JP4119295B2

JP4119295B2 - 保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、保守・診断データの蓄積・提供システム

Info

Publication number: JP4119295B2
Application number: JP2003102817A
Authority: JP
Inventors: 克彦松田
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2003-04-07
Filing date: 2003-04-07
Publication date: 2008-07-16
Anticipated expiration: 2023-04-07
Also published as: TWI244290B; CN1303785C; TW200427267A; CN1536824A; US20040268151A1; KR100843781B1; JP2004310420A; KR20040087892A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、遠隔で各種の装置の保守・診断を行なうのに用いる保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、および保守・診断データの蓄積・提供システムに係り、特に、セキュリティの向上に適する保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、および保守・診断データの蓄積・提供システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
遠隔で装置の保守・診断を行なうためのシステムには、例えば特開２００２−３２２７４号公報、特開２０００−２０７３１８号公報に開示されたものがある。特開２００２−３２２７４号公報に開示された内容では、診断する側からの問い合せに係る事象の程度に応じて新たにアクセス権限を付与するためのセキュリティレベル判定制御手段を、診断される側に設けている。
【０００３】
特開２０００−２０７３１８号公報に開示された内容では、リモートメンテナンス対象装置側に、リモートメンテナンスを実施する側に送るデータを任意に選別できる手段を設けている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−３２２７４号公報
【特許文献２】
特開２０００−２０７３１８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記公知文献の開示内容は、いずれも、遠隔の診断・保守システムにおいて、保守・診断をする側（遠隔で診断する側）と保守・診断される側（装置の保有者）との間のセキュリティをいかに維持するかを主旨としている。製造装置などの装置の保有者には、製造ノウハウなどを含む装置データが何らの制限もなく拡布することによる損失が考えられるからである。
【０００６】
装置をネットワークのような通信回線を用いて遠隔で保守・診断することは、従来的には、遠隔ではなくすなわち例えば装置が設置され稼働している事業所などに担当者が出向いて行なわれてきたものである。このような場合にも、保守・診断する側と保守・診断される側とは、上記と同様の関係を有している。したがって、セキュリティの維持という意味では、遠隔であるか否かは関係なくいずれの場合でも同じようにセキュリティが維持されることが必要である。
【０００７】
本発明は、上記した事情を考慮してなされたもので、遠隔で各種の装置の保守・診断を行なうのに用いる保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、および保守・診断データの蓄積・提供システムにおいて、遠隔でなく保守・診断する場合と同様なセキュリティの維持を図ることができる保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、および保守・診断データの蓄積・提供システムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る保守・診断データ蓄積サーバは、装置に関する保守・診断データを蓄積する手段と、第１のネットワークを経由し第１のファイアウォールを介して送られるデータアクセス要求を検知する手段と、前記検知されたデータアクセス要求に基づいて、前記第１のファイアウォールよりセキュリティレベルの高い第２のファイアウォールを介し第２のネットワークを経由して装置にユーザ認証を求める手段と、前記ユーザ認証の結果を前記第２のネットワークを経由し前記第２のファイアウォールを介して取得する手段と、前記取得されたユーザ認証の結果が正常にユーザ認証された旨の場合には前記検知されたデータアクセス要求に基づいて前記蓄積された保守・診断データを前記第１のファイアウォールを介し前記第１のネットワークに出力する手段とを具備することを特徴とする。
【０００９】
すなわち、この保守・診断データ蓄積サーバは、よりセキュリティレベルの低いファイアーフォールを介して第１のネットワークに接続され、より高いセキュリティレベルのファイアウォールを介して第２のネットワークに接続され得る。そして、第１のネットワーク側からのデータアクセス要求を検知し、検知されたデータアクセス要求に基づいてユーザ認証を第２のネットワーク側にある装置に求める。その結果が第２のネットワークを経由して取得され、ユーザ認証が正常になされれば、蓄積された装置に関する保守・診断データが第１のネットワーク側へ出力される。
【００１０】
したがって、遠隔の場合のユーザ認証が装置保有のユーザ認証情報を直接参照して行なわれ、遠隔ではなく装置に対してユーザ認証を行なう場合と同様のユーザ認証結果を得る。よって、遠隔の場合も遠隔でなく保守・診断する場合と同様なセキュリティの維持を図ることができる。
【００１１】
