JP2002015986A - リソグラフィ・レーザ用プロセス監視システム - Google Patents

リソグラフィ・レーザ用プロセス監視システム

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JP2002015986A JP2001086381A JP2001086381A JP2002015986A JP 2002015986 A JP2002015986 A JP 2002015986A JP 2001086381 A JP2001086381 A JP 2001086381A JP 2001086381 A JP2001086381 A JP 2001086381A JP 2002015986 A JP2002015986 A JP 2002015986A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 リソグラフィ・レーザ用プロセス監視システ
ムを提供することを目的とする。 【解決手段】 集積回路製造設備におけるリソグラフィ
・レーザを監視するためのシステムである。各々の製造
設備における各々のレーザは、端末サーバーと接続され
ている。各々の製造設備に関し、中央制御サーバーはロ
ーカル・エリア・ネットワークを経由して各々のレーザ
に接続している。レーザからの情報は中央制御サーバー
装置によって収集され、この情報はアクセス許可を有す
る関係者がウエブ・サイトの形式で利用できる要約情報
を提供するのに使用される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本出願は２０００年２月１６
日出願の特許出願番号第０９／５０５，２３３号の一部
継続出願である。本発明は監視システムに関し、より詳
細にはレーザ用監視システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に集積回路の製造はリソグラフィ・
プロセスを利用して行われ、ステッパもしくはスキャナ
装置を使用してシリコン・ウエハー上に集積回路を印刷
する。最新式の製造設備では、リソグラフィ・プロセス
用の光源はエキシマ・レーザであり、その大部分は約２
４８ｎｍの波長で作動する狭帯域ＫｒＦエキシマ・レー
ザである。将来においては、２４８ｎｍ波長光で可能な
分解能よりも大きな分解能が、約１９３ｎｍで作動する
ＡｒＦエキシマ・レーザおよび約１５２ｎｍで作動する
Ｆ2エキシマ・レーザへと業界が移行することにより提
供され得る。
【０００３】ステッパ／スキャナ装置およびそれらに関
連するレーザ光源を含む製造ラインは極めて費用がかか
り、そこで生産される集積回路は極めて高価であるの
で、一般に集積回路製造ラインは、ほぼ連続的に「休み
なく」、一日２４時間、一週７日、一年３６５日、メン
テナンス用の最低限の停止時間で稼動する。従って、停
止時間、特に予定外停止時間を最小にするようエキシマ
・レーザを含む製造ラインの機器を構成して保守点検す
ることに大変な努力が注ぎ込まれる。結果として、リソ
グラフィ・エキシマ・レーザの「停止時間」は、１％を
大きく下回ることが期待されている。
【０００４】更に、これら製造ライン上で生産される集
積回路の品質は、レーザが発生するレーザビームの品質
に大きく依存する。
【０００５】前述のビームは、一般に幅の狭いビームで
あり、各々のパルス・エネルギは慎重に制御される。中
心波長、帯域幅およびパルス・エネルギのビーム品質仕
様パラメータは、一般に各々のパルスに対して監視さ
れ、最新式のリソグラフィ・レーザは１，０００から
２，５００パルス／秒のパルス繰返し数で作動する。一
般的なＫｒＦエキシマ・レーザに関するビーム仕様は以
下の通りである。 波長変動（３０パルス・ウインドウ内） ＝±０．０７ｐｍ 波長シグマ（即ち、標準偏差） ＝±０．０６ｐｍ 帯域幅（未満） ＝０．６ｐｍ 露光量変動（３０パルス・ウインドウ内） ＝０．４パーセント エネルギ・シグマ（３０パルス・ウインドウ内） ＝１２パーセント エネルギ変動（３０パルス・ウインドウ内） ＝７．５パーセント
【０００６】これらの仕様は品質基準形式の例であり、
レーザ性能がレーザ製造設備からの出荷に先立つ引渡し
試験に合格するか否かの判定に使用される。
【０００７】集積回路製造ラインの稼動中、エネルギ、
中心波長および帯域幅は監視されエネルギおよび中心波
長はコンピュータベースの帰還制御により自動制御され
る。製造ラインのオペレータは種々の方法を利用してレ
ーザビームの品質制御を行い、調整、メンテナンスもし
くは機器交換が必要な時期の判定を行う。修理のために
生産ラインを停止させると一般に集積回路の単位生産コ
ストが高くなる生産ロスを招くことになるので、ビーム
品質が低下する場合にこの判定を行うことは困難であ
る。一方で、理想的なビーム品質に至ることなく生産を
継続すると結果として品質が低下してしまう。
【０００８】米国特許第５，６４６，９５４号（参考文
献として本明細書に組み込まれている）には、エキシマ
・レーザ・リソグラフィ光源の性能信頼性を改良するた
めの従来技術によるメンテナンス予定制御システムおよ
び監視方法が説明されている。このシステムはマイクロ
プロセッサを使用して、レーザ・パルスを監視し使用値
に基づいてメンテナンスおよび機器交換を予定すべき時
期を予測する。リソグラフィ・レーザは、モジュール内
に故障があれば必ず全モジュールが予備モジュールと迅
速に交換できるよう、典型的にはモジュール形式で組み
込まれている。その後で交換モジュールは工場に返却さ
れる。その中にある再使用可能な部品は新しく製造され
たモジュール中に再生使用される。このモジュールとし
ては、レーザ・チャンバおよび関連部品を含むチャンバ
・モジュール、レーザビームの波長およびパルス・エネ
