CN101643148A - 输送系统 - Google Patents

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Abstract

一种输送系统，具备：在水平的输送轨道上，在预定的输送方向输送输送对象物的输送机构；分别设置在了在与输送方向正交的水平方向相互离开间隔的多个第一定位部上，在位于输送轨道上而与输送对象物的一方侧部接触的第一接触位置和不位于输送轨道上的第一待机位置之间可移动地设置的第一接触构件；分别设置在了在水平方向相互离开间隔的多个第二定位部上，在位于输送轨道上而与输送对象物的另一方侧部接触的第二接触位置和不位于输送轨道上的第二待机位置之间可移动地设置的第二接触构件；与输送机构输送的输送对象物的尺寸相应地选择使第一接触构件向第一接触位置移动的第一定位部及使第二接触构件向第二接触位置移动的第二定位部的选择机构。

Description

输送系统
技术领域
[0001]本发明涉及输送基板等输送对象物的系统。
背景技术
[0002]以在薄型显示器的制造中使用的玻璃基板为代表的基板，一般地在收纳盒的每个缝隙中收纳一张基板，在一个收纳盒中收纳多张基板。而且，在该基板的处理时，是从收纳盒一张一张地取出基板而向基板处理装置输送，在处理后再从基板处理装置向收纳盒输入。在此种设备的情况下，需要在收纳盒和处理装置之间输送基板的输送系统。
[0003]在此，在由辊式输送机或带式输送机等输送基板的设备中，因为相对于基板而言的各辊或者带的接触状态不一定均匀，所以在输送途中基板有时逐渐倾斜。特别是在输送在与输送方向正交的方向上长宽的基板的情况下，输送姿势的变化(基板相对于输送方向的倾斜)变大。这样，如果在输送姿势变化了的状态下进行输送，则在将基板输入或者输出于收纳盒或处理装置的情况下，基板的输送有时不能顺利地进行。因此，为了修正基板的输送姿势，需要进行基板的定位。另外，近年来，要求在同一输送系统上输送多种尺寸的基板，因此，基板的定位需要是与不同的尺寸的基板对应的定位。
[0004]专利文献1及2公开了一种如下的进行输送的系统：并列设置一对设置了定位用的突起的带式输送机，使得一方的带式输送机的突起与基板的前边接触，另一方的带式输送机的突起与基板的后边接触，在由各突起夹持基板的同时进行输送。
[0005]
专利文献1：日本特开平8-26437号公报
专利文献2：日本特开平11-59847号公报
发明内容
发明所要解决的课题
[0006]但是，在专利文献1及2的系统中，带式输送机兼用于基板的输送和突起的移动。因此，在一对带式输送机输送一个基板的期间，一对带式输送机专用于该基板的输送，不能够连续地输送后续的别的基板。
[0007]因此，本发明的目的在于提供能够进行尺寸不同的输送对象物的定位而且连续地输送多个输送对象物的输送系统。
为了解决课题的手段
[0008]根据本发明，提供一种输送系统，其特征在于，具备：在水平的输送轨道上，在预定的输送方向输送输送对象物的输送机构；分别设置在了在与上述输送方向正交的水平方向相互离开间隔的多个第一定位部上，在位于上述输送轨道上而与上述输送对象物的一方侧部接触的第一接触位置和不位于上述输送轨道上的第一待机位置之间可移动地设置的第一接触构件；分别设置在了在上述水平方向相互离开间隔的多个第二定位部上，在位于上述输送轨道上而与上述输送对象物的另一方侧部接触的第二接触位置和不位于上述输送轨道上的第二待机位置之间可移动地设置的第二接触构件；与上述输送机构输送的上述输送对象物的尺寸相应地选择使上述第一接触构件向上述第一接触位置移动的上述第一定位部及使上述第二接触构件向上述第二接触位置移动的上述第二定位部的选择机构；使设置在上述选择机构选择的上述第一定位部上的上述第一接触构件向上述第一接触位置移动的第一移动机构；使设置在上述选择机构选择的上述第二定位部上的上述第二接触构件向上述第二接触位置移动的第二移动机构；在上述水平方向移动上述多个第一接触构件的第三移动机构。
[0009]在本发明的输送系统中，与输送对象物的尺寸相应地选择使上述第一接触构件向上述第一接触位置移动的上述第一定位部及使上述第二接触构件向上述第二接触位置移动的上述第二定位部，使其分别向上述第一接触位置、上述第二接触位置移动。然后，通过在上述水平方向移动上述第一接触构件，进行上述输送对象物的定位。
[0010]通过与输送对象物的尺寸相应地选择使上述第一接触构件向上述第一接触位置移动的上述第一定位部及使上述第二接触构件向上述第二接触位置移动的第二定位部，能够进行尺寸不同的输送对象物的定位。另外，由上述输送机构输送输送对象物，上述接触位置和上述待机位置之间的上述第一及第二接触构件的移动及上述第一接触构件的上述水平方向的移动，通过由上述第一至第三移动机构进行，能够由上述输送机构连续地输送多个输送对象物。
[0011]在本发明中，具备在上述水平方向延伸设置的支承全部上述第一接触构件的支承构件，上述第三移动机构在上述水平方向移动上述支承构件。
[0012]另外，在本发明中，上述第三移动机构具备与上述支承构件连结的连结部和使上述连结部在水平方向滑动的驱动机构。
[0013]另外，在本发明中，上述第一及第二待机位置与上述输送轨道相比是下方的位置，上述输送机构具备在上述输送方向相互离开间隔的多个输送装置，在相互邻接的上述输送装置之间的间隙之中，在第一间隙中配置上述第一接触构件，在与上述第一间隙不同的第二间隙中配置上述第二接触构件。
[0014]另外，在本发明中，上述输送装置也可以具备在上述水平方向配列的多个输送单元。
[0015]另外，在本发明中，上述第一及第二待机位置与上述输送轨道相比是下方的位置，上述第一移动机构具备：在上述水平方向延伸，在各上述第一定位部的每一个上都在径向突出地设置了一个或多个上述第一接触构件的第一支承轴；使上述第一支承轴绕其轴心旋转，使上述第一接触构件在上述第一接触位置和上述第一待机位置之间移动的第一驱动机构，上述第二移动机构具备：在上述水平方向延伸，在各上述第二定位部的每一个上都在径向突出地设置了一个或多个上述第二接触构件的第二支承轴；使上述第二支承轴绕其轴心旋转，使上述第二接触构件在上述第二接触位置和上述第二待机位置之间移动的第二驱动机构，上述第一接触构件以根据上述第一支承轴的旋转角度使上述第一接触构件成为上述第一接触位置的上述第一定位部不同的方式设置在上述第一支承轴上，上述第二接触构件以根据上述第二支承轴的旋转角度使上述第二接触构件成为上述第二接触位置的上述第二定位部不同的方式设置在上述第二支承轴上。
[0016]另外，在本发明中，上述第一及第二待机位置与上述输送轨道相比是下方的位置，上述第一移动机构是对各上述第一定位部的每一个设置的使上述第一接触构件在上述第一接触位置和上述第一待机位置之间升降的第一升降机构，上述第二移动机构是对各上述第二定位部的每一个设置的使上述第二接触构件在上述第二接触位置和上述第二待机位置之间升降的第二升降机构。
[0017]另外，在本发明中，上述第二定位部在上述输送方向离开间隔地设定两列，上述第一定位部设定在上述两列的上述第二定位部之间。
[0018]另外，在本发明中，上述输送对象物是基板，上述第一定位部和上述第二定位部的配置的组合包含与对具有上述输送机构能够输送的最大的宽度的第一基板进行定位的情况相对应的配置的组合、和与将多个与上述第一基板相比宽度狭窄的第二基板并列在上述水平方向地进行定位的情况相对应的配置的组合。
