JP2005523540A - 遠隔ツール操作、遠隔データ収集および遠隔制御の統合体を診断するためのシステムおよび方法 - Google Patents

遠隔ツール操作、遠隔データ収集および遠隔制御の統合体を診断するためのシステムおよび方法 Download PDF

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Abstract

【課題】ＯＥＭおよびＩＣ製造業者の両方のデータセキュリティを維持しつつツールを遠隔から保守点検することが可能なシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１台の自動製造ツールとツールコントローラと内部の安全な格納手段とを有する製造設備１０２ａ，１０２ｂ内に設けられた第１の内部ネットワークと、内部に安全な格納手段を有する原設備製造業者１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃ内に設けられた第２の内部ネットワークと、外部ネットワーク１０６と、第１の内部ネットワークを外部ネットワークに接続する第１の安全な共用ネットワークと、第２の内部ネットワークを外部ネットワークに接続する第２の安全な共用ネットワークと、ｅ診断のために製造設備のツールからのデータを原設備製造業者に伝送する安全なチャネルとを備え、ツールが製造設備および原設備製造業者の少なくとも１つに対して専用のデータを生成する。

Description

本発明は、全般的に、ツール間の協働、製造業者−製造業者間の協働または製造業者−供給業者間協働の基盤である、ｅマニファクチャリング(e-Manufacturing)のシステムおよび方法に関する。より詳細には、本発明は、ツールが生成したデータまたは情報の収集、伝達、分配、記憶および変換を様々な関係者が行うことを可能にする統合システム（以下“ｅセンタ”）に関する。
集積回路（ＩＣ）製造業などの先端技術製造業は、しばしば、コンピュータ化された製造ツール、ツール操作装置、コンピュータネットワーク、および他のコンポーネントを組合せることによって、効率的で収益性が高い製造環境を達成する。ＩＣ製造業者は、しばしば、製造ツールからデータを収集して、潜在的な製造問題および非効率性を監視し続ける。収集されたデータは、通常は独占され、しばしば秘密扱いとなる。
ＩＣ製造業者は、収集されたデータを、第三者、特にツールの製造業者等に、提供しなければならないことがある。原製品製造業者（ＯＥＭ）すなわちツール・メーカは、通常、直接にまたは第三者たる請負業者を介して、当該ツールのメンテナンスを行う。ＯＥＭは、機械を保守点検に加えて、本質的な目的で、ツールからデータにアクセスできなければならない。
多くのＩＣ製造現場は、複数のＯＥＭによって製造された様々なツールを使用しており、これらのＯＥＭは互いに競合している場合も多い。したがって、各ＯＥＭは、そのツールに係るデータを秘密に保ちたがっている。
小規模のＩＣ製造現場は、ＯＥＭが保守点検のために容易にアクセスできない場合がある。保守点検のためにＯＥＭの担当者を常駐させることは通常は経済的でなく、このため、そのような小さいＩＣ製造現場では、しばしば、保守点検が必要になってからサービス員が現場に足を運ばなければならない。このことも、コスト高につながり、製造を遅延させることがあるので、生産性および収益性を低下させる。
このため、ＯＥＭ、ＩＣ製造業者および他の第三者の間で遠隔データ共有を行う方法を、ＯＥＭおよびＩＣ製造業者の両方のデータ・セキュリティを維持しつつツールを遠隔から保守点検することが可能となるように改良する必要がある。
本発明の代表的な実施形態では、遠隔ツール操作、遠隔データ収集および遠隔制御の統合体を診断するためのシステムおよび方法が開示される。
代表的な一実施形態では、本発明は、少なくとも１台の自動製造ツールとツールコントローラと内部の安全な格納手段とを有する製造設備内に設けられた第１の内部ネットワークと；内部に安全な格納手段を有する原設備製造業者内に設けられた第２の内部ネットワークと；外部ネットワークと；第１の内部ネットワークを外部ネットワークに接続する第１の安全な共用ネットワークと；第２の内部ネットワークを外部ネットワークに接続する第２の安全な共用ネットワークと；ｅ診断のために製造設備のツールからのデータを原設備製造業者に伝送する安全なチャネルとを備え、ツールが製造設備および原設備製造業者の少なくとも１つに対して専用のデータを生成する遠隔診断システムとすることができる。
他の代表的な実施形態では、本発明は、自動製造ツールの遠隔診断を行うとともに自動製造ツールからのデータを共用するためのシステムであって、ツールからデータを収集し且つ処理する動作を行うツール・ゲートウエイ・サーバと；サービスの特定の組み合わせを１台以上のツールからユーザにを提供するように動作し且つユーザとプロデューサとユーザ・フィルタとプロデューサ・フィルタとを備えるセッションと；セッションおよびセッションサービスを処理するように動作するサービス処理アプリケーションと；ポリシー管理者と；管理クライアントと；共同クライアントと；複数の顧客業務ルールとを含むシステムとすることができる。
他の代表的な実施形態では、本発明は、自動製造ツールからデータを取得するステップと、データをフィルタリングするステップと、フィルタリングされたデータの標本サンプルを取得するステップと、サンプルを平均するステップと、平均サンプルを特定の期間記憶するステップとを含むデータ保存方法とすることができる。
他の代表的な実施形態では、本発明は、製造設備から原製品製造業者へのＳＥＣＳデータの転送を仲介する方法であって、製造設備に配置された自動半導体製造ツールに遠隔接続するステップと；ツールのＳＥＣＳデータを開示するステップと；ツールへのホストとして動作するステップと；ツール・データを原製品製造業者に当該原製品製造業者がローカルであるかのようにプロキシするステップと；トンネルを使用して製造設備から原製品製造業者にツール・データを安全に転送するステップとを含む方法とすることができる。
他の代表的な実施形態では、本発明は、企業体ファイアウォールを介して装置に遠隔接続する方法であって、ツールに遠隔接続するステップと；遠隔ツール操作を行うための基盤構造を起動するステップと；ｅ診断ソリューションを遠隔ツール操作のための画面用プロキシに適用するステップと；設備区域に設けられたツールを遠隔操作するために使用され且つ遠隔制御およびビデオ観察が可能な基盤構造を起動するステップとを含む方法とすることができる。
他の代表的な実施形態では、本発明は、ＸＭＬ文書を平坦化するステップを含むＸＭＬフォーマット保存方法であって、ＸＭＬ文書内のＸＭＬタグすべてが、リストおよび項目の少なくとも１つに変換される方法とすることができる。
他の代表的な実施形態では、本発明は、製造設備データ用のデータ・フィルタ構造にＸＳＬを適用する方法であって、原製品製造業者に開放される前の秘密の製造設備データを、ＸＳＬフィルタを用いて修正することにより、情報を保護するステップと；原製品製造業者に開放される前の秘密の製造設備データを、ＸＳＬフィルタを用いてフィルタリングすることにより、情報を保護するステップと；原製品製造業者に開放される前の秘密の製造設備データを、ＸＳＬフィルタを用いて変換することにより、情報を保護するステップとを含む方法とすることができる。
本発明のさらなる特徴および利点は、本発明の様々な実施形態の構成および操作とともに、添付の図面を参照して以下で詳細に説明される。
本発明の上述の特徴・利点や他の特徴・利点は、以下の説明（特に好適な実施形態の記載や添付図面）によって、明らかにされる。添付図面全体において、同一の参照符号は、同一の要素、機能的に類似する要素および／または構造的に類似する要素を示している。参照符号において、最も左側の桁は、その要素が最初に表された図面の番号と一致している。
定義
本願では、下記の用語を、以下のような意味で使用する。
製造設備(Fabricator;FAB)：ＦＡＢは、特定の製造施設である。秘密ツール・データは、セキュリティのために、ＦＡＢでローカルに記憶される。
原製品製造業者(Original equipment manufacturer;OEM)：集積回路製造ツールの製造業者。
集積回路製造業者(Integrated circuit manufactuere;ICM)：集積回路（ＩＣ）を製造する団体。ＩＣＭは、ＩＣを製造するためのＦＡＢを、１個以上有する。ＩＣを製造するためのツールは、ＩＣＭのＦＡＢに収容される。
アクティブ・セッション：セッション提供サービス（遠隔ツール操作やファイル転送等）と人々とが相互に作用し合うような状態になっているセッション。上級管理者は、セッションの作成時に、そのセッションを“アクティブ”に指定する。
認証：人を識別するための手順であり、ユーザＩＤおよびパスワードによる方法が一般的である。
認可：人に許される行為（ファイル転送等）を決定するための手順。
データ供給：リアルタイム装置データへのアクセスを可能にするサービス。一般に、データは、ユーザ・トピック（キュー(queue)のようなもの）に転送される。
データ保存：装置データを収集してデータをデータベースに格納するサービス。
委託管理者：上級管理者によって管理の職務を与えられた人。この任務を負う人は、ＩＣＭ施設の従業員であっても良いし、供給業者の従業員であってもよい。
ｅセンタ・アプリケーション・サーバ（ｅセンタ・アプリケーション、ｅセンタ・サーバまたはｅセンタ）：ユーザやツールに、基本的なｅセンタ機能と、複数のセッションやサービスとを提供する。
