JP2003077822A

JP2003077822A - 基板処理装置管理システム、基板処理装置、基板処理装置管理方法、プログラム、および、記録媒体

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Publication number: JP2003077822A
Application number: JP2001270584A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Hamada; 哲也濱田; Kenji Kamei; 謙治亀井; Hidekazu Inoue; 秀和井上; Toru Kitamoto; 徹北本
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2001-09-06
Filing date: 2001-09-06
Publication date: 2003-03-14
Anticipated expiration: 2021-09-06
Also published as: CN100445985C; CN1702825A; CN1773485A; JP4191399B2

Abstract

(57)【要約】【課題】オペレータの作業負担を軽減させながら、基
板処理装置の初期設定操作を容易、かつ、確実に行うネ
ットワークシステムを提供することを課題とする。【解決手段】基板処理装置１は、制御プログラム１５
２と装置基本データ１５１ｂによって初期動作が決定さ
れる。サポートコンピュータ３は、制御プログラム１５
２のバージョンごとに管理された装置基本データ１５１
ｂを蓄積している。基板処理装置１の基本データ要求部
１２１は、サポートコンピュータ３の基本データ設定部
３２１に対して基本データの送信要求を送出する。この
際、バージョン取得部１２２によって取得した制御プロ
グラム１５２のバージョンがあわせて通知される。これ
により、基本データ設定部３２１は、バージョンに対応
した装置基本データ１５１ｂを基板処理装置１に送信す
る。基板処理装置１では、基本データ登録部１２３によ
って、受信した装置基本データ１５１ｂが登録される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、液晶
表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光
ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所
定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとを結合し
たネットワークシステムの構成に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体や液晶ディスプレイなどの製品
は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エ
ッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処
理を施すことにより製造されている。従来、これらの諸
処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等
を組み込んだ基板処理装置において行われている。基板
処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに
基板を順次搬送することによって該基板に一連の処理が
行われるのである。

【０００３】このような基板の処理は自動制御がなされ
ており、基板処理装置には、その自動制御を行うための
制御プログラムや、設定情報などが記憶されている。す
なわち、基板処理装置は、設定情報の内容にしたがっ
て、制御プログラムによって制御されているのである。

【０００４】この基板処理装置が記憶している設定情報
には、基板処理装置に共通して用いられる基本情報と、
基板処理装置ごとに固有の情報とが含まれている。

【０００５】基本情報は、基板処理装置に初期状態にお
いて設定される情報であり、非常に多数の設定項目から
なる情報である。ユーザあるいはサポート担当者は、基
板処理装置に、まず、基本情報の設定を行う。これによ
って、基板処理装置に基本情報に従った動作をさせる。
さらに、ユーザは、個々の基板処理装置に応じて、固有
の情報を設定する。つまり、基本情報によって設定され
る基板処理装置の動作を、固有の情報で補正することに
より最適な制御を行うようにしているのである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、基板
処理装置に設定する必要のある基本情報は、非常に多数
の設定項目からなる情報である。そして、これら多数の
項目のうち、一部の項目について設定情報が誤っている
場合においても、基板処理装置は予定されている動作を
行うことができない。

【０００７】たとえば、複数の基板処理装置が配置され
た工場内において、複数の担当者が、それぞれ別の基板
処理装置に基本情報を設定した場合などには、基板処理
装置間で基本情報の設定内容が異なるといった人為的な
ミスが生じる場合もある。このような場合には、各基板
処理装置において同一の処理を実行させた場合でも、同
一のプロダクトを生産できないという問題が生じる。

【０００８】また、基板処理装置の動作結果より、各基
板処理装置に設定された基本情報に設定ミスが存在する
ことが判明した場合であっても、多数の設定項目の中か
ら誤っている設定内容を発見することは非常に困難であ
った。

【０００９】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、ユー
ザ、サポート担当者の作業負担を軽減させながら、基板
処理装置の初期動作設定を、容易かつ確実に行うための
ネットワークシステムを提供することを課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、基板処理装置とサポートコンピ
ュータとを備える基板処理装置管理システムであって、
前記基板処理装置と前記サポートコンピュータとはネッ
トワークを介して接続されており、前記サポートコンピ
ュータは、a-1)基板処理装置の初期設定時に必要な基本
情報を格納する第１の記憶手段と、a-2)前記基本情報を
前記ネットワークを介して前記基板処理装置に送信する
基本情報送信手段と、を備え、前記基板処理装置は、b-
1)前記サポートコンピュータより受信した基本情報を格
納する第２の記憶手段、を備え、前記基板処理装置は、
前記第２の記憶手段に格納された基本情報によって、初
期状態が整備されることを特徴とする。

