JPH09237156A - グラフィック・ユーザ・インタフェース装置 - Google Patents
グラフィック・ユーザ・インタフェース装置Info
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- JPH09237156A JPH09237156A JP6745996A JP6745996A JPH09237156A JP H09237156 A JPH09237156 A JP H09237156A JP 6745996 A JP6745996 A JP 6745996A JP 6745996 A JP6745996 A JP 6745996A JP H09237156 A JPH09237156 A JP H09237156A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ユーザの操作を容易にし、プログラム作成作
業を低減できるグラフィック・ユーザ・インターフェー
スを提供する。 【解決手段】 左上入力待ち状態ｂにおいて、画面２０
２の領域内における任意の座標を指２１３ｂで入力す
る。同様に右下入力待ち状態（図２（ｃ））は指２１３
ｃで入力する。倍率入力待ち状態ｄにおいて、”倍率入
力”画面２１１ａ上の”２”ボタン、”４”ボタン及
び”８”ボタンのいずれかを押し所定の倍率を入力す
る。座標入力待ち状態ｅにおいて、拡大画面２１２の領
域内における任意の座標を指２１３ｅで入力する。指２
１３ｅにより入力された座標の位置を拡大画面２１２を
基準として計算し、保存した倍率で割ることにより、拡
大する前の矩形画面２０９における左上からの位置を計
算し、前記位置を保存された座標に足すことにより、指
２１３ｅで入力された座標の元の矩形画面２０９に対す
る座標を求める。
業を低減できるグラフィック・ユーザ・インターフェー
スを提供する。 【解決手段】 左上入力待ち状態ｂにおいて、画面２０
２の領域内における任意の座標を指２１３ｂで入力す
る。同様に右下入力待ち状態（図２（ｃ））は指２１３
ｃで入力する。倍率入力待ち状態ｄにおいて、”倍率入
力”画面２１１ａ上の”２”ボタン、”４”ボタン及
び”８”ボタンのいずれかを押し所定の倍率を入力す
る。座標入力待ち状態ｅにおいて、拡大画面２１２の領
域内における任意の座標を指２１３ｅで入力する。指２
１３ｅにより入力された座標の位置を拡大画面２１２を
基準として計算し、保存した倍率で割ることにより、拡
大する前の矩形画面２０９における左上からの位置を計
算し、前記位置を保存された座標に足すことにより、指
２１３ｅで入力された座標の元の矩形画面２０９に対す
る座標を求める。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、指により座標入力
が行われるタッチパネル画面におけるグラフィック・ユ
ーザ・インタフェース装置に関する。
が行われるタッチパネル画面におけるグラフィック・ユ
ーザ・インタフェース装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】指により座標入力が行われるタッチパネ
ル画面において、指により座標入力が行われる場合、そ
の指の大きさの分の誤差が生じる。そこで、指により座
標入力が行われるタッチパネル画面において、グラフィ
ック・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）装置としてボ
タンを作成するにあたって、前記誤差を考慮した、ある
一定の大きさを持ったボタンを作成する方式が採用され
ている。このようなボタンの寸法配置の問題があるの
で、ある一定の大きさを持ったボタンが作成できないと
きは指で押すことができないので、別の操作によってボ
タンを選択する方式を採用している。
ル画面において、指により座標入力が行われる場合、そ
の指の大きさの分の誤差が生じる。そこで、指により座
標入力が行われるタッチパネル画面において、グラフィ
ック・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）装置としてボ
タンを作成するにあたって、前記誤差を考慮した、ある
一定の大きさを持ったボタンを作成する方式が採用され
ている。このようなボタンの寸法配置の問題があるの
で、ある一定の大きさを持ったボタンが作成できないと
きは指で押すことができないので、別の操作によってボ
タンを選択する方式を採用している。
【０００３】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記のような方式では画面が複雑になり、ユーザにとって
