KR20100018461A - 반송 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 크기가 다른 반송 대상물의 위치를 결정하고, 또한 복수의 반송 대상물을 연속적으로 반송할 수 있는 반송 시스템을 제공하기 위한 것이다.

본 발명에 따른 반송시스템은, 수평의 반송 궤도상에서 미리 정해진 반송방향으로 반송 대상물을 반송하는 반송수단과; 상기 반송방향과 직교하는 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제1 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 한쪽 측부에 접촉하는 제1 접촉위치와 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제1 대기위치 사이에서 이동 가능하게 설치된 제1 접촉부재와; 상기 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제2 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 다른 쪽 측부에 접촉하는 제2 접촉위치와 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제2 대기위치와의 사이에서 이동 가능하게 설치된 제2 접촉부재와; 상기 반송수단이 반송하는 상기 반송 대상물의 크기에 따라 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 상기 제1 위치 결정부, 및 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 상기 제2 위치 결정부를 선택하는 선택수단과; 상기 선택수단이 선택한 상기 제1 위치 결정부에 설치한 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 제1 이동수단과; 상기 선택수단이 선택한 상기 제2 위치 결정부에 설치한 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 제2 이동수단과; 상기 복수의 제1 접촉부재를 상기 수평방향으로 이동시키는 제3 이동수단;을 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

반송 시스템{Transport system}

본 발명은 기판 등의 반송 대상물을 반송하는 시스템에 관한 것이다.

박형 디스플레이의 제조에 사용되는 유리 기판으로 대표되는 기판은 일반적으로 수납 카세트의 각 슬롯에 1장씩 기판이 수납되고, 1개의 수납 카세트에는 여러 장의 기판이 수납된다. 그리고 그 기판의 처리시에는 1장씩 수납 카세트로부터 기판이 취출되어 기판 처리 장치에 반송되고, 처리 후에는 기판 처리 장치로부터 다시 수납 카세트로 반입된다. 이 종류의 설비의 경우, 수납 카세트와 처리 장치간에 기판을 반송하는 반송 시스템이 필요하다.

여기에서 롤러 컨베이어나 벨트 컨베이어 등에 의해 기판을 반송하는 설비로는, 기판에 대한 각 롤러 또는 벨트의 접촉 상태가 반드시 균일하지는 않기 때문에 반송 도중에 서서히 기판이 기울어지는 경우가 있다. 특히 반송방향과 직교되는 방향으로 긴 폭의 기판을 반송할 경우에는 반송 자세의 변화(반송방향에 대한 기판의 경사)가 커진다. 이와 같이 반송 자세가 변화된 상태에서 반송을 하면, 수납 카세트나 처리 장치에 기판을 반입 또는 반출할 경우에 기판의 반송이 원활하게 이루어지지 않는 경우가 있다. 따라서 기판의 반송 자세를 수정하기 위해 기판의 위치 결 정이 필요하다. 또 최근에는 여러 종류의 크기의 기판을 같은 반송 시스템상에서 반송하는 것이 요구되고 있다. 따라서 기판의 위치 결정은 다른 크기의 기판에 대응한 것이어야 할 필요가 있다.

아래의 특허문헌 1 및 2는, 위치 결정용 돌기를 마련한 벨트 컨베이어를 한쌍 병설하여 한쪽 벨트 컨베이어의 돌기가 기판의 앞변에, 다른 쪽 벨트 컨베이어의 돌기가 기판의 뒷변에 각각 맞닿도록 하여, 각 돌기로 기판을 끼움지지하면서 반송하는 시스템이 개시되어 있다.

[특허문헌 1] 일본공개특허 평8-26437호 공보

[특허문헌 2] 일본공개특허 평11-59847호 공보

그러나 특허문헌 1 및 2의 시스템에서는 벨트 컨베이어가 기판의 반송과 돌기 이동을 겸하고 있다. 따라서 한쌍의 벨트 컨베이어가 하나의 기판을 반송하는 동안 한쌍의 벨트 컨베이어가 그 기판의 반송에 전유되어 후속의 다른 기판을 연속적으로 반송할 수 없다.

따라서 본 발명의 목적은, 크기가 다른 반송 대상물의 위치를 결정하고 또한 복수의 반송 대상물을 연속적으로 반송할 수 있는 반송 시스템을 제공함에 있다.

본 발명에 의하면, 수평의 반송 궤도상에서 미리 정해진 반송방향으로 반송 대상물을 반송하는 반송수단과; 상기 반송방향과 직교하는 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제1 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 한쪽 측부에 접촉하는 제1 접촉위치와 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제1 대기위치 사이에서 이동 가능하게 설치된 제1 접촉부재와; 상기 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제2 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 다른 쪽 측부에 접촉하는 제2 접촉위치와 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제2 대기위치와의 사이에서 이동 가능하게 설치된 제2 접촉부재와; 상기 반송수단이 반송하는 상기 반송 대상물의 크기에 따라 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 상기 제1 위치 결정부, 및 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 상기 제2 위치 결정부를 선택하는 선택수단과; 상기 선택수단이 선택한 상기 제1 위치 결정부에 설치한 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 제1 이동수단과; 상기 선택수단이 선택한 상기 제2 위치 결정부에 설치한 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 제2 이동수단과; 상기 복수의 제1 접촉부재를 상기 수평방향으로 이동시키는 제 3 이동수단;을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템이 제공된다.

본 발명의 반송 시스템에서는, 반송 대상물의 크기에 따라 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 상기 제1 위치 결정부 및 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 상기 제2 위치 결정부를 선택하고, 각각 상기 제1 접촉위치, 상기 제2 접촉위치로 이동시킨다. 그 후, 상기 제1 접촉부재를 상기 수평방향으로 이동시킴으로써 상기 반송 대상물의 위치가 결정된다.

반송 대상물의 크기에 따라 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 상기 제1 위치 결정부 및 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 상기 제2 위치 결정부를 선택함으로써, 크기가 다른 반송 대상물의 위치를 결정할 수 있다. 또 상기 반송수단에 의해 반송 대상물을 반송하고, 상기 접촉위치와 상기 대기위치 사이의 상기 제1 및 제2 접촉부재의 이동 및 상기 제1 접촉부재의 상기 수평방향의 이동은, 상기 제1 내지 제3 이동수단으로 수행함으로써 상기 반송수단에 의해 복수의 반송 대상물을 연속적으로 반송할 수 있다.

본 발명에서는, 상기 수평방향으로 연장 설치되고, 모든 상기 제1 접촉부재를 지지하는 지지부재를 구비하고, 상기 제3 이동수단은 상기 지지부재를 상기 수평방향으로 이동시켜도 좋다.

또 본 발명에서는, 상기 제3 이동수단은, 상기 지지부재와 연결된 연결부와, 상기 연결부를 상기 수평방향으로 슬라이딩시키는 구동수단을 구비해도 좋다.

또 본 발명에서는, 상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래쪽 위치이며, 상기 반송수단은, 상기 반송방향으로 서로 이간된 복수의 반송 장치 를 구비하고, 서로 인접한 상기 반송 장치 사이의 간극 중 제1 간극에 상기 제1 접촉부재가, 상기 제1 간극과는 다른 제2 간극에 상기 제2 접촉부재가 각각 배치되어도 좋다.

또 본 발명에서는 상기 반송 장치는 상기 수평방향으로 배열된 복수의 반송 유닛을 구비해도 좋다.

또 본 발명에서는 상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래쪽 위치이며, 상기 제1 이동수단은, 상기 수평방향으로 연장 설치되고 각각의 상기 제1 위치 결정부마다 하나 또는 복수의 상기 제1 접촉부재가 직경 방향으로 돌출되게 설치된 제1 지지축과; 상기 제1 지지축을 그 축심 둘레로 회전시키고, 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치와 상기 제1 대기위치 사이에서 이동시키는 제1 구동수단;을 구비하고, 상기 제2 이동수단은, 상기 수평방향으로 연장 설치되고, 각각의 상기 제2 위치 결정부마다 하나 또는 복수의 상기 제2 접촉부재가 직경 방향으로 돌출되게 설치된 제2 지지축과; 상기 제2 지지축을 그 축심 둘레로 회전시키고, 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치와 상기 제2 대기위치 사이에서 이동시키는 제2구동수단;을 구비하고, 상기 제1 접촉부재는, 상기 제1 지지축의 회전 각도에 의해, 상기 제1 접촉부재가 상기 제1 접촉위치가 되는 상기 제1 위치 결정부가 다르도록 상기 제1 지지축에 마련되고, 상기 제2 접촉부재는, 상기 제2 지지축의 회전 각도에 의해, 상기 제2 접촉부재가 상기 제2 접촉위치가 되는 상기 제2 위치 결정부가 다르도록 상기 제2 지지축에 마련되어도 좋다.

또 본 발명에서는, 상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래 쪽 위치이며, 상기 제1 이동수단은, 각각의 상기 제1 위치 결정부마다 마련되고, 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치와 상기 제1 대기위치 사이에서 승강시키는 제1승강 수단이고, 상기 제2 이동수단은, 각각의 상기 제2 위치 결정부마다 마련되고, 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치와 상기 제2 대기위치 사이에서 승강시키는 제2승강 수단이어도 좋다.

또 본 발명에서는, 상기 제2 위치 결정부가 상기 반송방향으로 이간되어 2열 설정되고, 상기 제1 위치 결정부가 상기 2열의 상기 제2 위치 결정부 사이에 설정되어도 좋다.

또 본 발명에서는, 상기 반송 대상물이 기판이며, 상기 제1 위치 결정부와 상기 제2 위치 결정부의 배치 조합이, 상기 반송수단이 반송할 수 있는 최대 폭을 가진 제1 기판을 위치 결정하는 경우에 대응한 배치 조합과,

상기 제1 기판보다도 폭이 좁은 제2 기판을 상기 수평방향으로 복수 나열하여 위치를 결정하는 경우에 대응한 배치 조합을 포함해도 좋다.

또 본 발명에서는, 상기 제1 위치 결정부와 상기 제2 위치 결정부의 배치 조합이, 상기 제2 기판보다도 폭이 좁은 제3 기판을 상기 수평방향으로 복수 나열하여 위치를 결정하는 경우에 대응한 배치 조합과, 상기 제2 기판과 상기 제3 기판을 상기 수평방향으로 나열하여 각각 위치를 결정하는 경우에 대응한 배치 조합을 더 포함해도 좋다.

또 본 발명에서는 상기 반송 대상물이 기판이며, 상기 반송수단의 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 처리하는 처리 장치와, 상기 반송수단 의 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 수납하는 수납 카세트와, 상기 반송수단과 연속(連續)하고 또한 상기 수납 카세트의 하부에 배치되어 상기 수납 카세트와 상기 반송수단 사이에서 상기 기판을 반송하는 컨베이어를 구비해도 좋다.

