JP2013179109A - 基板処理装置の管理方法および管理システム - Google Patents

Abstract

【課題】基板処理装置の障害対応作業時に早期部品交換を行うか否かを適切に判断することができる基板処理装置の管理技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置３に障害が発生して障害対応作業を行うときに、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換した場合に生じるコスト増加額をコスト増加算定部２１にて算定し、コスト減少額をコスト減少算定部３１にて算定する。コスト増加額は、定期保守計画で交換すれば寿命まで使用していたはずの部品を障害対応作業にて先行して交換することによって利用出来なくなった分の損失として計算する。また、コスト減少額は、定期保守計画を障害対応作業と併せて行うことによって基板処理装置３のシャットダウンおよび起動の回数を減らしたことによる利得として計算する。そして、コスト増加額とコスト減少額とを比較した結果を表示する。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体ウェハーや液晶表示装置用ガラス基板等の薄板状の精密電子基板（以下、単に「基板」と称する）を製造するための基板処理装置の部品交換を管理する管理方法および管理システムに関する。

半導体デバイスや液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して、洗浄、成膜、感光剤塗布、露光、現像、エッチングなどの諸処理を経て製造される。一般に、これらの諸処理は、洗浄装置、露光装置（ステッパ）、塗布および現像装置（コータ＆デベロッパ）などの処理目的に特化した専用の基板処理装置にて実行される。

このような基板処理装置を構成する部品には消耗品も多く含まれている。例えば、洗浄装置が備える洗浄ブラシや光照射式の熱処理装置（ランプアニール装置）が備えるランプ類は典型的な消耗品である。これらの消耗品には規定の寿命（動作時間または動作回数）が定められており、寿命に到達するまでに部品交換をしておかなけれらばならない、また、いわゆる消耗品とまでは言えないまでも、寿命の規定されている部品は多く（例えば、モータやシリンダー等）、これらについても寿命到達前の部品交換が必要である。

このような部品交換を管理するため、例えば特許文献１には、部品の消耗度をモニターし、消耗度が予め設定された所定値以上となったときには寿命が近づいてきた旨の警告を発報したり、新たな部品の自動発注を行う技術が開示されている。

また、基板処理装置に設けられた各部品の寿命を管理しておき、定期的に基板処理装置の保守・点検を行う定期保守のときに寿命が近づいてきた部品を交換することも通常に行われている。このような寿命が近づいてきた部品を交換することにより、基板処理装置の性能を維持することができる。

特開２００３−８６４７９号公報

しかしながら、定期保守を行っていたとしても、基板処理装置には突発的な故障が生じることもある。故障が生じたときには、その程度によっては保守要員が基板処理装置をシャットダウンして障害対応作業を行う。このときに今後予定している定期保守計画で交換予定の部品も併せて交換すれば、装置のシャットダウン回数が減るため、装置の停止に伴う損失を低減することができる。つまり、基板処理装置が稼働していないために生産が停止することによる損失を低減することができる。

その一方、本来の交換予定時期よりも早めに部品交換を行うこととなるため、それによる新たな損失も発生する。このため、障害対応作業のときに定期保守計画で交換予定の部品の交換までをも行うか否かの判断は難しく、保守要員の経験によるところが大きかった。その結果、早期の部品交換を実施したために（或いは実施しなかったために）、不要な損失が生じることも多かった。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、基板処理装置の障害対応作業時に早期部品交換を行うか否かを適切に判断することができる基板処理装置の管理技術を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置の部品交換を管理する基板処理装置の管理方法において、基板処理装置に障害が発生して障害対応作業を行うときに、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を前記障害対応作業にて先行して交換した場合に生じるコスト増加額を算定するコスト増加算定工程と、前記定期保守計画を実施しなかった場合に得られるコスト減少額を算定するコスト減少算定工程と、前記コスト増加算定工程で算定されたコスト増加額と前記コスト減少算定工程で算定されたコスト減少額とを比較する比較工程と、前記比較工程での比較結果を出力する出力工程と、を備えることを特徴とする。

また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板処理装置の管理方法において、前記コスト増加算定工程では、交換予定の部品の寿命と前記障害対応作業を行う時点での部品の動作回数または動作時間との差異および部品の単価に基づいてコスト増加額を算定することを特徴とする。