ルギを安定させるための波長計を含む安定化モジュー
ル、およびレーザビームの帯域幅を狭めてビームの波長
を制御するためのライン制限モジュール（ＬＮＭ）を挙
げることができる。
【０００９】レーザビームの品質を制御することは高品
質集積回路の生産を維持する上で極めて重要である。Ｋ
ｒＦエキシマ・レーザ等の最新式リソグラフィ・レーザ
は以下の３つの情報制御−データ・ポートを有してい
る。 （１）これを経由してステッパ／スキャナ・コンピュー
タ制御装置がファイアリング・コマンドをレーザ・コン
ピュータに与えるステッパ／スキャナ・ポート。 （２）これを経由してレーザオペレータがレーザへシリ
アルコマンドを送出し、目標波長、パルス・エネルギ等
のレーザパラメータを制御するか、またはガス混合等の
パラメータの調節を行う、パドル形状のパドルと呼ばれ
るレーザ制御装置用シリアル・ポート。 （３）レーザ・コンピュータからパラメータデータを収
集するために現場技術者によって使用されるＲＳ−２３
２診断ポート。
【００１０】レーザ製造業者がリソグラフィ・レーザか
らデータを収集して処理するための典型的な現行プロセ
スは以下の段階を含んでいる。 （ａ）レーザ製造業者からの現場技術者が毎週リソグラ
フィ・レーザからデータを物理的にダウンロードする。 （ｂ）このデータはＡＳＣＩＩのフラット・ファイル形
式で格納され、その後電子メールによってレーザ製造業
者に送られて更なる処理が行われる。 （ｃ）この電子メールに基づいたプログラムは３年間使
用され、電子メールのデータ・ファイルを構文解析し、
それらをサーバー中に保存する。 （ｄ）このデータは、経験を積んだ設備の技術支援要員
によって矛盾がないか検査され／メッセージとして送ら
れる。 （ｅ）特別の問い合わせは、履歴解析用ＳＱＬサーバー
・データベース中のデータに基づいてユーザーによって
生成される。 （ｆ）全プロセスは時間に左右されやすい（例えば、あ
る種の問い合わせは処理するのに７−８分かかる）。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】現行プロセスは本質的
に手作業であり以下ような制限がある。 （ａ）現場技術者は、毎週このデータをダウンロードす
るために集積回路製造設備の無塵室環境中に物理的に居
合わせる必要がある。従って、このプロセスは日々行う
ことができず、顧客／現場技術者が計画する必要があ
る。この最新データは毎週収集される。 （ｂ）このデータはリアルタイムではなく、データは処
理される時まで一週間以上古くなる場合もある。 （ｃ）継続的なステータス報告がない。 （ｄ）適切な形式でデータをダウンロードするように現
場技術者を訓練する必要がある。 （ｅ）関係者への自動的な警報がない。 （ｆ）全プロセスは、これらのレーザ装置を作動させる
のにある程度の不確定性があり、レーザ供給業者と製造
設備の両者へは実質的な間接費がかかる。
【００１２】リソグラフィ・レーザを監視するための優
れたシステムが必要である。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、集積回路製造
設備におけるリソグラフィ・レーザを監視するためのシ
ステムを提供する。各々の製造設備における各々のレー
ザは、それに接続される端末サーバーを有する。各々の
製造設備に関して、中央制御サーバーユニットはローカ
ル・エリア・ネットワークを介して各々のレーザと通信
する。レーザからの情報は中央制御サーバーユニットに
よって収集され、この情報はアクセス許可をもつ関係者
がウエブ・サイト形式で利用できるようにされた要約情
報を提供するのに使用される。
【００１４】本発明の主要な機能はデータの収集であ
る。レーザの監視装置は莫大な量のデータを記録する。
例えば、各々のレーザ・パルスは、パルス・エネルギ、波
長、帯域幅および充電電圧について監視される。一般的
に最新式レーザは約２０パーセントの使用率で２０００
Ｈｚで作動するので、これらのパラメータはまさに毎秒
１６００の値を示し、運転は休みなく行われるのでこの
データは一日当たり一次レーザ・データ約１３８百万の
値に達する。更に、レーザはこの一次データから別の性
能値を計算する。計算値は、小グループのデータについ
ての波長およびパルス・エネルギの標準偏差値を含む。
また、レーザはパルス「ウインドウ」と呼ばれるパルス
の指定グループに関する露光量変動値を計算する。更
に、他のレーザパラメータを頻繁に監視して所望の頻度
で記録できる。これらの他のパラメータは、種々の温度
値、レーザガス圧およびファン速度を含む。
【００１５】典型的にリソグラフィ・レーザはバースト
・モードで作動し、ステッパまたはスキャナが別の色素
点へ移動する僅かなアイドル時間の後に、短バースト・
パルス（例えば２００パルス）が生成される（その間ウ
エハー上の単一の色素点が照射される）。全てのウエハ
ー上の色素点が照射されると、数秒の長いアイドル時間
があり、その間に新しいウエハーが所定位置に移動す
る。レーザはこのパターンを監視し、本発明のシステム
は、アイドル時間に加えて全てのバーストの如何なるパ
ルスも記録できる。更に、全ての所望の要約、編さん
物、レポート、データの集計または比較であるテーブル
を計算して格納でき、ほぼリアルタイムに利用できるよ
うになる。
【００１６】図表は以下のものを含むことができる。 １）月々の各々のレーザの稼動時間（もしくは停止時
間） ２）稼動時間の間の各々のレーザの使用率 ３）前回のチャンバ交換から各々のチャンバが積算した
パルス計数 ４）前回のモジュール交換から各々のモジュール（ＬＮ
Ｐ、電源モジュール、整流子モジュール、圧縮リードモ
ジュール、ガスモジュール等）が積算したパルス計数 ５）所定の時間間隔での各々のレーザについての波長モ
ニタ、波長シグマ、平均帯域幅、露光量変動、エネルギ
・シグマおよびエネルギ変動
