JP2006344739A - 位置計測装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 複数の観察光学系の各々に適した計測タイミングで計測を行うこと。
【解決手段】
位置計測装置は、物体上に形成されたマーク11を複数の観察光学系12、14を介して撮像し、該撮像結果に基づいてマーク11の位置に関する位置情報を計測する。位置計測装置は、複数の観察光学系12、14の各々の計測タイミングを算出する演算処理部17と、前記各々の計測タイミングに従って複数の観察光学系12、14の各々を独立して制御する制御部16と、を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】
位置計測装置は、物体上に形成されたマーク11を複数の観察光学系12、14を介して撮像し、該撮像結果に基づいてマーク11の位置に関する位置情報を計測する。位置計測装置は、複数の観察光学系12、14の各々の計測タイミングを算出する演算処理部17と、前記各々の計測タイミングに従って複数の観察光学系12、14の各々を独立して制御する制御部16と、を備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、物体上に形成されたマークを計測する際に好適な位置計測装置及びその方法に関する。
従来より、レチクルとウエハの相対的な位置合わせを正確に行うために、投影レンズとオフアクシス観察光学系との間の相対距離(ベースライン量)を正確に求めることが必要であった。
図2は、投影露光装置においてベースライン量を計測する方法を概略的に示す図である。1は光源、2はレチクル、3はレチクル2上に配置された位置検出マークである。4は光源1からの光をレチクル2上に均一に照明するための照明光学系である。5はレチクルのパターンをウエハ上に投影するための投影レンズである。6はウエハ、7はウエハ6を保持するためのウエハチャックである。8はウエハチャック7を上下に駆動可能なウエハZステージである。9はウエハZステージ8を保持してウエハ面に平行なXY方向に駆動可能なウエハXYステージである。ウエハチャック7、ウエハZステージ8及び9でウエハXYステージウエハステージが構成されている。10はXYステージを搭載するステージベースである。
11はウエハ6の表面とほぼ等しい高さ位置に設けられたウエハステージ位置基準マークである。12は投影レンズ5を通過して戻ってきたウエハステージ位置基準マーク11の検出を行うTTL観察光学系である。13は、TTL観察光学系演算処理部である。14は投影レンズ5とは別個に設けられたオフアクシス観察光学系である。15はオフアクシス観察光学系演算処理部、16は本投影露光装置全体を制御する制御部である。
レチクル2上の位置検出マーク3の像は、投影レンズ5を介してウエハステージ基準マーク11上に投影され、ウエハステージ基準マーク11からの反射光がTTL位置観察光学系12で検出される。これによって、ウエハステージ8の原点からレチクル位置検出マーク3の像までの距離が求められる。
次いで、ウエハステージ8を作動させて、ウエハステージ基準マーク11をオフアクシス位置観察光学系14の下に移動させ、オフアクシス位置観察光学系14でウエハステージ基準マーク11の位置検出マーク像を検出する。これによって、ウエハステージ8の原点からオフアクシス観察光学系14までの距離が求められる。
投影レンズ5で計測されたウエハステージ基準マーク11の位置情報とオフアクシス観察光学系14で計測されたウエハステージ基準マーク11の位置情報に基づいて、投影レンズとオフアクシス観察光学系との間の相対距離(ベースライン量)が求められる。
このように、オフアクシス観察光学系14とTTL観察光学系12とを備え、ベースライン量を管理することによってレチクルとウエハとのアライメントを間接的に行う露光装置では、ベースライン量を的確に管理することがアライメント精度を向上するうえで極めて重要である。
また、TTL観察光学系12を用いた基準マークのベストフォーカス位置検出方法においては、レチクル側及びウエハ側の各々のフォーカス精度を的確に検出し、管理することがフォーカス精度を向上するうえで極めて重要である。
一方、露光処理を継続して行うとレチクルステージ及びウエハステージの駆動による熱が発生し、露光光照射による熱も発生する。これらの熱による温度変化は、ベースライン及びベストフォーカスの変動を発生させ、アライメント精度及びフォーカス精度の劣化につながる。そこで、ウエハの交換毎又は一定枚数毎に計測を行う方法が行なわれている。