[0019]另外，在本发明中，上述第一定位部和上述第二定位部的配置的组合，还可以包含与将多个与上述第二基板相比宽度狭窄的第三基板并列在上述水平方向地进行定位的情况相对应的配置的组合、和与将上述第二基板和上述第三基板并列在上述水平方向地分别进行定位的情况相对应的配置的组合。
[0020]另外，在本发明中，上述输送对象物是基板，具备：配置在上述输送机构的上述输送方向的一方端部侧，处理上述基板的处理装置；配置在上述输送机构的上述输送方向的另一方端部侧，收纳上述基板的收纳盒；与上述输送机构连续，且配置在上述收纳盒的下部，在上述收纳盒和上述输送机构之间输送上述基板的输送机。
[0021]另外，在本发明中，上述输送对象物是基板，上述输送系统具备：配置在上述输送机构的上述输送方向的一方端部侧，处理上述基板的处理装置；配置在上述输送机构的上述输送方向的另一方端部侧，收纳上述基板的第一收纳盒；收纳上述基板的第二收纳盒；与上述输送机构连续，且配置在上述第一收纳盒的下部，在上述第一收纳盒和上述输送机构之间输送上述基板的第一输送机；至少配置在上述第二收纳盒的下部的第二输送机；与上述第一及第二接触构件及上述第一至第三移动机构一起将上述输送机构的一部分向与上述第二输送机连续的位置移动的第四移动机构。
[0022]另外，在本发明中，上述第二收纳盒相对于上述第一收纳盒配置在与上述输送方向正交的方向，上述第四移动机构，也可以做成向与上述输送方向正交的方向移动上述输送机构的上述一部分。
[0023]另外，在本发明中，上述输送对象物是基板，上述输送系统具备：配置在上述输送机构的上述输送方向的一方端部侧，处理上述基板的处理装置；配置在上述输送机构的上述输送方向的另一方端部侧，收纳上述基板的第一收纳盒；相对于上述第一收纳盒而言，配置在与上述输送方向正交的方向，收纳上述基板的第二收纳盒；与上述输送机构连续，且配置在上述第一收纳盒的下部，在上述第一收纳盒和上述输送机构之间输送上述基板的第一输送机；至少配置在上述第二收纳盒的下部的第二输送机；将上述输送机构的第一部分在与上述输送方向正交的方向移动到与上述第二输送机连续的位置的第四移动机构；与上述输送机构的上述第一部分在上述输送方向连续的、将上述输送机构的第二部分在与上述输送方向正交的方向移动的第五移动机构；在上述第一部分及上述第二部分上分别设置上述第一及第二接触构件及上述第一至第三移动机构；上述第四及第五移动机构分别将上述第一及第二接触构件及上述第一至第三移动机构与上述第一部分及上述第二部分一起移动。
发明的效果
[0024]如上所述，根据本发明，能够提供一种输送系统，其能够进行尺寸不同的输送对象物的定位且连续地输送多个输送对象物。
附图说明
[0145]
图1是表示本发明的一实施方式的输送系统A的配置的俯视图。
图2是输送系统A的侧视图。
图3是输送装置110的立体图。
图4(A)至(D)是表示由主输送装置100进行的玻璃基板W1至W3的输送状态的例子的图。
图5是收纳盒10的立体图。
图6(A)至(D)是表示向收纳盒10内收纳玻璃基板W1至W3的收纳状态的例子的图。
图7是一对升降装置20的立体图。
图8是升降装置20的分解立体图。
图9(A)至(E)是从收纳盒10输出基板W的情况下的升降装置20及移载输送机200的动作说明图。
图10是定位装置140的立体图。
图11(A)及(B)是接触构件162的移动状态的说明图。
图12(A)及(B)是由定位装置140进行的定位动作的说明图。
图13是各定位部Pa1至Pa4及Pb1至Pb4的说明图。
图14是表示定位装置140的动作模式的例子的图。
图15(A)及(B)是输送系统A的动作说明图。
图16(A)及(B)是输送系统A的动作说明图。
图17是表示输送系统A的控制装置40的结构的框图。
图18是表示CPU41执行的输送系统A的控制例的流程图。
图19是定位装置140′的立体图。
图20是表示本发明的另一个实施方式的输送系统B的配置的俯视图。
图21是输送机移动单元400的分解立体图。
图22是输送系统B的动作说明图。
图23是输送系统B的动作说明图。
图24是输送系统B的动作说明图。
图25是表示本发明的另一个实施方式的输送系统C的配置的俯视图。
图26是输送系统C的动作说明图。
图27是输送系统C的动作说明图。
图28是输送系统C的动作说明图。
图29是输送系统C的动作说明图。
符号说明：
[0146]
A、B、C：输送系统
140、140′：定位装置
具体实施方式
为了实施发明的优选方式
[0025]下面参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0026]<第一实施方式>
<整体结构>
图1是表示本发明的一实施方式的输送系统A的配置的俯视图，图2是输送系统A的侧视图。另外，在各个图中，箭头X、Y表示相互正交的水平方向，箭头Z表示上下方向(铅垂方向)。在本实施方式的情况下，输送系统A在收纳盒10和未图示的处理装置之间输送后述的3种玻璃基板W1至W3(在总称的情况下称为玻璃基板W)。处理装置，例如进行玻璃基板W的清洗、干燥及其他的处理。另外，在本实施方式中，将玻璃基板作为输送对象物，但本发明也可适用于液晶基板、PDP基板等其他的基板、瓦楞板等各种板状物或其他的物品的输送。
[0027]输送系统A具备主输送装置100、与主输送装置100连续地配置的移载输送机200、在移载输送机200上使收纳盒10升降的一对升降装置20、设置在主输送装置100上的定位装置140、与主输送装置100连续地配置的输送机30。
[0028]在本实施方式的情况下，玻璃基板W的输送方向是X方向，与输送方向正交的方向是Y方向。未图示的处理装置，配置在主输送装置100的+X侧，输送机30介于主输送装置100和未图示的处理装置之间，在它们之间进行玻璃基板W的输送。收纳盒10配置在主输送装置100的-X侧，移载输送机200及一对升降装置20进行从收纳盒10向主输送装置100的玻璃基板W的输出及从主输送装置100向收纳盒10的玻璃基板W的输入。
[0029]<主输送装置100>
主输送装置100具备在X方向上相互离开间隔的多个输送装置110。在本实施方式的情况下，输送装置110在X方向上配置八个。图3是输送装置110的立体图。输送装置110具备在Y方向配列的合计四个辊式输送机单元120及130。在本实施方式的情况下，辊式输送机单元120在Y方向两端部分别配置一个，辊式输送机单元130在两个辊式输送机单元120之间配置两个。
[0030]这样，主输送装置100是将多个辊式输送机单元120及130配置成矩阵状来构成的。在本实施方式中，将主输送装置100做成了辊式输送机，但也可以使用带式输送机等其他形式的输送机。
[0031]辊式输送机单元120具备载置玻璃基板W的多个辊121、内置辊121的驱动装置的驱动箱122、检测辊121上的玻璃基板W的传感器123。传感器123在辊式输送机单元120的X方向的两端部各配置一个。辊121将在Y方向延伸的轴作为旋转轴，以该旋转轴为中心进行旋转，将玻璃基板W在X方向进行输送。
[0032]辊式输送机单元130具备载置玻璃基板W的多个辊131、内置辊131的驱动装置的驱动箱132，检测辊131上的玻璃基板W的传感器133。传感器133在辊式输送机单元120的X方向的两端部各配置一个。辊131将在Y方向延伸的轴作为旋转轴，以该旋转轴为中心进行旋转，将玻璃基板W在X方向进行输送。
[0033]辊式输送机单元130的Y方向的宽度，是辊式输送机单元120的Y方向的宽度的大约一半。各辊式输送单元120及各辊式输送机单元130可以分别独立地驱动。