は操作しにくく、アプリケーションプログラム作成者に
とってはプログラム作成作業が増えるという欠点があ
る。
記のような方式では画面が複雑になり、ユーザにとって
は操作しにくく、アプリケーションプログラム作成者に
とってはプログラム作成作業が増えるという欠点があ
る。
【０００４】本発明の目的は、ユーザにとっては操作を
容易にし、アプリケーションプログラム作成者にとって
プはログラム作成作業を簡略化せることができるグラフ
ィック・ユーザ・インターフェース装置を提供すること
にある。
容易にし、アプリケーションプログラム作成者にとって
プはログラム作成作業を簡略化せることができるグラフ
ィック・ユーザ・インターフェース装置を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、請求項１のグラフィック・ユーザ・インタフェー
ス装置は、指により座標入力が行われるタッチパネル画
面において任意の領域を拡大し、この拡大された領域に
入力された座標を元の任意の領域における座標に変換す
る変換手段を有することを特徴とする。
めに、請求項１のグラフィック・ユーザ・インタフェー
ス装置は、指により座標入力が行われるタッチパネル画
面において任意の領域を拡大し、この拡大された領域に
入力された座標を元の任意の領域における座標に変換す
る変換手段を有することを特徴とする。
【０００６】請求項２のグラフィック・ユーザ・インタ
フェース装置は、請求項１のグラフィック・ユーザ・イ
ンタフェース装置において、前記拡大された画面を表示
しているウィンドウを前記座標入力が行われた時に消去
する消去手段を有することを特徴とする。
フェース装置は、請求項１のグラフィック・ユーザ・イ
ンタフェース装置において、前記拡大された画面を表示
しているウィンドウを前記座標入力が行われた時に消去
する消去手段を有することを特徴とする。
【０００７】請求項３のグラフィック・ユーザ・インタ
フェース装置は、指により座標入力が行われるタッチパ
ネル画面において半導体製造に用いられるウエハの座標
を指により入力する場合、該ウエハの画像を拡大し、該
拡大されたウエハの画像に入力された座標をもとのウエ
ハの画像における座標に変換する変換手段と、前記変換
された座標に対する座標入力イベントを送信する送信手
段を有することを特徴とする。
フェース装置は、指により座標入力が行われるタッチパ
ネル画面において半導体製造に用いられるウエハの座標
を指により入力する場合、該ウエハの画像を拡大し、該
拡大されたウエハの画像に入力された座標をもとのウエ
ハの画像における座標に変換する変換手段と、前記変換
された座標に対する座標入力イベントを送信する送信手
段を有することを特徴とする。
【０００８】請求項４のグラフィック・ユーザ・インタ
フェース装置は、請求項３のグラフィック・ユーザ・イ
ンタフェース装置において、前記拡大された画面を表示
しているウィンドウを前記座標入力が行われた時に消去
する消去手段を有することを特徴とする。
フェース装置は、請求項３のグラフィック・ユーザ・イ
ンタフェース装置において、前記拡大された画面を表示
しているウィンドウを前記座標入力が行われた時に消去
する消去手段を有することを特徴とする。
【０００９】請求項５のグラフィック・ユーザ・インタ
フェース装置は、ステップ・アンド・リピート方式によ
ってレクチル上のパターンをウエハ上の各露光領域に投
影して露光する半導体露光装置における、当該装置の情
報の表示・入力を行うタッチパネル画面において、該ウ
エハの画面を拡大し、該拡大されたウエハの画面に入力
された座標をもとのウエハの画面における座標に変換す
る変換手段と、前記変換された座標に対する座標入力イ
ベントを送信する送信手段とを有することを特徴とす
る。
フェース装置は、ステップ・アンド・リピート方式によ
ってレクチル上のパターンをウエハ上の各露光領域に投
影して露光する半導体露光装置における、当該装置の情
報の表示・入力を行うタッチパネル画面において、該ウ
エハの画面を拡大し、該拡大されたウエハの画面に入力
された座標をもとのウエハの画面における座標に変換す
る変換手段と、前記変換された座標に対する座標入力イ
ベントを送信する送信手段とを有することを特徴とす
る。
【００１０】請求項６のグラフィック・ユーザ・インタ
フェース装置は、請求項５のグラフィック・ユーザ・イ
ンタフェース装置において、前記拡大された画面を表示
しているウィンドウを前記座標が入力された時に消去す
