CN1952823A

CN1952823A - 加工装置操作系统

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Publication number: CN1952823A
Application number: CNA2006101373052A
Authority: CN
Inventors: 关家一马
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2005-10-18
Filing date: 2006-10-17
Publication date: 2007-04-25
Anticipated expiration: 2026-10-17
Also published as: JP2007114842A; JP4640731B2; CN100520653C

Abstract

在操作加工装置的场合，即使在需要仅由用户侧的操作者是不能够完成那样的要求熟练技术或判断的作业时，不用派遣制造厂侧的技术人员到用户侧即可进行高生产效率的作业。可经由通信线路(4)将加工装置(2)和终端装置(3)连接起来，使加工装置(2)的摄像机构(22)所摄取的图像在终端装置(3)的接收显示机构(31)中得到显示，将终端装置(32)的远距离操作机构(32)的操作的相关信息发送给加工装置(2)的控制机构(24)。可以在终端装置(3)一边观看加工装置(2)的必要部分的图像一边设定或调整加工条件，并可以由终端装置侧的技术人员进行仅由加工装置的操作者是不能够应对的需要熟练技术的作业。

Description

加工装置操作系统

技术领域

本发明涉及可以远距离操作加工装置的加工装置操作系统。

背景技术

在各种加工装置中，在加工时必须预先设定各种条件。例如，以使用具有切削刀片的切削装置而将由轨道划分成多个器件的晶片用高速转动的切削刀片切割而分割成各个器件的情况为例，由于要使应该切削的轨道与切削刀片精确对位地切削该轨道，进而按各轨道间隔变址进给切削刀片并同时依次切削轨道，所以，需要进行应切削的轨道和切削刀片的对位作业以及确定轨道间隔的作业。轨道和切削刀片的对位由于是通过由摄像而得到的两个图像的图案匹配而进行的，所以，需要预先得到作为匹配基准的图像，必须确定对晶片的哪一部分进行摄像而作为基准图像这一条件。在确定基准图像时，需要把形成在器件表面上的回路的一部分作为匹配对象的关键图案(キ一パタ一ン，key pattern)选出，需要判断使用哪一部分作为关键图案。该判断还影响计算轨道间隔(例如参照日本特开平7-106405号公报)。

另外，在加工装置中，由于当构成装置的部件发生破损或磨损等时难以进行所期望的加工，所以需要判断部件破损或磨损的程度以在适当的时间更换或调整部件。在上述切削装置的例子中，在切削刀片上发生缺损或磨损时，由于有可能使器件的质量下降，所以需要根据对包括由切削在轨道上形成的切削槽的加工区域或切削刀片的刀尖进行摄像而得到的图像来判断是否应该修整切削刀片或是应该进行更换(例如参照日本特开2004-34192号公报)。另外，即使在根据切削槽的图像判断出不需要修整或更换切削刀片的场合，有时也需要调整切削刀片的旋转速度等加工条件。

但是，有时在设定或调整加工装置的加工条件时需要熟练的技术或判断，而购买方的操作者不能单独完成。例如，在上述切削装置的例子中，需要从晶片确实地选出作为关键图案的特征点，或根据画面显示的切削槽形状等判断修整或更换切削刀片的必要性，或适当调整其它的加工条件，而这都是需要熟练技术的作业，所以只靠用户侧的操作人员是很难进行的。在这样的情况下，需要加工装置制造厂的技术人员前往加工装置用户侧进行作业，对用户侧以及制造厂侧都存在生产效率降低的问题。

发明内容

本发明所要解决的问题在于，在操作加工装置时，即使在需要进行仅由用户侧的操作者是无法完成那样的需要熟练技术或判断的作业的场合，也不周派遣制造厂侧的技术人员到用户侧即可进行高生产效率的作业。

本发明涉及加工装置操作系统，其具有加工装置和终端装置。该加工装置至少具有：保持被加工物的保持机构；对由保持机构保持的被加工物进行加工的加工机构；对由保持机构保持的被加工物进行摄像的摄像机构；显示由摄像机构摄取的图像的显示机构；控制保持机构、加工机构、摄像机构及显示机构的控制机构。该终端装置能够经由通信线路与加工装置连接。在加工装置还具有：把由摄像机构摄取的图像发送到终端装置的图像信息发送机构；接收从终端装置发送出的操作信息并传送给控制机构的操作信息接收机构。终端装置具有：从通信线路接收图像信息的图像信息接收机构；将图像信息接收机构所接收到的图像信息以画面显示的接收显示机构；用于输入经由通信线路远距离操作加工装置用的操作信息的远距离操作机构；把从远距离操作机构输入的操作信息发送给加工装置的操作信息发送机构。控制机构按照在操作信息接收机构接收到的操作信息对保持机构、加工机构、摄像机构或显示机构中的任一个进行控制。