このような計測方法では、図15に示すように、ベースライン計測においてオフアクシス観察光学系14及びTTL観察光学系12の両方の計測を同じベースライン計測タイミングに応じて行っている。以下、図15に示す計測タイミングの設定方法を説明する。
ステップ1501では、露光処理を開始する。ステップ1502では、制御部16は、ベースライン計測タイミングであるか否かを判断する。ベースライン計測タイミングである場合には(ステップ1502で「Yes」)、ステップ1503に進み、ベースライン計測タイミングでない場合には(ステップ1502で「No」)、ステップ1506に進む。ステップ1503では、TTL観察光学系12が計測を行い、ステップ1504では、オフアクシス観察光学系14が計測を行う。ステップ1505では、制御部16は、計測が行われた観察光学系の値を組み合わせて、ジョブで設定された補正項目の補正値を算出する。ステップ1506では、制御部16は、ウエハ位置合わせを行うよう制御し、ステップ1507で露光を行う。ステップ1508では、制御部16は、ウエハの全ショットで露光が終了したか否かを判断する。全ショットで露光が終了している場合には(ステップ1508で「Yes」)、ウエハの露光処理を終了し、未露光のショットがある場合には(ステップ1508で「No」)、ステップ1502に戻る。
このように、従来の計測方法では、TTL観察光学系12及びオフアクシス観察光学系14が同じベースライン計測タイミングで計測を行っている。
従来の計測方法では、装置状態に関わらず、予め設定した設計タイミングで計測が実行される。
例えば、ベースライン計測においては、オフアクシス観察光学系及びTTL観察光学系の両方で計測が行われるが、必ずしも両方の光学系で補正が必要な程度にパラメータの変動が生じているとは限らず、一方の変動が大きく、他方の変動は小さいこともありうる。
同様に、フォーカス計測系においても、レチクル側及びウエハ側のフォーカス変動において、一方の変動が大きく、他方の変動が小さいこともありうる。
その結果、観察光学系毎に適した計測タイミングが設定されず、スループットを更に向上させるための対策が望まれていた。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、複数の観察光学系の各々に適した計測タイミングで計測を行うことを目的とする。
本発明の第1の側面は、物体上に形成されたマークを複数の観察光学系を介して撮像し、該撮像結果に基づいて該マークの位置に関する位置情報を計測する位置計測装置に係り、前記位置情報の変動量に基づいて前記複数の観察光学系の各々の計測タイミングを算出する演算処理部と、前記各々の計測タイミングに従って前記複数の観察光学系の各々を独立して制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
本発明の第2の側面は、物体上に形成されたマークを複数の観察光学系を介して撮像し、該撮像結果に基づいて該マークの位置に関する位置情報を計測する位置計測方法に係り、前記位置情報の変動量に基づいて前記複数の観察光学系の各々の計測タイミングを算出する工程と、前記各々の計測タイミングに従って前記複数の観察光学系の各々を独立して制御する工程と、を含むことを特徴とする。
本発明の第3の側面は、半導体露光装置に係り、パターンを形成した原版に照射される露光光を基板に投影するための光学系と、上記の位置計測装置を用いて前記基板または前記原版を保持し位置決めを行うステージ装置と、を備えることを特徴とする。
本発明の第4の側面は、デバイス製造方法に係り、上記の半導体露光装置を用いて潜像パターンが形成された基板を用意する工程と、前記潜像パターンを現像する工程と、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、複数の観察光学系の各々に適した計測タイミングで計測を行うことができる。
以下、添付図面を参照して本発明の好適な実施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明の好適な実施の形態に係る投影露光装置の概略図である。1は光源、2はレチクル、3はレチクル2上に配置された位置検出マークである。4は光源1からの光をレチクル2上に均一に照明するための照明光学系である。5はレチクルのパターンを物体としてのウエハ上に投影するための投影レンズである。6はウエハ、7はウエハ6を保持するためのウエハチャックである。8はウエハチャック7を上下に駆動可能なウエハZステージである。9はウエハZステージ8を保持してウエハ面に平行なXY方向に駆動可能なウエハXYステージである。ウエハチャック7、ウエハZステージ8及びウエハXYステージ9でウエハステージが構成される。10はXYステージを搭載するステージベースである。