또 본 발명에서는, 상기 반송 대상물이 기판이며, 상기 반송수단의 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 처리하는 처리 장치와; 상기 반송수단의 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 수납하는 제1 수납 카세트와; 상기 기판을 수납하는 제2 수납 카세트와; 상기 반송수단과 연속되고 또한 상기 제1 수납 카세트의 하부에 배치되어 상기 제1 수납 카세트와 상기 반송수단 사이에서 상기 기판을 반송하는 제1 컨베이어와; 적어도 상기 제2 수납 카세트의 하부에 배치된 제2 컨베이어와; 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단과 함께 상기 반송수단의 일부를 상기 제2 컨베이어와 연속하는 위치로 이동시키는 제4 이동수단;을 구비해도 좋다.

또 본 발명에서는, 상기 제2 수납 카세트가 상기 제1 수납 카세트에 대해 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 배치되고, 상기 제4 이동수단은, 상기 반송수단의 상기 일부를 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 이동시켜도 좋다.

또 본 발명에서는, 상기 반송 대상물이 기판이며, 상기 반송수단의 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 처리하는 처리 장치와; 상기 반송수단의 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 수납하는 제1 수납 카세트와; 상기 제1 수납 카세트에 대해 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 배치 되어 상기 기판을 수납하는 제2 수납 카세트와; 상기 반송수단과 연속하고 또한 상기 제1 수납 카세트의 하부에 배치되어 상기 제1 수납 카세트와 상기 반송수단 사이에서 상기 기판을 반송하는 제1 컨베이어와; 적어도 상기 제2 수납 카세트의 하부에 배치된 제2 컨베이어와; 상기 반송수단의 제1 부분을 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 상기 제2 컨베이어와 연속하는 위치로 이동시키는 제4 이동수단과; 상기 반송수단의 상기 제1 부분과 상기 반송방향으로 연속된, 상기 반송수단의 제2 부분을 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 이동시키는 제5 이동수단;을 구비하고, 상기 제1 부분 및 상기 제2부분에 각각 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단이 설치되고, 상기 제4 및 제5 이동수단은 각각 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분과 함께 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단을 이동시키도록 해도 좋다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 크기가 다른 반송 대상물의 위치를 결정하고 또한 복수의 반송 대상물을 연속적으로 반송할 수 있는 반송 시스템을 제공할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

<제1 실시형태>

<전체 구성>

도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 반송 시스템(A)의 레이아웃을 도시한 평면도, 도 2는 반송 시스템(A)의 측면도이다. 한편, 각 도면에서 화살표 X,Y는 서로 직교하는 수평방향, 화살표 Z는 상하 방향(연직 방향)을 나타낸다. 본 실시형태의 경우, 반송 시스템(A)은 후술하는 3종류의 유리 기판(W1) 내지 (W3)(총칭할 경우에는 유리 기판(W)이라고 한다.)을, 수납 카세트(10)와 미도시된 처리 장치 사이에서 반송한다. 처리 장치는, 예를 들면 유리 기판(W)의 세정, 건조, 기타 처리를 한다. 한편, 본 실시형태에서는 유리 기판을 반송 대상물로 하지만, 액정 기판, PDP기판 등 다른 기판, 골판지 등 각종 판형물 또는 다른 물건의 반송에도 본 발명을 적용할 수 있다.

반송 시스템(A)은, 주반송 장치(100)와, 주반송 장치(100)에 연속하여 배치된 이동적재 컨베이어(200)와, 이동적재 컨베이어(200) 위에서 수납 카세트(10)를 승강시키는 한쌍의 승강 장치(20)와, 주반송 장치(100)에 마련된 위치 결정 장치(140)와, 주반송 장치(100)에 연속하여 배치된 컨베이어(30)를 구비한다.

본 실시형태의 경우, 유리 기판(W)의 반송방향은 X방향이고, 반송방향으로 직교하는 방향은 Y방향이다. 미도시된 처리 장치는 주반송 장치(100)의 +X쪽에 배치되고, 컨베이어(30)는 주반송 장치(100)와 미도시된 처리 장치와의 사이에 개재되어 이들 사이에서 유리 기판(W)의 반송을 행한다. 수납 카세트(10)는 주반송 장치(100)의 ―X쪽에 배치되고, 이동적재 컨베이어(200) 및 1쌍의 승강 장치(20)는 수납 카세트(10)로부터 주반송 장치(100)로의 유리 기판(W)의 반출 및 주반송 장치(100)로부터 수납 카세트(10)로의 유리 기판(W)의 반입을 행한다.

<주반송 장치(100)>

주반송 장치(100)는 X방향으로 서로 이간된 복수의 반송 장치(110)를 구비한다. 본 실시형태의 경우, 반송 장치(110)는 X방향으로 8개 배치되어 있다. 도 3은 반송 장치(110)의 사시도이다. 반송 장치(110)는 Y방향으로 배열된 합계 4개의 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)을 구비한다. 본 실시형태의 경우, 롤러 컨베이어 유닛(120)이 Y방향 양단부에 각각 하나, 롤러 컨베이어 유닛(130)이 2개의 롤러 컨베이어 유닛(120) 사이에 2개 배치되어 있다.

이와 같이, 주반송 장치(100)는 복수의 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)을 매트릭스 형태로 배치하여 구성되어 있다. 본 실시형태에서는 주반송 장치(100)를 롤러 컨베이어로 하였으나, 벨트 컨베이어 등 다른 형식의 컨베이어를 사용해도 좋다.

롤러 컨베이어 유닛(120)은 유리 기판(W)이 놓여지는 복수의 롤러(121)와, 롤러(121)의 구동 장치를 내장한 구동 박스(122)와, 롤러(121) 위의 유리 기판(W)을 검출하는 센서(123)를 구비한다. 센서(123)는 롤러 컨베이어 유닛(120)의 X방향의 양단부에 하나씩 배치되어 있다. 롤러(121)는 Y방향으로 연장된 축을 회전축으로 하고, 그 회전축을 중심으로 회전하여 유리 기판(W)을 X방향으로 반송한다.

롤러 컨베이어 유닛(130)은 유리 기판(W)이 놓여지는 복수의 롤러(131)와, 롤러(131)의 구동 장치를 내장한 구동 박스(132)와, 롤러(131) 위의 유리 기판(W)을 검출하는 센서(133)를 구비한다. 센서(133)는 롤러 컨베이어 유닛(120)의 X방향의 양단부에 하나씩 배치되어 있다. 롤러(131)는 Y방향으로 연장된 축을 회전축으로 하고, 그 회전축을 중심으로 회전하여 유리 기판(W)을 X방향으로 반송한다.

롤러 컨베이어 유닛(130)의 Y방향 폭은, 롤러 컨베이어 유닛(120)의 Y방향 폭의 약 절반 정도이다. 각 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 각 롤러 컨베이어 유닛(130)은 각각 독립적으로 구동 가능하다.

롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)은 롤러(121),(131)의 수가 다른 2종류의 유닛이 사용되었다. 도 1에 도시한 바와 같이 위치 결정 장치(140) 근방에는 5열의 롤러(121),(131)를 가진 것과 3열의 롤러(121),(131)를 가진 것이 있고, 그 밖의 것은 4열의 롤러(121),(131)를 가지고 있다. 그러나 롤러의 열수는 전부 동일하게 해도 좋다.

또 컨베이어(30) 근방의 반송 장치(110)에는 도 1 및 도 3에 도시한 바와 같이 유리 기판(W)을 검출하는 센서(111)가 설치되어 있다. 이들은 처리 장치(미도시)로부터 주반송 장치(100)로 반출되는 유리 기판(W)의 종류를 판별하기 위해 사용된다.

도 4의 (A) 내지 (D)는 주반송 장치(100)에 의한 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 반송 형태의 예를 도시한 도면이다. 주반송 장치(100)는 크기가 다른 유리 기판(W1) 내지 (W3)을 반송하는 것을 상정하였다.

유리 기판(W1)은 가장 크기가 큰 유리 기판이며, 주반송 장치(100)에 의해 반송할 수 있는 최대의 폭(Y방향 폭)을 가지고 있고, 도 4의 (A)에 도시한 바와 같이 1장씩 반송된다. 유리 기판(W2)은 유리 기판(W1)보다도 Y방향 폭이 좁고, 유리 기판(W1)의 Y방향 폭의 절반 정도보다도 약간 좁은 폭을 가지고 있다. 유리 기판(W2)은 도 4의 (B)에 도시한 바와 같이 Y방향으로 2장 나열하여 동시에 반송 가 능하다.

유리 기판(W3)은 유리 기판(W2)보다도 X방향 및 Y방향의 쌍방의 폭이 좁고, 유리 기판(W2)의 X방향 및 Y방향의 각 폭의 절반 정도보다도 약간 좁은 각 폭을 가지고 있다. 유리 기판(W3)은 도 4의 (C)에 도시한 바와 같이 Y방향으로 4장 나열하여 동시에 반송 가능하다.

또 주반송 장치(100)는 크기가 다른 유리 기판(W)을 Y방향으로 나열하여 동시에 반송할 수도 있고, 도 4의 (D)의 예에서는 유리 기판(W2)을 1장, 유리 기판(W3)을 Y방향으로 2장, X방향으로 2장 나열하여 동시에 반송하는 형태를 보이고 있다.

<이동적재 컨베이어(200) 및 컨베이어(30)>

이동적재 컨베이어(200)는, 본 실시형태의 경우 주반송 장치(100)와 마찬가지의 구성으로서, 매트릭스 형태로 배치된 합계 40개의 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)을 구비한다. 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)의 롤러의 열수는 3열로 되어 있다. 또 컨베이어(30)는 단일의 롤러 컨베이어 유닛이다. 한편, 이동적재 컨베이어(200) 및 컨베이어(30)는 벨트 컨베이어 등 다른 형식의 컨베이어를 사용해도 좋다.

본 실시형태의 경우, 주반송 장치(100), 이동적재 컨베이어(200) 및 컨베이어(30)의 각 롤러 상단이, 도 2에 도시한 바와 같이 동일 수평면상에 위치되어 있으며 유리 기판(W)을 수평으로 반송하는 반송 궤도를 규정한다.

또 주반송 장치(100), 이동적재 컨베이어(200) 및 컨베이어(30)의 반송 부분 의 Y방향 폭은, 본 실시형태에서 가장 크기가 큰 유리 기판(W1)의 Y방향 폭보다 약간 넓게 형성된다.