【００１１】請求項２の発明は、請求項１に記載の基板
処理装置管理システムにおいて、前記基本情報は、同一
種類の基板処理装置について共通して設定される情報で
あることを特徴とする。

【００１２】請求項３の発明は、請求項１または請求項
２に記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記基
本情報は、基板処理装置を制御する制御プログラムのバ
ージョンによって異なる情報であり、前記基板処理装置
は、さらに、b-2)自己の装置にインストールされている
制御プログラムのバージョンを前記サポートコンピュー
タに通知する手段、を備え、前記基本情報送信手段は、
a-2-1)基板処理装置から通知されたプログラムのバージ
ョンに応じて、対応する基本情報を基板処理装置に送信
する手段、を含むことを特徴とする。

【００１３】請求項４の発明は、請求項１ないし請求項
３のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおい
て、前記基板処理装置は、さらに、b-3)前記サポートコ
ンピュータに対する前記基本情報の送信要求を指示する
手段、を備えることを特徴とする。

【００１４】請求項５の発明は、請求項１ないし請求項
４のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおい
て、前記サポートコンピュータは、さらに、a-3)前記基
板処理装置に対する前記基本情報の送信を指示する手
段、を備えることを特徴とする。

【００１５】請求項６の発明は、記憶手段に格納された
基本情報を初期設定情報として制御される基板処理装置
であって、a)ネットワークを介して接続されたコンピュ
ータから前記基本情報を受信する手段と、b)受信した前
記基本情報を前記記憶手段に格納する手段と、を備える
ことを特徴とする。

【００１６】請求項７の発明は、請求項６に記載の基板
処理装置において、前記基本情報は、同一種類の基板処
理装置について共通して設定される情報であることを特
徴とする。

【００１７】請求項８の発明は、請求項６または請求項
７に記載の基板処理装置において、前記基本情報は、基
板処理装置を制御する制御プログラムのバージョンによ
って異なる情報であり、前記基板処理装置は、さらに、
c)自己の装置にインストールされている制御プログラム
のバージョンを前記コンピュータに通知する手段、を含
むことを特徴とする。

【００１８】請求項９の発明は、請求項６ないし請求項
８のいずれかに記載の基板処理装置において、前記基板
処理装置は、さらに、d)前記コンピュータに対する前記
基本情報の送信要求を指示する手段、を備えることを特
徴とする。

【００１９】請求項１０の発明は、記憶手段に格納され
た基本情報を初期設定情報として動作が制御される基板
処理装置を管理する方法であって、a)ネットワークを介
して接続されたコンピュータから前記基本情報を受信す
る工程と、b)受信した前記基本情報を前記記憶手段に格
納する工程と、を備えることを特徴とする。

【００２０】請求項１１の発明は、基板処理装置が備え
るコンピュータによって実行されることにより、前記基
板処理装置が、請求項６ないし請求項９のいずれかに記
載の基板処理装置として動作することを特徴とするプロ
グラムである。

【００２１】請求項１２の発明は、請求項１１に記載の
プログラムを記録してあることを特徴とするコンピュー
タ読み取り可能な記録媒体である。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。

【００２３】｛１．システム全体構成｝まず、本実施の
形態に係る基板処理システム１０全体の概略について説
明する。図１は、基板処理システム１０の概略構成を示
す図である。図１に示すように基板処理システム１０
は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理装置１
および装置管理サーバ２と、サポートセンター５に備え
られたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク６を
介して接続される構成となっている。サポートセンター
５には、基板処理装置１をリモート管理するリモート管
理担当者が配置される。

【００２４】基板処理工場４において、基板処理装置１
と装置管理サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４
１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやフ
ァイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介し
てインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続さ
れている。また、サポートセンター５も、サポートコン
ピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡ
Ｎ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する
接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続され
ている。これにより、基板処理装置１、装置管理サーバ
２及びサポートコンピュータ３との相互間で各種データ
通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４
１，５１及び広域ネットワーク６１を総称して単にネッ
トワーク６とする。

【００２５】なお、図１において、基板処理工場４には
複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置
１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５に
は複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサ
ポートコンピュータ３は１台であってもよい。

