어 있다. 레시피는 미리 사용자로부터 사업자에게 통신 회선(14)을 통해서 자동적으로, 또는 사람 손을 거쳐서 통지되고 있다. 레시피는, 예를 들면 *4에 나타내는 형태로 저장되어 있다.

프로파일 정보 DB(30)에 저장된 레시피 및 기준 프로파일은 후술하는 공장측 컴퓨터(16)에 의한 기기(15)의 가동 상태의 감시에 이용된다.

보다 상세하게는, 중앙 처리부(24)는 도 8에 나타내는 레시피에 따라서, 도 7에 나타내는 표준 프로파일을 각 파라미터에 대해서 판독한다. 사업자측 컴퓨터(23)(중앙 처리부(24))는 기기(15)로부터 수신한 실제의 가동 상황 데이터에서의 각 파라미터의 변화 프로파일과, 판독한 표준 프로파일을 비교해서 기기(15)의 상태를 판별한다.

사업자측 컴퓨터(23)는 각 파라미터의 실제의 변화 프로파일과 표준 프로파일이, 예를 들면 오차 5%의 범위내에 없는 경우에, 기기(15)가 이상한 상태에 있다고 판단한다.

연락처 정보 DB(31)에는 사용자측 작업원 및 사업자측 작업원의 연락처(메일 어드레스 등)가 기억되어 있다. 도 9에 그 일례를 나타낸다. 도 9에 나타내는 연락처 정보 DB(31)에서는, 기기(15)마다 이 기기(15)의 보수 관리 작업을 담당하는 사람(사용자측 및 사업자측)의 메일 어드레스가 링크되어 있다.

부품 정보 DB(32)에는 기기(15)를 구성하는 각 부품의 최적 교환 주기가 저장되어 있다. 도 10에 부품 정보 DB(32)의 일례를 나타낸다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 부품 정보 DB(32)에는 기기(15)의 종류마다 구성하는 부품의 최적 교환 주기가 저장되어 있다.

최적 교환 주기는 사업자가 추천하는, 부품을 안정하게 사용 가능한 기간이다. 최적 교환 주기는 실제의 사용에서 발생하는 부품 교환 데이터에 근거하여 최 적화된 값이다. 예를 들면, 최적 교환 주기는 유지 보수 데이터로서 수집한 부품의 사용 기간의 평균값 또는 이에 소정의 마진을 가한 값이다. 또한, 최적화 방법은 이에 한정되지 않는다.

최적화는 데이터량이 많을수록 신뢰성이 높은 데이터가 얻어진다. 따라서, 1 또는 복수의 사용자로부터 데이터를 수집하고, 이에 근거하여 산출된 최적 교환 주기는, 예를 들면 사용자가 단독으로 산출하는 것보다도 신뢰성이 높은 것으로 된다.

과금 정보 DB(33)에는 보수 관리 서비스에 대한 과금액 결정 처리에 사용되는 각종 데이터가 기억되어 있다. 도 11에 과금 정보 DB(33)에 기억된 데이터의 예를 나타낸다. 도 11에 나타내는 예에서는, 사용자마다 사용하는 기기(15)의 종류, 시리얼 번호, 사용 개시일, 예비 기간, 단위 과금 기간, 가동 가능 시간(Operations Time), 생산성 기준값 및 과금 레이트에 관한 데이터가 저장되어 있다.

이들 정보는 사용자와 사업자간의 결정 등에 의해 결정된 기정값으로서, 사업자측 컴퓨터(23)에 과금액의 결정전에 입력된다.

사용 개시일은 기기(15)의 실제의 운용을 개시한 일시, 또는 보수 관리 서비스를 개시한 일시를 나타낸다. 사용 개시일에 근거하여 후술하는 예비 기간 및 단위 과금 기간의 기일의 도래가 판별된다.

예비 기간은 후술하는 생산성 기준값을 결정하기 위한 기간으로서, 보수 관리 서비스를 개시하기 전의 예비적 기간이다. 예비 기간은, 예를 들면 기기(15)의 사용 개시일의 후, 또는 본격적인 보수 관리 서비스의 개시전의 소정 기간, 예를 들면 3개월간이다.

예비 기간에서 기기(15)의 보수 관리는 기본적으로 사용자 자신이 행하고, 장해 발생시에는 사용자로부터의 연락에 따라서 사업자는 작업을 행한다. 사업자는 통신 회선(14)을 거쳐서 기기(15)의 가동 정보를 취득하여 각종 데이터를 축적하고 있지만, 굳이 사용자로부터의 통보가 있고 나서 대처한다. 이와 같이, 예비 기간의 보수 관리는 주로 사용자에 의해서 행해지고, 사업자의 기여는 최소한으로 되도록 행해진다.