【００１７】
【発明の実施の形態】（第１の好適な実施形態）本発明
の第１の好適な実施形態を図面を参照して説明する。図
１は集積回路製造設備におけるリソグラフィ・レーザを
監視するためのプロセス監視システムの概要を示す。
【００１８】（レーザ）好適な実施形態におけるレーザ
２はエキシマ・レーザであり、特定の集積回路製造にお
いては、カリフォルニア州サンディエゴのサイマ社から
入手可能なＣｙｍｅｒ５０００シリーズおよびＣｙｍｅ
ｒ６０００シリーズ・レーザ等のＫｒＦレーザモデルの
組合せで構成された約２０のレーザであってもよい。こ
れらのレーザは、繰返し率約１０００Ｈｚもしくは２０
００Ｈｚで作動し、パルス当たり約１０ｍＪのレーザ・
パルスを発生する。これらはシリコン・ウエハー上に集
積回路を生成するスキャナおよびステッパ装置用の紫外
線源である。
【００１９】（インターフェース）ＲＳ−２３２Ｃイン
タフェース・ポート４は、図１に示すレーザ制御装置と
監視機器との間の通信を行う。
【００２０】（端末サーバー）各々のレーザは、これに
接続され独自のインターネット・アドレスをもつ関連の
端末サーバー６を有する。好適な実施形態において、端
末サーバー６はブラックボックス社から入手可能な標準
サーバー型式ＬＥ９９５Ａ−Ｒ３である。
【００２１】（製造設備中央制御サーバー）好適な実施
形態において、システムの一部を構成する各々の集積回
路製造設備は、単一の製造設備中央制御サーバー８で稼
動される。図１に示すように、サーバー８は各々のレー
ザ２と製造設備のローカル・エリア・ネットワーク（Ｌ
ＡＮ）７を経由して通信する。サーバーについての好適
な最低限の要件は以下の通りである。 プロセッサ：ペンティアム（登録商標）７００ＭＨｚ以
上、デュアル・プロセッサ・システム ＲＡＭ：２Ｇｂ ハード・ディスク：４００Ｇｂ ＵＰＳ バックアップ用テープドライブ−４００Ｇｂ
【００２２】これらの要件に合致する好適なサーバー
は、ヒューレットパッカード社から入手可能なHPＬＨ６
０００シリーズのサーバーである。
【００２３】前述のシステムは、 ａ）６ヶ月までのデータを格納 ｂ）レーザの数が２０以下 である製造設備用には充分である。
【００２４】（インターネット）図１に示すように本好
適な装置において、製造設備のオペレータは、ＬＡＮ上
の情報への不正アクセスに対して保護を行うために、通
信ネットワークと外界との間に製造設備ファイアウォー
ル１２を構築する。この場合、レーザ２が承認された性
能基準に適合することを保証する責任を負い、かつレー
ザの性能について契約上の義務があるレーザ製造業者
は、製造設備の監視システムによって収集される情報に
ついて制限付きのアクセスが認められている。この制限
付きのアクセスは、（レーザ製造業者と製造設備オペレ
ータとの間で同意された場合）インターネットを経由し
て行うことができる。しかし、どちらの組織も製造設備
については１２として示され、製造業者については１１
として示されるようなファイアウォールを備えている。
【００２５】つまり特定の好適な実施形態において、
（事前に同意された）ある種の形式のデータは、ウエブ
・サイト形式でサーバー８中に格納でき、製造業者が製
造業者のインターネット・サーバー１６を経由して製造
業者の設備の複数の中央処理装置（図示せず）のいずれ
かへダウンロードできる。
【００２６】（制御および監視プログラム）好適な実施
形態における中央制御サーバー８は、以下の市販ソフト
ウエア・パッケージを利用する。 ａ）オペレーティングシステム−Ｘ１１Ｒ６付きＬｉｎ
ｕｘ６．２ デラックスバージョン ｂ）データベースの記憶および読み出し−Ｏｒａｃｌｅ
８Ｉ標準版 ｃ）ウエブ・サーバー−Ｔｏｍｃａｔバージョン３．１
【００２７】（プログラミング）ＬｉｎｕｘＣＶＳ／Ｒ
ＣＳは、このアプリケーション用のＬｉｎｕｘオペレー
ティングシステム８をプログラムするのに使用される。
ＧＮＵツールセットは、種々のプログラムのモジュール
化を可能にするプログラム・ライブラリーを生成するの
に使用される。プログラム・ライブラリーは、共用ライ
ブラリー、静的ライブラリおよび動的ロード・ライブラ
リーを含む。
【００２８】（中央制御用コンピュータ・プログラム）
オペレーティング・システム８用のソフトウエアは、モ
ジュール形式で生成されることが好ましい。データ収集
モジュール、パーサー・モジュール、データベース・モ
ジュールおよびユーザー・インターフェース・モジュー
ルの四つの主要ソフトウエア・モジュールがある。
【００２９】（データ収集モジュール）データ収集モジ
ュールは、レーザ２からデータを収集し、更なる処理の
ためにそのデータをパーサー・モジュールに送るタスク
を実行する一組のプログラムから構成される。図１に示
すように、通信は端末サーバー６とＲＳ−２３２Ｃイン
ターフェース４とを経由して行われる。
【００３０】データ収集モジュールは、以下のソフトウ
エア・コンポーネントを含む。 ・レーザ読み出しおよび書き込み ・レーザへのコマンド書き込み ・コマンド書き込みキュー ・レーザからのデータ読み出し ・マスター・スケジューラ ・パーサー・プログラムに対するインターフェース ・データベース書き込みキュー ・システム・エラー・ログおよびエラー・デーモン
【００３１】（レーザ読み出しおよび書き込み）第１の
モジュールは、ソケット通信の読み出しおよび書き込み
プログラムから構成される。書き込みプログラムはレー
ザへコマンドを出力する。読み出しプログラムは、レー
ザからの応答とデータとを収集する。マスター・スケジ
ューラ・モジュールは、設定可能な時間間隔で書き込み
プログラムを呼び出す。読み出しプログラムは、装置か
らの応答データの入手可能性に基づいて呼び出される。
各々の書き込み動作は、装置からのデータ応答を引き起
こす。その後の同一装置への書き込み動作は、成功した
