CN101801816B - 基板输送系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板输送系统，所述基板输送系统在收纳基板的第一以及第二收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输送基板，所述处理装置在与所述第一以及第二收纳盒的配置方向正交的方向与所述第一以及第二收纳盒分离地配置。该基板输送系统具备：同时输送传送器、传送器移动组件、个别输送传送器、定位组件，所述同时输送传送器能够同时输送多张基板；所述传送器移动组件在所述第一以及第二收纳盒之间移动所述同时输送传送器；所述个别输送传送器能够个别地输送所述多张基板；所述定位组件进行所述个别输送传送器上的所述基板和所述处理装置的定位。

Description

基板输送系统
技术领域
本发明涉及一种在收纳玻璃基板、液晶基板、PDP基板等基板的收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输送基板的输送系统。
背景技术
在薄型显示器等制造设备中，玻璃基板等基板被收纳在收纳盒内。然后，在处理基板时，向处理装置输送基板，若处理结束，则再次被收纳在收纳盒内。在这样的制造设备中，需要在收纳盒和处理装置之间输送基板的输送系统。基板的输送系统要求具有与处理装置的基板的处理能力相应的输送能力。例如，在处理装置的基板的处理能力超过输送系统的输送能力的情况下，在处理装置中产生等待基板的输送的时间，制造效率变差。因此，希望输送系统的基板的输送能力超过处理装置的基板的处理能力。
在日本特开2005-60110号公报中，公开了从多个收纳盒选择性地向处理装置输送基板的系统。在此系统中，基板的输送能力取决于收纳盒的数量。因此，例如在将基板在一个收纳盒和处理装置之间进行输送的情况下，存在基板的输送能力比处理装置的处理能力差的情况。
在日本特开平9-132309号公报中，公开了同时输送多张基板，在输送的过程中处理多张基板的系统。在此系统中，需要处理装置能够同时传递多张基板。但是，在薄型显示器等的制造设备中，大多采用一张一张地进行基板的传递的处理装置。此系统难以适应于采用了一张一张地进行基板的传递的处理装置的制造设备。另外，在此系统中，每个收纳盒都需要传送器，传送器的数量增多。
发明内容
本发明的目的是提供一种与一张一张地进行基板的传递的处理装置对应，使传送器的数量更少，同时，提高了基板的输送能力的基板输送系统。
根据本发明，提供一种基板输送系统，所述基板输送系统在收纳基板的第一以及第二收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输送基板，所述处理装置在与所述第一以及第二收纳盒的配置方向正交的方向与所述第一以及第二收纳盒分离地配置，其特征在于：具备同时输送传送器、传送器移动组件、个别输送传送器、定位组件，所述同时输送传送器具有能够在与所述基板的输送方向正交的方向排列地载置多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张所述基板；所述传送器移动组件在第一位置和第二位置之间在所述配置方向移动所述同时输送传送器，所述第一位置是在与所述第一收纳盒之间进行所述基板的移载的位置，所述第二位置是在与所述第二收纳盒之间进行所述基板的移载的位置；所述个别输送传送器配置在所述同时输送传送器和所述处理装置之间，具有能够在与所述输送方向正交的方向排列地载置所述多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向个别地输送所述多张基板；所述定位组件进行所述个别输送传送器上的所述基板和所述处理装置的定位。
在本发明的基板输送系统中，通过设置了所述同时输送传送器，能够在基板的输送途中并列输送多张基板，能够提高输送能力。另外，通过设置了所述传送器移动组件，能够由所述第一收纳盒和所述第二收纳盒共用所述同时输送传送器。因此，能够使传送器的数量更少。而且，通过设置了所述个别输送传送器以及所述定位组件，能够对所述处理装置一张一张地进行基板的传递。因此，能够与一张一张地进行基板的传递的处理装置对应。
另外，根据本发明，提供一种基板输送系统，所述基板输送系统在收纳基板的第一以及第二收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输送基板，所述处理装置在与所述第一以及第二收纳盒的配置方向正交的方向与所述第一以及第二收纳盒分离地配置，其特征在于：具备：第一同时输送传送器、传送器移动组件、个别输送传送器、第二同时输送传送器、基板移动单元、升降单元，所述第一同时输送传送器具有能够在与所述基板的输送方向正交的方向排列地载置多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张所述基板；所述传送器移动组件在第一位置和第二位置之间在所述配置方向移动所述第一同时输送传送器，所述第一位置是在与所述第一收纳盒之间进行所述基板的移载的位置，所述第二位置是在与所述第二收纳盒之间进行所述基板的移载的位置；所述个别输送传送器配置在所述第一同时输送传送器和所述处理装置之间，具有能够在与所述输送方向正交的方向排列地载置所述多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向个别地输送所述多张基板；所述第二同时输送传送器相对于所述个别输送传送器在与所述输送方向正交的方向并列配置，具有能够在与所述输送方向正交的方向排列地载置所述多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张基板；所述基板移动单元具有载置所述个别输送传送器以及所述第二同时输送传送器上的所述基板的载置部，在所述个别输送传送器以及所述第二同时输送传送器上在与所述输送方向正交的方向移动所述基板；所述升降单元相对地升降所述载置部和所述个别输送传送器以及所述第二同时输送传送器。
在本发明的基板输送系统中，通过设置了所述第一同时输送传送器，能够在基板的输送途中并列输送多张基板，能够提高输送能力。另外，通过设置了所述传送器移动组件，能够由所述第一收纳盒和所述第二收纳盒共用所述第一同时输送传送器。因此，能够使传送器的数量更少。而且，通过设置了所述个别输送传送器、所述基板移动组件以及所述升降单元，能够对所述处理装置一张一张地进行基板的传递。因此，能够与一张一张地进行基板的传递的处理装置对应。
附图说明
图1是表示有关本发明的一个实施方式的基板输送系统A的布局的俯视图。
图2是基板输送系统A的侧视图。
图3是收纳盒10的立体图。
图4是表示构成各传送器30、31以及32的辊传送器单元100以及110的立体图。
图5是表示收纳盒10中的玻璃基板W的收纳状态以及移载传送器32上的玻璃基板W的位置的例子(二例)的俯视图。
图6是一对升降装置80的立体图。
图7是升降装置80的分解立体图。
图8是将玻璃基板W从收纳盒10输出的情况下的由升降装置80进行的收纳盒10的升降动作的图。
图9是传送器移动单元1的分解立体图。
图10是表示基板输送系统A的控制装置200的结构的框图。
图11是表示在移载传送器32和同时输送传送器30之间输送玻璃基板W1的例子的图。
图12是表示在移载传送器32和同时输送传送器30之间输送玻璃基板W1的例子的图。
图13是表示从移载传送器32向同时输送传送器30输送玻璃基板W1的例子的图。
图14是表示从移载传送器32向同时输送传送器30输送玻璃基板W1的例子的图。
