CN102375447A

CN102375447A - 远程操作系统

Info

Publication number: CN102375447A
Application number: CN2011102302924A
Authority: CN
Inventors: 落合弘毅; 藤泰行
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2010-08-13
Filing date: 2011-08-11
Publication date: 2012-03-14
Also published as: JP2012043041A

Abstract

本发明提供一种远程操作系统，比以往更高效地对多个加工装置进行操作。该远程操作系统通过远程操作PC(4)对多个加工装置(3a～3n)进行远程操作，该多个加工装置(3a～3n)具有：保持工件的保持部(36a)，对由保持部(36a)所保持的工件进行加工的加工部(36b)，对由保持部(36a)所保持的工件进行拍摄的摄像部(36c)，对这些部件进行控制的控制部(31)，该远程操作系统的特征在于，能在远程操作PC(4)的显示部(42)上显示对多个加工装置(3a～3n)进行显示的选择图像、和用于对从该选择图像中选择的加工装置(3)进行操作的操作图像，通过该操作图像选择性地对在选择图像中显示的多个加工装置(3a～3n)进行操作。

Description

远程操作系统

技术领域

本发明涉及远程操作系统，尤其涉及远程操作对半导体晶片等被加工物实施加工处理的多个加工装置的远程操作系统。

背景技术

形成有多个IC、LSI等器件的晶片在背面被磨削并形成为预定厚度后，被切割装置等加工装置分割为一个个的器件并用于移动电话、个人计算机等电子设备。

例如，在切割装置中，通过将高速旋转的切削刀片配置于被保持单元所保持的被加工物上的加工位置，并使切削刀片和保持单元相对移动，从而实施仅切削刀片切入的量的切削加工(例如参照专利文献1)。

在这种切割装置中，公知有各个均装备操作面板的切割装置(例如参照专利文献2)。该操作面板在操作者输入对切割装置的指示时，或者对由搭载在切割装置上的摄像单元所拍摄的被加工物的信息进行显示时利用。

【专利文献1】日本特开2003-334751号公报

【专利文献2】日本特开2009-117776号公报

另外，一般在工厂内设置有多个切割装置等在操作中需要被加工物的摄像信息的加工装置。在这样设置了多个切割装置的环境下，用各个操作面板对各个装置进行操作没有效率。

发明内容

本发明正是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于提供一种能够比以往更高效地对多个加工装置进行操作的远程操作系统。

本发明的远程操作系统对加工装置进行远程操作，该加工装置具有：保持工件的保持单元；对由所述保持单元所保持的工件进行加工的加工单元；对由所述保持单元所保持的工件进行拍摄的摄像单元；以及对所述保持单元、加工单元和摄像单元进行控制的控制单元，该远程操作系统的特征在于，该远程操作系统具有终端单元，该终端单元具有能够选择性地与多个所述加工装置的所述控制单元连接的显示部，所述显示部能够显示对多个所述加工装置进行显示的选择图像、和用于对从显示在所述选择图像中的多个所述加工装置中选择的加工装置进行操作的操作图像，所述操作图像包含由所述摄像单元取得的摄像图像和对所述控制单元输入指示的指示输入图像，能够通过所述操作图像选择性地对显示在所述选择图像中的多个加工装置进行操作。

根据上述远程操作系统，在终端单元的显示部上显示对多个加工装置进行显示的选择图像、和用于对从选择图像上的多个加工装置中选择的加工装置进行操作的操作图像，因此能够在终端单元中经由操作图像对多个加工装置进行选择性操作，因此能够省略使用各个加工装置的操作面板的个别的操作输入，从而能够比以往更高效地对多个加工装置进行操作。

在本发明的远程操作系统中，优选所述加工装置具有显示所述操作图像的操作单元，在从所述选择图像中选择的所述加工装置的所述操作单元上所显示的所述操作图像中，显示处于能够从所述终端单元进行操作的状态的情况。

此外，在本发明的远程操作系统中，优选在所述选择图像中，显示所显示的多个所述加工装置的工作状态。

根据本发明，能够比以往更高效地对多个加工装置进行操作。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的远程操作系统的网络构成图。