단위 과금 기간은 사업자가 대가를 요구하는, 즉 보수 서비스에 대한 비용이 발생하는 기간을 나타내고, 예를 들면 1년으로 설정되어 있다. 단위 과금 기간은 예비 기간의 종료 후, 또는 직전의 단위 과금 기간의 종료 후에 개시되고, 그 종료의 후에 과금이 발생한다.

가동 가능 시간(Operations Time)은 사용자의 공장(12)에서, 현재의 단위 과금 기간내에서 기기(15)가 가동 가능해야 되는 시간이다. 가동 가능 시간(Operations Time)은, 예를 들면 기기(15)가 배치된 사용자의 공장(12)의 조업 예정보다 미리 결정된 값이며, 도면에 나타내는 예에서는 8,400시간(350일)으로 되어 있다.

과금액은 단위 과금 기간에서의 생산성을 정량화한 가동률(Availability)을 이용하여 결정된다. 가동률(Availability)은 단위 과금 기간에서의, 가동 시간(Uptime)의 가동 가능 시간(Operations Time)에 대한 비율이며, (가동 시간 (Uptime))/(가동 가능 시간(Operations Time))×100(%)으로서 산출된다. 가동 시간(Uptime)은 기기 정보 DB(29)에 기억된 것이다.

여기서, 본 명세서에서 가동률(Availability)이란, 이른바 가동률(utilization)과는 상이하다. 가동률은 가동 가능 시간(Operations Time)에서의 생산 시간(Productive Time)의 비율을 나타낸다. 한편, 가동률(Availability)의 산출에 이용되는 상기 식 중의 가동 시간(Uptime)은, 생산에 기여하지 않는 대기 시간(Standby Time) 등을 포함하는 것이다. 따라서, 가동률(Availability)이란, 가동 가능 시간(Operations Time) 중 기기가 「움직일 수 있는 시간」의 비율을 나타낸다.

생산성 기준값은 과금액의 산출 기준으로서 이용된다. 생산성 기준값은 상술한 예비 기간에서의 기기(15)의 생산성을 정량화하는 것에 의해 결정된다. 생산성 기준값은 과금 대상 기간에서의 것과 동일한 정량화 수법을 이용하여 결정되어, 가동률(Availability)로서 결정된다. 가동률(Availability)은 예비 기간에서의 가동 가능 시간(Operations Time)과, 가동 시간(Uptime)으로부터, 상술한 단위 과금 기간에서의 것과 마찬가지의 방법으로 산출된다.

과금액은 단위 과금 기간에서의 정량화한 생산성(가동률(Availability))과, 생산성 기준값을 비교해서 결정된다. 상술한 바와 같이, 예비 기간에서 보수 관리는 사용자가 주로 행하고, 사업자의 기여는 최저한으로 되도록 행해진다. 한편, 과금 대상 기간에서는 사용자와 사업자가 협동하여 행해진다.

예비 기간의 생산성(기준값)과, 과금 대상 기간의 생산성(실측)을 비교하는 것에 의해, 과금 대상 기간의 보수 관리에서의 사업자의 기여분에 대응하는 생산성의 변화를 정량화할 수 있다. 본 예에서 사업자는 생산성이 향상한 경우에만 과금하고, 향상분에 비례한 금액을 과금한다.

과금 레이트는 과금 대상 기간의 실측 생산성과, 생산성 기준과의 차분(향상분)을 과금액으로 환산하기 위한 레이트이다. 예를 들면, 과금 대상 기간에서의 가동률(Availability)이 56%이고, 기준값이 51%인 경우, 정량화한 생산성의 향상분을 나타내는 그 차분은 5%이다. 과금 레이트가, 예를 들면 30,000엔/%인 경우, 해당 기기(15)에 대한 과금액은 이들을 곱하는 것에 의해, 150,000엔으로 결정된다.

과금 레이트는 사업자와 사용자간에서 결정되고 있다. 과금 레이트는 기종, 사용 연수, 계약 연수 등에 의해 결정된다. 또한, 도면에 나타내는 예에서는 과금 레이트는 기종마다 설정되어 있다.

이하, 상기 과금 시스템(11)의 동작에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 도 12~도 15에 사업자측 컴퓨터(23)(특히, 중앙 처리부(24))의 동작의 흐름을 나타낸다. 또한, 도 12~도 15에 나타내는 흐름은 일례이며, 마찬가지의 효과를 나타내는 것이면 어떠한 것도 가능하다.

