CN1401103A - 光刻制版激光器的处理监视系统 - Google Patents

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Abstract

一种至少位于一个集成电路制造厂的光刻制版激光器(2)监视系统。各制造厂的各激光器(2)与一个终端服务器(6)关联。对各制造厂而言，中央控制服务器单元(8)通过局域网(7)与各激光器(2)通信。中央控制服务器单元(8)收集来自激光器(2)的信息，并用该信息对有访问权的关注方提供以网站格式可得的摘要信息。

Description

光刻制版激光器的处理监视系统
本申请是2000年2月16日提出的序列号09/505,233的连续部分。本发明涉及监视系统，尤其涉及激光器的监视系统。
发明背景
通常采用以步进器和扫描器设备在硅晶片上印刷集成电路的光刻制版工序完成集成电路制作。在先进的生产厂中，此制版工序的光源是准分子激光器，其中多数是工作在约248nm波长的KrF准分子激光器。将来制作业界变迁到工作在约193nm的ArF准分子激光器和工作在约152nm的F2准分子激光器，会提供高于248nm波长光所能达到的分辨率。
由于含步进器/扫描器设备及其关联激光源的生产线非常昂贵，并且其生产的集成电路很宝贵，集成电路生产线通常以最短的停机维修时间，几乎每年365天，每周7天，每天24小时，“昼夜无休”连续工作。因此，投入巨大力量建立并维护含准分子激光器的生产线设备，使停机时间(尤其是非计划停机时间)最少。结果，期望光刻制版准分子激光器“停机时间”远少于1％。
此外，这些生产线生产的集成电路的质量很大程度上取决于激光器所产生激光束的质量。上述光束通常线条狭窄，并且谨慎控制每一脉冲的能量。通常对先进光刻制版激光器以每秒1000和2500脉冲之间的脉冲速率工作情况下的每一脉冲监视中心线波长的光束质量规范参数、带宽和脉冲能量。典型KrF准分子激光器的光束规范为：
波长变化(30脉冲窗口内)＝±0.07pm
波长标准差(即标准偏差)＝±0.06pm
带宽(小于)＝0.6pm
剂量变化(30脉冲窗口内)＝0.4％
能量标准差(30脉冲窗口内)＝12％
能量变化(30脉冲窗口内)＝7.5％
这些规范是激光器生产厂出货前决定激光器性能是否验收测试合格用的质量标准类型的例子。
集成电路生产线工作期间，监视能量、中心波长和带宽，并且用基于计算机的自动反馈控制对能量和中心线波长进行控制。生产线运营者用各种方法控制激光束质量，并判决何时需要调整、维修或更换设备。由于关闭生产线进行维修常涉及生产损失，造成集成电路单元产品成本提高，所以光束质量劣化时常常难以作出这些判决。另一方面，按非理想光束质量继续生产却导致质量降低。
5,646,954号美国专利(作为参考资料在此引入)阐述了一种用于改进准分子激光器光刻制版光源可靠性的维修策略控制系统和监视方法的已有技术。此系统采用微处理器监视激光脉冲，并根据利用率的值预测应安排维修和设备更换的时间。光刻制版激光器通常以模件的方式制成，以便每当模件内存在故障时，用备份模件快速替换整个模件。然后，将被替换的模件送回工厂。其中可用的部件在新生产的模件中重新应用。这些模件的例子有：包含激光室和关联部件的腔室模件、包含使激光束波长和脉冲能量稳定的波长计的稳定模件、和缩小激光束带宽并控制光束波长的线宽缩小模件(LNM)。
激光束质量控制对维持高质量集成电路生产很重要。诸如KrF准分子激光器之类的先进光刻制版激光器包含三个信息数据控制端口：
(1)步进器/扫描器端口，步进器/扫描器的计算机控制器通过此端口对激光器计算机发出点火命令；
(2)串行端口，用于激光器控制器件，呈叶片形，因而称之为叶片，激光器操作者通过此端口对激光器发送串行命令，以控制目标波长、脉冲能量等激光器参数，或对气体混合物等参数进行调整；
(3)RS-232诊断端口，现场工程师用该端口收集来自激光器计算机的参数数据。
激光器制造者当前收集并处理来自光刻制版激光器的数据的典型工序涉及以及以下步骤：
(a)来自激光器制造者方的现场工程师每周从光刻制版激光器实际下载数据；
(b)以ASCII平面文件的形式存储此数据后，用电子函件发给激光器制造者进一步处理；