また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係る基板処理装置の管理方法において、前記コスト増加算定工程では、前記定期保守計画にて交換予定の全ての部品を対象としてコスト増加額を算定することを特徴とする。

また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかの発明に係る基板処理装置の管理方法において、前記コスト減少算定工程では、前記定期保守計画に要する基板処理装置のシャットダウンおよび起動に要する時間および基板処理装置が生産する単位時間あたりの付加価値に基づいてコスト減少額を算定することを特徴とする。

また、請求項５の発明は、基板処理装置の部品交換を管理する基板処理装置の管理システムにおいて、基板処理装置に障害が発生して障害対応作業を行うときに、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を前記障害対応作業にて先行して交換した場合に生じるコスト増加額を算定するコスト増加算定部と、前記定期保守計画を実施しなかった場合に得られるコスト減少額を算定するコスト減少算定部と、前記コスト増加算定部で算定されたコスト増加額と前記コスト減少算定部で算定されたコスト減少額とを比較する比較部と、前記比較部の比較結果を表示する表示部と、を備えることを特徴とする。

また、請求項６の発明は、請求項５の発明に係る基板処理装置の管理システムにおいて、前記定期保守計画にて交換を予定している部品、当該部品の単価、および、当該部品の寿命を登録した保守計画データベースを保持する第１の記憶部と、部品の動作回数または動作時間を登録した部品寿命管理データベースを保持する第２の記憶部と、をさらに備え、前記コスト増加算定部は、交換予定の部品の寿命と前記障害対応作業を行う時点での部品の動作回数または動作時間との差異および部品の単価に基づいてコスト増加額を算定することを特徴とする。

また、請求項７の発明は、請求項５または請求項６の発明に係る基板処理装置の管理システムにおいて、前記コスト増加算定部は、前記定期保守計画にて交換予定の全ての部品を対象としてコスト増加額を算定することを特徴とする。

また、請求項８の発明は、請求項５から請求項７のいずれかの発明に係る基板処理装置の管理システムにおいて、前記コスト減少算定部は、前記定期保守計画に要する基板処理装置のシャットダウンおよび起動に要する時間および基板処理装置が生産する単位時間あたりの付加価値に基づいてコスト減少額を算定することを特徴とする。

請求項１から請求項４の発明によれば、基板処理装置に障害が発生して障害対応作業を行うときに、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換した場合に生じるコスト増加額と、定期保守計画を実施しなかった場合に得られるコスト減少額と、を比較して出力するため、障害対応作業を行う保守要員は、その比較結果を参照し、基板処理装置の障害対応作業時に将来の定期保守計画にて交換予定の部品を早期交換するか否かをコストに基づいて合理的かつ適切に判断することができる。

また、請求項５から請求項８の発明によれば、基板処理装置に障害が発生して障害対応作業を行うときに、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換した場合に生じるコスト増加額と、定期保守計画を実施しなかった場合に得られるコスト減少額と、を算定して比較し、その比較結果を表示するため、障害対応作業を行う保守要員は、その比較結果を参照し、基板処理装置の障害対応作業時に将来の定期保守計画にて交換予定の部品を早期交換するか否かをコストに基づいて合理的かつ適切に判断することができる。

本発明に係る基板処理装置の管理システムの全体概略構成を示す図である。 保守管理サーバおよび基板処理装置の機能的構成を示す機能ブロック図である。 本発明に係る基板処理装置の管理方法の手順を示すフローチャートである。 保守計画データベースの登録内容の一例を示す図である。 部品寿命管理データベースの登録内容の一例を示す図である。 ユーザーインターフェイス部に表示された比較結果の一例を示す図である。