なお、上記では例えば第１のネットワークがインターネットであり、第２のネットワークがイントラネットである。これらのネットとの間に上記のようにセキュリティレベルの違うファイアウォールを介在させることにより、この保守・診断データ蓄積サーバは、いわゆるＤＭＺ（demilitarized zone：非武装地帯）に位置することになる。インターネット側からのアクセスはこのサーバまでになるように制限され、これにより、イントラネット側への侵入が防止されるので一般的な意味でのセキュリティ維持を図ることができる。
【００１２】
また、本発明に係る保守・診断データの蓄積・取得システムは、第１のファイアウォールを介して第１のネットワークに接続可能な保守・診断データ蓄積サーバと、前記第１のネットワークに接続可能な保守・診断データ取得用クライアントとを具備し、前記保守・診断データ取得用クライアントは、前記第１のネットワークを経由し前記第１のファイアウォールを介して前記保守・診断データ蓄積サーバにデータアクセス要求を送る手段を有し、前記保守・診断データ蓄積サーバは、装置に関する保守・診断データを、第２のネットワークを経由し前記第１のファイアウォールよりセキュリティレベルの高い第２のファイアウォールを介して取得し蓄積する手段と、前記送られたデータアクセス要求を検知する手段と、前記検知されたデータアクセス要求に基づいて、前記第２のファイアウォールを介し前記第２のネットワークを経由して前記装置にユーザ認証を求める手段と、前記ユーザ認証の結果を前記装置から受け取る手段と、前記受け取られたユーザ認証の結果が正常にユーザ認証された旨の場合には前記検知されたデータアクセス要求に基づいて前記蓄積された保守・診断データを前記第１のファイアウォールを介して前記第１のネットワークに出力する手段とを有し、前記保守・診断データ取得用クライアントは、前記保守・診断データ蓄積サーバから出力された前記保守・診断データを前記第１のネットワークを経由して受け取る手段をさらに有することを特徴とする。
【００１３】
このシステムは、上記の保守・診断データ蓄積サーバと、このサーバに第１のネットワークを介して接続され得る保守・診断データ取得用クライアントとからなるシステムである。保守・診断データ取得用クライアントは、データアクセス要求を発し、この要求に対して上記サーバが有する構成によりユーザ認証がなされてさらに保守・診断データが出力されると、出力された保守・診断データを受け取るようになっている。
【００１４】
よって、遠隔の場合のユーザ認証が装置保有のユーザ認証情報を直接参照して行なわれることは同様であり、遠隔ではなく装置に対してユーザ認証を行なう場合と同様のユーザ認証結果を得る。よって、遠隔の場合も遠隔でなく保守・診断する場合と同様なセキュリティの維持を図ることができる。
【００１５】
また、本発明に係る保守・診断データの蓄積・提供システムは、第１のネットワークに接続を有しかつユーザ認証情報を保有する被保守・診断装置と、第１のファイアウォールを介し前記第１のネットワークを経由して前記装置にアクセス可能でかつ前記第１のファイアウォールよりセキュリティレベルの低い第２のファイアウォールを介し第２のネットワークを経由してクライアントとアクセス可能な保守・診断データ蓄積サーバとを具備し、前記装置は、自身に関する保守・診断データを前記保守・診断データ蓄積サーバに渡す手段を有し、前記保守・診断データ蓄積サーバは、前記渡された保守・診断データを蓄積する手段と、前記クライアントから送られるデータアクセス要求を検知する手段と、前記検知されたデータアクセス要求に基づいて、前記装置にユーザ認証を求める手段とを有し、前記装置は、前記求められたユーザ認証を前記保有されたユーザ認証情報に基づき実行する手段と、前記実行されたユーザ認証の結果を前記保守・診断データ蓄積サーバに送る手段とをさらに有し、前記保守・診断データ蓄積サーバは、前記送られたユーザ認証の結果を受け取る手段と、前記受け取られたユーザ認証の結果が正常にユーザ認証された旨の場合には前記検知されたデータアクセス要求に基づいて前記蓄積された保守・診断データを前記クライアントに出力する手段とをさらに有することを特徴とする。
【００１６】
このシステムは、上記の保守・診断データ蓄積サーバと、このサーバにネットワークを介して接続される装置（被保守・診断装置）とからなるシステムである。装置は、自身に関する保守・診断データを保守・診断データ蓄積サーバに渡す手段を有する。また、求められたユーザ認証を保有されたユーザ認証情報に基づき実行する手段と、実行されたユーザ認証の結果を保守・診断データ蓄積サーバに送る手段とを有する。
【００１７】
よって、遠隔の場合のユーザ認証が装置保有のユーザ認証情報を直接参照して行なわれ、遠隔ではなく装置に対してユーザ認証を行なう場合と同様のユーザ認証結果を得る。よって、遠隔の場合も遠隔でなく保守・診断する場合と同様なセキュリティの維持を図ることができる。（なお、ここで「第１の」、「第２の」は登場順であるため、上記の「保守・診断データ蓄積サーバ」、「保守・診断データの蓄積・取得システム」の場合とは反対になる。）
【００４０】
【発明の実施の形態】
以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、保守・診断データの蓄積・提供システムを、保守・診断すべき装置として半導体製造装置を用いる場合に適用した構成を示す図である。
【００４１】
図１に示すように、この構成は、Ａ装置群１０、Ｂ装置群１１、イントラネット２１、ファイアウォール２２、保守・診断データ蓄積サーバ２３、ファイアウォール２４、インターネット２５、クライアント２６、２７を有する。
【００４２】
Ａ装置群１０は、半導体製造装置１、２、３と群管理サーバ４とからなっている。群管理サーバ４は、各半導体製造装置１、２、３の動作を管理するものである。管理の結果として生じる各半導体製造装置１、２、３の保守・診断データは、群管理サーバ４からこれに接続を有するイントラネット２１に出力される。半導体製造装置１、２、３の具体的な種類は特に問うものではないが、例えば拡散炉とすることができる。これらの半導体製造装置１、２、３は、あるひとつの半導体製造装置の製造者により半導体製造者に納入されたものであり、半導体製造装置の製造者と何らかの関係のある者がその保守・診断を担当する。