(c)基于此电子函件的程序使用3年，分析电子函件的数据文件，将其保存在服务器中；
(d)由有经验的厂方技术支持人员观察并处理此数据，以免差错；
(e)用户根据SQL服务器数据库的数据产生特殊寻问，用于历史性分析；
(f)整个工序对时间敏感(例如某些寻问用7到8分钟进行处理)。
由于当前的工序实质上是人工的，存在下列限制：
(a)现场工程师必须每周到集成电路制造厂的清洁室环境中实际下载此数据。因此，不能每天进行此处理，必须根据客户/现场工程师进行安排。当前每周收集数据。
(b)此数据实际上不是实时的，并且因其处理时间会使数据晚一周以上。
(c)没有连续状态报告。
(d)需要训练现场工程师以适当格式下载数据。
(e)没有对有关人员的自动提醒。
(f)整个工序在操作这些激光器设备中具有一定程度的不确定性，从而表示激光器供应商和制造厂开销成本大。
需要一种较好的光刻制版激光器监视系统。
发明内容
本发明提供一种位于集成电路制造厂的光刻制版激光器监视系统。各制造厂的各激光器与一个终端服务器关联。对各制造厂而言，中央控制服务器单元通过局域网与各激光器通信。中央控制服务器单元收集来自激光器的信息，并用该信息对有接入权的关注方提供以网站格式可得的摘要信息。
本发明的主要功能是捕获数据。激光器的监视器记录大量数据。例如，对每一激光脉冲监视脉冲能量、波长、带宽和充电电压。由于先进的激光器通常以约20％的负载周期工作在2000Hz，所以仅这些参数就代表每秒收集1600个数值，又由于昼夜不停工作，此数据相当于每天约13800万个主激光器数据值。此外，激光器还根据此主数据计算其他性能值。所计算的值包含多个小数据组的波长和脉冲能量的标准偏差值。激光器又计算称为脉冲“窗口”的特定脉冲组的剂量变化。此外，还很频繁地监视其他激光器参数，并且按要求经常记录。这些其他参数包含各种温度值、激光器气体压力和风扇速度。
光刻制版激光器通常以脉冲串方式工作，其中在这些短脉冲串(诸如200个脉冲)产生(这期间照明晶片上的单一片斑)后的几分之一秒的空闲时间内，步进器或扫描器移到不同的片斑。照明晶片上的全部片斑后，有一段几秒钟的较长空闲时间，用于新晶片移动到位。激光器监视此模式，并且本发明的系统能随空闲时间将各脉冲串的每一脉冲做成档案。此外，还可计算并存储所希望的摘要、汇编、报告、数据总计或比较的表格，并且可几乎按照实时提供。
图表可包含：
(1)每月各激光器开机时间(或停机时间)的图表
(2)开机时各激光器负载周期的图表
(3)末次腔室更换以来各腔室综合脉冲计数图表
(4)末次模件更换以来各模件(诸如LNP、电源模件、整流器模件、压缩线模件、气体模件)的综合脉冲计数(或天数)图表
(5)特定时间间隔中各激光器的波长监视、波长标准差、平均带宽、剂量变化、能量标准差和能量变化的图表。
附图说明
图1是本发明较佳实施例的总布局的说明图。
图2至图5是计算机打印拷贝，示出本发明原型实施例所建立的典型网页的一般表现。
较佳实施例详述
第1较佳实施例
可参照附图说明本发明的第1较佳实施例。图1示出集成电路制造厂中监视光刻制版激光器的工序监视系统的总轮廓。
激光器
本实施例的激光器2是准分子激光器，该激光器在特定集成电路制造中可以是由诸如Cymer 5000系列和Cymer 6000系列激光器等KrF型激光器组合构成的约20个激光器，该Cymer系列激光器可从总部在加洲圣地亚哥的Cymer公司购得。这些激光器以约1000Hz或2000Hz的重复率工作，产生每脉冲约10mJ的激光脉冲。这些是生产硅晶片上集成电路的扫描器和步进器设备用的紫外线光源。
接口
RS-232C接口的端口4提供图1所示激光器控制部分与监视设备之间的通信。
终端服务器
每一激光器与具有独特互联网地址的终端服务器6关联。较佳实施例中，终端服务器6是可从Blackbox公司购得的LE 995A-R3型标准服务器。
制造厂中央控制服务器
此较佳实施例中，形成系统一部分的各集成电路制造厂用一个制造厂中央控制服务器8对其服务。如图1所示，服务器8通过制造厂的局域网(LAN)7与各激光器2通信。对服务器的较佳最低要求如下：