<수납 카세트(10)>

도 5는 수납 카세트(10)의 사시도이다. 수납 카세트(10)는 유리 기판(W)을 Z방향으로 다단으로 수납 가능한 카세트이다. 한편, 도 5는 유리 기판(W)이 미수납된 상태를 도시하고 있다. 본 실시형태의 경우, 수납 카세트(10)는 복수의 기둥 부재(11)와 대들보 부재(12)에 의해 대략 직육면체형의 프레임체를 이루고 있고, 한쌍의 승강 장치(20)에 지지되어 이동적재 컨베이어(200)의 윗쪽에 위치하고 있다. 기둥 부재(11)의 설치 간격 및 대들보 부재(12)의 설치 간격은, 이동적재 컨베이어(200)를 구성하는 각 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)이 수납 카세트(10)의 아래쪽으로부터 수납 카세트(10) 안으로 진입할 수 있도록 설정된다.

기둥 부재(11)는 X방향으로 복수 설치됨과 동시에 Y방향으로 이간되어 같은 수만큼 나란히 설치되어 있다. Y방향으로 이간된 한쌍의 기둥 부재(11) 사이에는 Z방향으로 나열하고 또한 소정의 피치로 와이어(13)가 장설(張設)되어 있다. 각 와이어(13) 상하간의 공간에는 유리 기판(W)을 수납하는 슬롯을 형성하고, 유리 기판(W)는 대략 수평 자세로 와이어(13) 위에 놓여진다. 그리고 Z방향으로 늘어선 와이어(13)의 수만큼 슬롯이 형성된다. 본 실시형태에서는 슬롯을 와이어로 형성하였으나, 다른 방식도 물론 채용 가능하다.

본 실시형태의 경우, 수납 카세트(10)는 하나의 슬롯에 복수의 유리 기판(W)을 수납할 수 있는 크기를 가지고 있다. 도 6의 (A) 내지 (D)는 수납 카세트(10)로 의 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 수납 형태의 예를 도시한 도면이다. 도 6의 (A)는, 유리 기판(W1)을 X방향으로 2장 나열하여 수납한 형태를 도시한다. 도 6의 (B)는, 유리 기판(W2)을 X방향으로 2장, Y방향으로 2장, 합계 4장 나열하여 수납한 형태를 도시한다. 도 6의 (C)는, 유리 기판(W3)을 X방향으로 4장, Y방향으로 4장, 합계 16장 나열하여 수납한 형태를 도시한다. 도 6의 (D)는, 유리 기판(W1) 내지 (W3)을 혼재시켜 나열하여 수납한 형태를 도시하고, ―X쪽에 1장의 유리 기판(W1), +X쪽에서 +Y쪽에 1장의 유리 기판(W2), +X쪽에서 ―Y쪽에 4장의 유리 기판(W3)을 수납한 형태를 도시한다.

<승강 장치(20)>

도 7은 한쌍의 승강 장치(20)의 사시도, 도 8은 승강 장치(20)의 분해 사시도이다. 본 실시형태에서는 승강 장치(20)에 의해 수납 카세트(10)를 Z방향으로 승강시킴으로써 수납 카세트(10)와 이동적재 컨베이어(200)를 Z방향으로 상대적으로 이동시킨다. 그러나 이동적재 컨베이어(200)를 Z방향으로 승강시키는 구성으로 해도 좋고 이 경우 주반송 장치(100)도 승강시키는 구성으로 하게 된다.

본 실시형태의 경우, 승강 장치(20)는 수납 카세트(10)를 사이에 두도록 수납 카세트(10)의 서로 대향하는 Y방향 양측부에 각각 설치되어 수납 카세트(10)를 외팔보 형태로 지지한다.

승강 장치(20)는 수납 카세트(10) 바닥부의 대들보 부재(12)가 놓여지는 빔 부재(21)를 구비하고, 각 승강 장치(20)의 각 빔 부재(21)가 동기적으로 Z방향으로 이동함으로써 수납 카세트(10)가 승강된다. 승강 장치(20)는 Z방향으로 연장되는 지주(22)를 구비하고, 지주(22)의 안쪽 표면에는 Z방향으로 연장되는 한쌍의 레일 부재(23) 및 랙(24)이 고정되어 있다. 각 승강 장치(20) 사이에는 지주(22)의 상단에 대들보 부재(20a)가 가설(架設)되어 있다.

빔 부재(21)는 지지판(25)의 일측면에 브라켓(25a)을 통해 고정되어 지지된다. 지지판(25)의 다른 측면에는 레일 부재(23)를 따라서 이동 가능한 4개의 슬라이드 부재(26)가 고정되고, 빔 부재(21) 및 지지판(25)은 레일 부재(23)의 안내에 의해 상하로 이동한다. 구동유닛(27)은 모터(27a)와 감속기(27b)로 구성되어 있으며 지지판(28)의 일측면에 고정되어 지지되어 있다. 감속기(27b)의 출력축은 지지판(28)을 관통하여 지지판(28)의 다른 측면에 설치된 피니언(29a)에 접속되어 있다.

지지판(25)와 지지판(28)은 소정의 간격을 두고 서로 고정되고 지지판(25)과 지지판(28) 사이의 간극에는 피니언(29b) 내지 (29d)가 설치되어 있다. 피니언(29b) 내지 (29d)은 지지판(25)와 지지판(28) 사이에서 회전 가능하게 축지지되고, 피니언(29b) 및 피니언(29c)은 피니언(29a)의 회전에 종동하여 회전한다. 피니언(29d)은 피니언(29c)의 회전에 종동하여 회전한다. 피니언(29b) 내지 (29d)는 서로 마찬가지 규격의 피니언이며, 2개의 피니언(29b) 및 (29d)는 각 랙(24)과 맞물려 있다.

그런데 구동유닛(27)을 구동하면 피니언(29a)이 회전하고, 그 구동력에 의해 구동유닛(27), 지지판(25) 및 (28), 슬라이드 부재(26) 및 빔 부재(21)가 일체가 되어 윗쪽 또는 아래쪽으로 이동하게 되어 빔 부재(21) 위에 놓여진 수납 카세 트(10)를 승강시킬 수 있다. 각 승강 장치(20)에는 서로간의 빔 부재(21) 승강 높이의 엇갈림을 검출하는 센서(21a)가 빔 부재(21)의 단부에 설치되어 있다.

센서(21a)는 예를 들면 발광부와 수광부를 구비한 광센서로서, 도 7에 도시한 바와 같이 서로 광을 Y방향으로 조사하여 이것을 수광했는지 여부를 판정한다. 수광한 경우에는 서로간의 빔 부재(21) 승강 높이의 엇갈림이 없게 되고, 수광하지 않는 경우는 승강 높이에 엇갈림이 있게 된다. 승강 높이의 엇갈림이 센서(21a)에서 검출되면 모터(27a)의 제어에 의해 엇갈림이 해소되도록 제어된다.

도 9의 (A) 내지 (E)는 기판(W)을 수납 카세트(10)에서 반출하는 경우의 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)의 동작 설명도이다. 유리 기판(W)의 반출은, 유리 기판(W)이 수납된 슬롯 중 최하측 슬롯에 수납된 유리 기판(W)부터 순서대로 실시한다.

우선 도 9의 (A)에 도시한 바와 같이, 이동적재 컨베이어(200)의 윗쪽에 수납 카세트(10)가 위치한 상태에서 승강 장치(20)에 의해 수납 카세트(10)를 강하시키고, 도 9의 (B)에 도시한 바와 같이 이동적재 컨베이어(200) 위에 반송 대상의 유리 기판(W)을 놓아둔다. 이 때, 이동적재 컨베이어(200)는 수납 카세트(10) 안으로 아래쪽으로부터 진입하고, 반송 대상의 유리 기판(W)은 수납 카세트(10)의 와이어(13)로부터 들뜬 상태가 되어 이동적재 컨베이어(200)로만 지지된 상태가 된다. 계속해서 이동적재 컨베이어(200)를 구동하여 도 9의 (C)에 도시한 바와 같이 반송 대상의 유리 기판(W)을 수납 카세트(10)로부터 반출한다.

반출이 완료되면, 도 9의 (D)에 도시한 바와 같이 승강 장치(20)에 의해 수 납 카세트(10)을 강하시키고 이동적재 컨베이어(200) 위에 다음 슬롯의 유리 기판(W)을 놓아둔다. 계속해서 이동적재 컨베이어(200)를 구동하여 도 9의 (E)에 도시한 바와 같이 반송 대상의 유리 기판(W)을 수납 카세트(10)로부터 반출한다. 이하, 마찬가지로 수납 카세트(10)의 강하와 이동적재 컨베이어(200)의 구동을 반복하여(도 9의 아래 도면), 아래쪽으로부터 순서대로 유리 기판(W)을 반출하게 된다.

유리 기판(W)을 수납 카세트(10)에 반입할 경우에는 상술한 반출시의 동작과 반대의 동작이 된다. 유리 기판(W)의 반입은 유리 기판(W)이 수납되어 있지 않은 슬롯 중 최상측 슬롯부터 순서대로 행한다. 유리 기판(W)의 반출, 반입시에 이동적재 컨베이어(200)의 각 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)은 유리 기판(W)의 크기 및 위치에 따라 선택적으로 구동된다.

<위치 결정 장치(140)>

도 10은 위치 결정 장치(140)의 사시도이다. 위치 결정 장치(140)는 2개의 위치 결정 유닛(150)과 1개의 위치 결정 유닛(160)을 구비한다.

위치 결정 유닛(150)은, Y방향으로 연장되는 지지축(151)과, 지지축(151)의 한쪽 단부를 지지하는 베어링 부재(153)와, 지지축(151)의 타측 단부를 지지하는 베어링 부재(154)를 구비한다. 지지축(151)은 그 축심 둘레에 회전 가능하게 베어링 부재(153),(154)에 지지되어 있다.

베어링 부재(154)는 모터(155)를 지지하는 베이스부를 구비하고 있으며, 모터(155)의 출력축은 지지축(151)에 연결되어 있다. 모터(155)는, 예를 들면 스테핑 모터나 서보 모터이다. 서보 모터를 채용한 경우, 출력축의 회전 각도를 검출하는 인코더가 병용된다. 모터(155)를 회전 구동시킴으로써 지지축(151)은 그 축심 둘레로 회전한다. 한편, 본 실시형태에서는 각 위치 결정 유닛(150)에 각각 모터(155)를 설치하였으나, 모터(155)를 하나로 하고 그 구동력을 각 지지축(151)에 전달하는 전달 기구를 설치한 구성이어도 좋다. 이 경우 구동원으로서의 모터(155)의 수를 줄일 수 있다.

지지축(151)에는 복수의 접촉부재(152)가 고정되어 있다. 접촉부재(152)는, Y방향으로 이간된 복수의 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)마다 각각 1개 이상 설치되어 있다. 본 실시형태의 경우, 위치 결정부(Pb1)에는 2개의 접촉부재(152)가, 위치 결정부(Pb2)에는 3개의 접촉부재(152)가, 위치 결정부(Pb3)에는 하나의 접촉부재(152)가, 위치 결정부(Pb4)에는 4개의 접촉부재(152)가 각각 마련되어 있다. 각 접촉부재(152)는 지지축(151)의 직경 방향으로 돌출되게 설치되어 있다.