る消去手段を有することを特徴とする。
フェース装置は、請求項５のグラフィック・ユーザ・イ
ンタフェース装置において、前記拡大された画面を表示
しているウィンドウを前記座標が入力された時に消去す
る消去手段を有することを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す好まし
い実施の形態を参照しながら詳述する。
い実施の形態を参照しながら詳述する。
【００１２】図１は本発明の実施の形態に係るグラフィ
ック・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）を動作させる
装置の構成を示すブロック図である。
ック・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）を動作させる
装置の構成を示すブロック図である。
【００１３】図１に示すように、タッチパネル画面１０
１はＣＰＵ１０２に接続されておりまた、ＣＰＵ１０２
には、外部メモリ１０３及びキーボード１０４が接続さ
れている。
１はＣＰＵ１０２に接続されておりまた、ＣＰＵ１０２
には、外部メモリ１０３及びキーボード１０４が接続さ
れている。
【００１４】タッチパネル画面１０１は、情報の表示を
行うディスプレイと、指がディスプレイに触れたことを
電気信号に変えるセンサとからなる。ＣＰＵ１０２はマ
イクロコンピュータ又はミニコンピュータ等の中央演算
処理装置からなり、装置全体の制御を司るように構成さ
れている。外部メモリ１０３は、プログラム等を記憶す
る外部メモリである。キーボード１０４はキー入力が行
われるキーを有する。
行うディスプレイと、指がディスプレイに触れたことを
電気信号に変えるセンサとからなる。ＣＰＵ１０２はマ
イクロコンピュータ又はミニコンピュータ等の中央演算
処理装置からなり、装置全体の制御を司るように構成さ
れている。外部メモリ１０３は、プログラム等を記憶す
る外部メモリである。キーボード１０４はキー入力が行
われるキーを有する。
【００１５】図１の構成におけるタッチパネル画面１０
１の表示例を図２に示す。図２において、図２（ａ）は
初期状態を示し、図２（ｂ）は左上入力待ち状態を示
し、図２（ｃ）は右下入力状態を示し、図２（ｄ）は倍
率入力状態を示し、図２（ｅ）は座標入力待ち状態を示
す。これらの表示例の詳細は後述する。
１の表示例を図２に示す。図２において、図２（ａ）は
初期状態を示し、図２（ｂ）は左上入力待ち状態を示
し、図２（ｃ）は右下入力状態を示し、図２（ｄ）は倍
率入力状態を示し、図２（ｅ）は座標入力待ち状態を示
す。これらの表示例の詳細は後述する。
【００１６】以下、図を参照しながら、本発明の実施の
形態に係るグラフィック・ユーザ・インタフェースの動
作を説明する。
形態に係るグラフィック・ユーザ・インタフェースの動
作を説明する。
【００１７】図３は、本発明の実施の形態に係るグラフ
ィック・ユーザ・インタフェースの状態の移り変わりを
示す状態遷移図である。図４は図３の状態遷移図におけ
る処理０、図５は図３の状態遷移図における処理１、図
６は図３の状態遷移図における処理２、図７は図３の状
態遷移図における処理３、図８は図３の状態遷移図にお
ける処理４、図９は図３の状態遷移図における処理５を
夫々示す。
ィック・ユーザ・インタフェースの状態の移り変わりを
示す状態遷移図である。図４は図３の状態遷移図におけ
る処理０、図５は図３の状態遷移図における処理１、図
６は図３の状態遷移図における処理２、図７は図３の状
態遷移図における処理３、図８は図３の状態遷移図にお
ける処理４、図９は図３の状態遷移図における処理５を
夫々示す。
【００１８】図３において、キーボード１０４から起動
コマンドを入力すると、図４に示される処理０が実行さ
れ、スタートボタン２０７が画面２０１の右下に表示さ
れ（ステップＳ４０１）、グラフィック・ユーザ・イン
タフェースの状態は図２（ａ）に示される初期状態の画
面２０１になる（図３のＳ３０１）。画面２０１の左上
には、指で入力することができない程度の大きさのアプ
リケーション２０６が表示されている。アプリケーショ
ン２０６は指の大きさ分の誤差を考慮していないボタン
を持つ。
コマンドを入力すると、図４に示される処理０が実行さ
れ、スタートボタン２０７が画面２０１の右下に表示さ
れ（ステップＳ４０１）、グラフィック・ユーザ・イン
タフェースの状態は図２（ａ）に示される初期状態の画
面２０１になる（図３のＳ３０１）。画面２０１の左上
には、指で入力することができない程度の大きさのアプ
リケーション２０６が表示されている。アプリケーショ
