CN1892522A - 收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统、制造系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统、制造系统，其包括一数据收集装置以及一处理器。上述数据收集装置，其是用以透过网络从一制程机台收集制程数据，其中该制程数据是非半导体设备通讯标准界定的数据。该处理器，其是用以决定收集的该制程数据是否符合一预定条件，其中该预定条件是依据该制程数据的历史记录数据而定。本发明可收集在制程程序执行过程中产生的非SECS制程数据，并从中筛选及侦测出对应于制程事件的事件数据，进而依据该事件数据进行机台的即时监视与控制。

Description

收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统、制造系统
技术领域
本发明是有关于半导体制造，特别是有关于用以收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统和方法。
背景技术
在半导体制造过程中，会产生非常大量的制程数据。这些制程数据是用来描述在机台中的制程状况及机台的运作状况，及/或机台本身的维修等记录数据。制程数据也可以包含各种量测数据。
制程数据的传送及接收等，一般是依据半导体设备通讯标准。半导体设备通讯标准(semiconductor equipmentcommunication standard，SECS)是为半导体/LCD厂机台与CIM(Computer Integrated Manufacturing，计算机整合制造)所合作制订的通讯协议。因此半导体机台的开发，或是CIM系统的设计，以及监控系统的研制等等，都必须依据SECS的规定来进行制程数据的传输。
然而，由于机台的即时监控仅限于SECS中有界定的特定种类的制程数据，因此，在SECS中没有界定的制程数据种类就没有办法进行监测。也因此，当某些对于制程处理有明显影响的制程事件发生时，往往无法通过SECS中界定的制程数据来加以侦测及处理。
据此，需要提供一个系统及方法，用以收集与处理非SECS制程数据，并能够据以进行机台的即时监控。
发明内容
本发明是有关于半导体制造，特别是有关于用以收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统和方法。
本发明提供一种用于收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其包括一数据收集装置以及一处理器。上述数据收集装置，其是用以透过网络从一制程机台收集制程数据，其中该制程数据是非半导体设备通讯标准(semiconductor equipmentcommunication standard，SECS)界定的数据。该处理器，其是用以决定收集的该制程数据是否符合一预定条件，其中该预定条件是依据该制程数据的历史记录数据而定。
本发明所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其中该数据收集装置使用一文件传输协议(FTP)，透过一网络来收集该制程数据。
本发明所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其中该数据收集装置及该处理器是于该制程机台执行制程程序的空档运作。
本发明所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其中该处理器使用一统计方法，处理该制程数据的该历史记录，以决定该预定条件。
本发明所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其中该处理器进一步将不符合该预定条件的该制程数据界定为事件数据，并将该事件数据传送至一外部系统。
本发明所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其中该处理器进一步将该事件数据传送至用以控制该制程机台的一制造执行系统(manufacturing execution system，MES)。
本发明所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其中该数据收集装置，是用以收集曝光机台的光自动校正(illumination automatic calibration，ILAC)数据。
本发明并提供一种制造系统，其包括机台、监控装置及控制器。该机台，其是用以处理一工作件。该监控装置，其是与该机台连接，用以收集该机台于处理该工作件时，产生的非半导体设备通讯标准(semiconductor equipment communicationstandard，SECS)界定的数据，并依据该机台先前处理工作件时，产生的该制程数据的历史记录，从收集的该数据中筛选预定的事件数据。该控制器，其是与该监控装置连接，以从该监控装置接收该事件数据，并依据该事件数据控制该机台。
本发明所述的制造系统，其中该监控装置使用一文件传输协议(FTP)，透过一网络来收集该制程数据。
本发明所述的制造系统，其中该监控装置使用一统计方法，处理该制程数据的该历史记录，以决定一预定条件，并据以从收集的该数据中筛选预定的该事件数据。
本发明所述的制造系统，其中该控制器是为用以控制该制程机台的一制造执行系统(manufacturing execution system，MES)。
本发明所述的制造系统，其中该机台为一曝光机台。
本发明所述的制造系统，其中该监控装置收集该曝光机台的光自动校正(illumination automatic calibration，ILAC)数据。