11はウエハZステージ8上に固定されたウエハステージ位置基準マークである。12は投影レンズ5を通過して戻ってきたウエハステージ位置基準マーク11の像を検出するためのTTL観察光学系である。13は、TTL観察光学系演算処理部である。14は投影レンズ5とは別個に設けられたオフアクシス観察光学系である。15はオフアクシス観察光学系演算処理部、16は投影露光装置全体を制御する制御部である。17は計測タイミング演算処理部、31は計測ばらつきデータファイル、32は変動許容量設定データファイルである。33はデータファイル31及び変動許容量設定データファイル32を記憶する記憶部である。
次に、本発明の好適な実施の形態に係る投影露光装置をベースライン計測に適用した場合の一例を示す。
ベースライン計測は、TTL観察光学系12及びオフアクシス観察光学系14でウエハステージ基準マーク11を計測することによって行われる。従来では、図1に示すように、同じ計測タイミングでTTL観察光学系12及びオフアクシス観察光学系14による複数の観察光学系を用いた計測が行われている。このような計測では、レチクル側のフォーカス計測、ウエハ側のフォーカス計測及び計測対象のマークに対する調光が行われた後に、粗位置検出及び精密位置検出が行われ、位置ずれ量(位置変動量)が求められている。これらの計測における計測タイミングは、予めジョブに設定されて、露光時のウエハの交換又は一定枚数毎の計測タイミングで計測が行われている。
次に、本発明の好適な実施の形態に係る計測タイミングの一例を以下に示す。最初に、各観察光学系における計測タイミングの設定例について説明する。
まず、各観察光学系に独立した計測タイミングを与える為の計測ばらつきデータファイル31を作成する。具体的には、計測ばらつきデータファイル31を作成するためには、露光条件(露光量、スキャン速度等を含む)を変化させて、露光負荷増加時及び減少時に露光処理を行うと同時に各観察光学系で計測を行う。そして、検出された位置変動量bを露光条件毎に露光経過時間(ウエハ枚数)と関連付けて記録することによって、計測ばらつきデータファイル31が作成される。計測ばらつきデータファイル31によって、露光負荷増加時及び減少時における各観察光学系の計測ばらつきを求めることができる。
次いで、露光装置が未稼働状態である時(休止時間)の各観察光学系に対して、定期的に位置計測を行い、経過時間(露光経過時間を除く)に対する位置変動量bを計測ばらつきデータファイル31に記録する。同様に、気圧変動に値する位置変動量bを計測ばらつきデータファイル31に記録する。
次いで、各観察光学系に精度規格等を考慮して、計測ばらつきデータファイル31の値に対し、位置変動の許容量(位置変動許容量)を設定する。経過時間に対する位置変動量b及び気圧変動に対する位置変動量bについても、位置変動量が位置変動許容量を超える境界値をそれぞれ経過時間変動許容値及び気圧変動許容値に設定し、変動許容量設定データファイル32に記録する。このように、各露光条件下で計測された位置変動量を含むデータファイル31、32を作成することによって、各露光条件に適した計測タイミングを算出することができる。
次に、本発明の好適な実施の形態に係る位置計測方法のフローを図13を参照しながら説明する。本実施形態に係る位置計測方法では、ウエハ6上に形成されたウエハステージ位置基準マーク11をTTL観察光学系12及びオフアクシス観察光学系14を介して撮像し、これらの撮像結果に基づいてウエハステージ位置基準マーク11の位置情報を計測する。
まず、ステップ1301では、計測タイミング演算処理部17は、TTL観察光学系12及びオフアクシス観察光学系14の各々の計測タイミングを算出する。具体的には、計測タイミング演算処理部17は、ウエハステージ位置基準マーク11の位置情報の変動量に基づいてTTL観察光学系12及びオフアクシス観察光学系14の各々の計測タイミングを算出する。