[0034]辊式输送机单元120及130使用了辊121、131的数量不同的两种单元。如图1所示，在定位装置140的附近，有的具有五列辊121、131，有的具有三列辊121、131，其他具有四列辊121、131。但是，辊的列数也可以采用完全相同的列数。
[0035]另外，在输送机30附近的输送装置110上，如图1及图3所示，配设了检测玻璃基板W的传感器111。它们用于判别从处理装置(未图示)向主输送装置100输出的玻璃基板W的种类。
[0036]图4(A)至(D)是表示由主输送装置100进行的送玻璃基板W1至W3的输送状态的例子的图。设想主输送装置100输送尺寸不同的玻璃基板W1至W3。
[0037]玻璃基板W1是尺寸最大的玻璃基板，具有可以由主输送装置100输送的最大的宽度(Y方向的宽度)，如图4(A)所示，一张一张地被输送。玻璃基板W2，与玻璃基板W1相比Y方向的宽度狭窄，具有与玻璃基板W1的Y方向的宽度的一半相比稍微短的宽度。玻璃基板W2如图4(B)所示，可以在Y方向上2张并列地同时输送。
[0038]玻璃基板W3与玻璃基板W2相比，X方向及Y方向的双方的宽度都狭窄，具有与玻璃基板W2的X方向及Y方向的各宽度的一半相比稍微短的各宽度。玻璃基板W3如图4(C)所示，可以在Y方向上4张并列地同时输送。
[0039]另外，主输送装置100也可以在Y方向并列地同时输送尺寸不同的玻璃基板W，在图4(D)的例子中，表示并列地同时输送一张玻璃基板W2、在Y方向2张玻璃基板W3、在X方向2张玻璃基板W3的状态。
[0040]<移载输送机200及输送机30>
移载输送机200，在本实施方式的情况下，是与主输送装置100同样的结构，具备配置成矩阵状的合计40个辊式输送机单元120及130。辊式输送机单元120及130的辊的列数采用了三列。另外，输送机30是单一的辊式输送机单元。另外，移载输送机200及输送机30也可以使用带式输送机等其他形式的输送机。
[0041]在本实施方式的情况下，主输送装置100、移载输送机200及输送机30的各辊上端，如图2所示，位于同一水平面上，规定了水平地输送玻璃基板W的输送轨道。
[0042]另外，主输送装置100、移载输送机200及输送机30的输送部位的Y方向的宽度，形成得比本实施方式中的尺寸最大的玻璃基板W1的Y方向的宽度稍微宽。
[0043]<收纳盒10>
图5是收纳盒10的立体图。收纳盒10是在Z方向可以多段地收纳玻璃基板W的箱子。另外，图5表示未收纳玻璃基板W的状态。在本实施方式的情况下，收纳盒10由多个柱构件11和梁构件12组成了大致长方体形状的框体，支承在一对升降装置20上而位于移载输送机200的上方。柱构件11的配设间隔及梁构件12的配设间隔以构成移载输送机200的辊式输送机单元120及130能够从收纳盒10的下方进入到收纳盒10内的方式设定。
[0044]柱构件11在X方向配设了多个，同时在Y方向离开间隔地并列设置了同样的数量。在Y方向上在离开间隔的一对柱构件11之间，在Z方向并列且以规定的间距架设了钢丝13。各钢丝13的上下之间的空间形成了收纳玻璃基板W的缝隙，玻璃基板W以大致水平姿势载置在钢丝13上。而且，仅由在Z方向并列的多根钢丝13形成缝隙。在本实施方式中，由钢丝形成了缝隙，但是当然也可以采用其他的方式。
[0045]在本实施方式的情况下，收纳盒10具有能在一个缝隙中收纳多个玻璃基板W的大小。图6(A)至(D)，是表示向收纳盒10内收纳玻璃基板W1至W3的收纳状态的例子的图。图6(A)表示在X方向并列收纳2张玻璃基板W1的状态。图6(B)表示在X方向并列收纳2张玻璃基板W2、在Y方向并列收纳2张玻璃基板W2，合计并列收纳4张的状态。图6(C)表示在X方向并列收纳4张玻璃基板W3、在Y方向并列收纳4张玻璃基板W3，合计并列收纳16张的状态。图6(D)表示使玻璃基板W1至W3混合地并列收纳的状态，表示在-X侧收纳1张玻璃基板W1、在+X侧中在+Y侧收纳玻璃基板W2、在+X侧中在-Y侧收纳4张玻璃基板W3的状态。
[0046]<升降装置20>
图7是一对升降装置20的立体图，图8是升降装置20的分解立体图。在本实施方式中，通过由升降装置20在Z方向升降收纳盒10，在Z方向上相对地移动收纳盒10和移载输送机200。但是，也可以做成在Z方向升降移载输送机200的结构，在此情况下，将成为主输送装置100也进行升降的结构。
[0047]在本实施方式的情况下，升降装置20以夹着收纳盒10的方式分别配设在收纳盒10的彼此相向的Y方向的两侧部，悬臂地支承收纳盒10。
[0048]升降装置20具备载置收纳盒10的底部的梁构件12的横梁构件21，通过各升降装置20的横梁构件21同步地在Z方向移动，使收纳盒10升降。升降装置20具备在Z方向延伸的支柱22，在支柱22的内侧表面上固定了在Z方向延伸的一对导轨构件23及齿条24。在各升降装置20之间，在支柱22的上端架设了梁构件20a。
[0049]横梁构件21经托架25a固定支承在支承板25的一侧面上。在支承板25的另一侧面上固定了能沿导轨构件23移动的四个滑动构件26，横梁构件21及支承板25由导轨构件23的导向上下移动。驱动单元27由马达27a和减速机27b构成，固定支承在支承板28的一侧面上。减速机27b的输出轴贯通支承板28而与配设在支承板28的另一侧面上的小齿轮29a连接。
[0050]支承板25和支承板28隔开规定间距地相互固定，在支承板25和支承板28的空隙内配设了小齿轮29b至29d。小齿轮29b至29d可旋转地经轴支承在支承板25和支承板28之间，小齿轮29b及小齿轮29c从动于小齿轮29a的旋转而进行旋转。小齿轮29d从动于小齿轮29c的旋转而进行旋转。小齿轮29b至29d是相互同样规格的小齿轮，两个小齿轮29b及29d与各齿条24啮合。
[0051]这样，如果对驱动单元27进行驱动，则小齿轮29a进行旋转，由其驱动力，驱动单元27、支承板25及28、滑动构件26、及横梁构件21成为一体地向上方或者下方移动，能够使载置在横梁构件21上的收纳盒10升降。在各升降装置20中，检测相互的横梁构件21的升降高度的偏移的传感器21a设置在横梁构件21的端部。
[0052]传感器21a例如是具备发光部和受光部的光传感器，如图7所示，相互在Y方向照射光并判定其是否受光。在受光的情况下，不存在相互的横梁构件21的升降高度的偏移，而在没有受光的情况下，在升降高度上存在偏移。如果由传感器21a检测出升降高度的偏移，则由马达27a的控制能够消除偏移。
[0053]图9(A)至(E)是在从收纳盒10输出基板W的情况下的升降装置20及移载输送机200的动作说明图。玻璃基板W的输出，是从收纳了玻璃基板W的缝隙之中收纳在最下方的缝隙中的玻璃基板W顺序地进行的。
[0054]首先，如图9(A)所示，从收纳盒10位于移载输送机200的上方的状态，由升降装置20使收纳盒10下降，如图9(B)所示。向移载输送机200上载置输送对象的玻璃基板W。此时，移载输送机200从下方进入到收纳盒10内，输送对象的玻璃基板W成为从收纳盒10的钢丝13浮起的状态，并成为只由移载输送机200支承的状态。接着驱动移载输送机200，如图9(C)所示，从收纳盒10输出输送对象的玻璃基板W。
[0055]如果输出结束，则如图9(D)所示，由升降装置20使收纳盒10下降，将下一个缝隙的玻璃基板W载置在移载输送机200上。接着驱动移载输送机200，如图9(E)所示，从收纳盒10输出输送对象的玻璃基板W。以下，同样地反复进行收纳盒10的下降和移载输送机200的驱动(图9的下图)，从下方侧顺序地输出玻璃基板W。