【００４３】
また、群管理サーバ４はユーザ認証情報データベース４ａを備えており、イントラネット２１側からユーザ認証を求める指示が入力された場合には、ユーザ認証情報データベース４ａに保有されたユーザ認証情報を参照してユーザ認証を実行する。実行の結果はイントラネット２１側に出力される。
【００４４】
Ｂ装置群１１は、半導体製造装置５、６、７からなっている。これらは群管理サーバのような集中的に管理するサーバを介することなく個別にイントラネット２１との接続を有する。半導体装置５、６、７の具体的な種類も特に問うものではないが、例えばレジスト塗布・現像装置とすることができる。これらの半導体製造装置５、６、７は、別の半導体製造装置製造者により上記半導体製造者に納入されたものであり、その別の半導体製造装置製造者と何らかの関係のある者がその保守・診断を担当する。
【００４５】
半導体装置５、６、７は、それぞれユーザ認証情報データベース５ａ、６ａ、７ａを備えており、イントラネット２１側からユーザ認証を求める指示が入力された場合には、それぞれユーザ認証情報データベース５ａ、６ａ、７ａに保有されたユーザ認証情報を参照してユーザ認証を実行する。実行の結果はイントラネット２１側に出力される。また、必要に応じてそれぞれの保守・診断データがイントラネット２１に出力される。
【００４６】
なお、装置群１０、１１は、さらに別のものがあってもよく、その場合には同様にイントラネット２１に接続される。その別の装置群を構成する半導体製造装置の製造者は上記とはさらに別の者であってもよい。また、装置群を構成する半導体製造装置の数に特に制限はない。
【００４７】
イントラネット２１は、上記のように各装置群１０、１１との接続を有し、かつセキュリティレベルの比較的高いファイアウォール２２を介して保守、診断データ蓄積サーバ２３にも接続される。イントラネット２１は、例えば半導体製造者の生産プラント内に設けられたＬＡＮ（local area network）である。
【００４８】
ファイアウォール２２は、イントラネット２１と保守・診断データ蓄積サーバ２３との間に介在する防御壁である。このファイアウォール２２により、インターネット２５側からの装置群１０、１１への不正なアクセスは、高いレベルのセキュリティ性を維持して防止される。よって、半導体製造装置１、２、３、５、６、７が有するデータなどの情報の保護がなされる。
【００４９】
保守・診断データ蓄積サーバ２３は、半導体製造装置１、２、３、５、６、７に関する保守・診断データをイントラネット２１を介して収集し、収集されたデータを蓄積するものである。また、インターネット２５側からデータアクセス要求があった場合には、それに基づいて、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介してユーザ認証を、群管理サーバ４または半導体製造装置５、６、７に求め、その結果を受け取るものである。受け取ったユーザ認証の結果が正常である場合には、インターネット２５側からにデータアクセス要求に基づいて蓄積された保守・診断データをインターネット２５側に出力する。
【００５０】
ファイアウォール２４は、保守・診断データ蓄積サーバ２３とインターネット２５との間に介在する防御壁である。このファイアウォール２４は、上記のファイアウォール２２よりセキュリティ性の低いものであり、その結果としてインターネット２５側からのアクセスが比較的容易である。これは、保守・診断データ蓄積サーバ２３が、その蓄積された保守・診断データをクライアント２６、２７に提供することを主目的に設けられたものだからである。インターネット２５側から見るとファイアウォール２４、ファイアウォール２２との間はいわゆるＤＭＺとしてみることができる。
【００５１】
インターネット２５には、ファイアウォール２４を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３が接続され、またクライアント２６、２７が接続される。インターネット２５は、周知のように、汎用のデータ通信網として整備されたネットワークである。
【００５２】
クライアント２６、２７は、保守・診断データ取得用として、インターネット２５を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３とのアクセスを行ない、保守・診断データの受信と、受信されたデータの解析とを行なうものである。クライアント２６、２７は、すでに説明した半導体製造装置の製造者と何らかの関係のある者の事業所などに、納入・稼働後の半導体製造装置の遠隔保守・診断のため設置される。
【００５３】
ここで、クライアント２６、２７は、Ａ装置群１０、Ｂ装置群１１のいずれかにそれぞれ対応しているのとする。クライアントは、このように、基本的に装置群の納入者の数に応じて存在する。これに対して、上記で述べた保守・診断データ蓄積サーバ２３は、装置群の納入者の数によらず半導体製造者に共通にひとつである。クライアント２６、２７からの保守・診断データ蓄積サーバ２３へのデータアクセス要求はユーザ認証によって区別される。
【００５４】
次に、図１に示した構成の動作について、図２ないし図４に示す流れ図をも参照して説明する。図２は、図１中に示すクライアント２６（２７）の動作フローを示す流れ図である。図２に示すように、クライアント２６（２７）は、まず、インターネット２５を介し、ファイアウォール２４を通って保守・診断データ蓄積サーバ２３にデータアクセス要求を送信する（ステップ３１）。データアクセス要求には、ユーザ認証の要求と、蓄積された保守・診断データのうち所望のものの出力要求とが含まれる。
【００５５】
これに対して、後述するように保守・診断データ蓄積サーバ２３が反応し、正常な動作を行なえば、保守・診断データ蓄積サーバ２３は保守・診断データを出力・送信する。そこで、クライアント２６（２７）は、ファイアウォール２４を介しインターネット２５を経由してそのデータを受け取る（ステップ３２）。そして受け取ったデータを解析し保守・診断の処理を行なう（ステップ３３）。なお、この後、処理した結果に基づき処方プログラムなどのソフトウエアをインターネット２５、ファイアウォール２４を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３に送信するようにしてもよい。