【００２６】｛２．基板処理装置｝次に、基板処理工場
４に配置された基板処理装置１について説明する。図２
は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理
装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそ
れらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置
１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処
理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサ
ＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジ
ストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニッ
トＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に
現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理
ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデ
クサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬
送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニッ
トＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省
略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟ん
で配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加
熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）
および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユ
ニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。
なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現
像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基
板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。

【００２７】図３は、基板処理装置１の制御システムの
構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処
理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステ
ム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に
制御するユニット制御部１１５とにより構成されてい
る。

【００２８】システム制御部１００は装置全体を統括的
に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて
構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ
１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用の
メモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域と
なる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、アプリ
ケーションプログラムデータなどを記憶しておく固定デ
ィスク等からなる記憶部１０４、および、外部装置との
間でデータ通信を行う通信部１０５を備えており、それ
ぞれをバスライン１９０によって接続した構成となって
いる。

【００２９】通信部１０５は、ネットワーク・インター
フェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続さ
れており、これにより基板処理装置１は装置管理サーバ
２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの
送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワ
ーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、
本実施形態では有線による通信方式が採用されている。

【００３０】バスライン１９０には、システム制御部１
００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情
報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピ
の入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４
０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１
から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども
電気的に接続されている。これにより、システム制御部
１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバ
スライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっ
ている。

【００３１】処理ユニット１１０は、実際に基板に処理
を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に
処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる
基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備
えている。ユニット制御部１１５は、処理ユニット１１
０を個別に制御するものであり、具体的にはそのユニッ
ト制御部１１５が組み込まれた処理ユニット１１０の基
板処理部１１６の動作制御や動作監視を行う。つまり、
上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体
における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は
基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うように
その役割を分担している。ユニット制御部１１５は、シ
ステム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備
えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１
１１と、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用の
メモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業領域となる読
み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３と、各種データ
を記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭ
などからなる記憶部１１４とを備えている。

【００３２】システム制御部１００の記憶部１０４に
は、装置全体にかかわるシステム制御用のアプリケーシ
ョンプログラムである制御プログラム１５２（図６参
照）や、基板処理装置の動作を規定する設定情報１５１
（図５参照）などが記憶されている。システム制御部１
００のＣＰＵ１０１がこの制御プログラム１５２および
設定情報１５１に従って演算処理を実行することによ
り、基板処理装置１の全体としての動作制御やデータ処
理が実現されることとなる。また、ユニット制御部１１
５の記憶部１１４には、当該処理ユニット１１０の基板
処理部１１６の処理内容に応じたユニット制御用のアプ
リケーションプログラムである制御プログラム１５３が
記憶されている。ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１１
がこの制御プログラム１５３に従って演算処理を実行す
ることにより、基板処理部１１６の動作制御やデータ処
理が実現されることとなる。

【００３３】｛３．装置管理サーバ及びサポートコンピ
ュータ｝次に、基板処理工場４に配置された装置管理サ
ーバ２およびサポートセンター５に配置されたサポート
コンピュータ３について説明する。装置管理サーバ２お
よびサポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての
構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。した
がって、装置管理サーバ２およびサポートコンピュータ
３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である
図４を参照して説明する。装置管理サーバ２およびサポ
ートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各
種演算処理を行うＣＰＵ（装置管理サーバ２ではＣＰＵ
２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同
様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）
および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバス
ラインに接続した構成となっている。また、バスライン
には、アプリケーションプログラムなど各種情報を記憶
する固定ディスク（２４，３４）、各種情報の表示を行
うディスプレイ（２５，３５）、操作者からの入力を受
け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ）およびマウス
（２６ｂ，３６ｂ）、光ディスク、磁気ディスク、光磁
気ディスク等の記録媒体９１から各種データの読み取り
を行う読取装置（２７，３７）、並びに、ネットワーク
６を介して外部装置と通信を行う通信部（２８，３８）
が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して
接続される。

【００３４】装置管理サーバ２とサポートコンピュータ
３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１か
らデータを読出し、固定ディスク（２４，３４）に記憶
することができる。また、他のサーバ等からネットワー
ク６を経由してダウンロードして固定ディスク（２４，
３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２
１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶された
各種プログラムに従って演算処理を実行することにより
各種動作を行うようになっている。

【００３５】｛４．基板処理装置の設定情報｝基板処理
装置１は、あらかじめ記述されたフローレシピの処理順
序に従い、記憶部１０４，１１４に格納された制御プロ
グラム１５２,１５３によって、その動作が制御され
る。そして、制御プログラム１５２，１５３は、記憶部
１０４に格納された設定情報１５１にしたがって基板処
理装置１を制御する。図５は、記憶部１０４に格納され
た設定情報１５１の内容の一例を示した図である。