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。

図１は、本発明に係る基板処理装置の管理システム１の全体概略構成を示す図である。管理システム１は、半導体ウェハー等の基板に所定の基板処理を行う基板処理装置３と、基板処理装置３の保守管理を行うための保守管理サーバ２と、をネットワーク４を介して接続した構成を有している。保守管理サーバ２と基板処理装置３とは同じ工場の中に配置されていても良いし、遠隔配置されていても良い。また、１台の保守管理サーバ２によって複数の基板処理装置３が管理されていても良い。保守管理サーバ２と基板処理装置３とが同じ工場に配置されているような場合は、ネットワーク４としてＬＡＮ（Local Area Network）を用いることができ、遠隔配置されている場合には、ネットワーク４としてインターネットなどの広域ネットワークを利用すれば良い。

基板処理装置３は、基板に所定の基板処理を行う装置であり、一般的には半導体製造工場等のクリーンルーム内に設置される。基板処理装置３としては、例えば、枚葉式またはバッチ式の洗浄処理装置、フォトレジストの塗布および現像処理を行うコータ＆デベロッパ、熱処理装置、などが適用される。保守管理サーバ２は、一般的なコンピュータシステムと同様のハードウェハ構成を有しており、各種演算処理を行うＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭおよび制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく磁気ディスクを備えている。

図２は、保守管理サーバ２および基板処理装置３の機能的構成を示す機能ブロック図である。保守管理サーバ２は、コスト増加算定部２１、通信制御部２２および記憶部２４を備える。通信制御部２２は、図示省略のネットワークインターフェイスを介してネットワーク４に接続されており、保守管理サーバ２と外部との各種データの送受信を司る。保守管理サーバ２は、通信制御部２２を介して基板処理装置３にアクセスすることができる。記憶部２４は、例えば保守管理サーバ２の磁気ディスクであり、保守計画データベース２９を格納する。コスト増加算定部２１は、保守管理サーバ２のＣＰＵが所定の処理プログラムを実行することによって実現される機能処理部であり、その処理内容についてはさらに後述する。

また、基板処理装置３は、一般的なコンピュータシステムと同様のハードウェハ構成を有するコントローラを備えており、そのコントローラによって図２に示す構成が実現される。基板処理装置３のコントローラは、コスト減少算定部３１、通信制御部３２、比較部３３、記憶部３４、部品寿命管理部３５、および、ユーザーインターフェイス部３８を備える。通信制御部３２は、図示省略のネットワークインターフェイスを介してネットワーク４に接続されており、基板処理装置３と外部との各種データの送受信を司る。記憶部３４は、基板処理装置３のコントローラの磁気ディスクであり、部品寿命管理データベース３９を格納する。ユーザーインターフェイス部３８は、基板処理装置３のユーザーに対する入出力を行う処理部であり、例えばタッチパネルを用いて構成される。ユーザーは、ユーザーインターフェイス部３８に表示された内容を確認しつつ、そこから基板処理装置３に対するコマンドやパラメータを入力することができる。

コスト減少算定部３１、比較部３３および部品寿命管理部３５は、基板処理装置３のコントローラのＣＰＵが所定の処理プログラムを実行することによって実現される機能処理部である。上記のコスト増加算定部２１と同様に、これらの処理内容についても後に詳述する。

図３は、本発明に係る基板処理装置の管理方法の手順を示すフローチャートである。基板処理装置３においては、未処理に基板が搬入されて所定の基板処理が行われ、処理済みの基板が搬出されるという定常処理が繰り返し実行されている。基板処理装置３に対しては、その性能を維持するとともに故障等の不具合を未然に防ぐために、定期的（例えば、１ヶ月に１回）に保守・点検を行う定期保守がなされている。それでも猶、基板処理装置３には突発的な障害が生じることもある。

このような突発的な障害が発生したときには、保守要員が障害対応作業を実行する。本実施形態では、この障害対応作業の一つとして将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を先行して交換するか否かを判断する。図３には、その手順を示している。

まず、障害が発生したときには、基板処理装置３のユーザーインターフェイス部３８に生産品の付加価値情報入力画面が表示され、単位時間あたりの付加価値の入力が促される（ステップＳ１）。例えば、基板処理装置３にて一時間あたり６０万円の付加価値を有する基板処理を行っている（つまり、６０万円の付加価値を生産している）場合、保守要員はユーザーインターフェイス部３８から単位時間あたりの付加価値として\600,000を入力する。