ｅセンタ企業体サーバ：相互比較のために多数のサイトからツール生産データを収集する機能を提供する。
ファイル転送：ツール・コンピュータから人へファイルを転送することができるとともに人からツール・コンピュータへファイルを転送することができるサービス。
ＩＣＭ施設上級管理者：ＩＣＭに雇用された専門職従業員。ＩＣＭ施設上級管理者（または単に上級管理者とも言う）は、セッション、ユーザ、フィルタ、サービスおよびツールの設置や管理を行う責任がある。また、上級管理者は、ユーザパスワードやアクセス権を割当てたり、適当な管理業務委託を行ったりする。
パッシブ・セッション：ユーザとセッション提供サービスとが相互に作用し合うことは認めるが、ユーザとツールとが相互に作用し合うことは許可しない状態のセッション。ユーザは、閲覧のみを行う権利を有する。例えば、ユーザは、遠隔ツール・コンピュータのデスクトップに行くことはできるが、動作を閲覧できるだけである。上級管理者は、セッションの作成時に、そのセッションを「パッシブ」に指定する。
特権：遠隔ツール操作等のサービスへのアクセスを上級管理者が認可または否認することによって設定される許可。アクセス特権を設定することにより、上級管理者は、制限されたデータへのユーザアクセスを管理する。
セッション：ツールとユーザとの間でデータを共用するための手段。遠隔ユーザからツール・データへの要求はセッションを介して送られ、ツールに直接アクセスすることはない。セッションは、ツールに関する特定のサービス（ファイル転送、遠隔ツール操作或いはセッション参加者間のオンラインチャット等）を提供する。
セッション参加者：セッションに、協力のためまたは協力し合うために参加する人。参加者は、ＩＣＭ施設の従業員であってもよいし、ツール製造業者の従業員であってもよい。
サービス：ｅセンタ環境でのサービスとして実行される、ファイル転送、遠隔ツール操作、チャット、データ供給およびデータ保存。
ステージ領域：ＩＣＭ施設内に配置された、セキュリティ確保のためのサーバ。ツール・コンピュータからユーザへファイルを転送するときやユーザからツール・コンピュータへファイルを転送するときは、ツール・コンピュータへ直接アクセスされることはなく、ステージ領域を介してツールからのファイル転送やツールへのファイル転送が行われる。
遠隔ツール操作(Remote Tool Operation;RTO) ：ツール・コンピュータの遠隔操作或いは遠隔コンピュータで行われている操作の閲覧を、全てリアルタイムに、ユーザに対して認めるサービス。共同クライアントプログラムを使用することにより、ユーザは、ツール・コンピュータのデスクトップ（または制御スクリーン）を見て、物理的に存在するかのようにツールを操作することができる。ｅセンタが、ウィンドウズ（登録商標）(Windows(登録商標)) 動作環境、ＡＩＸ動作環境、ＵＮＩＸ（登録商標）派生系動作環境、リナックス(Linux) 動作環境およびソラリス(Solaris) 動作環境への遠隔接続をサポートする。
ツール：半導体製品の何らかの構成部分を製造する装置。一般に、ツールは、ＩＣＭ施設の、安全性が高い限定区域内に設けられている。各ツールは、コンピュータを内蔵している。
ツール・コンピュータ：ツール内に内蔵されたコンピュータ。ツール・コンピュータへのアクセスは、ユーザアクセス特権によって管理される。ツール・コンピュータとしては、ウィンドウズ（登録商標）システム、ＡＩＸシステム、ＯＳ／２システム、ＵＮＩＸ（登録商標）派生系システム、リナックスシステムまたはソラリスシステムが可能である。
ツール・コンソール・オペレータ：通常は物理的にツール・コンピュータ毎に存在する人物であり、上級管理者がツール・コンソール・サーバの管理特権を割り当てた人である。ツール・コンソール・オペレータは、ツール・コンピュータを遠隔操作しようとする人に対して、最終的な承認を与える責任がある。
ツール・コンソール・サーバ(Tool Console Server;TCS) ：ツール・コンピュータ上で動作するｅセンタの一部分を成し、ＲＴＯへのアクセス管理やＲＴＯに関する情報提供を行う。安全サーバへの緊急優先接続を可能にし、ツール状態の更新を行う。
ツール・ゲートウエイ・サーバ：ツール・ゲートウエイ・サーバは、１台以上の一般的な２００ｍｍツールや３００ｍｍツールに対して、サポートを提供する。ツール・ゲートウエイ・サーバは、ツールアクセスを提供し、ツール・データの安全性を確保し、ツール状態を管理する。
安全サーバ：ツール・ハードウェアと連携して、より優れた操作安全策を提供するシステム。
ユーザ：通常は、遠隔のＯＥＭ生産技術者、ＩＣＭツール専門家、ツール・コンソール・オペレータまたは上級管理者。上級管理者は、セッションに参加する人を選択し、さらに、各人がアクセスできるツールやサービスを決定する。
以下、本発明の好ましい実施形態を詳細に説明する。特定の代表的な実施形態が説明されるが、これは、例示のためにのみ行われることが理解されるべきである。当業者は、本発明の精神および範囲から離れることなく、他のコンポーネントおよび構成を使用できることを認識するであろう。
ここで図面を参照すると、図１は、本発明に係る、遠隔ツール操作、遠隔データ収集および遠隔制御の統合体を診断するシステムを示す。このシステムは、一般に、１社以上の製作業者（ＦＡＢ）１０２ａ、１０２ｂ（全体として１０２）を含み、これらは、それぞれの安全な共通接続１０４ａ、１０４ｂおよびインタネット１０６を介して、ツールを製造する１社以上の原製品製造業者（ＯＥＭ）１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃ（全体として１０８）に繋がれる。安全共通接続１０４としては、例えば、バーチャル・プライベート・ネットワーク（ＶＰＮ）やサービス・ネット接続が使用できる。サービス・ネット接続により、他の方法では複数のＶＰＮ接続が必要になるような多数の顧客が、１本の接続にアクセスできるようになる。ツールは、ＦＡＢ１０２で、使用される。さらに、製造業者本部１１０も、自己の安全共通接続１０４ｃを介して、ＯＥＭ１０８および他のＦＡＢ１０２に接続することができる。ＯＥＭも、自己の安全共通接続１０４ｄ、１０４ｅ、１０４ｆを介して、インタネット１０６に接続される。
図２は、本発明によるＯＥＭ１０８の代表的な実施形態を示す。ＯＥＭは、内部ファイアウォール２０２を介して、その安全共通接続１０４に接続することができる。例えばローカル・エリア・ネットワークなどの内部ネットワーク２０４を、ファイアウォール２０２に接続することができる。さらに、１以上のｅセンタ・クライアント２０６および１以上のｅセンタ企業体サーバ２０８を、内部ネットワーク２０４に接続することができる。また、企業体サーバ２０８は、ｅセンタ・サーバでもよい。
図３は、本発明による製造業者（ＦＡＢ）１０２の代表的な実施形態を示す。ＦＡＢ１０２も、内部ファイアウォール３０２を介して、その安全共通接続１０４に接続することができる。例えばローカル・エリア・ネットワークなどの内部ネットワーク３０４を、ファイアウォール３０２に接続することができる。ＦＡＢ１０２は、ｅセンタ企業体サーバ３０６と、１以上のｅセンタ・クライアント３０８と、ｅセンタ・サーバ３１０と、１以上のツール・ゲートウエイ・サーバ３１２ａ、３１２ｂ（全体として３１２）とを備えることができる。
各ツール・ゲートウエイ・サーバ３１２は、一般的なφ２００ｍｍウエハ用やφ３００ｍｍウエハ用のツール３１４のサポートを提供する。また、複数の当該ツール３１４を、１つのツール・ゲートウエイ・サーバに接続してもよい。ツール・ゲートウエイ・サーバ３１２は、例えば、SECS/HSMS, E98 OBEM、ファイル転送、カスタムデータ収集機能、遠隔操作、およびセンサ・データ用のツールアクセスを提供し、既存のＦＡＢ設備（例えば、ステーションコントローラ、ＭＥＳなど）と共存する。ツール・ゲートウエイ・サーバ３１２は、稼働を停止せずに部品交換を行える。また、各ツール・ゲートウエイ・サーバ３１２は、例えばデータ証明、データ暗号化および被保証データ配信を提供することによって、データを安全にする。また、ツール・ゲートウエイ・サーバ３１２は、ツール状態の管理、セッション構成、ＭＥＳインタフェース、セキュリティ・ゲートウエイ、および、ユーザによる構築が可能なビジネス・ルールを備える。
安全なサービス・ネットワークが、すべての構成要素にとって安全な通信を提供する。各ＯＥＭ１０８に接続された１本の安全共通接続１０４は、多数のＦＡＢ１０２に接続することができる。同様に、各ＦＡＢ１０２に接続された１本の安全共通接続１０４は、多数のＯＥＭ１０８に接続することができる。各ＯＥＭおよびＦＡＢの安全共通接続は、対応する分離ＬＡＮで終端することができる。サービス・ネットは、脆弱性に対する耐性があり、ファイアウォールの外側のいかなるアプリケーション／ロジックまたはデータベースも含まず、ＯＥＭおよび／または顧客との非認可のクロス接続を防止する。各構成要素（ＯＥＭまたはＦＡＢ）は、自己のデータを管理する。
ソフトウェアとネットワークモデル
