CN1532128A - 基板搬运系统 - Google Patents

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Abstract

一种基板搬运系统，配置2台(图中为(1A、1B))从盒(11)将基板(10)搬出的基板输出装置(1)，并配置有承接从各输出装置(1A、1B)输出的基板(10)并将基板位置滑移至流程装置(40)的中心的移动式基板搬运传送器(2)。而且，由移动式基板搬运传送器(2)承接基板(10)，并在流程装置(40)的前面配置对搬运高度进行升降的升降式基板搬运传送器(4)以及从升降式基板搬运传送器(4)承接基板(10)并向流程装置(40)供给基板(10)的双层结构的带升降功能的双层升降式基板搬运传送器(5)。本发明可满足流程装置的基板搬运条件，满足所需的处理能力，并能消除产品质量下降的原因，降低初期成本及运行成本，可构筑作业性良好的流水线。

Description

基板搬运系统
技术领域
本发明涉及将FPD(Flat Panel Display)基板、例如玻璃基板从基板输出装置供给到流程(process)装置的基板搬运系统。
背景技术
FPD的制造流程，由于要以片为单位进行加工，故加工流水线内将基板(比如玻璃基板)1片片地以片为单位进行搬运，另一方面，在流水线之间以盒单位进行搬运。因此，在各流水线的头部和尾部设有FPD基板装载、卸载装置，从盒供给基板及将基板回收至盒。
近年来，出于提高生产性，基板面临大型化、薄壁化，另外，存放于盒的片数也在增加。对此，一般使用专利文献1(日本专利特开平11-79389号公报(0010段落，图4))所记载的、使基板输出传送器从盒的底板开口进入盒内进行基板的输出和存放的基板输出装置。
传统的FPD基板装载、卸载装置，为了避免伴随盒更换所带来的基板搬运的停止，设置2台以上的上述基板输出装置，成为由移动式基板搬运传送器将各输出装置与制造流程连接起来的结构。
另外，如专利文献2(日本专利特开平11-199007号公报(0016段落，图1及图2))记载的、将FPD基板装载、卸载装置设置在储存器内，由堆积起重机直接对装载、卸载装置进行盒的供给，或与储存器相邻设置、借助盒传送器进行。
根据传统的FPD基板装载、卸载装置的结构，因为借助移动式基板搬运传送器进行基板搬运，故存在着因伴随移动的往复动作所产生的时间，而拉开了先行基板与后续基板的供给间隔的缺点。因此，流程装置的基板搬运条件是低速，且在由生产能力决定的流水线的循环时间短、需要以将基板搬运间隔非常接近基板长度的条件进行连续搬运的场合，存在无法满足装置的处理能力的问题。
另外，为了满足装置的处理能力，需要使移动速度是高速，或将流程侧基板搬运传送器配置成多台串联，通过传送器的转换部处的搬运速度的切换，将搬运间隔少量缩短或扩大。因此，存在如下问题：随着搬运速度的上升，基板振动所引起的产品质量下降，不仅增加设备费用，还在净化室内占有大的面积，从而净化室的大型化，导致建设费用的增加和维持清洁度的耗能的增加。
这些问题，不局限于移动式基板搬运传送器，是在借助升降式基板搬运传送器等进行往复动作的搬运装置时的共同问题。
此外，在与自动仓库直接连接对FPD基板装载机、卸载装置进行盒的供给、输出的场合，存在无法确保作业者横跨流水线的移动线路的问题。
发明的概要
本发明是为了解决上述课题而进行的，其目的在于提供一种在满足流程装置的基板搬运条件的同时，满足所需的处理能力，并消除产品质量下降的原因，降低初期成本及运行成本，且可构筑作业性良好的流水线的基板搬运系统。
本发明是，利用将平板状的基板搬出的基板输出装置，将从该基板输出装置搬出的基板向水平方向搬运，以片为单位供给到对所述基板进行规定处理的流程装置的基板搬运系统，具有根据对所述流程装置的所述基板的供给速度而交替地移动至第1位置和第2位置、分别在不同的位置承接从基板输出装置搬出的基板的设有第1及第2层的双层结构的可动式基板搬运传送器，在所述第1位置，在所述第1层承接从所述基板输出装置搬出的基板，并从所述第2层将基板供给到所述流程装置，在所述第2位置，在所述第2层承接从所述基板输出装置搬出的基板，并从所述第1层将基板供给到所述流程装置。