【００５６】
図３は、図１中に示す保守・診断データ蓄積サーバ２３の動作フローを示す流れ図である。図３に示すように、保守・診断データ蓄積サーバ２３は、必要に応じて保守・診断データを、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介して群管理サーバ４または半導体製造装置５、６、７から収集・蓄積しておく（ステップ４１）。これは、定期的または非定期的に行なうことができる。
【００５７】
そして、インターネット２５側からのデータアクセス要求を監視・検知する（ステップ４２）。データアクセス要求が検知されたら、これに基づいて、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介して半導体製造装置５、６、７または群管理サーバ４にユーザ認証を求める（ステップ４３）。これは、ユーザ認証情報の保有をこれらの半導体製造装置５、６、７または群管理サーバ４が行なっているからである（すでに述べたようにユーザ認証情報データベース５ａ、６ａ、７ａ、４ａに保有されている）。なお、それぞれのデータアクセス要求に基づき、ユーザ認証の対象とする半導体製造装置または装置群が特定される。
【００５８】
ユーザ認証の求めに応じて、特定された半導体製造装置５、６、７または群管理サーバ４で後述するようにユーザ認証が実行され、これらが正常であればユーザ認証の結果が送信される。そこで、保守・診断データ蓄積サーバ２３はその結果をイントラネット２１、ファイアウォール２２を介して受け取る（ステップ４４）。
【００５９】
そして、その結果が正常にユーザ認証された旨の場合にはデータアクセス要求に基づいて、蓄積されている保守・診断データのうち所望のものをファイアウォール２４を介してインターネット２５に出力・送信する（ステップ４５）。送信されたデータは、すでに述べたようにクライアント２６（２７）がインターネット２５から受け取る。
【００６０】
図４は、図１中に示す群管理サーバ４または半導体製造装置５、６、７の動作フローを示す流れ図である。ここで半導体製造装置５、６、７の動作としては、イントラネット２１との接続によって生じるもののみが示されている。当然ながら半導体製造のための本来的な動作（レジスト塗布・現像装置としての動作）は別途行なう。
【００６１】
群管理サーバ４、半導体製造装置５、６、７は、必要に応じてその管理下の半導体製造装置またはそれ自身についての保守・診断データを、イントラネット２１、ファイアウォール２２を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３に送る（ステップ５１）。これは、前述したように定期的または非定期的に行なうことができる。
【００６２】
そして、ユーザ認証の要求を保守・診断データ蓄積サーバ２３から受け取れる（ステップ５２）状態で待機する。ユーザ認証の要求は、対象とする半導体製造装置または装置群を特定してなされる。イントラネット２１を介して要求を受けた半導体製造装置５、６、７または群装置サーバ４は、ユーザ認証情報データベース５ａ、６ａ、７ａ、４ａに保有されたユーザ認証情報を参照してこれを実行する（ステップ５３）。実行した結果は、イントラネット２１、ファイアウォール２２を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３に送信される（ステップ５４）。
【００６３】
以上説明したクライアント２６（２７）、保守・診断データ蓄積サーバ２３、群管理サーバ４、半導体製造装置５、６、７の構成によると、遠隔で保守・診断を行なう場合と、半導体製造装置１、２、３、５、６、７が設置されている生産プラントに出向いてこれらの装置に対して直接保守・診断を行う場合とで、ユーザ認証の結果は同じになる。
【００６４】
これは、群管理サーバ４、半導体製造装置５、６、７内（ユーザ認証情報データベース４ａ、５ａ、６ａ、７ａ）に保有されたユーザ認証情報を用いてユーザ認証が行なわれる点で同一だからである。すなわち、遠隔の場合のユーザ認証は、群管理サーバ４、半導体製造装置５、６、７保有のユーザ認証情報を直接参照して行なわれ、これは、個々の群管理サーバ４または半導体製造装置５、６、７に遠隔でなく直接アクセスする場合と、用いられるユーザ認証情報が同じである。よって、遠隔の場合も遠隔でない場合と同様な、保守・診断をする側（遠隔で診断する側）と保守・診断される側（装置の保有者）との間のセキュリティの維持を図ることができる。
【００６５】
これに対して、例えば、クライアント２６（２７）と保守・診断データ蓄積サーバ２３との間でのみ有効なユーザ認証を、保守・診断データ蓄積サーバ２３に独自に保持させたユーザ認証情報を用いて行なう場合には、このユーザ認証の結果と、半導体製造装置５、６、７または群管理サーバ４に対して直接保守・診断を行う場合のユーザ認証の結果とは一般的には異なってしまう。これは、ユーザ認証情報が同一である保証がないからである。その結果、保守・診断をする側（遠隔で診断する側）と保守・診断される側（装置の保有者）との間のセキュリティーレベルは場合により変動してしまい、適切な半導体製造装置の稼働を妨げる結果をもたらす。
【００６６】
また、このようなユーザ認証情報の不一致を防止するにはユーザ認証情報に関するきめ細かいメンテナンスが必要であり、その作業が煩雑になりすぎる。特に保守・診断データ蓄積サーバ２３は、半導体製造装置の製造者の数によらず基本的に共通にひとつ設けられるので、さらにその煩雑さが大きい。図１に示した構成によれば、このような煩雑さも解消する。
【００６７】