在加工机构是具有切削刀片的切削机构、加工装置是利用切削刀片对由保持机构保持的被加工物进行切削的切削装置时，图像信息发送机构把由摄像机构摄取的被加工物的图像发送给终端装置而由接收显示机构显示被加工物的图像。

作为被加工物的图像，有包括用于校准的关键图案的图像、包括由切削形成的切削槽的图像。

在本发明中，由于使由加工装置的摄像机构摄取的图像信息可以在终端装置的接收显示机构中显示，加工装置的控制机构根据从终端装置的远距离操作机构发出的操作信息对保持机构、加工机构、摄像机构及显示机构中的任一个进行控制，所以，能够在终端装置侧一边在观察加工装置的必要部分的图像一边设定或调整加工条件。因此，由于仅由加工装置的操作者无法应对那样的需要熟练技术的作业可由终端装置侧的技术人员完成，所以，可以提高生产效率。另外，在加工装置侧不需要熟练的专家，可以由终端装置侧的专家提供高难度的技术。

特别地，在加工机构是具有切削刀片的切削机构、加工装置是利用切削刀片对由保持机构保持的被加工物进行切削的切削装置时，通过由加工装置的摄像机构摄取被加工物的图像并使该图像显示在终端装置的接收显示机构中，从而终端装置侧的技术人员可以根据被加工物的状态来判断加工条件。

在被加工物的图像是包括用于校准的关键图案的图像时，终端装置侧的技术人员可以选出用于校准的关键图案。

在被加工物的图像是含有由切削形成的切削槽的图像时，终端装置侧的技术人员可以根据切削槽的状态判断修整或更换切削刀片。

附图说明

图1是表示加工装置操作系统的构成一例的说明图；

图2是该加工装置操作系统的功能方框图；

图3是表示切削装置一例的立体图；

图4是表示与构架一体化的晶片的立体图；

图5是表示含有关键图案的图像一例的说明图；

图6是表示切削槽的图像一例的说明图。

具体实施方式

图1所示的加工装置操作系统1具有一个或二个以上的加工装置2a、2b、2c、...、一个或二个以上的终端装置3a、3b、3c...、连接任意的加工装置和终端装置3的通信线路4。

作为终端装置3a、3b、3c、...，例如可以使用个人电脑，作为通信线路4，例如可以使用因特网。

图2所示的加工装置操作系统1显示一台加工装置2和一台终端装置3经由通信线路4连接时的功能。加工装置2具有：保持被加工物的保持机构20；加工保持在保持机构20的被加工物的加工机构21；对保持机构20保持的被加工物进行摄像的摄像机构22；对由摄像机构22摄取的图像进行显示的显示机构23；可对保持机构20、加工机构21、摄像机构22及显示机构23进行控制的控制机构24；用于对控制机构24输入指令或操作内容的操作机构25。根据由操作者从操作机构25输入的内容，进行被加工物的摄像或加工及显示处理等。

加工装置2具有把由摄像机构22摄取的图像信息发送到通信线路4的图像信息发送机构26。另外，还具有从通信线路4接收操作信息的操作信息接收机构27，所接收的操作信息传送给控制机构24，根据传送来的操作信息对保持机构20、加工机构21、摄像机构22或显示机构23中的任一个进行控制。

终端装置3具有：从通信线路4接受图像信息的图像信息接收机构30；把图像信息接收机构30所接收到的图像信息以画面显示的接收显示机构31；用于输入远距离操作加工装置2用的指令或操作内容的远距离操作机构32；把从远距离操作机构32输入的操作信息发送给通信线路4的操作信息发送机构33。从加工装置2的图像信息发送机构26发送出的图像信息能够被图像信息接收机构30接收，该图像信息在接收显示机构31中显示。另外，从远距离操作机构32输入而由操作信息发送机构33发送的操作信息被加工装置2的操作信息接收机构27接收，传送给控制机构24而用于保持机构20、加工机构21、摄像机构22及显示机构23的控制。即，在终端装置3中，可由操作远距离操作机构32控制加工装置2，在加工装置2中由接收显示机构31显示所摄取的图像。