图2是上述实施方式的远程操作系统具有的远程操作PC和加工装置的功能框图。

图3是示出上述实施方式的远程操作PC的显示部所显示的选择图像的一例的图。

图4是示出上述实施方式的加工装置的操作面板所显示的操作图像的一例的图。

图5是示出上述实施方式的加工装置的操作面板所显示的摄像图像的一例的图。

图6是用于说明在上述实施方式的远程操作系统中，由远程操作PC进行加工装置的远程操作时的动作的序列图。

标号说明

1：远程操作系统；2：工厂；3、3a～3n：加工装置；31：控制部；32：操作面板；33：存储部；34：通信部；35：VNC处理部；35a：图像数据取得部；35b：图像数据发送部；35c：输入事件接收部；35d：输入事件执行部；4：远程操作PC；41：控制部；42：显示部；43：存储部；44：操作部；45：通信部；46：VNC处理部；46a：图像数据接收部；46b：图像数据显示部；46c：输入事件取得部；46d：输入事件发送部；301：装置状态显示区域；302：装置选择键；401：主菜单区域；402：快捷菜单区域；403：状态显示区域。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的一个实施方式进行详细说明。本发明的一个实施方式的远程操作系统用配备在多个加工装置的远程处的构成远程操作装置的个人计算机(以下称作「pc」)对这多个加工装置进行远程操作，这多个加工装置对被加工物(工件)实施加工处理。

另外，本实施方式的远程操作系统中的被加工物(工件)没有特别限定，例如包含硅晶片(Si)，或砷化镓(GaAs)、碳化硅(SiC)等的半导体晶片，或作为芯片装配用而设置于晶片的背面的DAF(Die Attach Film：晶片贴膜)等粘接部件，或者半导体产品的封装，陶瓷、玻璃、蓝宝石(Al₂O₃)类的无机材料基板，液晶显示器驱动器等各种电子部件等。

此外，作为本实施方式的远程操作系统中的远程操作对象的加工装置没有特别限定，例如包含对工件实施切削加工的切割装置、对工件实施研磨磨削加工的研磨磨削装置、对设置于晶片的背面的DAF等粘接部件进行拉伸的扩展装置、对工件实施激光加工的激光加工装置(例如激光开孔装置)等。

图1是本发明的一个实施方式的远程操作系统1的网络构成图。如图1所示，远程操作系统1例如对配备在工厂2中的多个加工装置3a～3n、和配备在工厂2的远程处的远程操作PC 4进行网络连接来构成。另外，远程操作PC 4构成终端单元，多个加工装置3a～3n构成被远程操作PC 4远程操作的装置(被远程操作装置)。这里，示出了将远程操作PC 4配备在工厂2的远程处的情况，但是还能够配备在工厂2内。

远程操作PC 4例如通过由以太网(注册商标)构建的LAN(Local Area Network：局域网)5与多个加工装置3a～3n连接。另外，关于连接远程操作PC 4和多个加工装置3a～3n的网络，不限于LAN 5，还能够采用WAN(Wide Area Network：广域网)或者互联网。此外，关于这些网络的连接形式，可以是有线连接、或者无线连接。远程操作PC 4构成为可经由这些网络与多个加工装置3a～3n的后述的控制部31连接。

在本实施方式的远程操作系统1中，利用VNC(Virtual Network Computing：虚拟网络计算)，实现了远程操作PC 4对加工装置3a～3n的远程操作。即，远程操作PC 4能够一边确认在构成加工装置3a～3n的显示部的操作面板上所显示的图像，一边对这些加工装置3a～3n进行远程操作。

图2是本实施方式的远程操作系统1具有的远程操作PC 4和加工装置3a～3n的功能框图。另外，在图2所示的远程操作PC 4和加工装置3a～3n中，为了方便说明，仅示出了与本发明关联的构成要素。此外，加工装置3a～3n由于具有相同的构成，因此以加工装置3a为代表说明其构成，省略加工装置3b～3n的构成说明。