次に、別の形態（参考例）に係る保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、保守・診断データの蓄積・提供システムを図５を参照して説明する。図５は、参考例に係る保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、保守・診断データの蓄積・提供システムを、保守・診断すべき装置として半導体製造装置を用いる場合に適用した構成を示す図である。図５においてすでに説明した構成要素には同一符号を付しその説明を省略する。
【００６８】
この形態の、上記説明の実施形態との違いは、保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａにユーザ認証情報データベース２３ａを設け、このユーザ認証情報データベース２３ａに各群管理サーバ４、半導体装置５、６、７が保有するユーザ認証情報の複製を保持させるようにしたことである。
【００６９】
よって、保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａは、インターネット２５側からデータアクセス要求があった場合には、それに基づいて、ユーザ認証をユーザ認証情報データベース２３ａに保持された複製ユーザ認証情報を参照して行なう。そのユーザ認証の結果が正常である場合には、インターネット２５側からにデータアクセス要求に基づいて、蓄積された保守・診断データをインターネット２５側に出力する。なお、保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａは、あらかじめ、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介して群管理サーバ４および半導体製造装置５、６、７にアクセスしそれらが保有するユーザ認証情報を複製して得るようにしておく。
【００７０】
また、群管理サーバ４は、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａからユーザ認証情報の提出を求められた場合には、これに応じてユーザ認証情報データベース４ａに保持されたユーザ認証情報をイントラネット２１に出力する。
【００７１】
同様に、半導体装置５、６、７は、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａからユーザ認証情報の提出を求められた場合には、これに応じてユーザ認証情報データベース５ａ、６ａ、７ａに保持されたユーザ認証情報をイントラネット２１に出力する。
【００７２】
次に、図５に示した構成の動作について、図６ないし図８に示す流れ図をも参照して説明する。図６は、図５中に示すクライアント２６（２７）の動作フローを示す流れ図である。図６に示すように、クライアント２６（２７）は、まず、インターネット２５を介し、ファイアウォール２４を通って保守・診断データ蓄積サーバ２３にデータアクセス要求を送信する（ステップ７１）。データアクセス要求には、ユーザ認証の要求と、蓄積された保守・診断データのうち所望のものの出力要求とが含まれる。
【００７３】
これに対して、後述するように保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａが反応し、正常な動作を行なえば、保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａは保守・診断データを出力・送信する。そこで、クライアント２６（２７）は、ファイアウォール２４を介しインターネット２５を経由してそのデータを受け取る（ステップ７２）。そして受け取ったデータを解析し保守・診断の処理を行なう（ステップ７３）。なお、この後、処理した結果に基づき処方プログラムなどのソフトウエアをインターネット２５、ファイアウォール２４を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａに送信するようにしてもよい。この図６に示す動作は、すでに説明した図２に示した動作と同じである。
【００７４】
図７は、図５中に示す保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａの動作フローを示す流れ図である。図７に示すように、まず保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａは、あらかじめ、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介して群管理サーバ４、半導体装置５、６、７にアクセスしてユーザ認証情報を取得して複製し、これを複製ユーザ認証情報としてユーザ認証情報データベース２３ａに保持しておく（ステップ８１）。また、必要に応じて保守・診断データを、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介して群管理サーバ４または半導体製造装置５、６、７から収集・蓄積しておく（ステップ８２）。収集・蓄積は、定期的または非定期的に行なうことができる。
【００７５】
そして、インターネット２５側からのデータアクセス要求を監視・検知する（ステップ８３）。データアクセス要求が検知されたら、これに基づいて、ユーザ認証情報データベース２３ａに保持された複製ユーザ認証情報を参照してユーザ認証を実行する（ステップ８４）。なお、それぞれのデータアクセス要求に基づき、ユーザ認証の対象とする半導体製造装置または装置群が特定されているので、その対応の複製ユーザ認証情報を参照する。
【００７６】
次に、正常にユーザ認証された場合にはデータアクセス要求に基づいて、蓄積されている保守・診断データのうち所望のものをファイアウォール２４を介してインターネット２５に出力・送信する（ステップ８５）。送信されたデータは、すでに述べたようにクライアント２６（２７）がインターネット２５から受け取る。
【００７７】
図８は、図５中に示す群管理サーバ４または半導体製造装置５、６、７の動作フローを示す流れ図である。ここで半導体製造装置５、６、７の動作としては、イントラネット２１との接続によって生じるもののみが示されている。当然ながら半導体製造のための本来的な動作（レジスト塗布・現像装置としての動作）は別途行なう。
【００７８】