위치 결정 유닛(160)은, Y방향으로 연장되는 지지축(161)과, 지지축(161)의 한쪽 단부를 지지하는 베어링 부재(163)와, 지지축(161)의 타측 단부를 지지하는 베어링 부재(164)를 구비한다. 지지축(161)은 그 축심 둘레로 회전 가능하게 베어링 부재(163),(164)에 지지되어 있다.

베어링 부재(164)는 모터(165)를 지지하는 베이스부를 구비하고 있고, 모터(165)의 출력축은 지지축(161)에 연결되어 있다. 모터(165)는, 예를 들면 스테핑 모터나 서보 모터이다. 서보 모터를 채용한 경우, 출력축의 회전 각도를 검출하는 인코더가 병용된다. 모터(165)를 회전 구동시킴으로써 지지축(161)은 그 축심 둘레로 회전한다.

지지축(161)에는 복수의 접촉부재(162)가 고정되어 있다. 접촉부재(162)는 Y방향으로 이간된 복수의 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)마다 각각 1개 이상 설치되어 있다. 본 실시형태의 경우, 위치 결정부(Pa1)에는 4개의 접촉부재(162)가, 위치 결정부(Pa2)에는 2개의 접촉부재(162)가, 위치 결정부(Pa3)에는 3개의 접촉부재(162)가, 위치 결정부(Pa4)에는 하나의 접촉부재(162)가 각각 마련되어 있다. 각 접촉부재(162)는 지지축(161)의 직경 방향으로 돌출되게 설치되어 있다.

베어링 부재(163)는 지지대(166) 위에서 Y방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 또 베어링 부재(164)도 지지대(166) 위에서 Y방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 베어링 부재(164)의 옆쪽에는 구동유닛(167)이 병설되어 있다. 구동유닛(167)은, 본 실시형태의 경우 에어 실린더이며, 연결부재(168)가 고정된, Y방향으로 이동하는 가동부를 가지고 있다. 연결부재(168)는, 베어링 부재(164)에 고정되어 있고, 베어링 부재(164)를 통해 지지축(161)에 연결되어 있다.

따라서 구동유닛(167)의 구동에 의해 지지축(161), 모든 접촉부재(162), 베어링 부재(163) 및 (164)가 일체적으로 Y방향으로 이동한다.

<위치 결정 장치(140)에 의한 위치 결정 동작>

<접촉위치와 대기위치간의 이동>

위치 결정 유닛(150) 및 위치 결정 유닛(160)의 각 접촉부재(152),(162)는 지지축(151),(161)의 회전에 의해 유리 기판(W)의 반송 궤도상에 위치하여 유리 기판(W)의 한쪽 측부에 접촉하는 접촉위치와, 유리 기판(W)의 반송 궤도상에 위치하지 않는 대기위치 사이에서 이동한다.

도 11(A) 및 (B)는 접촉부재(162)의 이동 형태의 설명도이다. 이 도면들 및 도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시형태의 경우, 지지축(161) 및 접촉부재(162)는 반송 장치(110) 사이의 간극에 설치되어 있다. 지지축(161) 및 접촉부재(162)를 반송 장치(110) 사이의 간극에 설치함으로써 비어있는 공간을 이용하여 위치 결정 장치(140)의 콤팩트화를 꾀할 수 있다. 도 11의 (A) 및 (B)는, 3개의 접촉부재(162)가 설치된 위치 결정부(Pa3)에서의 동작을 도시고 있다.

도 11의 (A)는 어떠한 접촉부재(162)도 롤러 컨베이어 유닛(120)(및 (130))의 상단에 의해 규정되는 반송 궤도(TR)상에 위치되어 있지 않고 반송 궤도(TR)보다도 아래쪽의 대기위치에 위치되어 있는 상태를 도시하고 있다. 이 경우, 유리 기판(W)에 접촉부재(162)가 접촉하지는 않는다. 도 11의 (B)는 지지축(161)을 회전시킴으로써 3개의 접촉부재(162) 중 하나가 반송 궤도(TR)상에 위치한 접촉위치에 위치되어 있는 경우를 도시하고 있다. 이 경우, 유리 기판(W)에 접촉부재(162)가 접촉 가능한 상태로 되어 있다. 한편, 본 실시형태의 경우 대기위치는 유리 기판(W)의 반송 궤도(TR)의 아래쪽이지만, 윗쪽으로 해도 좋다.

위치 결정 유닛(150)에 대해서도 마찬가지이며, 도 1에 도시한 바와 같이 지지축(151) 및 접촉부재(152)는 지지축(161) 및 접촉부재(162)가 설치된 반송 장치(110) 사이의 간극과는 다른 간극에 설치되어 있다. 그리고 지지축(151)의 회전에 의해 접촉부재(152)가 접촉위치와 대기위치 사이에서 이동한다. 지지축(151) 및 접촉부재(152)를 반송 장치(110) 사이의 간극에 설치함으로써 비어있는 공간을 이용하여 위치 결정 장치(140)의 콤팩트화를 꾀할 수 있다.

<위치 결정 동작>

유리 기판(W)의 위치 결정은, 접촉위치에 위치되어 있는 접촉부재(152) 및 접촉부재(162)를 유리 기판(W)의 Y방향의 각 측부에 접촉시켜 수행한다. 도 12의 (A) 및 (B)는 위치 결정 장치(140)에 의한 위치 결정 동작의 설명도이다.

도 12의 (A)는, 접촉부재(152) 및 접촉부재(162)가 유리 기판(W)에 접촉되기 전의 상태를 도시한다. 접촉부재(162)는 접촉부재(152)로부터 거리(D1)만큼 떨어진 초기 위치에 위치되어 있다. 거리(D1)은 유리 기판(W)의 폭(Y방향 폭)(DW)보다도 크다.

도 12의 (A)의 상태에서 구동유닛(167)을 구동시키고, 접촉부재(162)를 접촉부재(152)에 가까운 방향(도면 중에서는 오른쪽 방향)으로 이동시켜, 도 12의 (B)에 도시한 바와 같이 위치 결정 위치에 위치시킨다. 접촉부재(152)와 접촉부재(162) 사이의 거리(D2)(<D1)는 유리 기판(W)의 폭(DW)과 대략 일치한다. 이로써 유리 기판(W)의 Y방향의 양측부가 접촉부재(152),(162)에 의해 가이드되어 위치 결정된다. 위치 결정 후에는 다시 구동유닛(167)을 구동하여 도 12의 (A)와 같이 접촉부재(162)가 접촉부재(152)로부터 거리(D1)만큼 떨어진 초기 위치로 되돌리게 된다. 구동유닛(167)은 거리(D1)과 거리(D2)의 차분만큼 접촉부재(162)를 이동시키게 된다.

한편, 거리(D2)는 유리 기판(W)의 폭(DW)보다도 약간 크게 하는 것이 바람직하다. 거리(D2)를 유리 기판(W)의 폭(DW)에 딱 맞게 일치시키면 접촉부재(152)와 접촉부재(162)에 의해 유리 기판(W)이 끼워잡히게되고, 그 끼워잡는 힘에 의해 유 리 기판(W)이 파손될 염려가 있기 때문이다. 유리 기판(W)의 파손을 방지하기 위해서는 접촉부재(152),(162)의 표면에 고무 등의 완충부재를 설치하거나, 또는 접촉부재(152),(162)와 지지축(151),(162) 사이에 스프링 등의 완충 수단을 개재시켜 일정한 하중이 작용한 경우에 접촉부재(152),(162)가 약간 변위하도록 해도 좋고, 이러한 구성일 경우 거리(D2)를 유리 기판(W)의 폭(DW)에 대략 일치시킬 수 있다.

또 본 실시형태에서는, 위치 결정 유닛(160)에만 구동유닛(167)을 설치하여 접촉부재(162)만을 Y방향으로 이동 가능하게 하였으나, 위치 결정 유닛(150)에도 구동유닛을 설치하여 접촉부재(152)도 Y방향으로 이동 가능하게 구성해도 좋다. 또는 구동유닛(167)과 위치 결정 유닛(150) 사이에 링크 기구를 개재시켜서 접촉부재(152)도 Y방향으로 이동 가능하게 구성해도 좋다.

<위치 결정부의 선택>

본 실시형태에서는 주반송 장치(100)가 반송하는 유리 기판(W)의 크기에 따라 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 선택함으로써 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 위치를 결정할 수 있다. 도 13은 각 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4) 및 (Pb1) 내지 (Pb4)의 설명도이다. 도 13에서 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)는 접촉부재(162)가 초기 위치로부터 위치 결정 위치로 이동한 후의 경우를 도시하고 있다.

우선 도 13에 도시한 바와 같이 각 위치 결정 유닛(150),(160),(150)은 반송방향(X방향)으로 이간되어 배치되어 있고, 위치 결정 유닛(160)은 2개의 위치 결정 유닛(150) 사이에 배치되어 있다. 즉, 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)는 반송방향(X 방향)으로 이간되어 2열 설정되고, 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)는 이 2열의 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 사이에 설정되어 있다. 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)는 주반송 장치(100)의 +Y방향쪽 근처에 배치되고, 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)는 주반송 장치(100)의 ―Y방향쪽 근처에 배치되어 있다.

이로써 유리 기판(W)의 Y방향의 한쪽 측부에 하나의 접촉부재(162)를, 다른쪽 측부에는 2개의 접촉부재(152)를 각각 접촉시킴으로써, 총 3군데에서 유리 기판(W)의 위치결정을 행한다. 그리고 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)와 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)의 배치 조합은, 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)을 각각 위치 결정하는 경우에 대응하여 설정되어 있다.

구체적으로는, 우선 위치 결정부(Pa1)의 위치는 주반송 컨베이어(100)의 +Y방향의 단부 근방에 설정되어 있고, 위치 결정부(Pa1)의 위치를 기준으로 하여 다른 위치 결정부(Pa2) 내지 (Pa4)의 위치가, 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 폭에 따라, 그 각 한쪽단이 위치해야 할 위치에 설정되어 있다. 또 위치 결정부(Pb4)의 위치는, 주반송 컨베이어(100)의 ―Y방향의 단부 근방에 설정되어 있고, 위치 결정부(Pb4)의 위치를 기준으로 하여 다른 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb3)의 위치가, 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 폭에 따라, 그 각 타측단이 위치해야 할 위치에 설정되어 있다. 따라서 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)는 전체적으로 +Y쪽에 위치되어 있고 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)는 전체적으로 ―Y쪽에 위치되어 있다.