【００３６】なお、設定情報１５１は、基板処理装置１
の全体制御に関わる設定情報と、各処理ユニット１１０
の制御に関わる設定情報とを含んでおり、本実施の形態
においては、これらを含む設定情報１５１がシステム制
御部１００の記憶部１０４に一括して格納されているも
のとして説明する。ただし、処理ユニットごとの設定情
報は、各ユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納す
るようにしてもよい。

【００３７】設定情報１５１は、レシピデータ１５１
ａ、装置基本データ１５１ｂ、装置固有データ１５１ｃ
を含むデータである。これらのデータは、オペレータが
操作部１４０を用いて入力操作することなどにより、必
要に応じて修正を加えながら更新される。また、サポー
トコンピュータ３や装置管理サーバ２からリモート操作
により設定情報１５１の入力操作を行うようにしてもよ
い。

【００３８】レシピデータ１５１ａは、基板処理装置１
の処理順序を規定するデータである。つまり、基板処理
装置１の搬送ロボットＴＲは、レシピデータ１５１ａに
記述されている処理スケジュールにしたがって、基板を
目的の処理ユニットに搬送するのである。

【００３９】たとえば、レシピデータ１５１ａには、以
下のような処理ステップが記述されている。ステップ１：ホットプレートにて密着強化処理；ステップ２：クールプレートにて冷却処理；ステップ３：塗布処理ユニットＳＣにてレジスト塗布処
理；ステップ４：ホットプレートにてプリベーグ処理；・・・。

【００４０】装置基本データ１５１ｂは、基板処理装置
１に共通の設定情報である。言い換えれば、基板処理装
置１のデフォルト設定情報である。基板処理装置１は、
搬送ロボットＴＲや各処理ユニット１１０などの数多く
の機構部や制御部を含んでいるが、それら各機構部や制
御部がどのような設定値で動作するのかを規定したもの
が装置基本データ１５１ｂである。装置基本データ１５
１ｂには、たとえば、ロボット基本データ、温度調節パ
ラメータなどのデータが含まれる。

【００４１】ロボット基本データは、搬送ロボットＴＲ
の動作を規定するデータである。搬送ロボットＴＲは、
基板を各処理ユニット１１０やインデクサＩＤ、熱処理
ユニットなどに搬送するが、ロボット基本データは、こ
のような搬送ロボットＴＲの動作の設定値（移動距離に
関する設定値、アーム回転角の設定値など）を規定した
データである。温度調節データは、基板処理装置内にお
いて、熱処理ユニットなどの温度を設定するデータであ
る。

【００４２】装置基本データ１５１ｂは、これら例で示
したデータ以外にも、非常に多数のデータ種が存在す
る。これらは、基板処理装置ごとに初期設定される情報
であるが、これら多数のデータのうち、一部のデータの
内容が誤って設定された場合にも、基板処理装置が予定
されている動作を行うことができない。後述する装置固
有データ１５１ｃによって、基板処理装置の動作を補正
することは可能であるが、基本情報としての装置基本デ
ータ１５１ｂが確実に設定されていない場合には、補正
作業が非常に煩雑となるか、もしくは、補正が不可能と
なる。しがって、基板処理装置の導入時、再設定時など
においては、まず、装置基本データ１５１ｂが正確に設
定される必要がある。

【００４３】装置固有データ１５１ｃは、複数ある基板
処理装置ごとに固有に設定される補正データである。基
板処理装置１，１・・・が同一の装置構成である場合、
基本的には、同一の設定情報、つまり、装置基本データ
１５１ｂにより制御することが可能であるが、実際に
は、装置ごとに設定情報を補正する必要がある。これ
は、基板処理装置の装置構成が同一の場合でも、厳密に
は、各装置間で装置構成にばらつきがあるためであり、
また、基板処理装置の設置場所や設置環境の違いから、
環境に応じた調整が必要となるためである。つまり、基
板処理装置が同一の処理を行うことにより、同一の処理
結果を生むためには、装置ごとに設定情報を補正する必
要がある。