群管理サーバ４、半導体製造装置５、６、７は、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａからユーザ認証情報の複製要求があった場合には、これに応じてユーザ認証情報をイントラネット２１に出力する（ステップ９１）。
【００７９】
また、群管理サーバ４、半導体製造装置５、６、７は、必要に応じてその管理下の半導体製造装置またはそれ自身についての保守・診断データを、イントラネット２１、ファイアウォール２２を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａに送る（ステップ９２）。これは、定期的または非定期的に行なうことができる。
【００８０】
以上説明したクライアント２６（２７）、保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａ、群管理サーバ４、半導体製造装置５、６、７の構成によっても、遠隔で保守・診断を行なう場合と、半導体製造装置１、２、３、５、６、７が設置されている生産プラントに出向いてこれらの装置に対して直接保守・診断を行う場合とで、ユーザ認証の結果は同じになる。
【００８１】
これは、群管理サーバ４、半導体製造装置５、６、７内（ユーザ認証情報データベース４ａ、５ａ、６ａ、７ａ）に保有されたユーザ認証情報がマスター情報としてユーザ認証に用いられるからである。すなわち、遠隔の場合のユーザ認証は、群管理サーバ４、半導体製造装置５、６、７保有のユーザ認証情報から作られた複製ユーザ認証情報を参照して行なわれる。この複製ユーザ認証情報は、個々の群管理サーバ４または半導体製造装置５、６、７に遠隔でなく直接アクセスする場合のユーザ認証情報と情報内容として同じである。
【００８２】
よって、遠隔の場合も遠隔でない場合と同様な、保守・診断をする側（遠隔で診断する側）と保守・診断される側（装置の保有者）との間のセキュリティの維持を図ることができる。また、保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａが半導体製造装置の製造者の数によらず基本的に共通にひとつ設けられることに起因するユーザ認証情報に関するきめ細かいメンテナンスの必要性も、大幅に減少する。
【００８３】
さらにこの場合には、ユーザ認証を行なうこと自体では装置（群管理サーバ４、半導体装置５、６、７）にアクセスする必要がないので、その装置に不具合が発生している場合でも保守・診断データをインターネット２５に流し遠隔で確実に保守・診断を行なうことができる。これは、保守・診断を要する場合には少なからずその装置に不具合が発生していることがあるので、大きな利点になる。
【００８４】
また、この保守・診断データ蓄積サーバ２３ＡがＤＭＺにあることに起因して、その保持する複製ユーザ認証情報が破壊される場合も考えられるが、その場合にも群管理サーバ４、半導体装置５、６、７が保有するユーザ認証情報をマスターとして用いて修復することができる。さらに群管理サーバ４、半導体装置５、６、７からみると、ユーザ認証情報の複製は保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａに対して一方向のみであり、マスター情報としての安全性も維持できる。
【００８５】
次に、さらに別の形態（参考例）に係る保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、保守・診断データの蓄積・提供システムを図９を参照して説明する。図９は、別の参考例に係る保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、保守・診断データの蓄積・提供システムを、保守・診断すべき装置として半導体製造装置を用いる場合に適用した構成を示す図である。図９においてすでに説明した構成要素には同一符号を付しその説明を省略する。
【００８６】
この形態の、上記説明の各形態との違いは、イントラネット２１側にユーザ認証情報保有サーバ２８を設け、このユーザ認証情報保有サーバ２８のユーザ認証情報データベース２８ａに群管理サーバ４Ａ、半導体装置５Ａ、６Ａ、７Ａの各ユーザ認証情報を一元的に保有させるようにしたことである。これにより、群管理サーバ４Ａ、半導体装置５Ａ、６Ａ、７Ａはユーザ認証情報を個々に保持する必要はないのでそれらそれぞれのユーザ認証情報データベースはなくてもよい。
【００８７】
保守・診断データ蓄積サーバ２３は、インターネット２５側からデータアクセス要求があった場合には、それに基づいて、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介してユーザ認証を、ユーザ認証情報保有サーバ２８に求め、その結果を受け取る。受け取ったユーザ認証の結果が正常である場合には、インターネット２５側からにデータアクセス要求に基づいて蓄積された保守・診断データをインターネット２５側に出力する。
【００８８】
次に、図９に示した構成の動作について、図１０ないし図１３に示す流れ図をも参照して説明する。図１０は、図９中に示すクライアント２６（２７）の動作フローを示す流れ図である。図１０に示すように、クライアント２６（２７）は、まず、インターネット２５を介し、ファイアウォール２４を通って保守・診断データ蓄積サーバ２３にデータアクセス要求を送信する（ステップ１１１）。データアクセス要求には、ユーザ認証の要求と、蓄積された保守・診断データのうち所望のものの出力要求とが含まれる。
【００８９】
これに対して、後述するように保守・診断データ蓄積サーバ２３が反応し、正常な動作を行なえば、保守・診断データ蓄積サーバ２３は保守・診断データを出力・送信する。そこで、クライアント２６（２７）は、ファイアウォール２４を介しインターネット２５を経由してそのデータを受け取る（ステップ１１２）。そして受け取ったデータを解析し保守・診断の処理を行なう（ステップ１１３）。なお、この後、処理した結果に基づき処方プログラムなどのソフトウエアをインターネット２５、ファイアウォール２４を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３に送信するようにしてもよい。この図１０に示す動作は、すでに説明した図２、図６に示した動作と同じである。