次いで、ステップ1302では、制御部16は、ステップ1301で算出された各々の計測タイミングに従ってTTL観察光学系12及びオフアクシス観察光学系14の各々を独立して制御する。なお、ステップ1302における制御の詳細なフローは、後述のように図8、図9及び図11に例示的に示されるが、これらの方法に限定されず適宜変更することができる。
次に、各観察光学系において、露光負荷変動、気圧変動及び経過時間等の各種露光条件が変動した場合における計測タイミングの決定方法の一例を示す。まず、露光装置に対して露光負荷の増減が発生している場合について、図3を参照して説明する。
図3は、露光経過時間(ウエハ枚数)に対する計測ばらつきデータファイル31に記録された位置変動量bと各観察光学系で計測された値とが変動していく結果を表した図である。計測変動許容値B0は、変動許容量設定データファイル32に設定されている値である。変動量bが計測変動許容値B0を超える露光経過時間t1を求め、最初の計測タイミング時間t1を決定する。計測タイミングt1に従って、該当する観察光学系の計測を行う。そして、計測変動許容値B0と、今回計測して得られた計測変動量C1とを比較して、増減変化係数Hを求める(H=a*C1/B0(aは調整係数))。増減変化係数Hに基づいて、計測ばらつきデータファイル31に記録された位置変動量bを更新する。同様にして、更新された位置変動量bを用いて、次に計測変動許容値B0を超える露光経過時間t2を求め、次回の計測タイミング時間t2を決定する。増減変換係数Hに基づいて、計測ばらつきデータファイルを更新するときは、最新の値のみを扱ってもよいが、今回計測された計測変動量C1を、過去数回の位置変動量bに対して、平均又は時間的な重み付けをして求めてもよい。このような方法を同様に繰り返すことによって、次回の計測タイミング時間が決定される。
これによって、計測変動量C1が計測変動許容値B0に対して大きな変化であった場合には、次回の計測タイミング時間が予定よりも短い時間に設定され、小さい変化であった場合には、予定よりも長い時間に設定することができる。
次に、気圧変動に対する計測タイミング設定について説明する。
図4は、計測ばらつきデータファイル31に記録された位置変動量bに基づいて、気圧変動に対して各観察光学系で計測された値が変動している一例を示す図である。これに基づいて各観察光学系において、計測変動許容値B0を超える許容変動気圧e1を決定し、変動許容量設定データファイル32に設定する。
図5は、許容変動気圧e1を越えたときに計測された計測変動量C1から次の許容変動気圧e2を決定する一例を示す図である。上述のように設定された許容変動気圧e1に従って、この値を超える変化を検知した場合に、該当する観察光学系で計測を行う。そして、計測変動許容値B0に対して、計測して得られた今回の計測変動量C1を比較し、計測変動許容値B0を超える位置を求め、次回の許容変動気圧e2を決定する。次回は、変更になった許容変動気圧e2を越えたら計測を実施する。
この場合においても、計測変動量C1で、計測ばらつきデータファイルを更新するときは、最新の値のみを扱ってもよいが、今回計測された計測変動量C1を、過去数回の位置変動量bに対して、平均又は時間的な重み付けをして求めてもよい。このような方法を同様に繰り返して、次回の計測タイミング時間を決定していく。
次に、経過時間に対する計測タイミング設定について説明する。
図6は、計測ばらつきデータファイル31に記録された位置変動量bを基に、経過時間に対する各観察光学系で計測された値が変動している例を表した図である。これを基に各観察光学系において、計測変動許容値B0を超える許容経過時間f1を決定し、変動許容量設定データファイル32に設定する。この設定された許容経過時間f1に従って、この時間を越えた場合に、該当観察光学系で計測を行う。
図7は、許容経過時間f1を越えたときに計測された計測変動量C1から次の許容経過時間f2を決定することを示す図である。上述のように設定された許容経過時間f1に従って、この値を超える変化を検知した場合に、該当する観察光学系で計測を行う。そして、計測変動許容値B0に対して、計測して得られた今回の計測変動量C1を比較し、計測変動許容値B0を超える時間を求めて、次回の許容経過時間f2を決定する。次回は、変更になった許容経過時間f2を越えたら計測を実施する。
以上により、各観察光学系における計測タイミングの決定を行う。
次に、計測タイミングの設定方法を露光装置運用に適用した場合の例を図8を用いて説明する。図8は、図13のステップ1302における制御の詳細を示すフローチャートである。なお、本露光処理工程においてジョブには補正を実施する項目が予め設定されている。露光装置の立ち上げ当初では、各観察光学系の計測値が存在しないため、従来通りジョブに設定されている計測タイミングで各観察光学系の計測を行う。
