KR20040108807A

KR20040108807A - 반송 장치

Info

Publication number: KR20040108807A
Application number: KR10-2004-7018237A
Authority: KR
Inventors: 사까모또히로미; 하나사까마사노리
Original assignee: 니혼덴치 가부시키가이샤
Priority date: 2002-05-14
Filing date: 2003-05-12
Publication date: 2004-12-24
Also published as: TWI277588B; CN100420615C; KR100983419B1; WO2003095341A1; CN1652986A; JP2003327320A; TW200307637A

Abstract

본 발명은 기재를 손상시키는 일 없이 반송할 수 있고, 또한 메인터넌스 작업을 쉽게 행할 수 있는 반송 장치를 제공한다. 이송 롤러(23)에는 유리 기판(7)과 직접 접촉하는 링 부재(24)와, 이 링 부재(24)를 롤러축(22)에 고정하는 보유 지지 부재(27)가 구비되고, 링 부재(24)는 연질인 재료에 의해 형성되어 있다. 또한, 링 부재(24)에 분단부를 설치함으로써 롤러축(22)을 반송 장치(1)로부터 제거하는 일 없이 링 부재(24)의 롤러축(22)에 대한 부착, 제거를 행할 수 있도록 하고 있다. 이에 의해, 유리 기판(7)을 손상시키는 일 없이 반송할 수 있고, 또한 메인터넌스 작업을 쉽게 행할 수 있다.

Description

반송 장치 {CONVEYING DEVICE}

예를 들어, 컬러 액정 표시 패널을 구성하는 컬러 필터는 유리 기판에 적, 녹, 청의 레지스트를 코팅하여 제작하고, 그 제작 공정 중에서 세정이 행해진다. 세정은 보다 세정 효과를 올리기 위해, 순수(純水)를 이용한 습윤 세정법과 UV/O₃세정법이 병용되어 행해진다. 이 UV/O₃세정은 자외선에 의한 유기물의 저분자화와, 자외선에 의한 공기 중의 산소로부터의 오존과 산소의 활성기 생성을 이용하여 유기물을 제거하는 것으로, 자외선 처리의 일종이다.

도13은 이와 같은 세정 공정에 이용되고 있는 자외선 처리 장치의 개방 상태를 도시하는 사시도이다. 자외선 처리 장치(50)의 본체(51) 내에는 복수매의 이송 롤러(52)를 구비한 반송 장치(53)가 설치되고, 이에 의해 피처리물인 몇 장의 유리 기판(도시하지 않음)을 이송 롤러(52)에 적재하여 도13의 화살표 방향으로 순차적으로 반송할 수 있다.

종래, 이러한 종류의 반송 장치(53)에 있어서는 자외선 조사에 의한 열화가 생기기 어려운 금속제의 이송 롤러(52)가 사용되고 있었다. 그러나, 금속제 이송롤러(52)는 경질이기 때문에 유리 기판에 접촉할 때에 찰상이 생겨 버리는 경우가 있어 제품의 수율이 저하되게 되는 문제가 생겼다. 특히 대형의 유리 기판을 반송하는 경우에는 유리 기판의 휨을 방지하기 위해, 제품의 품질에의 영향이 적은 양단부뿐만 아니라 내측 부근의 위치에도 이송 롤러(52)를 적재하여 유리 기판을 지지해야만 하므로, 수율 저하의 문제가 커지고 있었다.

그래서, 이 문제를 회피하기 위해 이송 롤러(52)로서 찰상이 생기기 어려운 수지제의 롤러가 채용되었다. 그러나, 수지제의 이송 롤러(52)는 금속제에 비해 열화가 빠르기 때문에 빈번하게 점검, 교환할 필요가 있다는 문제점이 있었다. 또한, 이 교환 작업에 있어서는, 우선 롤러축(54)을 반송 장치(53)로부터 제거하고, 이송 롤러(52)로부터 롤러축(54)을 빼낸 다음, 새로운 이송 롤러(52)에 롤러축(54)을 삽입하고, 다시 반송 장치(53)에 부착한다는 복잡한 공정을 거쳐야 했다. 또한 메인터넌스 작업이 장시간 걸리기 때문에 장치의 가동 효율이 저하되게 되는 문제가 생겼다.

본 발명은 반송 장치에 관한 것이다.

도1은 제1 실시 형태의 세정 장치의 측면도이다.

도2는 자외선 에싱(ashing) 장치의 사시도이다.

도3은 이송 롤러의 사시도이다.

도4는 이송 롤러의 분해 사시도이다.

도5는 이송 롤러의 측단면도이다.

도6은 반송 장치에 의해 유리 기판을 반송하는 모습을 도시하는 측단면도이다.

도7 내지 도9는 링 부재의 교환 작업의 공정을 도시하는 도면이다.

도10 및 도11은 제2 실시 형태의 이송 롤러의 분해 사시도이다.

도12는 그 밖의 실시 형태의 이송 롤러의 분해 사시도이다.

도13은 종래의 반송 장치를 도시하는 사시도이다.

본 발명은 상기한 사정을 비추어 이루어진 것으로, 그 목적은 피반송체를 손상시키지 않고 반송할 수 있으며, 또한 메인터넌스 작업을 쉽게 할 수 있는 반송 장치를 제공하는 데 있다.