附图的简单说明
图1是表示本发明的实施形态1的基板搬运系统的结构图。
图2是表示实施形态1中使用的存放基板的盒的模式图。
图3是表示实施形态1中使用的基板输出装置的结构图。
图4是表示实施形态1中使用的升降式基板搬运传送器的结构图。
图5是表示实施形态1中使用的双层升降式基板搬运传送器的结构图。
图6是表示实施形态1的动作说明图。
图7是表示实施形态2的基板搬运系统的结构图。
图8是表示实施形态3的基板搬运系统的结构图。
图9是表示实施形态4的基板搬运系统的结构图。
图10是表示实施形态5的基板搬运系统的结构图。
图11是表示实施形态6的基板搬运系统的结构图。
图12是表示实施形态6中使用的基板正交搬运传送器的结构图。
图13是实施形态6的动作说明图。
发明的最佳实施形态
实施形态1
以下参照图1～图6对本发明的实施形态作说明。
图1是表示本发明的实施形态1的基板搬运系统的结构图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。
在该基板搬运系统中，配置有2台从盒11内将基板10搬出的基板输出装置1(图中为1A、1B)，并配置有移动式基板搬运传送器2，以承接来自各输出装置1A、1B输出的基板10，并将基板位置滑动至流程装置40的中心为止。另外，基板输出装置1也可是2台以上的多台。
并且，在流程装置40的前面配置有升降式搬运传送器4和双层结构的带有升降功能的双层升降式基板搬运传送器5，上述升降式搬运传送器4用于由移动式基板搬运传送器2承接基板10，并对搬运高度进行升降，而上述双层升降式基板搬运传送器5用于由升降式基板搬运传送器4承接基板10，并向流程装置40提供基板10。
图2是表示存放基板10的盒的模式图，盒11是由底板12、顶板13和柱子15构成的箱形，在各个柱子15上按一定间距在垂直方向设置有朝着盒11内面的水平横架板16。在底板12上设有开口14，使图3所示的基板输出传送器17可朝铅垂方向进入。
图3是表示基板输出装置1的结构，(a)是俯视图，(b)是侧视图，(c)是主视图。
如图3所示的基板输出装置1，具有将盒11在铅垂方向进行升降的盒升降机构18、将盒11中的基板朝水平方向搬运的基板输出传送器17。
图4是表示升降式基板搬运传送器4的结构，(a)是俯视图，(b)是侧视图，(c)是主视图。
升降式基板搬运传送器4，包括图4所示的基板搬运传送器19、将其进行升降的传送器升降装置20。
图5是表示双层升降式基板搬运传送器5的结构，(a)是俯视图，(b)是侧视图，(c)是主视图。
双层升降式基板搬运传送器5，如图5所示，将上层基板搬运传送器21A和下层基板搬运传送器21B平行设置成双层结构，具有将其进行升降的双层传送器升降装置22。
下面利用图1～图6对实施形态1的动作进行说明。
向基板输出装置1A、1B供给盒11A、12A，是通过未图示的AGV(AutomatieGuided Vehicle)等自动搬运台车、手推台车或自动仓库的堆积起重机等的盒供给装置进行的。
基板输出装置1A，以盒的基板存放间距单位使盒11下降，从存放在盒11A的最下层的基板10A开始依次载放在基板输出传送器17上后，朝水平方向输出，然后移载至移动式基板搬运传送器2上。
移动式基板搬运传送器2，从基板输出装置1A的承接位置朝升降式基板搬运传送器4的前面移动，将基板10A移载至升降式基板搬运传送器4上。
到此为止的动作，对存放在盒11A内的多个基板(比如60片)重复进行。一旦所有的基板输出结束，则切换至从基板输出装置1B供给基板。基板输出装置1A将盒升降机构18上升至上升端，相对于盒供给装置要求更换盒11A。盒的更换是，若在另一方的盒内存放的所有的基板搬出结束之前完成的话，则向流程装置供给基板就不会中断。
