CN1571976A - 收费方法及收费系统 - Google Patents

Abstract

提供设备(15)的维护管理服务的企业将规定的服务期中的所述设备(15)的生产率量化(S42)。并将量化的生产率与预定的生产率基准值进行比较，算出它们的差(S43)。然后根据算出的差来确定与服务期内的维护管理服务相对应的收费金额(S45)。由此，可进行使设备(15)的用户与维护管理企业双方都满意的收费。

Description

收费方法及收费系统

技术领域

本发明涉及针对生产设备的维护管理服务而进行的收费方法及收费系统。

背景技术

近年来，随着技术长足的进步、制造商之间开发竞争的进一步激化，制造商生产产品的种类越来越多，但同时其寿命周期却正在缩短。在这样的状况下，就要求制造商制定一种可以根据社会或客户的需求来生产产品的生产体制，也就是可以应对多品种小批量生产的生产体制。

对于制定如上述的生产体制而言，维持生产设备较高的生产率是很有效的。例如，在接受了紧急的生产请求时，若能立即应对并进行生产，则可以避免丧失机会，并可以提高顾客满意度。可以使用可利用率(Availability)来作为这种设备的生产率的指标。

可利用率(Availability)用{(可运转时间(Operations Time))-(停机时间(Downtime))}/(可运转时间(Operations Time))×100来表示。可运转时间(Operations Time)例如与从放置设备的工厂的开工时间中除去停工时间(Non-Scheduled Time)所剩的时间一致。此外，停机时间(Downtime)由用于定期检修等的计划停机时间(ScheduledDowntime)和由于突发的故障而导致的计划外停机时间(UnscheduledDowntime)构成。由计算式可知，缩短停机时间(Downtime)对于达到较高可利用率(Availability)是有效的。

为了将设备的可利用率(Availability)维持在规定的程度上，维护管理是不可或缺的。设备的维护管理由提供设备的卖主或接受了卖主委托的企业(以下称企业等)作为服务业务来进行。这时，进行维护管理服务，使得设备满足制造商与企业等之间所协定的可利用率(Availability)。因此，在维护管理服务期，设备以规定的可利用率(Availability)运转，从而可以说其生产率是基本恒定的。

近年来，正在开发可以通过维护管理来提高生产率的系统。在这样的系统中，制造商(设备的用户)与卖主共同进行维护管理。具体地说，卖主通过通信网远程获得设备的运转信息，与制造商一样实时掌握设备的运转状况，从而与用户协作进行必要的维护管理作业。通过用户和卖主共同所有设备信息，并根据信息来协作进行维护管理作业，可使作业更有效。由此，可通过加快故障的修复来缩短设备的计划外停机时间(UnscheduledDowntime)等，可以提高设备的可利用率(Availability)。

此外，在上述系统中，卖主在获得运转信息的同时，还获得零件的使用时间等与设备的零件更换有关的信息。卖主根据已获得的信息算出零件的最佳更换周期，并将已算出的更换周期反馈给用户。这样，用户就可以高效地进行零件更换，从而可以在实质上削减设备的计划停机时间(Scheduled Downtime)等，进而可以提高可利用率(Availability)。

这样，在上述方法中，可以在维护管理期提高设备的可利用率(Availability)，也就是生产率，甚至还可以实现比维护合同等中的预定值更高的生产率(可利用率(Availability))。这时，可以说卖主不仅进行“维护”作业，还进行“改进”作业。

但是，由企业等进行的维护管理服务通常不是无偿的，而是向用户(制造商)收取费用。例如，企业等针对规定作业向用户收取一定金额的费用，或是收取与维护作业所需时间成正比的金额的费用。此外，在日本专利特开2002-117336号公报中公开了针对晶片处理片数等设备实际运转量进行收费的方法。

但是，这些以往的收费方法是以预先设定的可利用率(Availability)等为指标，并应用在用于实现恒定生产率的维护管理服务中的，所以这种方法不能将上述“改进”作业与其他“维护”作业分开来收费。因此，在直接应用以往的收费方法来确定收费金额的时候，由于以下原因无法使企业等与用户双方都满意。

首先，对于提供服务的企业等而言，由于上述的与用户的协作作业要求实时的待机状态，所以增加了费用负担。因此，在卖主收取维护管理的费用时，除了对以往的“维护”作业收取费用以外，当然还要对“改进”作业收取费用。

另一方面，对于用户而言，也会从设备生产率的提高中获得制造成本下降等好处。因此，根据企业等的要求，也能够接收对“改进”作业支付费用的作法。但是，对于用户而言，根据订购状态等，可运转时间(Operations Time)并不与生产时间相等，而单纯的收费金额的增大将带来制造成本的增加，从而是难以接受的。

因此，需要一种在维护管理操作中，可以针对为提高生产率而做出贡献的部分(改进操作部分)进行定量收费，从而能够使用户与维护管理企业等双方都满意的收费方法，而这种收费方法是目前没有的。