상기한 과제를 해결하기 위한 제1 발명에 의한 반송 장치는 롤러를 구비한 롤러축을 구비하고, 상기 롤러에 접촉하는 피반송체를 반송하는 반송 장치이며, 상기 롤러는 반송 중의 상기 피반송체와 접촉하는 링 부재를 구비하고, 상기 링 부재에는 상기 링 부재를 직경 방향으로 분단하는 분단부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 롤러가 상기 링 부재만으로 이루어지는 경우라도 당연히 본 발명에 의한 제1 발명에 포함된다.

제2 발명은 제1 발명에 관한 반송 장치이며, 상기 롤러가 보유 지지 부재를 구비하고, 상기 보유 지지 부재는 제1 보유 지지부와, 상기 제1 보유 지지부에 고정 가능한 제2 보유 지지부로 분할 형성되어 있다. 상기 링 부재는 상기 제1 보유 지지부와 제2 보유 지지부에 의해 협지됨으로써 상기 보유 지지 부재에 부착될 수 있는 것을 특징으로 한다.

제3 발명은 제1 발명에 관한 반송 장치이며, 상기 롤러가 보유 지지 부재를 구비하고, 상기 링 부재 및 상기 보유 지지 부재 중 한 쪽에는 축방향으로 돌출된 돌출부가 설치되어 있는 동시에, 다른 쪽에는 상기 돌출부를 협입 가능한 오목부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

제4 발명은 제2 발명에 관한 반송 장치이며, 상기 링 부재 및 상기 보유 지지 부재 중 한 쪽에는 축방향으로 돌출된 돌출부가 설치되어 있는 동시에, 다른 쪽에는 상기 돌출부를 협입 가능한 오목부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

제5 발명은 제4 발명에 관한 반송 장치이며, 상기 제1 보유 지지부는 상기 롤러축에 고정 가능하고, 상기 링 부재는 상기 보유 지지 부재에 고정 가능하고, 상기 돌출부 또는 상기 오목부가 상기 제1 보유 지지부에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

제6 발명은 제1 발명에 관한 반송 장치이며, 상기 링 부재 중, 반송 중의 상기 피반송체와 접촉하는 부분이 상기 링 부재와의 접촉에 의한 상기 피반송체의 손상을 회피 가능할 정도로 연질의 재료로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

여기서「상기 링 부재와의 접촉에 의한 상기 피반송체의 손상을 회피 가능할 정도로 연질의 재료」로서는, 예를 들어 불소 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 수지 등의 수지 재료를 들 수 있다.

제7 발명은 제1 발명에 관한 반송 장치이며, 상기 분단부의 윤곽선 중, 반송 중의 상기 피반송체와 접촉하는 부분이 상기 롤러축의 회전축을 포함하는 평면 내로 한정되지 않는 것을 특징으로 한다.

링 부재가 피반송체와 접촉하는 경우에는, 그 링 부재가 피반송체와 접촉하는 부분은 아무리 좁아도 반드시 일정 폭을 갖게 된다. 따라서, 예를 들어 링 부재를 직경 방향으로 분단하는 분단부가 원형 등의 경우이며, 그 분단면에 의해 형성되는 평면이 롤러의 회전축을 포함하지 않는 경우에는 상기한 제7 발명에 상당한다.

제8 발명은 제2 발명에 관한 반송 장치이며, 상기 제2 보유 지지부가 상기 제1 보유 지지부에 나사에 의해 고정 가능한 것을 특징으로 한다.

제9 발명은 제8 발명에 관한 반송 장치이며, 상기 제1 보유 지지부 또는 상기 제2 보유 지지부에는 대경 구멍과 소경 구멍이 연속 접촉되어 이루어지는 부착 구멍이 마련되어 있고, 상기 부착 구멍이 마련된 보유 지지부는 상기 부착 구멍을 관통하는 나사에 의해 다른 한 쪽의 보유 지지부에 나사 고정되어 있고, 상기 나사는 나사부와, 상기 나사부보다도 직경이 크게 형성된 헤드부를 구비한 헤드가 달린 나사이고, 상기 헤드부는 상기 대경 구멍에 의해 삽통이 허용되고, 또한 상기 소경 구멍에 의해 삽통이 규제되는 것을 특징으로 한다.

제10 발명은 제1 내지 제9 중 어느 한 발명에 관한 반송 장치이며, 상기 링 부재에 설치된 상기 분단부가 1개소인 것을 특징으로 한다.

제11 발명에 의한 반송 장치는 롤러를 구비한 롤러축을 구비한, 상기 롤러에 접촉하는 피반송체를 반송하는 반송 장치이며, 상기 롤러에 있어서는 반송 중의 상기 피반송체와 접촉하는 부분이 수지로 이루어지고, 그 수지로 이루어지는 부분이 수지가 아닌 부품에 의해 협지되어 배치되어 있는 것을 특징으로 한다. 이 경우, 수지가 아닌 부품은 반드시 2개 이상의 부품으로 분할 형성되어 있을 필요는 없고, 수지가 아닌 부품에 홈이 형성되고, 그 홈에 상기 수지로 이루어지는 부품이 협입되어 있는 경우라도 본 발명에 의한 제11 발명에 상당한다.