ステップ101では、露光処理を開始する。
ステップ102では、制御部16は、観察光学系Aの計測タイミングであるか否かを判断する。観察光学系Aの計測タイミングである場合には(ステップ102で「Yes」)、ステップ105に進み、観察光学系Aの計測タイミングでない場合には(ステップ102で「No」)、ステップ103に進む。
ステップ103では、制御部16は、観察光学系Bの計測タイミングであるか否かを判断する。観察光学系Bの計測タイミングである場合には(ステップ103で「Yes」)、ステップ106に進み、観察光学系Bの計測タイミングでない場合には(ステップ103で「No」)、ステップ104に進む。
ステップ104では、制御部16は、観察光学系Cの計測タイミングであるか否かを判断する。観察光学系Cの計測タイミングである場合には(ステップ104で「Yes」)、ステップ107に進み、観察光学系Bの計測タイミングでない場合には(ステップ104で「No」)、ステップ108に進む。
ステップ105では、観察光学系Aがウエハステージ位置基準マーク11の位置情報を計測し、ステップ106では、観察光学系Bがウエハステージ位置基準マーク11の位置情報を計測し、ステップ107では、観察光学系Cがウエハステージ位置基準マーク11の位置情報を計測する。このように、各観察光学系A〜Cに対して計測タイミングであるか否かどうかを判断し、対象となっている観察光学系A〜Cが計測を行う。
ステップ108では、制御部16は、ステップ105〜107のいずれかで計測が行われているか否かを判断する。ステップ105〜107のいずれかで計測が行われている場合には(ステップ108で「Yes」)、ステップ109に進み、ステップ105〜107のいずれでも計測が行われていない場合には(ステップ108で「No」)、ステップ111に進む。
ステップ109では、制御部16は、計測が行われた観察光学系の値を組み合わせて、ジョブで設定された補正項目の補正値を算出する。
ステップ110では、計測タイミング演算処理部17は、露光経過時間、気圧変動及び経過時間に対する計測ばらつきデータファイル32のデータの更新を行い、最新データに基づいて次回の計測タイミングを算出する。
ステップ111では、制御部16は、ウエハ位置合わせを行うよう制御し、ステップ112で露光を行う。
ステップ113では、制御部16は、ウエハの全ショットで露光が終了したか否かを判断する。全ショットで露光が終了している場合には(ステップ113で「Yes」)、ウエハの露光処理を終了し、未露光のショットがある場合には(ステップ113で「No」)、ステップ102に戻る。
次に、計測タイミングの設定方法をベースライン計測に適用した場合の例を図9を用いて説明する。図9は、図13のステップ1302における制御の詳細を示すフローチャートである。なお、ペースライン計測の場合では、TTL観察光学系12及びオフアクシス観察光学系14を用いて計測を行う。本露光処理工程においてジョブには補正を実施する項目としてベースライン補正が予め設定されている。
ステップ201では、露光処理を開始する。
ステップ202では、制御部16は、TTL観察光学系12の計測タイミングであるか否かを判断する。TTL観察光学系12の計測タイミングである場合には(ステップ202で「Yes」)、ステップ205に進み、TTL観察光学系12の計測タイミングの計測タイミングでない場合には(ステップ202で「No」)、ステップ203に進む。
ステップ203では、制御部16は、オフアクシス観察光学系14の計測タイミングであるか否かを判断する。オフアクシス観察光学系14の計測タイミングである場合には(ステップ203で「Yes」)、ステップ206に進み、オフアクシス観察光学系14の計測タイミングでない場合には(ステップ203で「No」)、ステップ207に進む。このように、TTL観察光学系12が計測必要と判断された場合は、TTL観察光学系12が計測され、オフアクシス観察光学系14が計測必要と判断された場合は、オフアクシス観察光学系14が計測される。
ステップ205では、TTL観察光学系12がウエハステージ位置基準マーク11の位置情報を計測し、ステップ206では、オフアクシス観察光学系14がウエハステージ位置基準マーク11の位置情報を計測する。