[0056]在向收纳盒10输入玻璃基板W的情况下，成为与上述的输出时的动作大致相反的动作。玻璃基板W的输入，从没有收纳玻璃基板W的缝隙之中最上方的缝隙顺序地进行。在玻璃基板W的输出、输入之际，移载输送机200的各辊式输送机单元120及130与玻璃基板W的尺寸及位置相应地选择性地被驱动。
[0057]<定位装置140>
图10是定位装置140的立体图。定位装置140具备两个定位单元150和一个定位单元160。
[0058]定位单元150具备在Y方向延伸的支承轴151、对支承轴151的一方端部进行支承的轴承构件153、对支承轴151的另一方端部进行支承的轴承构件154。支承轴151绕其轴心旋转自由地支承在轴承构件153、154上。
[0059]轴承构件154具备支承马达155的底座部，马达155的输出轴与支承轴151连结。马达155例如是步进马达或伺服马达。在采用伺服马达的情况下，同时使用检测输出轴的旋转角度的编码器。通过旋转驱动马达155，支承轴151绕其轴心进行旋转。另外，在本实施方式中，在各定位单元150上分别设置了马达155，但也可以是将马达155作为一个，设置了将其驱动力传递给各支承轴151的传递机构的结构。在此情况下，能够减少作为驱动源的马达155的数量。
[0060]在支承轴151上，固定了多个接触构件152。接触构件152在Y方向离开间隔的多个定位部Pb1至Pb4的每一个上分别配设了一个以上。在本实施方式的情况下，在定位部Pb1上设置了两个接触构件152，在定位部Pb2上设置了三个接触构件152，在定位部Pb3上设置了一个接触构件152，在定位部Pb4上设置了四个接触构件152。各接触构件152设置成向支承轴151的径向突出。
[0061]定位单元160具备在Y方向延伸的支承轴161、对支承轴161的一方端部进行支承的轴承构件163、对支承轴161的另一方端部进行支承的轴承构件164。支承轴161绕其轴心旋转自由地支承在轴承构件163、164上。
[0062]轴承构件164具备支承马达165的底座部，马达165的输出轴与支承轴161连结。马达165例如是步进马达或伺服马达。在采用伺服马达的情况下，同时使用检测输出轴的旋转角度的编码器。通过旋转驱动马达165，支承轴161绕其轴心进行旋转。
[0063]在支承轴161上固定了多个接触构件162。接触构件162在Y方向离开间隔的多个定位部Pa1至Pa4的每一个上分别配设了一个以上。在本实施方式的情况下，在定位部Pa1上设置了四个接触构件162，在定位部Pa2上设置了两个接触构件162，在定位部Pa3上设置了三个接触构件162，在定位部Pa4上设置了一个接触构件162。各接触构件162被设置成向支承轴161的径向突出。
[0064]轴承构件163在Y方向滑动自由地支承在支承台166上。另外，轴承构件164也在Y方向滑动自由地支承在支承台166上。在轴承构件164的侧方并列设置了驱动单元167。驱动单元167在本实施方式的情况下是气缸，具有固定了连结构件168的、在Y方向移动的可动部。连结构件168被固定在轴承构件164上，经轴承构件164与支承轴161连结。
[0065]这样，由驱动单元167的驱动，支承轴161、全部的接触构件162、轴承构件163及164一体地在Y方向移动。
[0066]<由定位装置140进行的定位动作>
<接触位置和待机位置之间的移动>
定位单元150及定位单元160的各接触构件152、162，通过支承轴151、161的旋转，在位于玻璃基板W的输送轨道上的与玻璃基板W的一方侧部接触的接触位置和不位于玻璃基板W的输送轨道上的待机位置之间进行移动。
[0067]图11(A)及(B)是接触构件162的移动状态的说明图。如该图及图1所示，在本实施方式的情况下，将支承轴161及接触构件162配设在输送装置110之间的间隙内。通过将支承轴161及接触构件162配设在输送装置110之间的间隙内，能够利用空闲的空间实现定位装置140的紧凑化。图11(A)及(B)表示配设了三个接触构件162的在定位部(Pa3)的动作。
[0068]图11(A)表示任一个接触构件162都没有位于由辊式输送机单元120(及130)的上端规定的输送轨道TR上，而是与输送轨道相比位于下方的待机位置的状态。在此情况下，接触构件162不会与玻璃基板W接触。图11(B)表示通过旋转支承轴161，三个接触构件162之中的一个位于已位于输送轨道TR上的接触位置的情况。在此情况下，成为接触构件162能够与玻璃基板W接触的状态。另外，在本实施方式的情况下，待机位置是玻璃基板W的输送轨道TR的下方，但也可以是上方。
[0069]对于定位单元150也是同样，如图1所示，支承轴151及接触构件152，配设在与配设了支承轴161及接触构件162的输送装置110之间的间隙不同的间隙内。而且，通过支承轴151的旋转，接触构件152在接触位置和待机位置之间移动。通过将支承轴151及接触构件152配设在输送装置110之间的间隙内，能够利用空闲的空间实现定位装置140的紧凑化。
[0070]<定位动作>
玻璃基板W的定位，使位于接触位置的接触构件152及接触构件162与玻璃基板W的Y方向的各侧部接触来进行，图12(A)及(B)是由定位装置140进行的定位动作的说明图。
[0071]图12(A)表示接触构件152及接触构件162与玻璃基板W接触前的状态。接触构件162位于从接触构件152仅离开距离D1的初期位置。距离D1比玻璃基板W的宽度(Y方向的宽度)DW大。
[0072]在图12(A)的状态下，使驱动单元167驱动，使接触构件162向接近接触构件152的方向(在图中为右方向)移动，如图12(B)所示，使之位于定位位置。接触构件152和接触构件162的距离D2(＜D1)与玻璃基板W的宽度DW大致一致。由此，玻璃基板W的Y方向的两侧部由接触构件152、162导向并被定位。在定位后，再对驱动单元167进行驱动，如图12(A)所示，接触构件162将返回到从接触构件152仅离开距离D1的初期位置。驱动单元167使接触构件162仅移动距离D1和距离D2的差值部分。
[0073]另外，希望距离D2比玻璃基板W的宽度DW稍微大些。如果使距离D2与玻璃基板W的宽度DW恰好一致，则由接触构件152和接触构件162夹持玻璃基板W，有因其夹持力而损坏玻璃基板W的危险。为了防止玻璃基板W损坏，也可以在接触构件152、162的表面上设置橡胶等缓冲构件，或者使弹簧等缓冲构件介于接触构件152、162和支承轴151、161之间，使得在一定的载荷作用的情况下接触构件152、162能够进行微小位移，在这样构成的情况下，可以使距离D2与玻璃基板W的宽度DW大致一致。
[0074]另外，在本实施方式中，仅在定位单元160上设置了驱动单元167，仅使接触构件162能够在Y方向移动，但也可以在定位单元150上也设置驱动单元而使接触构件152也能够在Y方向移动。或者，也可以使连杆介于驱动单元167和定位单元150之间而使接触构件152也能够在Y方向移动。
[0075]<定位部的选择>
在本实施方式中，通过与主输送装置100输送的玻璃基板W的尺寸相应地选择使接触构件152、162移动到接触位置的定位部Pb1至Pb4及Pa1至Pa4，能够进行各玻璃基板W1至W3的定位。图13是各定位部Pa1至Pa4及Pb1至Pb4的说明图。在图13中，表示定位部Pa1至Pa4的接触构件162从初期位置移动到定位位置后的情况。
