JP2020191379A - 情報処理装置、プログラム、基板処理装置、物品の製造方法、及び物品の製造システム - Google Patents
情報処理装置、プログラム、基板処理装置、物品の製造方法、及び物品の製造システム Download PDFInfo
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Abstract
【課題】 作業者が基板処理装置に対する操作を行わない時間を利用して機械学習のための学習データを作成することができる情報処理装置を提供する。【解決手段】 表示部の表示を制御する情報処理装置であって、基板を処理する基板処理装置に対する操作に関する情報が入力される入力部と、前記入力部から前記情報が入力されるか否かを判定し、前記入力部から前記情報が入力されないと判定された場合に、機械学習に用いられる学習データを前記基板処理装置により取得されたデータから作成するための表示を前記表示部に表示させる処理部と、を有する。【選択図】 図10
Description
本発明は、情報処理装置、プログラム、基板処理装置、物品の製造方法、及び物品の製造システムに関する。
半導体デバイス、MEMS、またはフラットディスプレイパネルなどの物品の製造において、基板上に形成するパターンの微細化が進み、リソグラフィ装置等の基板処理装置に対して性能の向上への要求が高まっている。
基板処理装置の性能向上のために、基板処理装置により処理された結果を機械学習により予測して、基板処理装置の処理条件を改善する技術が提案されている(特許文献1)。
機械学習による予測のための方法として、学習データを作成して機械学習を行う教師あり学習がある。教師あり学習では、入力データと、入力データに対応した正解のデータである教師データとを含む学習データの作成が必要である。高い予測精度を達成するためには、大量の学習データが必要となり、多くの労力や時間を要するという問題がある。
そこで、本発明は、基板処理装置に対する操作が行われない時間を利用して機械学習のための学習データを作成することができる情報処理装置、プログラム、基板処理装置、物品の製造方法、及び物品の製造システムを提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の一側面としての情報処理装置は、表示部の表示を制御する情報処理装置であって、基板を処理する基板処理装置に対する操作に関する情報が入力される入力部と、前記入力部から前記情報が入力されるか否かを判定し、前記入力部から前記情報が入力されないと判定された場合に、機械学習に用いられる学習データを前記基板処理装置により取得されたデータから作成するための表示を前記表示部に表示させる処理部と、を有する。
本発明によれば、基板処理装置に対する操作が行われない時間を利用して機械学習のための学習データを作成することができる情報処理装置、プログラム、基板処理装置、物品の製造方法、及び物品の製造システムを提供することができる。
以下に、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。各図において、同一の部材については、同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
<第1実施形態>
図1は、基板処理システムの構成を示すブロック図である。基板処理システム1(物品の製造システム)は、それぞれが基板を処理する複数の基板処理装置10と、複数の基板処理装置10の動作を制御するホストコンピュータ11とを含みうる。複数の基板処理装置10の各々は、例えば、リソグラフィ装置(露光装置、インプリント装置、荷電粒子線描画装置等)、成膜装置(CVD装置等)、加工装置(レーザー加工装置等)、検査装置(オーバーレイ検査装置等)のいずれかでありうる。また、複数の基板処理装置には、リソグラフィ処理の前処理として基板にレジスト材(密着材)の塗布処理を行うとともに、リソグラフィ処理の後処理として現像処理を行う塗布現像装置(コーター/ディベロッパー)も含まれうる。ここで、露光装置は、原版(レチクル、マスク)を介して基板の上に供給されたフォトレジストを露光することによって該フォトレジストに原版のパターンに対応する潜像を形成する。また、インプリント装置は、基板の上に供給されたインプリント材に型(原版)を接触させた状態でインプリント材を硬化させることによって基板の上にパターンを形成する。また、荷電粒子線描画装置は、基板の上に供給されたフォトレジストに荷電粒子線によってパターンを描画することによって該フォトレジストに潜像を形成する。
図1は、基板処理システムの構成を示すブロック図である。基板処理システム1(物品の製造システム)は、それぞれが基板を処理する複数の基板処理装置10と、複数の基板処理装置10の動作を制御するホストコンピュータ11とを含みうる。複数の基板処理装置10の各々は、例えば、リソグラフィ装置(露光装置、インプリント装置、荷電粒子線描画装置等)、成膜装置(CVD装置等)、加工装置(レーザー加工装置等)、検査装置(オーバーレイ検査装置等)のいずれかでありうる。また、複数の基板処理装置には、リソグラフィ処理の前処理として基板にレジスト材(密着材)の塗布処理を行うとともに、リソグラフィ処理の後処理として現像処理を行う塗布現像装置(コーター/ディベロッパー)も含まれうる。ここで、露光装置は、原版(レチクル、マスク)を介して基板の上に供給されたフォトレジストを露光することによって該フォトレジストに原版のパターンに対応する潜像を形成する。また、インプリント装置は、基板の上に供給されたインプリント材に型(原版)を接触させた状態でインプリント材を硬化させることによって基板の上にパターンを形成する。また、荷電粒子線描画装置は、基板の上に供給されたフォトレジストに荷電粒子線によってパターンを描画することによって該フォトレジストに潜像を形成する。
