CN103649836B - 用于光刻机器群集的网络架构和协议 - Google Patents

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Abstract

一种包含一个或多个光刻元件的群集式基板处理系统，每一光刻元件配置成依据图案数据独立曝光基板。每一光刻元件包含多个光刻子系统和控制网络，控制网络配置成在光刻子系统与至少一个元件控制单元之间传送控制信息，元件控制单元配置成向光刻子系统发送命令，光刻子系统配置成向元件控制单元发送响应。每一光刻元件还包含群集前端以作为面向操作者或主控系统的接口，前端配置成用于配发控制信息给至少一个元件控制单元以控制一个或多个光刻子系统对一个或多个晶圆的曝光的操作。前端配置成用于配发处理程序给元件控制单元，处理程序包含一组预定的命令和相关参数，每一命令对应于将被一个或多个光刻子系统执行的预定动作或一连串动作，且参数进一步定义动作或一连串动作如何被执行。

Description

用于光刻机器群集的网络架构和协议
技术领域
本发明涉及一种包含多个光刻元件的群集式(clustered)基板处理系统，这些元件分别被配置成用于依据图案数据独立曝光基板，本发明尤其涉及用于此种群集式基板处理系统的网络架构和协议。
背景技术
在半导体工业中制造具备高精确度及高可靠度的结构的需求始终不减。在光刻系统中，此种需求导致有关晶圆生产的数量和速度的要求极高。由于具有许多子系统来执行机器内的不同功能，且具有复杂的软件来控制子系统的操作，光刻机器已经变得比较复杂。现代的光刻系统通常产生大量的数据操作，而管理这些数据变得日益困难。可将光刻机器聚集在光刻元件的群(cluster)中，以提供更高的批量生产。为了控制和数据收集而在这样的光刻元件群中传送信息已经成为一个问题，因为要传送的信息量增大且系统复杂度增高。
存在将控制及数据业务结合成单一网络并采用业务质量技术来按优先顺序排列特定数据的传送而提供关键控制数据的及时送达的网络架构，但已被证明在此环境中仍有不足处。本发明针对为光刻元件群集(cluster)提供关键控制数据的及时送达和大量数据的收集的网络架构提供一可选的解决方案。
发明内容
有必要将多个光刻机器聚集成群，其中控制及数据业务均纳入此群集网络架构和协议之中。一方面，本发明提出一种包含一个或多个光刻元件的群集式基板处理系统，每个光刻元件均被配置成用于依据图案数据独立地曝光基板。每一光刻元件均包含多个光刻子系统和控制网络，控制网络被配置成用于在光刻子系统与至少一个元件控制单元之间传送控制信息，元件控制单元被配置成向光刻子系统发送命令，并且光刻子系统被配置成向元件控制单元发送响应。每一光刻元件还包含群集前端，用于作为面向操作者或主控系统的接口，前端被配置成用于将控制信息配发给至少一元件控制单元以控制一个或多个光刻子系统对于一个或多个晶圆进行曝光的操作。前端被配置成用于将处理程序配发给元件控制单元，处理程序包含一组预先定义的命令和相关参数，每一命令均对应于将由光刻子系统中的一个或多个执行的预先定义的动作或一连串动作，且参数进一步定义动作或一连串动作如何被执行。
元件控制单元可以被配置成用于对处理程序进行调度(schedule)以产生对应的处理作业供光刻子系统执行，处理作业包含处理程序的所述组命令以及对于这些命令各自的调度执行时间。处理作业可以在处理作业开始执行之前被完全调度。这在处理作业开始之前，即产生整个处理作业执行的已知且固定的时间段。每一步骤以及整个处理的调度开始时间(和完成时间)可以报告给群集前端。这大幅地简化晶圆厂内的活动的调度，诸如基板应在何时传递至光刻元件以及光刻元件中一基板之曝光预定何时完成，从而有助于将基板来回传送于光刻元件的轨道系统的调度。
元件控制单元可以被配置成用于产生处理作业，处理作业包含处理程序的组命令，以及对于这些命令中每一个被调度来执行命令的光刻子系统的识别身份。元件控制单元可以被配置成通过在这些命令各自的调度执行时间处，将处理作业的这些命令各自传送至被识别出的光刻子系统来执行处理作业。元件控制单元可以被配置成在命令各自的调度执行时间处，将处理作业的这些命令分别传送至被识别出的光刻子系统，而不论处理作业的先前的命令的执行状态如何。处理作业的命令的执行时间并非取决于前一步骤或并行步骤的结果，而是依据预定的时间调度来执行。如果步骤并未正确完成或者未能在调度的时间之内完成，则将不会被再次执行，而是下一个调度的步骤将被执行。
处理程序可以为对应的命令定义预定时间段，且元件控制单元可以被配置成用于对处理程序进行调度以产生处理作业，以由光刻子系统执行，处理作业包含每一命令的调度运行时间，而预定时间段则被用于决定处理作业中对应命令的调度时间。
处理程序可以为对应的第一命令定义第一预定时间段，而元件控制单元可以被配置成在第一命令之后延迟起始下一命令，直到时间段终止为止且不论第一命令的执行状态如何。处理作业的命令的执行的调度时序并不取决于来自子系统有关前一步骤的命令执行成功完成或甚至失败的反馈。如果子系统报告命令执行已完成，则在执行下一命令之前，元件控制单元被配置成等待直到下一命令的调度运行时间为止。如果子系统在执行命令时报告失败或错误，则元件控制单元等待直到下一命令的调度运行时间为止，并将接着继续执行下一命令。处理程序的命令执行上的任何时序变化均在处理作业的调度中加以考虑，使得命令执行的调度时间大于最大的预期执行时间。时间调度通常定义在处理作业中。
元件控制单元可以被配置成通过这些光刻子系统中的一个起始一动作或一连串动作，这是通过经由控制网络将动作的一个或多个参数发送给子系统，而随后将与动作相对应的命令发送给子系统来完成的。元件控制单元可以被配置成在命令执行的调度时间的一段时间段之前将一个或多个参数发送给子系统，时间段足以确保子系统在命令被传送至子系统之前接收到一个或多个参数。一个或多个参数可以是以一个或多个消息的形式传送的，使得任一个消息的长度受限。这些参数可以包含相当数量的数据，因此包含一个或多个参数的较大消息是在对于子系统的传输时序不紧迫之时被提前传送。一个仅包含命令(不含相关参数)的远远较小的消息可以在为执行命令调度的时间传送。此措施分散了网络上的负载并避免传送命令时发生拥塞，从而降低了传输时间并增加了命令的及时和可靠传输。