发明内容

鉴于上述情况，本发明的目的是提供一种能够使设备的用户和维护管理企业双方都满意的收费方法及收费系统。

为了达到上述目的，根据本发明的原理来公开以下发明。

作为本发明第一个方面的收费方法，是用于确定设备的维护管理服务的费用金额的收费方法，其特征在于，包括：

量化步骤，该步骤是将规定的服务期中的所述设备的生产率量化；

比较步骤，该步骤是将在所述量化步骤中量化的生产率与预定的生产率基准进行比较，算出它们的差；

收费金额确定步骤，该步骤根据在所述比较步骤中算出的差来确定针对所述服务期内的所述维护管理服务的收费金额。

上述结构的收费方法还可以包括生产率基准确定步骤，该步骤在规定的预备期使所述设备运转，并将所述预备期中的所述设备的生产率量化，从而确定所述生产率基准。

在上述结构的收费方法的所述量化步骤中，例如，至少根据可利用率(Availability)、可用时间(Uptime)及产量中的任一个来量化所述设备的生产率。

在上述结构的收费方法的所述收费金额确定步骤中，可以在算出的差上乘以预定的变换率来确定收费金额。

作为本发明第二个方面的收费系统，是用于确定设备的维护管理服务的费用金额的收费系统，其特征在于，包括：

量化装置，该装置将规定的服务期中的所述设备的生产率量化；

比较装置，该装置将量化的生产率与预定的生产率基准进行比较，算出它们的差；

收费金额确定装置，该装置根据算出的差来确定针对所述服务期内的所述维护管理服务的收费金额。

上述结构的收费系统还可以包括生产率基准确定装置，该装置在规定的预备期使所述设备运转，并将所述预备期中的所述设备的生产率量化，从而确定所述生产率基准。

在上述结构的收费系统中，所述量化装置，例如至少根据可利用率(Availability)、可用时间(Uptime)及产量中的任一个来量化所述设备的生产率。

在上述结构的收费系统中，所述收费金额确定装置也可以在算出的差上乘以预定的变换率来确定收费金额。

附图说明

图1是本发明实施例的收费系统的结构示意图；

图2是设备结构的例子的示意图；

图3是厂方计算机的结构示意图；

图4是企业方计算机的结构示意图；

图5是设备信息DB所存储的运转状况数据的一个例子的示意图；

图6是设备信息DB所存储的维护数据的一个例子的示意图；

图7是概况信息DB所存储的数据的一个例子的示意图；

图8是概况信息DB所存储的数据的一个例子的示意图；

图9是联络目标DB所存储的数据的一个例子的示意图；

图10是零件信息DB所存储的数据的一个例子的示意图；

图11是收费信息DB所存储的数据的一个例子的示意图；

图12是收费动作的流程的一个例子的示意图；

图13是维护·监视动作的流程的一个例子的示意图；

图14是更换周期计算动作的流程的一个例子的示意图；

图15是收费金额确定动作的流程的一个例子的示意图；

图16是账单的一个例子的示意图。

具体实施方式

下面，参照附图，对本实施例中针对生产设备的维护管理服务的收费系统及收费方法予以说明。

在本实施例中，生产设备是半导体制造装置，半导体设备制造商作为用户在工厂里使用该制造装置。设备的维护管理服务由提供了设备的卖主或接受了卖主委托的企业(以下称企业)进行，并且企业针对提供的服务向用户收费。

图1示出了本实施例中的收费系统11的结构。

如图1所示，本实施例的收费系统11由一个或多个用户的一个或多个工厂12和服务企业者的企业13通过通信线路14连接构成。

通信线路14例如由因特网构成。此外，通信线路14也可以例如由专线、公众线路网、ISDN网、有线电视网、无线通信网、卫星通信网等中的任一种，或是它们的组合构成。

工厂12中设置有一台或多台设备15和厂方计算机16。设备15与厂方计算机16通过LAN(Local Area Network)等厂内配线网17连接。厂方计算机16对在工厂12中所使用的设备15进行集中管理。

设备15是用于制造半导体装置、液晶显示装置等电子设备的装置，例如是预处理设备15(成膜装置、热处理装置等)或后处理设备15(安装装置、试验装置等)。一个工厂12内设置有一种或多种设备15。

图2示出了设备15的结构。在图2中，以将片状物的等离子体CVD装置用作设备15的情况为例来说明。

如图2所示，设备15具有成型为圆筒形状的腔室110。

在腔室110的侧壁上形成有排气口111。排气口111通过APC(自动调压装置)112连接有真空泵113。真空泵113由涡轮分子泵等构成，用于将腔室110内抽成规定的减压气氛。此外，在腔室110的侧壁上设有闸阀114，在开放了闸阀114的状态下，可以在腔室110与外部之间搬运晶片W。

在腔室110大致中间的位置设有基座115。基座115由铝等导体构成，从而构成平行平板电极的下部电极。在基座115的上表面放置晶片W。

基座115设置在轴116所支撑的平台117上。轴116穿过在腔室110的底面上所开设的开口而设置。轴116连接在没有图标的升降机构上，从而使基座115与平台117一同升降。轴116的内部构成中空，从而向内部穿入配线等。

平台117的下部被由不锈钢等构成的波纹管118所包裹。波纹管118的上端和下端分别被螺纹固定在平台117的下部及腔室110的底面上。波纹管118随着平台117的升降而伸缩，从而保持腔室110内的气密状态。基座115上连接有第一高频电源119。第一高频电源119具有0.1～13MHz范围的频率。