먼저, 사용자의 공장(12)에 기기(15)가 납입되어 시동 작업이 실행된다. 기기(15)가 소정의 기능을 나타낸 부분에서 검수(檢收)가 실행된다(단계 S11). 검수 후, 기기(15)의 실제의 운용이 개시된다. 이 일시가 사용 개시일로서 과금 정보 DB(33)에 기억된다.

한편, 사용자는 기기(15)의 보수 관리 서비스를 제공하는 사업자와 계약하 여, 기기(15)의 운용 개시와 동시에 보수 관리 서비스가 개시된다. 이 때, 사용자와 사업자간에서 과금액 결정 방법이 결정된다. 즉, 기준값의 설정 방법 및 설정용의 예비 기간, 단위 과금 대상 기간, 과금 레이트 등이 결정된다. 이들 정보는 사업자측 컴퓨터(23)에 입력되어, 과금 정보 DB(33)에 저장된다.

사업자는 기기(15)의 운용 개시로부터 소정 기간, 예를 들면 3개월간을 결정한 예비 기간으로서, 보수 관리 작업을 행한다(단계 S12). 이 예비 기간 동안, 보수 관리는 기본적으로 사용자 자신이 행하고, 장해 발생시에는 사용자로부터의 연락에 따라서 사업자는 작업을 행한다. 사업자는 통신 회선(14)을 거쳐서 기기(15)의 가동 정보를 취득하여 각종 데이터를 축적하고 있지만, 굳이 사용자로부터의 통보가 있고 나서 대처한다. 이와 같이, 예비 기간에서는 기기(15)의 생산성을 소정 정도로 유지하는 것을 목표로 하여 보수 관리가 행해진다.

예비 기간의 종료 후(단계 S13; 예), 사업자는 이 예비 기간에서의 가동률(Availability)을 산출한다(단계 S14). 가동률(Availability)은, 상술한 바와 같이, 예비 기간내에서의 기기(15)의 가동 시간(Uptime)을 가동 가능 시간(Operations Time)으로 나눈 비율(%)로서 구해진다. 산출한 기준값은 생산성 기준값으로서 과금 정보 DB(33)에 저장된다.

예비 기간의 종료 후, 사업자는 기기(15)의 실시간으로의 감시를 개시하는 등, 이하와 같이 「본래의」 보수 관리 작업을 개시한다(단계 S15). 도 13에 감시 동작의 흐름의 일례를 나타낸다.

사업자측 컴퓨터(23)는 기기(15)의 가동 상황 데이터를 실시간으로 수신하고 있다(단계 S21). 사업자측 컴퓨터(23)는 수신한 가동 상황 데이터를 기기 정보 DB(29)에 저장한다(단계 S22).

사업자측 컴퓨터(23)는 기기 정보 DB(29)로부터 수신한 가동 상황 데이터 중에서 소정의 파라미터, 예를 들면 온도에 근거하는 가동 상황 데이터(변화 프로파일)를 판독한다(단계 S23).

사업자측 컴퓨터(23)는 프로파일 정보 DB(30)에 기억된 온도에 관한 표준 프로파일을 참조하여, 가동 상황 데이터의 프로파일과 비교한다(단계 S24). 사업자측 컴퓨터(23)는 실측된 프로파일과 표준 프로파일과의 차가 소정의 오차 범위내(예를 들면, 5%)에 있는지 여부를 판별한다(단계 S25).

상기 처리는 온도 파라미터에 한하지 않고, 기기(15)로부터 취득되는 압력 등의 다른 파라미터에 대해서도 동시에 행해지고 있다.

실측된 프로파일과 표준 프로파일과의 차가 소정의 오차 범위내에 있다고 판별한 경우(단계 S25; 예), 사업자측 컴퓨터(23)는 가동 상황 데이터를 수신하여 기기(15)의 감시를 계속한다.

한편, 양쪽의 차가 상기 범위내에 없다고 판별한 경우(단계 S25; 아니오), 사업자측 컴퓨터(23)는 기기(15)에 장해가 발생했다고 판별한다. 이 때, 사업자측 컴퓨터(23)는 사용자측에 공장측 컴퓨터(16)의 입출력 장치를 거쳐서 장해 발생 및 그 상황을 통지한다(단계 S26). 동시에, 사업자측 컴퓨터(23)는 연락처 정보 DB(31)로부터 제조사측(사용자)의 보수 담당자의 메일 어드레스 등의 연락처 정보를 읽어들여, 연락처에 장해 발생을 보지하는 메일 등을 송신한다.

사업자측 컴퓨터(23)는 가동 상황에 이상을 검출한 경우, 연락처 정보 DB(31)를 참조하여 사용자(공장(12))측 및 사업자측에 장해 발생과 그 내용을 보지한다. 사용자측의 작업원은 보지에 근거해서 기기(15)의 상황을 확인하여, 필요한 처치를 행한다. 또한, 사업자측의 담당 작업원은 보지에 근거해서 필요하면 교환 부품을 휴대하여 장해가 발생한 기기(15)가 사용되고 있는 공장(12)으로 향하여 복구 작업을 행한다.