基板処理装置３のコスト減少算定部３１は、ユーザーインターフェイス部３８からの入力内容に基づいて部品の早期交換を行った場合に得られるコスト減少額を算定する（ステップＳ２）。このコスト減少額の算定は、以下のような要素を考慮して行われる。

基板処理装置３に障害が発生して障害対応作業を行うために要するコストは次の４つのパラメータの和（Ｃｓ＋Ｃｔ＋Ｃｕ＋Ｃｃ）である、
・基板処理装置３をシャットダウンしてから、保守要員が障害対応作業を開始するまでの間、基板処理を行えないことによる付加価値の損失（Ｃｓ）
・保守要員が障害対応作業を行っている間、基板処理が行えないことによる付加価値の損失（Ｃｔ）
・障害対応作業終了後に基板処理装置３を起動してから、基板処理の準備が出来るまでの間、基板処理が行えないことによる付加価値の損失（Ｃｕ）
・障害の原因となった部品の購入費用（Ｃｃ）。

一方、将来予定されている定期保守計画を実行するのに要するコストは次の４つのパラメータの和（Ｃｓ＋Ｃｍ＋Ｃｕ＋Ｃｐ）である、
・基板処理装置３をシャットダウンしてから、保守要員が定期保守作業を開始するまでの間、基板処理を行えないことによる付加価値の損失（Ｃｓ）
・保守要員が定期保守作業を行っている間、基板処理が行えないことによる付加価値の損失（Ｃｍ）
・定期保守作業終了後に基板処理装置３を起動してから、基板処理の準備が出来るまでの間、基板処理が行えないことによる付加価値の損失（Ｃｕ）
・定期保守作業で交換する部品の購入費用（Ｃｐ）。

これらのうち、基板処理装置３をシャットダウンしてから、保守要員が作業を開始するまでの間の付加価値の損失は、その作業が障害対応作業であるか定期保守作業であるかにかかわらず、シャットダウンから作業に移行できるまでの時間は一定であると考えられるため共通のＣｓとしている。同様に、作業終了後に基板処理装置３を起動してから、基板処理の準備が出来るまでの間の付加価値の損失も、その作業が障害対応作業であるか定期保守作業であるかにかかわらず、装置起動から基板処理の準備が整うまでに要する時間は一定であると考えられるため共通のＣｕとしている。

障害対応作業および将来予定されている定期保守計画の双方をともに行った場合には、基板処理装置３のシャットダウン・起動を２回に分けて行うこととなるため、それらに要するコストの総和Ｓａは（２Ｃｓ＋Ｃｔ＋Ｃｍ＋２Ｃｕ＋Ｃｃ＋Ｃｐ）となる。一方、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換し、その定期保守計画を実行しなかった場合には、基板処理装置３のシャットダウン・起動は１回で済むため、要するコストの総和Ｓｂは（Ｃｓ＋Ｃｔ＋Ｃｍ＋Ｃｕ＋Ｃｃ＋Ｃｐ）となる。定期保守計画にて交換を予定している部品を先行して交換した場合であっても、部品の購入費用Ｃｐとその交換作業に要する時間分の付加価値損失Ｃｍは必ず必要となるため、総和Ｓｂにも含めている。

結局、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換し、その定期保守計画を実施しなかった場合に得られるコスト減少額ＣｚはＳａとＳｂとの差額である（Ｃｓ＋Ｃｕ）となる。要するに、障害対応作業および定期保守計画の双方を行うと基板処理装置３のシャットダウン・起動を２回行わねばならないところ、それが１回で済むために、不要となった１回分のシャットダウンおよび起動による付加価値の損失分がそのままコスト減少額Ｃｚとなる。

基板処理装置３のシャットダウンおよび起動のそれぞれに必要な時間は装置固有の一定値であり、予め基板処理装置３の記憶部３４またはメモリ等に記憶されている。コスト減少算定部３１は、ステップＳ１にて入力された基板処理装置３が生産する単位時間あたりの付加価値（本実施形態では\600,000）と、基板処理装置３のシャットダウンおよび起動のそれぞれに必要な時間とから（Ｃｓ＋Ｃｕ）を算定する。例えば、基板処理装置３のシャットダウンに必要な時間が３０分であったとすると、Ｃｓ＝(30分／60分)×\600,000＝\300,000と算定される。同様に、基板処理装置３の起動に必要な時間が２０分であったとすると、Ｃｕ＝(20分／60分)×\600,000＝\200,000と算定される。よって、コスト減少算定部３１は、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換し、その定期保守計画を実施しなかった場合に得られるコスト減少額Ｃｚを（Ｃｓ＋Ｃｕ）＝\300,000＋\200,000＝\500,000と算定する。