在基座115的上方设有喷头120。喷头120被设置成与基座115平行相对，并且，在与基座115相对的面上具有电极板121。

电极板121由导体的圆板状部件构成，且其整个表面具有许多气孔121a。在电极板121上连接有第二高频电源122。第二高频电源122具有13～150MHz范围的频率。电极板121与基座115一同构成平行平板电极的一对相对的电极。

喷头120具有与电极板121的气孔121a和连通的中空部分120a。而且，喷头120连接在气体供给管123上。气体供给管123经由质量流量控制器(MFC)124连接在气体源125上。从气体源125供给的气体被MFC124控制成规定的流量供给到喷头120的中空部分120a，并从气孔121a向腔室110的内部喷出。

从气体源125供给等离子体CVD处理所需的处理气体及载体气体。在进行成膜操作时，向基座115及电极板121施加规定的高频电压，从而在它们两个之间的空间内产生气体的等离子体。通过等离子体中的活性粒子，在晶片W的表面上形成规定的CVD膜。

而且，设备15具有计时器126。计时器126对设备15开启着的时间进行计时。所计时间作为后述的可用时间(Uptime)被存储在设备状况DB中。

设备15具有由微机、存储器等构成的中央处理部分127。中央处理部分127发送用于控制设备15所有动作的操作信号。

在上述设备15的动作中，中央处理部分127与APC 112连接，从而检测腔室110的内部压力，同时将压力维持在规定范围内。此外，中央处理部分127与MFC 124连接，从而将向腔室110供给的气体的流量调节在规定量上。这样，中央处理部分127通过APC 112、MFC 124等对反应进行控制，同时获得腔室110内部的信息。

此外，设备15还具有用于检测晶片W温度的温度传感器、对晶片W的处理片数进行计数的晶片计数器、对腔室110内的粒子量进行计数的粒子计数器等，由此，中央处理部分127也可以获得其他数据。

中央处理部分127将关于这些设备15运转状况的运转状况数据存储在存储部分128中，同时通过通信部分129将这些数据发送给厂方计算机126。此外，虽然在图中，将存储部分128设在了设备15中，但是也可以将存储部分128从设备15中分离出来，例如设在图1的计算机16内。

此外，设备15具有连接在中央处理部分127上的输入输出控制部分130。输入输出控制部分130连接在具有显示画面、键盘等的输入输出装置131上。输入输出装置131起到人机接口的作用。工厂12内的工人从输入输出装置131输入设定条件等规定的控制信息，然后，将表示设备15的状态的信息作为输出来读取。

此外，工人从输入输出装置输入与对设备15已进行的维护作业有关的数据。例如，工人在由于故障或定期地更换零件时输入当时的日期、零件的种类、使用时间等与设备15的维护有关的信息。所输入的信息作为维护数据存储在存储部分128中。

维护数据中还包括与维护无关的其他日志数据。日志数据是将设备15的所有的动作历史与时间戳一同数据化了的数据，从而显示工厂12的工人对设备15进行了什么样的操作、设备15的某个传感器何时怎样动作、设备15的软件是何时进入了什么样的例程、向存储部分128何时存入了什么样的数据等。

中央处理部分127也将从输入输出装置13 1输入的上述维护数据存入存储部分128中，同时将其发送给厂方计算机16。

图3示出了厂方计算机16的结构。如图3所示，厂方计算机16具有中央处理部分18、通信部分19、存储部分20以及输入输出控制部分21。

中央处理部分18由微机、存储器等构成，用于控制厂方计算机16的动作。

通信部分19起到厂内配线网17及通信线路14在厂方计算机16上的接口的功能。中央处理部分18通过通信部分19与工厂12内的设备15等进行信息的收发。

中央处理部分18将从设备15获得的运转状况数据及维护数据通过通信部分19发送给后述的企业方计算机。运转状况数据几乎被实时地发送给企业方计算机，维护数据在其产生的同时或者每隔规定的间隔被发送出去。

存储部分20存储运转状况数据及维护数据。中央处理部分18将从设备15经由厂内配线网17接收的上述数据存储在存储部分20中。

此外，存储部分20也可以存储与设备15的存储部分128相同内容的上述数据，或者也可以存储比设备15的存储部分128更长时间的数据。此外，上述数据可以存储在设备15的存储部分128及厂方计算机16的存储部分20中的任一侧。

输入输出控制部分21连接在具有显示画面、键盘等的输入输出装置22上。输入输出装置22起到人机接口的作用。工厂12内的工人从输入输出装置22对厂方计算机16及设备15进行控制，并获得与设备15等有关的信息。

在发生故障时，例如，用户方的工人通过厂方计算机16的输入输出装置22从企业那里获得与应对故障有关的信息，然后进行必要的处置。

此处，厂方计算机16除了在发生故障时等计划外停机时间(Unscheduled Downtime)及定期检修时等计划停机时间(ScheduledDowntime)以外，总是使设备15开启，使其无论何时都处于可生产的状态。

