JP2010212301A - 情報処理システム、情報処理方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】データ定義バージョンと当該データ定義バージョンにおけるデータ定義が使用された期間とが対応付けられたデータ定義履歴205を保持する保持部204と、データ定義バージョンと当該データ定義バージョンにおけるデータ定義とが対応付けて登録されたデータ定義ライブラリ206と、ユーザーインターフェースを通して指定された期間において使用されたデータ定義のデータ定義バージョンを前記データ定義履歴から検出し、当該検出されたデータ定義バージョンにおけるデータ定義を前記データ定義ライブラリから検出して、当該検出されたデータ定義バージョンおよびデータ定義を前記ユーザーインターフェースに提供する検出部201とを備える。
【選択図】図2
Description
図2を参照して本発明の第1実施形態の情報処理システムを説明する。本発明の第1実施形態の情報処理システムは、随時更新されうるデータ定義に従ってデータベースに記録された装置データを利用するように構成される。該情報処理システムは、情報処理装置200を含み、典型的には、更に、1または複数の端末230を含みうる。端末230は、ユーザーインターフェースとして機能する。情報処理装置200がユーザーインターフェース機能を有する場合には、端末230は、必ずしも必要でない。情報処理装置200は、1又は複数のコンピュータによって構築されうる。情報処理システムと半導体製造装置とを含むシステムを半導体製造システムと呼ぶことができる。
ユーザーは、装置データ704において装置データが存在しない部分については、データ定義履歴801におけるデータ定義が変更された日時を参照することで、それがデータ定義の変更によるものであることを推定することができる。例えば、空白部721は、データ定義バージョン2から3への変更によるもの、空白部722は、データ定義バージョン1から2への変更によるものとの推定することができる。また、ユーザーは、装置データ731に関して、数値の桁数やオーダーが変わっていることは、データ定義バージョン1から2への変更によるものと推定することができる。そして、ユーザーは、データ定義601を参照することにより、上記推定の当否を確認することや、空白部分の装置データを他の装置データから導出する方法を導くことができる。
以下、本発明の第2実施形態を説明するが、ここで言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。図10を参照して第2実施形態の情報処理システムについて説明する。本発明の第2実施形態の情報処理システムは、装置情報生成装置220および情報処理装置240を含み、典型的には、更に、1または複数の端末230を含みうる。端末230は、ユーザーインターフェースとして機能する。情報処理装置240がユーザーインターフェース機能を有する場合には、端末230は、必ずしも必要でない。情報処理装置240は、1又は複数のコンピュータによって構築されうる。情報処理システムと半導体製造装置とを含むシステムを半導体製造システムと呼ぶことができる。情報処理装置200或いは情報処理システムには、通信インターフェース(不図示)及び通信網(又は通信線)を介して1又は複数の半導体製造装置(ここでは、露光装置100)から装置データが提供される。
Claims (8)
- 随時更新されうるデータ定義に従ってデータベースに記録された装置データを利用する情報処理システムであって、
データ定義バージョンと当該データ定義バージョンにおけるデータ定義が使用された期間とが対応付けられたデータ定義履歴を保持する保持部と、
データ定義バージョンと当該データ定義バージョンにおけるデータ定義とが対応付けて登録されたデータ定義ライブラリと、
ユーザーインターフェースを通して指定された期間において使用されたデータ定義のデータ定義バージョンを前記データ定義履歴から検出し、当該検出されたデータ定義バージョンにおけるデータ定義を前記データ定義ライブラリから検出して、当該検出されたデータ定義バージョンおよびデータ定義を前記ユーザーインターフェースに提供する検出部とを備え、
前記装置データは、半導体製造装置が発生したデータまたはそれを処理したデータである、
ことを特徴とする情報処理システム。 - 前記ユーザーインターフェースを通して指定された抽出条件に合致する装置データを前記データベースから抽出して前記ユーザーインターフェースに提供する抽出部を更に備え、前記抽出条件は、装置データを抽出すべき期間を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の情報処理システム。 - 前記抽出条件は、装置データの項目名を含む、
ことを特徴とする請求項2に記載の情報処理システム。 - データ定義の変更に応じて前記データ定義履歴を更新するデータ定義管理部を更に備える、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の情報処理システム。 - 前記データ定義管理部は、データ定義の変更に応じて、新たなデータ定義を当該新たなデータ定義のデータ定義バージョンと対応付けて前記データ定義ライブラリに登録する、
ことを特徴とする請求項4に記載の情報処理システム。 - 前記データ定義管理部は、前記半導体製造装置の制御ソフトウエアの変更に応じて前記データ定義履歴を更新する、
ことを特徴とする請求項4に記載の情報処理システム。 - 随時更新されうるデータ定義に従ってデータベースに記録された装置データを利用する情報処理システムにおける情報処理方法であって、
前記情報処理システムは、データ定義バージョンと当該データ定義バージョンにおけるデータ定義が使用された期間とが対応付けられたデータ定義履歴を保持する保持部と、データ定義バージョンと当該データ定義バージョンにおけるデータ定義とが対応付けて登録されたデータ定義ライブラリとを備え、
前記装置データは、半導体製造装置が発生したデータまたはそれを処理したデータであり、
前記情報処理方法は、
ユーザーインターフェースを通して指定された期間において使用されたデータ定義のデータ定義バージョンを前記データ定義履歴から検出するステップと、
当該検出されたデータ定義バージョンにおけるデータ定義を前記データ定義ライブラリから検出するステップと、
当該検出されたデータ定義バージョンおよびデータ定義を前記ユーザーインターフェースに提供するステップとを含む、
ことを特徴とする情報処理方法。 - 随時更新されうるデータ定義に従ってデータベースに記録された装置データを利用するための処理を情報処理システムに実行させるプログラムであって、
前記情報処理システムは、データ定義バージョンと当該データ定義バージョンにおけるデータ定義が使用された期間とが対応付けられたデータ定義履歴を保持する保持部と、データ定義バージョンと当該データ定義バージョンにおけるデータ定義とが対応付けて登録されたデータ定義ライブラリとを備え、
前記装置データは、半導体製造装置が発生したデータまたはそれを処理したデータであり、
前記プログラムは、前記情報処理システムに、
ユーザーインターフェースを通して指定された期間において使用されたデータ定義のデータ定義バージョンを前記データ定義履歴から検出するステップと、
当該検出されたデータ定義バージョンにおけるデータ定義を前記データ定義ライブラリから検出するステップと、
当該検出されたデータ定義バージョンおよびデータ定義を前記ユーザーインターフェースに提供するステップとを含む処理を実行させる、
ことを特徴とするプログラム。
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