在与元件控制单元配发的命令相对应的一动作或一连串动作完成之后，完成动作或一连串动作的光刻子系统可以被配置成将完成通知元件控制单元，并且在从元件控制单元接收到指令之后配发有关动作或一连串动作的执行的数据。当元件控制单元从子系统接收到动作或一连串动作的完成的通知时，元件控制单元可以向子系统发送一请求，以传送有关一动作或一连串动作的执行的数据。这分散了网络上的负载并避免在发送完成通知时发生拥塞，从而降低了传输时间并增加及时且可靠的传输，并可以在之后时间不紧迫时进行数据的获取。
处理程序可以被编程为不包含条件步骤。处理程序可以包含可替换命令形式的条件步骤，这些可替换命令在处理作业中被并行调度，每个可替换命令均被指派相同的执行时间，使得处理作业的执行时间整体而言并未随着选择哪一个可替换命令来执行而改变。
光刻子系统可以被配置成发送一确认给元件控制单元，以确认从元件控制单元接收到一命令。确认可被元件控制单元用于检测子系统何时已停止预期的响应。确认可以被配置成除了证实子系统接收到相关命令并仍正常运作、发送确认的子系统的识别身份、以及一时间戳之外，而未携带任何其他信息。子系统对于执行处理作业的命令，可以被配置成不包含时限的机制。元件控制子系统中的时限可以被设置在远超过来自子系统的确认的预期响应时间的时间段。此时限大到足以毫无疑问地断定子系统已不能正常运作，但小到足以在操作者通常会如此处理之前检测到故障。
子系统中用于更新或升级软件的软件修改是通过执行元件控制单元中的处理作业来完成的。此修改可以包含修改子系统的基本操作系统软件或者是子系统上的任何应用程序或工具软件。这使得单一接口方法能够用于光刻操作以及诸如更新或升级子系统软件的维护动作二者。
控制网络可以被配置成在未使用实时性通信协议的情况下提供准实时(quasi real-time)性能。
每一光刻元件均可以进一步包含数据网络，数据网络被配置成用于从光刻子系统到至少一个数据网络集线器传送数据记录信息，光刻子系统被配置成向数据网络集线器发送数据记录信息，且数据集线器被配置成用于接收和存储数据记录信息，且其中前端被进一步配置成用于接收数据网络集线器所接收的数据记录信息的至少一部分。此网络架构将控制和数据功能分成不同的网络。控制功能需要双向的数据流动，且需要通过控制网络的可预测信息传输。数据收集和管理功能一般而言需要单向的流动，以在数据网络之中从光刻子系统向上通往数据网络集线器以及向前通往群集接口，并可以牵涉到极为大量的数据。光刻子系统可被配置成以第一传输速率向数据网络发送数据，并且数据网络集线器被配置成以第二传输速率从数据网络接收数据，并且其中第二传输速率远大于第一传输速率。
控制网络可以使用TCP链路上的字节传输协议。元件控制单元和光刻子系统可以被配置成在控制网络上传送消息序列，且其中消息序列中的第一消息包含两个元素，即含有具有消息类型的字符串的第一元素，以及含有具有针对消息的命名自变量的字典的第二元素。消息序列中的第一消息可以包含以Java描述对象表示法(JSON)编码的控制数据结构。消息序列中的第二消息可以包含一个或多个经过编码的数据消息，其中数据消息的编码并非由控制网络协议所设置或限定。此种具备控制消息的混合随机消息的方案允许处理作业命令及输出被直接以一种操作者可理解的数据格式来产生，并允许这样的消息未经过额外编码的传输。
控制网络可包括控制器，控制器配置成确保在控制网络上不会同时发生多个数据传输。
附图说明
现在将通过参考附图，仅作为示例的方式，来描述本发明的实施例，在附图中：
图1是依据本发明的用于光刻系统的网络架构的实施例的示意图；
图2是用于包含光刻元件群集的光刻系统的网络架构的实施例的示意图；
图3是光刻元件群集的布局的示意图；
图4是带电粒子光刻元件的电子光学柱的简化示意图；
图5是在依据本发明实施例的光刻工具的OSI分层模型中的元件控制单元协议的示意图；
图6A是依据本发明实施例的连接序列的示意图；
图6B是依据本发明实施例的重新连接序列的示意图；
图6C是依据本发明实施例的执行命令序列的示意图；
图6D是依据本发明实施例的中止序列的示意图；
图6E是依据本发明实施例的具有竞争情况的中止序列的示意图；
图6F是依据本发明实施例的一般命令期间的例外序列的示意图；
图6G是依据本发明实施例的自发性例外的示意图；
图6H是依据本发明实施例的执行命令期间的例外的示意图。
具体实施方式
以下说明本发明的特定实施例，其参照附图进行，且仅作为示例。
图1是依据本发明的具有控制和数据接口的光刻系统1的一个实施例的示意图。该示意图显示具有三个接口的分层式配置，群集接口3、群集元件接口5以及光刻子系统接口7。图1所示的配置具有包含一个光刻元件10的光刻系统群集，其中包含多个光刻子系统16。该光刻系统可以包含多个光刻元件10，举例而言，如图2实施例中所示。
群集接口3包含用于光刻群集前端6与一或多个主控系统2之间及/或群集前端6与一或多个操作者操控台4之间的通信的接口。
群集元件接口5包含用于群集前端6与光刻元件网络之间的通信的接口，该光刻元件网络包括元件控制单元12和/或数据网络集线器14。元件控制单元12可经由链接106与数据网络集线器14相通信，其中该通信优选地是从元件控制单元12单向通往数据网络集线器14。
光刻子系统接口7包含元件控制单元12与光刻子系统16之间的接口以及数据网络集线器14与光刻子系统16之间的接口。光刻子系统16经由控制网络120与元件控制单元12相通信，且光刻子系统16经由数据网络140与数据网络集线器14相通信。
图2是光刻系统1的实施例的示意图，其中光刻系统群集包含多个光刻元件10，每一元件均包含多个光刻子系统16。每一元件均可以包含元件控制单元12和数据网络集线器14，与该元件的光刻子系统16相通信。每一元件均可以做为独立的光刻元件，能够独立地工作以利用光刻处理曝光晶圆。在此实施例中，该多个光刻元件10各自均与单一前端6相通信，而前端6与对整个群具均有作用的一或多个主控系统2及/或操作者接口4相通信。
图1和图2中的实施例优选地设计成有助于有效地控制光刻元件的群集。每一光刻元件10优选地仅具有网络接口，通往控制网络120及数据网络140。此设计规则的例外是数据路径20直接将图案串流器19连接至负责调制或切换带电粒子射束的子系统。图案数据最初在图案数据处理系统18之中准备，并被发送到图案串流器19以进行数据转换并串流至子系统。此设计着眼于传送至相关子系统的极其大量的图案数据。图案数据通常系以位图(bit-map)格式被串流至相关子子系统，因为对于位于子系统处的本地存储器而言，数据数量过于庞大。