제1 발명에 따르면, 링 부재에 분단부를 설치함으로써 롤러축을 반송 장치로부터 제거하지 않고 링 부재의 롤러축에 대한 부착, 제거를 행할 수 있도록 하고 있다. 이에 의해, 링 부재를 교환하는 작업을 쉽게 행할 수 있다.

제2 발명에 따르면, 링 부재는 제1 보유 지지부와 제2 보유 지지부에 협지되도록 배치된다. 이 때, 제2 보유 지지부는 제1 보유 지지부에 고정되므로, 롤러축보다도 링 부재의 피반송체와 접촉하는 부분에 가까운 위치에서 고정되는 것이 가능해진다(도5 참조). 따라서, 링 부재의 피반송체와 접촉하는 부분의 위치는 정밀도 좋게 고정되는 것이 가능해진다. 그 결과, 분단부의 양단부 중 피반송체와 접촉하는 부분을 정밀도 좋게 고정하는 것이 가능해져 분단부의 양단부의 위치의 어긋남에 의한 반송시의 피반송체의 덜걱거림을 방지할 수 있다. 제2 보유 지지부가 제1 보유 지지부에 고정되어 있지 않고, 제1과 제2 보유 지지부의 양쪽이 롤러축에 고정되어 있는 경우(제2 발명과는 다른 경우)에서는 2개의 보유 지지부가 모두 링 부재의 피반송체와 접촉하는 부분으로부터 먼 위치에 있어서 고정되어 있으므로, 정밀도 좋게 분단부의 양단부의 피반송체와 접촉하는 부분을 고정할 수 없다.

제3 또는 제4 발명에 따르면, 링 부재 및 보유 지지 부재 중 한 쪽에는 축방향으로 돌출된 돌출부가 설치되어 있는 동시에, 다른 쪽에는 그 돌출부를 협입 가능한 오목부가 설치되어 있다.

여기서, 링 부재는 분단부를 구비하고 있으므로, 열이나 피반송체와의 간섭 등을 받아 변형이 생기기 쉽다. 그러나, 상기와 같은 구성에 따르면, 돌출부를 오목부에 끼워 부착해 둠으로써 링 부재의 어긋남이 규제되어 링 부재가 그 형상을 유지하면서 확실하게 보유 지지 부재에 고정된다. 이에 의해, 링 부재의 변형을 방지하여 피반송체를 원활하게 반송할 수 있다.

제5 발명에 따르면, 제1 보유 지지부가 롤러축에 유동 불가능하게 고정되어 있고, 이 보유 지지부에 링 부재가 끼움 부착되도록 되어 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 링 부재를 롤러축에 대해 심의 어긋남이 없이 보유 지지할 수 있고, 기판을 원활하게 반송할 수 있다.

제6 발명에 따르면, 피반송체를 손상시키지 않고 반송할 수 있다.

제7 발명은 제1 발명에 관한 반송 장치이며, 상기 분단부의 윤곽선 중, 반송중의 상기 피반송체와 접촉하는 부분이 상기 롤러축의 회전축을 포함하는 평면 내로 한정되지 않는 것을 특징으로 한다.

주위 온도의 변동 등에 의해 링 부재에 수축이 생긴 경우에는 분단부에 벌어짐이 생겨버리는 경우가 있다. 여기서, 분단부가 롤러축의 회전축을 포함하는 평면 내로 한정되도록 형성되어 있으면, 이 벌어짐 부분이 유리 기판의 반송 방향에 대해 수직 방향을 향하게 되므로, 피반송체의 반송시에 덜걱거림이 생길 우려가 있다. 그러나, 제7 발명에 따르면 분단부의 윤곽선 중, 피반송체가 반송될 때에 피반송체와 접촉하는 부분이 롤러축의 회전축을 포함하는 평면 내로 한정되지 않으므로, 분단부의 양측의 분단부 중 어느 하나에 의해 피반송체가 항상 지지된다. 이로 인해, 제7 발명에 따르면, 덜걱거림을 회피하여 피반송체를 원활하게 반송할 수 있다.

제8 발명에 따르면, 제2 보유 지지부를 제거하지 않아도, 또한 나사를 완전히 빼지 않아도, 나사를 조금 느슨하게 하는 것만으로 제1과 제2 보유 지지부에 의한 링 부재의 고정이 해제되어 링 부재의 교환이 가능해진다. 따라서, 링 부재의 교환 작업에 필요한 시간을 대폭으로 단축시킬 수 있다.

제9 발명에 따르면, 헤드가 달린 나사를 제거하지 않아도 헤드부를 대경 구멍으로부터 빼고 꽂음으로써 제2 보유 지지부의 제1 보유 지지부에 대한 부착, 제거를 쉽게 행할 수 있다. 이에 의해, 메인터넌스 작업을 더욱 쉽게 행할 수 있다.

제10 발명에 따르면, 링 부재에 설치된 분단부가 1개소이므로, 반송 장치의 사용 중에 보유 지지부에 의한 링 부재의 압박이 느슨해도 링 부재가 롤러축으로부터 어긋나 낙하하는 일이 없다는 이점을 얻을 수 있다.

제11 발명에 따르면, 롤러의 수지로 이루어지는 부분이 수지가 아닌 부품에 의해 협지되어 배치되므로, 자외선 등의 전자파 조사 장치 등에 본 발명을 이용한 경우에 있어서도 수지로 이루어지는 부분 중 전자파가 조사되는 부분이 필요 최소한으로 억제되고, 수지로 이루어지는 부분의 열화가 억제된다.