図2は、管理装置12の構成を示すブロック図である。管理装置12は、個々の基板処理装置10と通信可能に接続されたコンピュータによって実現されうる。図2において、CPU201(処理部)は、OS(Operating System)及び各種アプリケーションプログラムを実行する中央演算処理装置(CPU)ある。また、CPU201は中央演算処理装置(CPU)に限られず、マイクロプロセッシングユニット(MPU)、グラフィクスプロセッシングユニット(GPU)、特定用途向け集積回路(ASIC)等のプロセッサ又は回路であってもよい。また、CPU201は、これらのプロセッサ又は回路のいずれかの組合せであってもよい。ROM202は、CPU201が実行するプログラムや演算用のパラメータのうちの固定的なデータを格納するメモリである。RAM203は、CPU201の作業領域やデータの一時記憶領域を提供するメモリである。ROM202及びRAM203は、バス208を介してCPU201に接続される。205はマウス、キーボードなどを含む入力装置(入力部)、206はCRTや液晶ディスプレイなどの表示装置(表示部)である。また、入力装置205及び表示装置206は、タッチパネル等の一体型の装置であってもよい。また、入力装置205及び表示装置206は、コンピュータとは別体の装置として構成されてもよい。204は、ハードディスク装置、CD、DVD、メモリカード等の記憶装置であり、各種プログラムや各種データ等を記憶する。入力装置205、表示装置206、及び記憶装置204はそれぞれ、不図示のインタフェースを介してバス208に接続されている。また、ネットワークに接続して通信を行うための通信装置207も、バス208に接続されている。通信装置207は、例えばLANに接続してTCP/IP等の通信プロトコルによるデータ通信を行い、他の通信装置と相互に通信を行う場合に使用される。通信装置207は、データの送信部および受信部として機能し、例えば、基板処理装置10内の送信部(不図示)から動作情報などのデータを受信して、記憶装置204に記録する。
以上、図2を参照して管理装置12の概略構成を説明したが、ホストコンピュータ11や基板処理装置10も、これと同様のコンピュータを備えうる。
基板処理システム1における複数の基板処理装置10のそれぞれは、保守を管理する管理装置12と接続されている。なお、図1に示されるように、物品製造システムは、基板処理システム1を複数含みうる。したがって、管理装置12は、複数の基板処理システム1における個々の基板処理装置10を管理することができる。管理装置12は、複数の基板処理装置10それぞれの動作情報を収集、解析し、各基板処理装置10について、異常またはその予兆を検知し、保全処理(メンテナンス処理)の要否を判定する保全判定装置として機能しうる。なお、図1において、複数の基板処理装置10とホストコンピュータ11との接続、複数の基板処理装置10と管理装置12との接続は、有線接続、無線接続を問わない。
以下では、具体例を提供するために、基板処理装置10が露光装置10として構成される例を説明する。図3は、本発明の一側面としての露光装置10の構成を示す概略図である。露光装置10は、物品としての半導体素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッドなどのデバイスの製造に用いられ、パターン形成を基板に行う基板処理装置である。露光装置10は、ステップ・アンド・スキャン方式、或いは、ステップ・アンド・リピート方式で基板を露光する。
露光装置10は、制御部100と、光源制御部110と、アライメント光源120と、画像処理部130と、ステージ制御部140と、干渉計150とを有する。また、露光装置10は、レチクルアライメント光学系160と、レチクルステージ171と、投影光学系180と、基板アライメント光学系190と、基板ステージ200とを有する。
レチクルステージ171は、照明光学系(不図示)によって照明されるレチクル170を保持して移動する。レチクル170には、基板210に転写すべきパターンが描画されている。投影光学系180は、レチクル170のパターンを基板210に投影する。基板ステージ200は、基板を保持して可動の保持部であって、本実施形態では、基板210を保持して移動する。
レチクルアライメント光学系160は、レチクル170のアライメントに用いられる。レチクルアライメント光学系160は、例えば、蓄積型光電変換素子で構成される撮像素子161と、レチクル170に設けられたアライメントマーク(不図示)からの光を撮像素子161に導く光学系162と、を含む。基板アライメント光学系190は、基板210のアライメントに用いられる。基板アライメント光学系190は、基板210に設けられたアライメントマーク(以下、単にマークとする。)211を撮像する撮像部として機能する。本実施形態では、基板アライメント光学系190は、オフアクシス光学系として構成されている。オフアクシス光学系は、投影光学系180を介さずに投影光学系180の光軸から所定の距離だけ離れた位置に光軸を有する専用光学系であって、専用光源から白色光を照射して基板210に設けられたマーク211を検出する。また、オフアクシス光学系の代わりに、TTL(スルー・ザ・レンズ)光学系、TTR(スルー・ザ・レチクル)光学系を構成しても良い。TTL光学系は、投影光学系180を介して、基板210に設けられたマーク211を検出する。TTR光学系は、レチクルに設けられたマーク(不図示)と、基板210に設けられたマーク211とを、投影光学系180を介して同時に検出する。
制御部100は、管理装置12と同様に図2に示されたコンピュータによって実現され得る。制御部100は、露光装置10の各部を制御して露光装置10の全体の動作を制御する。制御部100は、基板210を露光する露光処理及びそれに関連する処理を行う。制御部100は、例えば、レチクル170に形成されたマークの位置や基板210に形成されたマーク211の位置に基づいて、基板ステージ200を制御する。換言すれば、制御部100は、レチクル170と基板210との位置合せ、例えば、グローバルアライメントを行う。