그리고 도 13에 도시한 바와 같이 유리 기판(W1)을 위치 결정하는 경우에 대응하여 위치 결정부(Pa1),(Pb4)의 위치가 설정되어 있다. 또 유리 기판(W2)을 위치 결정하는 경우에 대응하여 위치 결정부(Pa1),(Pb2) 및 위치 결정부(Pa3),(Pb4)의 위치가 각각 설정되어 있다. 나아가 유리 기판(W3)을 위치 결정하는 경우에 대응하여 위치 결정부(Pa1),(Pb1),(Pa2)와 위치 결정부(Pb2),(Pa3),(Pb3) 및 위치 결정부(Pa4),(Pb4)의 위치가 각각 설정되어 있다.

이와 같이 하여, 주반송 장치(100)가 반송하는 유리 기판(W)의 크기에 따라, 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 선택함으로써 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 위치를 결정할 수 있다.

본 실시형태의 경우, 각 접촉부재(152)는 지지축(151)의 축심 둘레에서 0도, 90도, 180도, 270도 중 어느 한 위치에 설치되어 있다. 마찬가지로 각 접촉부재(162)는 지지축(161)의 축심 둘레에서 0도, 90도, 180도, 270도 중 어느 한 위치에 설치되어 있다. 그리고 지지축(151),(161)의 회전 각도에 의해, 접촉부재(152),(162)가 접촉위치에 위치되어 있는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)가 다르도록 각 접촉부재(152),(162)가 지지축(151),(161)에 마련되어 있다. 즉, 지지축(151),(161)의 회전 각도에 의해 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 임의로 선택할 수 있도록 되어 있다.

도 14는 위치 결정 장치(140)의 동작 패턴의 예를 도시한 도면으로서, 지지축(151),(161)의 회전 각도와 각 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)에서의 접촉부재(152),(162)의 위치(접촉위치인지 대기위치인지) 및 위치 결 정 대상으로 하는 유리 기판(W)의 크기 등을 도시한 도면이다.

도 14에서 회전 각도는 지지축(151),(161)의 회전 각도(시계방향)이며, 접촉부재의 위치란, 지지축(151),(161)의 회전 각도가 0도, 90도, 180도, 270도인 경우에 접촉부재(152),(162)가 접촉위치에 있는지 대기위치에 있는지를 나타내고 있다. 위치 결정부(Pa1) 및 (Pb4)에서는 접촉부재(162),(152)가 90도마다 4개 마련되어 있기 때문에 항시 어느 한 접촉부재(162),(152)가 접촉위치에 위치하게 된다.

패턴 1(회전 각도: 0도)의 경우, 모든 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4) 및 (Pb1) 내지 (Pb4)에서 접촉부재(162) 및 (152)가 접촉위치에 위치되어 있어, 동시 반송되는 4장의 유리 기판(W3)을 위치 결정할 수 있다. 접촉부재(162)는 공통의 지지축(161)에 지지되어 있고, 동시에 초기 위치와 위치 결정 위치 사이를 이동하기 때문에 4장의 유리 기판(W3)을 동시에 위치 결정할 수 있다. 한편, 유리 기판(W3)을 4장 동시가 아닌 낱장 반송하는 경우나 2장 동시 반송하는 경우에도 이 패턴 1을 선택함으로써 그 위치 결정을 할 수 있다.

패턴 2(회전 각도: 90도)의 경우, 위치 결정부(Pa4) 및 (Pb3)에서는 접촉부재(162) 및 (152)가 대기위치에 위치되어 있고, 다른 위치 결정부에서는 접촉위치에 위치되어 있다. 패턴 2는 동시 반송되는 1장의 유리 기판(W2)과 2장의 유리 기판(W3)을 동시에 위치 결정할 수 있다(단, 본 실시형태에서는 유리 기판(W2)이 ―Y쪽에 위치되어 있는 경우.).

패턴 3(회전 각도: 180도)의 경우, 위치 결정부(Pa1) 및 (Pb4)만 접촉부재(162) 및 (152)가 접촉위치에 위치되어 있고, 다른 위치 결정부에서는 대기위치 에 위치되어 있다. 패턴 3은 1장의 유리 기판(W1)을 위치 결정할 수 있다.

패턴 4(회전 각도: 270도)의 경우, 위치 결정부(Pa1),(Pa3) 및 (Pa2),(Pa4)에서는 접촉부재(162) 및 (152)가 접촉위치에 위치되어 있고, 다른 위치 결정부에서는 대기위치에 위치되어 있다. 패턴 4는, 동시 반송되는 2장의 유리 기판(W2)을 동시에 위치 결정할 수 있다. 한편, 유리 기판(W2)을 2장 동시가 아닌 낱장 반송하는 경우에도 이 패턴 4를 선택함으로써 그 위치 결정을 할 수 있다.

<반송예>

도 15의 (A) 및 (B), 도 16의 (A) 및 (B)는 반송 시스템(A)의 동작 설명도로서, 처리장치(미도시)로부터 반출되는 유리 기판(W)을 도중에 위치 결정하여 수납 카세트(10)에 반입하는 예를 도시한다.

도 15의 (A)는 미도시된 처리 장치로부터 2장의 유리 기판(W2)(제1군의 유리 기판이라고도 한다.)이 Y방향으로 배열되어 동시에 반출된 형태를 도시한다. 유리 기판(W2)은 반송방향(X방향)에 대해 기울어져 반출되고 있다. 반송 시스템(A)은 우선 컨베이어(30) 및 주반송 장치(100)를 구동하여 제1군의 유리 기판을 ―X방향으로 반송한다. 그 때 제1군의 유리 기판의 크기, 위치를 특정한다.

유리 기판(W)의 크기, 위치의 특정은, 본 실시형태의 경우 센서(111)의 검출 결과에 기초하여 행한다. 센서(111)는 Y방향으로 3개 배치되어 있고 모든 센서(111)가 유리 기판을 검출한 경우에는 유리 기판(W1)의 낱장 반송이라고 판단한다. 중앙의 센서(111)만이 유리 기판을 검출하지 않는 경우에는 유리 기판(W2)의 2장 동시 반송으로 특정한다. 어떠한 센서(111)도 유리 기판을 검출하지 않는 경우 에는 유리 기판(W3)의 4장 동시 반송으로 특정한다. 나아가 중앙의 센서(111)와, 나머지 2개의 센서(111) 중 한쪽 센서(111)가 유리 기판을 검출한 경우에는 유리 기판(W2)을 1장, 유리 기판(W3)을 2장, 동시 반송으로 특정한다. 센서(111)에 의한 유리 기판(W)의 검출은 롤러 컨베이어 유닛(120),(130)에 설치한 센서(123),(133)의 검출 결과에 기초한 타이밍으로 행할 수 있다.

유리 기판(W)의 크기, 위치의 특정은 센서(111) 대신에, 예를 들면 처리 장치로부터 반출하는 유리 기판(W)의 크기 및 위치의 정보를 취득함으로써 특정해도 좋다.

유리 기판의 크기, 위치를 특정하면, 위치 결정 장치(140)의 동작 패턴을 선택한다. 도 15의 (A)의 예의 경우, 유리 기판(W2)의 2장 동시 반송이므로 도 14의 패턴 4를 선택하게 된다. 위치 결정 장치(140)는 선택한 패턴 4의 회전 각도로 지지축(151),(161),(151)을 회전시킨다.

도 15의 (B)는 제1군의 유리 기판이 위치 결정 장치(140) 근방의 위치 결정 위치까지 반송되어 반송을 일시정지하고, 위치 결정 장치(140)에 의해 위치 결정이 이루어진 상태를 도시한다. 위치 결정 장치(140)는 구동유닛(167)의 구동에 의해 접촉부재(162)를 초기 위치로부터 위치 결정 위치로 이동시킴으로써 2장의 유리 기판(W2)의 위치 결정을 동시에 행한다. 위치 결정이 종료되면 구동유닛(167)의 구동에 의해 접촉부재(162)를 초기 위치로 되돌리고 주반송 장치(100) 및 이동적재 컨베이어(200)를 구동하여 제1군의 유리 기판을 수납 카세트(10)에 반입한다.

또 도 15의 (B)의 상태에서는 미도시된 처리장치로부터 다음 유리 기판(W2) 및 2장의 유리 기판(W3)(제2군의 유리 기판이라고도 한다.)이 반출되고 있다. 반송 시스템(A)은 컨베이어(30) 및 주반송 장치(100)를 구동하여 이들을 ―X방향으로 반송한다. 그 때 제2군의 유리 기판의 크기, 위치를 특정하여 위치 결정 장치(140)의 동작 패턴을 선택한다. 제1군의 유리 기판이 위치 결정 장치(140)를 통과하면 다음으로 선택한 동작 패턴의 회전 각도로 지지축(151),(161),(151)을 회전시킨다. 제2군의 유리 기판의 경우, 1장의 유리 기판(W2) 및 2장의 유리 기판(W3)의 동시 반송이므로 도 14의 패턴 2를 선택하게 된다.

도 16으 ㅣ(A)는, 제1군의 유리 기판은 수납 카세트(10)에 반입되는 도중에 제2군의 유리 기판이 위치 결정 장치(140) 근방의 위치 결정 위치까지 반송되어 반송을 일시 정지하고, 위치 결정 장치(140)에 의해 위치 결정이 이루어진 상태 및 미도시된 처리 장치로부터 제3군의 유리 기판으로서 2장의 유리 기판(W3)이 반출된 상태를 도시한다.

또, 도 16의 (B)는, 제1군의 유리 기판은 수납 카세트(10)에 반입 완료되고 제2군의 유리 기판이 수납 카세트(10)에 반입되는 도중에 제3군의 유리 기판이 위치 결정 장치(140) 근방의 위치 결정 위치까지 반송되어 반송을 일시정지하고, 위치 결정 장치(140)에 의해 위치 결정이 이루어진 상태 및 미도시된 처리 장치로부터 제4군의 유리 기판으로서 1장의 유리 기판(W1)이 반출된 상태를 도시한다.

이와 같이 본 실시형태에서는, 유리 기판(W)의 크기에 따라 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 선택함으로써, 크기가 다른 유리 기판(W)의 위치를 결정할 수 있다. 게 다가, 복수의 접촉부재(162)를 동시에 이동시킴으로써, Y방향으로 나열하여 동시 반송되는 복수의 유리 기판(W)을 동시에 위치 결정할 수 있고, 나아가 Y방향으로 나열하여 동시 반송되는 복수의 유리 기판(W)이 다른 크기라고 해도 동시에 위치 결정 가능하다.