如图2所示，远程操作PC 4具有进行装置整体的控制的控制部41。控制部41例如具有CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)等，通过将在ROM中所存储的程序展开到RAM并由CPU执行，从而执行各加工装置3a～3n的远程操作处理等。在该控制部41上连接有显示部42、存储部43、操作部44、通信部45和VNC处理部46，构成为可在控制部41的控制下进行动作。

显示部42对在远程操作PC 4中使用的各种信息进行显示。例如，显示部41对用于选择要进行远程操作的加工装置3a～3n的选择图像、或者从进行远程操作的加工装置3a～3n发送的操作图像等进行显示。另外，关于这些选择图像和操作图像的构成将后述。

存储部43对在远程操作PC 4中使用的各种信息进行存储。例如，存储部43存储如下信息等：用于在显示部43上显示选择图像的信息、从加工装置3a～3n发送的与装置相关的信息(以下称作「装置信息」)和用于显示操作图像的信息。另外，还能够将存储部43用作控制部41的ROM或RAM。

操作部44例如由键盘或指示设备等构成，接收来自操作者的对远程操作PC 4的指示。例如，操作部44接收用于本远程操作系统的程序(以下称作「远程操作程序」)的起动指示、或者从在显示部42上所显示的选择图像中选择成为远程操作对象的加工装置3a～3n的选择指示。

通信部45经由LAN 5控制与加工装置3a～3n之间的通信。例如，通信部45经由LAN 5对加工装置3a～3n发送请求装置信息的控制信号(装置信息请求信号)，另一方面，从加工装置3a～3n接收对该装置信息请求信号进行响应的装置信息。

VNC处理部46具有作为与加工装置3a～3n的图像共享相关的构成要素的图像数据接收部46a和图像数据显示部46b。图像数据接收部46a接收从加工装置3a～3n发送的图像数据。图像数据显示部46b将由图像数据接收部46a接收到的图像数据显示在显示部42上。

此外，VNC处理部46具有作为与对加工装置3a～3n的操作输入相关的构成要素的输入事件取得部46c和输入事件发送部46d。输入事件取得部46c取得通过对操作部44的操作输入而生成的输入事件信号。输入事件发送部46d将由输入事件取得部46c取得的输入事件信号发送到加工装置3a～3n。

另一方面，加工装置3a具有作为进行装置整体的控制的控制单元的控制部31。控制部31例如具有CPU、RAM、ROM等，通过将在ROM中所存储的程序展开到RAM并由CPU执行，从而执行加工装置3a中的加工处理等。在该控制部31上连接有操作面板32、存储部33、通信部34、VNC处理部35和加工机构36，构成为可在控制部31的控制下进行动作。

操作面板32作为显示部和操作部发挥功能，例如由触摸面板构成。操作面板32对在加工装置3a中使用的各种信息进行显示，并且接收来自操作者的对加工装置3a的指示。例如，操作面板32对用于操作加工装置3a的操作图像、和由后述的加工机构36的摄像部36c拍摄的摄像图像等进行显示。并且，操作面板32从操作图像接收对后述的加工机构36的加工指示。

存储部33对在加工装置3a中使用的各种信息进行存储。例如，存储部33对包含加工装置3a中的状态信息的装置信息、和用于将操作图像显示在操作面板32上的信息等进行存储。另外，还能够将存储部33用作控制部31的ROM或RAM。

通信部34经由LAN 5控制与远程操作PC 4之间的通信。例如，通信部34经由LAN 5从远程操作PC 4接收装置信息请求信号，另一方面，针对该装置信息请求信号向远程操作PC 4发送装置信息。

VNC处理部35具有作为与远程操作PC 4的图像共享相关的构成要素的图像数据取得部35a和图像数据发送部35b。图像数据取得部35a从存储部33取得在操作面板32上所显示的图像数据。图像数据发送部35b将由图像数据取得部35a取得的图像数据发送到远程操作PC 4。

此外，VNC处理部35具有作为与来自远程操作PC 4的操作输入相关的构成要素的输入事件接收部35c和输入事件执行部35d。输入事件接收部35c接收从远程操作PC 4发送来的输入事件信号。输入事件执行部35d在加工装置3a上执行针对由输入事件接收部35c接收到的输入事件信号的输入事件。

