CN1204026C - 货物保管设备 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种货物保管设备,该货物保管设备可在增加保管量的同时,以紧凑的尺寸形成设备整体,本发明的方案的特征在于其由下述部件形成,该部件包括旋转货架(21),该旋转货架(21)绕垂直轴心旋转;移动装载机构(51),该移动装载机构(51)具有可升降和绕垂直轴心旋转的移动装载作用部(81),并且按照与旋转货架(21)相邻接的方式设置;至少1个固定货架(101),该固定货架(101)设置于该移动装载机构(51)的周围,并且沿上下分多层具有货物支承部(103);入出库机构(111a,111b),该入出库机构(111a,111b)在俯视时,按照与固定货架(101)和旋转货架(21)中的任何一个重合的方式设置。
Description
技术领域
本发明涉及用于进行货物保管的货物保管设备。
背景技术
在过去,作为货物保管设备,人们知道有比如,日本第279023/1998号发明专利申请公开公报中公开的那样的自动仓库。在作为这种过去的货物保管设备的自动仓库中,以立体方式具有多个货物接纳分区的一对货架以一定间距平行地设置,将两个货架之间作为移动装载装置的行走通路,在该行走通路的端部外侧,设置有旋转货架。上述移动装载装置由下述部件形成,该部件包括行走台车,该行走台车具有转台,该转台支承用于在货架的货物接纳分区、旋转货架的货物接纳分区之间,进行货物交接的货物移动装载机构(臂,带等);水平导轨,该水平导轨以可沿货架水平地行走的方式支承该行走台车;导轨升降驱动机构,该机构以可升降的方式支承该水平导轨于其中一个货架上。
在上述这样的已有的货物保管设备中,通过水平导轨的升降,行走台车的行走,转台的旋转,货物移动装载机构的动作的组合动作,在行走通路两侧的各货架、旋转货架之间,进行货物交接。在与旋转货架之间进行货物交接时,适当地使旋转货架旋转。
然而,如果采用上述的已有的方案,为了增加货物的保管量,即,增加货架的货物的接纳分区数量,必须增加货架的上下高度,或加大货架的长度。但是,象这样,使货架形成较大的尺寸,会具有从设置该货架的建筑物的规模等来说不能够实现的情况,比如,在同时设置于洁净室这样的特殊室内的场合,由于其尺寸受到限制,故不容易采用要求大型的货架的过去的货物保管设备。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种货物保管设备,其中容易实现以紧凑的尺寸形成整个设备,与此同时,使保管量增加,另外,与外部之间的货物的进出也容易进行。
用于实现上述目的的本发明的货物保管设备的特征在于该货物保管设备由旋转货架、移动装载机构、固定货架、以及入出库机构形成,该旋转货架包括可绕垂直轴心旋转的上下多层的货物接纳部组,各层的货物接纳部组由沿其旋转周向设置的多个货物接纳部形成,上述移动装载机构并列设置于上述旋转货架中,其包括可绕垂直轴心旋转并且可升降的移动装载作用部,上述固定货架设置于上述移动装载机构的周围,其包括上下多层的货物支承部,上述入出库机构在俯视时,按照与上述固定货架或旋转货架重合的方式设置,上述移动装载机构中的移动装载作用部按照下述方式形成,该方式为:通过上述移动装载作用部的旋转升降动作,与上述旋转货架中的任意的货物接纳部之间、与上述固定货架中的任意的货物支承部之间、与上述入出库机构之间进行货物交接操作。
如果采用上述本发明的货物保管设备,当将移动装载机构中的移动装载作用部从入出库机构接收到的货物送入旋转货架中,对其进行保管时,可使旋转货架旋转,以便将旋转货架内的入库对象的1个的货物接纳部,调用到其与上述移动装载机构之间的货物交接位置,根据需要,适当地进行该移动装载作用部的旋转与升降这两个动作,或这两个动作中的任何一个动作,以便使上述移动装载机构中的移动装载作用部与已调用到该货物交接位置的入库对象的1个的货物接纳部对应,然后,使该移动装载作用部动作,将该移动装载作用部所支承的货物,装载于旋转货架侧的入库对象的1个货物接纳部。另外,当在固定货架中进行入库保管时,可根据需要,适当地进行该移动装载作用部的旋转与升降这两个动作,或这两个动作中的任何一个动作,以便使上述移动装载作用部与固定货架内的入库对象的1个货物支承部对应,然后,使该移动装载作用部动作,将该移动装载作用部所支承的货物装载于固定货架侧的入库对象的1个货物支承部。
此外,也可通过按照与上述入库作业时相反的方式进行作业,将支承于旋转货架内的货物接纳部的出库对象的货物,或支承于固定货架内的货物支承部上的出库对象的货物,通过移动装载机构中的移动装载作用部取出,运出到入出库机构上,并且将保管于旋转货架内的货物接纳部,或固定货架内的货物支承部中的货物,通过移动装载机构中的移动装载作用部取出,将货物转移到与原始的保管场所不同的,旋转货架内的货物接纳部,或固定货架内的货物支承部。