ン２０６は指の大きさ分の誤差を考慮していないボタン
を持つ。
【００１９】初期状態（図２（ａ））において、スター
トボタン２０７が押されると、図５に示される処理１が
実行される。すなわち、図５において、ステップＳＳ５
０１で、他のアプリケーションに対して座標入力イベン
トが送信されないようにポインタを占有する。次に、ス
テップＳ５０２で、スタートボタン２０７を消し、ステ
ップＳ５０３で、ユーザに対して後述の矩形画面２０９
の左上の座標の入力を促すために”左上入力”画面２０
８を画面２０２の右下に表示し、グラフィック・ユーザ
・インタフェースの状態は図２（ｂ）に示される左上入
力待ち状態の画面２０２になる（図３のＳ３０２）。
トボタン２０７が押されると、図５に示される処理１が
実行される。すなわち、図５において、ステップＳＳ５
０１で、他のアプリケーションに対して座標入力イベン
トが送信されないようにポインタを占有する。次に、ス
テップＳ５０２で、スタートボタン２０７を消し、ステ
ップＳ５０３で、ユーザに対して後述の矩形画面２０９
の左上の座標の入力を促すために”左上入力”画面２０
８を画面２０２の右下に表示し、グラフィック・ユーザ
・インタフェースの状態は図２（ｂ）に示される左上入
力待ち状態の画面２０２になる（図３のＳ３０２）。
【００２０】左上入力待ち状態（図２（ｂ））におい
て、画面２０２の領域内における任意の座標を指２１３
ｂで入力することにより、図６に示す処理２が行われ
る。すなわち、図６において、ステップＳ６０１で、指
２１３ｂで入力された座標を左上の座標として保存し、
ステップＳ６０２で、”左上入力”画面２０８を消し、
ステップＳ６０３で、ユーザに対して矩形画面２０９の
右下の座標の入力を促すために”右下入力”画面２１０
を表示し、グラフィック・ユーザ・インタフェースの状
態は図２（ｃ）に示される右下入力待ち状態の画面２０
３になる（図３のＳ３０３）。
て、画面２０２の領域内における任意の座標を指２１３
ｂで入力することにより、図６に示す処理２が行われ
る。すなわち、図６において、ステップＳ６０１で、指
２１３ｂで入力された座標を左上の座標として保存し、
ステップＳ６０２で、”左上入力”画面２０８を消し、
ステップＳ６０３で、ユーザに対して矩形画面２０９の
右下の座標の入力を促すために”右下入力”画面２１０
を表示し、グラフィック・ユーザ・インタフェースの状
態は図２（ｃ）に示される右下入力待ち状態の画面２０
３になる（図３のＳ３０３）。
【００２１】右下入力待ち状態（図２（ｃ））におい
て、画面２０３の領域内における任意の座標を指２１３
ｃで入力することにより、図７に示す処理３が行われ
る。すなわち、図７において、ステップＳ７０１で、指
２１３ｃで入力された座標を右下の座標として保存し、
ステップＳ７０２で、ステップＳ６０１で保存された座
標を左上の座標、ステップＳ７０１において保存された
座標を右下の座標として矩形画面２０９を表示する。次
に、ステップＳ７０３で、”右下入力”画面２１０を消
し、ステップＳ７０４で、”倍率入力”画面２１１ａを
表示し、グラフィック・ユーザ・インタフェースの状態
は図２（ｄ）で示される倍率入力待ち状態の画面２０４
になる（図３のＳ３０４）。
て、画面２０３の領域内における任意の座標を指２１３
ｃで入力することにより、図７に示す処理３が行われ
る。すなわち、図７において、ステップＳ７０１で、指
２１３ｃで入力された座標を右下の座標として保存し、
ステップＳ７０２で、ステップＳ６０１で保存された座
標を左上の座標、ステップＳ７０１において保存された
座標を右下の座標として矩形画面２０９を表示する。次
に、ステップＳ７０３で、”右下入力”画面２１０を消
し、ステップＳ７０４で、”倍率入力”画面２１１ａを
表示し、グラフィック・ユーザ・インタフェースの状態
は図２（ｄ）で示される倍率入力待ち状態の画面２０４
になる（図３のＳ３０４）。
【００２２】倍率入力待ち状態（図２（ｄ））におい
て、”倍率入力”画面２１１ａ上の”２”ボタン、２１
１ｂ”４”ボタン２１１ｃ及び”８”ボタン２１１ｄの
いずれかを押すことにより所定の倍率を入力することに
よって、図８に示す処理４が行われる。すなわち、図８
において、ステップＳ８０１で、入力された倍率を保存
し、ステップＳ８０２において”倍率入力”画面２１１
ａを消し、ステップＳ８０３で、ステップＳ６０１にお
いて保存された座標を左上とすると共に、ステップＳ７
０１において保存された座標を右下とした矩形画面２０
９で規定されたビットマップを画面から取り出す。ステ
ップＳ８０４では、ステップＳ８０３において取り出さ