加工机构36具有：作为保持工件的保持单元的保持部36a、作为对由该保持部36a所保持的工件进行加工的加工单元的加工部36b、和作为对由保持部36a所保持的工件进行拍摄的摄像单元的摄像部36c。例如，在加工装置3a由切割装置构成的情况下，加工部36b具有构成为可高速旋转的切削刀片，使该切削刀片和保持工件的保持部36a相对移动来进行工件的切削加工。此外，摄像部36c在由保持部36a所保持的工件的切削位置的调整工序、和切削加工结果的确认工序等中拍摄工件的一部分或全部。

另外，在加工装置3a由切割装置以外的加工装置构成的情况下，主要是加工部36b的构成不同。例如，在加工装置3a由磨削研磨装置构成的情况下，加工部36b具有构成为可高速旋转的磨削模具，使该磨削模具和保持工件的保持部36a相对旋转来进行工件的磨削研磨加工。

在本实施方式的远程操作系统1中，加工装置3a～3n中的VNC处理部35作为图像共享服务器发挥功能，远程操作PC 4中的VNC处理部46作为图像共享客户机发挥功能。在远程操作系统1中，加工装置3a～3n中的VNC处理部35根据来自远程操作PC 4的图像请求，发送在操作面板32上所显示的操作图像的图像数据，由此即使在远程操作PC 4的显示部42上也能显示相同的操作图像。并且，通过操作者一边确认该操作图像一边经由操作部44进行操作输入，远程操作PC 4的VNC处理部46将对应于操作输入的输入事件信号发送到加工装置3a～3n，由此能够在加工装置3a～3n中执行对应于输入事件信号的处理。由此在远程操作PC 4中实现加工装置3a～3n的远程操作。

这里，对在远程操作PC 4的显示部42上所显示的选择图像的构成例、和在加工装置3a～3n的操作面板32上所显示的操作图像的构成例进行说明。图3是示出在本实施方式的远程操作PC 4的显示部42上所显示的选择图像的一例的图。图4是示出在本实施方式的加工装置3的操作面板32上所显示的操作图像的一例的图。另外，在图4中，示出了加工装置3a～3n由切割装置构成时的操作图像的一例。另外，以下，为了方便说明，除了特殊需要的情况以外，将多个加工装置3a～3n称作加工装置3。

如图3所示，在显示于远程操作PC 4的显示部42上的选择图像中，包含统一显示多个加工装置3的状态的装置状态显示区域301。在该装置状态显示区域301中，排列有与可由远程操作系统1进行远程操作的多个加工装置3对应的装置选择键302。这些装置选择键302在远程操作PC 4的操作者选择要进行远程操作的加工装置3时利用。即，远程操作PC 4的操作者能够通过从图3所示的选择图像中选择特定的装置选择键302，选择要进行远程操作的加工装置3。

装置选择键302构成为能够根据其显示形式识别各个加工装置3的状态。例如，装置选择键302构成为能够根据其有无外框和配色来识别加工装置3的状态。例如，对与远程操作系统1连接的加工装置3分配有外框的装置选择键302，对没有连接的加工装置3分配无外框的装置选择键302。此外，对待机中(非工作中)的加工装置3分配浅灰色的装置选择键302，对加工处理中(工作中)的加工装置3分配绿色的装置选择键302，对处于错误状态的加工装置3分配红色的装置选择键302。

在远程操作PC 4中显示的选择图像的装置状态显示区域301中，这样通过有无外框和配色来显示加工装置3的状态，因此操作者能够统一判断多个加工装置3的状态，从而能够顺利地选择要进行远程操作的加工装置3。尤其是，在装置状态显示区域301中，显示了多个加工装置3的工作状态，因此远程操作PC 4的操作者能够高效选择可进行远程操作的加工装置3。并且，在装置状态显示区域301中显示了加工装置3的错误状态，因此能够通过选择对应的加工装置3，调查错误要因，或者采取排除错误要因的处理。