アライメント光源120は、ハロゲンランプなどを含み、基板210に形成されたマーク211を照明する。光源制御部110は、アライメント光源120からの光、即ち、マーク211を照明するための光の照明強度を制御する。
画像処理部130は、レチクルアライメント光学系160における撮像素子161や基板アライメント光学系190における撮像素子191からの画像信号(検出信号)を画像処理してマークの位置を得る。制御部100は、得られたマークの位置に基づいて基板210の位置合せを制御する。なお、画像処理部130の機能は制御部100に含まれていてもよい。このように本実施形態では、画像処理部130および制御部100は、撮像により得られたマークの画像(アライメント画像)を処理してマークの位置を得て、得られたマークの位置に基づいて基板の位置合せを行う処理部として機能する。
干渉計150は、基板ステージ200に設けられたミラーに光を照射し、ミラーで反射された光を検出することで、基板ステージ200の位置を計測する。ステージ制御部140は、干渉計150によって計測された基板ステージ200の位置に基づいて、基板ステージ200を任意の位置に移動させる。
露光装置10において、照明光学系からの光(露光光)は、レチクルステージ171に保持されたレチクル170を通過して投影光学系180に入射する。レチクル170と基板210とは、光学的に共役な位置関係になっているため、レチクル170のパターンは、投影光学系180を介して、基板ステージ200に保持された基板210に転写される。
次に、基板アライメント光学系190について説明する。図4は、基板アライメント光学系190の構成を示す概略図である。基板アライメント光学系190は、基板210に形成されたマーク211を検出(撮像)して画像信号を生成する。基板アライメント光学系190は、撮像素子191A、191B、結像光学系192A、192B、ハーフミラー193、照明光学系194、偏光ビームスプリッタ195、リレーレンズ196、λ/4板197、対物レンズ198を含む。
アライメント光源120からの光は、光ファイバ(不図示)などを介して、基板アライメント光学系190に導かれる。基板アライメント光学系190に導かれた光は、照明光学系194を介して、偏光ビームスプリッタ195に入射する。偏光ビームスプリッタ195で反射された光は、リレーレンズ196、λ/4板197及び対物レンズ198を通過して、基板210に形成されたマーク211を照明する。
マーク211で反射された光は、対物レンズ198、λ/4板197、リレーレンズ196及び偏光ビームスプリッタ195を通過して、ハーフミラー193に入射する。ハーフミラー193において適当な比率に分割された光のそれぞれは、結像倍率が互いに異なる結像光学系192A又は192Bに導かれる。
結像光学系192A及び192Bのそれぞれは、マーク211の像を撮像素子191A及び191Bの撮像面に形成する。撮像素子191A及び191Bは、マーク211を含む領域を撮像する撮像面を含み、かかる撮像面で撮像された領域に対応する画像信号を生成する。撮像素子191A及び191Bで生成された画像信号は、画像処理部130に転送される。画像処理部130は、画像信号に対して、本実施形態では、画像処理としてのパターンマッチング処理を行うことで、撮像素子191A及び191Bの撮像面におけるマーク211の位置を得る。但し、画像処理は、パターンマッチング処理に限定されるものではなく、マーク211の位置を得ることが可能な処理であればよい。従って、画像処理は、例えば、エッジ検出処理であってもよい。
露光装置10においては、基板210に配置された複数のマーク211(例えば、4つのマーク211)を用いて、プリアライメント及びファインアライメントの2種類のアライメントが行われる。プリアライメントは、基板搬送系(不図示)によって基板ステージ200に受け渡された基板210の位置ずれ量を検出し、ファインアライメントが開始できるように、基板210を粗く位置合せ(位置決め)することである。また、ファインアライメントは、基板ステージ200に保持された基板210の位置を高精度に計測し、基板210の位置合せ誤差が許容範囲内になるように、基板210を精密に位置合せ(位置決め)することである。
プリアライメントでは、基板搬送系から基板ステージ200に受け渡された基板210の位置ずれ量を検出しなければならない。従って、マーク211を検出する基板アライメント光学系190は、マークサイズに対して広範な検出範囲(視野)を有している。このような広範な検出範囲からマーク211の位置(XY座標)を求めるには、パターンマッチング(テンプレートマッチング)処理が多く用いられている。
パターンマッチング処理は、一般的に、以下の2種類に大別される。1つは、画像(濃淡画像)を2値化して予め用意したテンプレートとのマッチングを行い、最も相関がある位置をマーク211の位置とする方法である。もう1つは、濃淡画像のまま、濃淡情報を含むテンプレートとの相関演算を行うことでマーク211の位置を求める方法である。
また、アライメント方式としては、移動計測方式と、画像処理方式とがある。移動計測方式では、基板210に設けられたマーク211に光(レーザ)を照射し、基板ステージ200を移動させながら、マーク211で反射された光の強度の変化と基板ステージ200の位置とを並行して計測することでマーク211の位置を求めている。画像処理方式では、基板ステージ200を静止させた状態で基板210に設けられたマーク211に白色光を照射し、マーク211で反射された光を蓄積型光電変換素子で検出して画像処理を行うことでマーク211の位置を求めている。
