CN1666203A - 用于自动的传感器安装的方法和设备 - Google Patents

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CN1666203A CN038155540A CN03815554A CN1666203A CN 1666203 A CN1666203 A CN 1666203A CN 038155540 A CN038155540 A CN 038155540A CN 03815554 A CN03815554 A CN 03815554A CN 1666203 A CN1666203 A CN 1666203A
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莫瑞特·芬克
史蒂文·哈特曼
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Abstract

本发明提供一种图形用户接口(GUI)，用于配置和设置在半导体处理系统中用于监视工具和处理性能的传感器。所述半导体处理系统包括许多处理工具、许多处理模块(室)和许多传感器。图形显示被这样组织，以使得所有的重要参数被清楚地和合乎逻辑地显示，从而用户能够利用尽可能少的输入进行所需的配置和设置任务。所述GUI是基于环球网的，且用户可以使用环球网浏览器察看。

Description

用于自动的传感器安装的方法和设备
相关申请的交叉参考
本申请基于2002年7月3日申请的名称为“Method ForAutomatic Sensor Installation”美国临时申请号为60/393104的专利申请，并要求所述专利申请的优先权，其全部内容被包括在此作为参考。
本申请和以下的共同未决的专利申请相关：2002年3月29日申请的名称为“Method For Interaction With Status and ControlApparatus”美国临时申请号为60/368162的专利申请；2002年4月23日申请的名称为“Method and Apparatus for Simplified SystemConfiguration”美国临时申请号为60/374486的专利申请；2002年5月29日申请的名称为“Method and Apparatus For Monitiring ToolPerformance”美国临时申请号为60/383619的专利申请；以及2002年7月3日申请的名称为“Method For Dynamic Sensor Configurationand Runtime Execution”美国临时申请号为60/393091的专利申请。这些专利申请的全部内容被包括在此作为参考。
技术领域
本发明涉及半导体处理系统，尤其涉及使用图形用户接口(GUI)配置和使用传感器的半导体处理系统。
背景技术
计算机一般用于控制、监视和初始化制造过程。如果由于再入的晶片流程、关键的处理步骤和过程的可维护性而使半导体制造厂具有复杂性，计算机对于这样的操作是理想的。使用各种输入/输出(I/O)装置来控制和监视处理流、晶片状态以及维护调度。在半导体制造厂中具有多种工具用于完成这些复杂的步骤，从关键的操作例如蚀刻到批处理和检验。大部分工具安装使用显示屏来完成，所述显示屏是含有安装软件的控制计算机的图形用户接口(GUI)的一部分。半导体处理工具的安装是一种费时的过程。
半导体处理设备需要不断地被监视。处理条件随时间而改变，在关键的处理参数中的最轻微的改变便能产生有害的结果。蚀刻气体的成分或压力、处理室或晶片温度容易发生小的改变。在许多情况下，借助于简单地参考所显示的处理数据，不能检测反映处理特性的劣化的处理数据的改变。难于检测处理的早期阶段的异常性和特性劣化。通常需要由先进的处理控制(APC)提供的预测和图形识别。
通常由具有多种控制器的若干个不同的控制系统进行设备控制。一些控制系统可以具有人机接口例如触摸屏，而另一些可能只采集和显示一个变量例如温度。监视系统可以采集用于处理控制系统的列表的数据。监视系统的数据采集可以包括单变量数据和多变量数据、数据的分析和显示，并能够选择被采集的处理变量。在处理中的多种条件由被提供在每个处理室中的不同的传感器监视，并且被监视的条件的数据被传递和存储在一个控制计算机中。如果处理数据自动地被显示和检测，则大量生产线的最佳的处理条件可以被设置，并通过统计处理控制(SPC)图表进行控制。设备的无效的监视可以导致设备的停机，这增加了总的生产成本。
发明内容
按照一个方面，本发明提供一种使用图形用户接口(GUI)配置半导体处理系统中的传感器的方法，所述方法包括：访问系统配置GUI屏幕，选择一个配置部分，选择传感器类型任选项，以及使用传感器类型列表屏幕、传感器信息屏幕和传感器参数屏幕中的至少一个来产生每个传感器的传感器类型。
本发明的另一个方面提供一种使用图形用户接口(GUI)配置半导体处理系统中的传感器的方法，所述方法包括：使用传感器类型列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕和传感器参数GUI屏幕中的至少一个来配置传感器类型；以及使用传感器列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕和传感器设置项目信息GUI屏幕中的至少一个来配置传感器实例。
本发明的另一个方面提供一种用于在半导体处理系统中设置传感器的控制系统和图形用户接口(GUI)，包括：用于执行数据采集计划的装置；用于使用所述数据采集计划确定传感器设置计划的装置；以及用于执行以传感器设置计划以设置所述传感器的装置。
本发明的另一个方面提供一种用于配置半导体处理系统中的传感器的控制系统和图形用户接口(GUI)，包括：用于利用传感器类型列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕和传感器参数GUI屏幕中的至少一个配置传感器的装置；以及用于利用传感器列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕、和传感器设置项目信息GUI屏幕中的至少一个配置传感器实例的装置。
附图说明
作为本说明的一部分并被包括在本说明中的附图说明本发明的实施例，其和上面给出的一般性说明以及在下面给出的实施例的详细说明一道，用于说明本发明的原理。参看下面的详细说明将获得对本发明的实施例的更加完整的理解，尤其是当结合附图时。附图中：
图1表示按照本发明的一个实施例的先进的处理控制(APC)的半导体制造系统的示例方块图；
图2表示按照本发明的一个实施例的用于监视半导体处理系统中的处理工具的示例的流程图；
图3表示按照本发明的一个实施例的策略和计划的示例的关系图；
图4表示按照本发明的一个实施例的策略和计划的示例的流程图；
图5表示按照本发明的一个实施例的选择屏幕的示例图；
图6是按照本发明的一个实施例的计划信息屏幕的示例图；
图7是按照本发明的一个实施例的传感器设置屏幕的示例图；
图8是按照本发明的一个实施例的传感器设置项目的示例图；
图9是按照本发明的一个实施例的参数保存屏幕的示例图；
图10是按照本发明的一个实施例的公式信息屏幕的示例图；
图11是按照本发明的一个实施例的参数采集信息屏幕的示例图；
图12是按照本发明的一个实施例的屏幕选择屏幕的示例图；
图13是按照本发明的一个实施例的传感器类型选择屏幕的示例图；
图14是按照本发明的一个实施例的传感器信息屏幕的示例图；
图15是按照本发明的一个实施例传感器参数屏幕的示例图；
图16是按照本发明的一个实施例另一个传感器参数屏幕幕的示例图；
图17是按照本发明的一个实施例另一个传感器参数屏幕的示例图；
图18是按照本发明的一个实施例的传感器实例选择GUI屏幕的示例图；
图19是按照本发明的一个实施例传感器信息屏幕幕的示例图；
图20是按照本发明的一个实施例传感器设置项目信息屏幕的示例图；
图21是按照本发明的一个实施例另一个选择屏幕的示例图；
图22是按照本发明的一个实施例的另一个配置屏幕的示例图；
图23A，23B是按照本发明的一个实施例附加的配置屏幕的示例图；以及
图24-27是按照本发明的一个实施例另一个配置屏幕的示例图。
具体实施方式
图1表示在按照本发明的一个实施例的半导体制造环境中的APC系统的示例方块图。在所示的实施例中，半导体制造环境100包括至少一个半导体处理工具110，多个处理模块120，PM1-PM4，用于监视所述工具、模块和处理的多个传感器130，传感器接口140和APC系统145。APC系统145可以包括接口服务器(IS)150，APC服务器160，客户工作站170，GUI元件180，以及数据库190。在一个实施例中，IS 150可以包括实时存储器数据库，其可被视为一个“网络集线器”。
APC系统145可以包括工具状态监视系统，用于监视处理工具、处理模块和传感器中的至少一个的性能。
在所示的实施例中，和4个处理模块120一道示出了一个工具110，但本发明不限于此。工具状态监视系统可以与若干个处理工具接口，所述处理工具包括具有一个或多个处理模块的群集工具。工具状态监视系统可用于配置和监视若干个处理工具，所述处理工具包括具有一个或多个处理模块的群集工具。例如，工具以及其相关的处理模块可用于进行蚀刻、淀积、扩散、清洗、测量、抛光、显影、转印、存储、装载、卸载、对准、温度控制、光刻技术、集成的度量衡(IM)、光学数据成形(ODP)、微粒检测以及其它的半导体制造工艺。
在一个实施例中，处理工具110可以包括工具代理(未示出)，其可以是一个在工具110上运行的软件处理，并且其可以提供事件信息、环境信息(context information)和用于使数据获取和工具处理同步的开始-停止定时指令。此外，APC系统145可以包括代理客户(未示出)，其可以是能够用于提供与所述工具代理的连接的软件处理。例如，APC系统145可以通过互联网或内联网连接和处理工具110相连。