図４は、ｅセンタ・フレーム・ワークの代表的な実施形態を示す。このｅセンタ・フレーム・ワークは、ＦＡＢ区域１０２に設置されている。ＦＡＢ区域１０２は、１台以上の自動半導体製造ツール４０２を収容している。自動半導体製造ツール４０２は、それぞれ、ツール・コンソール・サーバ４０４と接続されている。ツール４０２およびツール・コンソール・サーバ４０４は、第１ファイアウォール４０６の後方にあり、防御ゾーン（ＤＭＺ）４０８から分離されている。ＤＭＺは、ファイアウォールによって保護された、ＩＣＭ施設内の特殊なネットワーク・セグメントである。ＤＭＺ４０８内の１以上のツール・ゲートウエイ・サーバ４１０は、ツール・コンソール・サーバ４０４に結合されており、且つ、第２ファイアウォール４１４を介してアプリケーション・サーバ４１２へアクセスする。ｅセンタサーバ４１２は、第２ＤＭＺ４１６内に設けられることが望ましい。但し、本実施形態の一例として、ＤＭＺ４０８およびＤＭＺ４１６が１つのＤＭＺに統合されてもよい。アプリケーション・サーバ４１２は、第３ファイアウォール４２０を介して、ＨＴＴＰサーバ４１８に結合されている。このＨＴＴＰサーバ４１８は、インタネット等の外部ネットワークへアクセスすることができる。クライアント４２２は、例えば原設備製造業者（ＯＥＭ）に配置されており、ツールや、アプリケーション・サーバ４１２が提供するサービスに、ＨＴＴＰサーバ４１８を介してアクセスする。ｅセンタサーバ４１２は、例えば、タイムスタンピング４２４、業務論理４２６、メッセージング４２８、データベース保存４３０およびセキュリティ４３２を提供することができる。また、クライアント４２２は、クライアントが接続できるＦＡＢを示す顧客リスト４３４や、クライアントのユーザがシステム内の他のユーザと通信するのを可能にするチャットサーバ４３６へ、アクセスする。
本発明のファイアウォールは、ＩＣＭが設定したセキュリティ・ポリシーに基づき、これらのネットワークに対する接続のうち認可された接続のみが認められるように構成することができる。ソフトウェアは、例えば、ジェイボス(JBoss) 或いはＩＢＭのウェブスフィア(WebSphere) などのジャバ(Java(登録商標))技術をベースにしたアプリケーション・サーバを使用しており、これによって、ローカル・データベースまたは企業データベースと処理システムとが相互に連携し合えるようになる。アプリケーション・サーバは、ｅセンタサーバおよびツール・ゲートウエイ・サーバのサポートを含む、ＤＭＺ内の他のｅセンタコンポーネントの配備環境を提供する。ツール・ゲートウエイ・サーバは、ＩＣＭ内のツール複合体に対してデータおよびツールの標準化を行い、かつ、ツールとｅセンタ・アプリケーションとの間の通信インタフェースとして動作する。
ツール・ゲートウエイ・サーバの主たる目的は、ツールからデータを収集して、そのデータをシステムに伝送できるようにすることである。ツール・ゲートウエイ・サーバによって収集・処理されたデータは、ＸＭＬに変換されて、ｅセンタ・アプリケーションに送られる。ツール・ゲートウエイ・サーバは、アイプラネット(iPlanet) ＬＤＡＰ製品などのディレクトリ・サーバを使用して、ツールについての情報を記録する。ＩＢＭのウェブスフィアＭＱなどのメッセージング・システムは、データを暗号化ＸＭＬとして送信する機構を提供する。ツール・ゲートウエイ・サーバ・ソフトウェアは、例えば、ＳＥＣＳ、ＨＳＭＳ（Ｅ４およびＥ５を受け継いだインタフェース）および現在のSemi Ｅ９８標準をサポートすることができる。また、このソフトウェアは、ＩＣＭのＭＥＳへのコネクタを提供し、そのため、真のＥ１０状態を記録することができる。
サービス処理アプリケーション（以下ｅセンタ・アプリケーション）は、セッションおよびサービスのための、中心となる処理手段である。セッションは、ユーザ、サービスおよびツールを相互に連携させるために使用される。セッション・サービスは、認証および認可、ファイル転送機能、遠隔装置操作、決定ロジック、リアルタイム・コラボレーション（チャット）、データ供給およびデータ保存を含む。
ｅセンタ・アプリケーションは、遠隔ユーザに、ツール診断、測定、命令の結果やユーザ・プログラムを、アクセス、アップロード、ダウンロード、実行および分析する機能を提供する。さらに、遠隔ユーザは、あたかもツールがある場所に居るかのように、ツール・コンピュータのデスクトップへアクセスすることができる。このような遠隔ツールへのアクセスを安全に行うために、ｅセンタ・アプリケーションは、ＯＥＭからＩＣＭおよびＩＣＭからＯＥＭに、ＨＴＴＰとアプリケーションレベルのプロキシ・サービスとを提供する。遠隔ユーザによるツールへのアクセスは、ＤＭＺ内のプロキシ・サーバを介して可能にされる。プロキシ・サーバは、外部要求が確認された場合にのみ、ｅセンタ・アプリケーションによって作成され、開始される。インタネットおよびイントラネットを基盤とした通信は、すべて暗号化される。
ｅセンタ・アプリケーションは、詳細に後述するように、ディレクトリおよびファイルをコピーするためのファイル転送機能を提供する。ｅセンタは、ツールからユーザへのファイル転送およびユーザからツールへのファイル転送を可能にする。ツールが直接アクセスされることはない。その代わりに、ファイルは、ＤＭＺ内のステージ領域を介して、ツールから或いはツールへ転送される。転送は、２ステップのプロセスである。ダウンロードリ要求がツール・ゲートウエイ・サーバに受信されると、ファイルはツールから転送されてステージ領域に送られ、さらに、ｅセンタ・アプリケーションによって処理される。セキュリティを確実にするために、ディレクトリおよびファイルを取り扱う特権をマップ化してユーザに告知する必要がある。適格性があると判定されたファイルのみが、ダウンロードまたはアップロードできる。各転送は、例えば日時毎および転送を行ったユーザ毎に記録することができる。また、ツール・ファイルが置換えられた場合、ファイルにはバージョン番号が与えられる。このバージョン番号により、必要に応じて以前の動作レベルへ戻すことが可能になる。
データがツールから収集されると、ＸＭＬフォーマットのツール・ゲートウエイ・サーバは、これらのデータをｅセンタ・アプリケーションに送信する。ツールへ直接アクセスされることがないので、データに関する遠隔ユーザの要求は、セッションを介してルーティングされる。セッションは、ｅセンタ・フレームワーク内に設けられた、共同利用の基盤となるデバイスである。それは、データをツールからユーザに伝達する手段である。ツールから供給されるデータは、セッションを介して、ユーザに戻される。
データ供給サービスは、１個以上のフィルタに基いて、ＸＭＬを、指定されたメッセージ・フォーマットに変換する。フィルタとは、所定の変数であり、その値によってメッセージのフォーマットおよび内容が決定される。フィルタリングされたデータは、セッションが作成されたときに定義された特権に基いて、セッション参加者に放出される。オプションとして、ＩＢＭのＤＢ２などのリポジトリ内にデータを格納するようにセッションを構成して、後の分析や報告に役立ててもよい。
認証・認可エンジンは、ＩＣＭ施設内の秘密ツール・データに対して、認証・認可のための制御アクセスを行う。認証は、ユーザを識別する手順であり、例えばユーザ名および有効なパスワードを要求する。認可は、ユーザが求めていること（例えばファイルを転送すること）を許可するか否かを決定する手順である。ｅセンタは、Ｘ．５０９標準および生物測定技術に基づき、ポリシー管理者ツール（バルチモア・セレクトアクセス等）をＬＤＡＰに基づくユーザ・リポジトリ・ディレクトリ（アイプラネットサーバ等）と組合せることによって、認証・認可サービスを提供する。
ポリシー管理手段は、ルールと役割とに基づくセキュリティ・ツールであり、ユーザが閲覧できる内容や、遠隔ツール操作、ファイル転送、データ供給等のツールサービスにアクセスするためにユーザが持ち得る特権を、管理する。ユーザと動作および供給源とは、ペアである。ｅセンタ管理者は、ユーザを作成した後で、特定セッションに必要な動作および供給源のみに対する許可を個別に割当てればよい。ＬＤＡＰ互換性ディレクトリ・サーバには、ユーザ・プロファイル、ポリシー、セッション、およびツールを示すオブジェクトが格納される。ｅセンタ・アプリケーションは、ユーザから要求を受信したときはいつも、この要求をポリシー管理手段に送って、ユーザが有効なユーザ名およびパスワードを有することまたは当該個人が要求動作の許可を有することを保証する。ユーザ証明書は、ＬＤＡＰディレクトリ・リポジトリに格納される。
セッションの参加者はリアルタイムに通信できなければならないため、ｅセンタは、例えばロータス・セイムタイム(Lotus Sametime)等のチャット用ソフトウェアのサポートを提供する。このサービスは、セッションが開始されるときはいつも、開始される。全てのセッション参加者は、即座に相互通信することができる。
各ツーリング環境が有するビジネス要件はそれぞれ相違し且つ多くの場合は複雑であるため、ｅセンタ・アプリケーションは、決定ロジックを用いてサービス要求が有効であるか否かを決定する機能を有する。サービスは、提供されることもあるが、拒否されることもある。例えば、セッションの参加者が、遠隔操作を行おうと試みるが、必要なレベルのセキュリティ許可を有していなかったと仮定する。ユーザは、メッセージにより、当該特定ツールにアクセスする認可を受けていないことを告知される。また、このソフトウェアは、発生する動作をすべて記録する。
ｅセンタは、顧客毎のビジネス・ルール或いは決定ロジックを作成する手段を提供する。決定ロジックは、ＩＣＭのビジネス・ルールや手順に基いて、別の場所でのウエハ生産プロセスの監視を要求するために使用できる。さらに、必要であれば、ＤＢ２などのリポジトリを用いて、データを残すこともできる。