图15是表示在同时输送传送器30和个别输送传送器31之间输送玻璃基板W1的例子的图。
图16是表示从个别输送传送器31向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W1的例子的图。
图17是表示从个别输送传送器31向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W1的例子的图。
图18是表示从个别输送传送器31向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W1的例子的图。
图19是表示从个别输送传送器31向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W2的例子的图。
图20是表示从个别输送传送器31向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W2的例子的图。
图21是表示从个别输送传送器31向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W2的例子的图。
图22是表示有关本发明的其它实施方式的基板输送系统B的布局的俯视图。
图23是表示同时输送传送器以及传送器移动单元的其它例子的俯视图。
图24是表示有关本发明的其它实施方式的基板输送系统C的布局的俯视图。
图25是基板输送系统C的侧视图。
图26是载置部件56以及57的立体图。
图27是表示升降单元60的升降动作和与之相伴的载置部件56的升降的图。
图28是表示在同时输送传送器30和个别输送传送器31’之间输送玻璃基板W1的例子的图。
图29是表示从个别输送传送器31’向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W1的例子的图。
图30是表示从个别输送传送器31’向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W1的例子的图。
图31是表示从个别输送传送器31’向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W1的例子的图。
图32是表示从个别输送传送器31’向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W2的例子的图。
图33是表示从个别输送传送器31’向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W2的例子的图。
图34是表示从个别输送传送器31’向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W2的例子的图。
图35是表示从个别输送传送器31’向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W2的例子的图。
图36是表示从处理装置20向个别输送传送器31’一张一张地输送玻璃基板W1，在个别输送传送器31’上，在Y方向排列多张玻璃基板W1的例子的图。
图37是表示从处理装置20向个别输送传送器31’一张一张地输送玻璃基板W1，在个别输送传送器31’上，在Y方向排列多张玻璃基板W1的例子的图。
图38是表示从处理装置20向个别输送传送器31’一张一张地输送玻璃基板W1，在个别输送传送器31’上，在Y方向排列多张玻璃基板W1的例子的图。
图39是表示从处理装置20向个别输送传送器31’一张一张地输送玻璃基板W1，在个别输送传送器31’上，在Y方向排列多张玻璃基板W1的例子的图。
图40是表示从处理装置20向个别输送传送器31’一张一张地输送玻璃基板W2，在个别输送传送器31’上，在Y方向排列多张玻璃基板W2的例子的图。
图41是表示从处理装置20向个别输送传送器31一张一张地输送玻璃基板W2，在个别输送传送器31’上，在Y方向排列多张玻璃基板W2的例子的图。
图42是表示从处理装置20向个别输送传送器31’一张一张地输送玻璃基板W2，在个别输送传送器31’上，在Y方向排列多张玻璃基板W2的例子的图。
图43是表示从处理装置20向个别输送传送器31’一张一张地输送玻璃基板W2，在个别输送传送器31’上，在Y方向排列多张玻璃基板W2的例子的图。
图44是表示有关本发明的其它实施方式的基板输送系统D的布局的俯视图。
图45是在两个个别输送传送器31’上的玻璃基板W的输送状态的说明图。
图46是表示载置部件56以及57的移动机构的其它例子的图。
具体实施方式
为了实施发明的优选方式
[第一实施方式]
[整体结构]
图1是表示有关本发明的一个实施方式的基板输送系统A的布局的俯视图，图2是基板输送系统A的侧视图。另外，在各图中，箭头X、Y表示相互正交的水平方向，箭头Z表示上下方向(铅直方向)。在本实施方式的情况下，基板输送系统A在收纳方形薄板状的玻璃基板W的收纳盒10和对玻璃基板W进行处理的处理装置20(仅图示了其一部分)之间输送玻璃基板W。另外，玻璃基板W在图2中由虚线图示，图1中省略了图示。
处理装置20进行例如玻璃基板的清洗、干燥、其它的处理。处理装置20能够在其内部收纳多张玻璃基板，例如能够在收纳盒10内收纳多张玻璃基板W。另外，在处理装置20中，进行一张一张玻璃基板W的输入、输出。另外，在本实施方式中，以玻璃基板为输送对象，但本发明也可以适用于液晶基板、PDP基板等其它的基板。
本实施方式的基板输送系统A在两个收纳盒10和一个处理装置20之间输送玻璃基板W。另外，也可以以在3个以上的收纳盒10和一个处理装置20之间输送玻璃基板W的方式构成。
两个收纳盒10在Y方向分离地配置，这些收纳盒10的配置方向是Y方向。各收纳盒10和处理装置20在X方向分离地配置。因此，在本实施方式的情况下，基板输送系统A的基板的输送方向是X方向，与输送方向正交的方向是Y方向。
两个收纳盒10以这些玻璃基板W的输入输出部朝向+X方向的方式配置，处理装置20以所述玻璃基板W的输入输出部朝向-X方向的方式配置。
基板输送系统A具备同时输送传送器30、个别输送传送器31、对每个这些传送器30以及31设置的两个传送器移动单元1、两个移载传送器32、移载传送器70、一对升降装置80。
[收纳盒]
图3是收纳盒10的立体图。收纳盒10是能够在Z方向多段地收纳玻璃基板W的盒。另外，图3是表示未收纳玻璃基板W的状态。在本实施方式的情况下，收纳盒10由多个柱部件11、梁部件12形成大致长方体形状的框架体。柱部件11的配设间隔以及梁部件12的配设间隔以移载传送器32能够从收纳盒10的下方进入到收纳盒10内的方式设定。
柱部件11在X方向配设多个，同时，在Y方向分离地并列设置相同数量的柱部件11。在沿Y方向分离的一对柱部件11之间，在Z方向排列且以规定的间距铺设了线材13。各线材13的上下之间的空间形成收纳玻璃基板W的缝隙，玻璃基板W以大致水平姿势被载置在线材13上。这样，与在Z方向排列的线材13的数量相应地形成缝隙。
在本实施方式的情况下，在一个缝隙内在Y方向排列地收纳多张玻璃基板W。但是，也可以在Y方向以及X方向排列地收纳多张玻璃基板W，进而，还可以在一个缝隙内收纳一个玻璃基板W。另外，虽然在本实施方式中由线材形成缝隙，但是当然也可以采用其它的方式。不过，通过使用线材，能够缩小被收纳的基板之间的间隔，能够提高收纳盒10的收纳效率。
[传送器]