次に、保守管理サーバ２のコスト増加算定部２１は、記憶部２４に格納されている保守計画データベース２９から将来予定されている定期保守計画を取得する（ステップＳ３）。図４は、保守計画データベース２９の登録内容の一例を示す図である。図４に示すように、保守計画データベース２９には、定期保守計画毎に、定期保守日、その定期保守計画にて交換を予定している部品名、その部品の単価および寿命が登録されている。寿命としては耐用動作時間または耐用動作回数が登録されており、いずれを登録するかは部品の種類によって異なる。コスト増加算定部２１は、将来予定されている定期保守計画として図４に示すような各項目を取得する。

続いて、コスト増加算定部２１は、ステップＳ３で取得した将来予定されている定期保守計画を参照し、その定期保守計画にて交換予定の部品の動作情報を取得する（ステップＳ４）。例えば、図４の例では、２０１２年３月１８日に予定されている定期保守計画にて三種類の部品Ａ，Ｂ，Ｃの交換が予定されている。従って、コスト増加算定部２１は、部品Ａ，Ｂ，Ｃについての動作情報を取得する。

具体的には、コスト増加算定部２１は、基板処理装置３の部品寿命管理部３５に対して部品Ａ，Ｂ，Ｃの実動作状況を要求する。実動作状況とは、コスト増加算定部２１からの要求があった時点（つまり、基板処理装置３の障害対応作業を行う時点）での各部品の実際の動作回数または動作時間である。部品寿命管理部３５は、コスト増加算定部２１からの要求を受けて、記憶部３４に格納されている部品寿命管理データベース３９から要求対象となっている部品の実動作状況を取得し、それをコスト増加算定部２１に伝達する。

図５は、部品寿命管理データベース３９の登録内容の一例を示す図である。同図に示すように、部品寿命管理データベース３９には、部品毎に実動作状況が記録されている。部品寿命管理データベース３９は、基板処理装置３での定常処理が進行するにつれて（つまり、各部品が使用されるにつれて）、部品寿命管理部３５によって逐次更新されるものである。本実施形態においては、部品Ａ，Ｂ，Ｃについての実動作状況が要求されているため、部品寿命管理部３５は部品寿命管理データベース３９から図５に示す如き部品Ａ，Ｂ，Ｃの実動作状況を取得してコスト増加算定部２１に送信する。

部品寿命管理部３５から伝達された交換予定部品の動作情報に基づいて、コスト増加算定部２１は部品の早期交換を行った場合に生じるコスト増加額を算定する（ステップＳ５）。将来予定されている定期保守計画にて交換予定の一の部品を障害対応作業にて先行して交換した場合に生じるコスト増加額Ｃｘは次の式（１）によって算定される。

式１において、ＫｔおよびＫｅはそれぞれその部品の寿命および実動作状況である。また、Ｐｂはその部品の単価である。部品の寿命Ｋｔおよび単価ＰｂはステップＳ３にて保守計画データベース２９から得られる情報である。また、部品の実動作状況Ｋｅは、ステップＳ４にて部品寿命管理データベース３９から得られる情報である。

式（１）に示すように、交換予定の部品の寿命と障害対応作業を行う時点での部品の実動作状況との差異および部品の単価に基づいてコスト増加額Ｃｘは算定される。コスト増加額Ｃｘは、定期保守計画で交換すれば寿命まで使用していたはずの部品を障害対応作業にて先行して交換することによって利用出来なくなった分の損失である。例えば、部品Ａについて見れば、将来の定期保守計画で交換すれば１００００回使用できたはずであり、それを障害対応作業にて先行して早期交換すると５０００回の使用で交換することとなるため、残りの５０００回分は使用できなくなる。それによる損失がコスト増加額Ｃｘであり、Ｃｘ＝(10,000回-5,000回)/10,000回×\10,000＝\5,000と算定される。