如上所述,在本发明的货物保管设备中,相对旋转货架和固定货架这两者,通过1个移动装载机构,进行货物的入出库作业,但是该移动装载机构中的移动装载作用部不象过去这种货物保管设备那样,沿货架行走,而仅仅进行旋转和升降,故无需行走通路用的较大的空间。另外,仅仅按照可绕垂直轴心旋转的方式,形成相对旋转货架的入出库作业用所必需的上述移动装载机构中的移动装载作用部,即使相对采用该移动装载机构的周围空间而设置的固定货架,仍利用该移动装载机构,进行货物的入出库作业。另外,由于移动装载机构不必行走,容易实现下述情况,即,使该移动装载作用部下降到地板附近,由此,容易将旋转货架,固定货架中的保管标高下降到地板附近,增加其保管量。此外,入出库机构在俯视时,按照与上述固定货架或旋转货架重合的方式设置,不需要在俯视时,独立于该固定货架或旋转货架中的空间的入出库机构用的专用空间。
在具有以上这样的特征本发明的货物保管设备中,虽然通过旋转货架和固定货架,使保管量大大增加,但是可简单,紧凑地形成整个设备,由此可理解,其最好用作在洁净室这样的特殊的空间尺寸受到制约的场所中,内部设置或并列设置的货物保管设备。
在实施上述本发明的货物保管设备时,最好,上述入出库机构在俯视时,按照不相对旋转货架,而与上述固定货架重合的方式形成,上述移动装载机构中的移动装载作用部按照与上述入出库机构之间直接进行货物交接的方式形成。
这样做的原因在于,当在俯视时,按照与旋转货架重合的方式设置入出库机构时,必须去掉对该入出库机构造成干扰的层数的货物接纳部组,但是在固定货架的场合,可仅仅去除实际上与入出库机构重合的货物接纳部,位于不与该入出库机构重合的位置的其它的固定货架(通常,在移动装载机构的周围,设置多个固定货架)可在全部层中,设置货物支承部,保管量变少的情况减小。另外,当按照与旋转货架重合的方式设置入出库机构时,由于在入出库机构与移动装载机构之间不能直接进行货物的交接操作,故要求在两者之间,中转货物的另一的移动装载机构,但是,当按照与固定货架重合的方式设置入出库机构时,由于上述移动装载机构中的移动装载作用部在其与该入出库机构之间直接进行货物交接,故要求在入出库机构与移动装载机构之间,中转货物的另外的货物移动装载机构的不利情况也消除。
此外,最好,在相对上述旋转货架并列设置的移动装载机构的周围,至少设置有2个上述的固定货架,且这些固定货架分开设置在上述旋转货架的旋转轴心和移动装载机构中的移动装载作用部的旋转轴心的连线的左右两侧,在该左右两侧的2个固定货架的相应货架中,分为入库用和出库用的上述入出库机构按照下述方式并列地设置,该方式为:在俯视时,与各固定货架重合,并且其入出库方向与上述旋转货架的旋转轴心和移动装载机构中的移动装载作用部的旋转轴心的连线保持平行。
按照该方案,该货物保管设备中的入出库机构中的入库部和出库部可在俯视时,按照在整个设备的区域的一端并列的方式设置,与按照相对移动装载机构的旋转轴心呈辐射状的方式,设置分为入库用和出库用的入出库机构的场合相比较,可始终良好地形成包括入出库机构中的入库部和出库部的整个设备,并且在相对入出库机构中的入库部和出库部的货物的送入送出用的传送装置的并列设置方面,情况也是良好的。
在采用上述方案的场合,上述入出库机构包括在其内外两端之间移动的货物支承台和旋转装置,当货物支承台位于与固定货架重合的内端时,该旋转装置按照将由该货物支承台支承的货物的姿势转换为由上述移动装载机构中的移动装载作用部进行交接时的交接姿势的方式进行旋转,相对入出库机构的货物的送入送出时的货物的姿势可相同,因此,可并列设置相对该入出库机构中的入库部和出库部的货物的送入送出用的传送装置,且该入出库机构的货物的处理方便,而且与必须在有必要进行旋转、升降的移动装载机构中的移动装载作用部上改变货物的姿势的场合相比较,该移动装载作用部的组成简单,容易实施。
另外,上述移动装载机构由下述部件形成,该部件包括相对位置固定的支柱实现升降的升降部;旋转体,该旋转体支承于该升降部上,并且绕垂直轴心旋转;移动装载作用部,该移动装载作用部支承于该旋转体上,并且沿相对该旋转体的旋转轴心的半径方向进退移动,该移动装载机构可按照下述方式形成,该方式为:通过该移动装载作用部的进退移动和升降,与上述旋转货架中的货物接纳部和固定货架中的货物支承部之间,进行货物交接操作。
按照该方案,与使包括对升降部进行支承导向的支柱的,移动装载机构的整体绕垂直轴心旋转的场合相比较,可容易形成作用于旋转驱动装置或旋转支承部的负担很少、稳定性良好、安全性较高的移动装载机构。另外,由于形成所谓的通过在水平方向上可进出的货物支撑台抄起货物形式的货物的交接作用,故不必在货物侧装备装载用的特别的部分,只要为可在底面稳定地支承的货物,则可安全地进行货物的交接,移动装载机构的组成也简单。