接着，说明同时输送传送器30、个别输送传送器31以及移载传送器32的结构。在本实施方式的情况下，这些传送器均将多个辊传送器配置成矩阵状而构成。但是，也可以使用皮带传送器等其它形式的传送器。
图4是表示构成各传送器30、31以及32的辊传送器单元100以及110的立体图。如该图所示，在本实施方式中，通过使用大小不同的两种辊传送器单元100以及110，能够由相同的系统输送尺寸不同的玻璃基板W。
辊传送器单元100具备载置玻璃基板W(图4中未图示)的多个辊101、内置了辊101的驱动装置的驱动箱102、检测辊101上的玻璃基板W的传感器103。辊101绕Y方向的旋转轴旋转，在X方向输送玻璃基板W。
辊传送器单元110具备载置玻璃基板W的多个辊111、内置了辊111的驱动装置的驱动箱112、检测辊111上的玻璃基板W的传感器113。辊111绕Y方向的旋转轴旋转，在X方向输送玻璃基板W。辊传送器单元110的Y方向的宽度是辊传送器单元100的Y方向的宽度的大约一半。各辊传送器单元100以及各辊传送器单元110分别能够独立驱动。
在本实施方式的情况下，在Y方向的两端部各配置一个辊传送器单元100，在这些辊传送器单元100之间配置两个辊传送器单元110。在Y方向排列的这四个辊传送器单元100以及110也称为“辊传送器单元组”。图4是表示在X方向排列了三个“辊传送器单元组”的状态。
参照图1以及图2，在本实施方式中，同时输送传送器30、个别输送传送器31以及移载传送器32均在X方向排列了三个“辊传送器单元组”而构成。即，与图4所示的辊传送器单元100以及110的配置排列相同。
移载传送器32、同时输送传送器30以及移载传送器32在X方向配置，可由这些传送器在X方向连续地输送玻璃基板W。
另外，同时输送传送器30、个别输送传送器31以及移载传送器32均具有能够在与玻璃基板W的输送方向(X方向)正交的Y方向排列地载置多张玻璃基板W的宽度(Y方向的宽度)。图5是表示收纳盒10中的玻璃基板W1、W2的收纳状态以及移载传送器32上的玻璃基板W1、W2的位置的例子(二例)的俯视图。对每个收纳盒10都设置了移载传送器32。
图5中的上方的例子是在收纳盒10的各缝隙内收纳了两张玻璃基板W1的例子，移载传送器32能够在Y方向载置两张玻璃基板W1。图5中的下方的例子是在收纳盒10的各缝隙内收纳了三张玻璃基板W2的例子，移载传送器32能够在Y方向载置三张玻璃基板W2。玻璃基板W2是与玻璃基板W1相比Y方向的宽度小的玻璃基板。
在以玻璃基板W1为输送对象的情况下，与移载传送器32同样，在同时输送传送器30以及个别输送传送器31上能够在Y方向载置两张玻璃基板W1。另外，在以玻璃基板W2为输送对象的情况下，与移载传送器32同样，在同时输送传送器30以及个别输送传送器31上能够在Y方向载置三张玻璃基板W2。
返回到图1以及图2，移载传送器70是由单一的辊传送器单元构成的辊传送器。移载传送器70进行处理装置20和个别输送传送器31之间的玻璃基板W的传递。另外，也可以不设置移载传送器70，在个别输送传送器31和处理装置20之间直接传递玻璃基板W。
[升降装置]
图6是一对升降装置80的立体图，图7是升降装置80的分解立体图。在本实施方式中，通过由升降装置80在Z方向升降收纳盒10，在Z方向相对地移动收纳盒10和移载传送器32。但是，也可以做成在Z方向升降移载传送器32的结构。另外，在做成了升降移载传送器32的结构的情况下，将做成也升降同时输送传送器30的结构。
在本实施方式的情况下，升降装置80分别以夹着收纳盒10的方式被配设在收纳盒10的相互相向的Y方向的两侧部，单臂支承收纳盒10。根据此结构，能够使升降装置80更加薄型化。
升降装置80具备载置收纳盒10的底部的梁部件12的横梁部件81。通过各升降装置80的各横梁部件81在Z方向同步移动来升降收纳盒10。升降装置80具备在Z方向延伸的支柱82，在支柱82的内侧表面固定着在Z方向延伸的一对轨道部件83以及齿条84。在各升降装置80之间，在支柱82的上端架设着梁部件80a。
横梁部件81经托架85a固定地支承在支承板85的一侧面上。在支承板85的另一侧面上固定能够沿轨道部件83移动的四个滑动部件86，横梁部件81以及支承板85通过轨道部件83的引导上下移动。驱动单元87由马达87a和减速机87b构成，被固定地支承在支承板88的一侧面上。减速机87b的输出轴贯通支承板88，与配设在支承板88的另一侧面上的小齿轮89a连接。
支承板85和支承板88隔着规定的间隔相互固定，在支承板85和支承板88的空隙中配设了小齿轮89b至89d。小齿轮89b至89d在支承板85和支承板88之间可旋转地被轴支承，小齿轮89b以及小齿轮89c从动于小齿轮89a的旋转而旋转。小齿轮89d从动于小齿轮89c的旋转而旋转。小齿轮89b至89d是彼此相同规格的小齿轮，两个小齿轮89b以及89d与各齿条84啮合。
于是，若对驱动单元87进行驱动，则小齿轮89a旋转，通过其驱动力，驱动单元87、支承板85以及88、滑动部件86以及横梁部件81成为一体，向上方或下方移动，能够升降载置在横梁部件81上的收纳盒10。在各升降装置80上，检测彼此的横梁部件81的升降高度的偏差的传感器81a设置在横梁部件81的端部。
传感器81a例如是具备发光部和受光部的光传感器，如图6所示，相互在Y方向照射光，判定是否接受了光。在接受了光的情况下，彼此的横梁部件81的升降高度没有偏差，在没有接受到光的情况下，升降高度有偏差。若由传感器81a检测出升降高度的偏差，则通过马达87a的控制进行控制，以便消除偏差。通过设置传感器81a，控制横梁部件81的升降高度的偏差，能够防止在升降时收纳盒10倾斜，更稳定地升降收纳盒10。
另外，设置在各横梁部件81上的两个传感器81a也可以做成其一方具有发光部和受光部的任意一方，其另一方具有发光部和受光部的另一方的结构。另外，不限于光传感器，也可以采用其它的传感器。
图8是表示从收纳盒10输出玻璃基板W的情况下的由升降装置80(图8中未图示)进行的收纳盒10的升降动作的图。玻璃基板W的输出从被收纳在收纳了玻璃基板W的缝隙中的最下方的缝隙的玻璃基板W开始依次进行。
首先，如图8的左上图所示，从收纳盒10位于移载传送器32的上方的状态开始，由升降装置80使收纳盒10下降，如图8的右上图所示，将作为输送对象的玻璃基板W载置在移载传送器32上。此时，移载传送器32从下方进入到收纳盒10内，作为输送对象的玻璃基板W成为从收纳盒10的线材13浮起的状态，并成为仅由移载传送器32支承的状态。接着，驱动移载传送器32，如图8的左下图所示，将作为输送对象的玻璃基板W从收纳盒10输出。下面同样地反复进行收纳盒10的下降和移载传送器32的驱动(图8的右下图)，从下方侧依次输出玻璃基板W。
在将玻璃基板W向收纳盒10输入的情况下，是与所述的输出时的动作大致相反的动作。玻璃基板W的输入从没有收纳玻璃基板W的缝隙中的最下方的缝隙开始依次进行。
[传送器移动单元]
传送器移动单元1分别设置在同时输送传送器30和个别输送传送器31上，在Y方向移动同时输送传送器30和个别输送传送器31。移动同时输送传送器30的传送器移动单元1进行同时输送传送器30和两个收纳盒10之间的定位。移动个别输送传送器31的传送器移动单元1进行个别输送传送器31和处理装置20之间的定位。进而，各传送器移动单元1进行同时输送传送器30和个别输送传送器31之间的定位。
图9是传送器移动单元1的分解立体图。传送器移动单元1具备搭载同时输送传送器30或个别输送传送器31的支承板2。在支承板2的下面上设置了在一对轨道部件5上滑动的多个滑动部件2b。一对轨道部件5在X方向分离地平行地设置，分别在Y方向延伸。通过由轨道部件5引导滑动部件2b，支承板2能够在Y方向移动。