另外，这些供给动作，由于是根据制造流水线的循环时间进行的，故受到移动式基板搬运传送器2的往复移动动作的限制，基板的搬运速度为高速(比如，15m/min)。
另一方面，升降式基板搬运传送器4是下降至双层升降式基板搬运传送器5的下降位置上的下层基板搬运传送器21B的位置，将基板10A搬出。此时的基板搬运速度，以与移动式基板搬运传送器2相同的高速(比如，15m/min)进行(图6(a))。
在下层基板搬运传送器21B承接了基板10A的双层升降式基板搬运传送器5上升至上升位置后，开始将下层基板搬运传送器21B的基板10A向流程装置40进行供给。此时的基板搬运速度是对应于流程装置40的速度条件进行的。比如，在向洗净装置进行供给的场合，出于UV(Ultra Violet)照射流程的限制，为低速(比如，4m/min)(图6(b))。
装载后续的基板10B的升降式基板搬运传送器4上升至双层升降式传送器5的上升位置上的上层基板搬运传送器21A的位置，将基板10B进行搬出(图6(c))。
此时，向上层基板搬运传送器21A供给基板10B的动作是根据制造流水线的循环时间为高速，而从下层基板搬运传送器21B的基板10A的搬出动作是根据流程装置的速度条件为低速，故供给到双层升降式传送器5的基板10B供给动作与供给到流程装置的基板10A供给动作是以独立的速度进行重叠，基板10B的供给动作先完成(图6(d))。
一旦基板10A向流程装置40的移载结束，双层升降式基板搬运传送器5下降至下降位置，开始将上层基板搬运传送器21A上的基板10B供给到流程装置40供给(图6(e))。
以后，重复进行供给到双层升降式基板搬运传送器5的基板供给和供给到流程装置40的基板供给。
根据上述实施形态1，利用将平板状的基板10进行送出的基板输出装置1，将由该基板输出装置1搬出的基板朝水平方向搬运，以片单位供给到对基板进行规定处理的流程装置40的基板搬运系统，在流程装置40侧，配置有具有根据基板供给到流程装置40的供给速度而交替地向铅垂方向的第1位置和第2位置移动、分别在不同的位置承接从基板输出装置1搬出的基板的第1及第2层21A、21B的双层结构的升降式基板搬运传送器5，同时，在该双层升降式基板搬运传送器5与基板输出装置1之间，配置有承接从基板输出装置1搬出的基板，根据对双层结构的升降式基板搬运传送器5的第1及第2位置21A、21B的升降动作进行升降的升降式基板搬运传送器4，在第1位置，在第1层21A承接从升降式基板搬运传送器4搬出的基板，同时，从第2层21B将基板供给到流程装置40，在第2位置，在第2层21B承接从升降式基板搬运传送器4搬出的基板，同时从第1层21A将基板供给打破流程装置40，故先前基板的供给结束后至后续基板的供给开始为止的时间，只是双层结构的升降式基板搬运传送器5的上下层的切换动作，可非常短，可将基板搬运间距无限制地接近基板全长。因此，可满足流程装置的搬运条件和流水线的生产能力。
另外，可将占有空间抑制在与传统的方式同等以下，故可削减净化室的占有面积，使净化室小型化，降低建筑费用，并可削减维持清洁度的耗能。
另外，升降式基板搬运传送器4与双层升降式基板搬运传送器5的基板移载、双层升降式基板搬运传送器5与流程装置40的基板移载，是以独立的速度并行进行的，故将对要求低速搬运的流程装置40的基板供给与对需要高速搬运的后续基板的承接，是在不同高度的同一位置同时进行的。
另外，先行基板的供给结束后至后续基板的供给开始为止的时间，只是双层结构的升降式基板搬运传送器5的上下层的切换动作，可非常短，可将基板搬运间距无限制地接近基板全长。因此，可满足流程装置40的搬运条件和流水线的生产能力。
此外，配置多台基板输出装置1，在这些基板输出装置1A、1B与升降式基板搬运传送器4之间，配置有按序承接从各基板输出装置1A、1B输出的基板10、移动至与升降式基板搬运传送器4相对的规定位置、并搬运至升降式基板搬运传送器4上的移动式基板搬运传送器2，故可使移动式基板搬运传送器2的移动速度为满足流水线的循环时间的最低速度，可将对基板10的振动、冲击抑制在最小，能维持产品的质量。