在一个实施例中，IS 150使用套接字进行通信。例如，接口可以使用TCP/IP套接字通信来实现。在每次通信之前，建立一个套接字。然后作为一个串发送信息。在该信息被发送之后，所述套接字被取消。
或者，接口可以作为利用C/C++代码扩展的TCL处理或者作为使用专用类别例如分布式消息集线器(DMH)客户类的C/C++处理来构建。在这种情况下，可以修改通过套接字连接采集处理/工具事件的逻辑，以使得在IS 150中的表中插入事件及其环境数据(contextdata)。
工具代理可以发送消息，以便对工具状态监视系统提供事件和环境信息。例如，工具代理可以发出块开始/停止消息、批开始/停止消息、晶片开始/停止消息、制法开始/停止消息和处理开始/停止消息。此外，工具代理可用于发送和/或接收设置点数据以及用于发送和/或接收维护计数器数据。
当处理工具包括内部传感器时，这一数据可以发送给工具状态监视系统。可以使用数据文件传递该数据。例如，一些处理工具可以产生跟踪文件，该文件在产生时便在工具中被压缩。压缩的和/或未压缩的文件可被传递。当在处理工具中产生跟踪文件时，跟踪数据可以包括或者可以不包括端点检测(EPD)数据。跟踪数据提供关于处理的重要信息。在完成晶片的处理之后，跟踪数据可被更新和传递。对于每种处理，跟踪文件被传递给合适的目录。在一个实施例中，可以从处理工具110获得工具跟踪数据、维护数据和EPD数据。
在图1中示出了4个处理模块，但是本发明不限于此。半导体处理系统可以包括任何数量的处理工具，它们具有任何数量的与其相关的处理模块以及独立的处理模块。包括工具状态监视系统的APC系统145可用于配置和监视任何数量的处理工具，所述处理工具具有任何数量的与其相关的处理模块以及独立的处理模块。工具状态监视系统可以采集、提供、处理、存储和显示从涉及处理工具、处理模块和传感器的处理获得的数据。
各处理模块可以使用例如ID、模块类型、气体参数和维护计数器等数据来识别，并且这些数据可被保存在数据库中。当新的处理模块被配置时，可以使用GUI元件180中的模块配置屏面/屏幕来提供这一类型的数据。例如，APC系统可以支持以下的来自Tokyo ElectronLimited工具类型：与单一相关(Unity-related)的处理模块，与三相关的(rias-related)处理模块，与Telius相关的(Telius-related)处理模块，与OES相关的处理模块，以及与ODP相关的模块。或者，APC系统可以支持其它工具及其相关的处理模块。例如，可以使APC系统145通过互联网或内联网连接与处理模块120相连。
在所示的实施例中，和相关的处理模块一道示出了一个传感器130，但是本发明不限于此。任何数量的传感器都可以和处理模块相耦连。传感器130可以包括ODP传感器、OES传感器、VIP传感器、模拟传感器、以及包括数字探针在内的其它类型的半导体处理传感器。可以使用APC数据管理应用程序来采集、处理、存储、显示和输出来自各个传感器的数据。
在APC系统中，可以由内部和外部两种源提供传感器数据。可以使用外部数据记录器类型来规定外部源；一个数据记录器对象可被分配给每个外部源；并且可以使用状态变量表示。
传感器配置信息组合传感器类型和传感器实例参数。传感器类型是相应于传感器功能的一般的术语。传感器实例使传感器类型与特定处理模块和工具上的特定传感器配对。对于和一个工具连附的每个物理的传感器，配置至少一个传感器实例。
例如，OES传感器可以是一种类型的传感器；VI探针可以是另一种类型的传感器，以及，模拟传感器可以是一种不同类型的传感器。此外，可以具有附加的通用类型的传感器和附加的特定类型的传感器。传感器类型包括在运行时为设置一个特定种类的传感器所需的所有变量。这些变量可以是静态的(所有这种类型的传感器具有相同的值)，其可通过实例来配置(传感器类型的每个实例可以具有一个唯一的值)，或者可以是可通过数据采集计划动态地配置的(每一次传感器在运行时被启动，其被给予一个不同的值)。
“通过实例可配置的”变量可以是传感器/探针IP地址。这个地址通过实例改变(对于每个处理室)，但是从运行到运行不改变。“通过数据采集计划配置的”变量可以是一个谐波频率表。对于每个晶片，根据环境信息这些可被不同地配置。例如，晶片环境信息可以包括工具ID，模块ID，槽ID，制法ID，盒ID，开始时间和结束时间。可以具有相同传感器类型的许多实例。一个传感器实例相应于一特定的硬件，并将一种传感器类型连接到工具和/或处理模块(室)。换句话说，传感器类型是一般的，而传感器实例是特定的。
如图1所示，传感器接口140可用于提供传感器130和APC系统145之间的接口。例如，APC系统145可以通过互联网或内联网连接与传感器接口140相连，传感器接口140可以通过互联网或内联网连接与传感器130相连。此外，传感器接口140可以用作为协议转换器、介质转换器和数据缓冲器。此外，传感器接口140可以提供实时的功能，例如数据获取、对等的通信、以及I/O扫描。或者，传感器接口140可被取消，而传感器130可以直接地和APC系统145相连。
传感器130可以是静态的或动态的传感器。例如，动态VI传感器可以具有其频率范围、采样周期、比例变换(scaling)、触发、以及在运行时使用由数据采集计划提供的参数确定的偏离信息。传感器130可以是模拟传感器，其可以是静态的和/或动态的。例如，模拟传感器可用于为ESC电压提供数据、可以提供匹配器参数、气体参数、流率、压力、温度、RF参数、以及其它的与处理相关的数据。传感器130可以包括VIP探针，OES传感器，模拟传感器，数字传感器和半导体处理传感器中的至少一个。
在一个实施例中，传感器接口可以把数据点写入原始数据文件中。例如，IS 150可以向传感器接口发送一个开始指令，以便启动数据获取，并可以发出一个停止指令，以便使文件关闭。IS 150然后可以读取和分析传感器数据文件，处理所述数据并把数据值粘贴到内部存储器数据表中。
或者，传感器接口能够实时地把数据传递给IS 150。可以提供一个开关，以便使得传感器接口能够把文件写入盘中。传感器接口还可以提供一种用于读取文件并把数据点送入IS 150以进行离线处理和分析的方法。
如图1所示，APC系统145可以包括数据库190。工具状态监视数据可被存储在数据库190中。此外，来自工具的原始数据和跟踪数据可以作为文件存储在数据库190中。数据的量取决于由用户配置的数据采集计划和执行处理以及处理工具运行的频率。例如，可以建立数据采集计划，用于确定如何、何时采集工具状态数据。从处理工具、处理室、传感器和APC系统获得的数据被存储在表中。
在一个实施例中，这些表可以在IS 150中作为存储器内的表来实现，并在数据库190中作为持久的存储来实现。IS 150可以使用结构化查询语言(SQL)用于生成列和行，并用于向表传递数据。这些表可以在数据库190中被复制成持久的表(即，可以使用DB2)，并且可以使用相同的SQL语句来增加。
在所示的实施例中，IS 150可以是存储器内的实时数据库和预约服务器。例如，客户处理能够使用利用熟悉的相关数据表的编程方式的SQL来执行数据库功能。此外，IS 150可以提供数据预约服务，其中当满足它们的选择准则的数据被插入、更新或删除时客户软件便接收异步的通知。一个预约使用SQL选择语句的全部能力，用于指定哪些表列是感兴趣的以及使用何种行选择准则，以便过滤将来的数据改变通知。
因为IS 150是数据库又是预约服务器，所以当它们被初始化时，客户可以打开和现有的表数据“同步的”预约。IS 150通过公布/预约机构、存储器内数据表和用于通过系统对事件和警报进行编组的监控逻辑来提供数据同步。IS 150提供基于包括套接字、UDP和公布/预约技术的若干个通信TCP/IP。
例如，IS 150体系结构可以使用多个数据集线器(即SQL数据库)，它们可以提供实时的数据管理和预约功能。应用程序模块和用户接口使用SQL消息访问和更新数据集线器中的信息。由于与向关系数据库粘贴运行时间数据相关的性能限制，运行时间数据被粘贴到由IS 150管理的存储器内的数据表。这些表的内容在晶片处理结束时可被粘贴到关系数据库。
在图1所示的实施例中，示出了一个客户工作站170，但本发明不限于此。APC系统145可以支持多个客户工作站170。在一个实施例中，客户工作站170允许用户配置传感器、察看包括工具、室和传感器状态的状态、察看处理状态、察看历史数据、察看故障数据以及进行模拟和绘制图表的功能。
在图1所示的实施例中，APC系统145可以包括与IS 150相连的APC服务器160，客户工作站170，GUI元件180，以及数据库190，但是本发明不限于此。APC服务器160可以包括许多应用程序，其中包括至少一个和工具相关的应用程序，至少一个和模块相关的应用程序，至少一个和传感器相关的应用程序，至少一个和IS相关的应用程序，至少一个和数据库相关的应用程序，以及至少一个和GUI相关的应用程序。此外，APC服务器可以包括许多工具状态监视系统应用程序。
APC服务器160包括至少一个计算机和软件，所述软件支持多个处理工具；采集和同步来自工具、处理模块、传感器以及探针的数据；在数据库中存储所述数据，使得用户能够察看现存的图表；以及提供故障检测。例如，APC服务器160可以包括操作软件，例如来自TokyoElectron的Ingenio软件。APC服务器允许进行在线的系统配置、在线的块到块故障检测、在线的晶片到晶片故障检测、在线的数据库管理和使用基于历史数据的模型进行概要数据(summary data)的多变量分析。此外，工具状态监视系统允许实时地监视处理工具。
例如，APC服务器160可以包括最小为3GB的可用盘空间；至少为600MHz的CPU(双处理器)；最小512Mb的RAM(物理存储器)；按RAID 5配置的9GB SCSI硬驱动器；大小为RAM的两倍的最小盘高速缓冲存储器；已安装的Windows 2000服务器软件；微软的Internet Explorer；TCP/IP网络协议；以及至少两个网卡。