コスト増加算定部２１は、ステップＳ３にて取得した定期保守計画にて交換予定とされている全ての部品を対象として、式（１）を用いてコスト増加額Ｃｘを算定する。本実施形態の例では、コスト増加算定部２１は定期保守計画にて交換予定の三種類の部品Ａ，Ｂ，Ｃのそれぞれについて式（１）よりコスト増加額Ｃｘを算定する。上述の通り、部品Ａについては、コスト増加額Ｃｘ＝\5,000と算定される。また、部品Ｂについては、コスト増加額Ｃｘ＝(1,500時間-1,200時間)/1,500時間×\200,000＝\40,000と算定される。同様に、部品Ｃについては、コスト増加額Ｃｘ＝(100,000回-90,000回)/100,000回×\150,000＝\15,000と算定される。

将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換した場合に生じるコスト増加は、交換予定とされている全ての部品についてのコスト増加額Ｃｘを合計したΣＣｘである。本実施形態では、コスト増加算定部２１は、部品Ａ，Ｂ，Ｃのそれぞれについてのコスト増加額Ｃｘを合計し、コスト増加の総額ΣＣｘ＝\5,000＋\40,000＋\15,000＝\60,000と算定する。コスト増加算定部２１によって算定されたコスト増加の総額ΣＣｘは基板処理装置３に伝達される。

次に、ステップＳ２でコスト減少算定部３１によって算定されたコスト減少額Ｃｚと、ステップＳ５でコスト増加算定部２１によって算定されたコスト増加の総額ΣＣｘと、が基板処理装置３の比較部３３によって比較される（ステップＳ６）。その結果、コスト増加の総額ΣＣｘがコスト減少額Ｃｚよりも小さければ、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換した方がコストメリットが得られるため、早期交換は妥当と判断される。すなわち、ΣＣｘ＜Ｃｚが満足されることは、部品を寿命まで使用せずに早期交換することによる損失よりも定期保守計画を行わないことによるコストメリットの方が大きいことを意味し、将来の定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換した方がコスト的には好ましいこととなる。

逆に、コスト増加の総額ΣＣｘがコスト減少額Ｃｚよりも大きければ、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換してもコストメリットが得られないため、早期交換は適当でないと判断される。すなわち、ΣＣｘ＞Ｃｚとなることは、部品を早期交換することによる損失が定期保守計画を行わないことによるコスト削減を上回って大きいことを意味し、将来の定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換するとコスト的に不利となる。なお、コスト増加の総額ΣＣｘがコスト減少額Ｃｚと等しい場合には、いずれの判断結果としても良い。

定期保守計画は一定期間を隔てて繰り返し行われるものであるため、障害対応作業よりも将来に予定されている定期保守計画は複数存在する。ステップＳ３からステップＳ６の処理は、そのような将来予定されている複数の定期保守計画のそれぞれについて行われる。そして、比較部３３は、基板処理装置３のユーザーインターフェイス部３８に比較結果を表示する（ステップＳ７）。図６は、ユーザーインターフェイス部３８に表示された比較結果の一例を示す図である。図６の例では、コスト減少額Ｃｚが表示されるとともに、ΣＣｘ＜Ｃｚを満足する定期保守計画の定期保守日およびそのコスト増加の総額ΣＣｘが表示されている。

コスト減少額Ｃｚは、定期保守計画を回避して基板処理装置３のシャットダウンおよび起動に要するコストを削減することによる効果なので、いずれの定期保守日に実施する定期保守計画であるかに関わらず、その値は一定（本実施形態では\500,000）である。一方、コスト増加額Ｃｘは、定期保守計画で交換すれば寿命まで使用していたはずの部品を障害対応作業にて先行して交換することによって利用出来なくなった分の損失であり、定期保守計画毎に交換対象部品も残存寿命（余命）も異なるため、その値は定期保守計画によって異なる。もっとも、通常は定期保守日が遅いほど交換対象部品の余命も長く残存しており、早期交換による損失が大きくなってコスト増加額Ｃｘも増加する傾向となる。本実施形態では、ステップＳ６の判定にてΣＣｘ＜Ｃｚを満足した定期保守計画のみをユーザーインターフェイス部３８に表示するようにしている。