处理器：奔腾700MHz或以上，双处理器系统
RAM：2Gb
硬盘：400Gb
UPS
备份磁带驱动器-400Gb
满足这些要求的较佳服务器可以是可从Hewlett Packard购得的HP LH6000系列内的服务器。
上述系统足以用到制造厂，其中
(a)存储数据多达6个月，
(b)激光器数等于或少于20。
因特网
如图1所示，此较佳布局中，制造厂的运营者在其通信网与外界之间建立制造厂防火墙12，以对抗非法访问其LAN的信息。这时负责确保激光器2符合性能标准并对激光器性能有契约责任的激光器制造者可有限访问制造厂监视系统收集的信息。按照激光器制造者与制造厂运营者之间的协议，通过互联网提供该有限访问。然而，2个组织均具有防火墙，制造厂方示为12，制造者方示为11。
因此，具体较佳实施例中，可将某些类型的数据(预先商定)以网站型格式存放到服务器8中，并且由制造者通过制造者的因特网服务器16下载到制造者方设施的若干中央处理单元(未示出)。
控制和监视程序
本较佳实施例中的中央控制服务器8利用以下市上可购得的软件包：
(a)操作系统-Linux 6.2，X11R6高级版本
(b)数据库存储和检索-Oracle 8I标准版
(c)Web服务器-Tomcat版本3.1
编程
本应用采用Linux CVS/RCS程序对Linux操作系统8编程。用GNU工具组建立使各程序成为模块的程序库。程序库包括：共用库、静态库和动态加载库。
中央控制用的计算机程序
最好以模块形式建立操作系统8的软件。有4种主软件模块：数据捕获模块、分析器模块、数据库模块和用户接口模块。
数据捕获模块
数据捕获模块由一组程序组成，这些程序执行从激光器2收集数据的任务，并将该数据送到分析器模块进一步处理。通过终端服务器6和RS232C接口4进行通信，如图1所示。
数据捕获模块包含以下软件组成部分：
·激光器读和写
·激光器写入命令
·命令写入队列
·激光器数据读出
·主调度器
·分析器程序接口
·数据库写入队列
·系统差错记录和差错端口监控
激光器读和写
第1模块由套接字通信读写程序构成。写程序对激光器输出命令。读程序捕获来自激光器的应答和数据。主调度器模块在可配置的周期性间隔调用写程序。依据来自装置的应答数据的可用性调用读程序。每一写操作启动装置数据应答。在成功捕获或读操作超时值前，不会试图进行对相同装置的后续写操作。
装置写入命令
从Linux服务器到终端服务器建立套接字连接。在主调度器控制下将命令写入套接字。
以下给出装置的较佳命令清单：
取得配置
激光器控制系统用可配置数据定制系统操作。例如，配置数据中包括再填充操作时的气体量、许多激光器部件的工作年龄、激光器系列号和许多其他参数。“取得配置”命令收集此信息。
取得诊断
在激光器内部，传感器监视激光器的性能。控制模件定期读取传感器，并且更新存放传感器读数的存储单元。诊断读数包含诸如激光器内部温度和冷却水流速等参数。
取得差错
激光器检测到告警或差错时，在手持终端上显示信息，并且在存储器的保留部分记录告警/差错码。每一记录项包含告警或差错码号、出现差错的日期和时间以及引起差错的参数。激光器存储多达50个告警(运行MCS版本1.64或更新的版本时)和多达50个差错。
取得状态
状态数据是决定诸如重复率、能量态、触发态和脉冲串计数等激光器性能的参数。
取得发射数据
每次激光器点火，在主控板保存以下信息：
·脉冲能量
·高压设定点
·波长
·带宽
取得平均发射数据1K
这是对1000个脉冲取平均的发射数据。
取得平均发射数据100K
这是对100000个脉冲取平均的发射数据。
取得平均发射数据100M
这是对100000000个脉冲取平均的发射数据。
取得平均发射数据100M
这是对100000000个脉冲取平均的发射数据。
取得边缘数据
边缘数据是单个激光发射的1024字节频谱表示，用于校正波长。与其他类型的数据不同，仅在激光器点火时能下载有效边缘数据。
取得全部数据
此指令捕获全部上述数据。
激光器软件存储命令字符，直到遇到终止信号。然后，该软件收集数据，并将数据发送到中央控制服务器单元。
命令写入队列