【００４４】装置固有データ１５１ｃには、たとえば、
ティーチングデータや温度調節補正データなどのデータ
が含まれる。

【００４５】ティーチングデータは、前述したロボット
基本データを補正するデータである。搬送ロボットＴＲ
は、基板処理装置が同一の装置構成であれば、基本的に
は、同一の設定情報に従って同一の動作を行えばよい。
しかし、多数の部材や可動部を含む搬送ロボットＴＲ
は、その構成に微妙な差があることにより、動作に誤差
が生じる。そこで、搬送ロボットＴＲの動作が最適とな
るよう調整し、その調整時の設定情報をティーチングデ
ータとして蓄積するのである。そして、ティーチングデ
ータによって、ロボット基本データを補正することによ
り、搬送ロボットＴＲの制御を最適化することができる
のである。

【００４６】また、温度調節補正データは、基板処理装
置１の設置場所、設置環境の違いにより、デフォルトで
設定されている温度調節データを補正するデータであ
る。

【００４７】このように、基板処理装置１は、レシピデ
ータ１５１ａによって、その処理工程順序が決定され、
その動作は、デフォルトとして設定される装置基本デー
タ１５１ｂと装置ごとの補正データである装置固有デー
タ１５１ｃを用いて制御されるのである。

【００４８】｛５．システムの機能および処理内容｝以
上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処
理装置１、装置管理サーバ２、サポートコンピュータ３
のハードウェア構成、および、設定情報１５１の内容に
ついて説明したが、次に基板処理システム１０の機能お
よび処理内容について説明する。図６は、基板処理シス
テム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。

【００４９】図６において、基本データ要求部１２１、
バージョン取得部１２２、基本データ登録部１２３はシ
ステム制御部１００のＣＰＵ１０１が保守プログラム１
５４を実行することによって実現される処理部である。
この保守プログラム１５４は、記憶部１０４に格納され
ている。

【００５０】また、図６において、基本データ要求部２
２１は、装置管理サーバ２のＣＰＵ２１が保守プログラ
ム２５１を実行することによって実現される処理部であ
る。この保守プログラム２５１は、固定ディスク２４に
格納されている。

【００５１】また、図６において、基本データ設定部３
２１はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が保守プロ
グラム３５１を実行することによって実現される処理部
である。この保守プログラム３５１は、固定ディスク３
４に格納されている。

【００５２】基本データ要求部１２１は、基板処理装置
１からサポートセンター５に対して装置基本データ１５
１ｂの送信要求を送出する機能部である。ユーザは、基
板処理装置１に設けられた操作部１４０において、装置
基本データ１５１ｂの取得指示を行う。この指示入力に
応答して、基本データ要求部１２１は、サポートコンピ
ュータ３２１の基本データ設定部３２１に対して、装置
基本データ１５１ｂの送信依頼を行うのである。

【００５３】なお、オペレータによる入力操作を容易に
するために、表示部１３０には、装置基本データ１５１
ｂを取得するためのメニューを表示するようにすればよ
い。そして、ガイダンスにしたがって入力操作を可能に
すれば、オペレータの負担軽減を図ることができる。ま
た、サポートセンター５に複数のサポートコンピュータ
３が存在する場合であって、装置基本データ１５１ｂの
送信依頼先が固定されていない場合には、オペレータ
は、入力操作によって装置基本データ１５１ｂの送信要
求を行うサポートコンピュータ３を特定する。

【００５４】バージョン取得部１２２は、基板処理装置
１全体を制御する制御プログラム１５２のソフトウェア
バージョンを検出する機能部である。基板処理装置１
は、サポートコンピュータ３に対して装置基本データ１
５１ｂの送信要求を行うが、この装置基本データ１５１
ｂは、基板処理装置１を制御する制御プログラム１５２
のソフトウェアバージョンによって、異なる設定内容を
もっている。そこで、自己の装置のソフトウェアバージ
ョンをサポートコンピュータ３に通知することにより、
ソフトウェアバージョンに対応した装置基本データ１５
１ｂを送信要求するのである。

【００５５】装置管理サーバ２の備える基本データ要求
部２２１も、基本的には、基板処理装置１の備える基本
データ要求部１２１と同様の機能を備えている。装置管
理サーバ２において、オペレータがキーボード２６ａ、
マウス２６ｂ等をもちいて基本データの要求指示入力を
行うと、基本データ要求部２２１により装置基本データ
１５１ｂの送信要求指示が送出される。