管理クライアントは、ＩＣＭ施設の内外の多数の場所から利用できる、ＨＴＭＬに基づくプログラムである。通常、ｅセンタ管理者は、管理クライアントを使用する。管理クライアントは、ＬＤＡＰサーバにリンクされたポリシー設定管理者ツールと連動する。管理者は、セッションを見出し、セッションを開始および停止し、セッションについての詳細を要求し、セッションのプロパティを見ることができる。
管理クライアントは、また、セッションを作成することができる。各セッションは、１人以上のユーザおよび１個以上のツールを認識するように構成される。各ユーザは、特定のツールに対するアクセスの許可／拒否に適用される特定のルール群を有する。
また、管理クライアントは、フィルタを適用することができる。管理クライアントは、管理者に、ＯＥＭユーザが見ることができるツール・データのタイプを制限させる。所定の値をサーチ基準として使用することにより、そのタイプのデータおよび値を有するメッセージのみを表すＸＭＬデータを発行することができる。データ・フィルタは管理者によって作成され、管理者は、条件および条件値とともに、フィルタを作成する。
また、管理クライアントは、セッションを検査することができる。ｅセンタは、システム全域でのイベント（ユーザのログオン等）を追跡するためのログ閲覧手段を提供する。管理者は、１人以上の参加者および１個以上のセッションについて、セッション動作に関わるイベントの履歴および順序を閲覧することができる。動作については、日付、時間、動作およびユーザ情報が記録される。
ＯＥＭは、様々なＦＡＢサイトで、ｅ診断セッションへの参加を希望できる。管理クライアントは、適切なツールを容易に発見して接続できるようにするために、顧客ページと呼ばれるユーティリティプログラムを提供する。この顧客ページにより、認可を受けた遠隔ユーザは、ＦＡＢ内の正しいｅセンタ・アプリケーション・サーバに接続することができる。
認可された遠隔ユーザは、顧客ページからｅセンタ共同クライアントを開始することができる。しかし、ユーザは、共同クライアントにログオンできるようになる前に、このページから顧客名を選択しなければならない。顧客名は、ユーザが遠隔ツールにアクセスするできるようになる前に、セットアップされていなければならない。ｅセンタ・アプリケーション・サーバ上のルート・ディレクトリ内には、customers.xml と称されるファイルが存在する。上級管理者は、適切な顧客名を付加して、このファイルをセットアップしなければならない。これらの顧客名に対応するツールおよびツール・コンピュータは、認可されたユーザが診断・修理のためにアクセスすることを認めている。
共同クライアントは、ＩＣＭ施設外のユーザが、ＩＣＭ施設内の制御された環境に、特定の目的で進入することを認める。ユーザは、ＯＥＭ生産技術者またはＩＣＭツール専門家であってもよい。確認されたユーザは、ＩＣＭ内のリアルタイム・ツール・データにアクセスするために、セッションに参加することができる。アクティブ・セッションから、ユーザは、アクセスルールにしたがって、リアルタイム遠隔装置操作に参加し、ファイルをアップロードおよびダウンロードし、そのセッションに参加している他のユーザとチャットすることができる。
Ｉ．セッション管理方法論
従来のＩＣＭ／ＯＥＭ基本設備では、半導体ツールが適切に動作しないときには、通常、ツール製造業者から技術サポート員が呼ばれて、それを診断・修理していた。この方法は、特にサポート員がツール設置場所の地元に居ない場合に、高価であるとともに長時間を要する。理想的には、サポート員は、誤動作直後にツールをチェックすべきである。これを可能にするために、ＦＡＢは、サポート員がシステムを遠隔診断できるようにすることが可能である。ツールおよびそのデータがＦＡＢまたはＩＣＭネットワーク上の全ての人に公開されることが無いように、ツールのアクセスは、セッションを介して制御することができる。セッションが設定されると、ユーザ（ＯＥＭクライアント）は、特定のツールへアクセスすることができる。この方法論により、ＦＡＢは、ツールへアクセスした者、アクセスの時刻、アクセスの目的を制御することができるようになる。ツール・サポート員やツール・ユーザにとって、セッションは仮想的な会議場のようなものである。
図５に示したように、代表的な実施形態に係るセッション５０２は、１人以上のユーザ５０４と、これに対応する１台以上のツール表示５０６，５０８とを有し得る。各ツール表示は、そのツール表示からユーザに提供することができる複数のサービス５１０を有し得る。かかるサービスとしては、例えば遠隔ツール操作やファイル転送が含まれる。ツール表示５０６，５０８は、それぞれ、物理的なツール５１２，５１４をｅセンタで表示したものである。この説明では、物理的なツールとツール表示とは、特に明記しない限り同義である。
セッションは、ツールからエンドユーザへ送られるデータ或いは情報を変換或いは処理する作業の単位を表している。ｅセンタ・セッションは、ソースとしてプロデューサを有することができるとともに、エンドポイントとしてユーザまたは出力を有することができる。セッションは、プロデューサによって生成されたデータを変換し、ユーザに配信する。プロデューサは、データを生成するコンポーネントである。プロデューサとしては、別のセッション、ツール・データまたはデバイスデータを使用できる。ユーザは、セッションによって変換されたデータの消費者である。例えば、異なるセッションまたは受信者が、ユーザと成り得る。プロデューサ群は、１個のセッション内で、異なるプロデューサとユーザとを論理的に連携させる。例えば、プロデューサ１からのデータが、ユーザ１およびユーザ２に達する。
本発明のシステムでは、セキュリティ・アクセス・ルールにしたがって、データをミキシングしたり、そのデータを異なるユーザに異なる状態で送信したりすることが可能である。このシステムは、ユーザ・プロデューサ間の連携に基いて、データのプロデューサ群を異なるユーザに接続したり、ＸＭＬで記述された情報を発信したりする。
ＩＩ．セッションサービス方法論
また、セッションは、ユーザと利用可能サービス群との対応関係を含む。これらのサービスは、遠隔ツール操作、ファイル転送機能、チャット、データ・フィルタリング、データ持続およびデータプロキシを含む。
セッションは、ユーザからツールへのアクセスを制御する。本発明のシステムは、セッションに属するサービスを制御することができる。サービスは、セッションのコンポーネントであり、ユーザがツールにアクセスする機能（例えばＦＴＰや遠隔ツール操作）に関連している。また、セッションを、分類することも可能である。例えば、セキュリティ・レベルに基いて、「最高機密」、「機密」、「非機密」に分類することができる。ユーザとツールとの対応関係を作成することも、可能である。
Ａ．データ供給サービス
ｅセンタ環境において、データ供給サービスは、ツールから出力される装置データをリアルタイムに取得する手段を提供する。データ供給サービスが動作しているとき、ｅセンタ・アプリケーション・サーバは、ツール・トピックと呼ばれる特殊な到着先で、ＸＭＬを受信する。ツールへの直接のアクセスは無いので、データについての遠隔ユーザの要求は、セッションを介して送信される。データがツールから収集されると、当該データは、ＸＭＬフォーマットで、ツール・ゲートウエイ・サーバによってｅセンタ・アプリケーション・サーバに送信される。ツール・トピック（キューと同様）は、ツールから受信したＸＭＬを適切なユーザ・トピックに転送するために、使用される。ユーザ・トピックは、現在動作しているセッションに関連するユーザを表している。ツールから流出したデータは、セッションを介してユーザに戻される。
図６は、ユーザ６０４とツール６０８とを有するセッション６０２の代表的な実施形態を示している。ここで、ツール６０８によって提供されるサービスの１つが、データ供給サービス６１０である。データ供給サービス６１０は、データがＸＭＬに変換されてツール・トピック６１６，６１８に受信された後で、ツール６１２，６１４のそれぞれからデータを収集する。そして、データ供給サービス６１０は、ユーザ・フィルタ６２０を用いて、ツール・データをさらに変換することができる。フィルタリングのより詳細な説明については、後述する。次に、フィルタリングされたデータが、ユーザ・トピック６２６に受信されて、ユーザ６０４が利用できるようになる。管理クライアント６２２は、アプリケーション・サーバ６２４上で、セッション６０２を開始している。データが、ツール６０８から受信され、変換され、フィルタリングされると、ＦＡＢネットワーク外のユーザが共同クライアント６０６を介して当該データを利用できるようになる。
加えて、共同クライアント６０６は、装置データの傾向を示すラインが表されたグラフを、ユーザに対して表示する。さらに、リポジトリ（ＤＢ２など）内にツール・データを格納するようにセッションを構成してもよい。これにより、機密データが公になる危険性を低減することができる。
Ｂ．データ・フィルタリング・サービス
セッションは、同じセッションに接続された全ユーザにデータを提供し、フィルタはユーザおよび／またはツール毎に定義される。異なるデータを必要とするユーザがいる場合、別のフィルタを使用して当該データを当該ユーザに提供する。