れたビットマップをステップＳ８０１において保存され
た倍率で拡大する。次いで、ステップＳ８０５で、図２
（ｅ）の画面２０５に示すように、ステップＳ８０４に
おいて拡大されたビットマップに合わせてウィンドウ状
の拡大画面２１２を作成し、その拡大画面２１２に拡大
されたビットマップを張り付けて拡大画面２１２として
表示し、グラフィック・ユーザ・インタフェースの状態
は図２（ｅ）に示された座標入力待ち状態の画面２０５
になる（図３のＳ３０５）。
て、”倍率入力”画面２１１ａ上の”２”ボタン、２１
１ｂ”４”ボタン２１１ｃ及び”８”ボタン２１１ｄの
いずれかを押すことにより所定の倍率を入力することに
よって、図８に示す処理４が行われる。すなわち、図８
において、ステップＳ８０１で、入力された倍率を保存
し、ステップＳ８０２において”倍率入力”画面２１１
ａを消し、ステップＳ８０３で、ステップＳ６０１にお
いて保存された座標を左上とすると共に、ステップＳ７
０１において保存された座標を右下とした矩形画面２０
９で規定されたビットマップを画面から取り出す。ステ
ップＳ８０４では、ステップＳ８０３において取り出さ
れたビットマップをステップＳ８０１において保存され
た倍率で拡大する。次いで、ステップＳ８０５で、図２
（ｅ）の画面２０５に示すように、ステップＳ８０４に
おいて拡大されたビットマップに合わせてウィンドウ状
の拡大画面２１２を作成し、その拡大画面２１２に拡大
されたビットマップを張り付けて拡大画面２１２として
表示し、グラフィック・ユーザ・インタフェースの状態
は図２（ｅ）に示された座標入力待ち状態の画面２０５
になる（図３のＳ３０５）。
【００２３】座標入力待ち状態（図２（ｅ））におい
て、拡大画面２１２の領域内における任意の座標を指２
１３ｅで入力することにより、図９に示す処理５が行わ
れる。すなわち、図９において、ステップＳ９０１で、
指２１３ｅにより入力された座標の拡大画面２１２に対
する位置を拡大画面２１２の左上の座標を基準として計
算し、ステップＳ９０２で、ステップＳ９０１において
計算した位置をステップＳ８０１において保存した倍率
で割ることにより、拡大する前の矩形画面２０９におけ
る左上からの位置を計算し、ステップＳ９０３におい
て、前記位置をステップＳ６０１において保存された座
標に足すことにより、指２１３ｅで拡大画面２１２に対
して入力された座標の元の矩形画面２０９に対する座標
を求める。次に、ステップＳ９０４で、ステップＳ９０
３で求められた座標上に存在するウィンドウの内、最も
前面に出ているウィンドウを得、ステップＳ９０５で、
ステップＳ９０４で得たウィンドウが拡大画面２１２で
ないか否かの判定を行い、もし、ステップＳ９０４で得
られたウィンドウが拡大画面２１２であるならば、ステ
ップＳ９０６に進み、拡大画面２１２の下にあるウィン
ドウの内、最も前面に出ているウィンドウを得、次いで
ステップＳ９０７に進む。ステップＳ９０５において、
ステップＳ９０４で得られたウィンドウが拡大画面２１
２でないならば、ステップＳ９０６をスキップしてステ
ップＳ９０７に進む。
て、拡大画面２１２の領域内における任意の座標を指２
１３ｅで入力することにより、図９に示す処理５が行わ
れる。すなわち、図９において、ステップＳ９０１で、
指２１３ｅにより入力された座標の拡大画面２１２に対
する位置を拡大画面２１２の左上の座標を基準として計
算し、ステップＳ９０２で、ステップＳ９０１において
計算した位置をステップＳ８０１において保存した倍率
で割ることにより、拡大する前の矩形画面２０９におけ
る左上からの位置を計算し、ステップＳ９０３におい
て、前記位置をステップＳ６０１において保存された座
標に足すことにより、指２１３ｅで拡大画面２１２に対
して入力された座標の元の矩形画面２０９に対する座標
を求める。次に、ステップＳ９０４で、ステップＳ９０
３で求められた座標上に存在するウィンドウの内、最も
前面に出ているウィンドウを得、ステップＳ９０５で、
ステップＳ９０４で得たウィンドウが拡大画面２１２で
ないか否かの判定を行い、もし、ステップＳ９０４で得
られたウィンドウが拡大画面２１２であるならば、ステ
ップＳ９０６に進み、拡大画面２１２の下にあるウィン
ドウの内、最も前面に出ているウィンドウを得、次いで
ステップＳ９０７に進む。ステップＳ９０５において、
ステップＳ９０４で得られたウィンドウが拡大画面２１
２でないならば、ステップＳ９０６をスキップしてステ
ップＳ９０７に進む。
【００２４】次に、ステップＳ９０７で、ステップＳ９
０４若しくはステップＳ９０６において得られたウィン