实施形态2
图7是表示实施形态2的基板搬运系统的结构图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。
该实施形态2是，在上述实施形态1的结构中，进一步在上方设置基板输出装置1及移动式基板搬运传送器2，扩大升降式基板搬运传送器的升降行程。
基板输出装置1A、1B设置在保管盒11的自动仓库23内，盒11向基板输出装置1A、1B的供给，由自动仓库23内的盒供给装置即堆装起重机24进行。
采用该实施形态2，由于将移动式基板搬运传送器2配置于在其下部形成作业者可横向穿过的空间2A的位置，并将升降式基板搬运传送器4的升降行程设定为可在移动式基板搬运传送器2与双层升降式基板搬运传送器5之间进行升降的大小，故不必增加新的装置就可在移动式基板搬运传送器2的下部横向穿越，可确保作业者的移动线路，大幅改善作业性。
实施形态3
图8是表示实施形态3的基板搬运系统的结构图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。
该实施形态3是，在上述实施形态1的结构中，基板输出装置1仅为1台(图中为1A)，废除了移动式基板搬运系统2。
在该实施形态3中，通过将到双层升降式基板搬运传送器5为止的基板供给能力设定得比朝向流程装置40的基板供给能力稍高，在1个盒(比如60片)的基板供给结束之前使基板10在升降式基板搬运传送器4及双层升降式基板搬运传送器5的所有基板搬运传送器上排队等待，则等待基板起到储备功能，在这些储备消失之前更换盒11A。
采用该实施形态3，由于基板输出装置仅为1台，将基板10直接从该基板输出装置1A搬运至升降式基板搬运传送器4上，并将到双层升降式基板搬运传送器5为止的基板搬运速度设定得比朝向流程装置40的基板供给速度稍高，故可大幅削减基板搬运系统的组成设备，可削减设备费用。
另外，因为不使用移动量大的移动式基板搬运传送器2，故没有伴随移动而产生的振动，同时可降低基板10的搬运速度，因而能将对基板10的振动、冲击抑制在最小，可维持产品的质量。
另外，可大幅度减小设置面积，故可削减净化室的占有面积，使净化室小型化，降低建筑费用，并可削减维持清洁度的消费能源。
实施形态4
图9是表示实施形态4的基板搬运系统的结构图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。
该实施形态4是，在上述实施形态3的结构中，在基板输出装置1A与升降式基板搬运传送器4之间增加基板等待传送器25。在图9中基板等待传送器25为1台，但也可是2台以上。
在该实施形态4中，通过将到双层升降式基板搬运传送器5为止的基板供给能力设定得比朝向流程装置40的基板供给能力稍高，在1个盒(比如60片)的基板供给结束之前使基板在基板等待传送器25、基板升降传送器4及双层升降式基板搬运传送器5的所有基板搬运传送器上排队等待，则等待基板起到储备功能，在这些储备消失之前更换盒11A。
采用该实施形态4，由于在基板输出装置与升降式基板搬运传送器4之间配置基板等待传送器25，将到双层升降式基板搬运传送器5为止的基板搬运速度设定得比朝向流程装置40的基板供给速度稍高，故与实施形态3相比，储备基板数量增加，相应可延长盒的更换周期。
另外，图9中，将基板等待传送器25配置于在其下部形成作业者可横向穿越的空间25A的位置，同时，将升降式基板搬运传送器4的升降行程设定为可在基板等待传送器25与双层升降式基板搬运传送器5之间进行升降的大小，故不必增加新的装置就可在基板等待传送器25的下部横向穿越，可确保作业者的移动线路，大幅改善作业性。
实施形态5
图10是实施形态5的基板搬运系统的结构图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。