厂方计算机16在设备15不进行生产动作而处于待机状态时，使设备15每隔规定的时间进行测试动作。此时，设备15根据规定的检测程序对虚设的晶片进行通常的成膜动作。厂方计算机16若在测试动作中检测出异常，则根据需要关闭设备15，进行修复处理。此外，在进行测试动作时，后述的企业方计算机监视设备15的运转状况，若检测出异常则将其内容通知给用户方。

如上所述，计时器126对设备15开启的时间进行计时。即，计时器126对设备15实际上正常可运转，以及处于可正常运转的状态的时间进行计时。在本说明书中，将设备15实际正常运转，以及处于可正常运转的状态的时间表示为“可用时间(Uptime)”。

返回到图1，服务企业家的企13配备有企业方计算机23。图4中示出了企业方计算机23的结构。如图4所示，企业方计算机23具有中央处理部分24、通信部分25、输入输出控制部分26及存储部分27。

中央处理部分由微机、存储器等构成，用来控制企业方计算机23的操作。

通信部分25起到企业方计算机23一侧的外部接口的作用。中央处理部分24通过通信部分25与一个或多个厂方计算机16进行信息的收发。

输入输出控制部分26连接在具有屏幕、键盘等的输入输出装置28上。输入输出装置28起到人机接口的作用。企业方的操作员从输入输出装置28进行规定的输入处理，从而控制企业方计算机23。此外，企业方的工人从输入输出装置28通过电子邮件向用户方发送对策信息，并确认设备15的运转状况。

存储部分27包括各种数据库(DB)而构成。存储部分27具有设备信息DB 29、概况信息DB 30、联络目标DB 31、零件信息DB 32及收费信息DB 33。

在设备信息DB 29中，按每台设备15存储有作为维护管理服务对象的设备15的运转状况数据和维护数据。设备信息DB 29，例如，被按各个用户、工厂12被分类。

图5示出了设备信息DB 29中所存储的运转状况数据的一个例子。在图5所示的例子中，设备信息DB 29，以图5中的^*1所示的格式存储了设备15的运转状况数据。

此外，在运转状况数据中包含有从设备15的计时器126获得的设备15的可用时间(Uptime)。如上所述，可用时间(Uptime)表示设备15处于开启的时间。由于计时器126例如在每隔单位收费期(将在后面说明)被复位，所以，计时器126所示的值是单位收费期内的可用时间(Uptime)。

可用时间(Uptime)并不仅限于设备15实际进行生产的时间(Productive Time)，也包括虽然不进行生产但处于待机状态的时间(Standby Time)。在工厂12的开工时间中，设备15通常被开启着，从而即使在不进行生产的情况下，也处于待机状态，以便可以立即应对来自顾客的紧急订货。这样，可用时间(Uptime)包括生产时间(ProductiveTime)和待机时间(Standby)，由设备15处于开启的时间构成。

图6示出了设备信息DB 29所存储的维护数据的一个例子。在图6所示的例子中，设备信息DB 29按种类存储与零件更换有关的维护数据。维护数据由每个零件的更换日期(时间)、总计使用时间等构成。

概况信息DB 30存储有各步骤的参数(温度、压力等)的标准概况，这些参数构成设备15的操作方案。

图7示出了概况信息DB 30中所存储的、步骤A、B、…中各参数的标准概况的一个例子。在图7所示的例子中，以^*2和^*3所示的格式存储着作为步骤A中的变化参数的压力、气体流量等。

此外，如图8所示，概况信息DB 30存储有各设备15的规定处理中的步骤表(处方)。处方是预先从用户通过通信线路14自动或人工地通知到企业中的。并且，例如以^*4所示的格式存储处方(recipe)。

概况信息DB 30所存储的处方及基准概况用于后述的厂方计算机16对设备15的运转状态的监视中。

更详细地说，中央处理部分24根据图8所示的处方，按各个参数读取图7所示的标准概况。企业方计算机23(中央处理部分24)将从设备15接收的实际运转状况数据中的各参数的变化概况与所读取的标准概况进行比较，判断设备15的状态。

例如，若各参数的实际变化概况与标准概况没有在5％的误差范围内，则企业方计算机23判断设备15处于异常状态。

联络目标信息DB 31存储有用户方工人及企业方工人的联络目标(邮件地址等)。图9示出了这样一个例子。在图9所示的联络目标信息DB31中，按每个设备15链接有负责该设备15的维护管理操作的人员(用户方及企业方)的邮件地址。

零件信息DB 32存储有构成设备15的各个零件的最佳更换周期。图10示出了零件信息DB 32的一个例子。如图10所示，零件信息DB 32中按设备15的种类存储有构成零件的最佳更换周期。

最佳更换周期是企业推荐的可稳定使用零件的期间。最佳更换周期是基于在实际使用中所产生的零件更换数据进行最优化了的值。例如，最佳更换周期是作为维护数据所收集的零件使用周期的平均值或是在该值上加上规定裕量的值。当然，最优化方法并不仅限于此。