操作者接口以及通往更高层主机监控及自动化计算机的接口并非由个别的光刻元件构成，而是位于群集前端6处。这使得这种接口的开发能够在不需要知道光刻元件10的接口协议的情况下且未增加额外要求或干涉在控制网络120及数据网络140上的通信的情况下针对群集进行。
图3显示光刻系统群集100的简化上视图。在此实施例之中，该群集包含一个由十个光刻元件10所构成的组，配置成并列的两行，每行包含五个元件。直接毗邻群集100，底层空间被保留成维护区域23。每一光刻元件均包含电子光学柱，包含于其自身的真空室中，其中每一真空室的一侧均面对基板传递(delivery)系统22以及维护区域23。基板传递系统22从基板供应系统24接收基板且将其提供给光刻元件10以进行处理，并从光刻元件10接收经过处理的基板且将其提供给基板供应系统24以转移至晶圆厂(fab)中的其他系统。
在带电粒子光刻设备的情况下，真空室优选地密封住用于产生多个带电粒子小射束的带电粒子源和部件、切换或调制这些小射束的射束调制系统、用于将这些小射束投射至将被图案化的基板上的投射器系统、以及可移动基板平台。真空室优选地包含加载锁定(load lock)系统以自基板传递系统22将基板转入及转出真空室，且还包含面朝维护区域23的进出门，其可被打开以进行对电子光学柱的维护。
每一光刻元件10均独立操作以接收及处理晶圆。每一光刻元件均包含其自身的计算机处理系统，用于处理数据和操作光刻元件的部件和子系统。每一光刻子系统16优选地具有其自身的计算机处理器和内存系统，以执行指导子系统操作的命令、收集子系统操作所产生的数据、并与控制及数据网络相通信。控制元件单元12和数据网络集线器14优选地各自包含其本身的计算机处理器和内存系统以执行其功能。光刻元件10的控制元件单元12、数据网络集线器14和光刻子系统16的计算机处理器及内存系统可设置于极为靠近光刻元件的真空室处，例如设置于固定在真空室上方的机柜中、设置于真空室下方的基座中、或是部分设置于各个位置中。
群集的光刻元件的并列式布局使系统具备有限占用面积(footprint)，而将计算机处理器及内存系统直接置放于真空室上方或下方还降低占用面积。晶圆厂内的底面积(floor space)极为珍贵，因此有效率使用晶圆厂的底面积相当重要。
图4显示带电粒子光刻元件的电子光学柱的简化示意图。举例而言，这种光刻系统在编号为6,897,458、6,958,804、7,019,908、7,084,414以及7,129,502的美国专利中、编号为2007/0064213的美国专利公开中、以及编号为61/031,573、61/031,594、61/045,243、61/055,839、61/058,596以及61/101,682的共同待审美国专利申请中进行了描述，其均转让给本发明的申请人，故其全部内容均并入本说明书中作为参考。
在图4所示的实施例中，该光刻元件柱包含产生扩张电子射束130的电子源110，该扩张电子射束130通过准直仪透镜系统113被准直化。被准直化的电子射束照射到孔隙阵列114a上，其阻挡部分射束以产生多个子射束134，这些子射束穿过将子射束聚焦的聚光器透镜阵列116。这些子射束照射到第二孔隙阵列114b上，其从每一子射束134产生多个小射束133。此系统产生数量极为庞大的小射束133，优选地为大约10,000至1,000,000个小射束。
小射束消隐器阵列117，包含多个消隐电极，将所选择的一些小射束偏转。未被偏转的小射束到达射束停止阵列118并穿过对应孔隙，而被偏转的小射束错过对应孔隙而被射束停止阵列挡住。因此，小射束消隐器阵列117以及射束停止阵列118一起工作以接通和关断个体小射束。未被偏转的小射束穿过射束停止阵列118，并穿过射束偏转器阵列119，其偏转这些小射束以将小射束扫描过目标或基板121的表面。其后，小射束穿过投射透镜阵列120并被投射至基板121上，该基板被放置在用于承载该基板的可移动平台上。对于光刻应用，基板通常包含一个具备带电粒子敏感层或光阻层(resisitlayer)的晶圆。
该光刻元件柱体在真空环境中工作。需要真空状态以移除粒子，这些粒子可能被带电粒子射束离子化而被吸引至源、可能游离并沉积在机器部件上、并且可能分散带电粒子射束。通常需要至少10-6巴(bar)的真空状态。为了维持真空环境，带电粒子光刻系统被设置在真空室中。光刻元件的所有主要元件优选地容纳于共同真空室中，包括带电粒子源、用于将小射束投射到基板上的投射器系统，以及可移动平台。
子系统
在图1和图2的实施例中，每一光刻元件10均形成用于曝光晶圆的独立工作的光刻元件。每一光刻元件10均包含多个光刻子系统16，用以执行元件所需的功能。每一个子系统均执行特定的功能。典型的光刻子系统16包括，举例而言，晶圆加载子系统(WLS)、晶圆定位子系统(WPS)、用于产生电子小射束的照射光学子系统(ILO)、用于将射束切换数据串流至光刻元件的图案串流子系统(PSS)、用于将电子小射束接通或关断的射束切换子系统(BSS)、用于将小射束投射到晶圆上的投射光学子系统(POS)、射束测量子系统(BMS)、度量子系统(MES)等。每一光刻元件10优选地配置成用于接收晶圆、将每一晶圆箝夹至夹盘(chuck)并准备好被箝夹的晶圆以供曝光、曝光被箝夹的晶圆、及从夹盘松开已曝光的晶圆并呈送该已曝光的晶圆以将其从元件移除。
每一个光刻子系统16均可包含一或多个模块17，这些模块专用于特定的子功能，且优选设计成可更换的元件。模块17可以包含致动器19以及传感器21，致动器19能够执行命令，而传感器21能够检测在命令执行期间、执行之前和/或执行之后的动作及结果。这种模块的示例包括用于在曝光期间按移动基板的平台、用于控制该平台的控制计算机、向透镜阵列供应电压用于将小射束投射到基板上的投射透镜模块、用于在真空室中产生真空的真空泵，等。