在一对轨道部件5之间，在Y方向分离地架设多个梁部件6，由这些梁部件6从下方支承齿条7。齿条7在Y方向延伸，在其侧面具有齿7b，在其上面上具有用于检测支承板2的Y方向的位置的标记带7a。
支承板2上设置了开口部2a。马达3插入在开口部2a内。在马达3上设置了安装板3a，经安装板3a，马达3被固定在支承板2上。在马达3的输出轴上安装了与齿条7的齿7b啮合的小齿轮3b。另外，在安装板3a的下面上设置了检测标记带7a上的各个标记的传感器4。传感器4例如是光传感器。
具有这样的齿条-小齿轮机构的传送器移动单元1，通过驱动马达3，支承板2在轨道部件5上移动，能够在Y方向移动同时输送传送器30、个别输送传送器31。另外，通过传感器4检测标记带7a上的标记，能够特定同时输送传送器30、个别输送传送器31的Y方向的位置。
另外，虽然在本实施方式中，作为移动同时输送传送器30以及个别输送传送器31的机构，使用了齿条-小齿轮机构，但是，也可以采用皮带传动机构、线性马达等其它的机构。另外，个别输送传送器31的Y方向的位置的特定，除使用传感器4和标记带7a的组合以外，也可以使用其它的位置检测组件(例如检测马达3的旋转量的编码器)。
[控制装置]
图10是表示基板输送系统A的控制装置200的结构的框图。控制装置200具备负责基板输送系统A的整体的控制的CPU201、提供CPU201的工作区域并且存储可变数据等的RAM202、存储控制程序、控制数据等固定性的数据的ROM203。RAM202、ROM203也可以采用其它的存储组件。
输入接口(I/F)204是CPU201和各种传感器(例如，传感器4、81a等)的接口，CPU201经输入I/F204取得各种传感器的检测结果。输出接口(I/F)205是CPU201和各种马达(例如，马达3、87a、驱动箱102、112内的马达等)的接口，CPU201经输出I/F205控制各种马达。
通信接口(I/F)206是控制包括基板输送系统A在内的基板处理设备整体的主计算机300和CPU201的接口，CPU201与来自主计算机300的指令相应地控制基板输送系统A。
[由基板输送系统A进行的基板的输送例]
[同时输送传送器的输送例]
图11以及图12是表示在移载传送器32和同时输送传送器30之间输送玻璃基板W1的例子的图。通过同步驱动各“辊传送器单元组”，能够在Y方向排列多张玻璃基板W1而在X方向同时输送。另外，这里虽然以玻璃基板W1为例进行列举，但是，就玻璃基板W2而言也同样。
图11是表示在两个收纳盒10中的一方的收纳盒10和同时输送传送器30之间同时移载多张玻璃基板W1的例子。在此情况下，首先由传送器移动单元1将同时输送传送器30向进行一方的收纳盒10和玻璃基板W1的移载的位置移动。具体地说，以同时输送传送器30以及移载传送器32的各辊传送器单元100以及110在X方向连续的方式，将同时输送传送器30向规定的位置移动。然后，通过驱动同时输送传送器30以及移载传送器32的各辊传送器单元100以及110，能够同时移载多张玻璃基板W。
图12是表示在两个收纳盒10中的另一方的收纳盒10和同时输送传送器30之间同时移载多张玻璃基板W1的例子。在此情况下，首先由传送器移动单元1将同时输送传送器30向进行另一方的收纳盒10和玻璃基板W1的移载的位置移动，然后，通过驱动同时输送传送器30以及移载传送器32的各辊传送器单元100以及110，能够同时移载多张玻璃基板W1。
在本实施方式中，能够像这样在同时输送传送器30和移载传送器32之间在Y方向排列多张玻璃基板而同时进行输送，能够提高针对收纳盒10的玻璃基板的输出、输入的效率。
虽然在本实施方式中，由独立驱动的多个辊传送器单元100以及110构成了同时输送传送器30和移载传送器32，但是，若仅在Y方向排列多张玻璃基板而同时进行输送，则也可以像移载传送器70的那样，由单一的辊传送器单元分别构成同时输送传送器30、移载传送器32。
但是，通过像本实施方式的这样，由独立驱动的多个辊传送器单元100以及110构成了同时输送传送器30和移载传送器32，具有输送状态的变化增多的优点。例如，还可以选择性地采用一张一张地输送玻璃基板的输送状态。另外，例如还可以选择性地采用在+Y侧将玻璃基板向+X方向，在-Y侧将玻璃基板向-X方向输送这样地将多张玻璃基板相互反向地输送的输送状态。
图13以及图14是表示在移载传送器32和同时输送传送器30之间一张一张地输送玻璃基板W1的例子的图。图13表示从移载传送器32将第一张玻璃基板W1向同时输送传送器30输送的状态。从此状态开始，如图14所示，由传送器移动单元1将同时输送传送器30向+Y方向移动规定量而停止，将第二张玻璃基板W1向同时输送传送器30输送。
在此情况下，辊传送器单元100以及110与玻璃基板的尺寸、输送位置相应地被选择性地驱动。例如，在图13的状态下，移载传送器32以及同时输送传送器30的辊传送器单元100以及110中的+Y方向侧的一半的辊传送器单元100以及110被驱动。在图14的状态下，移载传送器32的辊传送器单元100以及110中的+Y方向侧的一半的辊传送器单元100以及110被驱动，同时输送传送器30的辊传送器单元100以及110中的-Y方向侧的一半的辊传送器单元100以及110被驱动。另外，从图13的状态到图14的状态的同时输送传送器30的移动量也与玻璃基板的大小、输送位置相应地被设定。
通过这样做，能够在移载传送器32和同时输送传送器30之间一张一张地输送玻璃基板W1。因此，例如即使是在移载传送器32只能一张一张地输送玻璃基板，在收纳盒10的各缝隙内只能一张一张地收纳玻璃基板的情况下，也可以适用本实施方式的基板输送系统A。
[同时输送传送器和个别输送传送器之间的玻璃基板的输送例]
图15是表示在同时输送传送器30和个别输送传送器31之间输送玻璃基板W1的例子的图。另外，虽然这里列举了玻璃基板W1的例子，但是，就玻璃基板W2而言，也同样。
在将玻璃基板W1在同时输送传送器30和个别输送传送器31之间进行输送的情况下，使至少任意一方的传送器移动单元1移动，进行同时输送传送器30和个别输送传送器31的定位。具体地说，以同时输送传送器30以及个别输送传送器31的各辊传送器单元100以及110在X方向连续的方式，将同时输送传送器30或个别输送传送器31的任意一方向规定的位置移动。然后，如图15所示，通过驱动同时输送传送器30以及个别输送传送器31的各辊传送器单元100以及110，能够同时输送多张玻璃基板W1。
这样，在本实施方式中，能够由同时输送传送器30并列输送多张玻璃基板。即，能够在Y方向排列多张玻璃基板，同时输送这些玻璃基板。由此，能够提高收纳盒10和处理装置20之间的玻璃基板的输送中的输送能力。另外，通过设置传送器移动单元1，由两个收纳盒10共用同时输送传送器30，能够进一步减少传送器的数量。
另外，在本实施方式中，也可以由同时输送传送器30和传送器移动单元1，不经个别输送传送器31，在两个收纳盒10之间传递玻璃基板。此时，由于能够同时输送多张玻璃基板，所以，能够迅速传递玻璃基板。
[个别输送传送器的输送例]
在本实施方式的情况下，处理装置20一张一张地输入、输出玻璃基板。因此，在将从同时输送传送器30同时输送到个别输送传送器31的多张玻璃基板从个别输送传送器31向处理装置20输送时，需要将输送张数从多张变换为一张。个别输送传送器31和传送器移动单元1进行此输送张数的变换。由此，能够对处理装置20一张一张地进行玻璃基板的传递。