【００９０】
図１１は、図９中に示す保守・診断データ蓄積サーバ２３の動作フローを示す流れ図である。図１１に示すように、保守・診断データ蓄積サーバ２３は、必要に応じて保守・診断データを、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介して群管理サーバ４Ａまたは半導体製造装置５Ａ、６Ａ、７Ａから収集・蓄積しておく（ステップ１２１）。これは、定期的または非定期的に行なうことができる。
【００９１】
そして、インターネット２５側からのデータアクセス要求を監視・検知する（ステップ１２２）。データアクセス要求が検知されたら、これに基づいて、ファイアウォール２２、イントラネット２１を介してユーザ認証情報保有サーバ２８にユーザ認証を求める（ステップ１２３）。これは、ユーザ認証情報保有サーバ２８が半導体製造装置５Ａ、６Ａ、７Ａ、および群管理サーバ４Ａのユーザ認証情報を一元的に保持しているからである（すでに述べたようにユーザ認証情報データベース２８ａに保持されている）。なお、それぞれのデータアクセス要求に基づき、ユーザ認証の対象とする半導体製造装置または装置群が特定されている。
【００９２】
ユーザ認証の求めに応じて、特定された半導体製造装置５Ａ、６Ａ、７Ａまたは群管理サーバ４Ａに関するユーザ認証が、ユーザ認証情報保有サーバ２８で後述するように実行され、これが正常であればユーザ認証の結果が送信される。そこで、保守・診断データ蓄積サーバ２３はその結果をイントラネット２１、ファイアウォール２２を介して受け取る（ステップ１２４）。
【００９３】
そして、その結果が正常にユーザ認証された旨の場合にはデータアクセス要求に基づいて、蓄積されている保守・診断データのうち所望のものをファイアウォール２４を介してインターネット２５に出力・送信する（ステップ１２５）。送信されたデータは、すでに述べたようにクライアント２６（２７）がインターネット２５から受け取る。
【００９４】
図１２は、図９中に示す群管理サーバ４Ａまたは半導体製造装置５Ａ、６Ａ、７Ａの動作フローを示す流れ図である。ここで半導体製造装置５Ａ、６Ａ、７Ａの動作としては、イントラネット２１との接続によって生じるもののみが示されている。当然ながら半導体製造のための本来的な動作（レジスト塗布・現像装置としての動作）は別途行なう。
【００９５】
群管理サーバ４Ａ、半導体製造装置５Ａ、６Ａ、７Ａは、必要に応じてその管理下の半導体製造装置またはそれ自身についての保守・診断データを、イントラネット２１、ファイアウォール２２を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３に送る（ステップ１３１）。これは、定期的または非定期的に行なうことができる。
【００９６】
図１３は、図９中に示すユーザ認証情報保有サーバ２８の動作フローを示す流れ図である。ユーザ認証情報保有サーバ２８は、ユーザ認証の要求を保守・診断データ蓄積サーバ２３から受け取れる（ステップ１４１）状態で待機する。ユーザ認証の要求は、対象とする半導体製造装置または装置群を特定してなされる。イントラネット２１を介してその特定された要求を受けると、ユーザ認証情報データベース２８ａに保有されたユーザ認証情報を参照してこれを実行する（ステップ１４２）。実行した結果は、イントラネット２１、ファイアウォール２２を介して保守・診断データ蓄積サーバ２３に送信される（ステップ１４３）。
【００９７】
以上説明したクライアント２６（２７）、保守・診断データ蓄積サーバ２３、群管理サーバ４Ａ、半導体製造装置５Ａ、６Ａ、７Ａ、ユーザ認証情報保有サーバ２８の構成によっても、遠隔で保守・診断を行なう場合と、半導体製造装置１、２、３、５Ａ、６Ａ、７Ａが設置されている生産プラントに出向いてこれらの装置に対して直接保守・診断を行う場合とで、ユーザ認証の結果は同じになる。
【００９８】
これは、ユーザ認証情報保有サーバ２８内（ユーザ認証情報データベース２８ａ）に保有されたユーザ認証情報を用いてユーザ認証が行なわれる点で同一だからである。すなわち、遠隔の場合のユーザ認証は、ユーザ認証情報保有サーバ２８に保持されたユーザ認証情報を参照して行なわれ、これは、個々の群管理サーバ４Ａまたは半導体製造装置５Ａ、６Ａ、７Ａに遠隔でなく直接アクセスする場合（この場合には群管理サーバ４Ａ、半導体装置５Ａ、６Ａ、７Ａからイントラネット２１を介してユーザ認証情報保有サーバ２８にユーザ認証が求められる）と、用いられるユーザ認証情報が同じである。
【００９９】
よって、遠隔の場合も遠隔でない場合と同様な、保守・診断をする側（遠隔で診断する側）と保守・診断される側（装置の保有者）との間のセキュリティの維持を図ることができる。また、保守・診断データ蓄積サーバ２３が半導体製造装置の製造者の数によらず基本的に共通にひとつ設けられることに起因するユーザ認証情報に関するきめ細かいメンテナンスの必要性も、大幅に減少する。
【０１００】
さらにこの場合には、ユーザ認証を行なうこと自体では装置（群管理サーバ４Ａ、半導体装置５Ａ、６Ａ、７Ａ）にアクセスする必要がないので、その装置に不具合が発生している場合でも保守・診断データをインターネット２５に流し遠隔で確実に保守・診断を行なうことができる。これは、保守・診断を要する場合が少なからずその装置に不具合が発生している場合があるので大きな利点になる。
【０１０１】
しかもこの場合には、ユーザ認証情報をＤＭＺにおく必要がないのでユーザ認証情報自体のセキュリティ改善が図られる。さらに、ユーザ認証情報がユーザ認証情報保有サーバ２８に一元管理されるので、装置が多数ネットワークに接続される場合などにその維持、更新の手間が少なくて済むようにできる。
【０１０２】
なお、以上の各形態は、被保守・診断装置として半導体製造装置を例に挙げて説明したが、これに限らず同様にネットワーク（イントラネット２１）に接続可能な装置であれば同じく適用することができる。