[0076]首先，如图13所示，各定位单元150、160、150在输送方向(X方向)离开间隔地配置，定位单元160配置在两个定位单元150之间。即，定位部Pb1至Pb4在输送方向(X方向)离开间隔地设定二列，定位部Pa1至Pa4设定在此二列的定位部Pb1至Pb4之间。定位部Pa1至Pa4配置在主输送装置100的靠近+Y方向侧，定位部Pb1至Pb4配置在主输送装置100的靠近-Y方向侧。
[0077]由此，通过分别使一个接触构件162与玻璃基板W的Y方向的一方侧部接触，使两个接触构件152与另一方的侧部接触，由合计三个部位进行玻璃基板W的定位。而且，定位部Pa1至Pa4和定位部Pb1至Pb4的配置的组合，与分别定位各玻璃基板W1至W3的情况相对应地设定。
[0078]具体地讲，首先，定位部Pa1的位置设定在主输送装置100的+Y方向的端部附近，以定位部Pa1的位置为基准，其他的定位部Pa2至Pa4的位置，与各玻璃基板W1至W3的宽度相应地设定在其各一方端应该位于的位置上。另外，定位部Pb4的位置，设定在主输送装置100的-Y方向的端部附近，以定位部Pb4的位置作为基准，其他的定位部Pb1至Pb3的位置，与各玻璃基板W1至W3的宽度相应地设定在其各另一方端应该位于的位置上。因此，定位部Pa1至Pa4整体地位于+Y侧，定位部Pb1至Pb4整体地位于-Y侧。
[0079]然后，如图13所示，与定位玻璃基板W1的情况对应地设定定位部Pa1、Pb4的位置。另外，与定位玻璃基板W2的情况对应地分别设定定位部Pa1、Pb2及定位部Pa3、Pb4的位置。另外，与定位玻璃基板W3的情况对应地分别设定定位部Pa1、Pb1、Pa2和定位部Pb2、Pa3、Pb3及定位部Pa4、Pb4的位置。
[0080]这样，通过与主输送装置100输送的玻璃基板W的尺寸相应地选择使接触构件152、162移动到接触位置的定位部Pb1至Pb4及Pa1至Pa4，能够进行各玻璃基板W1至W3的定位。
[0081]在本实施方式的情况下，各接触构件152在支承轴151的轴心周围设定在0度、90度、180度、270度的任一位置。同样地，各接触构件162在支承轴161的轴心周围设定在0度、90度、180度、270度的任一位置。而且，以根据支承轴151、161的旋转角度，接触构件152、162位于接触位置的定位部Pb1至Pb4及Pa1至Pa4不同的方式将各接触构件152、162设置在支承轴151、161上。即，根据支承轴151、161的旋转角度能够任意选择使接触构件152、162移动到接触位置的定位部Pb1至Pb4及Pa1至Pa4。
[0082]图14是表示定位装置140的动作模式的例子的图，是表示支承轴151、161的旋转角度、各定位部Pb1至Pb4及Pa1至Pa4中的接触构件152、162的位置(接触位置或待机位置)、及作为定位对象的玻璃基板W的尺寸等的图。
[0083]在图14中，旋转角度是支承轴151、161的旋转角度(顺时针)，所谓接触构件的位置，在支承轴151、161的旋转角度为0度、90度、180度、270度的情况下，表示接触构件152、162或者位于接触位置或者位于待机位置。在定位部Pa1及Pb4中，因为接触构件162、152每隔90度设置了四个，所以通常总有接触构件162、152位于接触位置。
[0084]在模式1(旋转角度：0度)的情况下，在全部的定位部Pa1至Pa4及Pb1至Pb4中，接触构件162及152位于接触位置，能够定位同时输送的4张玻璃基板W3。接触构件162被支承在共同的支承轴161上，因为同时地在初期位置和定位位置之间移动，所以能够同时定位4张玻璃基板W3。另外，即使不是同时定位4张玻璃基板W3，在单张输送的情况下或2张同时输送的情况下，通过选择此模式1，也能够进行其定位。
[0085]在模式2(旋转角度：90度)的情况下，在定位部Pa4及Pb3中，接触构件162及152位于待机位置，在其他的定位部中，位于接触位置。模式2能够同时定位同时输送的1张玻璃基板W2和2张玻璃基板W3(但是，在本实施方式中，为玻璃基板W2位于-Y侧的情况)。
[0086]在模式3(旋转角度：180度)的情况下，只有定位部Pa1及Pb4的接触构件162及152位于接触位置，在其他的定位部中位于待机位置。模式3能够定位1张玻璃基板W1。
[0087]在模式4(旋转角度：270度)的情况下，在定位部Pa1、Pa3及Pb2至Pb4中，接触构件162及152位于接触位置，在其他的定位部中位于待机位置。模式4能够同时定位同时输送的2张玻璃基板W2。另外，即使在不是同时输送2张玻璃基板W2而是单张输送的情况下，通过选择此模式4，也能够进行其定位。
[0088]<输送例>
图15(A)及(B)和图16(A)及(B)是输送系统A的动作说明图，表示将从处理装置(未图示)输出的玻璃基板W在途中定位而收纳盒10输入的例子。
[0089]图15(A)表示从未图示的处理装置将2张玻璃基板W2(也称为第一组玻璃基板)并列在Y方向而同时输出的状态。玻璃基板W2相对于输送方向(X方向)倾斜地输出。输送系统A，首先，驱动输送机30及主输送装置100，向-X方向输送第一组玻璃基板。此时，确定第一组玻璃基板的尺寸、位置。
[0090]玻璃基板W的尺寸，位置的确定，在本实施方式的情况下，基于传感器111的检测结果来进行。传感器111在Y方向配置三个，在全部的传感器111都检测出玻璃基板的情况下，判断为玻璃基板W1的单张输送。在只是中央的传感器111未检测出玻璃基板的情况下，确定为2张玻璃基板W2同时输送。在任何一个传感器111都没有检测出玻璃基板的情况下，确定为4张玻璃基板W3同时输送。另外，在中央的传感器111和剩余的两个传感器111之中有一方的传感器111检测出玻璃基板的情况下，确定为1张玻璃基板W2、2张玻璃基板W3同时输送。由传感器111进行的玻璃基板W的检测，能够在基于设置在辊式输送机单元120、130上的传感器123、133的检测结果的时机进行。
[0091]玻璃基板W的尺寸、位置的确定，也可以例如通过从处理装置取得输出的玻璃基板W的尺寸及位置的信息，代替传感器111进行确定。
[0092]如果确定玻璃基板的尺寸、位置，就选择定位装置140的动作模式。在图15(A)的例子的情况下，由于是同时输送2张玻璃基板W2，所以选择图14的模式4。定位装置140使支承轴151、161、151旋转到选择的模式4的旋转角度。
[0093]图15(B)表示第一组玻璃基板被输送到定位装置140的附近的定位位置后暂时停止输送，由定位装置140进行定位的状态。定位装置140通过由驱动单元167的驱动使接触构件162从初期位置向定位位置移动，同时进行2张玻璃基板W2的定位。如果定位结束，则由驱动单元167的驱动使接触构件162返回到初期位置，驱动主输送装置100及移载输送机200，将第一组玻璃基板输入到收纳盒10。
[0094]另外，在图15(B)的状态下，从未图示的处理装置输出下一张玻璃基板W2及2张玻璃基板W3(也称为第二组玻璃基板)。输送系统A驱动输送机30及主输送装置100，将它们向-X方向输送。此时，确定第二组玻璃基板的尺寸、位置，选择定位装置140的动作模式。如果第一组玻璃基板通过定位装置140，则使支承轴151、161、151旋转到接下来选择的动作模式的旋转角度。在第二组玻璃基板的情况下，由于是同时输送1张玻璃基板W2及2张玻璃基板W3，所以选择图14的模式2。