また、セッションは、フィルタを基盤とするサービスを含む。これらのタイプのフィルタ・サービスは、アクセスするユーザ、アクセスされるデータおよびユーザが閲覧できるフォーマットを規制する。例えば、特定のツールが、動作温度を報告するようにしてもよい。１ユーザに対応する１フィルタのみが当該ユーザの温度読み出しを認めるようにしてもよいし、温度が特定値例えば５０度を超えた場合にのみユーザの温度読み出しを認めるようにしてもよい。第２ユーザに対応する他のフィルタが、単に、温度がしきい値より高い場合には温度が“高い”ことを示し、温度が第２しきい値より低い場合には温度が“低い”ことを示すこととしてもよい。二番目のケースでは、ＯＥＭは、ＩＣＭユーザがツールの精密な温度を知ることを望まないであろうが、温度の上昇或いは下降をユーザに警告することは望むであろう。また、フィルタは、ＯＥＭが多数のツールからデータを収集することをＩＣＭが認めたくない場合に、そのような収集を防止することができる。フィルタは、例えばＸＳＬで実現することができる。フィルタは、特定のユーザ、ユーザ・タイプ、データ・タイプ、および、データおよびアクセスの他の多くのパラメータに対処するように設計することができる。
１．ＸＳＬデータ・フィルタリング方法論
ＸＳＬフィルタを使用して、ＯＥＭに公開する前の秘密ＦＡＢデータを、変更し、フィルタリングしおよび／または変換することによって、保護することができる。ＦＡＢデータは、ＸＳＬにより、エンドユーザ・データに変換することができる。これにより、ＯＥＭクライアントが、ツールによって生成されたリアルタイム・データ（ＦＡＢ用語で“レポート”と呼ばれる）を分析することにより当該ツールを遠隔で診断することを、可能にする。フィルタの処理には、インタフェースを介してツールに接続する処理や、未処理フォーマット・データを取り込む処理や、当該データを人間が読める（ＸＭＬに基づく）フォーマットに変換する処理が含まれる。望ましくないデータ集合の防止したり秘密データの保護したりするためには、ＯＥＭクライアントに配信する前に、ツール・データを変換すればよい。
データ・フィルタリング方法論は、ＸＭＬとＸＳＬとの組合せに基いている。例えば、ツール・データがＸＭＬベースであり、セッション・ルールまたはポリシーなどのデータ変換がＸＳＬベースであり、変換の出力がＸＭＬベースである。この方法論を用いることによって、ツールが生成するあらゆる情報を制御することができ、各ユーザ、各ツール、および各セッションが、それ自体のルール／ポリシーを有することができる。
Ｃ．遠隔ツール操作（ＲＴＯ）サービス
ツールを診断する際には、サポート員またはＯＥＭクライアントがあたかもツールのスクリーンの前に居るかのように診断操作を行えることが望ましい。本発明の代表的な実施形態では、ＯＥＭクライアントがツールの前に居ることを、仮想的に可能にする。本発明は、スクリーン・キャプチャおよび暗号化情報ストリーミングを用いて、情報をクライアント・アプリケーションに送信する。そして、ＯＥＭクライアントは、ツールの設置場所に拘わらず、当該クライアントのみに対してクライアント・アプリケーションを実行する。情報転送のセキュリティを増大させるために、産業強度暗号パッケージ(industry strength cryptographic package) を使用して情報を暗号化することができ、且つ、プロキシ技術を用いてファイアウォールに対抗することができる。
本発明のシステムは、クライアントのオペレーティング・システムに拘わらず、ツールス・クリーンをリアルタイムで観察することができる。ＲＴＯサーバは、ツールに設置されており、クライアントがツールから情報を検索することを可能にする。ＲＴＯ基盤設備は、スクリーン情報を安全共通接続を介して遠隔クライアントに送る際の、プロキシである。このプロキシは、生産設備がある場所のツールを遠隔操作するために使用される。遠隔操作には、遠隔制御およびビデオ観察も含まれる。独自のプロキシにより、通信ソケットの安全化や接続性方式の柔軟化が図られている。遠隔ツール操作は、ｅセンタ・セッションから制御することができる。このとき、ツールの制御が同時に許可されるのは、１人のユーザのみである。
また、本発明の代表的な実施形態では、ツールを遠隔操作および遠隔診断できることに加えて、半導体プロセスツールのソフトウェア・アプリケーションに対する保守点検を遠隔管理することができる。この遠隔管理により、ＯＥＭクライアントは、ツールの近くに居なくても、ツールで展開されたすべてのソフトウェアを遠隔で保守できる。
Ｄ．管理された／共用されたファイル転送サービス
本発明の管理／共用されたファイル転送機能は、システム管理者が、ツールに転送せきるファイルの種類や、転送元、転送時刻を制御することを可能にする。第１に、ファイルは、ツールに直接転送することもできないし、ツールから直接転送されることもできない。すべてのファイルは、まず、ｅセンタのセッションおよびツール毎に設けられたステージ領域に送られなければならない。ステージ領域に達した後でのみ、ファイルは、ツールに転送されることができ或いはツールから転送されることができる。第２に、システム管理者は、ツールに送信できるファイル形式や、ツール・ファイル・システム内のファイル格納場所を、セッション・ポリシーを用いて制御する。また、セッション・ポリシーは、例えばステージ領域にアクセスできるユーザを制御することができる。第３に、システム管理者は、時間間隔を定めてアクセスを許可することによってファイルをツールにアップロードできる時刻を制御したり、ツールが適切な状態でないときにファイルが変換されないようにしたりする。システム管理者は、多くの方法を用いて、ＯＥＭクライアントが閲覧できるツールのファイルを、選別することができる。選別方法としては、例えば、時間的な制限に加えて、ファイル名やファイル保存場所がある。
Ｅ．管理／共用されたＴＥＬＮＥＴセッション・サービス
ＯＥＭクライアントは、セッションで定義されたポリシーに基づき、ＴＥＬＮＥＴを使用してツールにアクセスすることができる。これらのポリシーは、システム管理者によって制御され、また、関連するセッション、ユーザおよびツール毎に個別に設けられる。ポリシーは、管理者に対して、ユーザ、ツールおよびセッションに関連するルールに基いてＴＥＬＮＥＴ部へのアクセスを制限することを、許可する。また、システム管理者は、最小限の侵入を行うことにより、ＯＥＭクライアントのすべてのＴＥＬＮＥＴ動作を、監視・記録することができる。ｅセンタ・セッションは、ＴＥＬＮＥＴセッションの集中制御機能を提供する。
Ｆ．ＸＭＬデータ保存サービス
本発明のシステムは、データベース、望ましくはキーワードに関連づけられたデータベース内に、半導体デバイスデータを格納することができる。ＸＭＬ文書形式のツール・データは、ＸＭＬタグをリストおよび項目に変換することによって、データベース内に格納するための平坦(flat)なデータになる。この平坦化により、ツール・データを、高速検索可能なフォーマットでデータベースに格納することが、可能になる。ツール・データは、セッションまたはツールに属するテーブル群に格納される。ツール・データは、格納前に変換してもよい。例えば、未加工データの代わりに、最小値、最大値または平均値を格納してもよい。
データベースの大枠および設定は、高性能を保証するためおよび検索のために調整される。格納の間隔は、ｅセンタ設置毎の独自の設定に適した方法で調整することができる。
データ格納部は、ツールから受信された情報を格納データベースに送るための、サポートを行う。このソフトウェアは、分類レベルをすべてのツール・パラメータに割当てる機能を有する。分類されたデータは、データベース内の、当該データが選択的に検索され得る位置に格納される。加えて、データを、圧縮ＸＭＬデータ、平均化データおよび精密データのいずれかの形式で格納してもよい。
圧縮データには、正規化されたイベント・ヘッダで圧縮されたイベントＸＭＬパラグラフが格納される。これにより、大容量の格納スペースを必要とせずに、データを、セマテック(SEMATECH)が推奨するＸＭＬフォーマットで、格納することができる。検索を受けるためには、データを伸長した後で解剖して、報告ツールがデータを十分に利用できるようにしなければならない。
平均化データは、高速検索が可能で且つ格納スペースが妥当なデータ格納を行うのに適した方法に、対応している。これを達成するために、平均間隔および保存期間が、予め定められる。平均間隔は、すべてのツール・パラメータ値を蓄積することができるような時間幅である。間隔が終了したとき、平均値、最小値、最大値および値が発生した回数のみが格納される。
データは、所定の保存期間を超えて保存されることはない。平均間隔および保存期間は、ともに、ミリ秒刻みで指定することができる。平均モードが選択された場合、精密なＸＭＬデータが、圧縮保存され続ける。すべての間隔はタイムスタンプされ、データがその間隔内に到達しないときはデータベースには何も登録されない。
精密なデータは、パラメータが高周波レートを有さないが、精密な値およびタイム・スタンプが非常に重要であり且つデータを迅速に検索しなければならないときに、使用される。平均データと同様、ＸＭＬパラグラフ全体が、圧縮されて格納される。
代表的な実施形態において、データ格納機構は、圧縮データを１５日間保存することができ、５秒おきの平均データを１日間保存することができ、１時間おきの平均データを１５日間保存することができる。
ＩＩＩ．セッション動作のバージョン制御およびロールバック方法論