本发明并提供一种用于收集及处理从制程机台撷取的电子数据的方法。上述方法首先收集一制程机台执行一制程程序时产生的制程数据，其中该制程数据是非半导体设备通讯标准(semiconductor equipment communication standard，SECS)界定的数据。并决定收集的该制程数据是否符合一预定条件，其中该预定条件是依据该制程数据的历史记录数据而定。
本发明所述的用于收集及处理从制程机台撷取的电子数据的方法，用以收集在制程程序执行过程中产生的非SECS制程数据，并从中筛选及侦测出对应于制程事件的事件数据，依据该事件数据进行机台的即时监视与控制。
附图说明
图1显示依据本发明实施例的制造系统的示意图；
图2显示依据本发明实施例的用于收集及处理从制程机台撷取的电子数据的方法的流程图。
具体实施方式
为了让本发明的目的、特征及优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图示图1及图2，做详细的说明。本发明说明书提供不同的实施例来说明本发明不同实施方式的技术特征。其中，实施例中的各元件的配置是为说明之用，并非用以限制本发明。且实施例中图式标号的部分重复，是为了简化说明，并非意指不同实施例之间的关联性。
图1显示依据本发明实施例的制造系统的示意图。制造系统10是用于处理半导体产品。制造系统10包括制程机台11及13、监控装置15、制造执行系统17及警示系统19。
其中，制程机台11及13在一特定时间，均可处理至少一晶圆。制程机台11及13可以是用以执行一制程程序或测量程序的任何设备、机器或装置。
制程机台11及13均具有一设备接口，用以和网络12连接。其中网络12可以是一区域网络(LAN)。例如，制程机台11及13分别具有设备接口111和131。在制程机台11及13运作期间产生的制程数据115a及135a是分别存放在储存单元115和135。其中该储存单元115和135分别设于制程机台11及13。举例而言，制程机台11的中央处理单元113将制程机台11在执行制程程序时产生的制程数据115a先暂时储存在储存单元115中。同样地，制程机台13的中央处理单元133将制程机台13在执行制程程序时产生的制程数据135a先暂时储存在储存单元135中。当制程机台执行一制程程序时，其所产生的制程数据就被存放在和该制程机台对应的储存单元中。当该制程程序执行完毕时，储存的制程数据(例如制程数据115a)就透过网络12，传送到监控装置15，以进行进一步处理。
制程机台11及13也可以包含一SECS接口(图未显示)。该SECS接口可以是一类似如RS-232串接端口的通讯端口，其依据SECS协议规范的方式传送制程数据。SECS协议定义在制造系统10中，多个机台和其他设备之间电子信息传递的细节。设于制程机台的SECS接口，允许该制程机台在运作时所产生的制程数据中的一部分，能够通过该SECS接口，以电子数据的方式，传送到其他设备。SECS协议所规范的制程数据是包含机台识别数据、晶圆数据、晶圆批次号码、模组识别数据、晶圆运输匣识别号码、制程程序(recipe)名称及制程参数等。依据本发明实施例，未包含于SECS协议的制程数据被监测装置15收集与处理，而SECS协议中有规范的制程数据则由其他装置加以处理。处理SECS规范的制程数据的装置，并非本发明重点，在此不详细叙述。
网络12为制造系统10中的一通讯网络的一部分。依据本发明另一实施例，网络12可以让制造系统10的各机台及设备之间，使用以太封包来进行数据传输。
监测装置15是分别通过设备接口111及131，并透过网络12和制程机台11相连接。当一制程程序完成时，暂时储存在制程机台中的制程数据115a即透过网络12，被传送到监测装置15，以进行进一步处理。依据本发明实施例，制程数据115a包含大量的非SECS数据，并以文件传输协议(FTP)的方式传送到监测装置15。先前所执行的多个制程程序所产生的制程数据的历史记录152是被储存在储存装置151中。当在一新的制程程序中产生制程数据115a时，制程数据的历史记录152被当作用来决定制程数据115a是否包含制程事件数据的历史数据。当制程数据115a中侦测到事件数据时，该事件数据被传送到制造执行系统17，并被用于作为机台控制的参考数据。该事件数据也被传送到警示系统19，此时，警示系统19产生一警告数据，并透过电子邮件或电话数据等适合的方式，将该警告数据传送给特定对象。
图2显示依据本发明实施例的用于收集及处理从制程机台撷取的电子数据的方法的流程图。该方法用以收集在制程程序执行过程中产生的非SECS制程数据，并从中筛选及侦测出对应于制程事件的事件数据，并能够依据该事件数据进行机台的即时监视与控制。
参见图2，在步骤S211中，开始一第一制程程序(processingrun)。当该第一制程程序被制程机台执行时(步骤S212)，制程机台即产生制程数据。并在步骤S213中，将该制程数据储存在制程机台的一近端储存单元中。制程数据的产生和储存可以同时执行或依序执行。在步骤S214中，当该第一制程程序完成时，暂存于制程机台近端储存单元的该制程数据，即透过一网络被传送到一监测装置。其中，该网络可以为TCP/IP网络等。该制程数据包含大量的非SECS数据。可以使用一文件传输协议(FTP)，透过一网络来将该制程数据从该近端储存单元传送到该监测装置。制程机台先前执行的数次制程程序所产生的该制程数据的历史记录152，是可以储存于该监测装置或其所连接的一储存装置。当监测装置15接收该第一制程程序所产生的该制程数据时(步骤S221)，该制程数据的历史记录152被用于决定收集的该制程数据是否包含符合一预定条件的事件数据(步骤S222)。亦即，其中该预定条件是依据该制程数据的历史记录数据而定。若该制程数据中侦测到事件数据，则将该事件数据传送到控制装置(例如制造执行系统)(步骤S223)。在步骤S231中，控制装置接收该事件数据，并利用该事件数据来进行机台的控制。在步骤S232中，将该事件数据传送到警示系统19。此时，警示系统19产生一警告数据，并透过电子邮件或电话数据等适合的方式，将该警告数据传送给特定对象。在步骤S233中，该机台的新的制程设定产生，并将该机台依据该新的制程设定进行设定。在步骤S215中，使用制程设定经过调整的该制程机台，进行一第二制程程序。