ドウに対し、ポインティングイベントを送信し、擬似的
にボタンが押された状態にする。次いで、ステップＳ９
０８で、拡大画面２１２を消し、ステップＳ９０９で、
ステップＳ５０１にいて占有されたポインタを解除し、
終了する。
０４若しくはステップＳ９０６において得られたウィン
ドウに対し、ポインティングイベントを送信し、擬似的
にボタンが押された状態にする。次いで、ステップＳ９
０８で、拡大画面２１２を消し、ステップＳ９０９で、
ステップＳ５０１にいて占有されたポインタを解除し、
終了する。
【００２５】本発明の実施の形態によれば、指により座
標入力が行われるタッチパネル画面において任意の領域
としての矩形画面２０９を拡大し、この拡大された拡大
画面２１２に入力された座標をもとの矩形画面２０９に
おける座標に変換するので、指で座標入力を行うタッチ
パネル画面におけるグラフィック・ユーザ・インタフェ
ースとしてボタンを作成するにあたって、大きさを気に
することなくボタン作成をすることができ、また、通常
のマウスでの座標入力によって操作することを考慮した
アプリケーションを指での座標入力によって操作するこ
とができる。
標入力が行われるタッチパネル画面において任意の領域
としての矩形画面２０９を拡大し、この拡大された拡大
画面２１２に入力された座標をもとの矩形画面２０９に
おける座標に変換するので、指で座標入力を行うタッチ
パネル画面におけるグラフィック・ユーザ・インタフェ
ースとしてボタンを作成するにあたって、大きさを気に
することなくボタン作成をすることができ、また、通常
のマウスでの座標入力によって操作することを考慮した
アプリケーションを指での座標入力によって操作するこ
とができる。
【００２６】以下、本実施の形態の変形例について説明
する。
する。
【００２７】本実施の形態は、半導体製造装置に用いら
れるウエハの座標の入力装置に用いられてもよい。この
場合のグラフィック・ユーザ・インタフェース装置は、
指により座標入力が行われるタッチパネル画面において
該ウエハの画面を拡大し、該拡大されたウエハの画面に
入力された座標をもとのウエハの画面における座標に変
換する変換ユニットと、前記変換された座標に対する座
標入力イベントを送信する送信ユニットとを有する。こ
こに、座標入力イベントとは、座標入力されたことをプ
ログラムに対して知らせるための割込み処理のことであ
る。
れるウエハの座標の入力装置に用いられてもよい。この
場合のグラフィック・ユーザ・インタフェース装置は、
指により座標入力が行われるタッチパネル画面において
該ウエハの画面を拡大し、該拡大されたウエハの画面に
入力された座標をもとのウエハの画面における座標に変
換する変換ユニットと、前記変換された座標に対する座
標入力イベントを送信する送信ユニットとを有する。こ
こに、座標入力イベントとは、座標入力されたことをプ
ログラムに対して知らせるための割込み処理のことであ
る。
【００２８】また、本実施の形態は、ステップ・アンド
・リピート方式によってレクチル上のパターンをウエハ
上の各露光領域に投影して露光する半導体露光装置にお
ける、当該装置の情報の表示・入力装置に用いられても
よい。この場合のグラフィック・ユーザ・インタフェー
ス装置は、指により座標入力が行われるタッチパネル画
面において該ウエハの画面を拡大し、該拡大されたウエ
ハ画面に入力された座標をもとのウエハの画面における
座標に変換する変換ユニットと、前記変換された座標に
対する座標入力イベントを送信する送信ユニットとを有
する。ここに、レクチルとは、素子の回路の原図が描か
れている遮光膜のついたガラス板のうち、原図が拡大さ
れるものである。
・リピート方式によってレクチル上のパターンをウエハ
上の各露光領域に投影して露光する半導体露光装置にお
ける、当該装置の情報の表示・入力装置に用いられても
よい。この場合のグラフィック・ユーザ・インタフェー
ス装置は、指により座標入力が行われるタッチパネル画
面において該ウエハの画面を拡大し、該拡大されたウエ
ハ画面に入力された座標をもとのウエハの画面における
座標に変換する変換ユニットと、前記変換された座標に
対する座標入力イベントを送信する送信ユニットとを有
する。ここに、レクチルとは、素子の回路の原図が描か
れている遮光膜のついたガラス板のうち、原図が拡大さ
れるものである。
【００２９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項１の
グラフィック・ユーザ・インタフェース装置によれば、
指により座標入力が行われるタッチパネル画面において