バージョン制御およびロールバック機構は、ソフトウェアやデータベースのアプリケーションでは一般的であるが、そのような機構は、従来、リアルタイムにツールの診断および修理を行うｅ診断の分野には適用されていなかった。ツール設定および制御ファイルは変更が可能であるが、新しい操作が改善に当たらないような場合には、１操作ですべてを従前の設定に“ロールバック”することができる。例えば、ＯＥＭクライアントは、ツールにＦＴＰファイルをアップロードすることができる。本発明のシステムは、物理的アップロードの前に、ツールから現在のファイルを検索し、バージョンをファイルに割当て、ファイルを安全に格納することができる。この操作を行った後でのみ、システムは、新たなファイルをアップロードする。新たなファイルによってツールが好適でない動作をするようになった場合、当該ファイルの前のバージョンが管理者によって復元され、ツールを好適な動作状態に戻すことができる。ロールバック中にツールが不安定な状態ならないよう、ツールを、２台以上のＯＥＭクライアントから同時にアクセスされたり制御されたりしないように保護することができる。
ＩＶ．ｅセンタ・セッションの相互影響
ｅセンタ・セッションがその役割を果たすためには、いくつかの相互影響が必要である。ｅセンタ・セッションは、ユーザが活動できるようにするための、グラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）を有している。活動は、２つの主たる区分すなわち管理とユーザとに分けられる。管理者ＧＵＩは、セッションのメンテナンスと関連ユーザのアクセスとを可能にする。ユーザＧＵＩは、サービスとの相互影響と提供データへのアクセスとを可能にする。
例えば、図７は、デスクトップＧＵＩ７００を示す。ユーザは、デスクトップ７００から、利用可能なセッションを介して操縦することができ（図７のSession Navigator ７０２）、ツールを遠隔操作することができ（図７のRemote Operation７０４）、ツールに取付けられたカメラからビデオストリームを受信することができ（図７のVideo ７０６）、ツールの静止画像（高精細度分析のため）または他のデータファイルを受信することができ（図７のFile Transfer ７０８）、セッションにおけるユーザ相互の影響を検査することができ（図７のAudit Trail ７１０）、履歴データでデータ分析を行うことができ（図７のHistrical Data７１２）且つツール・ゲートウエイ・サーバの動作をチェックすることができる（図７のPOD Monitor ７１４）。
図８は、動作セッションリスト８００を示している。動作セッションリスト８００には、動作中のすべてのセッションが表示される。ユーザは、この画面から、必要なデータを受信するために、例えばセッション８０２，８０４などの特定セッションに参加することができる。加えて、ユーザは、現在動作中のセッションが当該ユーザの要求を満たさない場合に、ボタン８０６からセッションを作成することができる。
図９は、セッション・ナビゲータ７０２のＧＵＩを示している。セッション・ナビゲータ７０２は、処理項目を構成したりデータを確かめたりする方法の一つを使用する。セッション・ナビゲータ７０２は、ツールからＸＭＬメッセージ形式で受信したデータの詳細を見るための画面領域を表示する。例えば、ツール９０２において、特定のツール構成部品９０４からのデータを、データ・ウィンドウ９０６に表示することができる。
図１０は、ファイル転送・バージョン・パネル７０８を示している。ファイル転送・バージョン・パネル７０８は、ユーザがツール・ファイル１００２を転送することができるステージ領域１００４を表示する。例えば、新たなツール・データへの更新を、ステージ領域１００４を介して、ユーザの位置からツールに転送することができる。また、ファイル転送・バージョン・パネル７０８は、ツールにアップロードされたファイルのバージョンを制御するステージ領域として使用することもできる。ファイル転送・バージョン部は、ユーザが、ツールを支配する現在のパラメータ群を破壊する恐れを伴わずに、異なるツール更新を行うことを可能にする。
図１１は、検査形跡ＧＵＩ１７１０を示している。検査形跡ＧＵＩ１７１０は、ユーザ管理の一部を示しており、特に、ウィンドウ１１０２に表示された検査の形跡を示している。検査形跡ＧＵＩ１７１０は、システムに接続した全ユーザの動作、例えば、ユーザがシステムにログオンしたときの動作、ユーザがセッションの作成或いは参加をしたときの動作、アクセス違反が発生したときの動作を、保存することができる。
図１２は、本発明に係るデータ・ビューアＧＵＩ７１２の代表的な実施形態を示している。ユーザは、現在のツール・データにアクセスすることもできるし、１台のツールまたはツール群の保存履歴データにアクセスすることもできる。データは、様々な方式のグラフで表示することができる。例えば、ユーザは、ツールの温度グラフ１２０２とガス圧グラフ１２０４の組み合わせた表示を閲覧することができる。
図１３は、ツール・ゲートウエイ・サーバ状態インタフェースＧＵＩ７１４を示している。ツール・ゲートウエイ・サーバ状態インタフェースＧＵＩ７１４は、ツール・ゲートウエイ・サーバの状態をユーザがチェックするためのスクリーンを表示する。例えば、ユーザは、ツール・ゲートウエイ・サーバについての一般情報１３０２をチェックすることもできるし、例えばファン速度１３０４、プレーナ温度１３０６、ＣＰＵ温度１３０８またはＣＰＵ利用率１３１０等のより具体的な情報をチェックすることもできる。
図１４は、ｅセンタ業務ルールＧＵＩ１４００を示している。ｅセンタ業務ルールＧＵＩ１４００は、業務論理を、グラフィック的に更新する機能を提供する。ｅセンタ業務ルールＧＵＩ１４００を用いることにより、セッション操作に組入れることができる業務ルールを、作成できる。セッション動作は、業務ルールに基いて、制限されたり許可されたりする。また、セッション動作は、業務手順で定義されたｅメール送信やデータベース書込みなどの対外的行為を、誘発することができる。
Ｖ．接続性方法論
ＯＥＭとＦＡＢとの間にｅ診断システムを作成する際には、集合体間の直接接続または共通接続を確立する必要がある。かかる接続は、一般に、インタネット・アクセス或いは仮想専用網(Virtual Private Network;VPN) 接続を介して行うことができる。ｅセンタ・システムには、ＦＡＢからＯＥＭへの接続を可能にするための他の部品が、設けられている。
Ａ．サービス・ネット
サービス・ネットは、多数のＯＥＭと多数のＦＡＢとを相互接続できるようにするためのネットワーク接続である。サービス・ネットでは、ＯＥＭとＦＡＢとの組合せごとに専用のリンクを設ける必要がない。サービス・ネットと異なり、例えばＶＰＮでは、システム内の第１ＦＡＢから各ＯＥＭへの個別にＶＰＮ接続することになる。サービス・ネットでは、ＯＥＭへのアクセスを管理する外方向接続が１個存在する。例えば、各ＯＥＭからの１本のＶＰＮ接続を多数のＦＡＢに接続することができ、各ＦＡＢからの１本のＶＰＮ接続を多数のＯＥＭに接続することができる。
サービス・ネットは、ＯＥＭおよび／または顧客間の非認可のクロス接続を防止することによって、ＯＥＭおよびＦＡＢ構成要素すべてに対して通信の安全性を確保する。各構成要素は、自己のデータを制御する。この被仲介ネットワークにより、各構成要素は、分離独立して利用される。
図１５は、本発明に係るサービス・ネットの代表的な実施形態を示している。１台以上のＯＥＭ１０８は、それぞれ、ＤＭＺ・ｅセンタ企業体サーバ１５０２を含んでおり、さらに、ルータ１５０４を介してインタネット１０６に接続されている。ルータ１５０４は、ルータ／ファイアウォール／ＶＰＮを組み合わせたものであってもよいし、ルータ機能、ファイアウォール機能およびＶＰＮ機能を提供する個別の部品から構成されたものであってもよい。１台以上のＦＡＢ１０２は、それぞれ、ＤＭＺ・ｅセンタ・サーバ１５０６を含んでおり、さらに、ルータ１５０４を介してインタネット１０６に接続されている。ＯＥＭおよびＦＡＢ用のルータ１５０４は、それぞれ、安全な接続１５１０を介して、別個のＶＰＮデバイス１５０８に接続されている。各ＯＥＭおよびＦＡＢに対応するＶＰＮデバイス１５０８は、相互に分離する専用ＬＡＮ１５１２を終端している。さらに、専用分離ＬＡＮは、ｅ診断ＬＡＮ１５１４に接続される。ｅ診断ＬＡＮ１５１４は、ネットワークのハードウエアおよびソフトウエアの組み合わせであり、これらによりＯＥＭとＦＡＢとの論理的なポイント・ツー・ポイント接続が作成される。各ＯＥＭ１０８はいずれのＦＡＢ１０２にも接続し得るが、ｅ診断ＬＡＮ１５１４は、アクセス・ルールに従って、どのＯＥＭが特定のＦＡＢに実際に接続できるかを制御する。このように、ＦＡＢおよびＯＥＭに必要なのは、ｅ診断ＬＡＮ１５１４への１本の接続の管理だけである。次に、ｅ診断ＬＡＮは、ネットワーク上の他方の独立装置への接続を制御する。サービス・ネット１５１６は、ｅ診断ＬＡＮ１５１４と、専用分離ＬＡＮ１５１２と、ＶＰＮデバイス１５０８とから構成される。サービス・ネット１５１６は、ファイアウォールの外側のいかなるアプリケーション／ロジックまたはデータベースをも含まない。
ＶＩ．データ仲介システム
半導体装置の調整および診断においては、ツールが生産したウエハの歩留まりを理解するための、付加データを取得する必要がある。歩留まりは、ツールの設定に影響されるからである。多くの場合、このデータは、下流の処理工程で、他の販売会社から購入して追加したツールによって収集される。このデータをＯＥＭ装置メーカが相互利用することはなく、したがって、最適なツール設定は必ずしも達成されない。多くの場合、ＯＥＭ装置メーカは当該ツールからのデータを提示したがらない。このデータは、吟味されて、ＯＥＭツールに対する競争相手の批判に使用されたり、競争相手のツールを改良するために使用されたりするからである。これらのＯＥＭ供給業者であっても、当該データがウエハのデータに限定され、ウエハデータ収集方法のデータでない場合には、データの共用を望むようにすることが可能である。