障害対応作業を行う保守要員は、ユーザーインターフェイス部３８に表示された比較結果を参照し、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業と併せて先行して交換するか否かを最終決定する。例えば、図６に示すような比較結果が表示された場合には、定期保守日が２０１２年３月１８日の定期保守計画についてはコスト削減効果（Ｃｚ−ΣＣｘ）が\440,000と大きく、当該定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業時に交換するのが好ましいと保守要員が判断し、その旨の決定を行う。なお、障害対応作業時に部品を先行して交換するか否かの最終決定は、コスト以外の諸要因を総合的に考慮して行うことが望ましい。

また、部品の先行交換を行うのであれば、その対象となる定期保守計画にて交換を予定している部品の全てを交換する。例えば、２０１２年３月１８日の定期保守計画で交換予定の部品を早期交換するのであれば、部品Ａのみを早期交換して部品Ｂ，Ｃを交換しないということは不可であり、部品Ａ，Ｂ，Ｃの全てを交換しなければならない。さらに、定期保守計画で交換予定の部品を早期交換するのであれば、部品交換のみならず、その定期保守計画にて行うはずの他の作業（例えば、基板処理装置３の点検作業）も障害対応作業時に併せて行う。すなわち、定期保守計画にて予定されている全ての作業を障害対応作業にて先行して行うのである。

本実施形態においては、基板処理装置３に障害が発生して障害対応作業を行うときに、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を障害対応作業にて先行して交換した場合に生じるコスト増加額とコスト減少額とを算定し、それらを比較した結果を表示している。コスト増加額は、定期保守計画で交換すれば寿命まで使用していたはずの部品を障害対応作業にて先行して交換することによって利用出来なくなった分の損失として計算する。また、コスト減少額は、定期保守計画を障害対応作業と併せて行うことによって基板処理装置３のシャットダウンおよび起動の回数を減らしたことによる利得として計算する。そして、コスト減少額がコスト増加額よりも大きければ、障害対応作業での部品の早期交換は妥当と判断される。

このようにすれば、障害対応作業を行う保守要員は、コスト増加額とコスト減少額との比較結果を参照し、基板処理装置３の障害対応作業時に将来の定期保守計画にて交換予定の部品を早期交換するか否かをコストに基づいて合理的かつ適切に判断することができる。特に、経験の浅い保守要員であっても、コスト増加額とコスト減少額との比較結果に基づいて早期交換の判断を行えば的確な判断が可能となり、誤った判断に起因した損失の発生を防止することができる。

以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態においては、コスト増加算定部２１を保守管理サーバ２に設け、コスト減少算定部３１および比較部３３を基板処理装置３のコントローラに設けていたが、これらはいずれもＣＰＵが所定の処理プログラムを実行することによって実現される機能処理部であるため、保守管理サーバ２または基板処理装置３のいずれに設けても良い。例えば、これらの機能処理部を全て保守管理サーバ２に設け、基板処理装置３では部品寿命管理データベース３９からの動作情報の収集のみを行って保守管理サーバ２で演算処理を行うようにしても良い。また、全ての機能処理部を基板処理装置３に設けるとともに、保守計画データベース２９を基板処理装置３の記憶部３４に格納し、基板処理装置３のみによって上記実施形態の処理を実行するようにしても良い。

また、コスト減少額とコスト増加額と比較結果の表示例は図６の例に限定されるものではなく、特定の定期保守計画（例えば、直近の定期保守計画）についてのみ結果表示するようにしても良い。また、ΣＣｘ＜Ｃｚを満足した定期保守計画のみならず、全ての定期保守計画についてΣＣｘとともに表示するようにしても良い。

また、上記実施形態においては、コスト増加額とコスト減少額との比較結果をユーザーインターフェイス部３８に表示するようにしていたが、これに限定されるものではなく、例えば比較結果を印刷物にプリントアウトするようにしても良い。或いは、比較結果を電子メールなどによって保守管理サーバ２に伝達するようにしても良い。要するに、コスト増加額とコスト減少額との比較結果を出力する形態であれば良い。