ステップ207では、制御部16は、ステップ205、206の少なくとも一方で計測が行われているか否かを判断する。ステップ205、206の少なくとも一方で計測が行われている場合には(ステップ207で「Yes」)、ステップ208に進み、ステップ205、206のいずれでも計測が行われていない場合には(ステップ207で「No」)、ステップ210に進む。
ステップ208では、制御部16は、TTL観察光学系12及びオフアクシス観察光学系14で位置情報の計測が行われた場合には、両方の観察光学系の値を組み合わせる。オフアクシス観察光学系14のみが計測された場合は、保持している最新のTTL観察光学系12の値と組み合わせる。TTL観察光学系12のみが計測された場合は、保持している最新のオフアクシス観察光学系14の値と組み合わせる。このようにして、制御部16は、ベースライン補正量を算出する。
ステップ209では、計測タイミング演算処理部17は、露光経過時間、気圧変動及び経過時間に対する計測ばらつきデータファイル32のデータの更新を行い、最新データに基づいて次回の計測タイミングを算出する。
ステップ210では、制御部16は、ウエハ位置合わせを行うよう制御し、ステップ211で露光を行う。
ステップ212では、制御部16は、ウエハの全ショットで露光が終了したか否かを判断する。全ショットで露光が終了している場合には(ステップ212で「Yes」)、ウエハの露光処理を終了し、未露光のショットがある場合には(ステップ212で「No」)、ステップ202に戻る。
また、露光経過時間から算出した計測タイミングが一定時間以上、現れない場合でも、許容経過時間や許容気圧変動から検知される計測タイミングにより、定期的に計測が行われる。
露光終了後に装置が未稼動状態にある時(休止時間)でも、許容経過時間や、許容気圧変動、露光負荷減少から計測タイミングが決定され、自動的に必要な観察光学系に対して計測が行われ、補正が行われてもよい。
このように、観察光学系毎に計測タイミングを独立にもたせ、観察光学系それぞれ固有の変動を考慮した計測タイミングを設定し、必要なものだけ計測させる。補正は、各計測値を組みあせた結果で補正する。
そして、計測したデータを用いて、計測ばらつきデータファイルを更新し、更新されたデータから、次回の計測タイミングの作成を行う為、補正計測に必要な時間の短縮が可能となる。
図10は、ベースライン補正タイミングで、オフアクシス観察光学系14の変化が大きい場合のオフアクシス観察光学系とTTL観察光学系の計測タイミングの一例を示す図である。
次に、これらをベストフォーカス計測に適用した場合の例について示す。
ベストフォーカス計測の場合、従来、TTL観察光学系12を使用して、レチクル側マーク3及びウエハステージ基準側マーク11に対するフォーカス計測を行っている。
このような計測では、レチクル側のフォーカス計測及びウエハ側のフォーカス計測を同じ計測タイミングで行うか、ウエハ側のみで計測を行ってベストフォーカス位置が求められている。これらの計測タイミングは、ジョブに設定され、露光時のウエハの交換毎又は一定枚数毎の計測タイミングで計測が行われている。
本発明の好適な実施の形態に係る計測タイミングの一例を図11を用いて説明する。図9は、図13のステップ1302における制御の詳細を示すフローチャートである。なお、本露光処理工程において、ジョブには補正を実施する項目としてベストフォーカス補正が予め設定されている。
ステップ301では、露光処理を開始する。
ステップ302では、制御部16は、TTL観察光学系12で計測されるレチクル側のフォーカス計測の計測タイミングであるか否かを判断する。TTL観察光学系12で計測されるレチクル側のフォーカス計測の計測タイミングである場合には(ステップ302で「Yes」)、ステップ305に進み、TTL観察光学系12で計測されるレチクル側のフォーカス計測の計測タイミングの計測タイミングでない場合には(ステップ302で「No」)、ステップ303に進む。
ステップ303では、制御部16は、ウエハ側のフォーカス計測の計測タイミングであるか否かを判断する。ウエハ側のフォーカス計測である場合には(ステップ303で「Yes」)、ステップ306に進み、ウエハ側のフォーカス計測の計測タイミングでない場合には(ステップ303で「No」)、ステップ307に進む。
ステップ305では、レチクル側のフォーカス計測を行い、ステップ206では、ウエハ側のフォーカス計測を行う。