[0095]图16(A)表示第一组玻璃基板在向收纳盒10输入途中，第二组玻璃基板被输送到定位装置140的附近的定位位置后暂时停止输送，由定位装置140进行定位的状态，及从未图示的处理装置输出作为第三组玻璃基板的2张玻璃基板W3的状态。
[0096]另外，图16(B)表示第一组玻璃基板向收纳盒10输入结束，第二组玻璃基板在向收纳盒10输入途中，第三组玻璃基板被输送到定位装置140的附近的定位位置后暂时停止输送，由定位装置140进行定位的状态，及从未图示的处理装置输出作为第四组玻璃基板的1张玻璃基板W1的状态。
[0097]这样，在本实施方式中，通过与玻璃基板W的尺寸相应地选择使接触构件152、162移动到接触位置的定位部Pb1至Pb4及Pa1至Pa4，能够进行尺寸不同的玻璃基板W的定位。而且，通过使多个接触构件162同时移动，能够同时定位并列在Y方向并同时输送的多个玻璃基板W，进而，即使并列在Y方向并同时输送的多个玻璃基板W是不同的尺寸，也能够同时定位。
[0098]另外，由主输送装置100输送玻璃基板W，接触构件152、162在待机位置-接触位置之间的移动及接触构件162在初期位置-定位位置之间的移动，通过由驱动单元167进行支承轴151、161的旋转，能够由主输送装置100连续地输送多张玻璃基板W，在玻璃基板W的定位中，主输送装置100不为定位对象的玻璃基板W专有，能够提高玻璃基板W的输送效率。
[0099]另外，在本实施方式中，通过使一个接触构件162与玻璃基板W的Y方向的一方侧部接触，使两个接触构件152与另一方的侧部接触，在合计三个部位进行玻璃基板W的定位，但在接触构件152、162的X方向的宽度充分长的情况下，也可以分别各一个地在合计两个部位进行玻璃基板W的定位。另外，在本实施方式中，将方形的玻璃基板W作为对象，但也能够进行圆形等其他的玻璃基板W的定位。进而，通过在X方向并列设置多个定位装置140，也能够大致同时进行并列在X方向及Y方向的双方的多张玻璃基板的定位。
[0100]<控制装置>
图17是表示输送系统A的控制装置40的构成的框图。控制装置40具备管理输送系统A的整体的控制的CPU41、在提供CPU41的工作区的同时存储可变数据等的RAM42、存储控制程序和图14所示的动作模式的数据等固定性的数据的ROM43。RAM42、ROM43可以采用其他的存储机构。
[0101]输入接口(I/F)44是CPU41和各种传感器(例如传感器111、123、133、21a等)的接口，经输入I/F44，CPU41取得各种传感器的检测结果，输出接口(I/F)45是CPU41和各种马达(例如，马达27a、155、165、驱动箱122、132内的马达等)、控制阀(例如对向驱动单元167供给空气进行切换的控制阀)的接口，经输出I/F45，CPU41对它们进行控制。
[0102]通信接口(I/F)46是控制包括输送系统A在内的基板处理设备全体的主计算机50和CPU41的接口，CPU41与来自主计算机50的指令相应地控制输送系统A。
[0103]图18是表示CPU41执行的输送系统A的控制例的流程图。该图的处理，表示从未图示的处理装置向收纳盒10输送玻璃基板W时的处理，以从未图示的处理装置经主计算机50接收玻璃基板W的输出指示为契机来执行。
[0104]在S1中，驱动输送机30和主输送装置100，以便将从未图示的处理装置输出的玻璃基板W输送到规定位置。所谓规定位置，是指玻璃基板W通过了传感器111的、预先确定的位置。另外，是否到达规定位置，基于传感器123、133的检测结果进行判断。
[0105]在S2中，确定输出的玻璃基板W的尺寸及位置。此确定基于传感器111的检测结果，但如上所述，也可以通过经主计算机50取得输出的玻璃基板W的尺寸及位置的信息进行确定。
[0106]在S3中，基于在S2中确定的玻璃基板W的尺寸及位置来选择定位装置140的动作模式。即，选择使接触构件152、162移动到接触位置的定位部Pb1至Pb4及Pa1至Pa4。
[0107]在S4中，对输出的各玻璃基板W附加固有的识别编号，设定其尺寸及此后进行收纳的收纳盒10内的缝隙及缝隙上的位置，将设定的数据作为基板数据保存在RAM42中。此基板数据，在向收纳盒10收纳玻璃基板W后与收纳盒10自身的识别信息一起提供给主计算机50，在主计算机50上进行管理。
[0108]在S5中，驱动主输送装置100，将在S1中输送到规定位置的玻璃基板W输送到定位装置140附近的定位位置后暂时停止输送。另外，使支承轴151、161、151旋转到在S3中选择的动作模式的旋转角度。
[0109]在S6中，对驱动单元167进行驱动，使接触构件162从初期位置向定位位置移动，进行玻璃基板W的定位。定位后将接触构件162返回到初期位置。
[0110]在S7中，驱动主输送装置100及移载输送机200，将玻璃基板W向收纳盒10输入直到在S4中设定的缝隙内的位置为止。通过以上的动作，一个单位的处理结束。S1至S7的处理，通过每当从主计算机50收到玻璃基板W的输出指示就并列地执行，能够在连续地输送多个玻璃基板W的同时进行其定位动作。
[0111]另外，在从收纳盒10输出玻璃基板W并向未图示的处理装置输送的情况下，只是输送方向变为相反，能够由同样的顺序输送玻璃基板W。此时，玻璃基板W的尺寸、位置的信息可以以从主计算机50取得的方式取得。
[0112]<第二实施方式>
在上述第一实施方式中，由支承轴151、161、151的旋转使接触构件152、162在待机位置-接触位置之间移动，但也可以做成通过升降接触构件152、162在待机位置-接触位置之间移动的结构。
[0113]图19是代替定位装置140的本实施方式的定位装置140′的立体图。下面，对与定位装置140不同的结构进行说明。定位装置140′具备代替定位单元150的定位单元150′和代替定位单元160的定位单元160′。各定位部Pa1至Pa4及各定位部Pb1至Pb4的位置的设定，是与上述第一实施方式同样的。
[0114]定位单元150′具备在Y方向延伸的支承件301和对支承件301的各端部进行支承的一对支承台303。在支承件301上固定了多个升降单元305和支承构件306。升降单元305在本实施方式的情况下是气缸，在上方的接触位置和下方的待机位置之间升降接触构件152。至于定位部Pb4的接触构件152，则不经升降单元305，而由支承构件306支承在支承件301上，通常位于接触位置。各接触构件152，在Y方向离开间隔的多个定位部Pb1至Pb4的每一个上分别配设一个。
[0115]定位单元160′具备在Y方向延伸的支承件302和对支承件302的各端部进行支承的一对支承台304。在支承件302上固定了与收纳盒105′同样的多个升降单元305和支承构件306，至于定位部Pa1的接触构件162，则不经升降单元305，而由支承构件306支承在支承件302上，通常位于接触位置。各接触构件162，在Y方向离开间隔的多个定位部Pa1至Pa4的每一个上分别配设一个。
[0116]各支承台304在Y方向滑动自由地支承在各支承台166上，在一方的支承台304的侧方并列设置了驱动单元167，连结构件168固定在支承台304上，这样，由驱动单元167的驱动，支承件302、支承台304、全部的升降单元305及支承构件306一体地在Y方向移动，接触构件162在初期位置和定位位置之间进行移动。