另外，此处对如下情况进行了说明：在选择图像中，通过装置选择键302的显示形式统一显示各加工装置3的工作状态或错误状态，作为多个加工装置3的状态。但是，关于在选择图像中所显示的多个加工装置3的状态，不限于此而能够适当进行变更。例如，还能够通过显示形式或文字信息对加工装置3的加工历史(加工实绩和加工精度等)及维护历史进行显示。在这样在选择图像中包含加工历史和维护历史的情况下，操作者能够根据这些信息选择期望的加工装置3(例如加工精度高的加工装置3)。

如图4所示，在加工装置3的操作面板32上所显示的操作图像中，包含以下区域：主菜单区域401，其包含针对加工装置3的多个操作输入菜单；快捷菜单区域402，其包含针对利用频度高的操作输入菜单的快捷菜单；状态显示区域403，其显示当前的加工装置3的状态；以及操作输入区域404，其包含后述的传感器键404a和报警/清除键404b等。

在主菜单区域401中显示有如下等操作输入键(以下适当称作「主菜单键」)：在加工装置3的工作指示时选择的全自动键401a和手动操作键401b，在工件固有的信息输入/确认时选择的器件数据键401c，在与切削刀片相关的信息输入/确认时选择的刀片维护键401d，以及在针对加工装置3的各种设定信息的输入/确认时选择的操作者维护键401e、机器维护键401f和工程维护键401g。加工装置3的操作者能够通过对这些主菜单键进行选择来指示针对加工装置3的期望操作。另外，这些主菜单键构成向加工装置3的控制部31输入指示的指示输入图像的一部分。

在快捷菜单区域402中显示有如下等操作输入键(以下适当称作「快捷菜单键」)：在切削刀片的更换时或维护时选择的刀片/装配键402a、在更换收纳了多个工件的盒时选择的新/盒键402b、在构成保持部36b的卡盘台(C/T)中的真空压力信息的设定/确认时选择的C/T真空键402c、在英文字母或数字等的输入时选择的输入键402d。主菜单键具有分级结构，在指示期望操作以前需要多个选择动作。与此相对，利用快捷菜单键，与使用主菜单键的情况相比加工装置3的操作者减少操作输入键的选择动作，并且能够指示针对加工装置3的期望操作。另外，这些快捷菜单键构成向加工装置3的控制部31输入指示的指示输入图像的一部分。

在状态显示区域403中，显示当前的加工装置3的状态是否为远程操作PC 4的远程操作状态。具体而言，如图4所示，显示通过远程操作PC 4开始远程操作状态的日期和时刻信息、和表示远程操作状态的通知信息(Remote Ct1)。由此，在操作图像的状态显示区域403中显示加工装置3是否为远程操作状态，因此加工装置3的操作者能够立即判断是否能操作加工装置3。

另外，该状态显示区域403作为显示可从远程操作PC 4进行远程操作的状态的区域发挥功能。即，在状态显示区域403中没有显示表示远程操作状态的通知信息(Remote Ct1)的情况下，表示加工装置3是可通过远程操作PC 4进行远程操作的状态。这样在状态显示区域403中示出了加工装置3是否为可进行远程操作的状态，因此操作者能够识别可利用远程操作PC 4对加工装置3进行远程操作。

在操作输入区域404中显示有如下等操作输入键：在检测卡盘台的真空压力信息等的传感器输出值的确认时选择的传感器键404a、和在伴随紧急事态的发生或避免而输出或停止警报时选择的报警/清除键404b。加工装置3的操作者能够通过选择显示在操作输入区域404中的这些操作输入键，在紧急时等迅速向加工装置3指示必要的处理。

在具有这种构成的操作图像中，当经由主菜单键或快捷菜单键选择了特定的操作输入键时，对加工机构36中的摄像部36c指示拍摄由保持部36a所保持的工件的一部分，并将其摄像图像显示为操作图像的一部分或全部。