<제1 실시 형태>

이하, 본 발명의 반송 장치(1)를 구체화한 제1 실시 형태에 대해 도1 내지도9를 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 발명의 반송 장치(1)는 액정 디스플레이용 유리 기판(7)(본 발명의 피반송체에 상당함)의 세정을 행하는 세정 장치(2)에 구비되어 유리 기판(7)을 반송하는 장치이다.

도1에 도시한 바와 같이, 세정 장치(2)는 자외선 에싱 장치(3)의 정면으로부터 보아 좌측에 적외선 예비 가열 장치(4)를, 우측에 냉각 장치(5)를 연속해서 배치하고, 또한 냉각 장치(5)의 우측에 습윤 세정 장치(6)를 연속해서 배치하여 구성되어 있다. 각 장치(3, 4, 5, 6)에는 각각에 반송 장치(1)가 구비되고, 유리 기판(7)이 도1 중 화살표로 나타낸 바와 같이 좌측으로부터 우측으로 차례로 반송되도록 되어 있고, 전체적으로 연속되는 세정 라인을 이루고 있다. 이하에는 자외선 에싱 장치(3)를 예로 들어 설명한다.

자외선 에싱 장치(3)의 본체(11)는 상자형을 이루고 상면이 개구되어 있고, 그 개구부를 막도록 2매의 램프 하우스(12)가 배치되어 있다(도2 참조).

본체(11)의 전방면으로부터 보아 좌측에 위치하는 램프 하우스(12)는 그 좌측 모서리의 전후 양단부가 힌지 기구를 거쳐서 본체(11)의 전방면 벽부(11A) 및 후방면 벽부(11B)에 지지되고, 본체(11)의 상면 개구부의 좌측 절반이 이 램프 하우스(12)에 의해 좌측 방향으로 개폐 가능하게 되어 있다. 한편, 본체(11)의 전방면으로부터 보아 우측에 위치하는 램프 하우스(12)도 마찬가지로 그 우측 모서리의 전후 양단부가 힌지 구성을 거쳐서 본체(11)의 전방면 벽부(11A) 및 후방면 벽부(11B)에 지지되고, 본체(11)의 상면 개구부의 우측 절반이 이 램프 하우스(12)에의해 횡방향으로 개폐 가능하게 되어 있다. 그리고 각 램프 하우스(12)의 전후 양단부와 본체(11)의 전방면 벽부(11A) 및 후방면 벽부(11B) 사이에는 각각 공지된 가스 댐퍼식 지지 스테이(17)가 설치되어 있고, 이 지지 스테이(17)에 의해 램프 하우스(12)의 개방 방향의 움직임을 조력하고, 또한 램프 하우스(12)의 개방 상태를 보유 지지 가능하게 하고 있다.

램프 하우스(12) 중 폐쇄 위치에 있을 때에 하면이 되는 부분에는 자외선을 조사하기 위한 램프(13)가 복수개 배치되어 있다. 이 램프(13)는, 전체적으로는 컨베이어 프레임벽(21) 사이의 대향 간격에 대략 동등한 길이의 긴 형상을 이루고 있지만, 구금부(13A)가 본체(11)의 전방측에 위치하고, 유리관부(13B)가 본체(11)의 후방측에서 되접은 형으로 골곡된 U자형 골곡형 램프이다. 그 구금부(13A)는 램프 하우스(12)에 설치된 고정부(14)에 대해 나사 고정에 의해 고정되고, 유리관부(13B)의 후단부는 나사 고정한 보유 지지 클립(15)에 의해 램프 하우스(12)의 하면판(12A)에 고정되어 있다. 구금부(13A)에 연결되는 전선군(도시하지 않음)은 램프 하우스(12) 내에서 전방측으로 집합되어 램프 하우스(12)의 전단부와 본체(11) 사이에 설치된 가요성의 주름관(16) 내를 통해 본체(11) 내의 도시하지 않은 전원 장치에 접속되어 있다.

또한 램프 하우스(12) 내에는 도시하지 않은 냉각 수로가 설치되어 있고, 이 냉각 수로에 대한 급수 튜브(18) 및 배수 튜브(19)는 상기 주름관(16)과는 반대측의 램프 하우스(12)의 후단부로부터 도출되어 본체(11) 내의 도시하지 않은 냉각수 공급 장치에 접속되어 있다.

그리고 본체(11)에는 반송 장치(1)가 조립 부착되어 있다. 본체(11)의 내부에는 전방면 벽부(11A)와 후방면 벽부(11B)에 따라서 2매의 컨베이어 프레임벽(21)이 평행하게 쌍을 이루어 설치되어 있다. 이 컨베이어 프레임벽(21) 사이에는 원주형으로 형성된 복수의 롤러축(22)이 전후 방향에 걸쳐지고, 각각 도시하지 않은 베어링을 거쳐서 회전 가능하게 지지되어 있다. 각 롤러축(22)에는 복수개의 이송 롤러(23)(본 발명의 롤러에 상당함)가 대략 균일한 피치로 부착되어 있고, 본체(11) 내에 설치된 구동 장치에 의해 롤러축(22)을 회전 구동함으로써 이송 롤러(23) 상에 적재한 유리 기판(7)을 반송할 수 있도록 되어 있다.