또한, 사업자측 컴퓨터(23)는 사업자의 오퍼레이터 등에 대해서도 사업자측 컴퓨터(23)의 입출력 장치를 거쳐서 장해 발생 및 그 상황을 통지한다. 동시에, 사업자측 컴퓨터(23)는 연락처 정보 DB(31)로부터 사업자측 보수 담당자의 메일 어드레스 등의 연락처 정보를 읽어들여, 연락처에 장해 발생을 보지하는 메일 등을 송신한다.

사용자측 및 사업자측의 작업원은 사업자측 컴퓨터(23)로부터의 통지를 기초로 대처 처리를 행한다. 또한, 사용자측 및 사업자측 보수 담당자로의 통지 수단은 메일에 한정되지 않으며, 휴대 전화, 비상 무선 호출기, 핸드헬드 컴퓨터 등이어도 무방하다.

사업자측 컴퓨터(23)는 장해 발생을 통지하고, 또한, 대처에 필요한 정보를 관계자에게 보낸다(단계 S27). 사용자측 및 사업자측의 작업원은 수취한 대처 정보에 근거하여 복구 처리를 행한다.

이 때, 타임 카운터(126)는 기기(15)가 복구 처리를 위해서 오프 상태로 된 시점에서 카운트를 정지한다.

사업자측 컴퓨터(23)는, 예를 들면 챔버(110)내의 압력에 관한 데이터의 프로파일이 이상하다고 판별한 경우, 사용자측 작업원 등에 그 취지를 통지하여 온도의 수정을 행하도록 지시한다.

작업원의 작업에도 불구하고 이상이 개선되지 않은 경우, 사업자측 컴퓨터(23)는 작업원의 보고 등에 근거해서 원인을 특정하여 작업원에게 통지한다. 예를 들면, 압력이 아무리 해도 소정값에 달하지 않는 경우에는, APC(112) 및 진공 펌프(113)의 점검, 교환을 지시한다.

또한, 장해가 소프트웨어의 문제인 경우에는, 사업자측 컴퓨터(23)는, 예를 들면 소정의 소프트웨어를 공장측 컴퓨터(16)에 송출하여, 공장측 컴퓨터(16)가 자동적으로 복구 처리를 행한다.

복구 처리의 종료 후, 기기(15)가 온으로 되면, 타임 카운터(126)는 카운트를 개시한다. 이렇게 하여, 타임 카운터(126)는 기기(15)의 돌발적(비예정) 정지 시간(Unscheduled Downtime)이 제외된 가동 시간(Uptime)을 카운트한다.

상기한 바와 같이, 사용자와 사업자가 협동해서 보수 관리를 행하는 것에 의해, 작업 중복의 배제, 사용자측 작업원의 대기 시간의 단축 등에 의해, 장해 발생시의 기기(15)의 (비예정)정지 시간(Unscheduled Downtime)을 실질적으로 단축할 수 있다. 따라서, 기기(15)의 가동률(Availability)(생산성)의 향상이 가능해진다.

상술한 바와 같이 가동 상황 데이터를 수신하여 기기(15)의 감시를 행하는 한편, 사업자측 컴퓨터(23)는 유지 보수 데이터를 수신하고, 이하에 나타내는 바와 같이 부품의 최적 교환주기를 산출하여 부품 정보 DB(32)에 저장한다.

이하, 사업자측 컴퓨터(23)가 유지 보수 데이터를 처리하는 동작에 대해서 도 14에 나타내는 흐름을 참조하여 설명한다.

유지 보수 데이터에 포함되는, 기기(15)의 부품 교환에 관한 데이터는 기기(15)의 정기 점검시에 교환하거나, 또는 부품을 원인으로 하는 장해가 발생하여 수리 교환했을 때에 발생한다. 즉, 부품 교환을 행한 작업원이 기기(15)의 입출력 장치로부터, 교환한 부품의 종류, 일시, 사용 기간 등의 유지 보수 데이터를 입력하는 것에 의해 데이터가 발생한다. 발생한 데이터는 공장측 컴퓨터(16)에 의해서, 즉시 또는 정기적으로 송출되어 사업자측 컴퓨터(23)가 이를 수신한다(단계 S31).