このように、TTL観察光学系12で計測されるレチクル側のフォーカス計測及びウエハ側のフォーカス計測に対して計測タイミングかどうかを判断する。レチクル側のフォーカス計測が必要と判断された場合は、レチクル側のフォーカス計測が行われ、ウエハ側のフォーカス計測が必要と判断された場合は、ウエハ側のフォーカス計測が行われる。
ステップ307では、制御部16は、ステップ305、306の少なくとも一方で計測が行われているか否かを判断する。ステップ305、306の少なくとも一方で計測が行われている場合には(ステップ307で「Yes」)、ステップ308に進み、ステップ305、306のいずれでも計測が行われていない場合には(ステップ307で「No」)、ステップ310に進む。
ステップ308では、制御部16は、レチクル側のフォーカス計測及びウエハ側のフォーカス計測で計測が行われた場合には、両方のフォーカス計測の値を組み合わせる。ウエハ側のフォーカス計測のみが計測された場合は、保持している最新のレチクル側のフォーカス計測値を用いてフォーカス補正量を算出する。レチクル側のフォーカス計測のみが計測された場合は、保持している最新のウエハ側のフォーカス計測値を用いてフォーカス補正量を算出する。このように、制御部16は、TTL観察光学系12に対して、レチクル側の計測タイミングデータとウエハ側の計測タイミングを独立に持たせ、観察対象毎にそれぞれ固有の変動を考慮した計測タイミングを設定し、必要なものだけ計測させる。そして、各計測値を組みあせた結果を用いて補正を行う。
ステップ310では、制御部16は、ウエハ位置合わせを行うよう制御し、ステップ311で露光を行う。
ステップ312では、制御部16は、ウエハの全ショットで露光が終了したか否かを判断する。全ショットで露光が終了している場合には(ステップ312で「Yes」)、ウエハの露光処理を終了し、未露光のショットがある場合には(ステップ312で「No」)、ステップ302に戻る。
図12では、レチクル側のフォーカスの変化が小さい時のレチクル側フォーカス計測とウエハ側フォーカス計測の計測タイミングの一例を示す図である。
なお、各観察光学系で計測された時間が同じ計測タイミングではなく、異なる時間で計測された各計測値を組み合わせて補正する点に関して、ベストフォーカス補正については、レチクル側のフォーカス計測値を考慮して、ウエハ側のフォーカス補正からベストフォーカス結果を算出するので正しく補正できる。
ベースライン補正について、ベースライン量は、投影光学系とオフアクシス光学系の相対距離の変動を計測するものである為、従来、各観察光学系の計測を同じ計測タイミングに実施している。しかしながら、露光装置を起動した後は、各観察光学系における計測値は、基本的には変化しないように装置側で状態を保持している。従って、装置起動後を基準として、それ以降は各観察光学系における状態変化を監視する。例えば、TTL観察光学系12で位置ずれ(位置変動)が発生し、オフアクシス観察光学系14でも位置ずれ(位置変動)が発生し、相対的にベースライン量の変化がない状況があった場合では、該当する露光装置で予め計測された計測ばらつきデータファイルには、TTL観察光学系12とオフアクシス観察光学系14で、同様の変化が記録される傾向にある。その結果、両方の観察光学系に対して同様の計測タイミングで計測が行われて、正しく補正することができる。
また、露光終了後の装置未稼動状態においても、許容経過時間や許容気圧変動から計測タイミングが決定され、自動的に必要な観察光学系に対する計測が行われ、補正がされる。そのため、ジョブ開始直後に必ずしも補正計測を行う必要がなくなる。
[半導体デバイスの製造プロセス]
次に、本発明の好適な露光装置を半導体デバイスの製造プロセスに適用する場合について説明する。図14は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク作製)では設計した回路パターンに基づいてマスクを作製する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記のマスクとウエハを用いて、本発明の好適な実施の形態に係る投影露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ5によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、ステップ7でこれを出荷する。