이송 롤러(23)는 유리 기판(7)과 직접 접촉하는 링 부재(24)와, 이 링 부재(24)를 롤러축(22)에 보유 지지하는 보유 지지 부재(27)로 구성되어 있다(도3 내지 도5 참조).

링 부재(24)는 유리 기판(7)을 손상시키지 않을 정도로 연질이고, 또한 자외선에 의해 열화되기 어려운 재료인 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE) 수지에 의해 롤러축(22)의 외경보다도 큰 내경을 갖는 평판인 원환 형상으로 형성되어 있다. 이 링 부재(24)의 한 쪽 측면에는 직경 방향 내측 영역에 전체 주위에 걸쳐서 축방향으로 돌출되는 리브(25)(본 발명의 돌출부에 해당함)가 형성되어 있다. 또한 링 부재(24)에 있어서 임의의 1개소에는 축방향에 따라서 링을 절단함으로써 분단부(26)가 형성되어 있고, 이 분단부(26)를 확대 벌어짐으로써 롤러축(22)에 대한 부착 및 제거를 행할 수 있게 된다.

보유 지지 부재(27)는 스테인레스에 의해 전체적으로 원환형으로 형성되어있고, 롤러축(22)에 대해 고정된 고정 링(28)(본 발명의 제1 보유 지지부에 해당함)과, 이 고정 링(28) 사이에서 링 부재(24)를 협지하여 부착하기 위한 고정판(36)(본 발명의 제2 보유 지지부에 해당함)을 구비하고 있다.

고정 링(28)은 롤러축(22)의 외경과 대략 동등한 내경을 갖고, 링 부재(24)보다 한바퀴 작은 외경을 갖는 원환형으로 형성되어 있다. 이 고정 링(28)에 있어서의 한 쪽 면은 링 부재(24)를 부착하는 부착면(29)이다. 이 부착면(29)에는 그 직경 방향 외측 영역이 전체 주위에 걸쳐서 링 부재(24)의 두께와 동등한 두께만큼 파내려가, 단차부(30)가 형성되어 있다. 또한 단차부(30)에 있어서 직경 방향 내측 영역에는 링 부재(24)의 리브(25)를 협입 가능한 홈부(31)(본 발명의 오목부에 해당함)가 전체 주위에 걸쳐서 형성되어 있다. 이 단차부(30)에는 상기한 링 부재(24)가 리브(25)를 홈부(31)에 정합하면서 협입되어 있다.

또한, 이 홈부(31)보다 약간 내측의 소정 위치에는 고정판(36)을 고정하기 위한 헤드가 달린 나사(32)를 나사 부착 가능한 나사 구멍(33)이 형성되어 있다. 이 나사 구멍(33)은 동일 원주 상에 균일한 간격을 두고 3개소에 마련되어 있다.

고정 링(28)에 있어서 부착면(29)의 반대측의 면에는 그 직경 방향 내측 영역에 전체 주위에 걸쳐서 축방향으로 돌출되는 통부(34)가 형성되어 있다. 이 통부(34)의 내부에는 롤러축(22)이 긴밀하게 끼워 넣어지도록 되어 있고, 이에 의해 롤러축(22)에 고정 링(28)이 동심형으로, 또한 직경 방향에의 유동 불가능하게 고정되도록 되어 있다. 이 통부(34)의 길이 방향에 있어서의 대략 중앙 위치에는 고정 나사 구멍(35)이 관통 형성되어 있고, 이 고정 나사 구멍(35)에 고정 나사(도시하지 않음)를 부착하여 체결함으로써 고정 링(28)이 롤러축(22)에 대해 일체 회전 가능하게 고정된다.

한편, 고정판(36)은 고정 링(28)과 대략 동등한 외경을 갖는 평판인 원환형으로 형성되어 있다. 고정판(36)의 내경은 롤러축(22)의 외경보다도 약간 크게 되어 고정 링(28)에 대한 부착, 제거를 행할 때에 고정판(36)의 축방향에의 슬라이드를 행하기 쉽도록 되어 있다. 이 고정판(36)에는 고정 링(28)의 나사 구멍(33)에 정합하는 위치에 헤드가 달린 나사(32)를 삽통하기 위한 부착 구멍(37)이 형성되어 있다. 이 부착 구멍(37)은 헤드가 달린 나사(32)의 헤드부(32A)보다도 약간 크게 형성된 대경 구멍(37A)과, 헤드가 달린 나사(32)의 나사부(32B)보다 크지만 헤드부(32A)보다도 작게 형성된 소경 구멍(37B)이 원주 방향으로 연속 접촉된 오뚝이 구멍 형상으로 형성된 것이다.

고정판(36)은 부착 구멍(37)의 소경 구멍(37B)을 고정 링(28)의 나사 구멍(33)과 정합하도록 하여 고정 링(28)의 부착면(29)에 접촉되어 있는 상태에서 헤드가 달린 나사(32)를 소경 구멍(37B)을 통해 나사 구멍(33)에 나사 부착함으로써 고정되어 있다. 이에 인해, 링 부재(24)가 고정판(36)과 고정 링(28)에 협지 부착되어 탈락 불가능하게 보유 지지된다.

다음에, 상기와 같이 구성된 본 실시 형태의 작용 및 효과에 대해 설명한다.