APC系统145可以包括至少一个存储装置，其存储包含来自传感器的原始数据的文件和包含来自工具的跟踪数据的文件。如果这些文件不被正确地管理(即被定期地删除)，存储装置可用完盘空间，因而可能停止采集新数据。APC系统145可以包括数据管理应用程序，其使用户能够删除过时文件，借以释放盘空间，以使得数据采集得以继续而不中断。APC系统145可以包括用于操作系统的多个表，这些表可被存储在数据库190中。此外，其它的计算机(未示出)例如在现场或者不在现场的计算机/工作站和/或主机可被连成网络，以便对于一个或多个工具提供例如数据/图表浏览、SPC图表编制、EPD分析、文件访问等功能。
如图1所示，APC系统145可以包括GUI元件180。例如，GUI元件可以在APC服务器160、客户工作站170和工具110上作为一个应用程序运行。
GUI元件180使APC系统用户能够利用尽可能少的输入执行所需的配置、数据采集、监视、模拟故障检测任务。GUI设计符合用于半导体制造设备的SEMI人性接口标准(SEMI Draft Doc.#2783B)，并符合SEMATECH Strategic Cell Controller(SCC)User-InterfaceStyle Guide 1.0(Technology Transfer 92061179A-ENG)。本领域技术人员应当理解，GUI屏面/屏幕可以包括从左到由的选择标记结构和/或从右到左的结构，从底到顶的结构，从顶到底的结构，或者组合的结构。
此外，虽然所示的屏幕是英语的型式，但是本发明不限于此，可以使用不同的语言。
此外，GUI元件180提供在工具状态监视系统和用户之间进行交互作用的装置。当GUI开始时，可以显示一个登录屏，其确认用户身份和口令，并提供第一级的安全性。在登录之前用户可以使用一个安全应用程序注册。用户身份的数据库检查表示授权等级，其将使可利用的GUI功能成为一个整体。用户未被授权使用的选项可以是不同的和不能利用的。安全系统还允许用户改变现有的口令。例如，登录屏面/屏幕可以从浏览器工具例如Netscape或Internet Explorer打开。用户可以在登录字段中输入用户ID和口令。
被授权的用户和管理员可以使用GUI屏面/屏幕来修改系统配置和传感器设置参数。GUI元件180可以包括配置元件，用于使用户能够配置处理工具、处理模块、传感器和APC系统。例如，可以对处理工具、处理模块、传感器、传感器实例、模块暂停和报警中的至少一个提供GUI配置屏面/屏幕。配置数据可被存储在属性数据库表中，并且在安装时可以通过缺省被设置。
GUI元件180可以包括状态元件，其显示用于处理工具、处理模块、传感器和APC系统的当前状态。此外，状态元件可以包括图表编制元件，用于使用一个或多个不同的图表向用户呈现与系统相关的以及与处理相关的数据。
此外，GUI元件180可以包括实时的操作元件。例如，GUI元件可以和背景任务相耦连，共享的系统逻辑可以提供由背景任务和GUI元件两者使用的公共功能。共享的逻辑可用于保证向GUI元件返回的值和向背景任务返回的值相同。此外，GUI元件180可以包括APC文件管理GUI元件和安全元件。帮助屏面/屏幕也是可用的。例如，以PDF(便携的文件格式)和/或HTML格式提供帮助文件。
如图1所示，包括工具状态监视系统的APC系统145可以和工厂系统105和/或E诊断系统115相连。工厂系统105和/或E诊断系统115可以提供用于从外部监视和用于从外部控制半导体处理系统中的工具、模块、传感器和处理的装置。或者，工厂系统105和/或E诊断系统115可以进行工具状态监视。例如，用户可以使用基于环球网的终端访问工具状态监视系统，所述终端通过工厂系统105和/或E诊断系统115与半导体处理系统相耦连。
此外，APC系统和E诊断系统可以一道工作，以便实时地解决问题。例如，当APC系统145检测到故障时，用于诊断所述问题所需的信息可以由APC服务器处理，并被传递给E诊断系统，或者被存储以供E诊断系统在以后访问。可使用安全约束和/或用户商务规则确定操作方法。
此外，APC包括用于添加传感器、编辑可以被情况和/或事件驱动的数据采集计划的装置。例如，这可以使得E诊断“探针”和/或软件元件能够为E诊断系统下载，以便对系统进行故障检修。E诊断系统可以包括一套便携的诊断工具，其可以提供附加的数据，所述数据可用于诊断、检测和/或预测问题。例如，APC系统可以使用这些诊断工具作为附加的传感器。利用支持多个协议的一般的传感器接口，包括作为最低级的模拟输入，本地便携诊断单元可以和工厂系统相耦连，并然后被APC系统、E诊断系统和/或工厂系统在远程地使用。
APC系统可以配备在工厂远程研发的并从工厂或E诊断系统下载的新的应用程序。例如，新的应用程序可以本地驻留于APC服务器中。APC系统具有学习新的程序并动态地添加传感器、添加应用程序、甚至对于常规的传感器添加GUI屏幕的能力。此外，APC系统可以执行非常专用的程序，例如定时分析分配，以用于确定工具和/或模块何时误操作(即，由于电动机或致动器位置而引起的晶片处理系统的问题)。
此外，APC系统可以根据工具性能改变采样速率。例如，可以根据工具的健康状况改变数据采集的采样速率和分析量。APC系统还可以预测问题或检测工具和/或模块正运行在一个限制条件附近。
此外，高级的用户和管理员可以使用GUI屏幕来修改系统配置和传感器设置参数；产生和编辑与工具相关的策略和计划；和/或修改编号工具和模块。
使用一个可配置的系统实施工具状态监视系统，所述系统使用户(终端用户)能够添加处理工具、处理模块和/或传感器。工具状态监视系统提供一个开发的环境和方法，其使得用户能够定制监视软件，添加分析应用程序，和/或在环境中安装并监视新的工具、模块和传感器。
工具状态监视系统软件的体系结构包括4个功能元件：数据获取元件，消息传送系统元件，关系数据库元件和粘贴处理元件。该体系结构还包括存储器内的数据表，用于存储运行时间数据获取参数。工具状态监视系统的外部是工具，以及工具代理，其提供环境信息和开始-停止定时指令，用于使数据获取和工具的处理同步。
数据获取元件采集被称为参数的数据点，并将其写入一个文件中。消息传送系统使用存储器内的数据表用于暂时存储从数据获取元件接收的运行时间数据。由一个代理和/或工具客户把数据获取周期的开始和结束通知消息传送系统。在数据获取周期结束时，数据被粘贴到关系数据库，并且清除存储器内的数据表以供下一个获取周期使用。由消息传送系统提供的数据的粘贴处理在运行时间进行；在相关数据库中存储的数据的后处理被离线执行。
工具状态监视系统的目的是使用实时的和历史的数据来改善半导体处理系统的性能。为实现这个目的，可预测潜在的问题，并且在其出现之前进行校正，因而减少设备停车时间和所生产的非产品晶片的数量。这可以通过采集数据，然后把数据送给用于模拟特定工具的行为的软件算法来实现。工具状态监视系统输出处理参数的修改，然后将其向前或向后传送，从而把工具性能保持在规定的限制内。这种控制可以在不同的级别以不同的形式进行。
工具状态监视系统的报警管理部分可以提供故障检测算法，故障分类算法和/或故障预测算法。工具状态监视系统可以预测工具将在何时发生误操作，并且能够识别用于校正所述误操作的可能的解决方案，从而减少在维护和处理功能期间的非产品晶片的数量。
故障预测是故障检测和故障模拟的组合。可以使用这种方法来优化处理室的清洁和可消耗部件的更换，其旨在帮助当生产中出现暂停时进行预防维护性任务的“机会主义的调度”。故障预测可以基于复杂的多变量模型，或者基于简单的单变量关系(例如用于蚀刻中的湿式清洁的APC角)。例如，故障预测可用于预测传感器何时失效以及何时需要对检测器进行维护。
GUI应用程序使得用户能够确定传感器是否正在采集数据。当数据采集计划不需要来自传感器的数据时，传感器状态向用户提供关于不期望接通这个传感器的指示。例如，当数据采集计划不需要来自传感器的数据时，该传感器状态应当是“在线脱机”，当用户在系统级解除一个传感器时，所述状态应当是“离线脱机”。
至传感器的接口允许故障和与服务相关的中断。此外，所述接口提供设置和故障查找的能力。例如，当中断发生时，传感器和/或APC系统检测所述中断并启动记录、报警和自动恢复/分析，以便确定正确的行为并把功能的损失减到最小。用这种方式，可以减小在传感器和/或APC系统以减少的功能操作时用户生产产品的风险。
此外，传感器应用程序可以在服务/维护模式期间运行。为了进行传感器通信的故障查找，传感器可以在没有运行的晶片的状态下被测试。例如，传感器可以从基于WEB的GUI被设置、启动和停止。这个特征可以在传感器设置和例行的传感器维护时被共同地使用。
传感器接口可以和若干个不同的传感器兼容。例如，传感器接口可以包括用于与使用套接字信息、RS-232通信或DLL的传感器接口的装置。
利用使用户(终端用户)能够添加工具、处理室和传感器的可配置的系统来实现APC系统。该APC系统提供一种开发环境和方法，其使得用户能够定制传感器应用程序，以便在系统中添加分析应用程序，  以及安装新的传感器。
这种传感器应用程序借助于向用户提供用于延长工具寿命和用于提供潜在的故障特征检测的装置，从而改进总体设备效率(OEE)和处理工具的所有权成本(COO)。
APC系统的一个目的是使用实时的和历史的数据来最大化包括传感器性能在内的工具的性能。为实现这个目的，在预测潜在的问题并在其发生之前校正这些问题，因而使设备的停机时间和非产品晶片的数量最小化。这可以通过采集数据然后把数据送入用来模拟特定传感器的行为的软件算法来实现。报警管理系统输出处理参数的适应性的变化，然后这些自适应的变化被向前或向后馈送，以便保持工具的性能和传感器的性能在特定的限制内。这种控制可以在不同的级以不同的形式来实现。
APC系统提供故障检测算法、故障分类算法和故障预测算法。APC系统可以预测何时传感器将误操作，可以识别可能的解决办法，以便校正所述误操作，并减少在维护和处理操作期间生产的非产品晶片的数量。
例如，故障预测可以是故障检测和故障模拟的组合。该方法可用于优化可消耗的部件例如传感器的更换，并且旨在当生产中具有暂停时有助于预防性维护任务的“机会主义的调度”。故障预测可以基于复杂的多变量模型或者基于简单的单变量关系。