图16至图18是表示从个别输送传送器31向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W1的例子的图。图16表示在个别输送传送器31上载置着两张玻璃基板W1的状态。在此状态下，进行任意一方的玻璃基板W1和处理装置20的定位，即，进行玻璃基板W1和处理装置20的输入输出位置的对位。在本实施方式的情况下，假想处理装置20的Y方向中央部分为玻璃基板W1的输入输出位置的情况。
在本实施方式的情况下，此定位由传送器移动单元1进行。如图16所示，若玻璃基板W1和处理装置20的定位结束，则驱动个别输送传送器31和移载传送器70，如图17所示，将第一张玻璃基板W1向处理装置20输送。此时，个别输送传送器31的各辊传送器单元100以及110，与玻璃基板W1的尺寸以及在个别输送传送器31上的位置相应地被选择性地驱动。在图17的例子的情况下，-Y侧的一半的辊传送器单元100以及110被驱动。
接着，按照与第一张玻璃基板W1相同的顺序输送第二张玻璃基板W1。如图18所示，由传送器移动单元1向-Y方向移动个别输送传送器31，进行第二张玻璃基板和处理装置20的定位，在定位结束后，驱动个别输送传送器31和移载传送器70，如图18所示，将第二张玻璃基板W1向处理装置20输送。
图19至图21是表示从个别输送传送器31向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W2的例子的图。个别输送传送器31具有能够载置三张玻璃基板W2的宽度，将玻璃基板W2分三次向处理装置20输入。
图19表示在由传送器移动单元1进行了第一张玻璃基板W2和处理装置20的定位后，将第一张玻璃基板W2向处理装置20输入的状态。在此情况下，仅个别输送传送器31的各辊传送器单元100以及110中的+Y侧的三个辊传送器单元100被驱动。
图20表示在由传送器移动单元1进行了第二张玻璃基板W2和处理装置20的定位后，将第二张玻璃基板W2向处理装置20输入的状态。在此情况下，仅个别输送传送器31的各辊传送器单元100以及110中的Y方向中央的六个辊传送器单元110被驱动。
图19表示在由传送器移动单元1进行了第三张玻璃基板W2和处理装置20的定位后，将第三张玻璃基板W2向处理装置20输入的状态。在此情况下，仅个别输送传送器31的各辊传送器单元100以及110中的-Y侧的三个辊传送器单元100被驱动。
这样，在本实施方式中，能够将玻璃基板一张一张地向处理装置20输入。在从处理装置20向个别输送传送器31输出玻璃基板的情况下，成为与输入时大致相反的顺序。
[玻璃基板的尺寸的特定]
在本实施方式中，如上所述，能够进行尺寸不同的玻璃基板W1以及W2的输送。这是通过与玻璃基板的尺寸以及输送的位置相应地选择性地驱动构成个别输送传送器31的辊传送器单元100以及110和通过驱动传送器移动单元1来实现的。在进行尺寸不同的玻璃基板的输送的情况下，需要特定该玻璃基板的尺寸，在控制装置200控制的基础上设定尺寸。
设定玻璃基板的尺寸的第一方法是，在各收纳盒10中仅收纳相同尺寸的玻璃基板，在控制装置200的控制基础上，设定玻璃基板的尺寸。在此情况下，以在基板输送系统A上输送的玻璃基板全部是相同尺寸的玻璃基板为前提。
设定玻璃基板的尺寸的第二方法是，逐一检测玻璃基板的尺寸，在控制装置200的控制基础上，个别地设定玻璃基板的尺寸。在此情况下，也可以将在基板输送系统A上输送的玻璃基板不作为全部相同尺寸的玻璃基板，例如，也可以预先在收纳盒10的每个缝隙中收纳不同的尺寸的玻璃基板。另外，还可以预先将不同的尺寸的玻璃基板收纳在一个缝隙内。检测玻璃基板的尺寸的传感器例如可以配设在同时输送传送器30、个别输送传送器31以及移载传送器32、70上。
[第二实施方式]
在所述第一实施方式中，是在同时输送传送器30和个别输送传送器31之间直接输送玻璃基板，但是，也可以使其它的传送器处于它们之间。图22是表示有关本发明的其它实施方式的基板输送系统B的布局的俯视图。在该图中，对与基板输送系统A相同的结构标注相同的参照符号，省略说明，仅说明不同的结构。
在基板输送系统B中，在同时输送传送器30和个别输送传送器31之间配设了中间传送器300。在该图的例子中，两个中间传送器300在Y方向分离地配置。中间传送器300由多个辊传送器单元100以及110构成，它们的配置排列与同时输送传送器30、个别输送传送器31以及移载传送器32相同。在本实施方式的情况下，在同时输送传送器30和个别输送传送器31之间的玻璃基板的输送经中间传送器300进行。
在本实施方式的情况下，传送器的数量与所述第一实施方式相比增加。但是，通过设置中间传送器300，能够不会产生玻璃基板相对于处理装置20的输送等待。
[第三实施方式]
在所述第一实施方式中，将同时输送传送器30的宽度构成为能够在Y方向载置多张玻璃基板的宽度，但是，也可以以不仅在Y方向，而且在X方向也具有能够载置多张玻璃基板的长度的方式构成。本实施方式为了不仅在Y方向而且在X方向也能够载置多张玻璃基板而构成了同时输送传送器31的宽度以及长度。图23是替代所述的同时输送传送器30的同时输送传送器30’的俯视图。
同时输送传送器30’在X方向排列六个“辊传送器单元组”而构成，具有能够在玻璃基板W(图23中未图示)的输送方向(X方向)排列地载置多张玻璃基板W的长度(X方向的长度)。在本实施方式的情况下，虽然辊传送器单元的数量增加，但是，能够在同时输送传送器30’上载置更多数量的玻璃基板，由此，不会产生玻璃基板相对于处理装置20的输送等待。另外，能够增加一次输送的张数，提高输送能力。
[第四实施方式]
虽然在所述第一实施方式中，通过在Y方向移动个别输送传送器31来进行个别输送传送器31上的玻璃基板和处理装置20的定位，但是，也可以是个别输送传送器31固定，在个别输送传送器31上在Y方向移动玻璃基板，由此进行其定位。
图24是表示有关本发明的其它实施方式的基板输送系统C的布局的俯视图，图25是基板输送系统C的侧视图。在这些图中，对与基板输送系统A相同的结构标注相同的参照符号，省略说明，仅说明不同的结构。
在本实施方式的情况下，替代所述的个别输送传送器31，采用个别输送传送器31’。个别输送传送器31’是在X方向排列六个“辊传送器单元组”而构成的，除此之外，与个别输送传送器31同样。
在本实施方式的情况下，个别输送传送器31’固定设置在处理装置20的前面上，不存在使之移动的传送器移动单元1。替代传送器移动单元1，具备在个别输送传送器31’上使玻璃基板在Y方向移动的基板移动单元50以及升降单元60。
参照图24以及图25，基板移动单元50具备分别设置在个别输送传送器31’的Y方向两侧的基座部件51。在各基座部件51上搭载了马达52、由马达52旋转驱动的一对驱动皮带轮53、一对从动皮带轮54。驱动皮带轮53和从动皮带轮54的组合计四组，在各组的驱动皮带轮53和从动皮带轮54之间缠绕着皮带55。通过驱动马达52，驱动皮带轮53旋转，皮带55行走。
皮带55在Y方向跨过个别输送传送器31地延伸，每两根通过相互邻接的“辊传送器单元组”之间的空间。在各皮带55上固定了载置部件56或57。图26是载置部件56以及57的立体图。载置部件56以及57是在与皮带55大致相同宽度的板状的部件上形成了半球状的突起56a、57a的部件。在载置部件56的+Y侧的端部形成了比突起56a更突出的长方体形状的定位部件56b，在载置部件57的-Y侧的端部形成比突起57a还要突出的长方体形状的定位部件57b。