每一个光刻子系统16均独立工作且包括用于存储指令的内存和用于执行指令的计算机处理器。该内存和处理器可在每一个子系统中被实施成插入式客户机(PIC)15。子系统的适当实施方式可包含例如执行Linux操作系统的个人计算机。子系统可包含硬盘或非易失性内存以存储其操作系统，使得每一子系统均从该硬盘或内存启动。这些特征以及以下所述的其他特征实现了一种其中每一个子系统均是自主单元的设计，该自主单元可以作为独立单元被设计、建构及测试，无须考虑其他子系统所强加的限制。举例而言，每一个子系统均可以被设计成具有充足的内存和处理能力以在其工作期间正确地执行该子系统的功能，无须考虑其他子系统对于内存及处理能力的要求。这在系统的开发和升级期间特别有利，因为此时这些需求不断变化。此设计的缺点在于所需要的总内存和处理能力增加，以及过多的这些部件必须在每一个子系统中实施。然而，相比于促使开发更快速以及升级更简单的简化设计，这些缺点显得瑕不掩瑜。
光刻子系统16被设计成经由控制网络120接收命令并以独立于其他子系统的方式执行命令，且根据要求报告命令执行结果和传出产生的任何执行数据。
光刻子系统16可被设计成自主单元，但被设计成从例如位于数据网络集线器上的中央磁盘或内存启动。这降低了每一个子系统中的单独硬盘或非易失性内存的可靠性问题和成本，并藉由更新子系统在中央位置的启动映像(boot image)而容许子系统的软件升级更容易。
通讯协议
光刻子系统16经由控制网络连接至元件控制单元12，其也被称为支持子系统控制或SUSC。元件控制单元12包含内存和计算机处理器，用于为光刻元件10控制子系统的工作。
在群集前端6与SUSC 12之间的通信102被设计成用于进行PP至SUSC12的传输。可使用基于Java描述对象表示法(JSON)的协议。JSON是基于文本的开放性标准，是针对人类可读数据交换而设计的，用于表示简单的数据结构和阵列，且适合于在网络连接上串行化和传输结构化数据。协议使用的优选实施方式限定于群集处的使用者，而非限定于洁净室环境外部的使用者。该协议优选地提供用于产生PJ的指令，传输PP文件和任何相关参数，以指示SUSC根据该PP产生PJ。额外的命令可包含Abort以及Cancel指令。从SUSC 12到群集前端6的通信可以包括确认消息、进度报告、及错误和警报消息。
通过控制网络120在SUSC 12与光刻子系统16之间的通信101优选地仅使用元件控制单元协议加以严格控制，以确保网络的准实时(quasireal-time)性能。图5示出了OSI(开放系统互连)分层模型中的元件控制单元协议的一个实施例。以下进一步详细地描述了元件控制单元协议。
在SUSD 14与群集前端6之间的通信105设计成用于获取PJ结果、作业跟踪以及SUSD 14的数据记录。对于此种通信链路，可以使用超文本传输协议(HTTP)。
在光刻子系统16与SUSD 14之间的通信103设计成用于从光刻子系统16单向收集数据。可以使用各种协议传送该数据，诸如syslog、HDF5、UDP及其他协议。
可以使用用户数据报协议(UDP)发送大量数据，以在无需握手、错误检查和纠正的巨大开销下发送数据。由于产生极低的传输开销，使得数据能够被视为被实时地接收。
分级数据格式HDF5可被用于传输和存储高频率数据。HDF5极为适合存储和组织大量的数值数据，但通常不使用于UDP环境。也可以采用其他数据格式，诸如CSV或TCP，特别是对于低层(小量)数据。
处理程序
光刻元件10的操作使用处理程序(PP)11加以控制，其包含一连串待执行的动作。元件控制单元12被加载以PP，并按照主控系统2的要求或按照操作者通过操控台4的要求而调度和执行PP 11。PP 11可以例如按照SEMI E40标准中所定义的那样，采取接收方(recipe)的形式。尽管SEMI标准规定了许多关于如何应付接收方的要求，但可以违背该标准，使得优选地消除该接收方。相反，使用所谓二进制大对象(BLOB)形式的可编辑且无格式的PP。
PP是一组预先计划的且可重复使用部分的指令、设置及参数，其决定晶圆的处理环境且可以在执行或处理周期之间受到变更。PP可以通过光刻工具设计器来设计，或通过工具来产生。
可以通过使用者将PP上传至光刻系统。使用PP产生处理作业(PJ)。处理作业(PJ)指定将由光刻元件10应用于晶圆或晶圆组的处理。PJ定义处理一组特定晶圆之时使用哪个PP，且可以包括来自PP(以及可选地来自使用者)的参数。PJ是由用户或主控系统发起的系统活动。
PP不仅可以用于控制对晶圆的处理，还可用于维护动作、校准功能、光刻元件测试、修改元件设置、更新及升级软件等。优选地是子系统仅执行PP中预先规定的动作，除了某些被允许的额外范畴之外，诸如在模块或子系统加电期间的自动初始化、子系统的定期和无条件动作(只要是不影响PJ执行)、以及对非预期关机、突发事件或EMO激励的响应。
PP被分成多个步骤。多数步骤包含命令并指定一个将执行该命令的子系统。步骤还可以包括执行该命令时将使用的参数，以及参数限制。PP还可以包括调度参数，以指出步骤将在何时执行，例如，是并行地、串行地还是同步地执行步骤。
为了执行PJ的命令步骤，元件控制单元12向PJ相关步骤中所指定的子系统发送PJ中指定的命令传送至。元件控制单元12监视时序并从子系统接收结果。特定命令的执行实例在图6-图13中示出，并说明如下。
插入式命令(plug-in command)概念
元件控制单元(SUSC)12将PP(其代表逻辑计划)转换成子系统动作的调度。系统可以被设计成使得SUSC 12不预先知道已安装哪个光刻子系统16、存在哪些子系统命令以及它们的性质是什么。在此情况下，该信息是在起动期间由光刻子系统16在执行时刻提供给SUSC 12。
每一个光刻子系统16均可以被设计成在子系统开机及初始化之时将其存在和性能报告给SUSC 12。子系统建立控制网络120上的通信并将其识别身份和状态报告给SUSC 12，且也可以报告其性能，诸如其能够执行哪些命令。SUSC 12可以在PP 11执行之前或执行期间进行检查，检查该PP所需要的每一个子系统是否均已报告其存在及就绪状态，且也可以检查每一个子系统是否均已报告其性能以执行该PP中的子系统所需要的命令。
此种子系统的自行报告使得光刻系统仅使用升级至子系统的局部软件，或甚至在根本没有软件升级的情况下，即能够扩充或升级成具有新的功能。举例而言，特定光刻子系统16可以升级其软件，使得其能够执行新命令。SUSC 12现在可以加载一个新的PP 11，该PP 11包括升级的子系统的新命令。当升级的光刻子系统16开机时，其与元件控制单元12通信，指出其识别身份和状态，以及其能够执行哪些命令，包含该新命令。SUSC 12对PP进行调度，以产生一个包括指示该子系统执行该新命令的步骤的PJ。SUSC12可以执行一检查，确认升级的子系统已经报告其能够执行该新命令。此升级因此仅需要相关子系统和PP的升级，但不需要SUSC 12或者任一个其他光刻子系统16的升级。