图2是表示在按照本发明的一个实施例的半导体处理系统中对处理工具进行监视的示例流程图。软件和相关的GUI屏幕提供了用于监视系统中的一个或几个处理工具的程序。该流程图表示在监视处理中执行的一个示例的控制策略程序。程序200在210开始。
程序200可以在由半导体处理系统中的处理工具执行的每个生产步骤中被执行。生产步骤是蚀刻处理、淀积处理、扩散处理、清洁处理、测量处理、转印处理或其它的半导体制造处理。策略限定在一组序列期间在处理工具上发生的事件。策略可以为一个晶片、一个工具、一个块或工具活动的组合规定一组序列。该策略可以包括处理活动、测量活动、预调节活动、预测量活动和后测量活动的组合。在一个策略中的每个部分(活动的组)被称为计划。
策略和环境相关。可以使用环境信息使给定的操作和另一个操作相关。具体地说，环境信息用于使一个处理步骤或制法与一个或多个控制策略和相关数据采集计划相关联。
在220，根据处理环境确定并执行数据采集(控制)策略。处理环境可以依赖于正在进行的生产步骤和正在被监视的工具以及正在被使用的传感器。环境对于特定的处理方法确定执行哪一种策略和/或计划。例如，为了使一个控制策略和一个处理类型例如“干清洁”关联，用于该策略的环境必须含有环境术语“干清洁”。在这种情况下，传感器可被配置为获得与“干清洁”相关的数据。
数据采集(控制)策略可以是一个计划保持器。一个控制策略和相关的计划“控制”使用哪些传感器、它们如何被配置、采集哪些数据以及如何预处理所述数据。
在一个实施例中，处理环境可以和控制策略进行比较。例如，APC服务器160(图1)当“处理开始”事件发生时作为一个串得到当前的处理环境。所述处理环境可以和控制策略进行比较，然后可以识别合适的策略。
在这个处理中，搜索顺序可能是重要的。例如，搜索可以借助于利用GUI表中的优先顺序进行。可以使用结构化查询语言(SQL)语句进行搜索。一旦一个策略被识别，数据采集计划、数据预处理计划和判断计划便被自动地确定，并且传感器计划也被确定。数据采集计划ID、数据预处理计划ID、以及判断计划ID被发送给“执行控制策略”模块。
可能有多个和运行环境匹配的控制策略，但是对于一个特定的处理工具在一个特定的时间只执行一个控制策略。借助于在表上上下移动这些策略，用户可以确定特定环境内策略的顺序。当到达要被选择的策略的时间时，软件便从表的顶部开始，并一直向下查找，直到找到和由环境确定的要求匹配的第一策略。
使用基于环境执行的一种方法可能要进行环境匹配。例如，当执行环境匹配时，可以使用当前正被处理的晶片的环境。或者，可以使用当前正被处理的衬底或其它半导体产品的环境。当环境被确定时，其便可以和控制策略的环境进行比较。当发生环境匹配时，则可以执行一个或几个控制策略。
可以借助于组合环境元素来定义环境。例如，环境可以是按照预定顺序的环境元素的阵列，或者，环境可以是呈字典的形式的一组名称-值的对。
用于选择和执行控制策略的环境元素可以包括工具ID，制法ID，块ID，和材料ID。此外，可以使用以下的元素：盒ID，处理模块ID，槽ID，制法开始时间，制法停止时间，维护计数器值，和/或产品ID，其规定要被处理的产品的种类。
当执行控制策略时，可以识别数据采集计划，可以识别数据预处理计划，并且可以识别判断计划。关于策略和计划的一个示例的关系图如图3所示。例如，可以使用允许动态地设置和调用控制策略的环境匹配执行软件模块。在一种情况下，晶片内的事件可以触发系统控制器察看当前的环境数据，确定运行哪个策略，并调用相应的脚本以确定相关的计划。
在230，可以执行和控制策略相关的计划。可以执行数据采集计划、数据预处理计划和判断计划中的至少一个。此外，也可以执行传感器计划、参数选择计划和/或微调计划。
在生产运行期间采集的产生高质量产品的数据可被用于建立“良好传感器状态”数据，随后采集的数据可以和这个基准数据比较，以便确定传感器是否实时地正确地运行。
例如，可以建立一个数据采集(控制)策略，用于确定传感器的状态，作为质量控制(QC)试验的一部分。可以执行OC控制策略及其相关的计划，以保证传感器正在正确地操作或者保证传感器被设置，以便证实处理工具正在正确地操作。可以在预定的时间或当用户调度时执行QC控制策略及其相关的计划。当QC控制策略及其相关的计划正被执行时，传感器可被设置，以使得可以采集诊断的晶片数据。例如，可以处理诊断晶片、伪晶片、产品晶片或试验晶片，并且环境可以是工具、模块或传感器诊断。
可以建立QC数据采集(控制)策略及其相关的计划用于处理模块预备处理，例如和干燥相关的处理。例如，在清洁处理(即湿清洁)之后，可以使用和干燥相关的策略、计划和可能包括设置一个传感器的制法来处理若干个伪晶片。用户可以使用作为APC系统的一部分的策略和计划，或者用户可以容易和快速地使用AOC系统研发新的与干燥相关的控制策略。用户可以试验一组不同的干燥数据采集计划和传感器，以便确定哪种干燥制法具有最好的检测能力。由这些干燥运行获得的数据还可以用于进一步改进处理、工具和传感器模拟。
当执行数据采集计划时，传感器可被设置。数据采集计划可包括传感器设置计划。例如，借助于传感器设置计划可以确定传感器的开始和停止时间。利用传感器设置计划，可以确定传感器所需的设置变量。可以使用制法开始事件通知传感器开始记录。晶片中事件可用于设置传感器。制法停止事件或晶片用完事件可用于通知传感器停止记录。对于产品晶片和非产品晶片，可以使用不同的传感器，并且可以采集不同的数据。
数据采集计划还包括数据预处理计划，其确定相对于峰值计数、步骤微调、值门限、以及值限幅界限(clip limit)，预期的观测参数将如何被处理。
当执行数据预处理计划时，时间序列数据可以从原始数据文件产生，并被保存在数据库中；可以从所述时间序列数据产生晶片概要数据；可以从晶片数据产生块概要数据。在晶片正被处理时，可以执行数据采集。当晶片的这个处理步骤结束时，则可以执行数据预处理计划。
数据采集计划可以是一种由用户配置的可再用的实体，用于采集所需的数据。传感器计划包括在一个或几个单独的模块上的一个或多个传感器的配置。所述计划还包括选择应当由相关传感器采集的数据项，以及哪些数据项要被保存。
传感器可以是一个装置、仪表、处理室类型或者其它的实体，所述实体用于或者采集观测数据，或者需要软件设置相互作用，或者好像传感器那样由系统软件进行处理。例如，处理工具和处理模块(室)可以被处理为好像它们是数据采集计划中的传感器。可以使用工具状态屏幕、室状态屏幕、和/或传感器状态屏幕报告传感器状态。传感器状态信息可被提供给用户。例如，传感器状态可以包括：离线(解除)；以及在线(记录，空闲，错误，未被选择)。如果传感器从在线变成离线，用户可被通知。
相同传感器类型的几个实例可以同时安装在一个处理系统中。用户可以选择一个或几个特定的传感器以供每个数据采集计划使用。
对于给定的数据采集计划，APC系统从数据库中读出传感器的设置，或者使用在设置期间定义的参数。当传感器配置软件不能设置传感器时，则该软件假定所述传感器对于该运行处于缺省的离线状态。这个动作与DC计划要求传感器离线相同。传感器配置软件对于利用处于脱机状态下的传感器进行的处理步骤设置报警。
APC系统可以包括被设计用于监视若干个不同类型的工具和相关的传感器的策略和计划。例如，APC系统可以与按不同的方式操作的传感器接口。例如，当传感器实时地发送数据时，APC系统实时地监视所述数据，当传感器非实时地发送数据时，只要传感器发送数据，APC系统便处理该数据。
APC系统可以包括策略、计划和基准模型，其可设置用于普通的故障检测和分类应用程序、处理室印指纹(fingerprinting)应用程序、干燥完成应用程序、可消耗的寿命预测、湿清洁周期应用程序以及对于部件装配体的诊断应用程序的传感器。
APC系统为每个处理室提供独立的数据采集模式和设置模式；即，每个室可以独立于任何其它的室，并且一个处理室的设置不会中断其它处理室的数据采集。此外，APC系统对每个传感器提供独立的数据采集模式和设置模式；即，每个传感器可以独立于任何其它的传感器，并且一个传感器的设置不会中断其它传感器的数据采集。
当控制策略包括判断计划时，所述判断计划被执行。所述执行可以是基于规则的并包括SQL语句。在“开始事件”发生之后，可以执行开始事件判断计划，并且在“结束事件”发生之后，可以执行结束事件判断计划。例如，当一个开始事件判断计划和一个控制策略相关时，在一个开始事件例如晶片内事件、处理开始事件或者制法开始事件之后，其可以被执行。开始事件判断计划可以是工具状态监视系统的报警管理部分的一部分。
当报警发生，即检测到故障时，判断计划可以向干预计划发送消息和/或指令，使得进行以下操作：在状态屏幕上显示故障消息，在一个日志文件中写入故障消息，发送暂停下一个晶片的消息，发送暂停下一个块的消息，向工具发送一个警告消息，以及向工具的拥有者发送邮件。例如，判断计划可以向干预计划发送消息和/或指令，以便进行下述的与传感器相关的操作：停止使用传感器，重新配置传感器，重新校准传感器和更换传感器。
判断计划独立地操作。每个判断计划不知道其它判断计划的操作。因此，作为整个分析计划的结果，在由不同判断计划发送的消息中便可能有某些多余和矛盾之处。干预计划用来解决任何问题。用于策略和计划的一个示例的流程图示于图4。
返回图2，在步235，可以进行询问，从而确定是否产生报警。当报警发生时，程序200分支到步250。当报警未发生时，程序200分支到步240。
在步骤250，可以执行干预计划。干预计划可以执行以下的处理：从每个判断计划得到消息(判断)；分类来自不同判断计划的操作；对邮件和日志附加处理条件，例如工具ID、制法ID、制法开始时间等；保存日志文件/数据库；和/或向干预管理器发送合适的消息。
干预策略被定义为作为数据分析的结果用户选择的要采取的操作。例如，这些操作可以包括：标记一个可疑的晶片或块，并通知系统拥有者和/或工具拥有者；寻呼工程师或向其发送电子邮件，使其检查数据并作出决定；禁止工具处理晶片，直到数据被检查完毕，且所述禁止被解除为止；停止可以从工具中排出剩余的晶片的工具或使其“离线”；以及触发处理室清洁或维护程序。