ここで、マーク211の計測は、何らかの要因で失敗することがある。例えば、基板210の処理工程の影響により、マーク211が鮮明ではなく失敗する場合や、基板アライメント光学系190の収差の影響によりマーク211が鮮明に見えない場合などがありうる。また、マーク211の位置が、撮像素子191A及び191Bの撮像面の視野からずれていることも考えられる。図5は、基板上のマーク211を撮像したアライメント画像を示す図である。図5において、211は基板上のマーク、212は撮像素子191A、又は191Bの撮像面の視野を示している。鮮明なアライメント画像では画像処理によるマーク211の位置を正しく計測できるが、画像のコントラストが低かったり、収差の影響により画像に歪みがあったりする場合には、マーク211の位置を正しく計測できないことがある。また、撮像面の視野212からのずれの要因としては、プリアライメントの誤計測、計測前の搬送処理における位置ずれ等の、装置に起因するものが考えられる。また、撮像面の視野からのずれの要因としては、マーク211の転写位置が変動している等の、基板210の処理工程に起因するものも考えられる。
マーク211の計測が失敗すれば位置合せを正常に行うことができない。位置合せが正常に行えない場合、位置合せを正常に行うための保全処理(メンテナンス処理)が実行される。保全処理は、例えば、複数のマークのうちの使用するマークの変更、マークの像の検索範囲の拡大、撮像条件の変更等を含みうる。従来、複数の保全処理を全て実施することであらゆる要因に対応していた。しかし、複数の保全処理を全て実施する場合には処理時間がかかってしまい、生産性が低下してしまう。
そこで、位置合せが正常に行われなかった場合のアライメント画像を、機械学習により作成した学習モデルを用いて、マーク211の計測が失敗した要因を取得して、露光装置10の適切な保全処理を決定することが行われうる。図6は、保全処理を決定するための構成を示すブロック図である。露光装置10は、基板210のアライメントを行うアライメント処理600を行い、アライメントが成功した場合、露光処理610を行う。一方、アライメントが失敗した場合、露光装置10は、アライメント処理600で得られたアライメント画像を含むアライメントデータ601を分類手段620に送信する。ここで、分類手段620は、露光装置10の制御部100、管理装置12、及びホストコンピュータ11の少なくとも1つにおいて実行されるプログラムによって実現される。
次に、分類手段620は、受信したアライメントデータ601に基づいて、アライメント処理600が失敗した要因を示す要因データ621を取得する。ここで、要因データ621は、予め分類された複数の要因から選択される。アライメント処理600が失敗した要因には、例えば、基板搬送系(不図示)によって基板210が基板ステージ200に受け渡された際の位置ずれがある。また、アライメント処理600が失敗した要因には、例えば、アライメント光源120の光量の設定ミスがある。また、アライメント処理600が失敗した要因には、例えば、アライメント処理600を実行する際の基板ステージ200の振動がある。また、アライメント処理600が失敗した要因には、例えば、アライメント光源120の劣化がある。
次に、分類手段620は、取得した要因データ621を決定手段630に送信する。ここで、決定手段630は、露光装置10の制御部100、管理装置12、及びホストコンピュータ11の少なくとも1つにおいて実行されるプログラムによって実現される。決定手段630は、受信した要因データ621に基づいて、露光装置10を保全するための保全処理を決定する。図7は、アライメント処理600が失敗した要因に対応する保全処理を示す図である。例えば、要因がなしの場合はアライメント処理600が成功したことを表しており露光装置の保全処理もなしとなる。また、例えば、基板210が基板ステージ200に受け渡された時の位置ずれという要因に対しては、基板210が受け渡される基板ステージ200の位置の調整という保全処理が対応する。また、例えば、アライメント光源120の光量設定の不備という要因に対しては、アライメント光源120の光量設定の調整という保全処理が対応する。また、例えば、基板ステージ200の振動という要因に対しては、基板ステージ200の制御パラメータの調整という保全処理が対応する。また、例えば、アライメント光源120の劣化という要因に対しては、アライメント光源120の交換という保全処理が対応する。
ここで、分類手段620は、分類ラベルを入力した複数のアライメントデータ601を学習データ602として用いた機械学習により得られた学習モデルを含む。ここで、機械学習は、例えばニューラルネットワークを用いて行うことができる。ニューラルネットワークとは、入力層、中間層、出力層といった多層のネットワーク構造を有するモデルである。入力データと学習データとの関係を示す学習データを用いて、誤差逆伝搬法等のアルゴリズムでネットワーク内部の確率変数が最適化されることにより、学習モデルを取得することができる。ここで、ニューラルネットワークを用いて学習モデルを取得する例を説明したが、ニューラルネットワークに限られない。例えば、サポートベクターマシン、決定木など他のモデル、アルゴリズムを用いてもよい。そして、分類手段620は、アライメントデータ601を取得した学習モデルに入力することにより、出力データとしてアライメントデータ601に対応した要因データ621が出力される。また、分類手段620は、複数の学習モデルを含む構成でも良い。例えば、アライメント処理600だけでなく、露光処理610についての失敗の要因から保全処理を決定する場合は、分類手段620は、露光処理610についての失敗の要因を出力するための学習モデルを含む構成でも良い。また、分類手段620は、機械学習による学習モデルではなく、アライメントデータ601と要因データ621の関係を示すテーブルや数式等を用いて要因データ621を取得するモデルを含む構成でも良い。
ここで、学習モデルを得るために必要な学習データ602を作成するためには、作業者が複数のアライメントデータ601を確認して分類ラベルを入力していく必要がある。また、学習モデルから出力される要因データ621の正解率を高めるためには、大量のアライメントデータ601に対して学習データを作成する必要があり、作業者の労力や時間を必要とする。