収集または読み出し動作のタイムアウト値より前に行っ
てはいけない。
【００３２】（装置へのコマンド書き込み）Ｌｉｎｕｘ
サーバーから端末サーバーに対してソケット接続が行わ
れる。コマンドは、マスター・スケジューラの制御下で
ソケットへ書き込まれる。装置についての好適なコマン
ドリストを以下に示す。コンフィギュレーション取得 レーザ制御システムは、設定可能なデータを使用してシ
ステム動作をカスタマイズする。例えば、再充填作業中
のガス量、多数のレーザ部品の寿命、レーザのシリアル
番号、および多数の他のパラメータがコンフィギュレー
ション・データに含まれる。この「コンフィギュレーシ
ョン取得」コマンドは、このデータを収集する。診断取得 レーザ内部ではセンサがレーザ性能を監視する。定期的
に制御モジュールはセンサを読み取り、センサの読み取
り値を格納するのに使用される記憶場所を更新する。診
断読み出し値は、レーザ内の温度や冷却水流量等のパラ
メータを含む。エラー取得 レーザは警告またはエラーを検出するとメッセージを携
帯端末に表示し、警告／エラーコードを指定メモリ区域
に書き込む。各々のログ入力は、警告またはエラーコー
ド番号、エラーが起きた日時、およびエラーを引き起こ
したパラメータを含む。レーザは（ＭＣＳバージョン
１．６４またはそれ以降のものを実行する場合）５０個
の警告および５０個のエラーまで格納する。ステータス取得 ステータス・データは、繰返し率、エネルギ・モード、
トリガー・モードおよびバースト回数等のレーザ性能を
判定するパラメータである。ショットデータ取得 レーザが発射される度に以下の情報が主制御ボード中に
保存される。 ・パルス・エネルギ ・高電圧設定点 ・波長 ・帯域幅平均ショットデータ１Ｋ取得 これは、１０００パルスにわたって平均したショットデ
ータである。平均ショットデータ１００Ｋ取得 これは、１００，０００パルスにわたって平均したショ
ットデータである。平均ショットデータ１００Ｍ取得 これは、１００，０００，０００パルスにわたって平均
したショットデータである。フリンジデータ取得 フリンジ（ｆｒｉｎｇｅ）データは、単一レーザショッ
トを１０２４バイトでスペクトル表示したものであり波
長の較正に使用される。他のデータ形式と違って有効な
フリンジデータは、レーザの発射中のみダウンロードで
きる。全取得 このコマンドは前述のデータ全てを収集する。
【００３３】レーザ・ソフトウエアは、それが終了信号
に遭遇するまでコマンド文字を格納する。その後、ソフ
トウエアはデータを収集して中央制御サーバー装置へ送
る。
【００３４】（コマンド書き込みキュー）マスター・ス
ケジューラは、予定時刻にコマンドを書き込みキューへ
送る。更に、対話式ユーザーまたは他の制御プログラム
は、コマンドをコマンド書き込みキューに送ることがで
きる。書き込みキューは、先入れ先出し構造を利用し、
ソケットを使用してコマンドを装置へ送る。コマンドは
指定された特定のレーザに送出される。同一レーザへの
次のコマンドは、前のコマンドが完了するまで、または
タイムアウトが生じるまで行ってはいけない。パーサー
からのデータは、ＸＭＬ形式ファイルの呼び出しプログ
ラムに渡される。このファイル・ハンドラーは、リター
ン・メッセージ・キューによって呼び出しプログラムに
戻される。マスター・スケジューラは、戻されたデータ
を必要としない。その後、戻されたデータはデータベー
ス書き込みキューに送られて収集情報をデータベース中
にアップロードする。
【００３５】（装置からのデータ読み出し）各々のレー
ザに送られた各々のコマンドは、レーザからのデータを
伴う応答になる。次のコマンドは、先のコマンドが完全
に受信されたことについてのデータ応答があった後でレ
ーザへ書き込むことができる。レーザから何も応答がな
い場合、結果としてのタイムアウトがデータ読み出しプ
ログラムを終了し、入力をシステム・エラー・ログに添
付することができる。データは、ソケット接続を利用し
て端末サーバーから読み出される。書式送りは各々のデ
ータ応答の終了を示す。パーサー・アプリケーション
は、全てのデータ応答を１つのデータセットとして処理
できる。ここでの主たる相違点は、最初のデータセット
のみがレーザＩＤをもつことである。データ読み出しプ
ログラムのデータ妥当性検査の目的で、データは印刷可
能なＡＳＣＩＩ文字記号の１つの長い列として処理され
る。印刷できないＡＳＣＩＩ文字記号は不正なデータを
示し、そのデータセットはシステム・エラー・ログへ入
力されると同時に廃棄される。有効データは、パーサー
・プログラムへ渡され、対話式ユーザーによるデータ・
ロードまたはウエブ閲覧に備える。書き込みキュー・モ
ジュールを呼び出す別のプログラムは、パーサーからＸ
ＭＬ形式のデータを受信できる。
【００３６】（マスター・スケジューラ）このプログラ
ムは、予め設定された時間間隔でレーザへの種々のコマ
ンド書き込みを予定に入れる。ユーザーは、（ウエブ上
の）ユーザー・インターフェース画面を使用してコマン
ド頻度を保守する。レーザへのコマンド書込み操作はデ
ータ応答をもたらす。Ｌｉｎｕｘの標準「ｃｒｏｎ」ユ
ーティリティは、マスター・スケジューラとして使用で
きる。ユーザー・インターフェースは、「ｃｒｏｎｔａ
ｂ」ファイルの内容を閲覧して修正するために用いられ
る。標準のユーザー・アカウントは、これらのｃｒｏｎ
ジョブを実行するのに使用される。
【００３７】（パーサーへのインターフェース）レーザ
読み出しプログラムは、コマンドに応答する完全セット
のデータをもつ場合に構文解析プログラムを呼び出す。
応答データは、タイムアウト時間の後で不完全である場
合または不正である場合は廃棄される。そうでなければ
レーザから読み出されたデータはディスク・バッファ中
に格納される。
【００３８】構文解析プログラムはこのデータを解析