最优化是数据量越多，就越能够得到可靠性高的数据。因此，从一个或多个用户收集数据，并基于这些数据算出的最佳更换周期，例如就比用户单独算出的可靠性更高。

收费信息DB 33存储有针对维护管理服务的收费金额的确定处理中所使用的各种数据。图1示出了收费信息DB 33所存储的数据的例子。在图11所示的例子中，按用户存储有与所使用设备15的种类、序号、使用开始日期、预备期、单位收费期、可运转时间(Operations Time)、生产率基准值及收费率有关的数据。

这些信息是通过用户与企业之间的协定等而决定的既定值，在确定收费金额之前已被输入到企业方计算机23中。

使用开始日期表示开始设备15实际运用的日期，或者是开始维护管理服务的日期。根据使用开始日期来判断后述的预备期及单位收费期的日期的到来。

预备期是用来确定后述的生产率基准值的期间，是开始维护管理服务之前的预备期间。预备期例如是设备15的使用开始日期之后的，或者是正式开始维护管理服务之前的规定期间，例如是3个月。

在预备期中，设备15的维护管理基本上由用户自己来进行，在发生故障时，企业才响应用户的联络进行作业。企业通过通信线路14获得设备15的运转信息，并存储各种数据，但是，在得到来自用户的通知之后才采取措施。这样，预备期的维护管理主要由用户进行，使得企业的贡献达到最低限。

单位收费期表示企业收取费用的期间，即针对维护服务产生费用的期间，例如，将其设定为1年。单位收费期从预备期结束后、或者从前一个单位收费期结束后开始，到该单位收费期结束后产生收费。

可运转时间(Operations Time)是在用户的工厂12中，在当前单位收费期内设备15应该可运转的时间。可运转时间(Operations Time)例如是由配置设备15的用户的工厂12的开工预定所预先确定的值，在图中所示的例子中为8400小时(350天)。

收费金额是通过量化单位收费期内的生产率而获得的可利用率(Availability)来确定的。可利用率(Availability)是在单位收费期内可用时间(Uptime)相对于可运转时间(Operations Time)的比例，可通过(可用时间(Uptime))/(可运转时间(Operations Time))×100(％)来算出。可用时间(Uptime)存储在设备信息DB 29中。

此处，在本说明书中，可利用率(Availability)与所说的利用率(utilization)不同。利用率表示生产时间(Productive Time)在可运转时间(Operations Time)中的比例。另一方面，用于算出可利用率(Availability)的上式中的可用时间(Uptime)还包括对生产没有贡献的待机时间(Standby Time)等。因此，可利用率(Availability)表示可运转时间(Operations Time)中设备“能够运转的时间”的比例。

生产率基准值被用作计算收费金额的计算基准。生产率基准值是通过将上述的预备期中的设备15的生产率量化来确定的。生产率基准值使用与收费对象期中相同的量化方法来确定，并确定为可利用率(Availability)。可利用率(Availability)从预备期中的可运转时间Operations Time)和可用时间(Uptime)，并利用与上述的单位收费期中的相同的方法来算出。

收费金额是将在单位收费期中量化的生产率(可利用率(Availability))与生产率基准值进行比较而确定的。如上所述，在预备期中，维护管理主要由用户进行，从而使得企业的贡献达到最低限。另一方面，在收费对象期，则由用户与企业协作进行。

通过将预备期内的生产率(基准值)与收费对象期内的生产率(实测)进行比较，可对收费对象期的维护管理中的与企业的贡献量相对应的生产率的变化进行量化。在本例中，企业只在提高了生产率的时候收费，并只收与提高量成比例的金额。

收费率是用于将收费对象期的实测生产率与生产率基准的差值(提高量)换算为收费金额的比率。例如，当收费对象期的可利用率(Availability)是56％，而基准值是51％的时候，表示量化了的生产率提高量的所述差值是5％。例如，当收费率是30,000日元/％时，针对该设备15的收费金额通过它们的乘积被确定为150,000日元。

收费率由企业与用户来协定。收费率根据设备种类、使用年数、签约年数来确定。此外，在图示例子中，收费率是对应每种设备的种类设定的。

下面，参照附图说明上述收费系统11的动作。图12～图15示出了企业方计算机23(特别是中央处理部分24)的动作流程。这里，图12～图15所示的流程仅是一个例子，只要能获得同样的效果，可以是任一种流程。

首先，用户的工厂12接收设备15，并进行启动作业。在设备15显示出规定功能时，进行验收(步骤S11)。验收后，开始设备15的实际运用。该日期被作为使用开始日期存储在收费信息DB 33中。

另一方面，用户与提供设备15的维护管理服务的企业订立合同，并在设备15的运用开始的同时，开始维护管理服务。此时，用户与企业规定了收费金额确定方法。即规定了基准值的设定方法及用于设定的预备期、单位收费对象期、收费率等被确定。这些信息被输入到企业方计算机23中，并存储在收费信息DB 33中。

企业从设备15的运用开始，进行规定期间的维护管理作业，例如规定为3个月的预备期(步骤S12)。在所述预备期期间，维护管理基本上由用户自己进行，在发生故障时，企业才响应来自用户的联络来进行作业。企业通过通信线路14获得设备15的运转信息，并存储各种数据，但是，在得到来自用户的通知之后才采取措施。这样，在预备期中，以将设备15的生产率维持在规定程度为目标来进行维护管理。