図8は、学習データの作成を行うための構成を示すブロック図である。制御部100は、表示装置206を用いて露光装置10を操作するために必要な情報や露光装置10の動作に関する情報等を表示させる。ここで、図9は、表示装置206に表示される画面900を示す図である。また、制御部100は、入力装置205を用いて、作業者に露光装置10を操作するために必要な情報や表示装置206に画面を表示させるために必要な情報等を入力させる。さらに、制御部100は、表示装置206を用いて分類ラベル入力をするために必要な情報を表示させて、作業者に入力装置205を介して分類ラベルの情報を入力させる。
CPU201において、表示装置206に情報を表示させる表示手段800、入力装置205に情報を入力させる入力手段810、表示装置206における表示、及び入力装置205における入力の有効化の可否を判定する判定手段820が実行される。
また、記憶装置204は、分類ラベル入力がされていない未作成データ801と分類ラベル入力がされた作成済データ802を記憶する。未作成データ801は、アライメント処理600において取得されたアライメントデータ601であり、学習データ602を作成する対象のデータである。なお、未作成データ801には、アライメント処理が成功した場合のアライメントデータ601のみならず、アライメント処理が失敗した場合のアライメントデータ601が含まれうる。また、作成済データ802は、未作成データ801について、図7に示されたようなアライメント処理が失敗した要因のいずれかを示すラベル入力が行われたデータであり、図6における分類手段620に入力される学習データ602となる。
ここで、表示装置206、入力装置205、及び記憶装置204は、露光装置10の制御部100に設けられるだけでなく、例えば、ホストコンピュータ11、管理装置12などの外部の情報処理装置に設けられてもよい。また、表示手段800、入力手段810、判定手段820、分類手段620のうち少なくとも1つは、管理装置12、及びホストコンピュータ11などの外部の情報処理装置において実行されるプログラムであってもよい。
表示手段800は、表示装置206に学習データを作成するために必要な情報を表示させる。図10は、本実施例に係る学習データの作成画面を示す図である。画面910には、未作成データ801に含まれるデータに関連する情報が表示される。図10の例では、画面910には、基板アライメント光学系190により撮像されたマーク211の画像911、マーク211を撮像した時の基板ステージ200の位置、速度の関連情報912が表示される。また、関連情報912は、基板ステージ200の位置、速度に限られず、作業者が学習データを作成する作業を進める上で有用である情報を含みうる。また、関連情報912は、例えば、基板210が基板ステージ200に受け渡された時の基板搬送系の情報、アライメント光源の光量設定の情報、アライメント光源の使用期間などの情報を含みうる。また、関連情報912は、例えば、装置の機種、号機、ハードウェア構成、ソフトウェア構成、装置の設置ライン、処理対象の基板、処理対象の基板が含まれるロット、処理に用いられた原版、処理レシピ、環境条件、処理日時などの情報を含みうる。
また、画面910には、分類ラベルの選択肢と、選択肢が選択されたか否かを示す選択状態とを示す分類情報913が表示される。分類情報913の選択状態は入力装置205を用いて選択、非選択を入力することが可能である。ある分類ラベルの選択肢が選択された状態で確定ボタン914が押下された場合、表示された未作成データ801について選択された分類ラベルの情報が入力される。また、中止ボタン915が押下された場合、学習データの作成が中止される。
入力手段810は、入力装置205から入力された分類ラベルの情報を取得する。そして、入力手段810は、記憶装置204に記憶されている未作成データ801に分類ラベルの情報を関連付けて、作成済データ802として記憶装置204に記憶させる。
判定手段820は、所定の条件に基づいて、学習データの作成の開始、終了を判定する。つまり、判定手段820は、表示手段800に表示装置206におけるラベル入力を行うための情報の表示をさせ、入力手段810に分類ラベルの情報を入力させる処理を開始するかを判定する。また、判定手段820は、表示手段800による表示装置206におけるラベル入力を行うための情報の表示、入力手段810による分類ラベルの情報の入力の処理を終了させるかを判定する。
分類手段620は、作成済データ802が所定の件数に達した場合に、作成済データ802を学習データ602として追加的に学習を行い、記憶装置204から作成済データ802を消去、または学習済みのラベル入力を行うようにしてもよい。また、記憶装置204には、未作成データ801、作成済データ802の件数が記憶され、入力手段810、分類手段620によってそれらのデータの件数が更新されるようにしてもよい。また、記憶装置204には、作成済データ802のうち学習済のデータ、作成済データ802のうち未学習のデータの件数が記憶され、入力手段810、分類手段620によってそれらのデータの件数が更新されるようにしてもよい。また、表示手段800は、それらのデータの件数を表示装置206に表示させてもよい。
次に、学習データを作成する処理について説明する。図11は、学習データを作成する処理を示すフローチャートである。S110において、判定手段820は、学習データの作成を開始する条件に基づいて、学習データの作成を開始するかを判定する。判定手段820が学習データの作成を開始しないと判定した場合には所定の期間が経過した後にS110に戻り、再度、学習データの作成を開始するかを判定する。一方、判定手段820が学習データの作成を開始すると判定した場合には、S111に進み学習データの作成を開始する。このとき、判定手段820は、作業者が入力装置205から露光装置10に対する操作に関する情報を入力するかを判定して、作業者が操作に関する情報を入力する可能性がないと判定される場合には学習データの作成を開始する。なお、学習データの作成を開始する条件については後述する。