し、予め定義された文法によってデータを構文解析し、
Ｏｒａｃｌｅデータベース中にロードするよう準備す
る。次に構文解析プログラムはデータベース書き込みジ
ョブ・キューへデータベース書き込み要求を送出する。
【００３９】（データベース書き込みキュー）パーサー
からのデータベース書き込み要求はジョブ・キュー中に
格納される。ロードコマンドは、データベースＳＱＬロ
ーダの能力に基づいて開始される。期間中の入力データ
転送速度は、全てのデータベース書き込み要求が非同期
的に完了できるようにする必要がある。
【００４０】データベース書き込みは、バッチ・キュー
へジョブを送出する。コマンドは、新規ジョブを監視
し、削除し、バッチ・キューへ追加するために設けられ
ている。ジョブが終了する際、終了値は成功またはエラ
ー状態を示す。Ｌｉｎｕｘオペレーティング・システム
のシェル・スクリプトを使用してバッチ・ジョブの非同
期ジョブ制御を実行できる。ジョブはローカル・シェル
のもとでバックグラウンドで実行されるべきであり、シ
ェルは、ジョブのステータスが変わる場合に主プログラ
ムに通知できる。キュー詳細プログラムが、より従来型
のバッチ処理環境で使用される場合その結果は電子メー
ルを経由してユーザーへ戻される。これらの結果は、適
切な成功またはエラー・ログ・ファイルに転送される。
【００４１】（システム・エラー・ログおよびエラー・
デーモン）アプリケーションは次の状況下でエラー・ロ
グ・エントリを生成する。 ・コマンドに対する装置からの応答がない ・装置からのタイムアウトを含む不完全な応答 ・装置からの不正応答 ・固有キー違反に起因するデータベースのロード・エラ
ー、データは既に入手可能である ・間違ったロード・ファイルに起因するデータベースの
ロード・エラー ・データベース停止または他のシステム上の問題に起因
するデータベースのロード・エラー 致命的および非致命的なエラーが監視され、適切な警告
がシステム・コンソール・ウインドウ中に表示される。
別々のシステム・エラー・ログが必要な場合も有れば必
要でない場合もある。全ての新規な致命的もしくは非致
命的エラーの発生は警報のトリガーとなり、コンソール
はエラーのタイプと回数とに基づいて表示を行う。
【００４２】（シミュレーションプログラム）レーザを
入力しないで前述のモジュールを試験するためのシミュ
レーションプログラムを準備することが好ましい。その
ようなシミュレーションプログラムは、不完全な応答、
応答の欠如および他のエラー条件等の種々のコマンドに
対する装置の応答をシミュレーションする必要がある。
このシミュレーションプログラムは、Ｒｅｄ Ｈａｔ
Ｌｉｎｕｘ６．２が実行される低パワー、低速度ＰＣ上
で実行するのが好ましい。これはＲＳ２３２Ｃを使用し
てブラック・ボックス・コンパクト・ターミナル・サー
バー（ＢＢＴＳ）に接続される。ＰＣは可能性のある各
々のコマンドに関する全ての標準的な応答を格納してシ
ミュレーションを行う。最初に一様な応答が戻される。
以下に説明するように、外部アプリケーション・プログ
ラム・インターフェースは、コマンド書き込みキューお
よびパーサー出力へもたらされる。 ・コマンド書き込みキュー これはｃｒｏｎスケジューラ、対話式イントラネット・
ウエブ・ユーザーまたは外部プログラムからのコマンド
を受け取る。レーザへの最後のコマンドが完了すると、
これはコマンドを待ち行列に入れ、それらを特定のレー
ザへ書き込む。呼び出しプログラムは、コマンド、装置
識別子および呼び出しプログラムのソースをコマンド書
き込みキューへ渡す。 ・データ読み出しキュー レーザからデータが読み出されると、それはパーサーに
渡される。パーサーは種々のフィールドに分割し、タイ
ムスタンプおよび他のヘッダーを挿入し、データベース
・スキーマに概略が説明されるようなレコードを準備す
る。データ読み出しキューは、呼び出しプログラムに関
するファイル・ポインタおよびリターン・アドレスを含
む。呼び出しプログラムはデータ読み出しキューを介し
てデータを取り出す。 ・データベース書き込みキュー 定期的なｃｒｏｎコマンドは、特定のコマンドデータが
取得されてデータベース中にロードされることを要求す
る。ＳＱＬローダ形式のパーサーの出力は、データベー
ス書き込みキューに与えられる。このキューは、ＳＱＬ
ローダの起動とデータの適切な読み込みとを処理する。
【００４３】（キューの実行）以下のキュー機構を利用
できる。 １．Ｌｉｎｕｘシェル・キューおよびＧＮＵキュー・プ
ログラム ２．ＴＩＢＣＯキューイング・アプリケーション ３．Ｌｉｎｕｘ Ｖ５．１テクノロジ・リリース用のＩ
ＢＭ ＭＱシリーズ
【００４４】（パーサー・モジュール）パーサー・モジ
ュールは、必要なデジタル情報を適切な形式で生成する
ので、収集データを適切に処理でき、格納でき、検索で
きる。好適な装置において、情報は１２のカテゴリに構
文解析される。 １．コマンドおよびレーザＳ／Ｎを含むヘッダー ２．製造業者データを識別するための詳細内容 ３．ｘｍｌ ４．装置識別 ５．データセット識別 ６．シーケンス ７．グローバル固有識別子 ８．データセットの日付 ９．世界時間コード・オフセット １０．コネクタ形式 １１．パーサー・ステータスについてのプロセスＩＤ １２．警告またはエラー・メッセージについてのログ名
【００４５】（ユーザー・インターフェース−ウエブ・
ページ）ウエブ・ページは図１に示すサーバー８上にＨ
ＴＭＬページを構築することによって表示される。標準
ＨＴＭＬタグを使用してこれらのページを作る。このＨ
ＴＭＬページは、データベースから検索できる動的デー
タを含むので、Ｊａｖａサーバー・ページ技術を（サー
ブレットと共に）使用するのが好ましい。この技術を選
択するいくつかの理由を以下に述べる。 １．ＪＳＰ（Ｊａｖａサーバー・ページ）は、業界で標
準になっているＪａｖａおよび関連技術を利用してい