控制网络
优选的，控制网络120不使用实时协议，而是被设计成提供准实时性能，提供子系统与SUSC 12之间具有高度可重复性的通信，例如大致在1毫秒内的可重复性，以实现在相同条件下执行相同的作业会导致相同的时序行为(timing behavior)。
此种在控制网络120上的准实时性能可以通过实施以下的全部或其中的若干措施而实现。
(a)光刻系统调度每一个PP在PJ开始执行之前产生该PJ，决定开始该PJ每一步骤的时间(以及还可以包括完成每一步骤的时间)。针对每一步骤和整个PJ所调度的开始时间(和完成时间)可以在该PJ被起始之前完全决定，且这些时间可以报告给群集前端。
(b)可以将PP(以及PJ)设计成不具有条件步骤或动作，且无再试的动作。PP/PJ的步骤描述一连串动作，虽然光刻元件内的动作可以并行执行，例如在不同的子系统上并行执行的命令。可以通过定义二(或更多)个可替换的待执行步骤而将条件步骤或动作编程于PP之中，其中这些可替换的步骤被安排成并行路径。这些可替换的步骤在PJ之中被调度成并行路径，各自均被指派相同的执行时间，使得PJ的执行时间整体而言并不随着选择哪一条可替换路径在子系统之上执行而改变。
PJ的步骤的执行时间并不取决于先前步骤或并行步骤的结果，而是依据预定的调度执行。如果步骤并未正确完成或者未能在调度的时间之内完成，则将不会被再次执行(即无再试的动作)，而是下一个调度的步骤将被执行。
(c)调度之后，每一步骤均将由SUSC 12在其预定的调度时间点执行，优选地在大约1毫秒的时序精确度(timing accuracy)之内。在调度的时间处，SUSC 12将执行相关步骤并将该步骤的任何命令发送给相关光刻子系统16以供该子系统执行。SUSC 12中的调度时序不依赖来自光刻子系统16关于前一步骤命令执行成功完成或甚至失败的反馈。只要步骤限定一执行时间段，SUSC 12等待该时间段过去才进行PJ的下一步骤。如果子系统在该时间段终止前返回命令执行的结果，则SUSC 12仍旧等待该时间段终止才进行下一步骤。如果子系统未能返回错误消息，则SUSC 12还是等待该时间段终止，之后将进行下一步骤。如果子系统无法正确执行命令，则操作者或主控系统将决定需要何种纠正动作。
步骤执行的任何时序变化均在调度之中列入考虑，使得调度的步骤执行时间大于最大的预期执行时间。时间调度通常是在PP中定义的。调度时刻可以是“刚好及时”在执行开始之前，或者执行之前的某一时刻，例如，当步骤被加入一执行队列时。
(d)光刻子系统16所发送和执行的命令针对命令的执行具体指定一个固定的最大时间。最大执行时间是如子系统给定环境决定的预定最大时间段。如果此时间超过，则操作者或主控系统将决定需要何种纠正动作。
(e)当执行PJ步骤且此PJ步骤具有让子系统执行的命令以及与将发送给相关子系统的命令相关联的数据之时，可以在命令本身被发送到子系统之前向子系统发送数据。该数据被以一或多个消息的形式传输，使得任一个消息均在长度上受限。数据的发送充分地提前，以确保其已经被子系统接收，即，在发送数据与发送命令之间的时间远远大于预期的传输时间，且子系统可以对数据的接收进行确认。这使得包含数据的较大消息可以在时间不紧迫时提前发送，而仅包含命令的远远较小的消息(不含相关数据)可以在调度的时间发送。此措施分散网络上的负载并避免发送命令时发生拥塞，以降低传输时间并增加命令的及时和可靠传输。
(f)类似地，当子系统完成命令的执行时，其可向SUSC 12发送一个短消息，指示命令已经完成，但保留该命令执行所产生的任何数据，以待SUSC 12在稍后获取。当SUSC 12接收命令完成的指示时，其可接着向子系统发送一请求，以获取所产生的数据。这分散了网络上的负载并避免发送命令完成指示时发生拥塞，以降低传输时间并增加及时且可靠的传输，并可以在之后时间不紧迫时进行数据的获取。
(g)光刻子系统16与SUSC 12之间的消息交换包括对消息进行回复以确认从SUSC 12接收到指令。该回复消息除了光刻子系统16已从SUSC 12接收到相关消息且子系统仍正常工作的确认之外，并未承载其他信息。这使得SUSC 12能够检测到何时光刻子系统16已停止如期响应，而可及时地报告给群集前端。为使软件的实施方式保持简单，光刻子系统16并无时限(time-out)的设计。对消息进行回复的预期总响应时间通常不长，例如来回小于0.5毫秒。为检测无法响应的光刻子系统16，SUSC 12具有一时限的设计，其远超过预期的响应时间，例如预期接收到一个响应30秒钟后。此时限大到足以毫无疑问地断定光刻子系统16已不能正常工作，但小到足以在操作者4通常会如此处理之前检测到故障，使得操作者4不必怀疑发生了什么事。
(h)控制网络120包括协议控制器，每次保护数据包的单次传输，例如，单个消息序列。
(i)控制网络使用简单的传输协议，例如TCP链接上的字节协议。避免使用复杂或者包含不可预测元素的传输协议。在控制网络上使用的协议确保不能同时发生多个数据传送，使得不会发生网络上的不可预测的事件。
TCP连接包括二个字节数据流，每一方向一个。此协议将该二个数据流分成离散消息，每一消息均包含一个0或多个字节的任意数据的序列，前面加上指示该序列的长度的4个字节。此长度可以被编码成一个无符号整数，例如具有一个网络顺序(“big-endian”)的32位整数，提供(232-1)个字节的最大消息长度。此消息分隔机制可以是以Python程序设计语言的“Connection Object”实施而成。通过使用标准的多重处理连接程序包(multiprocessing connection package)，Python本身可处理此部分的协议。在其他编程环境中，将需要以明确详尽的形式实施此方面。消息可由任一方起始，只要符合规定的顺序即可。
消息序列中的每一第一个消息均可以包含以JavaScript对象表示法(JSON)编码的控制数据结构。所有的SUSC协议JSON消息均可以具有相同的基本结构：一个由2个元素构成的数组(array)，第一个包含具有消息类型的字符串，而第二个是具有针对该消息的命名自变量的字典，例如["<messageType>",{"paraml":<valuel>,"param2":<value2>,...}]。