S111において、表示手段800は、未作成データ801を表示装置206に表示させる。S112において、入力手段810は、入力装置205により入力された分類ラベルの情報を取得する。S113において、入力手段810は、入力された分類ラベルを記憶装置204に記憶させるとともに、未作成データ801から分類ラベルが入力されたデータを削除して、作成済データ802に追加する。また、入力手段810は、未作成データ801、作成済データ802のそれぞれの件数を更新してもよい。S114において、判定手段820は、学習データの作成を終了する条件に基づいて、学習データの作成を終了するかを判定する。
S114において、判定手段820は、学習データの作成を終了する条件に基づいて、学習データの作成を終了するかを判定する。判定手段820が学習データの作成を終了しないと判定した場合にはS111に戻り、次の未作成データ801が表示装置206に表示される。一方、判定手段820が学習データの作成を終了しないと判定した場合には、画面910の表示を終了して、学習データを作成する処理を終了する。このとき、判定手段820は、作業者が入力装置205から露光装置10に対する操作に関する情報を入力するかを判定して、作業者が操作に関する情報を入力する可能性があると判定される場合には学習データの作成を終了する。なお、学習データの作成を終了する条件については後述する。
また、表示手段800は、画面910に複数の未作成データ801、複数の関連情報912、及び複数の分類情報913を表示させて、複数の未作成データ801について分類ラベルを入力させるようにしてもよい。
ここで、学習データの作成を開始する条件について説明する。学習データの作成を開始する条件として、入力装置205を介して予め定めた期間以上、露光装置10に対する操作の情報が入力さていないことを含むことができる。入力装置205を介して露光装置10に対する操作の情報が入力されていない場合、作業者が露光装置10を操作する必要がない可能性が高いため、作業者が学習データの作成をする時間があると判定することができる。
また、学習データの作成を開始する条件として、入力装置205を介して露光装置10に対する操作の情報が入力されることが制限されていることを含むことができる。例えば、ホストコンピュータ11により露光装置10が遠隔で制御されている場合は、ホストコンピュータ11からの制御に影響があることから、作業者が入力装置205を介して露光装置10に対する操作の情報が入力されることが制限される。
また、学習データの作成を開始する条件として、露光装置10の何らかの処理を行っている状態であるため入力装置205を介しての露光装置10に対する操作が制限されていることを含むことができる。例えば、露光装置10において基板が露光(処理)されている状態では、作業者が入力装置205を介して露光装置10に対する操作の情報が入力されることが制限される。
また、学習データの作成を開始する条件として、制御部100の負荷が予め定めた閾値より高い状態であることを含むことができる。ここで、制御部100の負荷は、CPU201の使用率、RAM203の空き容量、記憶装置204の空き容量、CPU201で実行されているプロセスの数のうち少なくとも1つが含まれる。制御部100の負荷が予め定めた閾値より高い場合、作業者が入力装置205を介して露光装置10を操作することにより制御部100の負荷がさらに高くなる可能性があるので、作業者が入力装置205を介して操作することが制限される。このような場合には、入力装置205を介して露光装置10に対する操作の情報が入力されることが制限されるので、作業者が学習データの作成をする時間があると判定することができる。
次に、学習データの作成を終了する条件について説明する。学習データの作成を終了する条件として、入力装置205を介して露光装置10に対する操作の情報が入力されたことを含むことができる。また、学習データの作成を終了する条件として、入力装置205を介して露光装置10に対する操作の情報が入力されることの制限が解除されたことを含むことができる。また、学習データの作成を終了する条件として、ホストコンピュータ11による露光装置10の遠隔での制御が終了したことを含むことができる。また、学習データの作成を終了する条件として、露光装置10において基板の露光(処理)が終了したことを含むことができる。また、学習データの作成を終了する条件として、制御部100の負荷が予め定めた閾値より低くなったことを含むことができる。また、学習データの作成を終了する条件として、画面910において中止ボタン915が押下されたことを含むことができる。また、学習データの作成を終了する条件として、学習データの作成より優先度の高い表示を表示装置206に表示させる必要が発生したことを含めることができる。学習データの作成より優先度の高い表示として、例えば、露光装置10でエラーが発生したことを知らせる表示、露光装置10で処理の状況を知らせる表示などがある。このような場合において、作業者の学習データの作成を終了することで、露光装置10の操作に支障がない範囲で学習データの作成を行うことができる。
また、図11におけるS114において、判定手段820は、表示手段800に学習データの作成を終了するかを判定させる画面を表示させて、作業者により入力された判定結果に基づいて、学習データの作成を終了するかを判定してもよい。
また、図11におけるS111において、表示手段800は、未作成データ801を表示装置206に表示させるかを作業者に判定させてもよい。図12は、学習データの作成画面を表示させるボタンを示す図である。ボタン901は、未作成データ801を分類するための画面を表示装置206に表示させるかを作業者に判定させるためのボタンである。S111において、表示手段800は、ボタン901を画面900に表示させる。そして、作業者によりボタンが押下された場合に、未作成データ801を分類するための画面を表示装置206に表示させる。また、表示手段800は、ボタン901と共に未作成データ801の件数を示すメッセージ902を表示させてもよい。メッセージ902が表示されることにより、作業者は未作成データ801の件数に基づき、学習データの作成を開始するかを判定することができる。