以下以一曝光机台为例，说明上述机台监控的方法。就一曝光机台而言，曝光剂量是攸关生产良率的一个重要制程参数。曝光剂量受到曝光机台一能量感应器及点感应器的运作状况的影响。能量感应器及点感应器的运作状况的相关记录数据通常会被记录在该曝光机台的光自动校正(illumination automaticcalibration，ILAC)数据中。有许多种类的曝光机台都可以记录ILAC数据，并通常会储存在该曝光机台所设置的近端硬盘中。然而，很多曝光机台不能透过SECS协议，将ILAC数据传送到一外部装置。在曝光程序执行的过程中，曝光机台产生该次曝光程序执行时的ILAC数据，并将该ILAC数据暂存在一近端硬盘中。当该次曝光程序执行完毕时，该曝光机台所暂存的ILAC数据即透过一网络(例如TCP/IP网络等)，使用文件传输的方式被传送到一监测装置。曝光机台先前执行的数次曝光程序所产生的ILAC数据的历史记录传送到监测装置时，该ILAC数据的历史记录被用于决定收集的该ILAC数据是否包含符合一预定条件的事件数据。例如，其中该预定条件是依据先前执行的40次某一曝光模式的曝光程序所产生的该ILAC数据的历史记录数据，将该历史记录数据进行统计分析，得出ILAC数据的一平均值。当该次曝光程序的ILAC数据和该ILAC数据平均值的差异超过一预定范围时，该次曝光程序的ILAC数据即被视为是异常的制程数据，并代表该次曝光程序中发生了一制程事件。当该ILAC数据中侦测到事件数据，则将该事件数据传送到制造执行系统，并将该事件数据传送到警示系统。此时，警示系统产生一警告数据，并透过电子邮件或电话数据等适合的方式，将该警告数据传送给特定对象。当该曝光机台被视为有制程事件发生时，预定要在该曝光机台进行处理的晶圆先被暂缓处理，直到该制造执行系统完成该曝光机台的制程设定调整时，再处理该晶圆。同时，上述事件数据并不加入该ILAC数据的历史记录中。亦即，该事件数据即使也被储存，也并不会加入该历史数据作为判断后续事件数据的基准。
虽然本发明已通过较佳实施例说明如上，但该较佳实施例并非用以限定本发明。本领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，应有能力对该较佳实施例做出各种更改和补充，因此本发明的保护范围以权利要求书的范围为准。
附图中符号的简单说明如下：
制造系统：10
制程机台：11、13
监控装置：15
制造执行系统：17
警示系统：19
网络：12
设备接口：111、131
制程数据：115a、135a
储存单元：115、135
中央处理单元：113、133
制程数据历史记录：152

Claims (13)

1.一种收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，包括：
一数据收集装置，其是用以透过网络从一制程机台收集制程数据，其中该制程数据是非半导体设备通讯标准界定的数据；以及
一处理器，其是用以决定该收集的该制程数据是否符合一预定条件，其中该预定条件是依据该制程数据的历史记录数据而定。
2.根据权利要求1所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其特征在于，该数据收集装置使用一文件传输协议，透过一网络来收集该制程数据。
3.根据权利要求1所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其特征在于，该数据收集装置及该处理器是于该制程机台执行制程程序的空档运作。
4.根据权利要求1所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其特征在于，该处理器使用一统计方法，处理该制程数据的该历史记录，以决定该预定条件。
5.根据权利要求1所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其特征在于，该处理器进一步将不符合该预定条件的该制程数据界定为事件数据，并将该事件数据传送至一外部系统。
6.根据权利要求5所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其特征在于，该处理器进一步将该事件数据传送至用以控制该制程机台的一制造执行系统。
7.根据权利要求1所述的收集及处理从制程机台撷取的电子数据的系统，其特征在于，该数据收集装置，是用以收集曝光机台的光自动校正数据。
8.一种制造系统，包括：
一机台，其是用以处理一工作件；
一监控装置，其是与该机台连接，用以收集该机台于处理该工作件时，产生的非半导体设备通讯标准界定的数据，并依据该机台先前处理工作件时，产生的该制程数据的历史记录，从收集的该数据中筛选预定的事件数据；以及
一控制器，其是与该监控装置连接，以从该监控装置接收一事件数据，并依据该事件数据控制该机台。
9.根据权利要求8所述的制造系统，其特征在于，该监控装置使用一文件传输协议，透过一网络来收集该制程数据。
10.根据权利要求8所述的制造系统，其特征在于，该监控装置使用一统计方法，处理该制程数据的该历史记录，以决定一预定条件，并据以从收集的该数据中筛选预定的该事件数据。
11.根据权利要求8所述的制造系统，其特征在于，该控制器是为用以控制该制程机台的一制造执行系统。
12.根据权利要求8所述的制造系统，其特征在于，该机台为一曝光机台。
13.根据权利要求12所述的制造系统，其特征在于，该监控装置收集该曝光机台的光自动校正数据。
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