JPS62133719A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］　　　。

本発明は、ＬＳＩ、ＶＩＳＩ等の半導体デバイスを製造
する装置に関し、特に、半導体デバイスを製造する際に
各種動作指令を表わす多数のコマンドについて、その種
類および機能を表示している状態から直接、コマンドを
実行できる半導体製造装置に関づる。

Ｅ発明の背崇１ 半導体集積回路の集積度の向上に伴い、半導体製造装置
の高機能化や高性能化が削られている。

これらの高機能化や高性能化に伴ってこの種の装置を動
作させる際のコマンドや動作パラメータも非常に増加し
てきた。これら数多くのコマンドはそれぞれ半導体製造
装置の動作を制御する上で重要な役割を宋たすものであ
り、装置の機能を最大限利用する場合に欠くことができ
ないものである。

ところが、このような多数のコマンドについては、半導
体製造装置について主に日常の動作開始および停止の操
作を行なうために配置されているオペレータが、そのす
べてを使用する訳ではない。

すなわち、オペレータが日常、操作するコマンドはごく
一部のもののみで充分である。従って、オペレータが日
常の動作以外の操作を行なう場合、普段使い慣れないコ
マンドを使うため、コマンドの入力を迅速かつ確実に行
なうことができないという欠点があった。

このため、いわゆるヘルプ（＋−Ｉ　Ｅ　Ｌ　Ｐ　）コ
マンドを設定し、このコマンドが入力されたときに多数
あるコマンドの種類や機能を表示覆る装置がある。しか
し、この場合でもコマンドを選択し実行させるには、］
マントの種類や機能を表示した後、−ロコマント入力待
ち状態に戻し、所望のコマンドを入力して実行するとい
う面倒な操作が必要であった。

［発明の目的］ 本発明は、−ト述の従来形の問題点に鑑み、オペレータ
が日常の動作以外の操作を行なう場合にも、迅速かつ確
実に操作することのできる半導体製造装置を提供するこ
とを目的とする。

［実施例の説明］ 以下、図面に従って本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
を示す。同図において、１は集積回路パターンを備えた
マスクで、他にマスクアライメントマークやマスク・ウ
ェハ・アライメントマークを備えている。２はマスクス
テージで、マスク１を保持してマスク１を平面内（ＸＹ
ｈ向）及び回転方向（θ方向）に移動ざける。３は縮小
投影レンズ、４は感光層を備えるウェハで、マスク・つ
］−ハ・アライメントマークとテレビ′・ウェハアライ
メントマークを備えている。５はウェハステージである
。ウェハステージ５はウェハ４を保持してそれを平面内
及び回転方向に移動させるものであり、またウェハ焼付
位置く投影視野内）とテレビ・ウェハアライメント位置
間を移動する。６はテレビ・ウェハアライラン１〜用検
知装同の対物レンズ、７は搬像管または固体影像素子、
９は双眼ユニットで、投影レンズ３を介してつ■ハ４の
表面を観察づるために役立つ。１０は照明光学系および
マスク・ウェハ・アライメント用の検知装置を収容する
上部ユニットである。１１は投影露光装置本体に指令を
与えるコンソールのモニタ受像機（コンソールＣＲＴ）
、１２は装置に指令を与えたりパラメータを入力するキ
ーボードである。

第２図は、第１図の投影露光装置の電気回路構成を示す
ブロック図である。同図において、２１は装置全体の制
御を司る本体ＣＰ　ｔＪで、マイクロコンピュータまた
はミニコンピユータ等の中央演算処理装置からなる。２
２はウェハステージ駆動装置、２３はアライメント検出
系、２４はレチクルステージ駆動装置、２５は照明系、
２６はシャッタ駆動装置、２７はフォーカス検出系、２
８はＺ駆動装置で、これらは、本体ＣＰ　Ｕ　２１によ
り制御される。２９は搬送系である。

３０はコンソールユニットで、本体ＣＰＵ２１にこの露
光装置の動作に関する各種の指令やパラメータを与える
ためのものである。３１はコンソールＣＰＬＪ、３２は
パラメータ等を記憶する外部メモリである。なお、ＣＲ
Ｔｌｌおよびキーボード１２は第１図のものと同一であ
る。

