JPS6225418A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、ＬＳ　Ｉ　ＶＬＳ　Ｉ等の半導体デバイスを
製造する装置に関し、特に、装置の動作に関するコマン
ドやパラメータを任意にグループ化して、ユーザが装置
を容易に操作できるようにした半導体製造装置に関する
。

［発明の背１５Ｉ］ 半導体集積回路の集積度の向上に伴い、半導体製造装置
の高機能化や高性能化が計られている。

これらの高機能化や高性能化に伴ってこの種の装置を動
作させる際のコマンドおよびパラメータも非常に増加し
てきた。これら数多くのコマンドおよびパラメータはそ
れぞれ半導体製造装置の動作を制御する上で重要な役割
を果たすものであり、装置の機能を最大限利用する場合
に欠くことができないものである。

ところが、その数が多いことから装置を操作するエンジ
ニアやオペレータ等がそれらすべてのコマンド等を記憶
することは全く不可能である。特に、オペレータは半導
体製造装置について主に日常の動作開始および停止の操
作を行なうために配置されている者であり、すべてのコ
マンド等を記憶することは不必要といえる。すなわち、
すべてのコマンドおよびパラメータにより装置を操作す
るのは、元来、熟練者であるエンジニアの仕事であり、
オペレータが日常、操作するパラメータはごく一部のも
ののみで充分である。以上のような事情から、例えば、
オペレータが日常使用するコマンド以外のコマンドを使
用するような場合には、脂気な記憶に頼るため、所望の
ものとは異なるコマンドを入力してしまうという誤操作
がかなりあった。

通常、これらの誤操作を防止するためには、オペレータ
等のユーザは熟練者に聞いたりマニュアル等に頼らざる
を得ない状況にある。これは、装置の操作上非常に不便
である。例えば、装置を操作する際にコンソールの前で
オペレータがマニュアルを調べながらコマンドを入力す
るような場面がまま見られる。そのような場合、オペレ
ータの入力速度は極めて遅くなり、結果として、装置の
スルーブツトを落としたりオペレータがコンソールでの
操作に集中できずに入力間違いも多くなる。

特に、コマンドやパラメータは１〜３文字程度の略称と
なっていたりコード化されている場合が多く、そのよう
な場合は、ざらに誤操作が多くなるという欠点があった
。

［発明の目的１ 本発明は、上述従来形の問題点に鑑み、オペレータ等が
装置のコマンドや動作パラメータを入力する際の誤操作
を防止し、所望の操作を確実に行なうことのできる半導
体製造装置を捉供することを目的とする。

［実施例の説明］ 以下、図面に従って本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
を示す。同図において、１は集積回路パターンを備えた
マスクで、他にマスクアライメントマークやマスク・ウ
ェハ・アライメントマークを備えている。２はマスクス
テージで、マスク１を保持してマスク１を平面内（ＸＹ
方向）及び回転方向（θ方向）に移動させる。３は縮小
投影レンズ、４は感光層を備えるウェハで、マスク・ウ
ェハ・アライメントマークとテレビ・ウェハアライメン
トマークを備えている。５はウェハステージである。ウ
ェハステージ５はウェハ４を保持してそれを平面内及び
回転方向に移動させるものであり、またウェハ焼付位置
（投影野内）とテレビ・ウェハアライメント位置間を移
動する。６はテレビ・ウェハアライメント用検知装置の
対物レンズ、７は踊像管または固体影像素子、９は双眼
ユニットで、投影レンズ３を介してウェハ４の表面を観
察するために役立つ。１０は照明光学系およびマスク・
ウェハ・アライメント用の検知装置を収容する上部ユニ
ットであ′る。１１は投影露光装置本体に指令を与える
コンソールのモニタ受像Ｒ（コンソールＣＲＴ）、１２
は装置に指令を与えたりパラメータを入力するキーボー
トである。

第２図は、第１図の投影露光装置の電気回路構成を示す
ブロック図である。同図において、２１は装置全体の制
御を司る本体ＣＰＵで、マイクロコンピュータまたはミ
ニコンピユータ等の中央演算処理装置からなる。２２は
ウェハステージ駆動装置、２３はアライメント検出系、
２４はレチクルステージ駆動装置、２５は照明系、２６
はシャッタ駆動装置。

２７はフォーカス検出系、２８は２駆動装置で、これら
は、本体ｃ　ｐ　Ｕ　２１により制御される。２９は搬
送系である。

３０はコンソールユニットで、本体ＣＰＵ２１にこの露
光装置の動作に関する各種の指令やパラメータを与える
ためのものである。３１はコンソールＣＰＵ、３２はパ
ラメータ等を記憶する外部メモリである。なお、ＣＲＴ
ｌｌおよびキーボート１２は第１図のものと同一である
。