在采用上述方案的场合,上述移动装载机构中的移动装载作用部由支承货物的底面的板状体形成,上述旋转货架中的货物接纳部和固定货架中的货物支承部由具有允许前进状态的移动装载作用部的升降的凹部的板状体形成,在上述移动装载作用部、上述旋转货架中的货物接纳部、以及固定货架中的货物支承部上,分别立设有定位销,在货物的底面,设置有嵌合部,该嵌合部可嵌合上述移动装载作用部上的定位销、上述旋转货架中的货物接纳部上的定位销、以及固定货架中的货物支承部上的定位销。
按照该方案,当移动装载机构中的移动装载作用部支承货物,旋转,或实现进出移动时,当支承于旋转货架中的货物接纳部上的货物伴随旋转体的旋转,绕垂直轴心旋转时,可防止产生因作用于货物上的惯性,或因地震发生时受到的振动,货物滑动,产生位置偏离,不进行正常的货物交接,货物从旋转货架,固定货架,或移动装载机构等上掉下的事故的情况,可提高安全性。
此外,在采用上述方案的场合,上述移动装载作用部上的定位销,立设于该移动装载作用部的周边,上述旋转货架中的货物接纳部上的定位销和固定货架中的货物支承部上的定位销,立设于下述位置,该位置指在上述移动装载作用部位于这些货物接纳部中的凹部或货物支承部中的凹部内时与移动装载作用部上的定位销相邻接的位置,货物的底面的嵌合部呈长孔状,该长孔可同时嵌合移动装载作用部上的定位销,以及旋转货架中的货物接纳部上的定位销,或固定货架中的货物支承部上的定位销。
按照该方案,虽然可通过定位销和货物底面侧的嵌合部,将货物定位于全部场所中的规定位置,但是,仍可减少必须设置于货物的底面上的嵌合部的个数,由此,可容易在各种货物中实施。
还有,在采用上述方案的场合,上述旋转货架中的货物接纳部和固定货架中的货物支承部,由包括立设于其上的定位销的,同一形状的板状体形成,由此,可通过1种的带定位销的板状体形成旋转货架中的货物接纳部和固定货架的货物支承部的全部,可降低成本。
再有,上述旋转货架、移动装载机构、以及固定货架设置于由围壁体形成的货物保管室内,入出库机构按照在其与货物保管室内与外的洁净室内之间,传送货物的方式形成,由此,作为在洁净室中处理的货物的保管设备可有效灵活地使用。
附图说明
图1为本发明的第1实施例的,货物保管设备的整体的横向剖开的俯视图;
图2为上述货物保管设备的外观立体图;
图3为上述货物保管设备的纵向剖开的侧视图;
图4为上述货物保管设备中的旋转货架的底部的一部分去掉的侧视图;
图5为上述货物保管设备中的旋转货架的顶部的一部分去掉的侧视图;
图6为上述货物保管设备中的移动装载机构的底部的一部分去掉的侧视图;
图7为上述货物保管设备中的移动装载机构的顶部的一部分去掉的侧视图;
图8为上述货物保管设备中的移动装载机构的一部分去掉的俯视图;
图9为上述货物保管设备中的固定货架的侧视图;
图10为上述货物保管设备中的固定货架的俯视图;
图11为表示上述货物保管设备中的入出库机构的示意性俯视图;
图12为表示上述货物保管设备中的入库机构的一部分去掉的侧视图;
图13为表示上述货物保管设备中的出库机构的一部分的,局部去掉的主视图;
图14为表示上述货物保管设备中的出库机构的一部分的,局部去掉的侧视图;
图15(a)为表示本发明的第2实施例的示意性俯视图,图15(b)为表示本发明的第3实施例的示意性俯视图,图15(c)为表示本发明的第4实施例的示意性俯视图;
图16(a)为表示本发明的第5实施例的示意性俯视图,图16(b)为表示本发明的第6实施例的示意性俯视图。
具体实施方式
下面根据附图1~14,对本发明的第1实施例进行描述。
如图1~3所示,本实施例的货物保管设备10由矩形箱状的围壁体11,设置于该围壁体11的内部的旋转货架21,移动装载机构51,固定货架101,以及穿过围壁体11而设置的入出库机构111a,111b等形成。
上述围壁体11形成货物保管室(货物保管空间)17,其由框架体12,底部外板13,顶部外板14,底板15,以及天花板16等形成,该底部外板13安装于框架体12的外侧的下半部,该顶部外板14安装于框架体12的外侧的上半部,该底板15安装于框架体12的底侧,该天花板16安装于框架体12的顶侧。然而,按照下述方式形成,该方式为:底部外板13,顶部外板14中的至少一部分,主要是顶部外板14采用按照树脂形成等方式构成的透明板,由此,可从外侧,透过透明板而掌握货物保管室17内部的状况。此外,围壁体11通过设置于上述底板15的底面侧的底座体19,设置于地面2上。
如图1,图3~图5所示,在上述货物保管室17内的靠近一侧的位置,按照可绕纵向第1垂直轴心(下面称为“旋转货架轴心”)22旋转的方式设置有旋转货架21。并且在以该旋转货架轴心22为中心的圆周上,按照等间距而设置的由多个货物接纳部32形成的货物接纳部组按照沿上下分多层的方式设置。图1中的标号23简略地表示货物接纳部32绕旋转货架轴心22旋转时的环状的通路。