主调度器在安排的时间对写队列发送命令。此外，互动用户或另一控制程序也可对命令写入队列发送命令。写队列采用先进先出结构，并且用套接字对装置发送命令。将命令发到指定的具体激光器。直到完成先前的命令或出现超时，才试图对相同激光器发下一命令。将来自分析器的数据按XML格式文件传给调用的程序。由返回消息队列将文件处理程序送回调用程序。主调度器不需要送回的数据。于是，将返回数据提交给数据库写入队列，以便将收集的信息上载到数据库。
装置读出数据
送到各激光器的每一命令导致来自激光器的数据应答。收完前一命令的数据应答后，可对激光器写入后续命令。没有激光器的应答，则造成的超时会终止读数据程序，并给系统差错记录添加一项。用套接字连接从终端服务器读取数据。走纸指明各数据应答结束。分析器应用将整个数据应答作为一个数据组进行处理。这里的基本差别仅在于第1数据组具有激光器ID。为了数据读程序的数据校验，将该数据作为一长串可印制ASCII字符处理。非可印制ASCII字符表明受损的数据，并且丢弃该数据组，同时使系统差错记录有一项。将有效数据传给分析器程序，准备用于数据库加载或互动用户上网浏览。其他调用写队列模块的程序以XML格式从分析器接收数据。
主调度器
此程序以预先配置的时间间隔调度各种命令写入激光器。用户利用万维网上的“用户接口屏幕”维持命令频次。激光器写入操作的命令导致数据应答。将Linux标准“记时器”实用程序用作主调度器。提供用户接口以观看并修改“记时器标记”文件的内容。使用标准用户帐户运行这些记时器作业。
分析器接口
激光器读程序具有应答命令的完整数据组时，调用分析程序。如果超时后应答数据不完整或该数据受损，则丢弃该数据。否则，将从激光器读取的应答存放到盘片缓存器中。
分析程序解释此数据，按照预定文法对其进行分析，准备将该数据载入0racle数据库。然后，分析程序对数据库写入作业队列发数据库写入请求。
数据库写入队列
在作业队列中存放来自分析器的数据库写入请求。根据数据库SQL加载器的性能发出加载命令。一时间段的输入数据速率顾及全部异步数据库写入请求的完成。
数据库写入在批量队列中提交作业。将命令供给监视器后删除，并对批量队列增添新作业。作业终止时，退出值指明成功或出错。可用Linux操作系统外壳脚本执行批量作业的异步作业控制。局部外壳背景中运行的作业和该外壳在作业改变状态时通知主程序。在较传统的批量处理环境中用队列细节程序时，将结果经电子邮件送回给用户。将这些结果再次引导到适当的成功文件或差错记录文件。
系统差错记录和差错端口监控
此应用在下列状况下建立差错记录项：
·命令无装置应答
·超时而未完成装置应答
·装置应答受损
·因独特键违规而数据库负载出错(已经有数据)
·因负载文件不正确而数据库负载出错
·因数据库故障或其他系统有问题而数据库负载出错
监视严重差错和非严重差错，并在系统控制台窗口显示适当的告警。可以需要或不需要独立的系统差错记录端口监控。新的严重差错或非严重差错的出现会触发告警，并根据差错的类型和计数在控制台上显示。
模拟程序
最好提供模拟程序，以测试上述模块而不连接激光器。该模拟程序模拟装置对各种命令的应答，包括不完整应答、无应答和其他差错状况。模拟程序最好在运行Red Hat(红帽)Linux 6.2的低功率、低速PC上运行。用RS232C接口可将其连接到“黑箱(Black Box)小型终端服务器”(BBTS)。该PC存储并模拟对每一命令的全部标准应答。首先送回平坦应答。对命令写入队列和分析器输出提供外部应用程序接口如下：
·命令写入队列。此队列接受来自记时调度器、互动内联网用户或外部程序的命令，并且使这些命令排队，在对某一激光器的最后命令完全时，将这些命令写入该激光器。调用程序将命令、装置标识符和调用程序源传给命令写入队列。
·数据读出队列。已从激光器读出数据时，将数据传给分析器。分析器分解各字段，插入时间标记和其他首标，并按照数据库方案的简述制备记录。数据读出队列包含调用程序的文件指针和返回地址。调用程序通过数据读出队列拾取数据。
·数据库写入队列。周期性记时器命令会请求将某些命令的数据捕获并载入数据库。将SQL加载器格式的分析器输出提供给数据库写入队列。此队列处理SQL加载器的启用和数据的适当加载。
队列的实现
可利用以下队列机构：