본 실시 형태의 세정 장치(2)에 의해 유리 기판(7)을 세정하는 경우에는 반송 장치(1)의 이송 롤러(23) 상에 유리 기판(7)을 적재하여 구동 장치를 구동한다. 그러면, 롤러축(22)의 회전 구동에 의해 이 롤러축(22)에 일체가 되어 회전 가능하게 고정된 이송 롤러(23)가 회전한다. 이에 의해, 이송 롤러(23) 상에 적재한 유리 기판(7)이 도1 중 좌측으로부터 우측을 향해 반송된다. 그리고, 유리 기판이 각 장치(3, 4, 5, 6)의 내부를 통과하는 동안에 차례로 유리 기판(7)의 처리가 행해진다. 즉, 유리 기판(7)은 적외선 예비 가열 장치(4) 내를 통과할 때에 가열 처리되고, 계속해서 자외선 에싱 장치(3) 내로 반송되고 이 속에서 레지스트의 에싱이 행해진다. 그 후, 냉각 장치(5) 내로 반송되어 냉각되고, 습윤 세정 장치(6) 내로 반송되어 습윤 세정된다.

이 때, 금속제의 보유 지지 부재(27)는 링 부재(24)보다도 직경이 작게 형성되어 있으므로 유리 기판(7)과는 접촉하지 않고, 연질의 링 부재(24)만이 유리 기판(7)에 접촉하도록 되어 있다(도6 참조). 이에 의해, 유리 기판(7)이 이송 롤러(23)에 의해 손상되는 것이 회피된다.

또한, 링 부재(24)는 고정 링(28)과, 이 고정 링(28)에 고정 가능한 고정판(36)에 협지되도록 배치된다. 그 때, 고정판(36)은 고정 링(28)에 고정되므로, 롤러축(22)보다 링 부재(24)의 유리 기판(7)과 접촉하는 부분에 가까운 위치에서 고정되는 것이 가능해진다(도5 참조). 따라서, 링 부재(24)의 유리 기판(7)과 접촉하는 부분의 위치는 정밀도 좋게 고정되는 것이 가능해진다. 그 결과, 분단부(26)의 양단부 중, 유리 기판(7)과 접촉하는 부분을 정밀도 좋게 고정하는 것이 가능해져 분단부(26)의 양단부의 위치 어긋남에 의한 반송시의 유리 기판(7)의 덜걱거림을 방지할 수 있다.

또한, 링 부재(24)는 분단부(26)를 구비하고 있으므로, 열과 기재의 간섭 등에 의해 변형이 생기기 쉽다. 그러나, 링 부재(24)에 리브(25)를 설치하고, 이 리브(25)를 고정 링(28)의 홈부(31)에 끼움 부착하는 구성으로 하였으므로, 링 부재(24)의 고정 링(28)에 대한 움직임이 규제되어 링 부재(24)가 그 형상을 유지하면서 보유 지지 부재(27)에 확실하게 고정된다. 이에 의해, 링 부재(24)의 변형을 방지하여 유리 기판(7)을 원활하게 반송할 수 있다.

특히, 롤러축(22)에 유동 불가능하게 고정되어 있는 고정 링(28)측에 링 부재(24)가 끼워 맞추어져 있으므로, 링 부재(24)의 롤러축(22)에 대한 심의 어긋남을 방지할 수 있다. 또한, 리브(25) 및 홈부(31)는 전체 주위에 걸쳐서 형성되어 있으므로, 링 부재(24)가 확실하게 원환 형상으로 보유 지지된다. 이들에 의해, 유리 기판(7)을 반송할 때의 덜걱거림을 방지할 수 있다.

또한, 링 부재(24)에 설치되어 있는 분단부(26)는 1개소이므로, 반송 장치의 사용 중에 고정판(36)에 의한 링 부재(24)의 압박이 느슨해져도 링 부재(24)가 롤러축(22)으로부터 어긋나 탈락하는 일이 없다는 이점을 얻을 수 있다.

또한, 링 부재(24)는 열과 자외선 등의 영향에 의해 비교적 빨리 열화되므로, 이하와 같이 하여 교환 작업을 행한다.

우선, 헤드가 달린 나사(32)를 약간 느슨하게 하여 헤드가 달린 나사(32)의 헤드부(32A)가 부착 구멍(37)의 대경 구멍(37A)과 정합하는 위치까지 고정판(36)을 회전시킨다(도7 참조). 이 상태에서 대경 구멍(37A)에 헤드가 달린 나사(32)의 헤드부(32A)를 통과하도록 고정판(36)을 슬라이드시켜 고정 링(28)으로부터 이격시킨다(도8 참조). 계속해서, 링 부재(24)를 고정 링(28)으로부터 제거한다. 그리고,링 부재(24)를 비틀어 분단 선단부(26A, 26B) 사이를 롤러축(22)이 통과할 수 있도록 분단부(26)를 확대 벌어짐하고, 여기에 롤러축(22)을 통과시켜 링 부재(24)를 제거한다(도9 참조).