下面，以加工装置2为例说明图3所示的切削装置2。图3所示的切削装置2是能够对晶片进行切割而分割成多个器件的装置，在其前侧设置有用于供操作者输入加工条件等针对装置的指令的操作机构25。另外，在装置上部具有显示机构23，该显示机构23向操作者显示引导画面或由后述的摄像机构22摄取的图像。

如图4所示，在切割对象的晶片W的表面相互垂直地形成第一轨道S1和第二轨道S2，由第一轨道S1和第二轨道S2划分形成多个器件D。晶片W被粘贴在切割带(ダイシングテ一プ)T上。在切割带T的外周缘部粘贴有环状的构架F，多个晶片W经由切割带T成为与构架F成一体被支持的状态，并被容纳在晶片盒28中。

如图3所示，在晶片盒28的-Y方向侧设有搬出搬入机构29，其从晶片盒28搬出加工前的晶片W，同时，把加工后的晶片搬入晶片盒28。在晶片盒28和搬出搬入机构29之间设有成为暂时放置搬出搬入对象晶片的区域的暂存区域34，在暂存区域34设置有使晶片W对位在一定的位置的对位机构35。

在暂存区域34附近设置有吸附运送与晶片W成一体的构架F的搬运机构36，在搬运机构36的可动范围设置保持机构20。保持机构20可在X轴方向移动并可转动。

在保持机构20的X轴方向的移动路径上方设置有检测晶片W的应切削的轨道的校准机构37。在校准机构37具有对晶片W的表面进行摄像的摄像机构22，基于摄像得到的图像，可通过图案匹配等处理检测应切削的轨道。由摄像机构22摄取的图像可由显示机构23显示。

在校准机构37的+X方向侧配置对保持在保持机构20上的晶片W实施切削加工的加工机构21。在加工机构21固定校准机构37，成为两者连动的构成。加工机构21构成在可旋转的主轴210的前端安装切削刀片211，可在Y轴方向和Z轴方向移动。切削刀片211位于摄像机构22的X轴方向的延长线上。

通过由搬出搬入机构29夹持构架F，使搬出搬入机构29向-Y方向移动，在暂存区域34解除该夹持，由此，将被收纳在晶片盒28的晶片W放置在暂存区域34。另外，通过使对位机构35在相互接近方向移动，晶片W被定位在一定的位置。

接着，通过由搬运机构36吸附构架F，搬运机构36旋转，从而将与构架F一体的晶片W运送至保持机构20并被保持。然后，保持机构20向+X方向移动，晶片W定位在校准机构37的正下方。

作为在由校准机构37检测应切削的轨道的校准时用于图案匹配的图像，需要在切削前预先取得。因此，当晶片W位于校准机构37正下方时，摄像机构22对晶片W的表面摄像，摄取的图像由显示机构23显示。切削装置2的操作者通过操作操作机构25，一边慢慢移动摄像机构22一边根据需要移动保持机构20，搜寻作为图案匹配的目标的关键图案。

例如像图5所示那样，在显示机构23显示在器件上形成的复杂的回路图案。因为关键图案在该复杂的回路图案中在各器件上只有一个，必须选定适于图案匹配的特征性形状的部分，所以，对于加工装置用户的操作者来说，关键图案的选定作业是比较困难的。因此，在这种情况下，可以经由图2所示的通信线路4与例如制造厂的终端装置3连接。如图1所示，在有多个加工装置的情况下，固有的ID被存储在各加工装置的存储器中，终端装置3在连接时从如图2所示的远距离操作机构32输入ID。在切削装置2的控制机构24中，在经由操作信息接收机构27接收的ID和在自己的存储器等中存储的ID相同时，连接该加工装置和终端装置。

