JP2007114842A - 加工装置オペレーションシステム - Google Patents
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- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 11
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 73
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 38
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 33
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】加工装置2と端末装置3とを通信回線4を介して接続し、加工装置2の撮像手段22が撮像した画像を端末装置3の受信表示手段31に表示させ、端末装置32の遠隔操作手段32による操作に関する情報を加工装置2の制御手段24に送信できる構成とする。端末装置3において加工装置2の必要な部分の画像を見ながら加工条件を設定したり調整したりすることができるようになり、加工装置のオペレータのみでは対応できないような熟練を要する作業を端末装置側の技術者が行うことができるようになる。
【選択図】図1
Description
2(2a、2b、2c、・・・):加工装置(切削装置)
20:保持手段
21:加工手段
210:スピンドル 211:切削ブレード
22:撮像手段 23:表示手段 24:制御手段 25:操作手段
26:画像情報送信手段 27:操作情報受信手段
28:ウェーハカセット 29:搬出入手段
34:仮置き領域 35:位置合わせ手段 36:搬送手段
3(3a、3b、3c、・・・):端末装置
30:画像情報受信手段 31:受信表示手段 32:遠隔操作手段
33:操作情報送信手段 34:仮置き領域 35:位置合わせ手段
36:搬送手段 37:アライメント手段
4:通信回線
W:ウェーハ
S1:第一のストリート S2:第二のストリート D:デバイス
P:キーパターン G:切削溝
T:ダイシングテープ F:フレーム
Claims (4)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、該保持手段に保持された被加工物を撮像する撮像手段と、該撮像手段により取得した画像を表示する表示手段と、該保持手段、該加工手段、該撮像手段及び該表示手段を制御する制御手段とを少なくとも備えた加工装置と、
通信回線を介して該加工装置と接続可能な端末装置とを備えた加工装置オペレーションシステムであって、
該加工装置には、該撮像手段により取得した画像を該端末装置に送信する画像情報送信手段と、該端末装置から送信される操作情報を受信して該制御手段に転送する操作情報受信手段とを備え、
該端末装置は、該通信回線から画像情報を受信する画像情報受信手段と、該画像情報受信手段が受信した画像情報を画面表示する受信表示手段と、該通信回線を介して該加工装置を遠隔操作するための操作情報の入力に用いられる遠隔操作手段と、該遠隔操作手段から入力された操作情報を該加工装置に送信する操作情報送信手段とを備え、
該制御手段は、該操作情報受信手段において受信した操作情報にしたがって該保持手段、該加工手段、該撮像手段または該表示手段のいずれかを制御する加工装置オペレーションシステム。 - 前記加工手段は切削ブレードを備えた切削手段であり、前記加工装置は保持手段に保持された被加工物を該切削ブレードを用いて切削する切削装置であり、
前記画像情報送信手段は、前記撮像手段によって撮像された被加工物の画像を前記端末装置に送信して前記受信表示手段に該被加工物の画像を表示させる
請求項1に記載の加工装置オペレーションシステム。 - 前記被加工物の画像は、アライメントに用いるキーパターンを含む画像である請求項2に記載の加工装置オペレーションシステム。
- 前記被加工物の画像は、切削により形成された切削溝を含む画像である請求項2に記載の加工装置オペレーションシステム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005302843A JP4640731B2 (ja) | 2005-10-18 | 2005-10-18 | 切削装置オペレーションシステム |
CNB2006101373052A CN100520653C (zh) | 2005-10-18 | 2006-10-17 | 加工装置操作系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005302843A JP4640731B2 (ja) | 2005-10-18 | 2005-10-18 | 切削装置オペレーションシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007114842A true JP2007114842A (ja) | 2007-05-10 |
JP4640731B2 JP4640731B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=38059193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005302843A Active JP4640731B2 (ja) | 2005-10-18 | 2005-10-18 | 切削装置オペレーションシステム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4640731B2 (ja) |
CN (1) | CN100520653C (ja) |
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- 2005-10-18 JP JP2005302843A patent/JP4640731B2/ja active Active
-
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- 2006-10-17 CN CNB2006101373052A patent/CN100520653C/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1952823A (zh) | 2007-04-25 |
JP4640731B2 (ja) | 2011-03-02 |
CN100520653C (zh) | 2009-07-29 |
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