次に、第３図のフローチャートおよび第４図の表示画面
例を参照しながら、第１図および第２図に示す装置の動
作を説明する。

この装置においては、電源投入後の初期化を終了したど
き、および所定の動作指令（コマンド）を実行し終えた
とき、コマンド持ち状態となる。

４一 つまり、コンソールＣＰ　Ｕ　３１はキーボード１２に
おけるキー操作を待機し、本体ＣＰ　Ｕ　２１はコンソ
ールＣＰ　Ｕ　３１からの通信持ち状態となる。

この状態において、まずステップＳ１でコンソールＣＰ
　Ｕ　３１はオペレータ等がキーボード１２から入力し
たコマンドについて、ヘルプコマンドであるかどうか判
別する。ヘルプコマンドとは、コマンドの種類および機
能の一覧をＣＲＴｌｌに表示することを指令するコマン
ドである。ステップＳ１でヘルプコマンドでないときは
、ステップ＄２でそれぞれの入力コマンドに対する処理
を行なった後、再びコマンド待ち状態となる。ステップ
Ｓ１でヘルプコマンドが入力された場合は、ステップＳ
３でコマンド一覧をＣＲＴＩＩに表示する。第４図（ａ
）は、この状態の表示画面を示す。同図の表示画面例で
は、コマンドの番号、コマンドおよびその機能を表示し
ているが、さらにコメント等を表示するようにしてもよ
い。

次に、ステップ＄４ではＣＲＴｌｌに次処理の選択を促
すプロンプトメツセージを表示し、キーボ−１１２から
の人力データを判別する。このプロンプトメツセージは
、第４図（ａ）および（ｂ）のそれぞれの画面の左下に
ある「＊」である。

ステップＳ４で前ページまたは次ページ画面の表示が選
択された場合は、ステップＳ５で指示されたページのコ
マンド一覧をＣＲＴＩＩに表示する。

これらページ画面の選択を指令するキーは、例えば１耐
キーを前ページ、また四キーを次ページというように割
当てておく。第４図（ｂ）は、次ページを表示する旨を
指令する四キーが押下された後の状態の画面表示を示す
。

ステップＳ４においてコマンドの実行が選択された場合
は、ステップＳ６でそのコマンド処理を行なった後、ス
テップＳ１に分岐しコマンド待ち状態に戻る。コマンド
の実行の選択は、プロンプトメツセージ「＊」の後に、
例えば「Ｆ×」というように所望のコマンドを直接入力
して行なう。

なお、コマンドの入力は番号によって行なうこととして
もよい。

また、ステップＳ４で本コマンド処理の終了が選択され
た場合すなわち処理終了を示すコマンドｒ　Ｅ　ＯＬ　
、１が入力されたとぎは、ステップＳ１に分岐し＝１マ
ント待ち状態に戻る。

以上のように、本実施例の投影露光装置においては、コ
マンドの種類や機能を表示している状態からコマンドを
実行する場合にも、従来のように一旦コマント持ち状態
に戻す必要はなく迅速に実行することができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、半導体製造装置
において、多数のコマンドの種類および機能を一覧表示
している状態から直接コマンドを実行することができる
ので、オペレータが日常の動作以外の操作を行なう場合
でも迅速かつ確実にコマンドの実行を行なうことができ
る。さらに、コマンドの種類や機能を表示した後、一旦
コマント入力持ち状態に戻し、所望のコマンドを入力し
て実行するという面倒な操作が必要なくなるという効果
がある。

＝７−

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
図、 第２図は、」−記実施例の投影露光装置の制御回路を示
すブロック図、 第３図は、上記実施例の動作および作用を説明するため
のフローチャート、 第４図は、表示画面例である。 １１・・・モニタ用ＣＲＴ、　　　１２・・・キーボー
ド、２１・・・本体ＣＰＵ、　　　　　３０・・・コン
ソール、３１・・・コンソールＣＰＬＩ、３２・・・外
部メモリ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、多数のコマンドに従つて動作する半導体製造装置で
   あつて、コマンド入力待ち状態において所定の入力があ
   った場合に上記コマンドの種類および機能を表示する手
   段と、上記表示の状態から直接コマンド実行を指令する
   手段とを備えることを特徴とする半導体製造装置。 ２、前記表示手段は、前記コマンドの種類および機能と
   ともにコメントを表示するものである特許請求の範囲１
   項記載の半導体製造装置。