1.Linux外壳队列和GNU队列程序
2.TIBCO排队应用
3.Linux V5.1技术版本的IBM MQ系列
分析器模块
分析器模块以适当形式建立必要的数字信息，以便能适当处理、存储并检索捕获的数据。较佳布局中，将信息分析成12类：
1.包含命令和激光器S/N的首标
2.制造者数据的识别细节
3.xml
4.设备标识
5.数据组标识
6.序列
7.全局独特标识符
8.数据设定日期
9.通用时间码偏移
10.连接器类型
11.分析器状况的过程ID
12.告警或差错信息记录名
用户接口—网页
通过在图1所示的服务器8上建立HTML页面显示网页。用标准HTML标记建立这些页面。由于这些HTML页面包含从数据库检索的动态数据，所以建议用Java服务器页面(JSP)技术(连同小服务器)。选择此技术的一些原因如下：
1.JSP利用已成为业界标准的Java和相关技术。因此，JSP享有许多销售商的支持，并且具有可提供的良好质量。迁移到将来的版本也比较容易。
2.可从Apache(http：//jakarta.apachc.org/tomcat/index.html)免费获得作为JSP和小服务器引擎的Tomcat，并且便于与Apache万维网服务器综合为一体。
3.用与Apache万维网服务器良好综合的Xalan技术能简单地实现将来延伸到在手持装置上显示装置性能。
此外，Java还是奉行“写一次即可各处运行”方针的平台独立、安全且网络友好的语言。将来迁移到不同平台不需要重新编辑任何前端码。
为了通过JSP支持HTML的建立，设计JavaBean构件支持这些页面显示需要的数据。最好每一JSP有一JavaBean用于加载数据，进行数据处理并将数据存回到数据库。规定适当的方法，使JSP与JavaBean之间正确分开显示和数据处理。
为了访问数据库以检索/存储数据，JavaBean采用JDBC技术。有许多提供良好性能的Oracle用优良纯Java JDBC驱动器(4级驱动器)。此外，使用已准备的语句会强化频繁执行询问的性能。按照以前的规定，JavaBean包含访问数据库的全部逻辑。为了进一步强化性能，JavaBean从连接库获得对数据库的连接。连接库反复循环各数据库之间的调用连接，因而避免频繁开关很昂贵的连接。将连接库设计成能通过文本文件在外部控制其参数。连接参数中的一部分包括：连接能用的次数、使连接返回连接库前的非工作时间等。读者会注意到可从JSP产生XML页面代替HTML页面，使得能用适当样式的页在各种装置(掌上机、蜂窝网电话、浏览器等)上显示数据。
Web页面
优先显示的Web页面有以下10种：
1.管理页面—用此页面管理连接某一服务器的装置簇。管理功能包含给网络添加装置、配置数据收集参数等。
2.中央页面—显示连接某一服务器的全部激光器的状态。
3.摘要页面—显示有关某一激光器型号的数据。数据类型是该激光器型号的累积或平均值。该页还显示下5个月每周预计要替换的部件数。
4.设备控制(EC)页—对某一激光器ID显示有关利用率、维护和更换安排等的数据。
5.服务记录页面—由服务人员对某一激光器ID输入数据。此页面中输入有关停机时间、更换部件和注解的细节。这是当前规划中2个页面之一，该页面接受网上用户存在数据库中的数据(另一页面是管理页面)。
6.SPC(统计处理控制)页—对某一器件ID显示各参数(带宽、能量标准差等)的X条形和范围图。还显示过去5天期间记录的差错和告警。
7.差错页—某一装置ID的差错和告警。
8.注解页—用于各装置ID(从EC引出)。
9.更换的部件—用于各装置ID(从EC引出)。
10.互动用户命令页—用户也可从浏览器发布激光器数据捕获命令，如GA、GE、GD等。此页具有选择命令类型用的选择框和提交此命令的按键。一旦提交命令，即以表格形式显示收集的原始数据。
此外，有些上述页面还包含显示不同类型数据用的摘要栏。例如，摘要页可分成4个摘要栏，标题分别为消耗费用、装置生产率、装置性能和更换安排。复合页分成各个标记(内部作为独立页实现)，由于在各页间划分提供图表的计算，使性能觉察较快。
页面序列
提供规划的主页。用户可通过点击所需装置ID区(EC、服务记录等)从该主页引出各个激光器，或者从该主页引出摘要页。