次に、本発明の好適な露光装置を半導体デバイスの製造プロセスに適用する場合について説明する。図14は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク作製)では設計した回路パターンに基づいてマスクを作製する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記のマスクとウエハを用いて、本発明の好適な実施の形態に係る投影露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ5によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、ステップ7でこれを出荷する。
上記ステップ4のウエハプロセスは以下のステップを有する。ウエハの表面を酸化させる酸化ステップ、ウエハ表面に絶縁膜を成膜するCVDステップ、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する電極形成ステップ、ウエハにイオンを打ち込むイオン打ち込みステップ、ウエハに感光剤を塗布するレジスト処理ステップ、上記の露光装置によって回路パターンをレジスト処理ステップ後のウエハに転写する露光ステップ、露光ステップで露光したウエハを現像する現像ステップ、現像ステップで現像したレジスト像以外の部分を削り取るエッチングステップ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くレジスト剥離ステップ。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。
11:ウエハステージ基準マーク
12:TTL観察光学系
14:オフアクシス観察光学系
16:制御部
17:計測タイミング演算処理部
12:TTL観察光学系
14:オフアクシス観察光学系
16:制御部
17:計測タイミング演算処理部
Claims (8)
- 物体上に形成されたマークを複数の観察光学系を介して撮像し、該撮像結果に基づいて該マークの位置に関する位置情報を計測する位置計測装置であって、
前記位置情報の変動量に基づいて前記複数の観察光学系の各々の計測タイミングを算出する演算処理部と、
前記各々の計測タイミングに従って前記複数の観察光学系の各々を独立して制御する制御部と、
を備えることを特徴とする位置計測装置。 - 前記演算処理部は、所定の露光条件下で計測された前記位置情報の変動量を含むデータファイルを作成し、前記データファイルに基づいて前記複数の観察光学系の各々の計測タイミングを算出することを特徴とする請求項1に記載の位置計測装置。
- 前記演算処理部は、前記所定の露光条件下で新たに計測された前記位置情報の変動量に基づいて前記データファイルを更新し、該更新したデータファイルに基づいて前記複数の観察光学系の各々の次の計測タイミングを算出することを特徴とする請求項2に記載の位置計測装置。
- 前記データファイルには、露光経過時間、経過時間及び気圧変動の少なくとも1つと前記位置情報の変動量とが関連付けて記憶され、
前記演算処理部は、前記露光経過時間、前記経過時間及び前記気圧変動の少なくとも1つと前記位置情報の変動量とに基づいて前記複数の観察光学系の各々の計測タイミングを算出することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の位置計測装置。 - 物体上に形成されたマークを複数の観察光学系を介して撮像し、該撮像結果に基づいて該マークの位置に関する位置情報を計測する位置計測方法であって、
前記位置情報の変動量に基づいて前記複数の観察光学系の各々の計測タイミングを算出する工程と、
前記各々の計測タイミングに従って前記複数の観察光学系の各々を独立して制御する工程と、
を含むことを特徴とする位置計測方法。 - パターンを形成した原版に照射される露光光を基板に投影するための光学系と、
請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の位置計測装置を用いて前記基板または前記原版を保持し位置決めを行うステージ装置と、
を備えることを特徴とする半導体露光装置。 - 前記データファイルは、当該半導体露光装置の休止時間に作成されることを特徴とする請求項6に記載の半導体露光装置。
- 請求項7に記載の半導体露光装置を用いて潜像パターンが形成された基板を用意する工程と、
前記潜像パターンを現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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