여기서, 돌발적인 고장에 의한 부품 교환 및 정기 교환을 위해서 기기(15)가 정지했을 때, 타임 카운터(126)는 카운트를 정지한다. 따라서, 타임 카운터(126)는 예정 정지 시간(Scheduled Downtime) 및 비예정 정지 시간(Unscheduled Downtime)을 제외한, 기기(15)의 가동 시간(Uptime)을 카운트한다.

사업자측 컴퓨터(23)의 중앙 처리부(127)는 수신한 유지 보수 데이터를 기기 정보 DB(29)에 저장한다(단계 S32). 다음에, 사업자측 컴퓨터(23)는 기기 정보 DB(29)의 유지 보수 데이터로부터 교환한 부품의 종류를 참조하여, 해당하는 부품의 최적 교환 주기를 산출한다(단계 S33).

최적 교환 주기는, 예를 들면 수집한 부품의 사용 기간의 평균값 또는 이에 소정의 마진이나 가중값을 가한 값이다. 즉, 교환된 부품에 대해서 평균 사용 시 간을 산출하고, 소정의 마진을 부가하여 최적 교환 주기를 도출한다. 이 처리는 새로운 유지 보수 데이터(부품 교환 데이터)가 발생할 때마다 행해지고, 도출된 최적 교환 주기는 부품 정보 DB(32)에 갱신 기억된다.

이와 같이, 다수의 기기(15)에 관해서 부품 교환이 행해지고, 새로운 유지 보수 데이터가 취득될 때마다 부품 정보 DB(32)에 기억되어 있는 부품의 교환 주기는 최적화된다.

사업자측 컴퓨터(23)는 1 또는 복수의 사용자의 보유하는 기기(15)로부터 유지 보수 데이터를 수집하고 있다. 따라서, 부품의 교환 주기는 풍부한 데이터에 근거한 신뢰성이 높은 것이다.

상기한 바와 같이 해서 얻어진 각종 부품의 최적 교환 주기는 정기적으로, 예를 들면 1~2주간 간격으로 모든 사용자에게 보내진다(단계 S35). 사용자는 수취한 교환 주기 정보를 참조하여, 보다 효율적인 기기(15) 및 공장(12) 등의 가동을 가능하게 하는 새로운 계획을 책정할 수 있다. 이 결과, 정기 점검 주기의 최적화를 도모할 수 있고, 기기(15)의 가동 가능 시간(Operations Time)의 증대나 예정 정지 시간(Scheduled Downtime)의 감소를 도모할 수 있는 등, 기기(15)의 생산성의 향상을 도모할 수 있다.

도 12로 되돌아가서, 사업자측 컴퓨터(23)는 상기한 바와 같이 해서 감시 동작 등을 행하고 있다. 이러한 보수 관리 서비스로의 대가로서, 사업자측 컴퓨터(23)는 단위 과금 대상 기간마다, 그 기간내의 생산성의 향상에 따른 과금액을 결정하여 사용자에게 청구한다.

사업자측 컴퓨터(23)는 과금 정보 DB(33)에 기억된 기기(15)의 사용 개시일, 단위 과금 기간 및/또는 예비 기간에 근거하여, 과금 발생일이 도래했는지 여부를 판단한다(단계 S16). 과금 발생일은, 예비 기간이 3개월이고 단위 과금 기간이 1년인 경우, 사용 개시일로부터 1년 3개월 후로 된다. 또한, 미리 과금 정보 DB(33)에 사용 개시일에 예비 기간을 가한 기일을 서비스 개시일로서 기억시켜, 이 서비스 개시일로부터 단위 기간마다 과금 발생을 판별하도록 해도 된다.

또한, 도 12에 나타내는 흐름에서는 감시 처리와 과금액 결정 처리는 제각기 행해지는 것으로 되어 있지만, 감시 처리와 과금액 결정 처리는 실질적으로 병렬로 행해진다.

과금 발생일이 도래하면, 사업자측 컴퓨터(23)는 경과한 직전의 단위 과금 기간에서의 과금액을 결정한다(단계 S17). 도 15에 과금액의 결정 동작을 나타내는 흐름의 예를 나타낸다.

먼저, 사업자측 컴퓨터(23)는 기기 정보 DB(29)로부터 과금 기간내의 기기(15)의 가동 시간(Uptime)을 읽어들이고, 한편, 프로파일 정보 DB(30)로부터 기기(15)의 가동 가능 시간(Operations Time)을 읽어들인다(단계 S41). 기기 정보 DB(29)의 가동 시간(Uptime)과, 프로파일 정보 DB(30)의 가동 가능 시간(Operations Time)은 과금액이 결정된 후, 각각 리셋된다.