载置部件56以及57作为载置个别输送传送器31’上的玻璃基板W的载置部发挥功能，从下侧支承玻璃基板W。载置部件56以及57通过皮带55的行走在Y方向移动。玻璃基板W载置在突起56a、57a上。通过将突起56a、57a做成半球状，减小玻璃基板W和突起56a、57a的接触面积，降低损伤玻璃基板W的情况。
定位部件56b以及57b通过其侧面与玻璃基板W的端缘抵接来进行玻璃基板W的定位(玻璃基板W的方向以及位置的调整)。在本实施方式的情况下，因为在四根皮带55上分别各设置一个载置部件56或57的任意一个，所以，定位部件56b以及57b合计四个，在沿X方向以及Y方向分离的四个部位进行玻璃基板W的定位。
接着，参照图25，说明升降单元60。升降单元60对每个基座部件51而言都配设在各基座部件51的下方。因此，在本实施方式的情况下，升降单元60分别设置在个别输送传送器31’的Y方向两侧，合计设置了两个。
各升降单元60具备基座部件61。在基座部件61上竖立设置了多个支柱62，支柱62支承基座部件51。支柱62例如由缸和杆构成，能够在Z方向伸缩。在基座部件61上搭载了马达63和通过马达63的驱动进行转动的一对凸轮板64。凸轮板64的凸轮面与基座部件51的下面抵接，通过其转动，基座部件51升降。伴随着基座部件51的升降，支柱62伸缩。
在本实施方式中，通过同步进行由两个升降单元60产生的升降动作，基板移动单元50升降。由此，在Z方向相对地移动载置部件56以及57、个别输送传送器31’。但是，通过使个别输送传送器31’在Z方向升降，也可以在Z方向相对地移动载置部件56以及57和个别输送传送器31。
图27是表示升降单元60(图27中仅表示主要部分)的升降动作和与之相伴的载置部件56的升降的图。另外，载置部件57的升降也同样。升降单元60使载置部件56在下降位置和上升位置这两个位置之间升降。
图27的左侧表示载置部件56处于下降位置的情况。在此情况下，升降单元60处于凸轮板64的顶部朝向Y方向的状态。载置部件56处于比构成个别输送传送器31’的辊传送器单元100的辊101输送玻璃基板W的输送高度L低的位置。
图27的右侧表示载置部件56处于上升位置的情况。在此情况下，升降单元60处于凸轮板64的顶部朝向+Z方向的状态。即，通过马达63的驱动，凸轮板64从图27的左侧所示的状态转动90度，基座部件51被上推。由此，基板移动单元50上升。载置部件56的突出部56a处于比输送高度L高的位置。玻璃基板W离开辊101，被载置在突出部56a上。另外，皮带55处于比输送高度L低的位置。
在由基板移动单元50将个别输送传送器31’上的玻璃基板W在Y方向移动时，玻璃基板W被载置在载置部件56和载置部件57这两者上。然后，通过使载置部件56和载置部件57向相互反方向(相互接近的方向)移动，由定位部件56b以及57b夹持玻璃基板W。例如，在图27的右侧的状态下，向-Y方向移动定位部件56b，使定位部件56b与玻璃基板W的端缘抵接。此时，玻璃基板W在突起56a上滑动。
通过由定位部件56b以及57b夹持玻璃基板W，玻璃基板W的方向被调整(规定)。由此，当在输送的过程中玻璃基板W的方向倾斜的情况下，能够进行方向的校正。接着，通过向相互同方向使载置部件56和载置部件57移动，玻璃基板W以由定位部件56b以及57b夹持着的状态在Y方向移动。
[个别输送传送器的输送例]
在本实施方式中，个别输送传送器31’、基板移动单元50以及升降单元60进行基板的输送张数的变换。由此，能够对处理装置20一张一张地进行玻璃基板的传递。
[玻璃基板向处理装置的输入]
图29至图31是表示从个别输送传送器31’向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W1的例子的图。图29的上侧表示两张玻璃基板W1被同时输送到个别输送传送器31’上的状态。两张玻璃基板W1被载置在-X侧的三个“辊传送器单元组”上。
从此状态开始，将两张玻璃基板W1中的一方的玻璃基板W1如图29的下侧所示的那样向+X方向输送。此时，各辊传送器单元100以及110与玻璃基板W1的尺寸相应地被选择性地驱动。例如在从图29的上侧的状态向下侧的状态输送玻璃基板W1的情况下，位于+Y侧的六个辊传送器单元100以及六个辊传送器单元110被驱动。
接着，在Y方向将玻璃基板W1向与处理装置20的输入输出位置对应的位置移动。因此，首先如图30的上侧所示，使处于下降位置的载置部件56以及57位于玻璃基板W1的端缘附近。载置部件56位于玻璃基板W1的+Y方向侧的端缘附近，载置部件57位于玻璃基板W1的-Y方向侧的端缘附近。此时，多个突起56a以及57a的一部分位于玻璃基板W1的下方，定位部件56b以及57b不位于玻璃基板W1的下方。
接着，通过升降单元60(未图示)的驱动，使载置部件56以及57向上升位置上升。由此，玻璃基板W1离开辊101以及111而成为位于载置部件56以及57上的状态(图27的右侧的状态)。在使载置部件56以及57向上升位置上升后，通过向-Y方向移动载置部件56，向+Y方向移动载置部件57，由定位部件56b和定位部件57b夹持玻璃基板W1(图30的下侧的状态)。由此，玻璃基板W1的方向被调整。另外，此时，希望定位部件56b以及定位部件57b的侧面(与玻璃基板W1的端缘抵接的面)的间隔与玻璃基板W1的宽度大致相同或略宽。
接着，在Y方向向相互同方向地移动载置部件56以及57，将玻璃基板W1输送到与处理装置20的输入输出位置对应的位置(图31的上侧的图)。由此，进行玻璃基板W1相对于处理装置20的定位。在本实施方式的情况下，将与处理装置20的输入输出位置对应的位置作为个别输送传送器31’的Y方向的大致中央。但是，也可以作为个别输送传送器31’的端部。
接着，通过升降单元60(未图示)的驱动，使载置部件56以及57下降到下降位置。然后，如图31的下侧所示，驱动位于玻璃基板W1的下方的六个辊传送器单元110和移载传送器70，向处理装置20输送玻璃基板W1。
剩余在个别输送传送器31’上的另一方的玻璃基板W1也同样地向处理装置20输送。这样，能够将玻璃基板W1一张一张地向处理装置20输送。
在将图5中的下图所示的玻璃基板W2向处理装置20输入的情况下，虽然也可以采用同样的顺序，但是，也可以采用图32至图35所示的顺序。图32至图35是表示从个别输送传送器31’向处理装置20一张一张地输送玻璃基板W2的例子的图。
图32的上侧表示三张玻璃基板W2被同时输送到个别输送传送器31’上的状态。三张玻璃基板W2载置在-X侧的三个“辊传送器单元组”上。从此状态开始，将三张玻璃基板W2如图32的下侧所示的那样向+X方向同时输送。
接着，将中央的玻璃基板W2定位在与处理装置20的输入输出位置对应的位置。因此，在使处于下降位置的载置部件56以及57位于中央的玻璃基板W2的端缘附近后，使之上升到上升位置，由载置部件56以及57载置中央的玻璃基板W2。然后，如图33的上侧所示，通过向-Y方向移动载置部件56，向+Y方向移动载置部件57，由定位部件56b和定位部件57b夹持玻璃基板W2，进行玻璃基板W2的定位。
接着，通过升降单元60(未图示)的驱动，使载置部件56以及57下降到下降位置。然后，如图33的下侧所示，驱动位于玻璃基板W2的下方的六个辊传送器单元110和移载传送器70，向处理装置20输送玻璃基板W2。
接着，将剩余在个别输送传送器31上的两张玻璃基板W2依次向处理装置20输送。首先，将一方的玻璃基板W2载置在载置部件56以及57上，由定位部件56b以及57b夹持，如图34的上侧所示，向与处理装置20的输入输出位置对应的位置移动。此后，如图34的下侧所示，驱动位于玻璃基板W2的下方的六个辊传送器单元110和移载传送器70，向处理装置20输送玻璃基板W2。