即,在围壁体11的底板15上,通过圆形的导轨25,设置有圆板状的旋转体26,从该旋转体26的旋转中心,立设有六边形筒状的纵轴体27,从封闭该纵轴体27的顶端的封闭板27A的中心位置立设的纵向销28,通过轴承29,支承于设在上述围壁体11的顶部的支承板20上,由此,上述纵轴体27以可绕旋转货架轴心22自转的方式支承。
六边形的环状板30分别通过多个安装部件31,安装于上述纵轴体27的上下方向的多个部位,在相应的环状板30中的外周各边(因此,周向的6个部位),通过连接件33,安装有上述货物接纳部32的基部。因此,该各货物接纳部30从纵轴体27呈放射状设置,各货物接纳部32以悬臂的方式支承于环状板30上。
各货物接纳部32由水平的板材形成,其中,形成有相对旋转货架轴心22朝向半径方向外侧敞开的凹部34,并且在该凹部34的周边的1个或多个部位(在图示实例中,为3个部位),立设有定位销35。此外,在货物接纳部32的基部,设置有反射板36,该反射板36形成存货检测机构的一部分,在自由端部分,设置有形成标高检测机构的一部分的反射面37。
上述旋转货架21通过旋转货架驱动机构41旋转驱动。该旋转货架驱动机构41由下述部件形成,该部件包括旋转驱动源42,该旋转驱动源42设置于围壁体11的底板15的角部;驱动齿轮44,该驱动齿轮44安装于该旋转驱动源42的向下的驱动轴43上;环形齿轮45,该环形齿轮45形成于上述旋转体26的周缘,以便与上述驱动齿轮44啮合。上述旋转驱动源42由电动机、减速器等形成,其可沿正反的任意方向旋转驱动驱动轴43。
因此,借助旋转货架驱动机构41中的旋转驱动源42,沿正反向旋转驱动驱动轴43,由此,可通过驱动齿轮44和环形齿轮45,使旋转货架21,沿正反的任意方向,绕旋转货架轴心22旋转。此时,旋转货架21按照可在最大180°的范围内驱动的方式进行控制。通过由上述的标号22~45表示的部件,形成旋转货架21,但是,旋转货架21的方案不限于此。
在图1,图3,图6~图8中,在与移动装载室17内的旋转货架21相对的一侧的位置,设置有上述移动装载机构51。该移动装载机构51中的移动装载作用部81按照可绕与上述旋转货架轴心22保持平行的第2垂直轴心(下面称为“移动装载轴心”)52旋转,并且可升降的方式设置。
具体来说,在围壁体11的底板15上,设置有底架54,从该底架54,立设有支柱55,并且在该支柱55的前面侧,设置有左右一对升降用导轨56。如图8所示,上述支柱55由左右一对侧部件55A,连接于这些侧部件55A之间的后部件55B,设置于该后部件55B的前面侧的左右一对前部件55C形成,在各前部件55C的前面侧,分别敷设有上述导轨56,在两个前部件55C上,按照覆盖各导轨56的前侧的方式,分别设置有盖体58。在上述支柱55的顶端,如图7所示,设置顶架57。
在上述支柱55的前侧,设置有升降部60,该升降部60通过与各导轨56接合的左右一对被导向体59,以可升降的方式支承于上述支柱55上,同时设置有以升降方式驱动该升降部60的升降驱动机构61。上述升降部60由垂直部件60A,以及水平部件60B形成,该垂直部件60A与上述左右一对被导向体59连接,该水平部件60B 该垂直部件60A的底端朝向前方连接设置,从侧面看,该升降部60呈L形状。按照通过设置于支柱55的前侧的左右一对盖体58之间的方式,在垂直部件60A与左右一对被导向体59之间,宽度较窄。
上述升降驱动机构61由下述部件构成,该部件包括左右一对驱动轮体62,该驱动轮体62通过轴支承于上述支柱底端的底架54内;左右一对从动轮体63,该从动轮体63通过轴支承于上述支柱顶端的顶架57上;同步皮带(也可为链条,钢丝绳等)64,该同步皮带64分别卷绕于两轮体62,63之间;左右一对导向轮体65,该导向轮体65通过轴支承于上述驱动轮体62附近,对上述同步皮带64进行导向;驱动上述驱动轮体62的旋转驱动部66等。
左右一对同步皮带64分为绕过驱动轮体62的下位转动部64A,以及绕过从动轮体63的上位转动部64B,上述升降部66(被导向体59的附近位置)连接于位于各转动部64A,64B中的支柱55内的前侧的端部之间,另外,在位于各转动部64A,64B中的支柱55内的后侧的端部之间,连接有张力调整器67。上述旋转驱动源66由可正反向驱动的电动机,减速机等形成,在其驱动轴68上,安装有上述左右一对驱动轮体62。
与上述移动装载轴心52同心的纵轴71通过轴承72,支承于上述升降部60中的水平部件60B上,旋转体70呈同心状支承于该纵轴71上。标号73表示上述纵轴71的旋转驱动机构。该旋转驱动机构73由下述部件形成,该部件包括旋转驱动源74,该旋转驱动部74设置于上述升降部60的水平部件60B的基部;驱动轮体76,该驱动轮体76安装于朝下的驱动轴75上;从动轮体77,该从动轮体77安装于上述纵轴71上;同步皮带78(也可为链条,钢丝绳等),该同步皮带78卷绕于两个轮体76,77之间;通过轴支承于水平部件60B上的多个导向轮体79等。上述旋转驱动源74由可正反向驱动的电动机,减速器等形成。