预备期结束后(步骤S13；是)，企业算出所述预备期内的可利用率(Availability)(步骤S14)。如上所述，可利用率(Availability)是将预备期内设备的可用时间(Uptime)利用可运转时间(Operations Time)除得的比例(％)。已算出的基准值作为生产率基准值被存储在收费信息DB 33中。

预备期结束后，企业开始对设备15进行实时监视等，开始如下述的“通常的”维护管理作业(步骤S15)。图13示出了监视动作流程的一个例子。

企业方计算机23实时接收设备15的运转状况数据(步骤S21)。企业方计算机23将接收到的运转状况数据存储在设备信息DB 29中(步骤S22)。

企业方计算机23在从设备信息DB 29接收到的运转状况数据中读取规定的参数，例如基于温度的运转状况数据(变化概况)(步骤S23)。

企业方计算机23参照概况信息DB 30中所存储的与温度有关的标准概况，与运转状况数据的概况进行比较(步骤S24)。企业方计算机23判断实测概况与标准概况的差是否在规定的误差范围内(例如，5％)(步骤S25)。

上述处理并不仅限于温度参数，也同时进行关于从设备15获得的压力等其他参数的处理。

当判定为实测概况与标准概况的差在规定的误差范围内时(步骤S25；是)，企业方计算机23接收运转状况数据，并继续对设备15进行监视。

另外，当判断为两者的差不在上述范围内时(步骤S25；否)，企业方计算机23判断设备15有故障发生。此时，企业方计算机23通过厂方计算机16的输入输出装置向用户方通知发生了故障及所述故障状况(步骤S26)。同时，企业方计算机23从联络目标信息DB 31中读入制造商方(用户)的维修负责人的邮件地址等联络目标信息，向联络目标发送邮件，通知发生了故障。

企业方计算机23在运转状况中检测出异常时，参照联络目标信息DB31，向用户(工厂21)方及企业方通知发生了故障及其内容。用户方的工人根据通知来确认设备15的状况，并进行必要的处理。此外，企业方的负责业务人员根据通知，如果有必要则携带更换零件前往使用发生故障的设备15的工厂12，进行修复作业。

此外，企业方计算机23通过企业方计算机23的输入输出装置将发生了故障及其状况也通知给企业方的操作员等。同时，企业方计算机23从联络目标信息DB 31读入企业方维修负责人的邮件地址等联络目标信息，向联络目标发送邮件，通知发生了故障。

用户方及企业方的工人基于来自企业方计算机23的通知来进行应对处理。这里，向用户方及企业方维修负责人发出通知的手段并不仅限于邮件，也可以是移动电话、传呼机、掌上电脑等。

企业方计算机23在通知发生了故障的同时，还向相关人员发送采取对策所需的信息(步骤S27)。用户方及企业方的工人根据接收的对策信息进行修复处理。

此时，计时器126在为了进行修复处理而使设备15成关闭状态的时刻停止计时。

企业方计算机23，例如在判断出与腔室110内的压力有关的数据的概况为异常时，将所述内容通知给用户方工人，并指示进行温度修正。

如果工人进行了作业也没有改善异常，则企业方计算机23根据工人的报告确定原因，并通知给工人。例如，当压力无论如何也达不到规定值时，指示对APC 112及真空泵113进行检修、更换。

此外，当故障是软件的问题时，用户方计算机23，例如将规定软件发送给厂方计算机16，然后由厂方计算机16自动进行修复处理。

修复处理结束后，一旦开启设备15，计时器126就开始计时。这样，计时器126对已除去设备15突发的(计划外)停机时间(UnscheduledDowntime)的可用时间(Uptime)进行计时。

如上所述，通过由用户与企业协作进行维护管理，可消除重复作业，并缩短用户方工人的等待时间，从而可以在实质上缩短发生故障时设备15的(计划外)停机时间(Unscheduled Downtime)。因此，可以提高设备15的可利用率(Availability)(生产率)。

如上所述，在接收运转状况数据，并对设备15进行监视的同时，企业方计算机23接收维护数据，并如下述地算出零件的最佳更换周期，存储在零件信息DB 32中。

以下，参照图14所示的流程，对企业方计算机23处理维护数据的动作进行说明。

包含在维护数据中的与设备15的零件更换有关的数据是在设备15的定期检修时进行更换，或者由于零件的原因发生故障从而进行修理更换时产生的。也就是说，通过由进行零件更换的工人从设备15的输入输出装置输入已更换零件的种类、日期、使用期间等维护数据来产生数据。已产生的数据由厂方计算机16即时或定期发送出去，并由企业方计算机23接收所述数据(步骤S31)。

此处，设备15为了在突发故障时进行零件更换以及进行定期更换而停止时，计时器126停止计时。因此，计时器126对除去了计划停机时间(Scheduled Downtime)和计划外停机时间(Unscheduled Downtime)的设备15的可用时间(Uptime)进行计时。

企业方计算机23的中央处理部分127将接收的维护数据存储在设备信息DB 29中(步骤S32)。接着，企业方计算机23参照从设备信息DB29的维护数据中的已更换零件的种类，算出该零件的最佳更换周期(步骤S33)。