例如，在从操作图像上选择了指示示教模式的操作输入键时，向摄像部36c给出摄像指示。此处，示教模式是指如下模式：对加工装置3登记作为进行校准处理所需的基准的校准图案(图像)和切断预定线(间隔道)的信息(参照图5)。能够利用示教模式，在加工装置3中存储目标(标记)T的形状、和从目标T到切断预定线的距离。另外，操作者一边确认由摄像部36c拍摄的画面一边手动进行该示教模式中的具体作业。校准处理是指如下处理：在加工装置3中自动开始加工处理时，根据在示教模式中存储的目标T的形状以及从目标T到切断预定线的距离自动从工件上检测切断线。

图5是示出在加工装置3的操作面板32上所显示的摄像图像的一例的图。在图5中，示出了从操作图像上选择了指示示教模式的操作输入键时的摄像图像的一例。在图5所示的摄像图像中，显示了对由保持部36a所保持的工件的表面进行放大后的摄像图像。如上所述，在示教模式中，根据图5所示的摄像图像，通过操作者的手动作业在加工装置3中登记目标T的形状、和从目标T到切断预定线L1、L2的距离D1、D2。在操作图像中，这样根据来自操作图像上的操作输入显示图5所示的摄像图像。

在通过远程操作PC 4进行了加工装置3的远程操作的情况下，这种操作图像(包含在一部分或全部中显示摄像图像的操作图像)也显示在远程操作PC 4的显示部42上。这样在远程操作PC 4的显示部42上显示图4所示的操作图像或图5所示的摄像图像，因此远程操作PC 4的操作者能够以与确认在作为远程操作对象的加工装置3的操作面板302上所显示的操作图像同样的要领，进行该加工装置3的远程操作。

下面，对在本实施方式的远程操作系统1中，用远程操作PC 4进行加工装置3的远程操作时的动作进行说明。图6是用于说明在本实施方式的远程操作系统1中，用远程操作PC 4进行加工装置3的远程操作时的动作的序列图。另外，在图6中，为了方便说明，仅示出了被远程操作的单个加工装置3。

如图6所示，在远程操作PC 4中，当通过操作者经由操作部44指示远程操作程序的起动时，远程操作程序起动，在显示部42上显示选择图像(步骤(以下称作「ST」)601)。另外，此处，显示没有反映加工装置3的当前状态的选择图像。当显示了该选择图像时，从远程操作PC 4对多个加工装置3发送请求装置信息的控制信号(以下称作「装置信息请求信号」)(ST602)。

当从远程操作PC 4接收到装置信息请求信号时，在各加工装置3中取得在存储部33中所保持的装置信息(例如表示处于加工处理中或错误状态的状态信息)。并且，将所取得的装置信息发送到远程操作PC 4(ST603)。另外，在从加工装置3发送到远程操作PC 4的装置信息中，也能够包含加工历史和维护历史等信息。

在从各加工装置3接收到装置信息时，如图3所示，在显示部42上显示反映了各加工装置3的状态的选择图像。在这样显示了选择图像的状态下，当从操作者经由操作部44进行了要进行远程操作的特定加工装置3的选择时(即选择了装置选择键302时)，从远程操作PC 4对特定的加工装置3发送请求操作图像的控制信号(以下称作「操作图像请求信号」)(ST604)。

当从远程操作PC 4接收到操作图像请求信号时，通过VNC处理部35的图像数据取得部35a从存储部33取得操作图像的图像数据(以下适当称作「操作图像数据」)(ST605)，并从图像数据发送部35b将所取得的操作图像数据发送到远程操作PC 4(ST606)。此时，例如，将图4所示的操作图像发送到远程操作PC 4。

从加工装置3发送来的操作图像数据由VNC处理部46的图像数据接收部46a接收(ST607)，并通过图像数据显示部46b显示在显示部42上(ST608)。由此，在远程操作PC 4的显示部42上，显示与在作为远程操作对象的加工装置3的操作面板32上所显示的操作图像相同的操作图像。另外，在加工装置3的操作面板32上所显示的操作图像中包含摄像图像的情况下，在远程操作PC 4的显示部42上也同样显示包含摄像图像的操作图像。

当显示了操作图像时，在远程操作PC 4中，待机直到进行了来自操作者的经由操作部44的操作输入为止。并且，在由操作者进行了操作输入时，通过VNC处理部46的输入事件取得部46c取得其内容作为操作图像上的坐标点(ST609)。并且，通过输入事件发送部46d将其内容作为表示操作内容的控制信号(以下称作「操作内容信号」)发送到加工装置3(ST610)。