在参照图2进行说明时，当连接切削装置2和终端装置3时，由切削装置2的摄像机构22摄像而在显示机构23显示的图像(例如图5的图像)也在终端装置3的接收显示机构31显示。另外，从终端装置3的远距离操作机构32输入的操作信息经由通信线路4传送给切削装置2的控制机构24，控制机构24可根据该操作信息使摄像机构22动作。从而，作为终端装置3的操作者的加工装置制造厂的技术人员通过操作远距离操作机构32使摄像机构22动作，可以把晶片W表面所希望的区域的图像显示在接收显示机构31，一边看着在接收显示机构31中显示的内容一边根据自己的经验等选择适当的关键图案。当加工装置制造厂的技术人员例如将图5的关键图案P确定作为校准用的关键图案后，通过在远距离操作机构32中进行一定的操作，将该操作信息传送到切削装置2的控制机构24，含有该关键图案P的图像存储于安装在切削装置2的校准机构37的存储器中。另外，由坐标值等求出该关键图案P与轨道S1、S2的中心线的距离，把该值也存储在存储器中。

另外，通过远距离操作机构32的操作使摄像机构22移动，相邻的轨道和轨道之间的间隔(轨道间隔)可由坐标值求出，轨道间隔的值也存储在校准机构37的存储器中。

这样，通过位于远距离的加工装置制造厂的技术人员设定关键图案，其后可以自动地进行晶片W的轨道的切削。具体地说，在切削晶片W的轨道之前，由校准机构37进行存储的关键图案的图像与实际由摄像机构22摄取的图像的图案匹配。另外，在匹配后，通过在Y轴方向使加工机构21移动关键图案与轨道中心线的距离的程度，从而进行使待切削的轨道与切削刀片211的对位。

在进行了待切削的轨道和切削刀片211的对位的状态下，使保持机构20在X轴方向移动，同时，在使切削刀片211高速旋转的同时使加工机构21下降，则可切削已对位的轨道。另外，通过一边按存储在存储器中的各轨道间隔在Y轴方向变址输送加工机构21一边进行切削，可以在该方向全部切削轨道S1。进而，使保持机构20旋转90度后进行与上述相同的切削后，也可全部切削轨道S2，而分割成各个器件D。

在切削中或切削后，需要由摄像机构22对由切削形成的切削槽进行摄像，根据显示切削槽的形状的图像推测切削刀片211的有无缺损或磨损及其程度，判定更换的必要性，但是，由加工装置2的用户做出该判定是较困难的。因此，与选取关键图案的场合相同，连接加工装置2和终端装置3，例如图6所示，把含有形成于第一轨道S1的切削槽G的图像从图像信息发送机构26发送到终端装置3而在接收显示机构31上显示后，加工装置制造厂的熟练技术人员可以判断是否需要修整或更换切削刀片211。然后，该技术人员与加工装置的操作者联系，该操作者根据技术人员的指示进行处理，从而可在最佳的加工条件下进行晶片的加工。

Claims

1.一种加工装置操作系统，其具有：

加工装置，其至少具有：保持被加工物的保持机构，对由该保持机构保持的被加工物进行加工的加工机构，对由该保持机构保持的被加工物进行摄像的摄像机构，显示由该摄像机构摄取的图像的显示机构，及控制该保持机构、该加工机构、该摄像机构和该显示机构的控制机构，以及

终端装置，其可经由通信线路与该加工装置连接；其特征在于，

该加工装置具有：将由该摄像机构摄取的图像发送到该终端装置的图像信息发送机构，及接收从该终端装置发送的操作信息并传送给该控制机构的操作信息接收机构，

该终端装置具有：从该通信线路接收图像信息的图像信息接收机构，以画面显示该图像信息接收机构所接收的图像信息的接收显示机构，用于输入经由该通信线路远距离操作该加工装置的操作信息的远距离操作机构，及将从该远距离操作机构输入的操作信息发送给该加工装置的操作信息发送机构，

该控制机构按照在该操作信息接收机构中接收的操作信息对该保持机构、该加工机构、该摄像机构或该显示机构中的任一个进行控制。

2.如权利要求1所述的加工装置操作系统，其特征在于，所述加工机构是具有切削刀片的切削机构，所述加工装置是利用该切削刀片对由保持机构保持的被加工物进行切削的切削装置；

所述图像信息发送机构将由所述摄像机构摄取的被加工物的图像发送给所述终端装置，由所述接收显示机构显示被加工物的图像。

3.如权利要求2所述的加工装置操作系统，其特征在于，所述被加工物的图像是包括用于校准的关键图案的图像。

4.如权利要求2所述的加工装置操作系统，其特征在于，所述被加工物的图像是包括由切削形成的切削槽的图像。