该实施形态5，是为了即使不使用上述实施形态1那样的双层升降式基板搬运传送器5也能发挥相同的效果而作成的，其结构为：废除了升降式基板搬运传送器4、双层移动式基板搬运传送器5，仅有流程侧基板搬运传送器3，将2台基板输出装置1A、1B作成载放在基板输出装置移动机构26上的结构。
2台基板输出装置1A、1B，在基板输出装置移动机构26上与其一体结合，通过基板输出装置移动机构26的移动功能，可在与基板供给方向垂直的水平轴上自由地动作。
向基板输出装置1A、1B供给及搬出盒11A、12A，是通过未图示的AGV等自动搬运台车、手推台车或自动仓库的堆装起重机等的盒供给装置进行的。
盒11A的供给、搬出，是在基板输出装置移动机构26位于图10(a)的上侧、即基板输出机构11B位于流程侧基板搬运传送器3之前时进行，盒11B的供给、搬出，是在基板输出装置移动机构26位于图10(a)的下侧、即基板输出机构11A位于流程侧基板搬运传送器3之前时进行。
现在，假设基板输出装置移动机构26移动至图10(a)的下侧、基板输出装置11A位于流程侧基板搬运传送器3之前。
基板输出装置1A以盒的基板存放间距单位使盒11A下降，将存放在盒11A的最下层的基板10载放在基板输出传送器17上并朝水平方向输出，移载至流程侧基板搬运传送器3上。此时的基板搬运速度根据流程装置40的速度条件决定。
在对流程侧基板搬运传送器3的基板移载结束的同时，基板输出装置1A使盒11A以基板存放间距而下降，将下一个基板载放在基板输出传送器17上。基板10的搬出定时与流水线的循环时间对应。
以下，按存放在盒11A内的基板片数进行重复搬出。
并且，一旦结束存放在盒11A内的所有基板10的搬出，基板输出装置移动机构26就移动至图10(a)中的上侧，使基板输出装置11B位于流程侧基板搬运传送器之前。紧随盒11A的最后基板，利用基板输出装置1B而从盒11B的最下层基板开始继续进行搬出。这些盒的切换动作与流水线的循环时间对应。
另外，基板输出装置1A使盒升降机构18上升至上升端，相对于盒供给装置要求更换盒11A。盒的更换若是在另一方的盒内存放的所有的基板搬出结束之前完成的话，则对流程装置40的基板供给就不会中断。
采用该实施形态5，在利用将平板状的基板10进行输出的基板输出装置1而将搬出的基板从该基板输出装置1向水平方向搬运、以片单位供给到对基板进行规定处理的流程装置40的基板搬运系统中，由于基板输出装置1由可沿与基板搬运方向正交的水平轴、保持规定的位置关系地一体移动的2台基板输出装置1A、1B构成，从这些基板输出装置1A、1B依次搬出的基板仅由设置在流程装置40侧的流程侧移动式基板搬运传送器3供给到流程装置40，故可使各个基板搬运中心与流水线的基板搬运中心对应，由此，不用在基板搬运途中对搬运中心和搬运高度进行切换，消除了基板10的往复搬运工序。因此，可满足流程装置40的搬运条件和流水线的生产能力。
另外，基板10的搬运线路朝着流程装置40而仅仅直线搬运，故基板10的搬运条件成为整个工序的流程装置40的要求搬运速度。因此，可使基板搬运速度为所需的最小值，将对于基板10的振动、冲击抑制在最小，可维持产品的质量。
而且，不需要频繁地将基板以片为单位进行移动、升降，可提高设备的可靠性，增强安全性，同时可抑制消费能源。
另外，可使基板搬运系统在基板供给方向的全长缩短，故可缩短流水线的长度。因此，可缩减净化室的占有面积，实现净化室的小型化，在削减建筑费用的同时，可降低用于维持清洁度所消耗的能源。
实施形态6
下面参照图11～13对本发明的实施形态6作说明。
图11是表示实施形态6的基板搬运系统的结构图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。
该实施形态6，是为了即使不使用上述实施形态1那样的双层升降式基板搬运传送器5也能发挥相同的效果而作成的，其结构为：废除了升降式基板搬运传送器4、双层移动式基板搬运传送器5，仅设有流程侧基板搬运传送器3，设有基板正交搬运传送器27A、27B及基板等待传送器28以替换移动式基板搬运传送器2。