接着，将剩余在个别输送传送器31上的一张玻璃基板W2向处理装置20输送。首先，将玻璃基板W2载置在载置部件56以及57上，由定位部件56b以及57b夹持，如图35的上侧所示，向与处理装置20的输入输出位置对应的位置移动。此后，如图35的下侧所示，驱动位于玻璃基板W2的下方的六个辊传送器单元110和移载传送器70，向处理装置20输送玻璃基板W2。
[玻璃基板从处理装置的输出]
图36至图39是表示从处理装置20向个别输送传送器31’一张一张地输送玻璃基板W1，在个别输送传送器31’上，在Y方向排列多张玻璃基板W1的例子的图。
图36的上侧表示第一张玻璃基板W1从处理装置20被输出的状态。在此情况下，驱动移载传送器70和个别输送传送器31’的+X侧的六个辊传送器单元110，使玻璃基板W1位于个别输送传送器31’的+X侧的六个辊传送器单元110上。
接着，在Y方向移动玻璃基板W1。因此，首先如图36的下侧所示，使处于下降位置的载置部件56以及57位于玻璃基板W1的端缘附近。然后，通过升降单元60(未图示)的驱动，使载置部件56以及57向上升位置上升。由此，玻璃基板W1离开辊101以及111而成为位于载置部件56以及57上的状态。在使载置部件56以及57向上升位置上升后，通过向-Y方向移动载置部件56，向+Y方向移动载置部件57，由定位部件56b和定位部件57b夹持玻璃基板W1(图37的上侧的状态)。由此，玻璃基板W1的方向被调整。
接着，在Y方向向相互同方向移动载置部件56以及57，在Y方向移动玻璃基板W1。玻璃基板W1与其尺寸相应地向能够并列输送多张玻璃基板W1的位置移动。在图37的下侧所示的例子中，将玻璃基板W1向+Y方向移动，向个别输送传送器31’的+Y方向的端部移动。
接着，通过升降单元60(未图示)的驱动，使载置部件56以及57下降到下降位置。然后，如图38的上侧所示，将玻璃基板W1向-X方向移动，使玻璃基板W1位于三个辊传送单元100以及三个辊传送器单元110上，所述三个辊传送单元100以及三个辊传送器单元110位于个别输送传送器31’的-X侧且+Y侧。在此移动时，驱动位于+Y侧的六个辊传送器单元100以及六个辊传送器单元110。
接着，如图38的下侧所示，从处理装置20输出第二张玻璃基板W1。与第一张玻璃基板W1的输送同样，驱动移载传送器70和个别输送传送器31’的+X侧的六个辊传送器单元110，使第二张玻璃基板W1位于个别输送传送器31’的+X侧的六个辊传送器单元110上。
接着，通过升降单元60(未图示)以及基板移动单元50的驱动，在Y方向移动第二张玻璃基板W1。第二张玻璃基板W1，如图39的上侧所示，向与第一张玻璃基板W1相反方向(-Y方向)移动。接着，使第二张玻璃基板W1向-X方向移动，使玻璃基板W1位于三个辊传送器单元100以及三个辊传送器单元110上，所述三个辊传送器单元100以及三个辊传送器单元110位于个别输送传送器31’的-X侧且-Y侧。由此，两张玻璃基板W1在个别输送传送器31’上成为在Y方向排列地载置的状态。此后，将两张玻璃基板W1同时向同时输送传送器30输送。
在将图5中的下图所示的玻璃基板W2从处理装置20输出的情况下，虽然也能够采用同样的顺序，但是，也可以采用图40至图43所示的顺序。图40至图43是表示从处理装置20向个别输送传送器31’一张一张地输送玻璃基板W2，在个别输送传送器31’上，在Y方向排列多张玻璃基板W2的例子的图。
首先，如图40的上侧所示，从处理装置20输出第一张玻璃基板W2。在此情况下，驱动移载传送器70和个别输送传送器31’的+X侧的六个辊传送器单元110，使第一张玻璃基板W2位于个别输送传送器31’的+X侧的六个辊传送器单元110上。
接着，通过升降单元60(未图示)以及基板移动单元50的驱动，如图40的下侧所示，调整第一张玻璃基板W2的方向。然后，如图41的上侧所示，通过基板移动单元50的驱动，在Y方向移动玻璃基板W2。在图41的上侧的例子中，向+Y方向移动玻璃基板W2，使第一张玻璃基板W2位于三个辊传送器单元100上。
接着，如图41的下侧所示，从处理装置20输出第二张玻璃基板W2。与第一张玻璃基板W2的输送同样，驱动移载传送器70和个别输送传送器31’的+X侧的六个辊传送器单元110，使第二张玻璃基板W2位于个别输送传送器31’的+X侧的六个辊传送器单元110上。
接着，通过升降单元60(未图示)以及基板移动单元50的驱动，如图42的上侧所示，调整第二张玻璃基板W2的方向。然后，如图42的下侧所示，通过基板移动单元50的驱动，在Y方向移动第二张玻璃基板W2。在图42的下侧的例子中，向-Y方向移动玻璃基板W2，使第二张玻璃基板W2位于三个辊传送器单元100上。
接着，如图43的上侧所示，从处理装置20输出第三张玻璃基板W2。与第一张以及第二张玻璃基板W2的输送同样，驱动移载传送器70和个别输送传送器31’的+X侧的六个辊传送器单元110，使第三张玻璃基板W2位于个别输送传送器31’的+X侧的六个辊传送器单元110上。
接着，通过升降单元60(未图示)以及基板移动单元50的驱动，如图43的下侧所示，调整第三张玻璃基板W2的方向。由此，三张玻璃基板W2在个别输送传送器31’上成为在Y方向排列地载置的状态。三张玻璃基板W2被载置在+X侧的三个“辊传送器单元组”上。然后，三张玻璃基板W2经-X侧的三个“辊传送器单元组”，同时向同时输送传送器30输送。
[玻璃基板的尺寸的特定]
在本实施方式中，如上所述，能够进行尺寸不同的玻璃基板W1以及W2的输送。这是通过与玻璃基板的尺寸以及输送的位置相应地选择性地驱动构成个别输送传送器31’的辊传送器单元100以及110和通过驱动基板移动单元50来实现的。在进行尺寸不同的玻璃基板的输送的情况下，需要特定该玻璃基板的尺寸，在控制装置200的控制基础上设定尺寸。
设定玻璃基板的尺寸的第一方法是，在一个收纳盒10中仅收纳相同尺寸的玻璃基板，按照收纳盒10单位，在控制装置200的控制基础上，设定玻璃基板的尺寸。在此情况下，以在基板输送系统A上输送的玻璃基板全部是相同尺寸的玻璃基板为前提。
设定玻璃基板的尺寸的第二方法是，在个别输送传送器31’中逐一检测玻璃基板的尺寸，在控制装置200的控制基础上，个别地设定玻璃基板的尺寸。在此情况下，也可以将在基板输送系统A上输送的玻璃基板不作为全部相同尺寸的玻璃基板，例如，也可以在收纳盒10的每个缝隙中收纳不同的尺寸的玻璃基板。另外，还可以预先将不同的尺寸的玻璃基板收纳在一个缝隙内。
检测玻璃基板的尺寸的传感器可以设置在个别输送传送器31’的X方向的两端部。例如，如图24所示，可以设置传感器90、91。传感器90检测从处理装置20输出的玻璃基板的尺寸。在图24中，传感器90在Y方向分离地设置了一对，在输出了玻璃基板W1的情况下，双方为ON，在输出了玻璃基板W2的情况下，仅一方为ON或双方为OFF。传感器91检测从同时输送传送器30向个别输送传送器31’输送的玻璃基板的尺寸。传感器91也在Y方向分离地设置了一对，在输出了玻璃基板W1的情况下，双方为ON，在输送了玻璃基板W2的情况下，仅一方为ON或双方为OFF。
[第五实施方式]
虽然在所述第四实施方式中，将个别输送传送器31’作为一个，但是也可以对每个收纳盒10都设置个别输送传送器31’。图44是表示有关本发明的其它实施方式的基板输送系统D的布局的俯视图。在该图中，对与基板输送系统C相同的结构标注相同的参照符号，省略说明，仅说明不同的结构。
在基板输送系统D中，个别输送传送器31’在Y方向分离地设置了两个。个别输送传送器31’对每个收纳盒10都设置，并配置在与各移载传送器32在X方向分离的位置。