在干预计划被执行之后，关于合适的操作的消息被发送给干预管理器。例如，下面是操作候选者：在状态屏幕上显示传感器故障消息；发送消息以便在下一个晶片之前暂停处理；发送消息以便在下一个块之前暂停处理；对一个或几个工具发送暂停或停止消息；和/或向工具拥有者或方法拥有者发送电子邮件。例如，可以使用“停止”消息告诉工具继续处理已经在工具中的晶片，可以使用“中断”消息告诉工具不处理工具中的晶片，并将其送回载体。
在一些情况下，APC系统能够干预和响应一个问题而不需人工干预。在其它的情况下，则需要人工干预。例如，用户可以访问来自APC系统的数据，以便确定故障的性质。用户可以干预，并且用户可以决定继续处理一个块或者终止处理。如果用户终止处理，则工具可以进入维修状态。用户可以由工具屏幕触发这个操作。例如，可以更换传感器。在传感器被更换、检查和进行处理测试之后，可以利用下一个晶片继续进行处理。
在干预计划和分析计划的执行期间，APC系统可以向用户呈现“与传感器相关的”图表。例如，该图表可以包括压力计数据、质量流数据、泄漏数据、泵数据、气体系统数据和转印系统数据。这些图表可以显示一个或几个工具的实时数据、历史数据以及实时和历史数据的组合。
分析策略也可以在控制策略被执行之后由APC系统执行。分析型策略，例如故障检测和分类(FDC)策略确定对处理工具执行的一组程序期间发生的事件。在使用一组分析计划采集数据之后，FDC策略可以“分析”所述数据；FDC策略可以使用一组判断计划“确定”作用的过程。例如，可以使用SPC图表和多变量分析。FDC策略可以对于一个晶片、一个工具、一个块或者工具活动的组合定义一组数据分析计划。在分析策略中的每个部分可被称为一个计划。
策略和环境相关联。环境信息可用于使一个给定的操作和另一个操作相关联。具体地说，环境信息使一个处理步骤或制法与一个或几个策略和/或计划相关联。一般地说，分析策略可以由一个结束事件触发，并确定一组后处理活动。例如，结束事件可以是晶片用光事件，块完成事件，或者其它的处理完成事件。
当执行分析策略时，可以执行一个或多个下面的计划：主要元件分析(PCA)计划，部分最小平方(PLS)计划，统计处理控制(SPC)计划，多变量分析(MVA)计划和用户定义的计划。分析计划包括执行下述操作的装置：当工具不处于生产状态时用于检测和分类传感器问题；在生产期间检测传感器问题；在生产期间检测和分类传感器问题；在生产期间预测传感器问题；以及在生产之后预测传感器问题。
图5是按照本发明的一个实施例的选择屏幕的例图。在所示的实施例中，示出了具有7个子级的导航树，不过这对于本发明不是必需的；可以使用任何数量的子级。或者，可以使用其它的选择装置，例如选择标记或按钮。例如选择标记可以包括：左-右标记、右-左标记、顶-底标记和底-顶标记。在另一个实施例中，导航树可以用不同的语言显示，并可以被不同地排序和定位。例如GUI可以包括来自由英语多级导航树、日语多级导航树、台湾语多级导航树、汉语多级导航树、朝鲜语多级导航树、德语多级导航树和法语多级导航树构成的组中的至少一个多级导航树。
所示的第一级是工具级，不过这对本发明不是必需的。或者，所示的可以是系统级或其它较高级的组。例如，可以使工具级与蚀刻工具、淀积工具、清洁工具、转印工具或者其它半导体处理工具相关。
所示的下一级是处理模块级。用户可以打开工具级文件夹，以便显示处理模块级的状态。例如，图5表示若干个打开的工具级文件夹，标号为“TeliusPC”，以及4个处理模块文件夹，标号为“Process Module1”到“Process Module 4”。用户可以打开一个处理模块文件夹，以便显示与特定的处理模块相关的策略的状态。
所示的下一级是策略级。用户可以打开一个处理模块级文件夹，以便显示一个策略级的状态。例如，图5表示标记为“Data CollectionStrategy”和“Analysis Strategy”的打开的文件夹。用户可以打开一个策略文件夹，以便显示与特定的策略相关的环境和计划的状态。
数据采集(控制)策略文件夹可被打开以便显示一个数据采集策略列表。在所示的实施例中，一个控制策略可以和与控制策略相关的环境以及计划一道显示。环境可用于调用特定的项目例如伪晶片或诊断晶片所需的特定的数据采集计划。
可以打开一个特定的数据采集计划文件夹，以便显示一个或多个数据采集计划的名称。在图5中，显示了一个数据采集计划名称“DefaultPlan 1”。
数据采集策略具有相关的数据采集计划，其描述如何配置传感器以及应当采集何种观测参数。数据采集策略还可以和预处理计划相关联。预处理计划描述预期的观测参数应当如何相对于峰值计数、步骤微调、高限幅和低限幅界限被处理。
用户可以从数据采集计划级访问传感器配置级。在传感器配置级，用户可以安装、改变和卸载传感器。此外，用户可以为传感器产生、编辑和检查设置信息。
如图5所示，选择屏幕可以包括标题屏，信息屏以及控制屏。例如，标题屏可以包括屏幕的最上两行。标题屏可以包括：公司标识字段，用于显示版本信息；用户ID字段，用于显示当前用户的ID；报警信息字段，用于当具有一个现行的报警时显示消息；当前日期和时间字段，用于显示服务器的当前日期和时间；当前屏幕名称字段，用于显示当前屏幕的名称(例如工具状态)；通信状态字段，用于显示在服务器和工具之间的通信链路的当前状态；工具ID字段，用于显示正被监视的工具的ID；注销字段，用于允许用户注销；和/或屏幕选择字段可以被选择，用于察看所有可利用的屏幕列表。在另一个实施例中，标题屏可以用不同的语言显示，并可以具有不同的大小和位置。此外，标题屏可被方便地显示在其它屏幕上，例如图6-20所示的那些。
控制屏可以包括沿着屏幕底部的按钮。这些按钮使用户能够显示主要屏幕。主要屏幕按钮是工具状态、模块、图表、报警日志，SPC，数据管理器和帮助。
例如，工具状态按钮可用于察看用于特定工具的数据。模块按钮可用于察看用于特定处理模块的数据。图表按钮可用于设置和察看概要和跟踪图表。报警日志按钮可用于察看当前报警列表。SPC按钮可用于察看SPC图表上的处理参数。数据管理器按钮可用于配置数据采集计划，以及帮助按钮可用于显示在线帮助文档。这些按钮可方便地显示在其他屏幕上，例如图6-20所示的那些。这些按钮提供了使得用户能够显示主要屏幕的一种快速而方便的装置。在替代的实施例中，这些按钮可用不同的语言显示，并且它们的大小和位置可以不同。
图6是可以从图5的数据采集计划级访问的按照本发明的一个实施例的计划信息屏幕的示例图。在所示的实施例中，示出了具有选择标记的信息屏。所述选择标记可用于选择其它的GUI屏幕。或者，可以使用导航树来显示和选择其它的GUI屏幕。
传感器实例列表可以包括与用于工具ID、模块ID、和计划名称ID的标准匹配的传感器实例的列表。可以提供一个列表，因为一个传感器类型可以具有许多传感器实例。例如，示出了具有呈许多字段的信息的名称为“DefaultPlan 1”的计划，但是本发明不限于此。或者，也可以示出其它的计划和其它的传感器。例如，可以使用Langmuir探针，OES探针和其它类型的半导体处理探针。
计划名称字段包括数据采集计划的名称，描述字段可以包括所述数据采集计划的详细说明。工具ID字段可以包括供选择的现有的工具(工具ID)的列表，模块ID字段可以包括供选择的现有的处理模块(模块ID)的列表。最后使用的日期的日期字段可用于指示这个数据采集计划的最后使用日期。
保存(Save)按钮可用于将来自该屏幕的数据保存到数据库中。撤消(Undo)按钮可用于在所有字段中填入原始的(缺省的)数据。添加(Add)按钮可用于把一个选择的传感器实例从右侧的表添加到左侧的表中。移动(Remove)按钮可用于把一个选择的传感器类型从左侧的表移动到右侧的表。可以显示一个用于确认的弹出消息窗口，并且可以对右侧的表向回添加一个项目。
借助于启动图7所示的传感器设置屏幕，编辑(Edit)按钮可被用来编辑选择的传感器参数。参数保存(Param Saving)按钮可用于启动图10所示的参数保存屏幕。
保存按钮用于在两个表中更新/插入数据：dc计划表和传感器dc计划表。
图7表示按照本发明的一个实施例的传感器设置屏幕的示例图。在所示的实施例中，示出了具有选择标记的信息屏。选择标记可用于选择其它的GUI屏幕。或者，可以使用导航树用来显示和选择其它的GUI屏幕。用户可以使用传感器配置屏幕，例如传感器设置屏幕，用于察看和编辑和传感器相关的参数。作为一个例子，示出了两个参数，但是本发明不限于此。传感器可以具有任何数量的与其相关的参数。
屏幕上可以示出用于所选择的传感器的设置项目的列表。编辑按钮可用于显示如图8所示的传感器设置项目屏幕。这个屏幕使得用户能够根据所选的值类型(value_type)修改所选的参数。
传感器设置屏幕包括项目名称字段，项目值字段，描述字段和可用于控制对数据的访问的IS_Optional字段。例如，如果IS_Optional变量的值为真，则用户可以选择用于这个数据采集的参数。
图8是按照本发明的一个实施例的传感器设置项目屏幕的示例图。在所示的实施例中，示出了具有选择标记的信息屏。所述选择标记可用于选择其它的GUI屏幕。或者，可以使用导航树来显示和选择其它的GUI屏幕。用户可以使用传感器配置屏幕，例如传感器设置项目屏幕来配置传感器的参数。作为一个例子，示出了用于“操作频率”参数的信息。不过本发明不限于此，传感器可以具有与其相关的任何数量的参数。
该屏幕可以包括作为标题被显示的名称字段，以及用于对用户提供指令和/或帮助消息的说明/指令/帮助字段。传感器设置项目屏幕还可以包括用于提供值的若干个字段。例如，可以使用缺省值字段，插入值字段，最小限制字段，最大限制字段和所选项目字段。
保存按钮可用于把该屏幕的数据保存在数据库中。撤消按钮可用于在所有字段中填入原始的(缺省的)数据。添加按钮可用于把一个选择的传感器实例从右侧的表添加到左侧的表中。移动按钮可用于把一个选择的传感器类型从左侧的表移动到右侧的表。可以显示一个用于确认的弹出消息窗口，并且可以对右侧的表向回添加一个项目。