任意の領域を拡大し、この拡大された領域に入力された
座標をもとの任意の領域における座標に変換するので、
指で座標入力を行うタッチパネル画面におけるグラフィ
ック・ユーザ・インタフェースとしてボタンを作成する
にあたって、大きさを気にすることなくボタン作成をす
ることができ、また、通常のマウスでの座標入力によっ
て操作することを考慮したアプリケーションを指での座
標入力によって操作することができる。その結果、ユー
ザにとっては操作を容易にし、アプリケーションプログ
ラム作成者にとってプはログラム作成作業を簡略化せる
ことができる。
グラフィック・ユーザ・インタフェース装置によれば、
指により座標入力が行われるタッチパネル画面において
任意の領域を拡大し、この拡大された領域に入力された
座標をもとの任意の領域における座標に変換するので、
指で座標入力を行うタッチパネル画面におけるグラフィ
ック・ユーザ・インタフェースとしてボタンを作成する
にあたって、大きさを気にすることなくボタン作成をす
ることができ、また、通常のマウスでの座標入力によっ
て操作することを考慮したアプリケーションを指での座
標入力によって操作することができる。その結果、ユー
ザにとっては操作を容易にし、アプリケーションプログ
ラム作成者にとってプはログラム作成作業を簡略化せる
ことができる。
【００３０】請求項３のグラフィック・ユーザ・インタ
フェース装置によれば、半導体製造装置に用いられるウ
エハの座標の入力装置において、ユーザにとっては操作
を容易にし、アプリケーションプログラム作成者にとっ
てプはログラム作成作業を簡略化せることができる。
フェース装置によれば、半導体製造装置に用いられるウ
エハの座標の入力装置において、ユーザにとっては操作
を容易にし、アプリケーションプログラム作成者にとっ
てプはログラム作成作業を簡略化せることができる。
【００３１】請求項５のグラフィック・ユーザ・インタ
フェース装置によれば、ステップ・アンド・リピート方
式によってレクチル上のパターンをウエハ上の各露光領
域に投影して露光する半導体露光装置における、当該装
置の情報の表示・入力装置において、ユーザにとっては
操作を容易にし、アプリケーションプログラム作成者に
とってプはログラム作成作業を簡略化せることができ
る。
フェース装置によれば、ステップ・アンド・リピート方
式によってレクチル上のパターンをウエハ上の各露光領
域に投影して露光する半導体露光装置における、当該装
置の情報の表示・入力装置において、ユーザにとっては
操作を容易にし、アプリケーションプログラム作成者に
とってプはログラム作成作業を簡略化せることができ
る。
【図１】本発明の実施の形態に係るグラフィック・ユー
ザ・インタフェースを動作させる装置の構成を示すプロ
ック図である。
ザ・インタフェースを動作させる装置の構成を示すプロ
ック図である。
【図２】図１の構成におけるタッチパネル画面１０１の
表示例である。
表示例である。
【図３】本発明の実施の形態に係るグラフィック・ユー
ザ・インタフェースの状態の移り変わりを示す状態遷移
図である。
ザ・インタフェースの状態の移り変わりを示す状態遷移
図である。
【図４】図３の遷移状態図における処理０のフローチャ
ートである。
ートである。
【図５】図３の遷移状態図における処理１のフローチャ
ートである。
ートである。
【図６】図３の遷移状態図における処理２のフローチャ
ートである。
ートである。
【図７】図３の遷移状態図における処理３のフローチャ
ートである。
ートである。
【図８】図３の遷移状態図における処理４のフローチャ
ートである。
ートである。
【図９】図３の遷移状態図における処理５のフローチャ
ートである。
ートである。
１０１ タッチパネル画面 １０２ ＣＰＵ １０３ 外部メモリ １０４ キーボード ２０１〜２０５ 画面 ２０６ アプリケーション ２０７ スタートボタン ２０８ ”左上入力”画面 ２０９ 矩形画面 ２１０ ”右下入力”画面 ２１１ａ ”倍率入力”画面 ２１２ｂ〜２１２ｄ ボタン ２１３ａ〜２１３ｅ 指
Claims (6)
- 【請求項１】 指により座標入力が行われるタッチパネ
ル画面において任意の領域を拡大し、この拡大された領
域に入力された座標を元の任意の領域における座標に変
換する変換手段を有することを特徴とするグラフィック
・ユーザ・インタフェース装置。 - 【請求項２】 前記拡大された画面を表示しているウィ
ンドウを前記座標入力が行われた時に消去する消去手段
を有することを特徴とする請求項１記載のグラフィック