本発明に係る基板処理装置の管理技術は、半導体ウェハー、液晶ディスプレイなどのフラットパネル（ＦＰＤ）用途のガラス基板、太陽電池用の基板などの精密電子基板に洗浄処理、成膜処理、熱処理などを行う基板処理装置の部品交換管理に好適に適用することができる。

１ 管理システム
２ 保守管理サーバ
３ 基板処理装置
４ ネットワーク
２１ コスト増加算定部
２４，３４ 記憶部
２９ 保守計画データベース
３１ コスト減少算定部
３３ 比較部
３５ 部品寿命管理部
３８ ユーザーインターフェイス部
３９ 部品寿命管理データベース

Claims (8)

1. 基板処理装置の部品交換を管理する基板処理装置の管理方法であって、
   基板処理装置に障害が発生して障害対応作業を行うときに、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を前記障害対応作業にて先行して交換した場合に生じるコスト増加額を算定するコスト増加算定工程と、
   前記定期保守計画を実施しなかった場合に得られるコスト減少額を算定するコスト減少算定工程と、
   前記コスト増加算定工程で算定されたコスト増加額と前記コスト減少算定工程で算定されたコスト減少額とを比較する比較工程と、
   前記比較工程での比較結果を出力する出力工程と、
   を備えることを特徴とする基板処理装置の管理方法。
2. 請求項１記載の基板処理装置の管理方法において、
   前記コスト増加算定工程では、交換予定の部品の寿命と前記障害対応作業を行う時点での部品の動作回数または動作時間との差異および部品の単価に基づいてコスト増加額を算定することを特徴とする基板処理装置の管理方法。
3. 請求項１または請求項２記載の基板処理装置の管理方法において、
   前記コスト増加算定工程では、前記定期保守計画にて交換予定の全ての部品を対象としてコスト増加額を算定することを特徴とする基板処理装置の管理方法。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置の管理方法において、
   前記コスト減少算定工程では、前記定期保守計画に要する基板処理装置のシャットダウンおよび起動に要する時間および基板処理装置が生産する単位時間あたりの付加価値に基づいてコスト減少額を算定することを特徴とする基板処理装置の管理方法。
5. 基板処理装置の部品交換を管理する基板処理装置の管理システムであって、
   基板処理装置に障害が発生して障害対応作業を行うときに、将来予定されている定期保守計画にて交換予定の部品を前記障害対応作業にて先行して交換した場合に生じるコスト増加額を算定するコスト増加算定部と、
   前記定期保守計画を実施しなかった場合に得られるコスト減少額を算定するコスト減少算定部と、
   前記コスト増加算定部で算定されたコスト増加額と前記コスト減少算定部で算定されたコスト減少額とを比較する比較部と、
   前記比較部の比較結果を表示する表示部と、
   を備えることを特徴とする基板処理装置の管理システム。
6. 請求項５記載の基板処理装置の管理システムにおいて、
   前記定期保守計画にて交換を予定している部品、当該部品の単価、および、当該部品の寿命を登録した保守計画データベースを保持する第１の記憶部と、
   部品の動作回数または動作時間を登録した部品寿命管理データベースを保持する第２の記憶部と、
   をさらに備え、
   前記コスト増加算定部は、交換予定の部品の寿命と前記障害対応作業を行う時点での部品の動作回数または動作時間との差異および部品の単価に基づいてコスト増加額を算定することを特徴とする基板処理装置の管理システム。
7. 請求項５または請求項６記載の基板処理装置の管理システムにおいて、
   前記コスト増加算定部は、前記定期保守計画にて交換予定の全ての部品を対象としてコスト増加額を算定することを特徴とする基板処理装置の管理システム。
8. 請求項５から請求項７のいずれかに記載の基板処理装置の管理システムにおいて、
   前記コスト減少算定部は、前記定期保守計画に要する基板処理装置のシャットダウンおよび起動に要する時間および基板処理装置が生産する単位時間あたりの付加価値に基づいてコスト減少額を算定することを特徴とする基板処理装置の管理システム。

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