[0117]即使在本实施方式中，也能够与主输送装置100输送的玻璃基板W的尺寸相应地选择使接触构件152、162移动到接触位置的定位部Pb1至Pb4及Pa1至Pa4，进行各玻璃基板W1至W3的定位。但是，接触构件152、162在待机位置和接触位置之间的移动，由通过升降单元305的驱动产生的升降进行，这与第一实施方式不同。另外，对于定位部Pa1及Pb4来说，因为其接触构件162、152通常位于接触位置，所以成为通常被选择的状态。
[0118]本实施方式的定位装置140′，也达到与上述第一实施方式的定位装置140同样的效果，但定位装置140′这一方，使接触构件152、162移动到接触位置的定位部Pb1至Pb4及Pa1至Pa4的组合的变化与定位装置140相比更丰富，可以同时定位的各玻璃基板W1至W3的输送状态变得丰富。
[0119]另外，在上述第一实施方式及本实施方式中，由共同的驱动单元167进行接触构件162的初期位置和定位位置之间的移动，但也可以通过对每一个接触构件162设置驱动单元167，同步地进行驱动，来同时定位多张玻璃基板W地进行。
[0120]<第三实施方式>
在上述第一实施方式中，做成了在未图示的一个处理装置和一个收纳盒10之间输送玻璃基板W的结构，但也可以使得在一个处理装置和多个收纳盒10之间输送玻璃基板W。
[0121]图20是表示本发明的另一个实施方式的输送系统B的配置的俯视图。下面，对与输送系统A相同的结构附加同样的符号并省略说明，对不同的结构进行说明。
[0122]<收纳盒10的配置>
输送系统B在两个收纳盒10和一个处理装置(未图示)之间输送玻璃基板W。另外，也可以以在三个以上的收纳盒10和一个处理装置之间输送玻璃基板W的方式来构成。
[0123]两个收纳盒10在Y方向离开间隔地配置，这些收纳盒10的配置方向是Y方向。两个收纳盒10以这些玻璃基板W的输入输出部朝向+X方向的方式配置。对于各收纳盒10，分别配置了一对升降装置20及移载输送机200。
[0124]<输送机移动单元>
本实施方式的主输送装置100，其一部分可以在Y方向移动，可移动的部分是定位装置140附近的合计16个辊式输送机单元120及130。它们由输送机移动单元400移动。下面，将由输送机移动单元400移动的主输送装置100的一部分称为可动输送装置，将不移动的部分称为固定输送装置。
[0125]图21是输送机移动单元400的分解立体图。输送机移动单元400具备搭载可动输送装置及定位装置140的支承板402。在支承板402的下面设置了在一对导轨构件405上滑动的多个滑动构件402b。在X方向离开间隔地平行地设置了一对导轨构件405，其分别在Y方向延伸。通过在导轨构件405上对滑动构件402b进行导向，支承板402能够在Y方向移动。
[0126]在一对导轨构件405之间，在Y方向离开间隔地架设了多个梁构件406，由这些梁构件406从下方支承着固定在一方的导轨构件405上的齿条407，同时将其固定在一方的导轨构件405上。齿条407在Y方向延伸，在其侧面具有齿型407b，在其上面具有用于检测支承板402的Y方向的位置的标记带407a。
[0127]在支承板402上设置了开口部402a。在开口部402a内插入马达403。在马达403上设置了安装板403a，经安装板403a，将马达403固定在支承板402上。在马达403的输出轴上，安装了与齿条407的齿型407b啮合的小齿轮403b。另外，在安装板403a的下面上，设置了检测标记带407a上的各个标记的传感器404，传感器404例如是光传感器。
[0128]具有这样的齿条-小齿轮机构的输送机移动单元400，通过驱动马达403，支承板402在导轨构件405上移动，能够使主输送装置100的一部分及定位装置140在Y方向移动。另外，通过传感器404检测标记带407a上的标记，能够确定可动输送装置及定位装置140的Y方向的位置。
[0129]另外，在本实施方式中，使用了齿条-小齿轮机构，但也可以采用带式传动机构、线性马达、滚珠螺母-滚珠丝杠机构等其他的机构。另外，除了传感器404和标记带407a的组合以外，通过使用其他的位置检测机构(例如检测马达403的旋转量的编码器)，也能够确定可动输送装置及定位装置140的Y方向的位置。
[0130]<动作例>
图22至图24是输送系统B的动作说明图。图22表示主输送装置100的可动输送装置与固定输送装置连续并与+Y侧的移载输送机200连续的状态。在此情况下的输送系统B的动作是与上述第一实施方式的输送系统A同样的。
[0131]图23及图24表示在处理装置(未图示)和-Y侧的收纳盒10之间输送玻璃基板W(在此是玻璃基板W1)的情况，特别是表示从处理装置向收纳盒10输送玻璃基板W的情况。首先，如图23所示，在主输送装置100的可动输送装置与固定输送装置连续的状态下，向可动输送装置上输送玻璃基板W1。接着，如图24所示，由输送机移动单元400使可动输送装置向-Y方向移动，移动到与-Y侧的移载输送机200连续的位置。此时，因为定位装置140设置在可动输送装置上，所以在可动输送装置的移动中，能够进行玻璃基板W1的定位。
[0132]此后，通过驱动可动输送装置和移载输送机200，将玻璃基板W1输入到-Y侧的收纳盒10内。在从收纳盒10向处理装置输送玻璃基板W的情况下，成为此相反的顺序。
[0133]这样，在输送系统B中，能够在两个收纳盒10和处理装置之间输送玻璃基板W。因此，例如，即使是在将一方的收纳盒10与其他的收纳盒交换的情况下，也不必使输送系统B全体的工作停止，能够在另一方的收纳盒10和处理装置之间输送玻璃基板W，能够提高系统全体的工作效率。
[0134]另外，也可以不夹设处理装置地在两个收纳盒10之间输送玻璃基板W。这在收纳盒10之间进行玻璃基板W的替换的情况下是便利的。
[0135]另外，在本实施方式中，在Y方向并列设置了2组收纳盒10、一对升降装置20及移载输送机200，但这些组也可以在X方向偏移。例如，-Y侧的收纳盒10、一对升降装置20及移载输送机200的组，与图22所示的位置相比，也可以在-X侧偏移。在此情况下，只要在X方向延长移载输送机200，在可动输送装置移动到图24的位置时，与可动输送装置连续即可。
[0136]另外，在本实施方式中，两个收纳盒10以它们的玻璃基板W的输入输出部朝向+X方向的方式配置，但也可以分别朝向其他的方向。在此情况下，与收纳盒10的方向相应地配置一对升降装置20及移载输送机200。另外，输送机移动单元400不限定于使可动输送装置在Y方向移动，也可以以使可动输送装置与移载输送机200连续的方式，例如在圆弧轨道上移动。
[0137]<第四实施方式>
在上述第三实施方式中，将可动输送装置做成了一个，但也可以做成两个，将输送机移动单元400设置在各可动输送装置上。图25是表示本发明的另一个实施方式的输送系统C的配置的俯视图。下面，对与输送系统B同样的结构附加同样的符号并省略说明，对不同的结构进行说明。
[0138]输送系统C的主输送装置100具备在X方向连续地并列设置的两个可动输送装置，另外，对各可动输送装置，在X方向并列地设置了两个输送机移动单元400。定位装置140分别设置在各可动装置上，各输送机移动单元400移动可动输送装置和定位装置140。
[0139]<动作例>
图26至图29是输送系统C的动作说明图。图26表示主输送装置100的两个可动输送装置在相互连续的同时与固定输送装置连续，进而与+Y侧的移载输送机200连续的状态。此情况的输送系统C的动作是与上述第一实施方式的输送系统A同样的。但是，由于具有两个定位装置140，所以能够增加可同时定位的玻璃基板W的张数。