このため、図１６に示したように、本発明の代表的な実施形態は、ＦＡＢ内の半導体ウエハ・データを仲介するシステム１６０２を備えている。この仲介システム１６０２は、ＯＥＭが特定の情報を提供することなく要求に応えることができるという条件を満たす場合に、特定のウエハに係るデータの要求を認める。ツール１６１０，１６１２，１６１４，１６１６からのデータは、フィルタ１６０８ａ，１６０８ｂ，１６０８ｃ，１６０８ｄによってそれぞれフィルタリングされ、ＸＭＬツール・データ１６０６としてデータ仲介システム１６０２に収集され得る。ＸＭＬツール・データ１６０６は、データベース１６０４に格納される。そして、各ツール１６１０〜１６１６からのウエハデータは、他のツールで利用することができるが、特定のツール情報は提供されない。
異なるツール・メーカに対してもデータに価値がある場合には、システムは、さらに、料金支払機構１６１８を備える。料金支払機構１６１８は、データのサイズ（例えばＭｂ）、データのタイプ（例えば計測学）または生産されるウエハのタイプ（例えば３００ｍｍ）ごとの支払いを含む、さまざまな計算法に基いて動作する。ＯＥＭは、ウエハデータを要求するとともに、この仲介システムを調べることができる。このシステムは、利用可能なデータと当該データに関連する料金とのリストを開示する。受入れ可能であれば、ＯＥＭ要求手段は、解析のためのデータをダウンロードすることができる。データは、標準ＸＭＬフォーマットで格納することができ、或いは、購入者が検討する可能性があるデータのリストを含むこともできる。
また、設備がある場所の生産性を全体的に向上させるために、データ交換を自動的に行うこともできる。例えば、下流の作業から上流のツールに自動的にデータを送って、生産作業の解析を行うこととしてもよい。性能向上のために、ツール設定を修正することができる。このデータは、仲介システムを介して送られ、様々なデータ供給装置の自律動作を支え、且つ、上流ツールの生産性向上を援助したことに対する金銭的報酬を提供する。
以上、本発明のさまざまな実施形態を説明したが、それらは、例示にすぎず、本発明を限定するものではないことを理解するべきである。したがって、本発明の広さおよび範囲は、上述の代表的実施形態のいずれによっても限定されるべきではなく、請求項およびそれらの均等物のみによって限定されるべきである。
本発明のシステムの代表的な実施形態のブロック図である。 本発明に係るＯＥＭ設置の代表的な実施形態のブロック図である。 本発明に係るＦＡＢ設置の代表的な実施形態である。 本発明に係る詳細なｅセンタＦＡＢ設置の代表的な実施形態である。 本発明に係るセッションの代表的な実施形態である。 本発明に係るデータ供給サービスの代表的な実施形態である。 本発明に係るデスクトップＧＵＩの代表的な実施形態である。 本発明に係るアクティブセッションリストの代表的な実施形態である。 本発明に係るセッションナビゲータの代表的な実施形態である。 本発明に係るファイル転送およびバージョニングパネルの代表的な実施形態である。 本発明に係る監査トレールＧＵＩの代表的な実施形態である。 本発明に係るデータＧＵＩの代表的な実施形態である。 本発明に係るツール・ゲートウエイ・サーバステータスインタフェースＧＵＩの代表的な実施形態である。 本発明に係るｅセンタ・ビジネス・ルール・インタフェースＧＵＩの代表的な実施形態である。 本発明のサービス・ネットの代表的な実施形態のブロック図である。 本発明のデータ仲介サービスである。

Claims (46)

  1. 少なくとも１台の自動製造ツールと、ツールコントローラと、内部の安全な格納手段とを有する製造設備内に設けられた、第１の内部ネットワークと、
    内部に安全な格納手段を有する原設備製造業者内に設けられた、第２の内部ネットワークと、
    外部ネットワークと、
    前記第１の内部ネットワークを前記外部ネットワークに接続する第１の安全な共用ネットワークと、
    前記第２の内部ネットワークを前記外部ネットワークに接続する第２の安全な共用ネットワークと、
    ｅ診断のために前記製造設備の前記ツールからのデータを前記原設備製造業者に伝送する安全なチャネルとを備え、
    前記ツールが、前記製造設備および前記原設備製造業者の少なくとも１つに対して専用のデータを生成する、
    ことを特徴とする遠隔診断システム。
  2. 前記外部ネットワークの中央サーバを使用することなく、前記専用データが、前記製造設備および前記原設備製造業者の内部にそれぞれ設けられた前記安全な格納手段に記憶されることを特徴とする請求項１に記載の遠隔診断システム。
  3. 前記安全なチャネルがセッションを備え、当該セッションが、
    特質を有するユーザと、
    データを生成する、特質を有するプロデューサと、
    前記ユーザの特質に基いて、前記プロデューサからのデータをフィルタリングするユーザ・フィルタと、
    前記プロデューサの特質に基いて、前記プロデューサからのデータをフィルタリングするプロデューサ・フィルタと、
    を備えることを特徴とする請求項１に記載の遠隔診断システム。
  4. 前記セッションが、前記ツールの遠隔操作、前記プロデューサからのフィルタリングされたデータ、前記ツールへファイルを転送し且つ前記ツールからのファイルを転送するファイル転送機能、前記ツールへのＴＥＬＮＥＴアクセス、および、前記ツールからのデータのデータの維持の、少なくとも１つを前記ユーザに提供することを特徴とする請求項３に記載の遠隔診断システム。
  5. プロデューサ群をさらに含み、当該プロデューサ群が、セッション内でプロデューサとユーザとを論理的に連携させることを特徴とする請求項３に記載の遠隔診断システム。
  6. 前記ユーザのフィルタおよび前記プロデューサのフィルタが、構成可能な／カスタマイズされたフィルタを使用することを特徴とする請求項３に記載の遠隔診断システム。
  7. 前記ツールの前記遠隔操作が、スクリーンキャプチャおよび暗号化情報ストリーミングを用いて、前記ツールのツール・スクリーンをリアルタイムに閲覧できるようにすることを特徴とする請求項４に記載の遠隔診断システム。
  8. 前記ツールの前記遠隔操作が、遠隔制御およびビデオ観察の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項４に記載の遠隔診断システム。
  9. 前記ファイル転送機能が、前記ツールに転送される前のファイルが転送され且つ当該ツールからのファイルが転送される、ステージ領域を含むことを特徴とする請求項４に記載の遠隔診断システム。
  10. 前記ステージ領域がセッションごとに設けられたことを特徴とする請求項９に記載の遠隔診断システム。
  11. 前記第１の内部ネットワークが、防御ゾーンと１個以上のファイアウォールとをさらに備え、当該防御ゾーンが前記１個以上のファイアウォールによって保護された前記製造設備内のネットワーク部品を含むことを特徴とする請求項１に記載の遠隔診断システム。
  12. 前記防御ゾーンが、ファイル・ステージ領域とプロキシ・サーバとを含むことを特徴とする請求項１２に記載の遠隔診断システム。
  13. 前記第１の内部ネットワークと前記第１の安全な共用ネットワークとの間の第１のファイアウォールと、前記第２の内部ネットワークと前記第２の安全な共用ネットワークとの間の第２のファイアウォールとをさらに備え、
    前記第１、第２のファイアウォールが、前記製造設備によって設定された１組のセキュリティ・ポリシーが認可した接続のみを各ネットワークに認めるように構成された、
    ことを特徴とする請求項１に記載の遠隔診断システム。
  14. 自動製造ツールの遠隔診断を行うとともに自動製造ツールからのデータを共用するためのシステムであって、
    ツールからデータを収集し且つ処理する動作を行うツール・ゲートウエイ・サーバと、
    サービスの特定の組み合わせを１台以上の前記ツールからユーザにを提供するように動作し且つユーザとプロデューサとユーザ・フィルタとプロデューサ・フィルタとを備えるセッションと、
    前記セッションおよびセッションサービスを処理するように動作するサービス処理アプリケーションと、
    ポリシー管理者と、
    管理クライアントと、
    共同クライアントと、
    複数の顧客業務ルールと、
    を含むシステム。