사업자측 컴퓨터(23)는 판독한 가동 시간(Uptime)과 가동 가능 시간(Operations Time)에 근거하여 가동률(Availability)을 산출한다(단계 S42). 구체적으로는, 사업자측 컴퓨터(23)는 가동 시간(Uptime)을 가동 가능 시간(Operations Time)으로 나눈다. 얻어진 값에 100을 곱하는 것에 의해, 가동률(Availability)(%)이 도출된다.

계속해서, 사업자측 컴퓨터(23)는 과금 정보 DB(33)의 생산성 기준값(가동률(Availability))을 참조하여, 산출한 가동률(Availability)과 비교한다(단계 S43). 즉, 산출값과 기준값과의 차분을 취한다. 얻어진 차분이, 과금 대상 기간에서의 기기(15)의 생산성 향상분이 정량화된 것이며, 이에 대해서 과금된다.

다음에, 사업자측 컴퓨터(23)는 과금 정보 DB(33)의 과금 레이트를 참조하여, 정량화한 생산성 향상분에 과금 레이트를 곱해서 환산한다(단계 S44). 이 결과, 대상 기간내의 기기(15)의 보수 서비스에 대한 생산성의 향상에 따른 과금액이 결정된다(단계 S45).

또한, 생산성에 향상이 나타나지 않는 경우, 과금은 발생하지 않는다. 즉, 예를 들면, 차분이 부의 값을 취하는 경우에는 과금은 발생하지 않는다.

사업자측 컴퓨터(23)는 기기 정보 DB(29)의 사용 개시일에 근거하여 사용 개시로부터 소정의 과금 대상 기간이 경과한 기기(15)에 관해서 상기와 마찬가지의 처리를 행한다.

사업자측 컴퓨터(23)는 상술한 바와 같이 해서 얻어진 결과를 청구액으로서 사용자에게 통지한다(도 12, 단계 S18). 통지는 결과의 발생마다, 또는 기말마다 사용자에게 통지된다. 통지 방법은 메일, FAX 등의 수단이고, 예를 들면 도 16에 나타내는 형태로 사용자에게 통지된다.

도면에 나타내는 청구서를 수취한 사용자는 보수 관리 서비스에 의해 기기 (15)의 생산성이 향상하고, 그 향상분에 대해서 과금되어 있는 것을 명확하게 이해할 수 있다. 생산성의 향상에 따라서 과금이 발생하고 있기 때문에, 서비스로의 대가의 지불에 의한 비용의 불필요한 증대는 회피되고, 따라서 사용자는 대가의 청구에 대해서 납득할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에서는 보수 관리 서비스에 의해 기기(15)의 생산성이 향상한 부분에 대해서 선택적으로 과금한다. 또한, 과금액은 생산성의 향상도에 따른 금액이다. 이와 같이, 일반적인 보수 관리 서비스에 대한 것과는 별도로, 생산성의 향상분에 대해서 과금할 수 있기 때문에, 사용자와 사업자와의 쌍방에게 있어서 만족도가 높은 과금 방법이다.

즉, 사용자에게 있어서는 생산성의 향상분에 따라서 보수 관리 서비스로의 대가를 지불하는 것이고, 따라서 보수 비용의 증대에 의한 생산 비용의 상승은 억제된다.

사업자에게 있어서도 상술한 질이 높은 보수 관리 서비스를 행하기 위한 비용을 사용자가 납득할 수 있는 형태로, 고객 만족도를 낮추는 일 없이 징수할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 여러 가지의 변형, 응용이 가능하다. 이하, 본 발명에 적용 가능한 상기 실시예의 변형 형태에 대해서 설명한다.

상기 실시예에서는 과금 정보 DB(33)에 저장되는 생산성 기준값, 단위 과금 기간, 생산성 기준값, 과금 레이트 등은 일정하다고 하였다. 그러나, 이들 데이터는 물론 사용자와 사업자와의 결정 등에 따라서 수시로 변경 가능하다. 예를 들 면, 기기(15)의 사용 연수가 장대화되고, 또한, 생산성 기준값, 과금 레이트 등을 체감시키도록 해도 된다.

상기 실시예에서는, 생산성 기준값은 예비 기간을 마련하고, 그 동안의 생산성을 정량화해서 결정하는 것으로 하였다. 그러나, 기준값의 설정 방법은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 사용자와 사업자가 미리 결정한 값을 이용해도 무방하다.

상기 실시예에서는, 생산성은 가동률(Availability)에 근거하여 정량화하는 것으로 하였다. 그러나, 정량화 수법은 가동률(Availability), 가동 시간(Uptime), 단위 기간당의 처리량 등, 또는 이들 조합을 이용할 수 있다.

