JP2007318036A - 半導体製造装置管理システム、半導体製造装置の異常要因抽出方法及びその管理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置を製造する半導体製造装置(2、3)と、前記半導体製造装置の複数の装置パラメータをモニタし、出力するセンサと、前記半導体装置の寸法値を測定し、寸法データとして出力する測定部4と、前記装置パラメータを格納する装置パラメータ格納部8と、前記寸法データを格納する寸法データ格納部10と、寸法データ格納部10から寸法データを取り出して予測寸法データを算出し、前記予測寸法データに基づいて前記複数の装置パラメータの一つを制御する装置パラメータ制御部11と、前記制御されている装置パラメータとその他の装置パラメータとの相関解析を行い、算出された相関係数を基準に異常装置パラメータを抽出する異常要因抽出部13と、を備える。
【選択図】図1
Description
2 レジスト塗布/現像処理装置
3 露光装置
4 測定部
6 生産管理データベース
8 装置パラメータデータベース
10 QCデータベース
11 装置パラメータ制御装置
12 露光補正量データベース
13 装置変動要因抽出装置
14 装置変動要因データベース
15 表示装置
Claims (5)
- 半導体製造装置の複数の装置パラメータをモニタし、出力するセンサと、
前記半導体装置の寸法値を測定し、寸法データとして出力する測定部と、
前記装置パラメータを格納する装置パラメータ格納部と、
前記寸法データを格納する寸法データ格納部と、
前記寸法データ格納部から寸法データを取り出して予測寸法データを算出し、前記予測寸法データに基づいて前記複数の装置パラメータの少なくとも一つを制御する装置パラメータ制御部と、
前記制御されている装置パラメータとその他の装置パラメータとの相関解析を行い、算出された相関係数を基準に異常装置パラメータを抽出する異常要因抽出部と、
を備えることを特徴とする半導体製造装置管理システム。 - 半導体製造装置の複数の装置パラメータをモニタし、出力するセンサと、
前記半導体装置の寸法値を測定し、寸法データとして出力する測定部と、
前記装置パラメータを格納する装置パラメータ格納部と、
前記寸法データを格納する寸法データ格納部と、
前記寸法データ格納部から寸法データを取り出して予測寸法データを算出し、前記予測寸法データに基づいて前記複数の装置パラメータの少なくとも一つを制御する装置パラメータ制御部と、
前記制御されている装置パラメータとその他の装置パラメータとの相関解析を行い、算出された相関係数を基準に異常装置パラメータを抽出し、前記異常装置パラメータが制御可能か判定し、制御可能であれば前記異常装置パラメータの補正情報を前記半導体製造装置に出力し、制御不能であれば異常要因情報を出力する異常要因抽出部と、
前記異常要因情報に基づき前記半導体製造装置の異常要因を表示する表示部と、
を備えることを特徴とする半導体製造装置管理システム。 - 半導体製造装置の複数の装置パラメータをモニタし、出力するセンサと、
前記半導体装置の寸法値を測定し、寸法データとして出力する測定部と、
前記装置パラメータを格納する装置パラメータ格納部と、
前記寸法データを格納する寸法データ格納部と、
前記寸法データ格納部から前記寸法データ及び過去に製造された半導体装置の寸法データを取り出し、最小二乗法によりこれらの寸法データの時系列的変化を示す近似式を求め、その近似式から次に製造される半導体装置の寸法データの予測値を算出し、前記予測値に基づいて前記複数の装置パラメータの少なくとも一つを制御する装置パラメータ制御部と、
前記制御されている装置パラメータの値を基準に、前記制御されている装置パラメータとその他の装置パラメータとの相関解析を行うかどうか判定し、行う場合は相関係数を算出し、算出された相関係数を基準に異常装置パラメータを抽出し、前記異常装置パラメータが制御可能か判定し、制御可能であれば前記異常装置パラメータの補正情報を前記半導体製造装置に出力し、制御不能であれば異常要因情報を出力する異常要因抽出部と、
前記異常要因情報に基づき前記半導体製造装置の異常要因を表示する表示部と、
を備えることを特徴とする半導体製造装置管理システム。 - センサ、測定部、装置パラメータ制御部及び異常要因抽出部を有する半導体製造装置管理システムを用いて半導体製造装置の異常要因を抽出する方法であって、
前記センサにより半導体製造装置の複数の装置パラメータをモニタし、
前記測定部により前記半導体製造装置により製造された複数の半導体装置のそれぞれの寸法値を測定し、
前記装置パラメータ制御部により前記寸法値から次に製造される半導体装置の寸法値を予測し、予測された寸法値に基づいて前記複数の装置パラメータの少なくとも一つを制御し、
前記異常要因抽出部により前記制御されている装置パラメータとその他の装置パラメータそれぞれとの相関解析を行い、算出された相関係数を基準に異常装置パラメータを抽出する
ことを含むことを特徴とする半導体製造装置の異常要因抽出方法。 - センサ、測定部、装置パラメータ制御部、異常要因抽出部及び表示部を有する半導体製造装置管理システムを用いて半導体製造装置の管理をする方法であって、
前記センサにより半導体製造装置の複数の装置パラメータをモニタし、
前記測定部により前記半導体製造装置により製造された複数の半導体装置のそれぞれの寸法値を測定し、
前記装置パラメータ制御部により前記寸法値から次に製造される半導体装置の寸法値を予測し、予測された寸法値に基づいて前記複数の装置パラメータの少なくとも一つである制御パラメータの制御を行うか判定し、制御する場合は、制御される装置パラメータの値を基準に、前記制御される装置パラメータとその他の装置パラメータそれぞれとの相関解析を行うか判定し、前記相関解析を行わない場合は前記制御を行い、
前記相関解析を行う場合は、前記異常要因抽出部により相関係数を算出し、この相関係数を基準に異常装置パラメータを抽出し、抽出された異常装置パラメータが制御可能か判定し、制御可能な場合は前記異常装置パラメータの補正情報の前記半導体製造装置への出力および前記表示部に異常装置パラメータの表示をし、制御不能な場合は前記表示部に前記異常装置パラメータ及びメンテナンス警告を表示する
ことを含むことを特徴とする半導体製造装置の管理方法。
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