【００５６】ただし、装置管理サーバ２から装置基本デ
ータ１５１ｂの送信要求を行う場合には、装置基本デー
タ１５１ｂの登録先である基板処理装置を特定する操作
を行うものとする。これにより、基板処理工場４内に設
置された全ての基板処理装置１，１・・・に対して、装
置管理サーバ２から基本データの送信要求を送出するこ
とができるのである。なお、基本データ要求部２２１
は、ＬＡＮ４１経由で、基板処理装置１のバージョン取
得部１２２に対してソフトウェアバージョンの取得要求
を行う。これにより、基本データ要求部２２１は、ソフ
トウェアバージョンを特定したうえで、サポートコンピ
ュータ３に対して装置基本データ１５１ｂの送信要求を
送出するのである。

【００５７】図７は、サポートコンピュータ３の固定デ
ィスク３４に蓄積されているバージョン別の装置基本デ
ータ１５１ｂを示している。各装置基本データ１５１ｂ
のバージョンは、基板処理装置１の制御部プログラム１
５１ｂのソフトウェアバージョンに対応している。

【００５８】なお、本実施の形態においては、基板処理
装置１の全体制御を行っている制御プログラム１５２の
ソフトウェアバージョンに対応して装置基本データ１５
１ｂを管理するようにしているが、各処理ユニットを制
御している制御プログラム１５３に対応した装置基本デ
ータもあわせて管理するようにしてもよい。この場合に
は、システム制御部１００のバージョン取得部１２２
は、ユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納されて
いる制御プログラム１５３のバージョン情報も検出する
ようにする。

【００５９】サポートコンピュータ３の基本データ設定
部３２１は、基本データ要求部１２１（もしくは、基本
データ要求部２２１）から装置基本データの送信要求指
示を受けると、送信要求指示データに含まれている制御
プログラム１５２のソフトウェアバージョンを取得し、
このソフトウェアバージョンに対応した装置基本データ
１５１ｂを固定ディスク３４から抽出する。そして、抽
出した装置基本データ１５１ｂを基板処理装置１に対し
て送信するのである。

【００６０】基板処理装置１では、基本データ登録部１
２３が、サポートコンピュータ３から送信された装置基
本データ１５１ｂを受信するとともに、そのデータを記
憶部１０４に格納する。このようにして、基板処理装置
１には、当該基板処理装置１の制御プログラムに対応し
た初期設定が行われることになる。

【００６１】図７では、制御プログラム１５２のバージ
ョン１．０がインストールされている基板処理装置１Ａ
に装置基本データ（Ver1.0）が格納され、制御プログラ
ム１５２のバージョン２．０がインストールされている
基板処理装置１Ｂに装置基本データ（Ver2.0）が格納さ
れた状態を示している。

【００６２】このように、本実施の形態における基板処
理システムにおいては、基板処理装置１を制御するため
の基本情報である装置基本データ１５２ｂをネットワー
クを介して容易に取得し、基板処理装置１に反映させる
ことができるので、同一のソフトウェアバージョンで制
御される同一の基板処理装置に対しては、常に、安定し
た初期設定操作が行えることとなる。同時に、同一のソ
フトウェアバージョンで制御される複数の基板処理装置
に対して初期設定操作を行う場合にも、各基板処理装置
には、同一の初期設定が行われる。つまり、複数の基板
処理装置の初期設定状態をシンクロさせることができる
のである。これにより、オペレータが手作業で装置基本
データ１５１ｂをコピーしていた場合に生じていた装置
間の設定のばらつきを完全に回避することが可能となる
のである。

【００６３】なお、装置基本データ１５１ｂが、各基板
処理装置１に登録された後は、各基板処理装置１におい
て、装置ごとに固有のチューニング操作が行われる。そ
して、各基板処理装置１は、サポートコンピュータ３か
ら受信した装置基本データ１５１ｂと、装置ごとで作成
された装置固有データ１５１ｃにしたがって最適制御さ
れることになる。

【００６４】｛６．変形例｝上記実施の形態において
は、サポートコンピュータ３では、基板処理装置１にイ
ンストールされている制御プログラムのソフトウェアバ
ージョンを判断することによって、適切な装置基本デー
タ１５１ｂを送信するようにしているが、基板処理装置
１が自己の装置種別を情報としてサポートコンピュータ
３に通知するようにすれば、異なる基板処理装置が混在
している場合でも、各基板処理装置の装置種別に応じた
装置基本データを送信するようにすることが可能であ
る。