・ユーザ・インタフェース装置。 - 【請求項３】 指により座標入力が行われるタッチパネ
ル画面において半導体製造に用いられるウエハの座標を
指により入力する場合、該ウエハの画面を拡大し、該拡
大されたウエハの画面に入力された座標をもとのウエハ
の画面における座標に変換する変換手段と、前記変換さ
れた座標に対する座標入力イベントを送信する送信手段
を有することを特徴とするグラフィック・ユーザ・イン
タフェース装置。 - 【請求項４】 前記拡大された画面を表示しているウィ
ンドウを前記座標入力が行われた時に消去する消去手段
を有することを特徴とする請求項３記載のグラフィック
・ユーザ・インタフェース装置。 - 【請求項５】 ステップ・アンド・リピート方式によっ
てレクチル上のパターンをウエハ上の各露光領域に投影
して露光する半導体露光装置における、当該装置の情報
の表示・入力を行うタッチパネル画面において、該ウエ
ハの画面を拡大し、該拡大されたウエハ画面に入力され
た座標をもとのウエハの画面における座標に変換する変
換手段と、前記変換された座標に対する座標入力イベン
トを送信する送信手段とを有することを特徴とするグラ
フィック・ユーザ・インタフェース装置。 - 【請求項６】 前記拡大された画面を表示しているウィ
ンドウを前記座標が入力された時に消去する消去手段を
有することを特徴とする請求項５記載のグフフィック・
ユーザ・インタフェース装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6745996A JPH09237156A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | グラフィック・ユーザ・インタフェース装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6745996A JPH09237156A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | グラフィック・ユーザ・インタフェース装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09237156A true JPH09237156A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=13345560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6745996A Pending JPH09237156A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | グラフィック・ユーザ・インタフェース装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09237156A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009116823A (ja) * | 2007-11-09 | 2009-05-28 | Canon Inc | 表示装置及び方法及びプログラム |
| JP2014052256A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Nikon Corp | 画像測定用プログラム、画像測定機、及び画像測定方法 |
| JP2017106932A (ja) * | 2017-03-09 | 2017-06-15 | 株式会社ニコン | 画像測定用プログラム、画像測定機、及び画像測定方法 |
-
1996
- 1996-02-29 JP JP6745996A patent/JPH09237156A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009116823A (ja) * | 2007-11-09 | 2009-05-28 | Canon Inc | 表示装置及び方法及びプログラム |
| JP2014052256A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Nikon Corp | 画像測定用プログラム、画像測定機、及び画像測定方法 |
| JP2017106932A (ja) * | 2017-03-09 | 2017-06-15 | 株式会社ニコン | 画像測定用プログラム、画像測定機、及び画像測定方法 |
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