传感器设置项目屏幕提供一种容易使用的装置，用于配置传感器和/或改变和传感器相关的参数。所示的例子表示，可以对用户提供特定传感器的详细的说明。详细的描述性消息可以对用户提供安全的感觉，并且防止错误。例如，可以向用户提供缺省值、最小限制值和最大限制值，并提供使得用户能够保存和编辑一些项目的按钮。用于所选择的参数的传感器设置项目(编辑)屏幕和所选择的参数的值类型有关，对于示例的屏幕，值类型可以作为选择。
当在模块上安装新的传感器或改变现有的传感器时，APC系统和传感器安装应用程序使一个模块离线。例如，和任何一个传感器相关的电缆(RS232，以太网，光纤等)可被断开和被重新连接；传感器的网络地址可被改变；传感器设置可被配置；传感器可被测试，包括手动地设置传感器，(即，手动地启动传感器，实时地监视传感器数据，停止所述传感器，保存作为一个文件采集的传感器数据，以及作为一个文件保存传感器设置)，而不中断其它模块的运行。
图9是按照本发明的一个实施例的参数保存屏幕的示例图。在所示的实施例中，示出了一个具有选择标记的信息屏。所述选择标记可用于选择GUI屏幕。或者，可以使用导航树显示和选择其它的GUI屏幕。用户可以使用传感器配置屏幕，例如参数保存屏幕，以便确定要在数据库中保存的传感器参数。
参数保存屏幕显示在选择的数据采集计划中的所选传感器实例的参数列表。数据库保存计划可以被提供至参数保存屏幕中的每个参数的连接。
参数保存屏幕可以包括用于所选的传感器的项目表，包括所选传感器的设置项目的名称。参数保存屏幕还可以包括用于选通屏的编辑按钮；可用于添加具有特定公式的新的参数名称的添加按钮；以及概要信息(Summary info)按钮。所述概要信息按钮可用于选择供保存的参数以及启动图10所示的屏幕。撤消按钮可用于利用原始值填充所有的字段，保存按钮可用于在运行值(run_value)表中保存选择的复选框。列表的项目包括项目名称，新的项目名称，公式和保存选择复选框。
图10是按照本发明的一个实施例的公式信息屏幕的示例图。在所示的实施例中，示出了一个基具有选择标记的信息屏。公式信息屏可以对所选的与传感器相关的参数提供公式编辑器。
例如，用户可以对于在新参数名称字段中现存的参数分配一个新的参数名。参数名称字段显示原始的参数名。保存的计划参数字段可以包括在选择的数据采集计划中的参数列表。添加按钮可用于在公式描述字段中添加来自向下移动框所的选择的保存的计划参数。保存按钮可用于把信息保存到运行值表中。软件进行公式检查并确定所分配的参数名是否是唯一的。撤消按钮可用于撤消所述的改变。保存复选框可用于选择用于数据采集计划的参数，并启动图11所示的屏幕。
图11是按照本发明的一个实施例的参数采集信息屏幕的示例图。在所示的实施例中，示出了一个具有选择标记的信息屏。参数采集信息屏幕用于对所选择的与传感器相关的参数提供用于编辑概要的数据采集信息的装置。
例如，参数采集信息屏幕可以包括用于显示选择的参数名的名称字段。新(New)按钮用于选通右侧字段用于输入；编辑按钮可用于在右侧字段中填入值。设置点、百分数以及绝对复选框用于对于数据采集计划中的参数选择这些数据采集类型中的一个。门限、低峰值、高峰值和限幅复选框用于选择一个或多个这些数据预处理项目，以用于启动相应的文本字段。保存按钮可用于在参数限制表中保存来自右侧字段的信息。撤消按钮可用于撤消所作的改变。
图12是按照本发明的一个实施例的屏幕选择屏幕的示例图。屏幕选择屏幕提供用于访问与传感器相关的安装和配置屏幕的装置。
例如，屏幕选择GUI屏幕可以包括组菜单，其包括下述的按钮状态：图表，日志，配置，主菜单和运行时间设置。此外，屏幕选择GUI屏幕可以包括当选择配置按钮时出现的项目菜单。配置项目菜单可以包括配置项目按钮，例如系统，传感器类型，模块，传感器实例，模块暂停，报警，属性，接受者和Msg内容。当用户点击一个项目菜单按钮时，可以对用户呈现一组特定的GUI。可使得可用的项目菜单按钮比不能利用的项目菜单按钮的外观更亮。可以使用安全性程序和用户等级，以便阻止由没有资格的人员进行未被授权的改变。
当用户决定把传感器转换到最近的模块或者甚至从一个蚀刻工具转换到另一个蚀刻工具时，用户可以启动配置改变程序。例如，可以在客户的工作站使用系统配置屏幕首先进行配置改变。在进行所有所需的改变之后，用户可以停止并下载所述的配置，远程地重新置控制器，或者在线接受所述的改变，视情况而定。在配置改变被确定之后，可以启动无源数据采集、模拟和测试的整个新的周期。
图13是通过图12的传感器类型按钮访问的按照本发明的一个实施例的传感器类型选择屏幕的示例图。在所示的实施例中，示出了具有选择标记的信息屏。选择标记可用于选择其它的GUI屏幕。或者，可以使用导航树来显示和选择其它的GUI屏幕。
用户可以使用传感器配置屏幕，例如传感器类型选择屏幕，用于当研发新的传感器接口时或者当新的处理工具、处理模块或传感器需要配置时产生新的传感器类型。APC系统可以包括由APC软件支持的传感器类型的预先定义的列表。例如，在安装之后在开始运行处理设备之前或者当从工厂发送重新配置的实例时，可以在用户所在地进行改变。
在安装时或者在添加新的传感器类型时可以进行传感器类型配置。只有有资格的用户才能进行这个操作；其涉及在后来当产生一个传感器实例时或者当在数据采集计划中在运行时间配置一个传感器实例时要被使用的所有输入和输出参数的完整的定义。在这个设置步骤中产生的参数可以在以后在传感器实例配置中和在数据采集计划中作为用于保存和设置的参数来显示。
当用户产生一个新的传感器类型时，可以使用静态变量或动态变量。例如，变量名可以是“参数”，并且其可以包含可以为数据采集计划保存的变量名的列表。这个处理可以对每个传感器类型进行，并且当传感器被定义之后可以在一个表中具有已安装的或者可利用的传感器的表。传感器可以被列表而不被使用(即，传感器的预配置列表，而没有被定义为作为实例被安装)。
例如，一个传感器配置屏幕，如图13所示的传感器类型选择屏幕，可以包括若干个按钮。所述按钮可以包括新按钮，编辑按钮，察看按钮，另存为按钮和删除按钮。此外，该屏幕可以包括一个传感器类型列表。作为一个例子，示出了一个电压/电流探针(VIP)，示出了一个端点传感器，并示出了一个模拟探针。或者，可以示出其它的和/或附加的探针，其中可以包括Langmuir探针，OES探针，并且可以使用其它类型的半导体处理探针。
使用新按钮，用户可以产生新传感器类型并显示传感器信息屏幕。使用编辑按钮，用户可以选择现有的传感器，并显示传感器信息屏幕，以便修改用于那个传感器的相关参数。使用察看按钮，用户可以通过显示传感器信息屏幕察看传感器定义。例如，可以使用图14所示的传感器信息屏幕。使用另存为按钮，用户可以根据现有的传感器类型产生一个新的传感器类型。使用删除按钮，用户可以清除选择的传感器类型。当用户产生一个新的传感器类型时必须产生一个帮助文件，因此用户可输入用于那个帮助文件URL(例如gui_sensor_help.html)。
传感器类型可以是相应于传感器的功能的一个一般的术语。传感器实例使传感器类型与在处理模块(室)和工具上的特定传感器配对。对于和一个工具连附的每个物理传感器，配置至少一个传感器实例。
传感器类型可包括为在运行时间设置一个特定传感器类型所需的所有变量。这些变量可以是静态的(即，所有这种类型的传感器具有相同的值)，其可以通过实例来配置(即，传感器类型的每个实例可以具有一个唯一的值)，或者是可以通过数据采集计划配置的(即，在运行时间每当传感器被启动，其可被给予一个不同的值)。例如，“通过实例可配置的”变量可以是探针IP地址。这个地址通过实例改变(对于每个处理室)，但是从运行到运行不改变。“通过数据采集计划”配置的变量对于探针可以是一个谐波频率列表。这种传感器可以是动态的，基于环境信息的处理可以配置这些变量。例如，处理环境信息可以包括工具ID，模块ID，槽ID，制法ID，盒ID，开始时间和结束时间。
图14是按照本发明的一个实施例的传感器信息屏幕的示例图。可以使用传感器配置屏幕例如传感器信息屏幕来产生、编辑、察看和删除与一个传感器相关的参数。
例如，传感器信息屏幕可以包括若干个字段，其中包括：传感器类型字段，参数名字段，值类型字段，数值最小字段，数值最大字段IS_Optional字段，IS_Invisible字段，IS-Per-Instance字段，IS_Computed字段，提示，描述字段，缺省值字段和值数据字段。传感器类型字段可用于识别正在被显示的传感器的类型。参数名字段可用于提供参数说明。值类型字段可用于识别传感器实例是静态的不是动态的。当需要时，可以向用户提供一个弹出窗口用于这些字段的更多的键入空间。作为一个例子，示出了若干个电压/电流探针，不过本发明不限于此。或者，可以示出其它的传感器类型，例如Langmuir探针，OES探针和其它类型的半导体处理探针。
传感器信息屏幕可以包括若干个按钮。例如，所述按钮可以包括新参数按钮，编辑参数按钮，察看按钮，另存为按钮，删除参数按钮，保存传感器按钮和撤消按钮。此外，该屏幕可以包括传感器参数表，其可以包括和一个特定的传感器类型相关的参数的列表。
新参数按钮可用于产生用于传感器的新的参数并启动如图15所示的传感器参数屏幕。编辑参数按钮允许用户修改选择的参数。另存为按钮可用于复制和一个新的和/或被编辑的参数相关的信息。删除参数按钮可用于删除选择的参数。
当用户选择帮助URL字段时，在屏幕的顶部显示一个附加的文本区域屏。用户输入一个帮助项目，并且可以向用户提供一个帮助屏幕。以几种不同的语言来提供帮助屏幕。
图15是按照本发明的一个实施例的传感器参数屏幕的示例图。一个传感器配置屏幕例如传感器参数屏幕可以包括可用于定义一个传感器的多个信息项目。
例如，传感器参数屏幕可以包括多个射频按钮。可以提供多个射频按钮以用于选择一个传感器参数的值类型。一个射频按钮可用于定义用于这个传感器参数的值类型是静态的(即，每个传感器类型一个)。一次/实例按钮可用于定义这个传感器参数的值类型为作为一个实例发生的值类型，例如名称和地址。随DC计划可改变的按钮可用于定义这个传感器参数的值类型为动态的(即，每次用户产生一个传感器的新的实例时该值可被改变)。