上述移动装载机构51中的移动装载作用部81为通过在水平方向上可进出的货物支撑台抄起货物的形式,其由下述部件形成,该部件包括水平支承板81A,该水平支承板81A以可沿水平方向进退的方式支承于上述旋转体70上;定位板81B,该定位板81B从上述水平支承板81A的中间部分立设;定位销82,该定位销82在水平支承板81A上,从上述定位板81B的前端侧的货物支承部的周边1个~多个部位(在图示实例中,为3个部位)立设,该移动装载作用部81通过进退驱动机构90,水平地进退驱动。
即,上述旋转体70的平面形状为长方形,其包括左右一对侧部件83,该左右一对侧部件83设置于长度方向的两侧边上;导轨84,该导轨84在两侧部件83之间,在通过移动装载轴心52的中间位置,以与上述侧部件83平行的方式敷设,在以可滑动方式支承于该导轨84上的被导向体85上,装载固定有上述移动装载作用部81的水平支承板81A的后端部。进退驱动机构90由下述部件形成,该部件包括螺杆91,该螺杆91按照与上述导轨84平行的方式,支承于旋转体70上;螺母体92,该螺母体92敷设在上述移动装载作用部81的水平支承板81A的底侧,并且与上述螺杆91以螺纹方式嵌合;旋转驱动源94,该旋转驱动源94装载于上述旋转体70的后端部上,并且通过带式联动机构93,以联动方式与上述螺杆91连接。上述旋转驱动源94由可正反向驱动的电动机,减速器等形成。
上述移动装载作用部81中的货物支承部(水平支承板81A上,定位板81B的前端侧)按照下述形状和尺寸形成,即,通过相对旋转体70,实现前进移动的状态的升降部60的升降,可沿上下在上述旋转货架21中的各货物接纳部32中的凹部34内实现升降通过。即,如图1所示,旋转货架21中的货物接纳部32通过以旋转货架轴心22为中心的转动通路23上的旋转,可在旋转货架轴心22与移动装载轴心52的连线109上,定位于两轴心22,52之间的货物交接位置P,移动装载机构51中的移动装载作用部81(水平支承板81A上,定位板81B的前端侧的货物支承部)按照下述方式形成,该方式为:绕处于相对旋转体70的前进限制位置的状态的移动装载轴心52的转动通路53与上述货物交接位置P重合,位于前进限制位置,并且位于上述货物交接位置P的移动装载作用部81中的货物支承部通过升降,可沿上下在位于上述货物交接位置P的货物接纳部32的凹部34内,实现升降通过。但是,在图1中,移动装载机构51中的移动装载作用部81是以处于前进限制位置和后退限制位置之间的中间处的状态而表示的。
另外,在上述支柱55的前侧,设置有防尘用盖带87,其在允许升降部60的升降的状态,将两个盖体58之间的间隙封闭,另外,在旋转体70上,设置有防尘用盖带88,其在允许移动装载作用部81的水平进退移动的状态,封闭导轨84的顶侧。
通过由上述标号52~94表示的部件,形成移动装载机构51,该移动装载机构51中的移动装载作用部81按照下述方式形成,该方式为:其可绕与上述旋转货架轴心22平行的移动装载轴心52旋转,并且可升降,另外,可相对移动装载轴心52,沿半径方向进退移动。
如图1,图3,图9,以及图10所示,上述固定货架101在围壁体11形成的上述货物保管室17内部,设置于移动装载机构51的周围1个~多个部位(在图示实例中,为4个部位)。各固定货架101具有上下多层货物支承部103。各货物支承部103由朝向移动装载机构51的移动装载轴心52,以悬臂方式水平地突出的板状体形成,其后端部通过连接件104,安装于安在围壁体11的框架体12上的水平的支承部件102上。
固定货架101中的各货物支承部103的结构与旋转货架21中的各货物接纳部32相同,其具有移动装载机构51的移动装载轴心52侧敞开的凹部105,在该凹部105的周边的1~多个部位(在图示的实例中,为3个部位),立设有定位销106。换言之,固定货架101中的各货物支承部103相当于使位于上述货物交接位置P的旋转货架21中的货物接纳部32,以移动装载轴心52为中心而旋转移动的货物接纳部。于是,上述移动装载机构51中的移动装载作用部81(上述货物支承部),与相对位于货物交接位置P的旋转货架21中的货物接纳部32的场合相同,通过相对旋转体70处于前进限制位置的状态的升降部60的升降,可沿上下在上述固定货架101中的各货物支承部103中的凹部105内部升降通过。通过上述标号102~106表示的部件,形成固定货架101,但是固定货架101的方案不限于此场合。
如图1~图3,以及图9~图14所示,在4个固定货架101内,相对上述旋转货架21,较远侧的左右2个部位的固定货架101的底部,形成有空间部分107,在该空间部分107中,从下方去除了多层(在图示实例中,为3层)的货物支承部103。另外,利用这些空间部分107,设置有可在与上述移动装载机构51之间,进行货物交接操作的入出库机构。该入出库机构中的入出库方向按照与旋转货架轴心22和移动装载轴心52的连线109平行的方式设定。