る。従って、数多くの供給業者からのサポートを享受で
き、高品質のサポートが利用できる。 ２．ＪＳＰおよびサーブレットのエンジンであるＴｏｍ
ｃａｔは無料でＡｐａｃｈｅ（ｈｔｔｐ：／／ｊａｋａ
ｒｔａ．ａｐａｃｈｅ．ｏｒｇ／ｔｏｍｃａｔ／ｉｎｄ
ｅｘ．ｈｔｍｌ）から入手でき、Ａｐａｃｈｅウエブ・
サーバーとの統合が容易である。 ３．携帯装置における装置性能データを表示するための
将来的な機能拡張は、Ａｐａｃｈｅウエブサーバーと巧
く統合するＸａｌａｎ技術を使用して簡単に提供でき
る。
【００４６】更に、Ｊａｖａは、「一度書けばどこでも
動く」原則を採用したプラットフォームに左右されず、
安全で、ネットワークに都合のよい言語である。他のプ
ラットフォームへの将来的な移行は、いかなる前処理コ
ードの再編集も必要としないであろう。
【００４７】ＪＳＰを介してＨＴＭＬページ作りをサポ
ートする目的で、Ｊａｖａ Ｂｅａｎが設計されてお
り、これらのページ中に表示する必要があるデータをサ
ポートする。データを読み込み、あらゆるデータ処理を
実行し、データベース中にデータを戻して格納するため
に、ＪＳＰ毎に１つのＪａｖａ Ｂｅａｎがあることが
好ましい。表示およびデータ処理がＪＳＰとＪａｖａ
Ｂｅａｎとの間で正しく分離されるよう、適切な方法を
識別する必要がある。
【００４８】データを検索／格納するためにデータベー
スにアクセスする目的で、ＪａｖａＢｅａｎはＪＤＢＣ
技術を利用する。Ｏｒａｃｌｅに関する多数の優れた純
粋なＪａｖａＪＤＢＣドライバ（レベル４ドライバ）が
あり、高い性能を与える。更に、準備済みステートメン
トを使用すると、頻繁に実行される問い合わせに対する
性能を高めることができる。前述のように、Ｊａｖａ
Ｂｅａｎはデータベースにアクセスをするための全ての
論理を含む。なお一層性能を高めるには、これらのＪａ
ｖａ Ｂｅａｎは、接続プールからデータベースへの接
続を行う必要がある。接続プールは、データベースへの
種々の呼び出しの間の接続を再利用できるので、費用が
かかる頻繁な接続の開始と終了を防止する。接続プール
は、パラメータをテキスト・ファイル経由で外部から制
御できるような方法で設計できる。接続パラメータとし
ては、接続を使用できる回数や、接続がその後にプール
に戻される非アクティブ期間等を挙げることができる。
ＨＴＭＬページ（ＪＳＰからの）の代わりにＸＭＬペー
ジを生成することができ、データは、適切なスタイル・
シートを使用して種々の装置（パーム・パイロット、セ
ル電話、ブラウザ等）中に表示できることに留意された
い。
【００４９】（ウエブ・ページ）好適に表示されるウエ
ブ・ページとしては以下のようなものがある。 １．管理ページ このページは、特定のサーバーに接続された装置群を管
理するのに使用される。管理機能はネットワークに装置
を追加することやデータ収集パラメータの設定を行うこ
と等を含む。 ２．主要ページ 特定のサーバーに接続されている全てのレーザのステー
タスを表示する。 ３．要約ページ 特定のレーザ型式に関するデータを表示する。データ形
式は、そのレーザ型式についての累積値または平均値の
いずれかである。これは次の５ヶ月について週ベースで
交換が予想される部品数も示す。 ４．機器制御ページ 使い方、メンテナンスおよび交換スケジュール等に関す
る特定のレーザＩＤについてのデータを表示する。 ５．サービス・ログ・ページ データは特定のレーザＩＤに関してサービス要員によっ
て入力される。停止時間、交換部品およびコメントに関
する詳細内容がこのページに入力される。これは、デー
タベース中に格納されるウエブ・ユーザーからデータを
受け取る現行プロジェクトにおける２ページのうちの１
ページである（他のページは管理ページである）。 ６．ＳＰＣ（静的プロセス制御）ページ 特定の装置ＩＤについての種々のパラメータ（帯域幅、
エネルギ・シグマなど）に関するＸバーおよび範囲図表
を表示する。また、過去５日間に記録されたエラーおよ
び警告ログも表示する。 ７．エラー・ページ 特定の装置ＩＤについてのエラーおよび警告。 ８．コメントページ 各々の装置ＩＤ用（ＥＣから進む）。 ９．交換部品 各々の装置ＩＤ用（ＥＣから進む）。 １０．対話式ユーザーコマンドページ ユーザーは、ＧＡ、ＧＥ、ＧＤ等のレーザ・データ収集
コマンドをブラウザから送出できる。このページには、
コマンド形式を選択するための選択ボックスと、このコ
マンドを発信するためにボタンとがある。一旦コマンド
が発信されると収集された未処理データが表形式で表示
される。
【００５０】更に、これらのページの幾つかは、異なる
形式のデータを表示するためタブを含む必要がある。例
えば、要約ページは、消耗品費用、装置の生産性、装置
の性能および交換スケジュールというタイトルが付けら
れた４つのタブに分割できる。複合ページを個別のタブ
に分割する（内部的には別々のページとして実行され
る）ことで、図表を描く計算がページ間に分割されるの
で、高い知覚性能を得られる。
【００５１】（ウエブ・ページ・シーケンス）このプロ
ジェクトのためのホーム・ページが提供されている。ユ
ーザーは、所望の装置ＩＤ区域（ＥＣ、サービス・ログ
等）をクリックすることによって個々のレーザへ進む
か、またはこのページから要約ページへ進むことができ
る。
【００５２】各々のページから他のページへ多数のリン
クが張られていることが好ましい。また、特定のレーザ
ＩＤに関する詳細内容を表示するページ内、または特定
のレーザ型式に関するデータを表示する要約ページ中
で、ドロップ・ダウン・リスト・ボックスから異なるレ
ーザＩＤや型式を選択できる。このイベントは表示され
る特定ＩＤ（または型式）に関するデータを発生する。
【００５３】現在のところ全ての履歴データは過去６ヶ
月間表示される。将来増強すれば更に長い期間（９か