상기 실시예에서는, 타임 카운터(126)는 기기(15)에 마련되는 구성으로 하였다. 그러나, 타임 카운터(126)는 공장측 컴퓨터(16)에 마련되거나, 또는 공장측 컴퓨터(16)가 내장하는 소프트웨어 타이머로 구성되어 있어도 무방하다.

상기 실시예에서는 가동 시간(Uptime)으로서 기기(15)가 온 상태에 있는 시간을 카운트하는 것으로 하였다. 그러나, 가동 시간(Uptime)의 설정 방법은 이에 한정되지 않고, 예를 들면 기기(15)가 처리 동작을 실질적으로 종료한 시간을 제외하고 카운트하도록 해도 된다. 또한, 기기(15)의 온 상태에 있는 시간이 아니라 오프 상태에 있는 시간을 카운트하여, 가동 가능 시간(Operations Time)으로부터 감하여 가동 시간(Uptime)을 산출하도록 해도 된다.

또한, 상기 예에서는 생산 가동하고 있지 않은 시간에서도 기기(15)는 항상 온 상태에 있어, 소정 시간마다 테스트 동작을 행하는 것으로 하였다. 그러나, 이 에 한하지 않고, 생산 가동하고 있지 않을 때에는 기본적으로 기기(15)는 오프로 되고, 소정 시간마다 테스트 동작을 위해서 온으로 되도록 해도 무방하다. 이 경우, 타임 카운터(126)는 전의 생산 가동시부터 오프 상태로 되더라도 계속해서 온 상태로서 카운트하고, 예를 들면 테스트 동작에서 이상이 검출된 시점에서 카운트를 정지한다.

상기 실시예에서는, 부품 교환에 관한 유지 보수 데이터는 기기(15)에 마련된 입출력 장치로부터 입력되는 것으로 하였다. 그러나, 이에 한하지 않고, 유지 보수 데이터를 공장측 컴퓨터(16)로부터 입력하고, 이를 사업자측 컴퓨터(23)에 송신하도록 해도 된다. 또한, 기기(15)로부터 송신되는 가동 상황 데이터 및 유지 보수 데이터는 공장내 배선망(17)을 거쳐서 사업자측 컴퓨터(23)에 송신되지만, 기기(15)를 직접 인터넷 등의 통신 회선(14)에 접속하여 상기 데이터를 사업자측 컴퓨터(23)에 직접 송신하도록 해도 무방하다.

상기 실시예에서는, 사업자측 컴퓨터(23)는 수집한 유지 보수 데이터로부터 부품의 최적 교환 주기를 도출하여 DB화하여, 사용자측에 정기적으로 송신하는 것이다. 이 DB화된 부품의 최적 교환 주기는 사업자측 컴퓨터(23) 및 공장측 컴퓨터(16)에 독자의 브라우저를 구비하는 것에 의해, 인터넷상에서 공개, 검색 가능한 구성으로 하는 것도 가능하다.

또한, 상기 예에서는 공장측 컴퓨터(16)가 여러 가지의 데이터를 사업자측 컴퓨터(23)에 송출하는 것으로 하였다. 그러나, 사업자측 컴퓨터(23)로부터 공장측 컴퓨터(16)에 접속하여, 가동 상황 데이터나 유지 보수 데이터를 입수해도 무방 하다.

상기 실시예에서는, 사용자는 반도체 장치 제조사 등이고, 사용자가 사용하는 기기(15)는 반도체 장치, 액정 표시 장치 등의 제조 장치로 하였다. 그러나, 이에 한하지 않고, 본 발명은 CCD, 태양 전지 등의 다른 전자 디바이스, 또는 다른 일반적인 공업 제품의 제조 기기에 적용하는 것도 가능하다.

또한, 본 발명은 2002년 9월 11일에 출원된 일본 특허 출원 제2002-265664호에 근거하여, 그 명세서, 특허청구의 범위, 도면 및 요약을 포함한다. 상기 출원에서의 개시는 그 전체가 본 명세서내에 참조로서 포함된다.

본 발명은 생산용 기기의 보수 관리 서비스에 대한 과금 방법 및 과금 시스템을 사용하는 산업 분야에 이용 가능하다.

본 발명에 의하면, 기기의 보수 관리의 과금에 대하여, 사용자와 벤더 등과의 쌍방을 만족시킬 수 있는 방법 및 시스템이 제공된다.