在某些消息序列中，例如，用于传输接口命令的输入和输出项的序列，此控制/命令消息其后紧跟着几个数据消息，例如，每个输入/输出项一个数据消息。该协议对于这些消息中所使用的编码方式并无任何假设，解译方式在规定子系统命令、数据和行为的设计文件之中进行描述，例如，“2个浮点数的重数(tuple)的列表，以pickle形式编码”，或者“描绘成影像/pgn的压力曲线”。
这种具备JSON控制消息的混合随机消息的方案，允许由插入式软件直接产生操作者可理解的数据格式的处理作业输出，该数据格式诸如为CSV、PDF、PNG等格式。这还意味着这种对象的传输可以在无额外编码或换码(escaping)之下作为数据流的一部分完成，例如通过使用Linux的sendfile函数。这种自由度也可以被用于在子系统之间针对更适合特定接口功能的编码方式明确地达成共识。然而，如果每一个子系统均具有其本身的编码方案，这就将显得不明智，因此如果子系统并无特定需求，应选择一默认方案以在多种需求之间做出最佳的权衡。
(j)子系统并不负责检验SUSC 12的正确行为和检测SUSC协议错误，以简化PIC 15的设计。SUSC协议的目的是执行用户所建立的处理作业中的处理程序的处理步骤。例外是用于向使用者传送非预期的行为。除了命令执行的错误之外，当然还可能由于不遵从SUSC协议而发生错误。SUSC 12负责记录例外，且当PIC不依照SUSC协议运转(或已经完全停止响应)时可关闭通往PIC的连接，但PIC并不负责检验SUSC的正确行为，以保持PIC的规格简单化。如果PIC遭遇协议的违反，其可以正式地响应，也可以置之不理，且并无规定后续之消息必须被理解。建议尝试记录若干诊断、记录例外、当无法处理消息时进行断连而后重新连接。这是建议，而非规定，因为无法保证或期待在这种重新连接之后PIC又再次处于可使用的状态(但至少其将处于多少可理解的状态)。
(k)操作者的接口以及较高层的自动化或监控晶圆厂计算机系统被从控制网络120上的通信移除。这些接口是从群集前端6提供的，使得其并未在控制网络120上产生拥塞且不会影响与光刻子系统16的通信时序。
(l)数据收集被完全隔离在一个与在控制网络120上的控制通信相分离的数据网络140中。此功能的分离在以下进行更详细的描述。
同步时钟
光刻系统提供在控制网络上的时钟信号，以允许系统内及通过子系统的动作同步。系统可以提供两个不同频率的时钟信号以提供时钟给用于不同时序精确度的子系统，例如精确度分别为毫秒级和豪微秒级的时钟信号。举例而言，用于串流射束切换数据的图案串流子系统及用于将电子小射束接通或关断的射束切换子系统需要以非常高的频率交换数据以允许小射束的高频率切换，而射束测量子系统需要以非常高的频率发送射束位置测量结果。需要高精确度时钟的其他功能包括基板定位系统和投射光学系统。这些子系统被馈给以同步时钟子系统提供的豪微秒时钟脉冲并能够接收该豪微秒时钟脉冲。
控制网络协议消息
图6A至图6H显示被协议所支持的消息序列30、40、50、70、80、90、100。针对平均情形以及SUSC 12在关闭连接之前将使用的时限，序列示意图30、40、50、70、80、90、100带有对所需要的响应时间的注释。所描述的时序原则上牵涉到SUSC 12、SUSD 14以及光刻子系统16的往返时间。
SUSC 12协议在TCP连接上传送消息。SUSC 12作为TCP服务器，而光刻子系统16中的PIC l5则作为TCP用户。PIC在特定端口上建立通往SUSC 12的连接，且SUSC 12在控制网络120中具有一IP地址。如果连接失败，则PIC再次尝试，直到成功为止。图6A显示一连接序列30，其中元件控制单元(SUSC)12与光刻子系统16中的PIC连接到彼此。示出源自SUSC 12和光刻子系统16的竖直时间线27、29，以表示消息的时序。在时间上的某一点处，该连接序列开始于TCP协议的标准3次握手或TCP连接33，以建立操作系统层的连接。如果TCP连接33被建立，则光刻子系统16向SUSC 12发送连接消息35。SUSC 12在时间段31之内发送连接回复37，该时间段31优选的为0.5秒。连接回复37可以包含位置相关的信息，例如，机器所在处的时区。这可被用于设置SUSC 12的时区39。其后，光刻子系统16可以进行进一步的内部子系统初始化41。
原则上，连接无限期地保持畅通，即直到其中一方关机为止，连接才被关闭。此关闭的发生或者是由于应用程序的明确插件(socket)关闭或是操作系统自动地实施成其关机顺序的一部分。当PIC 15检测到其连接关闭时尝试重新连接，且如果该重新连接失败则可以再次尝试直到成功为止。当SUSC 12检测到连接关闭之时，其可以丢弃相关PIC的全部信息(诸如登记的命令或已列入计划的未来命令)并将PIC 15及相关光刻子系统16视为不存在，直到其重新连接上为止。
在SUSC并未检测到连接关闭而PIC 15建立重复连接的特殊情形下，SUSC 12可将先前的连接视为关闭。此情况可以在PIC 15被突然关机而其核心并未被给予关闭TCP连接的机会且SUSC 12尚未尝试与此PIC通信时发生。
此行为确保任一方均可以在不需要另一方的重新启动的情况下被重新启动。图6B显示一重新连接序列40，其在光刻子系统16已经被初始化，但失去与SUSC 12的连接之时被启动。重新连接至SUSC 12是光刻子系统16的责任。通过光刻子系统16向SUSC 12发送连接消息35进行一次重复，而在接收到该连接消息35之后，SUSC 12向光刻子系统16发送回连接回复37。此处，同样地，在时间段31之内，该时间段31优选地为0.5秒。重新连接序列40将被重复直到光刻子系统16连接到SUSC 12为止。
图6C显示一执行命令序列50，其可选地由SUSC 12以一‘设置’命令51将输入自变量送往光刻子系统16的传输开始。该设置命令51其后跟随N次数据量52被传送至光刻子系统16。在最后的数据52被传送之后，光刻子系统16通过向SUSC 12传送回一设置回复53(setReply)以对所接收的命令51和数据52进行确认。从光刻子系统16传送到SUSC 12的任何回复，具有回复时间段55，其优选地包含小于0.5毫秒的平均值。该设置回复53必须在时限限制54内发送，其优选地包含30.0秒加减1.0秒。如果未接收到回复，则SUSC 12将光刻子系统16视为未连接或是已损坏。在SUSC 12发送一执行命令57之后，光刻子系统16优选地在回复时间段55内以一executeStarted(执行开始)回复58进行确认。在光刻子系统16已完成执行之后，其向SUSC 12发送一executeDone(执行完成)59。输出自变量(若有的话)被以SUSC 12所发送的'取得'命令60获取。光刻子系统16以一getRreply(取得回复)61进行确认，之后发送一N数据量62或输出自变量。