ここで、表示装置206、入力装置205、及び記憶装置204は、露光装置10の制御部100に設けられるだけでなく、例えば、ホストコンピュータ11、管理装置12などの外部の情報処理装置に設けられてもよい。また、表示手段800、入力手段810、判定手段820、分類手段620は、露光装置の制御部100、管理装置12、及びホストコンピュータ11のうちの少なくとも1つにおいて実行されるプログラムによって実現可能である。
また、学習データ602を作成する対象のデータとしてアライメントデータ601を例にして説明したが、アライメントデータ601に限られない。露光装置10による露光処理に関するデータであって、学習データ602となり得るデータであればよい。
以上、本実施形態によれば、基板処理装置に対する操作が行われない時間を利用して機械学習のための学習データを作成することができる。
<第2実施形態>
次に、第2実施形態に係る学習データを作成する処理について説明する。なお、ここで言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。第1実施形態では、画面910において分類ラベルを入力する例について説明したが、本実施形態では、分類ラベルの入力だけでなく、マーク211の位置を入力する例について説明する。マーク211の位置を入力させることにより、マーク211の位置を推定する回帰を行う学習モデルの機械学習のための学習データを作成することができる。
次に、第2実施形態に係る学習データを作成する処理について説明する。なお、ここで言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。第1実施形態では、画面910において分類ラベルを入力する例について説明したが、本実施形態では、分類ラベルの入力だけでなく、マーク211の位置を入力する例について説明する。マーク211の位置を入力させることにより、マーク211の位置を推定する回帰を行う学習モデルの機械学習のための学習データを作成することができる。
図13は、本実施形態に係る分類ラベルの入力画面を示す図である。画面920には、マーク211の画像911上でマーク211の位置を示すカーソル921が表示される。また、分類情報922には、分類ラベルの選択肢として画像911上にマーク211があるか否かを示す選択肢が表示される。作業者は、入力装置205を介して、画像911上でカーソル921をマーク211に合わせて、マーク211の位置を入力することができる。そして、入力手段810は、入力装置205から入力された分類ラベルとマーク211の位置の情報を取得する。そして、入力手段810は、記憶装置204に記憶されている未作成データ801に分類ラベルとマーク211の位置の情報を関連付けて、作成済データ802として記憶装置204に記憶させる。
図14は、本実施形態に係る学習データを作成する処理を示すフローチャートである。図11と異なるステップはS115、S116であるので、ここではS115、S116について説明する。S115において、入力手段810は、入力装置205により入力された分類ラベルとマーク211の位置の情報を取得する。S116において、入力手段810は、入力された分類ラベルとマーク211の位置を記憶装置204に記憶させるとともに、未作成データ801から分類ラベルが入力されたデータを削除して、作成済データ802に追加する。
以上、本実施形態によれば、基板処理装置に対する操作が行われない時間を利用して機械学習のための学習データを作成することができる。また、分類を行う学習モデルだけでなく回帰を行う学習モデルのための学習データの作成を行うことができる。
(物品の製造方法)
本実施例における物品の製造方法は、例えば、デバイス(半導体素子、磁気記憶媒体、液晶表示素子など)などの物品を製造するのに好適である。かかる製造方法は、露光装置10を用いて、感光剤が塗布された基板を露光する(パターンを基板に形成する)工程と、露光された基板を現像する(基板を処理する)工程を含む。また、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性および生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本実施例における物品の製造方法は、例えば、デバイス(半導体素子、磁気記憶媒体、液晶表示素子など)などの物品を製造するのに好適である。かかる製造方法は、露光装置10を用いて、感光剤が塗布された基板を露光する(パターンを基板に形成する)工程と、露光された基板を現像する(基板を処理する)工程を含む。また、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性および生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。基板処理装置の一例として、露光装置について説明したが、これらに限定されるものではない。基板処理装置の一例として、型を用いて基板にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であってもよい。また、基板処理装置の一例として、荷電粒子光学系を介して荷電粒子線(電子線やイオンビームなど)で基板に描画を行って、基板にパターンを形成する描画装置であってもよい。また、基板処理装置は、感光媒体を基板の表面上に塗布する塗布装置、パターンが形成された基板を現像する現像装置等、デバイス等の物品の製造において前述のようなインプリント装置等の装置が実施する工程以外の工程を実施する製造装置も含みうる。