【００６５】また、上記実施の形態においては、基板処
理装置１に共通して設定される装置基本データ１５１ｂ
をサポートコンピュータ３で管理するようにしている
が、装置固有データ１５１ｃをサポートコンピュータ３
で管理するようにしてもよい。装置固有データ１５１ｃ
は、前述のごとく、各装置において固有の情報であるた
め、そのデータを直接他の装置において利用することが
できるとは限らないが、ユーザが、ある基板処理装置に
おいて設定した装置固有データ１５１ｃをノウハウとし
て他の装置においても流用するといった目的で利用する
ことが可能である。

【００６６】また、本実施の形態においては、システム
制御部１００が備えるバージョン取得部１２２により、
自動的に制御プログラムのソフトウェアバージョンを検
出するようにしているが、この機能部は必須のものでは
ない。前述のごとく、ユーザが操作部１４０を用いて装
置基本データ１５１ｂの送信要求指示を入力する際に、
あわせて、自己の装置のソフトウェアバージョンを指定
するようにしてもよい。ただし、人為的なミスを回避す
るためには、バージョン取得部１２２によりソフトウェ
アバージョンを自動検出することが、より好ましい。

【００６７】

【発明の効果】以上、説明したように請求項１の発明
は、サポートコンピュータが、基板処理装置を制御する
ための基本情報を蓄積し、基板処理装置は、ネットワー
クで接続されたサポートコンピュータから、初期設定情
報である基本情報を受信し、この基本情報を登録するの
で、基板処理装置の導入時や再設定時において、正確、
かつ、容易に、初期設定を行うことができる。

【００６８】請求項２の発明は、基本情報は、同一種類
の基板処理装置に共通して設定される情報であるので、
複数の基板処理装置が存在する場合には、各基板処理装
置の初期状態を確実に統一することができる。

【００６９】請求項３の発明は、基本情報は基板処理装
置にインストールされる制御プログラムのソフトウェア
バージョンごとに管理されており、基板処理装置から通
知されたソフトウェアバージョンに対応した基本情報が
サポートコンピュータから送信されるので、基板処理装
置のメンテナンス性が格段に向上する。

【００７０】請求項４の発明は、基板処理装置側から基
本情報の送信要求を行うことを可能としており、利便性
が高い。

【００７１】請求項５の発明は、サポートコンピュータ
側から基本情報の送信指示を行うことを可能としてお
り、厚いユーザサポート体制を提供することができる。

【００７２】請求項６の発明は、基板処理装置は、ネッ
トワークで接続されたコンピュータから、初期設定情報
である基本情報を受信し、この基本情報を登録するの
で、基板処理装置の導入時や再設定時において、正確、
かつ、容易に、初期設定を行うことができる。

【００７３】請求項７の発明は、基本情報は、同一種類
の基板処理装置に共通して設定される情報であるので、
複数の基板処理装置が存在する場合には、各基板処理装
置の初期状態を確実に統一することができる。

【００７４】請求項８の発明は、基本情報は基板処理装
置にインストールされる制御プログラムのソフトウェア
バージョンごとに管理されており、基板処理装置は、自
己の装置にインストールされているソフトウェアバージ
ョンを通知する手段を有するので、ソフトウェアバージ
ョンに対応した基本情報の送信要求を行うことが可能と
なる。

【００７５】請求項９の発明は、基板処理装置は基本情
報の送信要求を行う手段を有するので、利便性が高い。

【００７６】請求項１０の発明は、方法の発明であり、
ネットワークを利用して容易、かつ、確実に、基板処理
装置の初期設定を行うことが可能である。

【００７７】請求項１１の発明は、プログラムの発明で
あり、基板処理装置の備えるコンピュータにインストー
ルされることによって、初期設定操作が効率的に行える
基板処理装置を実現することができる。

【００７８】請求項１２の発明は、初期設定操作が効率
的に行える基板処理装置を実現するプログラムを格納し
た記録媒体であり、記録媒体を頒布することにより、容
易に、プログラムのインストールが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板処理システムの概略構成図で
ある。

【図２】基板処理装置の概略平面図である。

【図３】基板処理装置の制御システムの構成を示すブロ
ック図である。

【図４】装置管理サーバおよびサポートコンピュータの
基本構成を示す図である。

【図５】設定情報の内容の一例を示す図である。

【図６】基板処理システムの機能構成を示すブロック図
である。

【図７】サポートコンピュータにおいて管理されるバー
ジョンごとの装置基本データを示す図である。

【符号の説明】

１基板処理装置２装置管理サーバ３サポートコンピュータ４基板処理工場５サポートセンター６ネットワーク１０基板処理システム１００システム制御部１２１基本データ要求部１２２バージョン取得部１２３基本データ登録部１０４，１１４記憶部１５１設定情報１５１ｂ装置基本データ１５２，１５３制御プログラム３２１基本データ設定部