最好有一些从每页到其他页的链接。此外，在显示有关某一激光器ID细节的页面内或显示有关某一激光器型号的摘要页中，可从下拉式列表框选择不同的激光器ID或型号。此事件会触发要显示的该具体ID(或型号)的数据。
当前，对过去的6个月显示其全部历史数据。将来的强化可为用户提供选择较长时间段(9个月、一年等)的选项。本规划中显示数据的最重要形式可能就是通过使用图表。图表必须在服务器方提供，并且显示在浏览器上。为了达到这点，我们可开发符合客户需要的图表制作包或借助来自第3销售方的现有图表制作件。虽然开放专用图表制作工具能订制成符合我们的需要，因此较理想，但很花费时间且很昂贵。一些销售商提供包装成JavaBean的Java图表制作件。其例子包括ProtoView的PowerChart、KL集团的Jclass件(JCChart)、Visualize公司(www.visualizeinc.com)的DataVista Pro等。
图表类型
以下是规划要求显示的各种图表。
1.条形图
2.堆叠条形图(用于累积的数据)
3.折线图
4.带标准偏差(高—低)标记的折线图
5.发散图。
下表示出可显示的较佳图表及其类型。
页面      图表名     图表类型           注解
摘要 实际腔室寿命 条形图 更换腔室数与具体激光器类型寿命的图
实际LNM寿命 条形图 更换LNM数与具体激光器类型寿命的图
实际稳定模件寿命 条形图 更换稳定模件数与具体激光器类型寿命的图
本月激光器利用率 条形图 具体激光器型号利用率(百万脉冲)与激光器数的图
每月平均激光器利用率 折线图 具体激光器型号末6个月平均利用率的图
每月开机时间/关机时间 堆叠条形图 具体激光器型号末6个月的开机时间百分比、计划和非计划停机时间
每月平均带宽和3标准差范围 带标准差高/低点的折线图 具体激光器型号的末6个月平均带宽
每月平均能量稳定度和3标准差范围 带标准差高/低点的折线图 具体激光器型号的末6个月平均能量稳定度
差错和告警的帕雷托图 条形图(带累积用的折线图？) 末6个月期间出现的不同类型差错和告警
EC 利用率 折线图 具体激光器ID末6个月中的利用率(10亿脉冲)
SPC X-条形图 带VCL和LCL极限线的折线图 具体激光器ID的带宽、能量标准差、剂量误差、电压、腔室压力、温度、总注射发射、F2消耗的图
范围 带VCL和LCL极限线的折线图 与X条形图相同
                   表
需要显示的表如下：
  页面       表题       行       列    数据类型
  摘要 每周部件更换计划 部件名 周(起始日) 更换部件数
  EC 估计利用率(下5个月) 部件名 周(起始日) 彩色编码单元
计划开机时间、计划/非计划停机时间 停机时间/开机时间的类型 末3个月和12个月的时间和百分比 时间(小时)和百分比
  SPC 差错日志和警告日志 差错/告警类型和说明
诸如图2和图3的描绘上述表中某些或全部信息的图表，最好添加到服务器8中建立的网站，使有权访问该信息的关注方可通过因特网获得这些图表。最好用需要用户名和通行字的公知因特网技术完成这点。
因此，激光器制造者能获得Web服务器8上的该信息，并使用该信息规则维修和更换活动，探求表明设计问题的趋势。制造厂外的制造厂所有者合作组织的关注方也能获得此信息。
外部接口规范
将适当的XML格式用于与外部应用通信。
显露问题和机会
此处说明的系统使关注方可快速且有效地比较大量同类激光器的性能。这样就使关注方可识别性能最好和最差的激光器，辨明问题，并认清能用于改善性能的方法和工作参数。例如，已公知腔室气体压力固定时，产生期望脉冲能量(例如10mJ)所需的充电电压随氟浓度降低而升高，致使充电电压(每一脉冲进行监视)成为氟浓度的质量尺度(工作期间未建立氟浓度实际量方面的尺度)。因此，这些激光器可在较大范围的充电电压和氟浓度上工作，而激光器操作者往往不知道最佳工作范围。由于光束质量参数随氟浓度和充电电压变化，在最佳范围工作是重要的。根据此系统，在宽大的充电电压范围对大量激光器按充电电压比较这些光束质量参数，使关注方可识别提供期望光束质量结果的最佳充电电压范围。也可对所期望的恒定脉冲能量调整腔室气体压力，这也会导致充电电压或氟浓度相应变化，从而能改善光束质量。