또 주반송 장치(100)에 의해 유리 기판(W)을 반송하고, 접촉부재(152),(162)의 대기위치-접촉위치 사이의 이동 및 접촉부재(162)의 초기 위치-위치 결정 위치 사이의 이동은 지지축(151),(161)의 회전, 구동유닛(167)에 의해 수행함으로써, 주반송 장치(100)에 의해 복수의 유리 기판(W)을 연속적으로 반송할 수 있고, 유리 기판(W)의 위치 결정 도중에 주반송 장치(100)가 위치 결정 대상의 유리 기판(W)에 전유되지 않아 유리 기판(W)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.

한편, 본 실시형태에서는 유리 기판(W)의 Y방향의 한쪽 측부에 하나의 접촉부재(162)를, 다른 쪽 측부에는 2개의 접촉부재(152)를 각각 접촉시킴으로써 총 3군데에서 유리 기판(W)의 위치 결정을 행하는 것으로 하였으나, 접촉부재(152),(162)의 X방향 폭이 충분히 긴 경우, 각각 하나씩 합계 2군데에서 유리 기판(W)의 위치 결정을 하는 것도 가능하다. 또 본 실시형태에서는 사각형의 유리 기판(W)을 대상으로 하였으나, 원형 등 다른 유리 기판(W)의 위치 결정도 가능하다. 나아가, 위치 결정 장치(140)를 X방향으로 복수 병설함으로써 X방향 및 Y방향의 쌍방에 나열된 복수의 유리 기판의 위치 결정을 대략 동시에 수행하는 것도 가능하다.

<제어장치>

도 17은 반송 시스템(A)의 제어장치(40)의 구성을 도시한 블럭도이다. 제어장치(40)는 반송 시스템(A) 전체의 제어를 담당하는 CPU(41)와, CPU(41)의 워크 영역을 제공함과 동시에 가변 데이터 등이 기억되는 RAM(42)과, 제어 프로그램이나 도 14에 도시한 동작 패턴의 데이터 등 고정적인 데이터가 기억되는 ROM(43)을 구비한다. RAM(42), ROM(43)은 다른 기억 수단을 채용할 수 있다.

입력 인터페이스(I/F)(44)는 CPU(41)와 각종 센서(예를 들면, 센서(111),(123),(133),(21a) 등)와의 인터페이스로서, 입력 I/F(44)를 통해 CPU(201)는 각종 센서의 검출 결과를 취득한다. 출력 인터페이스(I/F)(45)는 CPU(201)와 각종 모터(예를 들면, 모터(27a),(155),(165), 구동 박스(122),(132) 안의 모터 등)나 제어 밸브(예를 들면, 구동유닛(167)으로의 에어 공급 전환을 행하는 제어 밸브)와의 인터페이스이며, 출력 I/F(45)를 통해 CPU(41)는 이들을 제어한다.

통신 인터페이스(I/F)(46)는 반송 시스템(A)을 포함한 기판 처리 설비 전체를 제어하는 호스트 컴퓨터(50)와 CPU(41)와의 인터페이스이며, CPU(41)는 호스트 컴퓨터(50)로부터의 지령에 따라 반송 시스템(A)을 제어하게 된다.

도 18은, CPU(41)가 실행하는 반송 시스템(A)의 제어예를 도시한 흐름도이다. 동도면의 처리는, 미도시된 처리 장치로부터 수납 카세트(10)로 유리 기판(W)을 반송할 때의 처리를 나타내고, 미도시된 처리 장치로부터 호스트 컴퓨터(50)를 통해 유리 기판(W)의 반출 지시를 수신한 것을 계기로 실행된다.

S1에서는, 미도시된 처리 장치로부터 반출되는 유리 기판(W)을 규정 위치까 지 반송하도록 컨베이어(30)와 주반송 장치(100)를 구동한다. 규정 위치란, 유리 기판(W)이 센서(111)를 통과한, 미리 정해진 위치이다. 또 규정 위치에 도달했는지 여부는 센서(123),(133)의 검출 결과에 기초하여 판단한다.

S2에서는, 반출된 유리 기판(W)의 크기 및 위치를 특정한다. 이 특정은, 센서(111)의 검출 결과에 기초하지만, 상기와 같이 미도시된 처리 장치로부터, 반출하는 유리 기판(W)의 크기 및 위치 정보를 호스트 컴퓨터(50)를 통해 취득함으로써 특정해도 좋다.

S3에서는, S2에서 특정한 유리 기판(W)의 크기 및 위치에 기초하여 위치 결정 장치(140)의 동작 패턴을 선택한다. 즉, 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 선택한다.

S4에서는, 반출된 각 유리 기판(W)에 고유의 식별 번호를 붙이고, 그 크기 및 지금부터 수납할 수납 카세트(10) 안의 슬롯 및 슬롯상의 위치를 설정하고, 설정한 데이터를 기판 데이터로서 RAM(42)에 보존한다. 이 기판 데이터는 수납 카세트(10)로의 유리 기판(W)의 수납 후에 수납 카세트(10) 자체의 식별 정보와 함께 호스트 컴퓨터(50)에 제공되어 호스트 컴퓨터(50)상에서 관리된다.

S5에서는, 주반송 장치(100)를 구동하여 S1에서 규정 위치까지 반송한 유리 기판(W)을 위치 결정 장치(140) 근방의 위치 결정 위치까지 반송하고, 반송을 일시정지한다. 또 S3에서 선택한 동작 패턴의 회전 각도로 지지축(151),(161),(161)을 회전시킨다.

S6에서는, 구동유닛(167)을 구동하여 접촉부재(162)를 초기 위치로부터 위치 결정 위치로 이동시켜 유리 기판(W)의 위치를 결정한다. 위치를 결정한 후 접촉부재(162)를 초기 위치로 되돌린다.

S7에서는, 주반송 장치(100) 및 이동적재 컨베이어(200)를 구동하여 S4에서 설정한 슬롯 내의 위치까지 유리 기판(W)을 수납 카세트(10)에 반입한다. 이상에 의해 1단위의 처리가 종료된다. S1 내지 S7의 처리는 호스트 컴퓨터(50)로부터 유리 기판(W)의 반출 지시를 수신할 때마다 병렬적으로 실행함으로써 복수의 유리 기판(W)을 연속적으로 반송하면서 그 위치 결정 동작을 할 수 있다.

한편, 수납 카세트(10)로부터 유리 기판(W)을 반출하여, 미도시된 처리 장치로 반송하는 경우에도 반송방향이 반대가 될 뿐 마찬가지 순서에 의해 유리 기판(W)을 반송할 수 있다. 그 때 유리 기판(W)의 크기, 위치 정보는 호스트 컴퓨터(50)로부터 취득하도록 할 수 있다.

<제2실시형태>

상기 제1실시형태에서는 지지축(151),(161),(151)의 회전에 의해 접촉부재(152),(162)를 대기위치-접촉위치 사이에서 이동시켰으나 접촉부재(152),(162)를 승강시킴으로써 대기위치-접촉위치 사이에서 이동시키는 구성으로 해도 좋다.

도 19는, 위치 결정 장치(140)를 대신하는 본 실시형태의 위치 결정 장치(140')의 사시도이다. 이하, 위치 결정 장치(140)와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다. 위치 결정 장치(140')는 위치 결정 유닛(150)을 대신하는 위치 결정 유닛(150')과, 위치 결정 유닛(160)을 대신하는 위치 결정 유닛(160')을 구비한다. 각 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4) 및 각 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)의 위치 설정 은 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다.

위치 결정 유닛(150')은 Y방향으로 연장되는 지지재(301)와, 지지재(301)의 각 단부를 지지하는 한쌍의 지지대(303)를 구비한다. 지지재(301)에는 복수의 승강 유닛(305)과 지지부재(306)가 고정되어 있다. 승강 유닛(305)은, 본 실시형태의 경우 에어 실린더이며, 접촉부재(152)를 윗쪽의 접촉위치와 아래쪽의 대기위치 사이에서 승강시킨다. 위치 결정부(Pb4)의 접촉부재(152)에 대해서는, 승강 유닛(305)을 개재시키지 않고, 지지부재(306)에 의해 지지재(301)에 지지되어 있으며 항시 접촉위치에 위치되어 있다. 각 접촉부재(152)는 Y방향으로 이간된 복수의 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)마다 각각 하나 배치되어 있다.

위치 결정 유닛(160')은, Y방향으로 연장되는 지지재(302)와, 지지재(302)의 각 단부를 지지하는 한쌍의 지지대(304)를 구비한다. 지지재(302)에는, 위치 결정 유닛(150')과 마찬가지의 복수의 승강 유닛(305)과 지지부재(306)가 고정되어 있고, 위치 결정부(Pa1)의 접촉부재(162)에 대해서는, 승강 유닛(305)을 개재시키지 않고, 지지부재(306)에 의해 지지재(302)에 지지되어 있으며 항시 접촉위치에 위치되어 있다. 각 접촉부재(162)는 Y방향으로 이간된 복수의 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)마다 각각 하나 설치되어 있다.

각 지지대(304)는 각 지지대(166) 위에서 Y방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 한쪽 지지대(304)의 옆쪽에는 구동유닛(167)이 병설되어 있고, 연결부재(168)는 지지대(304)에 고정되어 있다. 이와 같이 하여, 구동유닛(167)의 구동에 의해 지지재(302), 지지대(304), 모든 승강 유닛(305) 및 지지부재(306)가 일체적 으로 Y방향으로 이동하고, 접촉부재(162)가 초기 위치와 위치 결정 위치 사이에서 이동한다.

본 실시형태에서도 주반송 장치(100)가 반송되는 유리 기판(W)의 크기에 따라 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 선택하여, 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 위치를 결정할 수 있다. 단, 접촉부재(152),(162)의 대기위치와 접촉위치간의 이동은, 승강 유닛(305)의 구동에 의한 승강으로 수행하는 것이 제1 실시형태와 다르다. 한편, 위치 결정부(Pa1) 및 (Pb4)에 대해서는, 그 접촉부재(162),(152)가 항시 접촉위치에 위치되어 있기 때문에 항상 선택된 상태로 되어 있다.

본 실시형태의 위치 결정 장치(140')도, 상기 제1 실시형태의 위치 결정 장치(140)와 마찬가지 효과를 나타내지만, 위치 결정 장치(140')쪽이 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)의 조합의 변화(variation)가 위치 결정 장치(140)보다도 풍부하고 동시에 위치 결정이 가능한, 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 반송 형태가 풍부해진다.

한편, 상기 제1 실시형태 및 본 실시형태에서는 접촉부재(162)의 초기 위치와 위치 결정 위치간의 이동을 공통의 구동유닛(167)에 의해 행하였는데, 각 접촉부재(162)마다 구동유닛(167)을 마련하여 동기적으로 구동함으로써 복수의 유리 기판(W)을 동시에 위치 결정하도록 해도 좋다.