如果对具体结构进行描述,在围壁体11的底部外板13上,按照与两个空间部分107相邻接的方式,形成有入库用开口部110a和出库用开口部110b,按照通过各开口部110a,110b的方式,设置有形成入出库机构的入库机构111a和出库机构111b。
入库机构111a和出库机构111b在上述入库用开口部110a和出库用开口部110b,具有将围壁体11内外贯通的箱框状的主体112,在该主体112上的外端部分上,设置临时接纳体113。该临时接纳体113呈围绕允许后面将要描述的支承台142的进入和升降的升降作用部114的板状,在升降作用部114的周边1~多个部位(在图示实例中,为3个部位),立设有定位销115。
在上述主体112内部,设置有移动体117,该移动体117由导轨116支承导向,可沿入出库方向水平移动;驱动装置118,该驱动装置118沿入出库方向使该移动体117往返移动。该驱动装置118由下述部件形成,该部件包括驱动源(电动机等)119,该驱动源设置于移动体117上;同步滑轮121,其安装于上述驱动源119的输出轴120上;同步皮带123,该同步皮带123的两端通过托架124固定于主体112上,沿入出库方向张设;一对导向滑轮122,该对导向滑轮122通过轴支承于移动体117上,以便将上述同步皮带123与上述同步滑轮121接合。
在上述移动体117上,设置有升降装置125。该升降装置125由下述部件形成,该部件包括垂直的螺杆体127,该螺杆体127通过轴承126,支承于移动体117上;驱动源(电动机等)128,该驱动源128设置于移动体117上,其可正反向驱动;皮带,链条等的传动机构130,该传动机构130以联动方式将从该驱动源128向下的输出轴129和上述螺杆体127连接;螺母体131,该螺母体131以螺纹方式与上述螺杆体127嵌合;导向机构132,该导向机构132阻止该螺母体131的自转,对其升降进行导向。另外,升降部件133与该螺母体131连接。
在上述升降部件133上,设置有旋转装置135。该旋转装置135由下述部件形成,该部件包括支承部件136,该支承部件136与升降部件133连接;垂直的旋转轴体138,该旋转轴体138通过轴承137,支承于该支承部件136上;驱动源(电动机等)139,该驱动源139设置于支承部件136上,其可正反向驱动;皮带,链条等的传动机构141,该传动机构141以联动方式将上述驱动源139的向上的输出轴140和上述旋转轴体138连接。上述旋转轴体138穿过开设于主体112的顶板部上的长孔状开口部,朝向主体112的顶侧突出,水平板状的支承台142与其顶端连接。在该支承台142上,在周边1个~多个部位(在图示实例中,为3个部位),立设有定位销142a。
此外,在主体112的顶板部上的内端部分,立设有多个(在图示实例中,为3个)带支座的定位销143,该定位销143以定位方式将货物支承在上述主体112中的顶板部上的规定高度。通过由上述标号112~145表示的部件,形成入库机构111a,出库机构111b,但是,该入库机构111a,出库机构111b不限于上述的方案。
在上述出库机构111b的外端部的横侧方,连接有贮存机构151。即,在出库机构111b的主体112的外端部,沿直角横向设置有箱框状的主体152,在该主体152的自由端部分(远离出库机构111b的主体112的一侧的端部)上,设置有临时接纳体153。该临时接纳体153呈板状,其围绕允许后面将要描述的支承台174的进入和升降的升降作用部154,在升降作用部154的周边1个~多个部位(在图示的实例中,为3个部位),立设有定位销155。
在上述主体152内部,设置有移动部件157,该移动部件157由导轨156支承导向,可沿与入出库方向相垂直的方向移动;驱动装置158,该驱动装置158使该移动部件157往返移动。该驱动装置158与上述驱动装置118相同,其由驱动源159、输出轴160、同步滑轮161、导向滑轮162、同步皮带163等形成。另外,该同步皮带163的两端通过托架164,固定于上述主体152上。
在上述移动部件157上,设置有升降装置165。该升降装置165与上述升降装置125相同,其由轴承166、螺杆体167、驱动源168、输出轴169、传动机构170、螺母体171、导向机构172形成,支承台174通过部件173和垂直的轴体,连接于螺母体171上。该支承台174呈板状,其按照可相对上述临时接纳体113,153的升降作用部114,154,实现进入和升降的方式形成,在周边1~多个部位(在图示的实例中,为3个部位),立设有定位销174a。通过由上述标号152~174表示的部件,形成贮存机构151,但是该贮存机构151不限于该方案。