第３図は、コマンドをグループ化した様子を示す階層図
である。同図において、最下層は実行コマンドである。

コマンド入力待ち状態においてこれらのコマンドを入力
すると、装置はそのコマンドに従った動作を行なう。実
行コマンドはいくつかまとめてグループ化し、中段に示
すようなグループ名を付している。１つの実行コマンド
が複数のグループに含まれることとしてもよい。

次に、第４図のフローチャートおよび第５ａ〜５ｅ図の
表示画面例を参照しながら、第１図および第２図に示す
装置においてコマンドのグループを定義する際の動作を
説明する。

この装置においては、電源投入侵の初期化を終了したと
き、および所定の動作指令（コマンド）を実行し終えた
とき、コマンド待ち状態となる。

つまり、コンソールＣＰ　Ｕ　３１はキーボート１２に
おけるキー操作を待機し、本体ＣＰ　Ｕ　２１はコンソ
ールＣＰ　Ｕ　３１からの通信待ち状態となる。そして
、この状態でキーボート１２からコマンドのグループ定
義のためのコマンド（例えばＧＤ）が入力されると、コ
ンソールＣＰＵ３１の制御のもとに以下のグループ定義
処理を開始する。

なお、ここでは予め定義しであるグループに新たな実行
コマンドをメンバとして登録する場合について説明する
。グループを新たに定義するのか、または、予め存在す
るグループの定義を変更するのかについての区別はグル
ープ定義コマンドを入力するときに行なう。例えば、上
記の］マントＧＤをグループ名のパラメータ例えばＡＡ
を付与してｒＧＤ　　ＡＡＪと入力したとき、そのグル
ープＡＡの定義の変更とし、パラメータ無しで入力した
とき、新たなグループの定義とすればよい。

グループ定義処理においては、まず、処理するグループ
の名称、パスワード等をＣＲＴｌｌに表示する（ステッ
プ８１）。このときの画面表示は第５ａ図に示すような
ものである。また、これらのデータは外部メモリ３２に
記憶されている。ここでは、グループ名がｒＡＡＪ、パ
スワードがｒＣａｎＸ×」、コメントが「ＭＯＳ」、メ
ンバが「ｏＣ」、ｒＷＡＪおよびｒＲｃＪである。各メ
ンバにはそれぞれコメントが付与されている。下段のｒ
ｓＩｅｃｔ　　Ｎｏ、　　Ｏｒ　　ＥｎｄＪはプロンプ
トメツセージであり、どの項目を変更するか、あるいは
グループ定義処理を終了するかについての入力を促して
いる（ステップＳ２）。ここで、それぞれの項目に付さ
れているナンバを入力することでそれらを変更すること
ができる。例えば、「１」を入力するとステップ５３Ｊ
５よびＳ４においてグループ名の変更が可能である。パ
スワードおよびコメントについても同様にステップ８５
〜Ｓ８で変更できる。

第５ａ図の画面ではメンバについて処理するため「４」
を入力している（ステップ８９）。すると、画面は第５
ｂ図に示すようなものとなる。この画面では、グループ
に関する定義情報は第５ａ図と同一だが、下段のプロン
プトメツセージが異なる。

このメツセージ「３ｅｌｅｃｔ　　（０：ＡＤＤ、　　
１　：［）ＥＬＥＴＥ、Ｅ：ＥＮＤ）Ｊはメンバを新た
に追加するのか、削除するのかまたはメンバの変更処理
を終了するのかについての入力を促している（ステップ
５１０）。この入力後は追加、削除または終了の別を判
別し、追加のときはステップＳ１１および８１２、削除
のときはステップ８１３およびＳ１４でそれぞれの処理
を行なう。第５ｂ図の画面ではメンバの追加を示すｒＯ
Ｊを入力している（ステップ５１１）。この入力により
画面は第５Ｃ図に示すようなものとなる。下段にはｒＡ
ＤＤ　（４）Ｊとメツセージが表示され、４番目のメン
バの追加処理を行なっている旨を示している。ここで同
図のように、ｒ　ＲＡ　：　Ｃｏ１ｕｎｅｎｔ　　Ｄ　
Ｊ　ヲＭｔニーなメンバとして入力すると、画面は第５
ｄ図のようになり、新規メンバが追加登録される（ステ
ップ５１２）。その後、シーケンスはステップＳ１０に
戻り、再びメンバの変更処理を続行することができる。

メンバ変更処理を終了する場合は、ステップ３１０の入
力において、すなわち第５ｄ図の画面においてｒＥＪを
入力しくステップ５１５）、ステップＳ２に戻る。グル
ープの定義処理を終了する場合は、ステップＳ２におい
て、第５ｅ図のようにｒＥＪを入力する（ステップ５１
６）。これにより、グループの各種定義データは外部メ
モリ３２に記憶される。