【０１０３】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば遠隔の場合も遠隔でなく保守・診断する場合と同様なセキュリティの維持を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、保守・診断データの蓄積・提供システムを、保守・診断すべき装置として半導体製造装置を用いる場合に適用した構成を示す図。
【図２】図１中におけるクライアント２６（２７）の動作フローを示す流れ図。
【図３】図１中における保守・診断データ蓄積サーバ２３の動作フローを示す流れ図。
【図４】図１中における各製造装置５、６、７または群管理サーバ４の動作フローを示す流れ図。
【図５】参考例に係る保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、保守・診断データの蓄積・提供システムを、保守・診断すべき装置として半導体製造装置を用いる場合に適用した構成を示す図。
【図６】図５中におけるクライアント２６（２７）の動作フローを示す流れ図。
【図７】図５中における保守・診断データ蓄積サーバ２３Ａの動作フローを示す流れ図。
【図８】図５中における各製造装置５、６、７または群管理サーバ４の動作フローを示す流れ図。
【図９】別の参考例に係る保守・診断データ蓄積サーバ、保守・診断データの蓄積・取得システム、保守・診断データの蓄積・提供システムを、保守・診断すべき装置として半導体製造装置を用いる場合に適用した構成を示す図。
【図１０】図９中におけるクライアント２６（２７）の動作フローを示す流れ図。
【図１１】図９中における保守・診断データ蓄積サーバ２３の動作フローを示す流れ図。
【図１２】図９中における各製造装置５Ａ、６Ａ、７Ａまたは群管理サーバ４Ａの動作フローを示す流れ図。
【図１３】図９中におけるユーザ認証情報保有サーバ２８の動作フローを示す流れ図。
【符号の説明】
１、２、３…半導体製造装置（拡散炉）４、４Ａ…群管理サーバ４ａ…ユーザ認証情報データベース５、６、７、５Ａ、６Ａ、７Ａ…半導体製造装置（レジスト塗布・現像装置）５ａ、６ａ、７ａ…ユーザ認証情報データベース１０、１０Ａ…Ａ装置群１１、１１Ａ…Ｂ装置群２１…イントラネット２２…ファイアウォール（硬）２３、２３Ａ…保守・診断データ蓄積サーバ２３ａ…ユーザ認証情報データベース２４…ファイアウォール（軟）２５…インターネット２６、２７…クライアント２８…ユーザ認証情報保有サーバ２８ａ…ユーザ認証情報データベース

Claims

装置に関する保守・診断データを蓄積する手段と、
第１のネットワークを経由し第１のファイアウォールを介して送られるデータアクセス要求を検知する手段と、
前記検知されたデータアクセス要求に基づいて、前記第１のファイアウォールよりセキュリティレベルの高い第２のファイアウォールを介し第２のネットワークを経由して装置にユーザ認証を求める手段と、
前記ユーザ認証の結果を前記第２のネットワークを経由し前記第２のファイアウォールを介して取得する手段と、
前記取得されたユーザ認証の結果が正常にユーザ認証された旨の場合には前記検知されたデータアクセス要求に基づいて前記蓄積された保守・診断データを前記第１のファイアウォールを介し前記第１のネットワークに出力する手段と
を具備することを特徴とする保守・診断データ蓄積サーバ。
第１のファイアウォールを介して第１のネットワークに接続可能な保守・診断データ蓄積サーバと、前記第１のネットワークに接続可能な保守・診断データ取得用クライアントとを具備し、
前記保守・診断データ取得用クライアントは、
前記第１のネットワークを経由し前記第１のファイアウォールを介して前記保守・診断データ蓄積サーバにデータアクセス要求を送る手段を有し、
前記保守・診断データ蓄積サーバは、
装置に関する保守・診断データを、第２のネットワークを経由し前記第１のファイアウォールよりセキュリティレベルの高い第２のファイアウォールを介して取得し蓄積する手段と、
前記送られたデータアクセス要求を検知する手段と、
前記検知されたデータアクセス要求に基づいて、前記第２のファイアウォールを介し前記第２のネットワークを経由して前記装置にユーザ認証を求める手段と、
前記ユーザ認証の結果を前記装置から受け取る手段と、
前記受け取られたユーザ認証の結果が正常にユーザ認証された旨の場合には前記検知されたデータアクセス要求に基づいて前記蓄積された保守・診断データを前記第１のファイアウォールを介して前記第１のネットワークに出力する手段とを有し、
前記保守・診断データ取得用クライアントは、
前記保守・診断データ蓄積サーバから出力された前記保守・診断データを前記第１のネットワークを経由して受け取る手段をさらに有する
ことを特徴とする保守・診断データの蓄積・取得システム。
第１のネットワークに接続を有しかつユーザ認証情報を保有する被保守・診断装置と、第１のファイアウォールを介し前記第１のネットワークを経由して前記装置にアクセス可能でかつ前記第１のファイアウォールよりセキュリティレベルの低い第２のファイアウォールを介し第２のネットワークを経由してクライアントとアクセス可能な保守・診断データ蓄積サーバとを具備し、
前記装置は、
自身に関する保守・診断データを前記保守・診断データ蓄積サーバに渡す手段を有し、
前記保守・診断データ蓄積サーバは、
前記渡された保守・診断データを蓄積する手段と、
前記クライアントから送られるデータアクセス要求を検知する手段と、
前記検知されたデータアクセス要求に基づいて、前記装置にユーザ認証を求める手段とを有し、
前記装置は、
前記求められたユーザ認証を前記保有されたユーザ認証情報に基づき実行する手段と、
前記実行されたユーザ認証の結果を前記保守・診断データ蓄積サーバに送る手段とをさらに有し、
前記保守・診断データ蓄積サーバは、
前記送られたユーザ認証の結果を受け取る手段と、
前記受け取られたユーザ認証の結果が正常にユーザ認証された旨の場合には前記検知されたデータアクセス要求に基づいて前記蓄積された保守・診断データを前記クライアントに出力する手段とをさらに有する
ことを特徴とする保守・診断データの蓄積・提供システム。