另外,在本实施例中,在作为货物而处理的盒(接纳被处理物)7的底面,允许定位销35,82,106,115,142a,143,155,174a(在图示的实例中,为3个)的嵌合的嵌合部8按照下述方式,呈长孔形状形成,该方式为:位于各部位的交接时的内侧的定位销与位于外侧的定位销可同时嵌合。
如图1~图3所示,上述货物保管设备10(由围壁体11形成的货物保管室17)按照与洁净室5的外方邻接的方式设置,以便围壁体11的外板13,14的一部分同时用作形成洁净室5的隔壁体180的一部分,从货物保管室17突出的入库机构111a和出库机构111b的外端部分(货物移动装载部148)位于洁净室5内。
在上述洁净室5中,比如,在天花板1一侧,设置有净化空气吹出部3,在地面2侧,设置有空气吸引用的格栅地板(多孔板)4,从净化空气吹出部3送入的净化空气A在室内向下流动,通过格栅地板4,以吸引方式排到室外,由此,洁净室5内的气氛保持清洁状态。
在上述洁净室5的内部,设置有货物传送机构181,该货物传送机构181进行其与货物保管设备10之间的盒7的交接。该货物传送机构181由下述部件形成,该部件包括天花板侧的导轨装置182;悬吊式的行走体183,该行走体183由该导轨装置182支承导向,进行自动行走;货物保持部184,该货物保持部184设置于该行走体183的底部。在货物保持部184上,以可升降的方式设置有货物起吊装置185。另外,货物传送机构181的传送通路186按照通过上述入库机构111a和出库机构111b的外端部分(货物移动装载部148)的上方的方式形成。
此外,如图2所示,设置有顶部传送机构191,该顶部传送机构191通过上述货物保管设备10中的围壁体11的外侧。该顶部传送机构191由下述部件形成,该部件包括天花板侧的导轨装置192;行走体193,该行走体193由该导轨装置192支承导向,自动行走;货物支承部194,该货物支承部194设置于该行走体193的顶侧。货物支承部194包括比如,通过在水平方向上可进出的货物支撑台抄起货物等的移动装载机构。
在上述围壁体11的顶部外板14上,在与旋转货架21邻接的位置,形成有货物通过部(开口)195,该货物通过部195用于在与上述顶部传送机构191之间,进行盒7的交接,该货物通过部195按照下述方式形成,该方式为:可通过使停止于与该货物通过部195邻接的位置的行走体193的货物支承部194所具有的移动装载机构动作,在该行走体193上的货物支承部194与旋转货架21中的规定标高(与上述货物通过部195邻接的标高)的货物接纳部组内的任意的货物接纳部32之间,可通过上述货物接纳部195,对盒7进行交接操作。
此外,也可在货物通过部195上,设置比如,通过在水平方向上可进出的货物支撑台抄起货物形式等的移动装载机构,该机构在上述行走体193的货物支承部194,旋转货架21中的货物接纳部32之间,对盒7进行交接操作,以便代替在行走体193中的货物支承部194上,设置移动装载机构。显然,可根据需要,设置上述顶部传送机构191,如果不需要,可将其省略。
下面对上述方案的第1实施例的使用方法进行描述。
在将通过洁净室5中进行处理的盒7入库到货物保管设备10中,进行保管的场合,将入库对象的盒7,装载于入库机构111a的外端部(货物移动装载部148)。即,通过货物传送机构181,如图11中的符号E所示,按照下述方式将入库对象的盒7装载于入库机构111a中的临时接纳体113上,该方式为:临时接纳体113上的定位销115与其底面的嵌合部8的外端侧嵌合。此时,盒7侧的嵌合部8的内端侧在临时接纳部113的内侧(升降作用部114内)露出。使在下降限制位置,处于正姿势的支承台142在临时接纳体113的升降作用部114的底侧进行等待备用。
接着,使升降装置125的驱动源128动作,通过传动机构130,使螺杆体127旋转,使螺母体131上升。其结果是,通过升降部件133,旋转装置135上升,通过轴体138,支承台142上升,因此,该支承台142在上方通过临时接纳体113的升降作用部114,如图12中的假想线所示,将临时接纳体113上的盒7上抬。此时,支承台142上的定位销142a与盒7侧的嵌合部8的内端侧嵌合。
然后,使驱动装置118的驱动源119动作,使绕有位置固定的同步皮带123的同步滑轮121旋转驱动,由此,沿导轨116,使移动体117朝向入库机构111a的内端侧移动。此时,通过升降装置125、旋转装置135、支承台142也移动,该支承台142所支承的盒7通过入库用贯通部110a,送入到货物保管室17内。接着,如图11中的符号F,图12中的实线所示,如果盒7(支承台142)到达入库机构111a的内端侧规定位置,则使驱动装置118的驱动源119停止,如图9所示,使盒7停止于形成于固定货架101的底部的空间部分107内的规定位置。
此后,使旋转装置135的驱动源139动作,通过传动机构141,使轴体138旋转,由此,如图11中的符号G,图12中的实线所示,通过支承台142,将盒7的方向变为规定方向,即,变为与通过正上方的固定货架101中的货物支承部103支承的盒7的方向相同的方向。