また、第1実施形態及び第2実施形態は、単独で実施するだけでなく、第1実施形態及び第2実施形態の組合せで実施することができる。
Claims (18)
- 表示部の表示を制御する情報処理装置であって、
基板を処理する基板処理装置に対する操作に関する情報が入力される入力部と、
前記入力部から前記情報が入力されるか否かを判定し、前記入力部から前記情報が入力されないと判定した場合に、機械学習に用いられる学習データを前記基板処理装置により取得されたデータから作成するための表示を前記表示部に表示させる処理部と、を有する
ことを特徴とする情報処理装置。 - 前記処理部は、予め定めた期間以上、前記入力部から前記情報が入力されない場合に前記表示を前記表示部に表示させることを特徴とする、請求項1に記載の情報処理装置。
- 前記処理部は、前記入力部から前記情報が入力されることが制限されている場合に前記表示を前記表示部に表示させることを特徴とする、請求項1に記載の情報処理装置。
- 前記処理部は、前記基板処理装置が遠隔で制御されている場合に前記表示を前記表示部に表示させることを特徴とする、請求項1に記載の情報処理装置。
- 前記処理部は、前記基板処理装置の制御部の負荷が予め定めた閾値より高い状態である場合に前記表示を前記表示部に表示させることを特徴とする、請求項1に記載の情報処理装置。
- 前記処理部は、前記基板処理装置において基板が処理されている状態である場合に前記表示を前記表示部に表示させることを特徴とする、請求項1に記載の情報処理装置。
- 前記処理部は、前記表示部に前記表示をさせた状態で前記処理部により前記入力部から前記情報が入力されると判定した場合に、前記表示部に前記表示を終了させることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記処理部は、前記入力部から前記情報が入力された場合に前記表示部に前記表示を終了させることを特徴とする、請求項7に記載の情報処理装置。
- 前記処理部は、前記入力部から前記情報が入力されることの制限が解除された場合に前記表示部に前記表示を終了させることを特徴とする、請求項7に記載の情報処理装置。
- 前記処理部は、前記基板処理装置の遠隔での制御が終了した場合に前記表示部に前記表示を終了させることを特徴とする、請求項7に記載の情報処理装置。
- 前記処理部は、前記基板処理装置の制御部の負荷が予め定めた閾値より低い状態になった場合に前記表示部に前記表示を終了させることを特徴とする、請求項7に記載の情報処理装置。
- 前記処理部は、前記基板処理装置において基板の処理が終了した場合に前記表示部に前記表示を終了させることを特徴とする、請求項7に記載の情報処理装置。
- 前記学習データは、前記基板処理装置の保全処理を決定するための学習モデルの機械学習に用いられることを特徴とする、請求項1乃至12のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記保全処理は、前記基板処理装置における前記基板のアライメントに関する保全処理を含むことを特徴とする、請求項13に記載の情報処理装置。
- コンピュータを用いて表示部の表示を制御させるプログラムであって、
基板を処理する基板処理装置に対する操作に関する情報が入力される入力部から前記情報が入力されるか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程において前記入力部から前記情報が入力されないと判定された場合に、機械学習に用いられる学習データを前記基板処理装置により取得されたデータから作成するための表示を前記表示部に表示させる表示工程と、をコンピュータに実行させる
ことを特徴とするプログラム。 - 基板を処理する基板処理装置であって、請求項1乃至14のいずれか1項に記載の情報処理装置を有することを特徴とする基板処理装置。
- 請求項16に記載の基板処理装置を用いて、基板を処理する工程と、を有し、
処理された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。 - 請求項1乃至14のいずれか1項に記載の情報処理装置と、
基板を処理する基板処理装置と、を有し、
前記基板処理装置により処理された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019095941A JP2020191379A (ja) | 2019-05-22 | 2019-05-22 | 情報処理装置、プログラム、基板処理装置、物品の製造方法、及び物品の製造システム |
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JP2020191379A true JP2020191379A (ja) | 2020-11-26 |
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Family Applications (1)
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JP2019095941A Pending JP2020191379A (ja) | 2019-05-22 | 2019-05-22 | 情報処理装置、プログラム、基板処理装置、物品の製造方法、及び物品の製造システム |
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JP (1) | JP2020191379A (ja) |
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2019
- 2019-05-22 JP JP2019095941A patent/JP2020191379A/ja active Pending
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