月、１年など）を選ぶ選択範囲をユーザーに与えること
ができる。このプロジェクトでデータを表示する最も重
要な形式は、図表の使用を介することであろう。図表は
サーバー側で描かれ、ブラウザ上に表示される。これを
実現するためには、特別の図表作製パッケージを開発す
るか、第三者供給業者からの既存の図表作製コンポーネ
ントを利用するかである。要求に対してカスタマイズで
きるので独自開発の図表作製ツールを開発することが理
想的であるが多大な時間と費用がかかる。多くの供給業
者は、Ｊａｖａ Ｂｅａｎとしてパッケージ化されたＪ
ａｖａ図表作製コンポーネントを供給している。例え
ば、プロトビュー社のＰｏｗｅｒＣｈａｒｔや、ＫＬグ
ループのＪｃｌａｓｓコンポーネント（ＪＣＣｈａｒ
ｔ）、ビジュアライズ社（ｗｗｗ．ｖｉｓｕａｌｉｚｅ
ｉｎｃ．ｃｏｍ）のＤａｔａ Ｖｉｓｔａ Ｐｒｏ等を
挙げることができる。
【００５４】（図表形式）以下は、このプロジェクトで
表示が要求される種々の図表形式である。 １．棒図表 ２．積み上げ棒図表（累積データ用） ３．線図表 ４．標準偏差（高−低）マーカ付き線図表 ５．散布図
【００５５】以下のテーブルは、表示できる好適な図表
とその図表形式を示す。
【００５６】（テーブル）表示が必要なテーブルは以下
の通りである。
【００５７】前記の情報の幾つかまたは全てを表示する
図１および図２等の図表は、サーバー８中に生成される
ウエブ・サイトに付加されるのが好ましく、図表は、情
報へのアクセス許可をもつ関係者がインターネットを経
由して利用できるようになっている。このことはユーザ
ー名とパスワードを要求する公知のインターネット技術
により達成できる。
【００５８】つまり、レーザ製造業者はウエブ・サーバ
ー８上にあるこの情報を利用可能であり、さらにメンテ
ナンスおよび交換作業を計画し、設計上の問題点を示す
ことができるトレンドを探索する目的で製造業者が利用
する。この情報は、製造設備の外部ではあるが製造設備
所有者の会社組織内の関係者も利用可能である。
【００５９】（外部インターフェース仕様）外部アプリ
ケーションとの通信のために、適切であればＸＭＬ形式
が使用される。
【００６０】（顕著な問題点と機会）本明細書で説明し
たシステムによれば、関係者は多数の類似レーザの性能
を迅速かつ効率的に比較できる。このことは関係者が、
最良の性能と最悪の性能のレーザを識別し、問題を識別
して性能改善のために適用可能な技術と運転パラメータ
とを認識することを可能にする。例えば、所望のパルス
・エネルギ（例えば、１０ｍＪ）を発生するのに必要な
充電電圧は、一定のチャンバ・ガス圧力においてフッ素
濃度が減少するにつれて高くなるので、充電電圧（各パ
ルスに対して監視される）は、フッ素濃度の定性的な指
標（作動中にはフッ素濃度に関する実際の定量的計測は
行われない）であることが知られている。従って、これ
らのレーザを比較的広い範囲の充電電圧とフッ素濃度と
にわたって作動させることが可能であり、最も望ましい
作動範囲はどこなのかはレーザのオペレータに明確にな
っていなことが多い。ビーム品質パラメータはフッ素濃
度と充電電圧とを関数として変化するので、最良の範囲
内で作動することは重要である。このシステムを使用し
て、広範囲の充電電圧に亘って数多くのレーザに関する
充電電圧をこれらのビーム品質パラメータと比較するこ
とによって、関係者は所望のビーム品質結果をもたらす
充電電圧の最良の範囲を識別できる。チャンバ・ガス圧
力も調節可能であり、所望の一定パルス・エネルギに対
する充電電圧またはフッ素濃度に関する対応する変化を
もたらし、この調節はビーム品質を改善する。
【００６１】このシステムは、フッ素ガス再充填の間に
レーザビーム品質データを収集するようレーザをプログ
ラムできる。この情報は数多くのレーザから収集するこ
ともでき、このことはフッ素ガス濃度の定量値の関数お
よび／またはチャンバ圧力の関数としてビーム品質値を
決定することを可能にする。この情報は、多数のレーザ
から収集でき、改善されたビーム品質を発生できる作動
範囲を推奨するのに利用できる、追加的な価値のある情
報をもたらすことができる。
【００６２】本発明は特定の好適な実施形態により説明
されているが、本発明の精神から逸脱することなく多数
の変更と変形を行い得ることを理解されたい。また、好
適な実施形態において、レーザ製造業者のサーバー１６
はインターネットを経由して多数の製造設備と接続され
ており数百のレーザを監視する。例えば、図１に示す端
末サーバー６は、レーザ２中に組み込まれたネットワー
クカードであってもよく、これは組み込みネットワーク
・カードと呼ばれる。従って、本発明の範囲は、請求の
範囲とそれらの法律で認められる均等物とによって決定
されるべきでる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好適な実施形態の概略の配置を示す図
表である。
【図２】本発明の代表的な実施形態を使用して作製され
た典型的なウエブ・ページの全体的な画面の様子を示す
コンピュータ印刷出力のコピーである。
【図３】本発明の代表的な実施形態を使用して作製され
た典型的なウエブ・ページの全体的な画面の様子を示す
コンピュータ印刷出力のコピーである。
【図４】本発明の代表的な実施形態を使用して作製され
た典型的なウエブ・ページの全体的な画面の様子を示す
コンピュータ印刷出力のコピーである。
【図５】本発明の代表的な実施形態を使用して作製され
た典型的なウエブ・ページの全体的な画面の様子を示す
コンピュータ印刷出力のコピーである。
【符号の説明】