次に、第６図のフローチャートおよび第７図の表示画面
例を参照しながら、第１図および第２図に示す装置にお
けるコマンド入力の動作を説明する。

まず、コマンド入力持ち状態からコマンドが入力される
とくステップ５２１）、実行レベルのコマンドかどうか
を判別する（ステップ５２２）。もし、実行レベルのコ
マンドのときは、その入力された実行コマンドに応じた
処理を実行する。実行レベルのコマンドでない場合は、
グループ名かどうかを判別しくステップ５２３）、グル
ープ名でもないときはエラーを表示しくステップ５２４
）、再びコマンド入力待ちの状態に戻る（ステップ５２
１）。

ステップ８２３でグループ名の場合は、グループを構成
する実行レベルコマンド等のグループのデータを外部メ
モリ３２から読み出しＣＲＴｌｌに一見表示する（ステ
ップ５２５）。このときの画面は第７図のようなもので
ある。同図において、画面の上段にはコマンド入カニリ
アがあり、グループ名としてｒＡＡＪが入力されている
。中段には、それに対応してグループ名ＡＡを構成する
すべてのコマンドがコメントとともに表示されている。

このコメントによりコマンドの動作の概要を知ることが
できる。その後は、画面を見て実行コマンドを入力すれ
ばよい（ステップ５２６）。

なお、ここでは実行コマンドの入力を略称で行なうよう
にしているが、第７図に示す一覧表示においてコマンド
にナンバを付しておき、そのナンバを入力することによ
り実行コマンドと同様な機能を実行するようにもできる
。

前述したように、本実施例の投影露光装置においては、
実行レベルのコマンドのグループをユーザが自由に定義
できる。また、１つの実行コマンドが複数のグループの
構成要素となることもできるし、グループの名称も自由
に付与できる。従って、例えば実行コマンドの機能別、
名称別、使用者別等のさまざまな分は方でグループ化を
行なっておけば、不明瞭なコマンドを検索する上で非常
に効果がある。すなわち、ユーザが装置の操作途中で入
力したい所望のコマンドが不明になったときには、いろ
いろなグループ名でコマンドの確認が行なえるため、装
置の誤操作を防止することができる。また、これらのコ
マンドの確認部ユーザがコンソールをそのまま使用して
行なえるので、ユーザはコンソールに対する一連の操作
の流れをマニュアルを参照する等でときらせることなく
、コンソールに集中したまま操作を続行することができ
る。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、半導体製造装置
において、コマンドおよび動作パラメータをグループ化
しグループ名を付して記憶し、コマンド入力待ち状態で
このグループ名が入力された場合には、グループを構成
するコマンドおよび動作パラメータを表示するようにし
ているので、オペレータ等がコマンドやパラメータを入
力する際の誤操作を防止し、所望の操作を確実に行なう
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
図、 第２図は、上記実施例の投影露光装置の制御回路を示す
ブロック図、 第３図は、コマンドをグループ化した様子を示す階層図
、 第４図は、上記実施例においてコマンドのグループを定
義する際の動作および作用を説明するためのフローチャ
ート、 第５図は、上記実施例においてコマンドのグループを定
義する際の表示画面例、 第６図は、上記実施例においてコマンド入力する際の動
作および作用を説明するためのフローチャート、 第７図は、上記実施例においてコマンド入力する際の表
示画面例である。 １１・・・モニタ用ＣＲＴ、１２・・・キーボート、２
１・・・本体ＣＰＵ１３０・・・コンソール、３１・・
・コンソールＣＰＵ１３２・・・外部メモリ。 第５０図 １１５ｂ図 Ｅ５ｃｌ１ １５ｄａＷ 第５ｅ図 第６図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、多数のコマンドおよび動作パラメータに従って動作
   する半導体製造装置であつて、該コマンドおよび動作パ
   ラメータをグループ化しグループ名を付して記憶すると
   ともに、コマンド入力待ち状態における該グループ名の
   入力によりグループを構成するコマンドおよび動作パラ
   メータを表示することを特徴とする半導体製造装置。 ２、前記グループ化が、前記コマンドおよび動作パラメ
   ータとともにコメントを記憶し、前記表示の際に前記コ
   マンドおよび動作パラメータとともに該コメントを表示
   する特許請求の範囲第１項記載の半導体製造装置。 ３、前記動作が露光動作である特許請求の範囲第１また
   は２項記載の半導体製造装置。 ４、前記グループ化が、キーボートからの入力データに
   基づいて変更可能である特許請求の範囲第１〜３項のい
   ずれか１つに記載の半導体製造装置。