基板移动单元50跨在两个个别输送传送器31’上配置。即，在一对基座部件51之间配置了两个个别输送传送器31’，各皮带55横跨两个个别输送传送器31’。由此，被固定在各皮带55上的合计四个载置部件56以及57能够在两个个别输送传送器31’上移动。另外，在各基座部件51的下方，配设未图示的升降单元60。
在基板输送系统D中，基板移动单元50不仅在一个个别输送传送器31’上在Y方向移动玻璃基板，还在两个个别输送传送器31’、31’之间在Y方向移动玻璃基板。图45是在两个个别输送传送器31’上的玻璃基板W的输送状态的说明图。
如该图所示，个别输送传送器31’在X方向输送玻璃基板W，基板移动单元50在Y方向移动玻璃基板W。基板移动单元50在个别输送传送器31’、31’之间也移动玻璃基板W。在个别输送传送器31’上的输送张数的变换与所述第四实施方式同样。
在本实施方式中，通过将基板移动单元50跨在两个个别输送传送器31’上设置，在个别输送传送器31’、31’之间使玻璃基板W移动，能够在处理装置20和两个收纳盒10之间分别输送玻璃基板W，能够进一步提高玻璃基板W的输送能力。
另外，在本实施方式中，虽然使收纳盒10为两个，与之相伴，使个别输送传送器31’也为两个，但是也可以将收纳盒10以及个别输送传送器31’设置三个以上。在此情况下，基板移动单元50能够跨在各个别输送传送器31’上移动玻璃基板W。
另外，就记载在所述说明的第五实施方式中的基板输送系统D而言，不一定要求两个个别输送传送器31’中的不与处理装置20邻接的+Y侧的个别输送传送器31’个别输送玻璃基板。因此，也可以做成虽然具有能够并列输送多张玻璃基板W的宽度但不具有个别输送玻璃基板W的功能的传送器(仅作为同时输送传送器发挥功能的传送器)，来替代+Y侧的个别输送传送器31’。在此情况下，该传送器可以由单一的辊传送器单元构成，也可以由在X方向排列的多个辊传送器单元构成。
[第六实施方式]
虽然在所述第四以及第五实施方式中，做成了将基板移动单元50的载置部件56以及57由皮带传动机构移动的结构，但是，也可以采用其它的机构。图46是表示载置部件56以及57的移动机构的其它例子的图。图46的移动机构使用了滚珠丝杠机构。在Y方向配设轨道部件501、滚珠丝杠502，它们规定载置部件56以及57的移动轨道。在滚珠丝杆502上旋合着滚珠螺母503，同时，滚珠螺母503能够在轨道部件501上滑动。载置部件56以及57被固定在滚珠螺母503上。
于是，通过由未图示的马达旋转滚珠丝杆502，载置部件56以及57在Y方向移动。此外，还可以采用使用了线性马达的移动机构。
另外，在所述第四以及第五实施方式中，做成了升降单元60升降基板移动单元50整体的结构，但是，只要载置部件56以及57能够升降即可。例如，在图46所示的移动机构的例子中，也可以以在载置部件56以及57和滚珠螺母503之间设置能够在Z方向伸缩的执行器来升降载置部件56以及57的方式构成。

Claims (9)

1.一种基板输送系统，所述基板输送系统在收纳基板的第一以及第二收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输送基板，所述处理装置在与所述第一以及第二收纳盒的配置方向正交的方向与所述第一以及第二收纳盒分离地配置，
其特征在于：具备同时输送传送器、同时输送传送器移动单元、个别输送传送器、个别输送传送器移动单元，
所述同时输送传送器具有能够在与所述基板的输送方向正交的方向排列地载置多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张所述基板；
所述同时输送传送器移动单元具备搭载所述同时输送传送器的支承板，在第一位置和第二位置之间在所述配置方向移动所述同时输送传送器，所述第一位置是在与所述第一收纳盒之间进行所述基板的移载的位置，所述第二位置是在与所述第二收纳盒之间进行所述基板的移载的位置；
所述个别输送传送器配置在所述同时输送传送器和所述处理装置之间，具有能够在与所述输送方向正交的方向排列地载置所述多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向个别地输送所述多张基板；
所述个别输送传送器移动单元具备搭载所述个别输送传送器的支承板，将所述个别输送传送器在所述配置方向移动，进行所述个别输送传送器上的所述基板和所述处理装置的定位。
2.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于：
在所述个别输送传送器移动单元上，设置了检测所述基板的尺寸的传感器；
所述个别输送传送器移动单元，在所述配置方向使所述个别输送传送器向与所述基板的尺寸相应的位置移动，进行所述基板和所述处理装置的定位。
3.根据权利要求2所述的基板输送系统，其特征在于：
所述个别输送传送器具备多个传送器单元；
在所述个别输送传送器移动单元进行了所述基板和所述处理装置的定位后，对所述多个传送器单元之中与所述基板的尺寸以及所述基板的个别输送传送器上的位置相应地被选择了的所述传送器单元进行驱动。
4.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于：
还具备第一移载传送器、第二移载传送器、第一升降装置、第二升降装置，
所述第一移载传送器配置在所述第一收纳盒的下部，载置被收纳在所述第一收纳盒内的基板而在所述输送方向输送；
所述第二移载传送器配置在所述第二收纳盒的下部，载置被收纳在所述第二收纳盒内的基板而在所述输送方向输送；
所述第一升降装置相对地升降所述第一收纳盒和所述第一移载传送器；
所述第二升降装置相对地升降所述第二收纳盒和所述第二移载传送器；
所述第一以及第二收纳盒在上下方向具备多个收纳所述基板的缝隙，
在各缝隙中能够在与所述输送方向正交的方向收纳所述多张所述基板，
所述第一以及第二移载传送器具有能够在与所述输送方向正交的方向排列地载置所述多张所述基板的宽度，在所述输送方向同时输送所述多张所述基板。
5.根据权利要求3所述的基板输送系统，其特征在于：
所述个别输送传送器移动单元，以所述基板位于与所述处理装置相应的位置的方式，将所述个别输送传送器向与所述输送方向正交的方向移动。
6.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于：所述同时输送传送器具有能够在所述输送方向排列地载置多张所述基板的长度。
7.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于：
所述同时输送传送器具备多个传送器单元，该多个传送器单元与所述基板的尺寸及输送位置相应地被选择性地驱动；
所述同时输送传送器移动单元，以与所述基板的尺寸及输送位置相应地设定的移动量，使所述同时输送传送器在所述配置方向移动。
8.根据权利要求4所述的基板输送系统，其特征在于：所述第一以及第二移载传送器由多个辊传送器单元构成，该多个辊传送器单元与所述基板的尺寸相应地被选择性地驱动。
9.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于：
所述第一以及第二收纳盒以它们的所述基板的输入输出部朝向所述输送方向的一方向的方式配置；
所述处理装置以该所述基板的输入输出部朝向所述输送方向的另一方向的方式配置。
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