Claims (8)

1. 기기의 보수 관리 서비스의 대가의 금액을 결정하는 기능을 구비한 기기의 보수 관리 방법으로서,

   보수 관리 서비스의 대상으로 되는 기기의 가동 상황을 나타내는 물리량을 나타내는 가동 상황 데이터를 센서에 의해 취득하는 가동 상황 데이터 취득 공정과,

   상기 가동 상황 데이터 취득 공정에서 취득한 가동 상황 데이터가 나타내는 물리량과 기준으로 되는 물리량에 근거하여, 기기가 정상인지 이상인지를 컴퓨터가 판별하고, 이상이다고 판별한 경우에 출력 수단에 의해 소정의 경보를 발하는 경보 공정과,

   소정의 서비스 기간에 있어서 기기가 온으로 되어 있는 시간을 계측하는 계측 수단에 의해 상기 기기의 가동 시간을 취득하는 가동 시간 검출 공정과,

   상기 가동 시간 검출 공정에 의해 검출된 가동 시간과 소정의 가동 가능 시간에 기초하여, 소정의 서비스 기간에 있어서의 상기 기기의 정량화한 생산성을 나타내는 지표값을 컴퓨터에 의해 계산하는 정량화 공정과,

   상기 정량화 공정에서 정량화한 상기 기기의 생산성을, 미리 정해진 생산성 기준과 비교 수단으로 비교하여, 그 차를 컴퓨터에 의해 산출하는 비교 공정과,

   과금 기준값 기억 수단으로부터 과금 기준 데이터를 판독하고, 상기 과금 기준 데이터와 상기 비교 수단이 상기 비교 공정에서 산출한 차에 근거하여, 상기 서비스 기간 내의 상기 보수 관리 서비스에 대한 과금액을 컴퓨터에 의해 결정하는 과금액 결정 공정

   을 구비하는 것을 특징으로 하는 기기의 보수 관리 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   소정의 예비 기간에 기기가 온으로 되어 있는 시간을 계측 수단에 의해 계측함으로써, 예비 기간에 있어서의 상기 기기의 가동 시간을 검출하는 예비 기간 가동 시간 검출 공정과,

   상기 가동 시간 검출 공정에 의해 검출된 예비 기간 내의 가동 시간과 예비 기간 내의 가동 가능 시간에 기초하여, 소정의 예비 기간에 있어서의 상기 기기의 정량화한 생산성을 나타내는 지표값을 컴퓨터에 의해 계산함으로써, 상기 생산성 기준을 결정하는 생산성 기준 결정 공정

   을 구비하는 것을 특징으로 하는 보수 관리 방법.
3. 삭제
4. 삭제
5. 기기의 보수 관리 서비스의 대가의 금액을 결정하는 기능을 구비한 기기의 보수 관리 시스템으로서,

   보수 관리 서비스의 대상으로 되는 기기의 가동 상황을 나타내는 물리량을 나타내는 가동 상황 데이터를 취득하는 가동 상황 데이터 취득 수단과,

   상기 가동 상황 데이터 취득 수단이 취득한 가동 상황 데이터가 나타내는 물리량과 기준으로 되는 물리량에 근거하여, 기기가 정상인지 이상인지를 판별하고, 이상이다고 판별한 경우에 소정의 경보를 출력 수단으로부터 발하는 경보 수단과,

   소정의 서비스 기간에 있어서의 기기가 온으로 되어 있는 시간을 계측함으로써, 상기 기기의 가동 시간을 검출하는 가동 시간 검출 수단과,

   상기 가동 시간 검출 수단에 의해 검출된 가동 시간과 소정의 가동 가능 시간에 기초하여, 소정의 서비스 기간에 있어서의 상기 기기의 정량화한 생산성을 나타내는 지표값을 계산하는 정량화 수단과,

   상기 정량화 수단이 정량화한 상기 기기의 생산성을, 미리 정해진 생산성 기준과 비교하여, 그 차를 산출하는 비교 수단과,

   상기 비교 수단에 의해 산출된 생산성의 차에 대응하여 과금 기준값을 기억하는 과금 기준값 기억 수단과,

   상기 과금 기준값 기억 수단에 기억되어 있는 과금 기준값과 상기 비교 수단이 산출한 차에 근거하여, 상기 서비스 기간 내의 상기 보수 관리 서비스에 대한 과금액을 결정하는 과금액 결정 수단

   을 구비하는 것을 특징으로 하는 기기의 보수 관리 시스템.
6. 제 5 항에 있어서,

   소정의 예비 기간에 기기가 온으로 되어 있는 시간을 계측함으로써, 예비 기간에 있어서의 상기 기기의 가동 시간을 검출하는 예비 기간 가동 시간 검출 수단과,

   상기 가동 시간 검출 수단에 의해 검출된 예비 기간 내의 가동 시간과 예비 기간 내의 가동 가능 시간에 기초하여, 소정의 예비 기간에 있어서의 상기 기기의 정량화한 생산성을 나타내는 지표값을 계산함으로써, 상기 생산성 기준을 결정하는 생산성 기준 결정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기기의 보수 관리 시스템.
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