  15. 前記サービス処理アプリケーションが、認証、認可、ファイル転送、遠隔ツール操作、決定ロジック、構成可能なデータへの変換、データの格納およびリアルタイムの協働の、少なくとも１つのサービスを提供することを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  16. 前記ファイル転送の機能が、ユーザおよびツールの一方に転送される前にファイルを転送するための、ステージ領域をさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  17. 前記遠隔ツール操作サービスが、アプリケーション・レベルのプロキシ・サービスによって安全にされていることを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  18. 前記ユーザのフィルタおよび前記プロデューサ・フィルタが、当該ユーザおよび当該プロデューサの権利に応じて、ツールからのデータを、特定のフォーマットおよび内容を有するメッセージに変換することを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  19. 前記認証サービスおよび前記認可サービスが、ポリシー管理者ツールとＬＤＡＰに基づくユーザ・リポジトリ・ディレクトリとを組合せることによって提供されることを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  20. 前記ポリシー管理者が、ユーザが閲覧できる内容および遠隔ツール操作のためにユーザが有している権利を当該ユーザのルールおよび役割に基いて管理し、且つ、当該サービス処理アプリケーションから当該内容の要求を受信することを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  21. 前記リアルタイムの協働が、リアルタイムチャットであることを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  22. 前記決定ロジックが、要求したユーザの同一性および要求されたサービスのタイプに基いて、サービスの要求の妥当性を評価することを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  23. 前記複数の顧客業務ルールが、ツール使用を許可したりツール・データを公表する前の手続の実行を要求するために使用されることを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  24. 前記手続が、ツール生産プロセスの現場監視を含むことを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
  25. 前記管理クライアントが、ＨＴＭＬに基づいて構成され、且つ、管理者ユーザによるセッションの発見、セッションの開始・停止、セッションの詳細および特性の要求・閲覧、セッションの作成、セッションへのフィルタの追加、セッションの検査を行えるようにするための動作を行うことを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  26. 前記共同クライアントが、確認されたユーザのセッション参加する許可することを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  27. 前記ツール・ゲートウエイ・サーバが、前記ツールからデータを収集し、前記データを処理し、前記データをシステムに伝送することを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
  28. 前記処理が、前記ツール・データをＸＭＬに変換する処理を含むことを特徴とする請求項２７に記載のシステム。
  29. 自動製造ツールからデータを取得するステップと、
    前記データをフィルタリングするステップと、
    前記フィルタリングされたデータの標本サンプルを取得するステップと、
    前記サンプルを平均するステップと、
    前記平均サンプルを特定の期間記憶するステップと、
    を含むことを特徴とするデータ保存方法。
  30. ＸＭＬ文書を平坦化するステップを含むＸＭＬフォーマット保存方法であって、
    前記ＸＭＬ文書内のＸＭＬタグすべてが、リストおよび項目の少なくとも１つに変換されることを特徴とする方法。
  31. 製造設備から原製品製造業者へのＳＥＣＳデータの転送を仲介する方法であって、
    製造設備に配置された自動半導体製造ツールに遠隔接続するステップと、
    前記ツールのＳＥＣＳデータを開示するステップと、
    前記ツールへのホストとして動作するステップと、
    前記ツール・データを、原製品製造業者に、当該原製品製造業者がローカルであるかのようにプロキシするステップと、
    トンネルを使用して、前記製造設備から前記原製品製造業者に前記ツール・データを安全に転送するステップとを含むことを特徴とする方法。
  32. 企業体ファイアウォールを介して装置に遠隔接続する方法であって、
    ツールに遠隔接続するステップと、
    遠隔ツール操作を行うための基盤構造を起動するステップと、
    ｅ診断ソリューションを、遠隔ツール操作のための画面用プロキシに適用するステップと、
    設備区域に設けられたツールを遠隔操作するために使用され且つ遠隔制御およびビデオ観察が可能な基盤構造を起動するステップと、
    を含むことを特徴とする方法。
  33. 製造設備データ用のデータ・フィルタ構造にＸＳＬを適用する方法であって、
    前記原製品製造業者に開放される前の秘密の製造設備データを、ＸＳＬフィルタを用いて修正することにより、情報を保護するステップと、
    前記原製品製造業者に開放される前の秘密の製造設備データを、ＸＳＬフィルタを用いてフィルタリングすることにより、情報を保護するステップと、
    前記原製品製造業者に開放される前の秘密の製造設備データを、ＸＳＬフィルタを用いて変換することにより、情報を保護するステップと、
    を含むことを特徴とする方法。
  34. 請求項３３に記載の方法であって、
    ＸＳＬを使用して、前記製造設備データをエンド・ユーザ・データに変換するステップと、
    規則に基いて、前記エンドユーザデータを異なるユーザグループに分類し、且つ、当該ユーザグループ毎のフィルタリングを行うステップとをさらに含み、
    前記フィルタリングが、前記原製品製造業者へ開放される前に前記エンドユーザデータを修正し、且つ、当該フィルタが複数の変数（データのプロデューサ、データの顧客、データが生成されるときのツールの状態）に依存する動的すなわち非静的フィルタであることを特徴とする方法。
  35. 多数の製造設備および原製品製造業者の間の安全なネットワーク接続を管理するシステムであって、
    前記製造設備ごとおよび前記原製品製造業者ごとに１台ずつ設けられた複数のＶＰＮデバイスと、
    前記複数のＶＰＮデバイスのいずれか１台にそれぞれ接続された複数の専用分離ＬＡＮと、
    前記複数の専用分離ＬＡＮに接続され、且つ、認可ルールにしたがってそれぞれの前記原製品製造業者をいずれかの前記製造設備に接続するｅ診断ＬＡＮと、
    を含むことを特徴とするシステム。
  36. 安全な接続でいずれかの前記ＶＰＮデバイスに接続された複数のルータをさらに含むことを特徴とする請求項３５に記載のシステム。
  37. 前記ルータが、ルータの組み合わせ、ファイアウォールおよびＶＰＮデバイスであることを特徴とする請求項３６に記載のシステム。
  38. それぞれの前記専用分離ＬＡＮが、前記ｅ診断ＬＡＮへの１本の接続を維持することを特徴とする請求項３５に記載のシステム。
  39. 前記ｅ診断ＬＡＮが、ネットワーク・ハードウェアと、ネットワーク・ソフトウェアと、前記原製品製造業者と前記製造設備との間の論理的なポイント・ツー・ポイント接続を生成する手段とを含むことを特徴とする請求項３５に記載のシステム。
  40. 多数の製造設備および原製品製造業者の間の安全なネットワーク接続を提供する方法であって、
    複数の前記原製品製造業者のいずれかから送信された、複数の製造設備のいずれかへの接続要求を、ｅ診断ＬＡＮで受信するステップと、
    １人の前記原製品製造業者に対する１台前記製造設備へのアクセス認可を決定するステップと、
    前記原製品製造業者に対して前記製造設備へのアクセスが許可された場合に、安全なポイント・ツー・ポイント接続で、当該原製品製造業者を前記製造設備に接続するステップと、
    前記原製品製造業者に対して前記製造設備へのアクセスが許可されなかった場合に、前記原製品製造業者を前記製造設備に接続しないステップと、
    を含む方法。
  41. 前記ｅ診断ＬＡＮが、ネットワーク・ハードウェアと、ネットワーク・ソフトウェアと、前記原製品製造業者と前記製造設備との間の論理的なポイント・ツー・ポイント接続を生成する手段とを含むことを特徴とする請求項４０に記載の方法。
  42. 少なくとも１台の自動半導体ウエハ製造ツールを有する製造設備と、
    安全なサービス・ネットを介して前記製造設備に結合された複数の原製品製造業者と、
    前記ツールに関する情報を漏洩することなく、前記ツールによって製造された半導体ウエハについてのデータをいずれかの前記原製品製造業者に供給する手段と、
    前記提供されたデータの特質に基いて料金を収集する手段と、
    を含むことを特徴とする半導体ウエハデータ用のデータ仲介システム。
  43. 前記提供されたデータの特質が、データのサイズ、データのタイプおよびウエハのタイプを含むことを特徴とする請求項４２に記載のシステム。
  44. 前記データを供給する手段が、製造プロセスの前段のツールに当該ツールよりも後段のツールからウエハ・データを自動的に送ることによって、自動化されることを特徴とする請求項４２に記載のシステム。
  45. 前記料金収集手段が、利用可能データのリストを当該データの料金とともに提供することを含むことを特徴とする請求項４２に記載のシステム。
  46. 前記ウエハデータがＸＭＬフォーマットで格納されることを特徴とする請求項４２に記載のシステム。
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