フロントページの続き (72)発明者亀井謙治京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１大日本スクリーン製造株式会社内 (72)発明者井上秀和京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１大日本スクリーン製造株式会社内 (72)発明者北本徹京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１大日本スクリーン製造株式会社内Ｆターム(参考） 3C100 AA65 AA68 CC02 EE06 4F042 AA06 ED08 5F046 AA28

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板処理装置とサポートコンピュータと
を備える基板処理装置管理システムであって、前記基板
処理装置と前記サポートコンピュータとはネットワーク
を介して接続されており、前記サポートコンピュータは、 a-1)基板処理装置の初期設定時に必要な基本情報を格納
する第１の記憶手段と、 a-2)前記基本情報を前記ネットワークを介して前記基板
処理装置に送信する基本情報送信手段と、を備え、前記基板処理装置は、 b-1)前記サポートコンピュータより受信した基本情報を
格納する第２の記憶手段、を備え、前記基板処理装置は、前記第２の記憶手段に格納された
基本情報によって、初期状態が整備されることを特徴と
する基板処理装置管理システム。
【請求項２】請求項１に記載の基板処理装置管理シス
テムにおいて、前記基本情報は、同一種類の基板処理装置について共通
して設定される情報であることを特徴とする基板処理装
置管理システム。
【請求項３】請求項１または請求項２に記載の基板処
理装置管理システムにおいて、前記基本情報は、基板処
理装置を制御する制御プログラムのバージョンによって
異なる情報であり、前記基板処理装置は、さらに、 b-2)自己の装置にインストールされている制御プログラ
ムのバージョンを前記サポートコンピュータに通知する
手段、を備え、前記基本情報送信手段は、 a-2-1)基板処理装置から通知されたプログラムのバージ
ョンに応じて、対応する基本情報を基板処理装置に送信
する手段、を含むことを特徴とする基板処理装置管理シ
ステム。
【請求項４】請求項１ないし請求項３のいずれかに記
載の基板処理装置管理システムにおいて、前記基板処理装置は、さらに、 b-3)前記サポートコンピュータに対する前記基本情報の
送信要求を指示する手段、を備えることを特徴とする基
板処理装置管理システム。
【請求項５】請求項１ないし請求項４のいずれかに記
載の基板処理装置管理システムにおいて、前記サポートコンピュータは、さらに、 a-3)前記基板処理装置に対する前記基本情報の送信を指
示する手段、を備えることを特徴とする基板処理装置管
理システム。
【請求項６】記憶手段に格納された基本情報を初期設
定情報として制御される基板処理装置であって、 a)ネットワークを介して接続されたコンピュータから前
記基本情報を受信する手段と、 b)受信した前記基本情報を前記記憶手段に格納する手段
と、を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】請求項６に記載の基板処理装置におい
て、前記基本情報は、同一種類の基板処理装置について共通
して設定される情報であることを特徴とする基板処理装
置。
【請求項８】請求項６または請求項７に記載の基板処
理装置において、前記基本情報は、基板処理装置を制御
する制御プログラムのバージョンによって異なる情報で
あり、前記基板処理装置は、さらに、 c)自己の装置にインストールされている制御プログラム
のバージョンを前記コンピュータに通知する手段、を含
むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項９】請求項６ないし請求項８のいずれかに記
載の基板処理装置において、前記基板処理装置は、さらに、 d)前記コンピュータに対する前記基本情報の送信要求を
指示する手段、を備えることを特徴とする基板処理装
置。
【請求項１０】記憶手段に格納された基本情報を初期
設定情報として動作が制御される基板処理装置を管理す
る方法であって、 a)ネットワークを介して接続されたコンピュータから前
記基本情報を受信する工程と、 b)受信した前記基本情報を前記記憶手段に格納する工程
と、を備えることを特徴とする基板処理装置管理方法。
【請求項１１】基板処理装置が備えるコンピュータに
よって実行されることにより、前記基板処理装置が、請
求項６ないし請求項９のいずれかに記載の基板処理装置
として動作することを特徴とするプログラム。
【請求項１２】請求項１１に記載のプログラムを記録
してあることを特徴とするコンピュータ読み取り可能な
記録媒体。