그 후, 새로운 링 부재(24)를 제거하였을 때와는 반대의 절차를 경유함으로써 보유 지지 부재(27)에 부착한다. 즉, 링 부재(24)를 비틀어 분단부(26)를 확대 벌어짐하고, 여기서부터 롤러축(22)을 원환 내로 진입시킴으로써 링 부재(24)를 롤러축(22)에 부착한다. 다음에, 리브(25)를 홈부(31)에 정합하도록 하고, 링 부재(24)를 고정 링(28)에 끼움 부착한다. 계속해서, 대경 구멍(37A)에 헤드가 달린 나사(32)의 헤드부(32A)를 통과시키도록 하고, 고정판(36)을 고정 링(28)을 향해 슬라이드시켜 부착면(29)에 접촉시킨다. 그리고, 헤드가 달린 나사(32)의 나사부(32B)가 소경 구멍(37B)으로 진입하는 위치까지 고정판(36)을 회전시키고, 고정판(36)을 빠짐 방지 불가능하게 보유 지지시킨다. 최후에, 헤드가 달린 나사(32)를 교축함으로써 링 부재(24)를 고정판(36)과 고정 링(28)으로 협지 부착하여 고정한다.

이와 같이, 링 부재(24)에는 분단부(26)가 형성되어 있으므로, 롤러축(22)을 반송 장치(1)로부터 제거하는 일 없이 링 부재(24)만을 부착, 제거할 수 있다. 또한, 고정판(36)에 구비된 부착 구멍(37)이 오뚝이 구멍 형상으로 되어 있으므로, 헤드가 달린 나사(32)를 고정 링(28)으로부터 제거하는 일 없이 고정판(36)의 고정 링(28)에 대한 부착, 제거를 행할 수 있다.

이상과 같이 본 실시 형태에 따르면, 유리 기판(7)과 직접 접촉하는 링 부재(24)를 연질의 수지 재료로 형성하고, 또한 이 링 부재(24)에 분단부(26)를 설치함으로써 교환 작업을 쉽게 행할 수 있도록 하고 있다. 이에 의해, 유기 기판(7)을 손상시키지 않고 반송할 수 있고, 또한 메인터넌스 작업을 쉽게 행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 수지인 링 부재(24)가 스테인레스인 고정 링(28)과 스테인레스인 고정판(36)에 협지되어 배치되므로, 링 부재(24) 중 자외선 등의 전자파에 조사되는 부분이 필요 최소한으로 억제되어 링 부재(24)의 열화가 억제된다.

또한, 본 실시 형태에서는 자외선 에싱 장치(3)에 구비된 반송 장치(1)를 예로 들어 설명하였지만, 다른 장치(4, 5, 6)에 구비된 반송 장치도 같은 구성을 구비하여 같은 작용 효과를 발휘한다.

또한, 본 실시 형태에서는 이송 롤러(23)의 회전에 의해 유리 기판(7)이 반송되어 있지만, 이 롤러 이외의 동력에 의해 유리 기판(7)이 반송되고, 롤러는 단순히 유리 기판(7)의 위치 맞춤을 위해 이용되고 있는 경우라도 본 발명의 효과는 마찬가지로 얻을 수 있다(제2 실시 형태, 그 밖의 실시 형태에 있어서도 마찬가지임).

<제2 실시 형태>

이하, 본 발명의 제2 실시 형태에 대해 도10 및 도11을 참조하면서 설명한다.

제1 실시 형태와 본 실시 형태의 차이는 분단부(41)가 링 부재(40)의 축방향에 대해 경사져 설치되어 있는 점에 있다.

주위 온도의 변동 등에 의해 링 부재(40)에 수축이 생긴 경우에는 분단부(41)에 벌어짐이 생겨버리는 경우가 있다. 여기서, 제1 실시 형태와 같이 분단부(41)가 링 부재(40)의 축방향에 따라서 형성되어 있으면, 이 벌어짐 부분이 유리 기판(7)의 반송 방향에 대해 수직 방향을 향하게 되므로, 유리 기판(7)의 반송시에 덜걱거림이 생길 우려가 있다. 그러나 분단부(41)를 링 부재(40)의 축방향에 대해 경사지게 설치해 두면, 양 분단단부(41A, 41B) 중 어느 한 쪽에 의해 유리 기판(7)이 항상 지지된다. 이로 인해, 덜걱거림을 회피하여 유리 기판(7)을 원활하게 반송할 수 있다.

<그 밖의 실시 형태>

본 발명의 기술적 범위는 상기한 실시 형태에 의해 한정되는 것은 아니고, 다음에 기재하는 바와 같은 것도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다. 그 밖의, 본 발명의 기술적 범위는 균등한 범위에까지 미치는 것이다.

(1) 상기 실시 형태에서는, 분단부(26)는 링 부재(24)의 1개소에 설치되어 있었지만, 도12에 도시한 바와 같이 분단부(42)가 2개소에 설치되어 있어도 좋고, 혹은 3개소 이상으로 설치되어 있어도 좋다. 이와 같은 구성은, 특히 링 부재(43)가 PEEK 수지 등의 비교적 딱딱한 재질에 의해 구성되어 있고, 큰 힘을 가하지 않으면 비틀 수 없는 경우에 있어서 바람직하게 적용할 수 있다.