从远程操作PC 4发送来的操作内容信号由VNC处理部35的输入事件接收部35c接收(ST611)。接着，通过输入事件执行部35d执行与由输入事件接收部35c接收到的操作内容信号对应的处理(ST612)。由此对应于来自远程操作PC 4的操作输入进行加工装置3的远程操作。

由此在本实施方式的远程操作系统1中，能够在远程操作PC 4的显示部42上显示对多个加工装置3进行显示的选择图像、和用于对从该选择图像选择的加工装置3进行操作的操作图像，并根据操作图像对多个加工装置3进行选择性操作，因此能够省略使用各个加工装置3的操作面板32的个别的操作输入，从而能够比以往更高效地对多个加工装置3进行操作。其结果，能够削减操作多个加工装置3的作业人员，能够减少工件的加工处理所需的成本。

尤其是，在本实施方式的远程操作系统1中，在远程操作PC 4的显示部42上所显示的操作图像中显示由加工装置3的摄像部36c所拍摄的摄像图像，因此远程操作PC 4的操作者能够一边确认摄像图像一边操作加工装置3，因此尽管是利用远程操作PC 4，也能够以与操作加工装置3的操作面板32同样的感觉来操作加工装置3。

此外，在本实施方式的远程操作系统1中，在远程操作PC 4的显示部42上所显示的操作图像与在加工装置3的操作面板32上所显示的操作图像相同，因此不要求加工装置3的操作者学习新的操作。因此，如果存在加工装置3的操作实绩，则能够从远程操作PC 4容易地操作加工装置3。

另外，本发明不限于上述实施方式，能够进行各种变更实施。此外，本发明能够在不脱离其目的的范围的情况下适当进行变更实施。并且，在上述实施方式中，将本发明具体为远程操作系统进行了说明，但是作为远程操作方法也成立，作为用于在计算上执行上述实施方式涉及的动作的全部或一部分的程序(远程操作程序)也成立。

此外，在上述实施方式中，对在选择图像的装置状态显示区域301中排列与多个加工装置3对应的装置选择键302的情况进行了说明。从提高远程操作PC 4的远程操作效率的观点出发，在多种加工装置3为远程操作对象的情况下，变更装置选择键302的排列、和可识别地显示各加工装置3的种类是优选的实施方式。例如，考虑在公共区域中排列同一种类的加工装置3、和根据加工装置3的种类变更配色。

如以上所说明那样，本发明通过经由在远程操作PC 4的显示部42上所显示的操作图像对多个加工装置3进行选择性操作，由此具有能够比以往更高效地对多个加工装置3进行操作的效果，尤其对于应用于设置有多个加工装置的工厂的远程操作系统中有用。

Claims

1.一种远程操作系统，其对加工装置进行远程操作，该加工装置具有：保持工件的保持单元；对由所述保持单元所保持的工件进行加工的加工单元；对由所述保持单元所保持的工件进行拍摄的摄像单元；以及对所述保持单元、加工单元和摄像单元进行控制的控制单元，该远程操作系统的特征在于，

该远程操作系统具有终端单元，该终端单元具有能够选择性地与多个所述加工装置的所述控制单元连接的显示部，所述显示部能够显示对多个所述加工装置进行显示的选择图像、和用于对从显示在所述选择图像中的多个所述加工装置中选择的加工装置进行操作的操作图像，所述操作图像包含由所述摄像单元取得的摄像图像和对所述控制单元输入指示的指示输入图像，能够通过所述操作图像选择性地对显示在所述选择图像中的多个加工装置进行操作。

2.根据权利要求1所述的远程操作系统，其特征在于，

所述加工装置具有显示所述操作图像的操作单元，在从所述选择图像中选择的所述加工装置的所述操作单元上所显示的所述操作图像中，显示处于能够从所述终端单元进行操作的状态的情况。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的远程操作系统，其特征在于，

在所述选择图像中，显示所显示的多个所述加工装置的工作状态。