未来的执行命令57不再需要的输入和输出自变量被以删除命令63从光刻子系统16移除。光刻子系统16优选地在回复时间段55之内回复一deleteReply(删除回复)64。在某一版本的协议中，输入和输出并未从一个接口命令运载至其他命令。光刻子系统16可以安全地假设将不会发送超过下一命令所需要的输入，且可以安全地假设所有的输入及输出在下一命令的输入被发送之前将均被删除。
图6D显示一中止序列70，其示出在被中止的执行命令71的情形中的事件顺序。中止序列70总体上而言与正常执行序列50相同，但具有以下差异。SUSC 12在接收executeStarted 58与executeDone 59消息之间的时段之中发送一中止请求71。光刻子系统16随之又发送一abortReply(中止回复)72。向SUSC 12发送一abortReply 72，做为对中止请求71的响应，必须在时间段abortReply 74之内完成，其包含90.0秒加减1.0秒，此处的90秒包含最大轮询间隔的60秒加上一额外的30秒。取决于目前执行中的命令，该命令运行完毕或者在该命令完成之前中断。如果命令并未完成，则可以记录一例外91。此外，并非所有输出自变量均可取得，且空的部分(0字节)可以被光刻子系统16置换。SUSC 12将尝试获取其全部。来自SUSC 12的中止消息71与来自光刻子系统16的executeDone 59有可能跨越彼此。图6E所显示的序列80适用该情形。
图6E显示具有竞争情况的中止序列80。竞争情况81是当两个或更多个消息跨越彼此之时所产生的一个状况。此处，中止消息71与executeDone消息59相跨越。
图6F、6G及6H显示一例外序列90的三种情况。当一例外90以例如错误或警报的形式发生之时，光刻子系统16向SUSC 12发送例外消息。错误被用于向使用者4传达光刻元件未如预期那样运行。警报是使用者4必须确认的状况。
发生于执行接口命令的背景(context)内的例外91可以被附加上背景信息。对于发生于这样的命令(自发性例外90)的背景以外的例外91，这些背景字段可以是空的或者可以提供有关该失败的已完成命令的最适当的背景。
特别在自发性例外90的情形下，其应留意不要大量产生例外给使用者4。举例而言，如果在高频率控制循环之中检测到错误状况，理想情况下，针对该状况应该仅有一个例外91被数据网络集线器14记录，而不是在循环的每一次递归均重复执行。如果状况持续存在，则更适于以一低频率(优选地为1分钟)重复例外91，或者是当状况改变或消失时，记录后续的例外91(这也在预期之外，因此仍可视为一例外91)。
例外91旨在将错误的情况通知操作者4，引导操作者4进行恢复程序并以简明的方式传达问题的本质，例如藉由电话或故障通知单标题。例外91因此不应被视为模块设计者的调试信息信道。可替换地，人可读的数据格式的PJ输出可被用于能够被监视或离线研究的信息。
例外消息91并不终止协议序列，且没有理由停止处理未来的命令。例如，在接口命令失败而例外91被数据网络集线器14记录之后，executeDone59仍可被传送而使输出能够被‘取得’。光刻子系统16也应准备好接受新的接口命令而从该情境恢复。
在协议中，允许例外91在任何时间被插入，但在getReply 61序列之内除外。如果任何例外91能够由一并行线程产生，则PIC 16设计者可以考虑分派专用的PIC 16连接以用于记录这样的例外91而非针对任何命令。以一直接的方式避免这种干扰。
图6F显示在从SUSC 12发送一般性或任一协议命令92期间，由光刻子系统16产生的例外91。例外91之后，光刻子系统16还向SUSC 12发送一任一协议命令回复93。图6G显示自发性例外91，而图6H显示在执行命令57期间从光刻子系统16发送向SUSC 12的例外91。在任意协议命令92期间，均可以产生例外91。该命令以相关的回复消息正常结束。还有可能在SUSC 12的命令之间记录一例外91，如图6G所示。例如，来自周期性检查或者来自集线器初始化序列。当在执行命令57期间发送例外91时，执行取得60和删除63的命令，犹如并无例外91发生一样。然而，有可能因为例外91的发生，使得一些输出自变量可能是空的(0字节)。
数据网络
光刻子系统16经由数据网络140连接至数据网络集线器14。数据收集、存储和管理经由数据网络140执行。控制网络120在元件控制单元12与光刻子系统16之间形成一控制网络路径，而数据网络140在数据网络集线器14与光刻子系统16之间形成一数据网络路径。控制网络120和数据网络140是物理上分离的网络。每一网络均具有其自身的单独的物理介质，包括接线、诸如开关的网络部件、以及通往光刻子系统16的网络连接。因此，该控制网络路径和数据网络路径包含物理上分离的介质，且形成分离且独立的通信路径。
每一光刻子系统16均具有通往控制网络140的连接，适用于经由控制网络从和向元件控制单元12接收和发射控制信息。每一光刻子系统16均具有单独的连接通往数据网络140，适用于经由数据网络传送数据信息至数据网络集线器14。
数据网络140设计成具有远大于光刻子系统16使用的传输速率的带宽。例如，数据网络140可具有1Gbit/s的带宽，而子系统设计成以100Mbit/s的速率发送。在数据网络中，没有网络控制器或数据传送的协同。典型地在数据网络140中，在光刻子系统16与数据网络140之间数据交换上限设置在140Mbit，而在数据网络140与SUSD14之间的数据交换上设置1Gbit的上限。在数据网络140中包括网络交换以合并业务，从而避免(数据)包冲突。
数据网络集线器14适用于连续记录接收自光刻子系统16的数据。这种数据可包括子系统在PJ执行期间所采用的测量数据、子系统的设置、及用于调试和故障追踪的数据。数据网络集线器14优选地一直记录所有数据(包含低层追踪数据)，故无需启动数据记录。此种连续的数据记录加速问题诊断、降低重新启动的需要、并重现错误或问题。