本系统还使激光器可编排成在再次填充氟气时收集激光束质量数据，从而可作为氟气浓度大小值的函数和/或作为腔室压力的函数，决定光束质量值。可从大量激光器收集此信息，从而提供可用于推荐产生改进光束质量的工作范围的附加宝贵信息。
虽然以上就较佳实施例专门说明本发明，但读者会理解可作许多变化而不偏离本发明的实质。实施例中，激光器制造者的服务器16通过因特网连接许多制造厂，以便监视几百个激光器。例如，图1所示的终端服务器6可以是嵌入激光器2的网卡，将该卡称为嵌入式网卡。因此，本发明的范围因由所附权利要求书及其法律等同体决定。

Claims (14)

1.一种光刻制版激光器监视系统，位于至少一个集成电路制造厂，所述系统，其特征在于包含：
(A)多个激光器，各激光器配置成在集成电路光刻制版工序中用作照明源；
(B)与所述多个激光器的每一个关联的终端服务器；
(C)通过局域网与所述多个激光器的每一个通信的中央制造厂服务器单元，对所述中央制造厂单元编程，以捕获来自各所述激光器的数据，并且用原始形式和/或摘要形式存储至少部分该数据；
(D)第2服务器单元，该单元通过所述第1服务器单元与有权访问所述第1服务器单元存储的信息的人员所用计算机之间的通信网提供通信。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述多个激光器是窄带准分子激光器。
3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，每一终端服务器具有独特的互联网地址。
4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第2服务器位于激光器制造者的设施中。
5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，用按模块形式建立的软件对所述中央制造厂服务器单元编程，所述软件包含：
(a)数据捕获模块
(b)分析器模块
(c)数据库模块
(d)用户接口模块。
6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述数据捕获模块包含以下软件组成部分：
(a)激光器读和写
(b)激光器写入命令
(c)命令写入队列
(d)从激光器读数据
(e)主调度器
(f)分析器接口
(g)数据库写入队列
(h)系统差错记录和差错端口监控。
7.如权利要求1所述的系统，其特征在于，在所述中央制造厂服务器单元建立的网站提供从所述激光器捕获的数据。
8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，以摘要图表的形式提供从所述激光器捕获的所述数据。
9.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述网站包含网页。
10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述网页包含：
(a)管理页
(b)有关具体激光器的摘要页
(c)服务记录页
(d)差错页。
11.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述图表包含：
(a)腔室寿命图表
(b)LNM图表
(c)稳定模件图表
(d)开机时间或停机时间图表
(e)有关维修图表。
12.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述通信网是因特网。
13.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述通信网是内联网。
14.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述终端服务器是嵌入式网卡。
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