<제3 실시형태>

상기 제1 실시형태에서는 미도시된 1개의 처리 장치와 1개의 수납 카세 트(10) 사이에서 유리 기판(W)을 반송하는 구성으로 하였으나, 1개의 처리 장치와 복수의 수납 카세트(10) 사이에서 유리 기판(W)을 반송하도록 해도 좋다.

도 20은, 본 발명의 다른 실시형태에 관한 반송 시스템(B)의 레이아웃을 도시한 평면도이다. 이하, 반송 시스템(A)와 같은 구성에 대해서는 같은 부호를 붙여 설명을 생략하고 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

<수납 카세트(10)의 배치>

반송 시스템(B)는 2개의 수납 카세트(10)와 1개의 처리 장치(미도시) 사이에서 유리 기판(W)을 반송한다. 한편, 3개 이상의 수납 카세트(10)와 1개의 처리 장치 사이에서 유리 기판(W)을 반송하도록 구성할 수도 있다.

2개의 수납 카세트(10)는 Y방향으로 이간되어 배치되어 있고 이들 수납 카세트(10)의 배치 방향은 Y방향이다. 2개의 수납 카세트(10)는 그들의 유리 기판(W)의 반입출부가 +X방향을 향하도록 배치되어 있다. 각 수납 카세트(10)에는 한쌍의 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)가 각각 배치되어 있다.

<컨베이어 이동 유닛>

본 실시형태의 주반송 장치(100)는 일부가 Y방향으로 이동 가능하도록 되어 있다. 이동 가능한 부분은, 위치 결정 장치(140) 근방의 합계 16개의 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)이다. 이들은 컨베이어 이동 유닛(400)에 의해 이동한다. 이하, 컨베이어 이동 유닛(400)에 의해 이동하는 주반송 장치(100)의 일부를 가동 반송 장치라고 하고, 이동하지 않는 부분을 고정 반송 장치라고 한다.

도 21은, 컨베이어 이동 유닛(400)의 분해 사시도이다. 컨베이어 이동 유 닛(400)은 가동 반송 장치 및 위치 결정 장치(140)가 탑재되는 지지판(402)을 구비한다. 지지판(402)의 하면에는 한쌍의 레일 부재(405) 위를 슬라이딩하는 복수의 슬라이드 부재(402b)가 마련되어 있다. 한쌍의 레일 부재(405)는, X방향으로 이간시켜 평행하게 마련되고 각각 Y방향으로 연장되어 있다. 지지판(402)은 슬라이드 부재(402b)가 레일 부재(405)로 안내됨으로써 Y방향으로 이동 가능하다.

한쌍의 레일 부재(405) 사이에는 Y방향으로 이간되어 복수의 대들보 부재(406)가 가설되어 있으며, 이들 대들보 부재(406)에 의해, 한쪽 레일 부재(405)에 고정되어 있는 랙(407)이 아래쪽으로부터 지지됨과 동시에 한쪽 레일 부재(405)에 고정되어 있다. 랙(407)은 Y방향으로 연장되어 있고 그 측면에 톱니부(407b)를 가지고 있고, 그 상면에는 지지판(402)의 Y방향의 위치를 검출하기 위한 마크띠(407a)를 가지고 있다.

지지판(402)에는 개구부(402a)가 마련되어 있다. 개구부(402a)에는 모터(403)가 삽입된다. 모터(403)에는 부착판(403a)이 마련되어 있으며 부착판(403a)을 통해 모터(403)가 지지판(402)에 고정된다. 모터(403)의 출력축에는 랙(407)의 톱니부(407b)와 맞물리는 피니언(403b)이 설치되어 있다. 또 부착판(403a)의 하면에는 마크띠(407a)상의 각각의 마크를 검출하는 센서(404)가 마련되어 있다. 센서(404)는 예를 들면 광센서이다.

이와 같은 랙―피니언 기구를 가진 컨베이어 이동 유닛(400)은, 모터(403)를 구동함으로써 지지판(402)이 레일 부재(405) 위를 이동하여 주반송 장치(100)의 일부 및 위치 결정 장치(140)를 Y방향으로 이동시킬 수 있다. 또 센서(404)가 마크 띠(407a)상의 마크를 검출함으로써 가동 반송 장치 및 위치 결정 장치(140)의 Y방향의 위치를 특정할 수 있다.

한편, 본 실시형태에서는 랙―피니언 기구를 사용하였으나, 벨트 전동 기구, 리니어 모터, 볼 너트―볼 나사 기구 등 다른 기구도 채용 가능하다. 또 센서(404)와 마크띠(407a)의 조합 이외에, 다른 위치 검출 수단(예를 들면 모터(403)의 회전량을 검출하는 인코더)을 사용함으로써 가동 반송 장치 및 위치 결정 장치(140)의 Y방향의 위치를 특정할 수도 있다.

<동작예>

도 22 내지 도 24는 반송 시스템(B)의 동작 설명도이다. 도 22는, 주반송 장치(100)의 가동 반송 장치가 고정 반송 장치와 연속되고 +Y쪽 이동적재 컨베이어(200)와 연속되어 있는 상태를 도시한다. 이 경우의 반송 시스템(B)의 동작은, 상기 제1 실시형태의 반송 시스템(A)와 마찬가지이다.

도 23 및 도 24는, 처리 장치(미도시)와 ―Y쪽 수납 카세트(10) 사이에서 유리 기판(W)(여기에서는 유리 기판(W1))을 반송하는 경우, 특히 처리 장치로부터 수납 카세트(10)로 유리 기판(W)을 반송하는 경우를 도시한다. 우선, 도 23에 도시한 바와 같이, 주반송 장치(100)의 가동 반송 장치가 고정 반송 장치와 연속된 상태에서 가동 반송 장치상으로 유리 기판(W1)을 반송한다. 계속해서 도 24에 도시한 바와 같이, 컨베이어 이동 유닛(400)에 의해 가동 반송 장치를 ―Y방향으로 이동시켜서 ―Y쪽 이동적재 컨베이어(200)과 연속하는 위치까지 이동시킨다. 이 때 위치 결정 유닛(140)은 가동 반송 장치에 마련되어 있기 때문에 가동 반송 장치의 이동중 에 유리 기판(W1)의 위치 결정을 행할 수 있다.

그 후, 가동 반송 장치와 이동적재 컨베이어(200)를 구동함으로써 ―Y쪽 수납 카세트(10)에 유리 기판(W1)을 반입한다. 수납 카세트(10)로부터 처리 장치로 유리 기판(W)을 반송하는 경우에는 이와 반대의 순서가 된다.

이와 같이 반송 시스템(B)에서는, 2개의 수납 카세트(10)와 처리 장치 사이에서 유리 기판(W)을 반송할 수 있다. 따라서 예를 들면 한쪽 수납 카세트(10)를 다른 수납 카세트와 교환하는 경우라 해도 반송 시스템(B) 전체의 가동은 정지시킬 필요가 없으며 다른 쪽 수납 카세트(10)와 처리 장치 사이에서 유리 기판(W)을 반송할 수 있어 시스템 전체의 가동율을 향상시킬 수 있다.

또, 처리 장치를 개재시키지 않고, 2개의 수납 카세트(10) 사이에서 유리 기판(W)을 반송하는 것도 가능하다. 이것은 수납 카세트(10) 사이에서 유리 기판(W)을 교체할 경우에 편리하다.

한편, 본 실시형태에서는 2조의 수납 카세트(10), 한쌍의 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)를 Y방향으로 병설하였는데, 이들 조(組)가 X방향으로 어긋나 있어도 좋다. 예를 들면 ―Y쪽 수납 카세트(10), 한쌍의 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)의 조가, 도 22에 도시한 위치보다도 ―X쪽으로 어긋나 있어도 좋다. 이 경우, 이동적재 컨베이어(200)를 X방향으로 연장시켜 가동 반송 장치가 도 24의 위치로 이동했을 때 가동 반송 장치와 연속하도록 하면 된다.

또 본 실시형태에서는 2개의 수납 카세트(10)는 그들 유리 기판(W)의 반입출부가 +X방향을 향하도록 배치되어 있는데 각각 다른 방향을 향하고 있어도 좋다. 이 경우, 수납 카세트(10)의 방향에 따라 한쌍의 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)를 배치하게 된다. 또 컨베이어 이동 유닛(400)은 가동 반송 장치를 Y방향으로 이동시키는 것에 한정되지 않으며, 가동 반송 장치를 이동적재 컨베이어(200)와 연속하도록 예를 들면 원호 궤도상을 이동시키는 것이어도 좋다.

<제4실시형태>

상기 제3 실시형태에서는 가동 반송 장치를 1개로 하였으나, 2개로 하고 컨베이어 이동 유닛(400)을 각 가동 반송 장치에 설치할 수도 있다. 도 25는, 본 발명의 다른 실시형태에 관한 반송 시스템(C)의 레이아웃을 도시한 평면도이다. 이하, 반송 시스템(B)와 같은 구성에 대해서는 같은 부호를 붙이고 설명을 생략하고 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

반송 시스템(C)의 주반송 장치(100)는 X방향으로 연속하여 병설된 2개의 가동 반송 장치를 구비하고 있고, 또 각 가동 반송 장치용으로 컨베이어 이동 유닛(400)을 X방향으로 병설하여 2개 설치하였다. 위치 결정 장치(140)는, 각 가동 반송 장치에 각각 마련되어 있고, 각 컨베이어 이동 유닛(400)은 가동 반송 장치와 위치 결정 장치(140)를 이동시킨다.

<동작예>

도 26 내지 도 29는 반송 시스템(C)의 동작 설명도이다. 도 26은, 주반송 장치(100)의 2개의 가동 반송 장치가 서로 연속됨과 동시에 고정 반송 장치와 연속되고, 나아가 +Y쪽 이동적재 컨베이어(200)와 연속되어 있는 상태를 도시한다. 이 경우의 반송 시스템(C)의 동작은, 상기 제1 실시형태의 반송 시스템(A)와 마찬가지이 다. 단, 위치 결정 장치(140)를 2개 가지고 있기 때문에 동시에 위치 결정 가능한 유리 기판(W)의 개수를 늘릴 수 있다.

도 27은, 도 26의 상태로부터 유리 기판(W1)을 탑재한 ―X쪽 가동 반송 장치를 ―Y쪽 이동적재 컨베이어(200)와 연속되는 위치까지 이동시킨 상태를 도시한다. 또 도 27은 처리 장치(미도시)로부터 새로운 유리 기판(W1)이 +X쪽 가동 반송 장치 위로 반송된 상태를 도시한다.