图12是表示基板正交搬运传送器27的结构，(a)是俯视图，(b)是侧视图，(c)是主视图。
基板正交搬运传送器27的结构如图12所示，其包括：主基板搬运传送器29；具有从主基板搬运传送器29的搬运滚筒的间隙相对于主基板搬运传送器29的搬运面而垂直上浮、下沉的搬运面的副基板搬运传送器30；以及使副基板搬运传送器上浮、下沉的上浮机构31。
下面利用图11及图13对实施形态6的动作进行说明。
对基板输出装置1A、1B的盒11A、11B的供给及输出，是通过未图示的AGV等自动搬运台车、手推台车或自动仓库的堆装起重机等的盒供给装置进行的。
现在，假设正从基板输出装置1B向流程装置供给基板，对基板输出装置1A供给存放有基板的盒。另外，将基板10C作为盒11B的最后基板。
基板输出装置1B，对应于流程装置40的基板搬运速度条件而进行基板的输出。比如，在向洗净装置进行供给的场合，受UV照射流程的限制而为低速(比如，4m/min)，并且满足流水线的循环时间，故为连续搬运。
从基板输出装置1B搬出的基板10B到达基板正交搬运传送器27B，且基板输出装置1B以基板存放间距而使盒11B下降，将最后基板10C装载在基板输出传送器17上。最后基板10C的搬出定时与流水线的循环时间对应。另外，基板输出装置1A在从基板输出装置1B搬出基板中，将基板10D、10E搬出至基板等待传送器28、基板正交搬运传送器27A进行等待(图13(a))。
一旦基板10C向基板正交搬运传送器27B搬出结束，则基板输出装置1B将盒升降机构18上升至上升端，相对于盒供给装置要求更换盒11B。盒的更换若是在另一方的盒内存放的所有的基板搬出结束之前完成的话，则向流程装置40供给基板就不会中断。
基板10C向流程侧基板搬运传送器3移载结束的同时，使基板正交移载传送器27B的上浮装置31上升，并使副基板搬运传送器30上浮，高速地将基板等待传送器28上的基板10D承接至副基板搬运传送器30上。承接结束的同时，使基板正交移载传送器27B的上浮装置31下降，将基板10D移载至主基板搬运传送器29上。由基板等待传送器25对于基板正交搬运传送器27B的基板搬运动作，与流水线的循环时间对应(图13(b))。
使基板正交搬运传送器27A的上浮装置上升，并使副基板搬运传送器30上浮，将主基板搬运传送器29上的基板10E移载至副基板搬运传送器30。将基板10E搬运至空的基板等待传送器28上。移载结束后，使基板正交搬运传送器27A的上浮装置31下降，并使副基板搬运传送器30下降(图13(c))。
基板10B～10D的朝向流程装置40的供给，是根据流程装置40的速度条件进行连续搬运。基板10E由基板正交搬运传送器27A朝向基板等待传送器28的搬运，比基板10D到达流程侧基板搬运传送器3早(图13(d))。
从基板输出装置1A向基板正交搬运传送器27A搬出下一基板10F(图13(e))。
一旦基板10D向流程侧基板搬运传送器移载结束，使基板正交移载传送器27B的上浮装置31上升，并使副基板搬运传送器30上浮，将基板等待传送器28上的基板10E承接至副基板搬运传送器30上。承接结束的同时，使基板正交移载传送器27B的上浮装置31下降，将基板10E移载至主基板搬运传送器29上(图13(f))。
以下，按存放在盒11A内的基板片数重复进行搬出。
一旦存放在盒11A内的所有的基板的搬出结束，则使基板输出装置1A的盒升降机构18上升至上升端，相对于盒供给装置要求盒的更换。
另外，盒11A的最后基板到达基板正交搬运传送器27B之前，基板输出装置1B的盒更换结束，最下层的基板被载放在基板输出装置1B的基板输出传送器17上。
因此，在盒11A的最后基板到达基板正交搬运传送器27B、开始朝流程侧基板搬运传送器3搬出的同时，继续从基板输出装置1B供给基板。