最佳更换周期，例如是收集的零件使用期间的平均值，或者是在该平均值上加上规定裕量或权重的值。也就是说，对于所更换的零件算出平均使用时间，并添加规定裕量来推导出最佳更换周期。所述处理在每一次产生新的维护数据(零件更换数据)产生时进行，并将所推导出的最佳更换周期更新存储到零件信息DB 32中。

这样，关于多台设备15，在每一次进行零件更换，从而获得新的维护数据时，零件信息DB 32所存储的零件的更换周期都被最优化。

企业方计算机23从一台或多台用户所拥有的设备15收集维护数据。因此，零件的更换周期是基于丰富的数据而算出的，因此可靠性高。

如上获得的各种零件的最佳更换周期定期，例如每隔1～2周发送给所有用户(步骤S35)。用户参照接收的更换周期信息，可以制定新的计划，从而能够使设备15及工厂12等更有效地运转。其结果是，可以实现定期检修周期的最优化，从而可实现设备15的可运转时间(OperationsTime)的增加或计划停机时间(Scheduled Downtime)的减小等设备15的生产率的提高。

返回到图12，企业方计算机23如上述进行监视动作等。作为这样的维护管理服务的费用，企业方计算机23在每个单位收费对象期，确定与该期间内的生产率的提高相对应的收费金额，并向用户收取。

企业方计算机23根据收费信息DB 33所存储的设备15的使用开始日期、单位收费期及/或预备期来判断收费发生日期是否已到来(步骤S1 6)。当预备期是3个月，单位收费期是1年时，收费发生月期是从使用开始日期的1年3个月后。此外，也可以将在使用开始日期上加上预备期而得到的日期作为服务开始日期预先存储在收费信息DB 33中，从而从服务开始日期在每一个单位期间判断收费的产生。

此外，在图12所示的流程中，虽然分别进行监视处理与收费金额确定处理，而实际上监视处理与收费金额处理是并列进行的。

当收费发生日期到来时，企业方计算机23确定刚经过的前一个单位收费期的收费金额(步骤S17)。图15示出了收费金额确定动作的流程的一个例子。

首先，企业方计算机23从设备信息DB 29读入收费期中的设备15的可用时间(Uptime)，同时从概况信息DB 30读入设备15的可运转时间(Operations Time)(步骤S41)。设备信息DB 29的可用时间(Uptime)与概况信息DB 30的可运转时间(Operations Time)在确定了收费金额后分别被复位。

企业方计算机23根据读取的可用时间(Uptime)与可运转时间(Operations Time)算出可利用率(Availability)(步骤S42)。具体地说，企业方计算机23使用可运转时间(Operations Time)除可用时间(Uptime)。然后向所得的值乘以100来导出可利用率(Availability)(％)。

接着，企业方计算机23参照收费信息DB 33的生产率基准值(可利用率(Availability))，与算出的可利用率(Availability)进行比较(步骤S43)。也就是说，获得算出值与基准值的差值。所得差值是将收费对象期中设备15的生产率提高量化了的数值，所以，针对所述差值进行收费。

接下来，企业方计算机23参照收费信息DB 33的收费率，向量化的生产率提高量乘以收费率来进行换算(步骤S44)。由此确定了对于在对象期间内对设备15的维护服务的、与生产率的提高相对应的收费金额(步骤S45)。

此外，在生产率不见提高时，不产生收费。即，例如在差值为负值时就不产生收费。

企业方计算机23根据设备信息DB 29的使用开始日期，关于从开始使用已经过规定的收费对象期的设备15，进行与上述相同的处理。

企业方计算机23将如上述获得的结果作为收取金额通知给用户(图12，步骤S18)。所述通知是在每一次产生结果时，或者在每个期末通知给用户。通知方法为，通过邮件、传真等手段例如以图16所示的表格通知给用户。

收到如图所示的账单的用户可以清楚地知道：通过维护管理服务，设备15的生产率提高了，并且针对其提高量进行了收费。由于与生产率的提高对应地产生收费，所以，可以避免由于对服务支付费用而导致的成本无用的增加，由此，用户能够接受所请求的报酬。

如以上说明，在本实施例中，从维护管理服务中有选择地对设备15的生产率提高的部分进行收费。此外，收费金额是与生产率提高度相对应的金额。这样，与一般的针对维护管理服务进行的收费方法不同，由于可以针对生产率的提高量来进行收费，因此，对于用户与企业双方而言，是满意度较高的收费方法。

即，对于用户而言，由于根据生产率的提高量来支付维护管理服务的费用，因此，抑制了由于维护费用的增加而导致的生产成本的上升。

对于企业而言，也能够以用户可以接受的方式，且在不降低顾客满意度的情况下征收用于进行如上述优质的维护管理服务的费用。

本发明并不仅限于上述实施例，可以进行各种变形、应用。下面说明可适用于本发明的上述实施例的变形方式。

在上述实施例中，使收费信息DB 33所存储的生产率基准值、单位收费期、生产率基准值、收费率等为恒定的。但是，这些数据当然可以根据用户与企业的协定等而随时改变。例如，也可以随着设备15的使用年数的增长，使生产率基准值、收费率等递减。