도 28은, 도 27의 상태로부터 ―X쪽 가동 반송 장치 및 이것과 연속되는 이동적재 컨베이어(200)가 유리 기판(W1)을 수납 카세트(10)에 반입하고, 유리 기판(W1)을 탑재한 +X쪽 가동 반송 장치를 ―X쪽 가동 반송 장치와 연속되는 위치까지 이동시킨 상태를 도시한다. 이 상태로부터 +X쪽 가동 반송 장치상의 유리 기판(W1)을, 2개의 가동 반송 장치 및 이동적재 컨베이어(200)에 의해, 수납 카세트(10)에 반입할 수 있다. 또 +X쪽 가동 반송 장치로부터 ―X쪽 가동 반송 장치로 유리 기판(W1)의 반송이 완료되면 +X쪽 가동 반송 장치는 +Y쪽으로 이동을 개시하여 고정 반송 장치에서 반송되는 유리 기판(W1)을 받아들일 준비를 할 수 있다.

이와 같이 본 실시형태에서는, 유리 기판(W)을 연속적으로 수납 카세트(10)에 효율적으로 반입할 수 있다는 이점이 있다. 예를 들어 상기 반송 시스템(B)에서는 ―Y쪽 수납 카세트(10)에 2장의 유리 기판(W1)을 반송할 경우, 가동 반송 장치를 Y방향으로 2왕복시킬 필요가 있다. 한편, 본 실시형태의 반송 시스템(C)에서는 각 가동 반송 장치를 Y방향으로 1왕복시킴으로써 ―Y쪽 수납 카세트(10)로 2장의 유리 기판(W1)을 반송할 수 있어 반송 시간을 단축할 수 있다.

또 본 실시형태의 반송 시스템(C)에서는, 유리 기판(W1)보다도 큰 크기의 유리 기판(W)을 반송할 수도 있다. 도 29는, 유리 기판(W1)과 Y방향 폭이 같고 X방향의 길이가 약 2배인 유리 기판(W0)을 반송하는 경우를 도시하였다.

유리 기판(W0)은, 연속한 2개의 가동 반송 장치상에 걸쳐 놓여져 있다. 유리 기판(W0)의 위치 결정은 2개의 위치 결정 장치(140)에 의해 동시에 수행할 수 있다. 또 유리 기판(W0)의 Y방향의 이동은, 2개의 가동 반송 장치가 연속된 상태에서, 각 컨베이어 이동 유닛(400)을 동기적으로 구동함으로써 수행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 반송 시스템(A)의 레이아웃을 도시한 평면도이다.

도 2는 반송 시스템(A)의 측면도이다.

도 3은 반송 장치(110)의 사시도이다.

도 4의 (A) 내지 (D)는 주반송 장치(100)에 의한 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 반송 형태의 예를 도시한 도면이다.

도 5는 수납 카세트(10)의 사시도이다.

도 6의 (A) 내지 (D)는, 수납 카세트(10)로의 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 수납 형태의 예를 도시한 도면이다.

도 7은 한쌍의 승강 장치(20)의 사시도이다.

도 8은 승강 장치(20)의 분해 사시도이다.

도 9의 (A) 내지 (E)는, 기판(W)를 수납 카세트(10)로부터 반출하는 경우의, 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)의 동작 설명도이다.

도 10은 위치 결정 장치(140)의 사시도이다.

도 11의 (A) 및 (B)는 접촉부재(162)의 이동 형태의 설명도이다.

도 12의 (A) 및 (B)는 위치 결정 장치(140)에 의한 위치 결정 동작 설명도이다.

도 13은 각 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4), (Pb1) 내지 (Pb4)의 설명도이다.

도 14는 위치 결정 장치(140)의 동작 패턴의 예를 도시한 도면이다.

도 15의 (A) 및 (B)는 반송 시스템(A)의 동작 설명도이다.

도 16의 (A) 및 (B)는 반송 시스템(A)의 동작 설명도이다.

도 17은 반송 시스템(A)의 제어장치(40)의 구성을 도시한 블럭도이다.

도 18은 CPU(41)가 실행하는 반송 시스템(A)의 제어예를 도시한 흐름도이다.

도 19는 위치 결정 장치(140')의 사시도이다.

도 20은 본 발명의 다른 실시형태에 관한 반송 시스템(B)의 레이아웃을 도시한 평면도이다.

도 21은 컨베이어 이동 유닛(400)의 분해 사시도이다.

도 22는 반송 시스템(B)의 동작 설명도이다.

도 23은 반송 시스템(B)의 동작 설명도이다.

도 24는 반송 시스템(B)의 동작 설명도이다.

도 25는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 반송 시스템(C)의 레이아웃을 도시한 평면도이다.

도 26은 반송 시스템(C)의 동작 설명도이다.

도 27은 반송 시스템(C)의 동작 설명도이다.

도 28은 반송 시스템(C)의 동작 설명도이다.

도 29는 반송 시스템(C)의 동작 설명도이다.

<부호의 설명>

A,B,C 반송 시스템

140,140' 위치 결정 장치

Claims (9)

1. 수평의 반송 궤도상에서 미리 정해진 반송방향으로 반송 대상물을 반송하는 반송수단과,

   상기 반송방향과 직교하는 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제1 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 한쪽 측부에 접촉하는 제1 접촉위치와, 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제1 대기위치 사이에서 이동 가능하게 설치된 제1 접촉부재와,

   상기 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제2 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 다른 쪽 측부에 접촉하는 제2 접촉위치와, 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제2 대기위치와의 사이에서 이동 가능하게 설치된 제2 접촉부재와,

   상기 반송수단이 반송하는 상기 반송 대상물의 크기에 따라, 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 상기 제1 위치 결정부, 및 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 상기 제2 위치 결정부를 선택하는 선택수단과,

   상기 선택수단이 선택한 상기 제1 위치 결정부에 설치한 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 제1 이동수단과,

   상기 선택수단이 선택한 상기 제2 위치 결정부에 설치한 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 제2 이동수단과,

   상기 복수의 제1 접촉부재를 상기 수평방향으로 이동시키는 제3 이동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
2. 제1항에 있어서,

   상기 수평방향으로 연장 설치되며 모든 상기 제1 접촉부재를 지지하는 지지부재를 구비하고,

   상기 제3 이동수단은, 상기 지지부재를 상기 수평방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
3. 제2항에 있어서,

   상기 제3 이동수단은, 상기 지지부재와 연결된 연결부와, 상기 연결부를 상기 수평방향으로 슬라이딩시키는 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
4. 제1항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래쪽 위치이며,

   상기 반송수단은 상기 반송방향으로 서로 이간된 복수의 반송 장치를 구비하고,

   서로 인접한 상기 반송 장치 사이의 간극 중 제1 간극에 상기 제1 접촉부재가, 상기 제1 간극과는 다른 제2 간극에 상기 제2 접촉부재가 각각 배치된 것을 특 징으로 하는 반송 시스템.
5. 제1항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래쪽 위치이며,

   상기 제1 이동수단은,

   상기 수평방향으로 연장 설치되며, 각각의 상기 제1 위치 결정부마다 하나 또는 복수의 상기 제1 접촉부재가 직경 방향으로 돌출되게 설치된 제1 지지축과,

   상기 제1 지지축을 그 축심 둘레로 회전시켜서, 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치와 상기 제1 대기위치 사이에서 이동시키는 제1 구동수단을 구비하고,

   상기 제2 이동수단은,

   상기 수평방향으로 연장 설치되며, 각각의 상기 제2 위치 결정부마다 하나 또는 복수의 상기 제2 접촉부재가 직경 방향으로 돌출되게 설치된 제2 지지축과,

   상기 제2 지지축을 그 축심 둘레로 회전시켜서, 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치와 상기 제2 대기위치 사이에서 이동시키는 제2구동수단을 구비하고,

   상기 제1 접촉부재는,

   상기 제1 지지축의 회전 각도에 의해, 상기 제1 접촉부재가 상기 제1 접촉위치가 되는 상기 제1 위치 결정부가 다르도록 상기 제1 지지축에 마련되고,

   상기 제2 접촉부재는,

   상기 제2 지지축의 회전 각도에 의해, 상기 제2 접촉부재가 상기 제2 접촉위치가 되는 상기 제2 위치 결정부가 다르도록 상기 제2 지지축에 마련된 것을 특징 으로 하는 반송 시스템.
6. 제1항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래쪽 위치이며,

   상기 제1 이동수단은, 각각의 상기 제1 위치 결정부마다 마련되고, 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치와 상기 제1 대기위치 사이에서 승강시키는 제1승강 수단이고,

   상기 제2 이동수단은, 각각의 상기 제2 위치 결정부마다 마련되고, 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치와 상기 제2 대기위치 사이에서 승강시키는 제2승강 수단인 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
7. 제1항에 있어서,

   상기 제2 위치 결정부가 상기 반송방향으로 이간되어 2열 설정되고,

   상기 제1 위치 결정부가 상기 2열의 상기 제2 위치 결정부 사이에 설정된 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
8. 제1항에 있어서,

   상기 반송 대상물이 기판이며,

   상기 반송수단의 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 처리하는 처리 장치와,

   상기 반송수단의 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 수납하는 제1 수납 카세트와,

   상기 기판을 수납하는 제2 수납 카세트와,

   상기 반송수단과 연속되고 또한 상기 제1 수납 카세트의 하부에 배치되어, 상기 제1 수납 카세트와 상기 반송수단 사이에서 상기 기판을 반송하는 제1 컨베이어와,

   적어도 상기 제2 수납 카세트의 하부에 배치된 제2 컨베이어와,

   상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단과 함께 상기 반송수단의 일부를, 상기 제2 컨베이어와 연속하는 위치로 이동시키는 제4 이동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
9. 제1항에 있어서,

   상기 반송 대상물이 기판이며,

   상기 반송수단의 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 처리하는 처리 장치와,

   상기 반송수단의 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 수납하는 제1 수납 카세트와,

   상기 제1 수납 카세트에 대해 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 배치되어 상기 기판을 수납하는 제2 수납 카세트와,

   상기 반송수단과 연속하고 또한 상기 제1 수납 카세트의 하부에 배치되어, 상기 제1 수납 카세트와 상기 반송수단 사이에서 상기 기판을 반송하는 제1 컨베이어와,

   적어도 상기 제2 수납 카세트의 하부에 배치된 제2 컨베이어와,

   상기 반송수단의 제1 부분을, 상기 반송방향과 직교하는 방향으로, 상기 제2 컨베이어와 연속하는 위치로 이동시키는 제4 이동수단과,

   상기 반송수단의 상기 제1 부분과 상기 반송방향으로 연속된, 상기 반송수단의 제2 부분을 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 이동시키는 제5 이동수단을 구비하고,

   상기 제1 부분 및 상기 제2부분에 각각 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단이 설치되고,

   상기 제4 및 제5 이동수단은 각각, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분과 함께, 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단을 이동시키는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.

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