传感器参数屏幕还可以包括多个参数定义字段。名称字段可用于传感器参数名；描述字段可用于参数描述；值类型字段可以包括参数类型列表(即，无，浮点，整数，IP地址，路径名，选择，串)。值数据字段可用作文本字段，用于提供该参数的输入数据。提示字段可用于提供该该参数的简短描述，其在DC计划的配置和/或编辑期间可以向用户显示。静态值字段可用于显示该参数的初始值。
最小选择字段可以提供该参数的最小值，或者当用户选择选择值类型时提供用于选择类型的最小数量的选择。最大选择字段提供该参数的最大值，或者当用户选择选择值类型时提供用于选择类型的最大数量的选择。Is_Computed字段可用于确定该参数是否是从系统采集的数据。Is_Optional字段用于确定该参数是否是对于该传感器任选的。Is_Visibe字段用于确定该参数是否在DC计划的配置和/或编辑期间可由用户看到。
插入值字段可用于允许用户键入一个值。添加按钮可用于从文本字段向文本字段下方的表填入数据。删除按钮可用于从表中删除选择的项目。上移和下移按钮允许用户在表中重新定位选择的项目。如果用户已经选择了静态类型，保存按钮可用于把整个表保存在静态值字段中，如果用户已经选择了选择类型，则把整个表保存在值数据字段中。全部清除按钮可用于删除整个表。
在底部的保存按钮用于把数据保存在数据库中的传感器参数配置表中。撤消按钮用于重新显示在所有字段中保存的数据。
在传感器类型被产生之后，有资格的用户可以产生传感器类型的实例。为此，用户可以选择在例如图12所示的链接屏幕上的传感器实例按钮。
图16是按照本发明的一个实施例的另一个传感器参数屏幕的示例图。传感器参数屏幕包括用于定义一次/实例传感器的传感器变量字段。一次/实例按钮可用于定义作为一个单独的实例例如名称和地址而发生的参数的值类型。
例如，“一次/实例”屏幕还可以包括若干个参数定义字段。名称字段可用于传感器参数名；描述字段可用于参数说明；值类型字段可以包括参数类型表(即，无，浮点，整数，IP地址，路径名，选择，以及串)。值数据字段可用作文本字段，用于对该参数提供输入数据。提示字段可用于提供对该参数的简短描述，其在DC计划的配置和/或编辑期间可以向用户显示。缺省值字段可用于显示用于该参数的初始值。
最小选择字段可以提供用于该参数的最小值，或者当用户选择选择值类型时提供用于选择类型的最小数量的选择。最大选择字段提供该参数的最大值，或者当用户选择选择值类型时提供用于选择类型的最大数量的选择。Is_Computed字段可用于确定该参数是否是从系统采集的数据。Is_Optional字段用于确定该参数是否是对于该传感器可任选的。Is_Visible字段用于确定该参数是否在DC计划的配置和/或编辑期间可由用户看到。对于这些字段可以提供下拉式列表。
插入值字段可用于允许用户键入一个值。添加按钮可用于从文本字段向文本字段下方的表添加数据。删除按钮可用于从表中删除选择的项目。上移和下移按钮允许用户在表中重新定位选择的项目。如果用户已经选择了类型，保存按钮可用于把整个表保存在值字段中，如果用户已经选择了选择类型，则把整个表保存在值数据字段中。全部清除按钮可用于删除整个表。在底部的保存按钮用于把数据保存在数据库中的传感器参数配置表中。撤消按钮用于重新显示在所有字段中保存的数据。
在传感器类型被产生之后，有资格的用户可以产生传感器类型的实例。为此，用户可以选择在例如图12所示的链接屏幕上的传感器实例按钮。
图17是按照本发明的一个实施例的传感器参数屏幕的示例图。动态传感器配置屏幕例如传感器参数屏幕可以包括可被用于定义动态传感器的多个信息项目。
例如，传感器参数屏幕可以包括多个射频按钮。可以提供多个射频按钮以用于选择传感器参数的值类型。静态射频按钮可用于定义这个传感器参数的值类型为静态的(即，每个传感器类型一个)。一次/实例按钮可用于定义这个传感器参数的值类型为作为单个实例发生的值类型，例如名称和地址。随DC计划可改变的按钮可用于定义这个传感器参数的值类型为动态的(即，每次用户产生一个传感器的新的实例时该值可被改变)。
传感器参数屏幕还可以包括若干个参数定义字段。名称字段可用于传感器参数名；描述字段可用于参数描述；值类型字段可以包括参数类型表(即，无，浮点，整数，IP地址，路径名，选择和串)。值数据字段可用作文本字段，用于为该参数提供输入数据。提示字段可用于提供该参数的简短描述，其在DC计划的配置和/或编辑期间可以向用户显示。缺省值字段可用于显示该参数的初始值。
最小选择字段可以提供该参数的最小值，或者当用户选择选择值类型时提供用于选择类型的最小数量的选择。最大选择字段提供该参数的最大值，或者当用户选择选择值类型时提供用于选择类型的最大数量的选择。Is_Computed字段可用于确定该参数是否是从系统采集的数据。Is_Optional字段用于确定该参数是否是对于该传感器可任选的。Is_Visible字段用于确定该参数是否在DC计划的配置和/或编辑期间可由用户看到。
插入值字段可用于允许用户键入一个值。添加按钮可用于从文本字段向文本字段下方的表添加数据。删除按钮可用于从该表中删除选择的项目。上移和下移按钮允许用户在表中重新定位选择的项目。如果用户已经选择了静态类型，保存按钮可用于把整个表保存在静态值字段中，以及，如果用户已经选择了选择类型，则把整个表保存在值数据字段中。全部清除按钮可用于删除整个表。
在底部的保存按钮用于把数据保存在数据库中的传感器参数配置表中。撤消按钮用于重新显示在所有字段中保存的数据。
在传感器类型被产生之后，有资格的用户可以产生传感器类型的实例。
图18是按照本发明的一个实施例的传感器安装屏幕的示例图。传感器安装屏幕，例如传感器列表屏幕，可以包括可用于安装或卸载传感器的多个信息项目。
例如，传感器安装屏幕可以包括若干个按钮，其中可以包括新按钮，编辑按钮，察看按钮，另存为按钮和删除按钮。此外，该屏幕可以包括一个传感器表，其可以包括已安装的传感器和所述传感器的状态的列表。例如，示出了一个电压/电流探针(VIP)，示出了一个端点传感器，并示出了一个模拟探针。或者，可以示出其它的和/或附加的探针。例如，可以使用Langmuir探针。
使用传感器安装屏幕，有资格的用户可以安装用于处理系统的传感器。例如，用户可以是安装工程师或者是用户工具拥有者。传感器安装屏幕GUI屏幕可以在APC系统安装期间被使用，或者当增加传感器时、当处理室被改变时、当工具被改变时或当软件被升级时被使用。
如图18所示，传感器信息可被列于一个表中。Is_Enabled栏可用于提供在表中所列的传感器实例的当前状态。传感器类型栏可用于提供传感器实例的名称。工具ID栏可以提供和传感器实例相关的工具名称，模块ID栏可以提供模块信息。
使用所述新按钮，用户可以产生传感器类型的新的实例。使用编辑按钮，用户可以编辑在表中选择的行。此外，用户可以使用新按钮或编辑按钮来启动如图19所示的另一个传感器安装屏幕。此外，使用另存为按钮，用户可以对一个选择的传感器类型提供一个实例ID(即和那个传感器实例相关的信息可被复制到数据库中)。使用删除按钮，用户可以从表和数据库中删除选择的行。
例如，传感器实例可被存储在传感器表中。该传感器实例可用于得到传感器ID。此外，可以使用数据记录器应用程序支持传感器实例，并且可以使用传感器ID确定其支持的传感器类型。数据记录器应用程序可以打开传感器表的预约，以便查找相关的传感器类型和is_enabled＝1信息。一旦传感器实例被发现，一个传感器记录器等级的新的实例便可被例示，其中利用传感器ID作为一个参数。
图19是按照本发明的一个实施例另一个传感器安装屏幕的示例图。传感器安装屏幕，例如传感器信息屏幕，可以包括可用于安装或卸下传感器的若干个信息项目。
例如，传感器信息屏幕可以包括传感器类型字段，其可以包括下拉的组合框，其含有利用“‖”作为分隔符的两个字段。这两个字段可以是传感器类型和说明。工具ID字段可以包括下拉组合框，其含有可利用的工具ID的列表。室ID字段可以包括下拉的组合框，其含有可利用的室ID的列表。Is_Enabled的复选框可用于允许用户选择这个传感器。
保存实例按钮可用于保存安装的传感器的信息，其中包括传感器类型、工具ID、室ID、以及与传感器相关的参数信息的用户的安装选择。如果用户处于编辑模式，撤消按钮可用于显示在所有字段中的原始数据。传感器配置帮助按钮启动另一个浏览器，其允许用户察看对于该传感器的帮助环境。
可以使用每个实例的参数表来显示每个实例的所有参数，包括：传感器类型，参数名，参数值，描述和缺省值。编辑按钮允许有资格的用户修改选择的参数，并显示如图20所示的传感器设置项目信息屏幕。
图20是按照本发明的一个实施例的另一个传感器安装屏幕的例图。用户可以使用传感器安装屏幕，例如传感器设置项目信息屏幕来编辑传感器参数。
例如，传感器设置项目信息屏幕可以包括参数名字段，其中的参数名可以是基于在传感器信息屏幕(图19)上的选择的变量。描述字段可用于显示所选参数的简短的描述。可以包括数据项字段的列表，并且对于一个选择的参数，所述列表显示来自值-数据栏的值的列表。添加按钮可用于把从左侧的表选择的的项添加到右侧的表中。移动按钮可用于把选择的项从选择的数据表移动到左侧的表。保存按钮可用于把来自右侧表的值保存到数据库中。撤消按钮可用于显示原始数据。
图21是按照本发明的一个实施例另一个选择屏幕的示例图。在所示的实施例中，示出了具有工具级、模块子级和传感器子级的导航树。不过本发明不限于此，可以使用任何数量的子级。或者，可以使用其它的选择装置例如选择标记或按钮。例如，选择标记可以包括左-右标签、右-左标签、顶-底标签和底-顶标签。在另一个实施例中，可以用不同的语言显示导航树，并且可以被不同地排序和定位。
所示的第一级是工具级，不过本发明不限于此。或者，可以示出系统级或其它较高级的组。例如，工具级可以和蚀刻工具、淀积工具、清洁工具、转印工具或其它半导体处理工具相关。
所示的下一级是处理模块级。用户可以打开工具级文件夹，以便显示处理模块级的状态。例如，图21表示标号为“Tel 47”的一个打开的工具级文件夹，标号为“PM01”的一个打开的处理模块级文件夹，以及7个传感器项。这些是和第一处理模块相关的传感器实例。用户可以打开传感器项，以便显示特定的传感器的细节。