在上述实施例中，生产率基准值是，设置预备期并量化该期间的生产率而确定的值。但是，基准值的设定方法不限于此。例如，也可以采用由用户与企业预先规定的值。

在上述实施例中，生产率是根据可利用率(Availability)而量化的值。但是量化方法可以采用可利用率(Availability)、可用时间(Uptime)、单位期间内的处理量等，或是它们的组合。

在上述实施例中，计时器126被设置在设备15中。但是，计时器126也可以设置在厂方计算机16上，或者由厂方计算机16中所安装的软件来构成。

在上述实施例中，可用时间(Uptime)是对设备15处于开启状态的时间进行计时而得到的。但是，可用时间(Uptime)的设定方法，不限于此，例如也可以除去设备15的处理动作实际已结束的时间来进行计时。此外，也可以不是对设备15处于开启状态的时间，而是对处于关闭状态的时间进行计时，然后将其从可运转时间(Operations Time)中减去，从而算出可用时间(Uptime)。

此外，在上述例子中，即使在不进行生产运转的时间，设备15也通常处于开启状态，并每隔规定的时间进行测试动作。但是，并不局限于此，也可以使设备15在不进行生产运转时基本上关闭，并在每一规定时间开启，以进行测试动作。此时，即使在从之前的生产运转变为关闭状态，计时器126也作为开启状态继续进行计时，并且，例如在测试动作中检测出异常的时刻停止计时。

在上述实施例中，与零件更换有关的维护数据是从设置于设备15中的输入输出装置进行输入的。但是，并不局限于此，也可以从厂方计算机16输入维护数据，并将所述数据发送给企业方计算机23。此外，从设备15所发送的运转状况数据及维护数据经由厂内配线网17被发送给企业方计算机23。但是，也可以将设备15直接连接在因特网等通信线路14上，并向企业方计算机23直接发送上述数据。

在上述实施例中，企业方计算机23将零件的最佳更换周期从已收集的维护数据中导出数据库(DB)化，而且定期地发送给用户方。发送所述数据也可以通过使企业方计算机23及厂方计算机16具有各自的浏览器，使得所述数据库(DB)化的零件的最佳更换周期可在互联网上公开、检索。

此外，在上述例子中，由厂方计算机16将各种数据发送给企业方计算机23。但是，也可以从企业方计算机23连接厂方计算机16，从而获得运转状况数据和维护数据。

在上述实施例中，用户是半导体装置制造商，用户所使用的设备15是半导体装置、液晶显示装置等的制造装置。但是，并不局限于此，本发明也可以适用于CCD、太阳能电池等其它电子设备的制造设备，甚至其他一般的工业产品的制造设备。

此外，本发明以2002年9月11日申请的日本专利申请2002-265664号为基础，包括其说明书、权利要求书、附图以及摘要。在上述申请中所公开的所有内容均作为参照包括在本说明书中。

工业实用性

本发明可应用于使用对于生产设备的维护管理服务而进行的收费方法及收费系统的工业领域。

根据本发明，可提供一种能够使用户与销售商等双方都满意的收费方法及收费系统。

Claims (8)

1.一种收费方法，用于确定设备(15)的维护管理服务的费用的金额，其特征在于，包括：

量化步骤(S42)，该步骤将规定的服务期中的所述设备(15)的生产率量化；

比较步骤(S43)，该步骤将在所述量化步骤(S42)中量化的生产率与预定的生产率基准进行比较，算出它们的差；

收费金额确定步骤(S45)，该步骤根据在所述比较步骤(S43)中算出的差来确定针对所述服务期内的所述维护管理服务的收费金额。

2.如权利要求1所述的收费方法，其特征在于，包括

生产率基准确定步骤(S14)，该步骤在规定的预备期使所述设备(15)运转，并将所述预备期中的所述设备(15)的生产率量化，从而确定所述生产率基准。

3.如权利要求1所述的收费方法，其特征在于，

在所述量化步骤(S42)中，至少基于可利用率、可用时间以及产量中的任一个来量化所述设备(15)的生产率。

4.如权利要求1所述的收费方法，其特征在于，

在所述收费金额确定步骤(S45)中，在算出的差上乘以预定的变换率来确定收费金额。

5.一种收费系统，用于确定设备(15)的维护管理服务的费用的金额，其特征在于，包括：

量化装置，该装置将规定的服务期中的所述设备(15)的生产率量化；

比较装置，该装置将量化的生产率与预定的生产率基准进行比较，算出它们的差；

收费金额确定装置，该装置根据算出的差来确定针对所述服务期内的所述维护管理服务的收费金额。

6.如权利要求5所述的收费系统，其特征在于，包括

生产率基准确定装置(S14)，所述装置在规定的预备期使所述设备(15)运转，并将所述预备期中的所述设备(15)的生产率量化，从而确定所述生产率基准。

7.如权利要求5所述的收费系统，其特征在于，

所述量化装置至少根据可利用率、可用时间及产量中的任一个来量化所述设备(15)的生产率。

8.如权利要求5所述的收费系统，其特征在于，

所述收费金额确定装置在算出的差上乘以预定的变换率来确定收费金额。

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