[0140]图27表示从图26的状态使搭载了玻璃基板W1的-X侧的可动输送装置移动到与-Y侧的移载输送机200连续的位置的状态。另外，图27表示新的玻璃基板W1从处理装置(未图示)输送到+X侧的可动输送装置上的状态。
[0141]图28表示-X侧的可动输送装置及与其连续的移载输送机200从图27的状态向收纳盒10输入玻璃基板W1，使搭载了玻璃基板W1的+X侧的可动输送装置移动到与-X侧的可动输送装置连续的位置的状态。能够从此状态使+X侧的可动输送装置上的玻璃基板W1由两个可动输送装置及移载输送机200向收纳盒10输入。另外，如果从+X侧的可动输送装置向-X侧的可动输送装置的玻璃基板W1的输送结束，则+X侧的可动输送装置能够开始向+Y侧移动，进行从固定输送装置输送来的玻璃基板W1的接受准备。
[0142]这样，在本实施方式中，具有能够连续地向收纳盒10高效率地输送玻璃基板W的优点。例如，在上述输送系统B中，在向-Y侧的收纳盒10输送2张玻璃基板W1的情况下，需要使可动输送装置在Y方向往复2次。另一方面，在本实施方式的输送系统C中，通过使各可动输送装置在Y方向往复1次，就能够向-Y侧的收纳盒10输送2张玻璃基板W1，能够缩短输送时间。
[0143]另外，在本实施方式的输送系统C中，也能够输送尺寸比玻璃基板W1大的玻璃基板W。图29表示输送Y方向的宽度与玻璃基板W1相同，X方向的长度为大致2倍的玻璃基板W0的情况。
[0144]玻璃基板W0横跨地载置在连续的两个可动输送装置上。玻璃基板W0的定位，能够由两个定位装置140同时进行。另外，玻璃基板W0的Y方向的移动，能够在两个可动输送装置连续的状态下，通过同步地驱动各输送机移动单元400来进行。

Claims (9)

1.一种输送系统，其特征在于，具备：
在水平的输送轨道上，在预定的输送方向输送输送对象物的输送机构；
分别设置在了在与上述输送方向正交的水平方向相互离开间隔的多个第一定位部上，在位于上述输送轨道上而与上述输送对象物的一方侧部接触的第一接触位置和不位于上述输送轨道上的第一待机位置之间可移动地设置的第一接触构件；
分别设置在了在上述水平方向相互离开间隔的多个第二定位部上，在位于上述输送轨道上而与上述输送对象物的另一方侧部接触的第二接触位置和不位于上述输送轨道上的第二待机位置之间可移动地设置的第二接触构件；
与上述输送机构输送的上述输送对象物的尺寸相应地选择使上述第一接触构件向上述第一接触位置移动的上述第一定位部及使上述第二接触构件向上述第二接触位置移动的上述第二定位部的选择机构；
使设置在上述选择机构选择的上述第一定位部上的上述第一接触构件向上述第一接触位置移动的第一移动机构；
使设置在上述选择机构选择的上述第二定位部上的上述第二接触构件向上述第二接触位置移动的第二移动机构；
在上述水平方向移动上述多个第一接触构件的第三移动机构。
2.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，
具备在上述水平方向延伸设置的支承全部上述第一接触构件的支承构件，
上述第三移动机构在上述水平方向移动上述支承构件。
3.如权利要求2所述的输送系统，其特征在于，
上述第三移动机构具备与上述支承构件连结的连结部和使上述连结部在水平方向滑动的驱动机构。
4.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于
上述第一及第二待机位置与上述输送轨道相比是下方的位置，
上述输送机构具备在上述输送方向相互离开间隔的多个输送装置，
在相互邻接的上述输送装置之间的间隙之中，在第一间隙中配置上述第一接触构件，在与上述第一间隙不同的第二间隙中配置上述第二接触构件。
5.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，
上述第一及第二待机位置与上述输送轨道相比是下方的位置，
上述第一移动机构具备：
在上述水平方向延伸，在各上述第一定位部的每一个上都在径向突出地设置了一个或多个上述第一接触构件的第一支承轴；
使上述第一支承轴绕其轴心旋转，使上述第一接触构件在上述第一接触位置和上述第一待机位置之间移动的第一驱动机构，
上述第二移动机构具备：
在上述水平方向延伸，在各上述第二定位部的每一个上都在径向突出地设置了一个或多个上述第二接触构件的第二支承轴；
使上述第二支承轴绕其轴心旋转，使上述第二接触构件在上述第二接触位置和上述第二待机位置之间移动的第二驱动机构，
上述第一接触构件以根据上述第一支承轴的旋转角度使上述第一接触构件成为上述第一接触位置的上述第一定位部不同的方式设置在上述第一支承轴上，
上述第二接触构件以根据上述第二支承轴的旋转角度使上述第二接触构件成为上述第二接触位置的上述第二定位部不同的方式设置在上述第二支承轴上。
6.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，
上述第一及第二待机位置与上述输送轨道相比是下方的位置，
上述第一移动机构是对各上述第一定位部的每一个设置的使上述第一接触构件在上述第一接触位置和上述第一待机位置之间升降的第一升降机构，
上述第二移动机构是对各上述第二定位部的每一个设置的使上述第二接触构件在上述第二接触位置和上述第二待机位置之间升降的第二升降机构。
7.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，
上述第二定位部在上述输送方向离开间隔地设定两列，
上述第一定位部设定在上述两列的上述第二定位部之间。
8.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，
上述输送对象物是基板，
上述输送系统具备：
配置在上述输送机构的上述输送方向的一方端部侧，处理上述基板的处理装置；
配置在上述输送机构的上述输送方向的另一方端部侧，收纳上述基板的第一收纳盒；
收纳上述基板的第二收纳盒；
与上述输送机构连续，且配置在上述第一收纳盒的下部，在上述第一收纳盒和上述输送机构之间输送上述基板的第一输送机；
至少配置在上述第二收纳盒的下部的第二输送机；
与上述第一及第二接触构件及上述第一至第三移动机构一起将上述输送机构的一部分向与上述第二输送机连续的位置移动的第四移动机构。
9.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，
上述输送对象物是基板，
上述输送系统具备：
配置在上述输送机构的上述输送方向的一方端部侧，处理上述基板的处理装置；
配置在上述输送机构的上述输送方向的另一方端部侧，收纳上述基板的第一收纳盒；
相对于上述第一收纳盒而言，配置在与上述输送方向正交的方向，收纳上述基板的第二收纳盒；
与上述输送机构连续，且配置在上述第一收纳盒的下部，在上述第一收纳盒和上述输送机构之间输送上述基板的第一输送机；
至少配置在上述第二收纳盒的下部的第二输送机；
将上述输送机构的第一部分在与上述输送方向正交的方向移动到与上述第二输送机连续的位置的第四移动机构；
与上述输送机构的上述第一部分在上述输送方向连续的、将上述输送机构的第二部分在与上述输送方向正交的方向移动的第五移动机构；
在上述第一部分及上述第二部分上分别设置上述第一及第二接触构件及上述第一至第三移动机构；
上述第四及第五移动机构分别将上述第一及第二接触构件及上述第一至第三移动机构与上述第一部分及上述第二部分一起移动。
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