２ レーザ ４ ＲＳ２３２Ｃインターフェース・ポート ６ 端末サーバー ７ ローカル・エリア・ネットワーク ８ 中央制御サーバー １１ ファイアウォール １２ ファイアウォール １６ インターネット・サーバー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョセフ イー コンウェイ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 92019 エル カジョン バーナム スト リート 616 (72)発明者 ミルジャディ タントラ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94588 プリザントン トーリー コート 2667 (72)発明者 ジェフリー ダブリュ モウイン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 92057 オーシャンサイド フラジー ロ ード 4991 (72)発明者 ジェイソン アール カーレシ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 92065 ラモナ ミュッセイ グレード ロード 13915 (72)発明者 ロジャー エル グリーン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 92025 エスカンディードゥ ロイヤル クレスト ドライブ 2353 (72)発明者 トム エイ ワトソン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 92008 カールスバッド サリスバリー ドライブ 4427 Ｆターム(参考） 5F046 AA28 CA04 5H223 AA05 BB02 BB08 CC08 DD01 DD07 DD09 EE02 EE04 EE06 EE11 EE13 FF05 FF08 FF09

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも１つの集積回路製造設備にお
    けるリソグラフィ・レーザを監視するためのシステムで
    あって、 Ａ）集積回路リソグラフィ・プロセスにおいて照射源と
    して使用するよう構成されている複数のレーザと、 Ｂ）前記複数のレーザの各々の１つに接続される端末サ
    ーバーと、 Ｃ）前記各々のレーザからデータを収集し、少なくとも
    前記データの部分を未処理形式および／または要約形式
    で格納するようにプログラムされており、ローカル・エ
    リア・ネットワークを経由して前記複数のレーザと通信
    する中央製造設備サーバー装置と、 Ｄ）前記第１サーバー装置と、前記第１サーバー装置に
    格納された情報へのアクセス許可をもつ者によって利用
    されるコンピュータとの間の通信ネットワークを経由し
    て通信を提供する第２サーバー装置と、を備えることを
    特徴とシステム。
  2. 【請求項２】 前記複数のレーザは、狭帯域エキシマ・
    レーザであることを特徴とする請求項１に記載のシステ
    ム。
  3. 【請求項３】 各々の端末サーバーは、固有のインター
    ネット・アドレスを備えることを特徴とする請求項１に
    記載のシステム。
  4. 【請求項４】 前記第２サーバーは、レーザ製造業者の
    施設に設置されることを特徴とする請求項１に記載のシ
    ステム。
  5. 【請求項５】 前記中央製造設備サーバー装置は、モジ
    ュラー形式で作成されたソフトウエアでプログラムされ
    ており、前記ソフトウエアは、 ａ）データ収集モジュール ｂ）パーサー・モジュール ｃ）データベース・モジュール ｄ）ユーザー・インターフェース・モジュール を備えることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
  6. 【請求項６】 前記データ収集モジュールは、 ａ）レーザ読み取りおよび書き込み ｂ）レーザへのコマンド書き込み ｃ）コマンド書き込みキュー ｄ）レーザからのデータ読み取り ｅ）マスター・スケジューラ ｆ）パーサーに対するインターフェース ｇ）データベース書き込みキュー ｈ）システム・エラー・ログおよびエラー・デーモン を備えるソフトウエア・コンポーネントを含むことを特
    徴とする請求項５に記載のシステム。
  7. 【請求項７】 前記レーザからの収集データは、前記中
    央製造設備サーバー装置によって作成されるウエブ・サ
    イトで公開されることを特徴とする請求項１に記載のシ
    ステム。
  8. 【請求項８】 前記レーザからの前記収集データは、要
    約図表形式で公開されることを特徴とする請求項７に記
    載のシステム。
  9. 【請求項９】 前記ウエブ・サイトは、ウエブ・ページ
    を含むことを特徴とする請求項７に記載のシステム。
  10. 【請求項１０】 前記ウエブ・ページは、 ａ）管理ページ ｂ）特定のレーザに関する要約ページ ｃ）サービス・ログ・ページ ｄ）エラー・ページ を備えることを特徴とする請求項９に記載のシステム。
  11. 【請求項１１】 前記図表は、 ａ）チャンバ寿命図表 ｂ）ＬＮＭ図表 ｃ）安定化モジュール図表 ｄ）稼動時間図表または停止時間図表 ｅ）メンテナンス関連図表 を備えることを特徴とする請求項８に記載のシステム。
  12. 【請求項１２】 前記通信ネットワークは、インターネ
    ットであることを特徴とする請求項１に記載のシステ
    ム。
  13. 【請求項１３】 前記通信ネットワークは、イントラネ
    ット・システムであることを特徴とする請求項１に記載
    のシステム。
  14. 【請求項１４】 前記端末サーバーは、組み込み型通信
    ネットワークカードであることを特徴とする請求項１に
    記載のシステム。
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