(2) 상기 실시 형태에서는 고정 링(28)측에 홈부(31)가 마련되어 있었지만, 고정판측에 오목부가 설치되어 있어도 상관없다. 또한, 보유 지지 부재측에 돌출부가 설치되고, 링 부재측에 오목부가 설치되어 있어도 좋다. 또한, 보유 지지 부재와 고정판의 양쪽에 오목부 또는 돌출부가 설치되고, 이들과 끼워 맞춤 가능한 돌출부 또는 오목부가 링 부재의 양면측에 설치되어 있어도 상관없다.

(3) 상기 실시 형태에서는, 리브(25) 및 홈부(31)는 링 부재(24) 및 고정 링(28)의 전체 주위에 걸쳐서 설치되어 있었지만, 원주 상의 일부분에만 설치되어 있어도 좋다.

(4) 상기 실시 형태에서는 고정 링(28)측에 헤드가 달린 나사(32)가 설치되고, 고정판(36)측에 부착 구멍(37)이 마련되었지만, 고정 링측에 부착 구멍이 마련되고, 고정판측에 헤드가 달린 나사가 설치되어 있어도 상관없다.

(5) 상기 실시 형태에서는 링 부재(24)가 PTFE 수지에 의해 형성되어 있었지만, 다른 수지에 의해 형성되어도 상관없다. 구체적으로는, 폴리이미드 수지인 세프라(Sepra - 등록상표), 고밀도 폴리에틸렌(UPE) 등을 적절하게 사용할 수 있다. 또한, 장치 내부가 고온이 되는 적외선 예비 가열 장치(4)에 적용되는 반송 장치에 있어서는 내열성이 우수한 PEEK 수지를 바람직하게 사용할 수 있다. 또한, 이들 수지에 파이버 등의 혼입, 어닐(Aneal) 처리, 가교 등의 개질 처리를 실시한 것을 사용할 수도 있다.

(6) 상기 실시 형태에서는, 보유 지지 부재(27)는 스테인레스에 의해 형성되어 있었지만, 예를 들어 알루미늄, 세라믹스 등에 의해 형성되어 있어도 상관없다.

(7) 이송 롤러는 롤러축에의 부착 위치가 각 롤러축 사이에서 서로 축방향으로 어긋나도록 되어 있어도 좋다. 이와 같이 하면, 피반송재의 특정한 위치에 항상 이송 롤러가 접촉함으로써 찰상의 발생을 회피할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 의한 반송 장치는 피반송체를 반송하는 장치로서 유용하고, 특히 피반송체가 유리 등의 손상되기 쉬운 것인 경우와, 피반송물에 대해 자외선 처리를 행하는 공정에 이용하는 데 적합하다.

Claims

롤러를 구비한 롤러축을 구비하고, 상기 롤러에 접촉하는 피반송체를 반송하는 반송 장치이며,

상기 롤러는 반송 중의 상기 피반송체와 접촉하는 링 부재를 구비하고,

상기 링 부재에는 상기 링 부재를 직경 방향으로 분단하는 분단부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 롤러는 보유 지지 부재를 구비하고,

상기 보유 지지 부재는 제1 보유 지지 부재와, 상기 제1 보유 지지부에 고정 가능한 제2 보유 지지부로 분할 형성되어 있고,

상기 링 부재는 상기 제1 보유 지지부와 상기 제2 보유 지지부에 의해 협지됨으로써 상기 보유 지지 부재에 부착되는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 롤러는 보유 지지 부재를 구비하고,

상기 링 부재 및 상기 보유 지지 부재 중 한 쪽에는 축방향으로 돌출된 돌출부가 설치되어 있는 동시에, 다른 쪽에는 상기 돌출부를 끼워 넣음 가능한 오목부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제2항에 있어서, 상기 링 부재 및 상기 보유 지지 부재 중 한 쪽에는 축방향으로 돌출된 돌출부가 설치되어 있는 동시에, 다른 쪽에는 상기 돌출부를 끼워 넣을 수 있는 오목부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제4항에 있어서, 상기 제1 보유 지지부는 상기 롤러축에 고정 가능하고,

상기 링 부재는 상기 보유 지지 부재에 고정 가능하고,

상기 돌출부 또는 상기 오목부가 상기 제1 보유 지지부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 링 부재 중 반송 중의 상기 피반송체와 접촉하는 부분이 상기 링 부재와의 접촉에 의한 상기 피반송체의 손상을 회피 가능할 정도로 연질인 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 분단부의 윤곽선 중 반송 중의 상기 피반송체와 접촉하는 부분이 상기 롤러축의 회전축을 포함하는 평면 내로 한정되지 않는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제2항에 있어서, 상기 제2 보유 지지부가 상기 제1 보유 지지부에 나사에 의해 고정 가능한 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제8항에 있어서, 상기 제1 보유 지지부 또는 상기 제2 보유 지지부에는 대경 구멍과 소경 구멍이 연속 접촉되어 이루어지는 부착 구멍이 마련되어 있고,

상기 부착 구멍이 마련된 보유 지지부는 상기 부착 구멍을 관통하는 나사에 의해 다른 한 쪽의 보유 지지부에 나사 고정되어 있고,

상기 나사는 나사부와, 상기 나사부보다도 직경이 크게 형성된 헤드부를 구비한 헤드가 달린 나사이고,

상기 헤드부는 상기 대경 구멍에 의해 삽통이 허용되고, 또한 상기 소경 구멍에 의해 삽통이 규제되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 링 부재에 설치된 상기 분단부가 1개소인 것을 특징으로 하는 반송 장치.