元件控制单元12连接至数据网络集线器14以发送有关在元件控制单元12中执行的PJ的进度的信息，以便于数据网络集线器14记录。数据网络集线器14连续地记录从元件控制单元12接收的数据。
数据网络集线器14包括非常大量的数据存储容量，足以在一段很长的工作时间段内(例如数个月或数年长的一段时间)存储来自所有光刻子系统16的极其大量的低层数据。数据网络集线器14所存储的数据被组织及加上标签，优选地附加一时间戳和PJ标识符。被存储的数据可以从数据网络集线器14获取出来并加以分析和过滤，优选的以离线方式进行。
经由数据网络140的数据收集与经由控制网络120的控制通信的分离，使得能够在不拖累控制网络上的通信的情况下，进行数据网络上大量数据的高频率收集。通过对控制网络120上的拥塞加以控制，并且避免巨大流量出现在数据网络140之上，使得控制网络能够以准实时的方式工作。数据网络集线器14中的数据管理和存储功能与元件控制单元12中的PJ执行的分离，使得能够在不拖累元件控制单元12的PJ处理的情况下，进行数据网络集线器14的大量数据处理。控制与数据收集和管理的分离使得设计能够较简单，不需要考虑二个系统之间的交互作用。
本发明已藉由通过实施例说明如上。应能体认，这些实施例容许有各种修改及替代形式，为本领域技术人员所周知，且均未脱离本发明的精神和范围。因此，虽然通过特定实施例的说明，但这仅仅是示范性质，并非用于限制本发明的范围，本发明的范围由所附的权利要求所界定。

Claims (15)

1.一种包含一个或多个光刻元件和群集前端的群集式基板处理系统，其中所述群集前端用于作为面向操作者或主控系统的接口，每个光刻元件配置成用于依据图案数据进行基板的独立曝光，并且每个光刻元件包含：
多个光刻子系统；
控制网络，形成在所述光刻子系统与至少一个元件控制单元之间的控制网络路径，用于传送控制信息，所述元件控制单元配置成向光刻子系统发送命令，且所述光刻子系统配置成向所述元件控制单元发送响应；以及
数据网络，形成在所述光刻子系统与至少一个数据网络集线器之间的数据网络路径，用于从所述光刻子系统向所述至少一个数据网络集线器传送数据信息；
其中所述控制网络路径和所述数据网络路径形成分离且独立的通信路径，
其中该群集前端配置成用于：
将控制信息配发给所述至少一个元件控制单元以控制所述光刻子系统对晶圆进行曝光的操作；
将处理程序配发给所述元件控制单元，该处理程序包含一组预先定义的命令和相关参数，每个命令对应于将由所述光刻子系统中一个或多个所执行的预先定义的动作或一连串动作，且所述参数进一步定义该动作或该一连串动作如何被执行。
2.如权利要求1所述的系统，其中所述群集前端进一步配置成用于：
接收由所述数据网络集线器接收的数据信息的一部分。
3.如权利要求1或2所述的系统，其中所述至少一个元件控制单元配置成向所述光刻子系统发送命令，并且其中所述光刻子系统配置成经由所述控制网络路径将响应发送给所述元件控制单元。
4.如权利要求1或2所述的系统，其中所述光刻子系统被配置成向所述数据网络集线器发送数据信息，并且所述数据网络集线器被配置成用于接收和存储由所述光刻子系统发送的所述数据信息。
5.如权利要求1或2所述的系统，其中所述元件控制单元被配置成用于对所述处理程序进行调度以产生对应的处理作业，用于由所述光刻子系统执行，该处理作业包含所述处理程序的所述一组命令以及所述一组命令中的每一个命令的调度执行时间。
6.如权利要求5所述的系统，其中所述元件控制单元配置成用于产生所述处理作业，该处理作业包含所述处理程序的所述一组命令，以及对于所述一组命令中的每一命令被调度来执行该命令的光刻子系统的识别身份。
7.如权利要求6所述的系统，其中所述元件控制单元配置成通过在所述处理作业的所述一组命令中的每一个命令的调度执行时间处，将所述一组命令中的每一个命令发送到被识别出的光刻子系统，以执行所述处理作业。
8.如权利要求7所述的系统，其中所述元件控制单元配置成在所述处理作业的所述一组命令中的每一个命令的调度执行时间处，将所述一组命令中的每一个命令发送给被识别出的光刻子系统，不论所述处理作业的先前的命令的执行状态如何。
9.如权利要求1或2所述的系统，其中所述处理程序为对应的命令定义预定时间段，并且其中所述元件控制单元配置成用于对所述处理程序进行调度以产生由所述光刻子系统执行的处理作业，该处理作业包含每个命令的调度执行时间，其中所述预定时间段被用于决定所述处理作业中的所述对应的命令的调度时间。
10.如权利要求1或2所述的系统，其中所述处理程序为对应的第一命令定义第一预定时间段，并且其中所述元件控制单元配置成在该第一命令之后延迟起动下一命令，直到该时间段终止为止且不论所述第一命令的执行状态如何。
11.如权利要求1或2所述的系统，其中所述元件控制单元配置成通过所述光刻子系统中的一个光刻子系统来起动一动作或一连串动作，这通过经由所述控制网络将所述动作或所述一连串动作的一个或多个参数发送给所述光刻子系统且随后将对应于所述动作或所述一连串动作的命令发送给所述光刻子系统来完成。
12.如权利要求1或2所述的系统，其中在与所述元件控制单元配发的命令相对应的动作或一连串动作完成之后，完成所述动作或所述一连串动作的光刻子系统配置成将该完成通知所述元件控制单元，并且在从所述元件控制单元接收指令之后，配发有关所述动作或所述一连串动作的执行的数据。
13.如权利要求1或2所述的系统，其中所述处理程序包含编程为可替换命令的条件步骤，其中所述元件控制单元配置成用于对所述处理程序进行调度以产生处理作业，用于由所述光刻子系统执行，所述处理作业包含每个命令的调度执行时间，且其中所述可替换命令被并行调度在所述处理作业中，每个可替换命令被分配相同的执行时间，使得所述处理作业的执行时间总体上并未随着选择哪一个可替换命令来执行而改变。
14.如权利要求1或2所述的系统，其中所述光刻子系统被配置成以第一传输速率向所述数据网络发送数据，并且所述数据网络集线器被配置成以第二传输速率从所述数据网络接收数据，并且其中所述第二传输速率远大于所述第一传输速率。
15.如权利要求1或2所述的系统，其中所述元件控制单元和所述光刻子系统被配置成在所述控制网络上传送消息序列，并且其中消息序列中的第一消息包含两个元素：包含具有消息类型的字符串的第一元素以及包含具有针对消息的命名自变量的字典的第二元素。
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