采用上述实施形态6，在利用将平板状的基板10进行输出的基板输出装置1而将从该基板输出装置1搬出的基板朝水平方向搬运、以片单位供给到对基板进行规定处理的流程装置40的基板搬运系统中，由于基板输出装置1由多台基板输出装置1A、1B构成，且在这些基板输出装置1A、1B与流程装置40之间配置有：与基板输出装置相同数量的基板正交基板搬运传送器27A、27B；将这些基板正交基板搬运传送器27A、27B之间进行连接的基板等待传送器28；以及向流程装置40供给基板的流程侧基板搬运传送器3，并作成在多台基板输出装置1A、1B中与流程装置40以直线的搬运线路进行连接的基板输出装置1B的搬运线路相邻、使基板等待，故从基板输出装置1A侧进行基板供给时，可将次基板在与要求低速搬运的流程装置侧基板搬运传送器3相邻的基板等待传送器28上等待，可缩短供给基板10所需的时间。因此，可满足流程装置40的搬运条件和流水线的生产能力。
另外，在次基板的供给中不使用移动式基板搬运传送器2那样的伴随往复动作的基板搬运装置，故可降低基板10的搬运速度。因此，可将对于基板10的振动、冲击抑制在最小，维持产品的质量。
而且，没有必要以片单位频繁地时基板10移动、升降，可提高设备的可靠性，增加安全性，并可抑制消耗的能源。
另外，可将占有空间抑制在传统的方式以下，故可削减净化室的占有面积，使净化室小型化，降低建筑费用，并可削减维持清洁度的消费能源。
另外，在上述各实施形态中，是对FPD基板的装载进行了说明，但对FPD基板的卸载，仅是搬运方向相反，其结构、配置、效果不变。
另外，在所有的实施形态中，作为基板搬运装置，以滚筒传送器为代表进行了描述，但并不对搬运装置进行限定，也可是其他搬运装置。
此外，作为基板的搬运姿式，是以水平搬运为代表进行了描述，但并没有限定搬运姿式，也可是其他姿式(比如倾斜、垂直)，双层升降式基板搬运传送器的升降方向，以铅垂方向为代表进行了表示，但并没有限定升降方向，根据基板的搬运姿式也可是倾斜或水平。
比如，如上所述，在将平板状的基板朝铅垂或围绕搬运方向的轴倾斜，其角度接近铅垂的姿势朝水平方向搬运的场合，也可构成：包括具有移动机构的移动式基板搬运传送器、具有移动功能的双层结构的双层移动式基板搬运传送器，双层移动式基板搬运传送器，作成以双层结构的左右基板搬运传送器之间的水平距离、沿与基板搬运方向正交的水平轴移动自如，移动式基板搬运传送器，作成在双层移动式基板搬运传送器的左端位置处的左侧基板搬运传送器与右端位置的右侧基板搬运传送器以及移动式基板搬运传送器与基板接送位置之间沿水平方向移动自如，移动式基板搬运传送器与双层移动式基板搬运传送器的基板移载、双层移动式传送器与流程装置的基板移载，以独立的速度并行进行。
如上所述，本发明是，在利用将平板状的基板进行输出的基板输出装置而将从该基板输出装置搬出的基板朝水平方向搬运、以片单位供给到对基板进行规定处理的流程装置的基板搬运系统中，具有根据基板供给到流程装置的供给速度而交替地移动至第1位置和第2位置、分别在不同的位置承接从基板输出装置搬出的基板的具备第1及第2层双层结构的可动式基板搬运传送器，在第1位置，在第1层承接从基板输出装置搬出的基板，并将基板从第2层供给到流程装置，在第2位置，在第2层承接从基板输出装置搬出的基板，并从第1层将基板供给到流程装置，由此，在满足流程装置的基板搬运条件的同时，能满足作为搬运系统的处理能力，并消除产品质量下降的原因，降低初期成本及运行成本，可构筑作业性良好的流水线。

Claims (12)

1.一种基板搬运系统，利用将平板状的基板进行输出的基板输出装置而将从该基板输出装置搬出的基板朝水平方向搬运、并以片单位供给到对基板进行规定处理的流程装置，其特征在于，
具有根据基板供给到流程装置的供给速度而交替地移动至和第2位置、分别在不同的位置承接从基板输出装置搬出的基板的具备第1及第2层双层结构的可动式基板搬运传送器，在第1位置，在第1层承接从基板输出装置搬出的基板，并将基板从第2层向流程装置供给，在第2位置，在第2层承接从基板输出装置搬出的基板，并从第1层将基板向流程装置供给。