如图21所示，选择屏幕可以包括导航屏、信息屏和状态屏。例如，导航屏可以包括屏幕的顶部的两行。导航屏可以包括：公司标志字段，用于显示版本信息，以及允许用户提交选择、编辑选择、察看选择和配置选择的导航项。状态屏可用于显示当前用户的ID；用于显示关于当前状态的消息的状态消息字段；用于显示服务器的当前日期和时间的当前日期和时间字段；和/或用于显示正在被监视的工具的ID的工具ID字段。
信息屏可用于察看用于特定工具、模块、传感器、计划、策略和/或图表的数据。导航项和下拉列表可用于改变在该屏幕的信息屏部分中显示的各项。
图22是按照本发明的一个实施例的另一个配置屏幕的示例图。在所示的实施例中，示出了模块实例配置编辑器屏幕，其可用于产生、编辑和删除处理模块。
图23A，23B是按照本发明的一个实施例的附加的配置屏幕的示例图。在图23A所示的实施例中，示出了一个可用于产生、编辑和删除内部传感器的传感器实例配置编辑器屏幕。在图23B所示的实施例中，示出了可用于产生、编辑和删除外部传感器的传感器实例配置编辑器屏幕。
图24-27是按照本发明的一个实施例的其它的配置屏幕的示例图。在图24所示的实施例中，示出了一个可用于产生、编辑和删除工具、处理模块、和/或传感器的配置屏幕。在图25所示的实施例中，示出了可用于产生、编辑和删除由系统自动配置的参数的“自动配置”屏幕。在图26所示的实施例中，示出了可用于产生、编辑和删除自动配置参数的自动配置参数编辑器屏幕。在图27所示的实施例中，示出了可用于产生自动配置参数的自动配置添加功能屏幕。例如，当系统、工具、模块和/或传感器被初始设置或再配置时，APC系统可以进行自动配置。
和传感器相关的应用程序是灵活的和可配置的。例如，与用户相关的信息例如IP地址、工具ID等可以是系统变量，并且在用户或现场工程师配置设置之后，可以在下一次启动时使用该信息。传感器应用程序可以在几个不同的操作系统下操作，例如Windows NT和Windows 2000。
功能按钮可以沿着GUI屏幕的底部和/或顶部设置。因为在许多屏幕上显示相同的功能按钮，所以用户可以从任何屏幕导航到任何功能而不必跨过一系列的菜单。可以在标题屏上显示注销按钮，用于系统的注销。当数据已被修改但未保存时，可以提供提配信息。此外，可以显示帮助按钮，可用于观看内容特定的和一般的文件，以便帮助用户理解正向用户呈现的数据和/或正由用户请求的数据。
按照上面的教导，本发明可以具有许多改变和改型。因此，应当理解，在所附权利要求的范围内，本发明可以用不同于本说明书中所述的方式来实施。

Claims (26)

1.一种使用图形用户接口(GUI)配置半导体处理系统中的多个传感器的方法，所述方法包括：
访问系统配置GUI屏幕；
选择一个配置选项；
选择传感器类型选项；以及
使用传感器类型列表屏幕、传感器信息屏幕和传感器参数屏幕中的至少一个来产生用于每个传感器的传感器类型。
2.如权利要求1所述的方法，还包括：
使用传感器类型列表GUI屏幕选择传感器类型；
使用传感器信息GUI屏幕确定和所述传感器类型相关的多个参数；以及
使用传感器参数GUI屏幕确定用于每个参数的值类型。
3.如权利要求2所述的方法，还包括：
使用传感器类型列表GUI屏幕为传感器创建新的传感器类型；
使用包括下列传感器参数中的至少两个传感器参数来定义新的传感器类型：传感器类型，参数名称，值类型，数值最小，数值最大，IS_Optional，IS_Invisible，IS-Per-Instance，IS_Computed，提示，描述，缺省值，以及值数据；以及
保存所述新的传感器类型。
4.如权利要求3所述的方法，其中的值类型包括静态值类型，一次/实例值类型，和随DC计划可变的值类型之一。
5.如权利要求2所述的方法，还包括：
使用传感器类型列表GUI屏幕来编辑现有的传感器类型；
通过改变下述参数中的至少一个来定义被编辑的传感器类型：传感器类型，参数名称，值类型，数值最小，数值最大，Is_Optional，Is_Invisible，Is-Per-Instance，Is_Computed，提示，描述，缺省值，以及值数据；以及
保存被编辑的传感器类型。
6.如权利要求2所述的方法，还包括：
使用传感器类型列表GUI屏幕选择现有的传感器类型；以及
删除所选择的传感器类型。
7.如权利要求1所述的方法，还包括：
从项目菜单中选择传感器实例选项；以及
使用传感器列表GUI屏幕，传感器信息GUI屏幕和传感器设置项信息GUI屏幕中的至少一个来配置用于每个传感器的传感器实例。
8.如权利要求7所述的方法，还包括：
使用传感器列表GUI屏幕产生半导体处理系统中的新的传感器实例；
使用包括下列传感器参数中的至少两个传感器参数来定义新的传感器类型：传感器类型，工具ID，模块ID，参数名称，参数值，值类型，缺省值，数值最小，数值最大，描述和is_enabled；以及
保存新的传感器实例。
9.如权利要求7所述的方法，还包括：
使用传感器列表GUI屏幕来编辑半导体处理系统中现有的传感器实例；
通过改变以下参数中的至少一个来定义被编辑的传感器实例：
传感器类型：传感器类型，工具ID，模块ID，参数名称，参数值，值类型，缺省值，数值最小，数值最大，描述，和is_enabled；
以及
保存被编辑的传感器实例。
10.如权利要求7所述的方法，还包括：
定义传感器设置计划；以及
执行所述传感器设置计划，以便设置每个传感器。
11.如权利要求10所述的方法，还包括：
在计划GUI屏幕上从传感器实例的列表中选择一个传感器实例；
以及
向为该计划列表选择的实例添加所选择的传感器实例。
12.如权利要求10所述的方法，还包括：
从计划GUI屏幕上用于该计划列表的选择的实例中选择传感器实例；以及
把从用于该计划列表的选择的实例中选择的传感器实例移动到传感器实例列表的列表中。
13.如权利要求1所述的方法，其中，所述GUI包括至少一个屏幕，该屏幕含有来自由下述标记构成的组中的标记：左-右标记、右-左标记、顶-底标记和底-顶标记。
14.如权利要求1所述的方法，其中，所述GUI包括从由下述多级导航树构成的组中选择的至少一个多级导航树：英语多级导航树，日语多级导航树，台湾语多级导航树，汉语多级导航树，朝鲜语多级导航树，德语多级导航树，和法语多级导航树。
15.如权利要求1所述的方法，其中，至少一个GUI屏幕包括标题屏，信息屏和控制屏。
16.如权利要求15所述的方法，其中，所述标题屏包括：公司标识块，用于显示版本信息；用户ID块，用于显示当前用户的ID；报警消息块，用于当具有一个现行的报警时显示报警消息；当前日期和时间块，用于显示服务器的当前日期和时间；当前屏幕名称块，用于显示当前屏幕的名称；通信状态块，用于显示服务器和工具之间的通信链路的当前状态；工具ID块，用于显示正在被监视的工具的ID；注销块，用于允许用户注销；以及屏幕选择块，用于浏览所有可利用的屏幕的列表。
17.如权利要求15所述的方法，其中，所述控制屏包括工具状态按钮，室按钮，图表按钮，报警按钮，SPC按钮，控制设置按钮和帮助按钮。
18.如权利要求1所述的方法，其中，所述GUI包括英语屏幕、日语屏幕、台湾语屏幕、汉语屏幕、朝鲜语屏幕、德语屏幕和法语屏幕中的至少一个屏幕。
19.如权利要求10所述的方法，还包括执行数据采集计划，以便确定传感器设置计划。
20.如权利要求19所述的方法，还包括执行一个控制策略，以便确定数据采集计划。
21.如权利要求20所述的方法，还包括使用处理环境来确定控制策略，所述处理环境与正在进行的处理、传感器实例、正在被监视的处理模块以及正在被监视的工具中的至少之一有关。
22.一种使用图形用户接口(GUI)配置半导体处理系统中的传感器的方法，所述方法包括：
使用传感器类型列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕和传感器参数GUI屏幕中的至少一个来配置传感器类型；以及
使用传感器列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕和传感器设置项目信息GUI屏幕中的至少一个来配置传感器实例。
23.如权利要求22所述的用于配置传感器的方法，其中配置传感器类型还包括：
使用传感器类型列表GUI屏幕创建新的传感器类型；
使用包括下列字段中的至少两个的传感器参数表来定义新的传感器类型：传感器类型，参数名称，值类型，数值最小，数值最大，IS_Optional，IS_Invisible，IS-Per-Instance，IS_Computed，提示，描述，缺省值，以及值数据；
使用传感器参数GUI屏幕配置至少一个参数；以及
保存新的传感器类型。
24.如权利要求22所述的用于配置传感器的方法，其中配置传感器类型还包括：
使用传感器类型列表GUI屏幕来编辑现有的传感器类型；
使用包括下列字段中的至少两个的传感器参数表来定义被编辑的传感器类型：传感器类型，参数名称，值类型，数值最小，数值最大，Is_Optional，Is_Invisible，Is-Per-Instance，Is_Computed，提示，描述，缺省值，以及值数据；
使用传感器参数GUI屏幕配置至少一个参数；以及
保存被编辑的传感器类型。
25.一种用于配置半导体处理系统中的传感器的控制系统和图形用户接口(GUI)，包括：
用于利用传感器类型列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕和传感器参数GUI屏幕中的至少一个来配置用于半导体处理系统中的每一不同类型传感器的传感器类型的装置；以及
用于利用传感器列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕和传感器设置项目信息GUI屏幕中的至少一个来配置用于半导体处理系统中的每一传感器的传感器实例的装置。
26.一种用于配置半导体处理系统中的传感器的控制系统和图形用户接口(GUI)，包括：
用于执行数据采集计划的装置；
用于使用所述数据采集计划来确定传感器设置计划的装置；以及
用于执行用于设置所述传感器的传感器设置计划的装置。
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