2.如权利要求1所述的基板搬运系统，其特征在于，在所述基板输出装置与所述双层结构的基板搬运传送器之间，配置有根据所述双层结构的基板搬运传送器的移动动作而移动的可动式基板搬运传送器，将从所述基板输出装置搬出的基板交替地搬运至第1层及第2层。
3.一种基板搬运系统，利用将平板状的基板进行输出的基板输出装置而将从该基板输出装置搬出的基板朝水平方向搬运、并以片单位供给到对基板进行规定处理的流程装置，其特征在于，
在流程装置侧，配置有根据所述基板供给到所述流程装置的供给速度而交替地向铅垂方向的第1位置和第2位置移动、分别在不同的位置承接从所述基板输出装置搬出的基板的具备第1及第2层双层结构的升降式基板搬运传送器，并且，
在该双层升降式基板搬运传送器与基板输出装置之间，配置有承接从所述基板输出装置搬出的基板、根据所述双层升降式基板搬运传送器的朝向所述第1及第2位置的升降动作而升降的升降式基板搬运传送器，
在所述第1位置，在所述第1层承接从所述升降式基板搬运传送器搬出的基板，并从所述第2层将基板供给到流程装置，
在所述第2位置，在第2层承接从所述升降式基板搬运传送器搬出的基板，并从第1层将基板供给到流程装置。
4.如权利要求3所述的基板搬运系统，其特征在于，所述升降式基板搬运传送器与所述双层升降式基板搬运传送器的基板移载、所述双层升降式基板搬运传送器与所述流程装置的基板移载，以独立的速度并行进行。
5.如权利要求3或4所述的基板搬运系统，其特征在于，配置多台所述基板输出装置，在这些基板输出装置与所述升降式基板搬运传送器之间，配置有按序承接从各基板输出装置输出的所述基板、并移动至与所述升降式基板搬运传送器相对的规定位置、再搬运至所述升降式基板搬运传送器上的移动式基板搬运传送器。
6.如权利要求5所述的基板搬运系统，其特征在于，将所述移动式基板搬运传送器配置于在其下部形成作业者可横向穿越的空间的位置，并将所述升降式基板搬运传送器的升降行程设定成可在所述移动式基板搬运传送器与所述双层升降式基板搬运传送器之间进行升降的大小。
7.如权利要求3所述的基板搬运系统，其特征在于，所述基板输出装置仅为1台，将基板直接从该基板输出装置搬运至所述升降式基板搬运传送器，并将到所述双层升降式基板搬运传送器为止的基板搬运速度设定得比供给流程装置的基板供给速度稍高。
8.如权利要求3所述的基板搬运系统，其特征在于，在所述基板输出装置与所述升降式基板搬运传送器之间配置基板等待传送器，将到所述双层升降式基板搬运传送器为止的基板搬运速度设定得比基板供给到所述流程装置的供给速度稍高。
9.一种基板搬运系统，利用将平板状的基板进行输出的基板输出装置而将从该基板输出装置搬出的基板朝水平方向搬运、并以片单位供给到对基板进行规定处理的流程装置，其特征在于，
所述基板输出装置，由可沿与基板搬运方向正交的水平轴、保持规定的位置关系地一体移动的2台基板输出装置构成，从这些基板输出装置依次搬出的基板仅由设置在所述流程装置侧的流程侧移动式基板搬运传送器供给到所述流程装置。
10.如权利要求3所述的基板搬运系统，其特征在于，所述基板输出装置与基板供给到所述流程装置的供给速度对应而进行基板的搬运。
11.一种基板搬运系统，利用将平板状的基板进行输出的基板输出装置而将从该基板输出装置搬出的基板朝水平方向搬运、并以片单位供给到对基板进行规定处理的流程装置，其特征在于，
所述基板输出装置由多台基板输出装置构成，在这些基板输出装置与所述流程装置之间，配置有：与所述基板输出装置相同数量的基板正交基板搬运传送器；将这些基板正交基板搬运传送器之间进行连接的基板等待传送器；以及向所述流程装置供给所述基板的流程侧基板搬运传送器，
在所述多台基板输出装置中，与所述流程装置以直线的搬运线路进行连接的基板输出装置的搬运线路相邻，以使基板等待。
12.如权利要求11所述的基板搬运系统，其特征在于，在所述基板正交搬运传送器、基板等待传送器及流程侧基板搬运传送器上各使1片基板等待。
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