然后,按照相反方向使升降装置125中的驱动源128动作,使螺杆127反向地旋转,使螺母体131下降,由此,使升降部件133,旋转装置135,轴体138,以及支承台142成一体下降。该下降的支承台142通过带支座的定位销143的内侧,到达下降限制位置,但是在此期间,上述支承台142所支承的盒7的嵌合部8(从支承台142向外侧露出的部分)与带支座的定位销143嵌合,该盒7停止于主体112的天花板部上的规定高度,仅仅支承台142与盒7的底面离开,下降到下降限制位置。
如果上述盒7的下降行程结束,则沿反向使旋转装置135的驱动源139动作,使轴体138沿反向旋转,由此,将支承台142的反向变为正姿势。接着,沿反向使驱动装置118的驱动源119动作,沿反向,使同步滑轮121旋转驱动,由此,将移动体117,升降装置125,旋转装置135,以及支承台142成整体移动到入库机构111a的外端部(货物移动装载部148),使在下降限制位置,处于正姿势的支承台142恢复到临时接纳体113的升降作用部114的底侧等待位置,由此,一系列的盒送入行程结束。
如上所述,接着,在入库机构111a的内端部,支承于带支座的定位销143中的支座部的盒7通过移动装载机构51接收,但是,此时的移动装载机构51如图6的实线所示,处于空的移动装载作用部81退入旋转体70上的区域内的状态,根据需要,适当地对该空的移动装载作用部81,同时进行借助旋转体70的旋转和借助升降部60的升降,或这两个动作中的任何一个动作,由此,将其移动到相对入库机构111a的内端部的盒接收位置。
即,当使移动装载机构51中的移动装载作用部81旋转时,启动旋转驱动机构73中的旋转驱动源74,通过驱动轴75,驱动轮体76,同步皮带78,从动轮体77,以及纵轴71,使旋转体70旋转,由此,可使该旋转体70上的移动装载作用部81,绕移动装载轴心52,沿正反的任何反向,旋转所需角度。
还有,当使移动装载作用部81升降时,启动升降驱动机构61中的旋转驱动源66,通过驱动轴68和驱动轮体62,使同步皮带64转动,通过被导向体59,使升降部60沿升降用导轨56升降移动,由此,可使该升降部60上的移动装载作用部81升降。
如上所述,如果根据需要,适当地进行移动装载作用部81的旋转与升降这两个动作,或这两个动作中的任何一个动作,由此,使空的移动装载作用部81,位于相对入库机构111a的内端部的盒接收位置(从支承于带支座的定位销143中的支座部上的盒7的底面,移动装载作用部81上的定位销82稍稍下降的标高),则接着,使该移动装载作用部81进行前进移动。即,驱动进退驱动机构90中的旋转驱动源94,通过带式联动机构93,沿送出方向,使螺杆91旋转,由此,可通过螺母体92,使移动装载作用部81前进移动。此时,移动装载作用部81通过被导向体85,由导轨84导向,可沿直线移动到图6中的假想线所示的前进限制位置。通过该移动装载作用部81的前进移动,可使该移动装载作用部81中的货物支承部,进入到在入库机构111a的内端部,支承于带支座的定位销143中的支座部上的盒7的底面下。
然后,操纵启动升降驱动机构61,使移动装载作用部81与升降部60一起稍稍上升,由此,上述移动装载作用部81将上述盒7上抬规定高度,使该盒7的嵌合部8,向上方与定位销143脱离。此时,移动装载作用部81上的定位销82与盒7的嵌合部8的内端侧嵌合。然后,使进退驱动机构90反向动作,使移动装载作用部81后退移动,由此,可将已支承的盒7牵引到旋转体70上的区域内。
之后,按照前述的方法,根据需要,适当地进行移动装载作用部81的旋转与升降这两个动作,或这两个动作中的任何一个动作,由此,可将移动装载作用部81所支承的盒7,传送到相对从4个固定货架101所具有的全部货物支承部103中选择的1个入库对象的货物支承部103的盒送入位置。相对该货物支承部103的盒送入位置,为移动装载作用部81所支承的盒7的底面稍稍高于货物支承部103侧的定位销106的标高。
接着,象前述那样,使移动装载作用部81相对旋转体70,进行前进移动,由此,将所支承的盒7送入到入库对象的货物支承部103的上方规定位置。然后,将移动装载作用部81下降规定高度,由此,将所支承的盒7装载于入库对象的货物支承部103上,使盒7的嵌合部8的外端侧与货物支承部103上的定位销106嵌合,并且使与该盒7的嵌合部8的内端侧嵌合的移动装载作用部81上的定位销82,在下方脱离之后,使移动装载作用部81后退移动到旋转体70上。由此,相对固定货架101的盒7的入库作业结束。
还有,通过入库机构111a送入到货物保管室17内的盒7也可送入到旋转货架21上。在此场合,在通过移动装载机构51中的移动装载作用部81接收在入库机构111a的内端部支承于带支座的定位销143上的盒7的作业中,可先使旋转货架21旋转,然后进行入库准备。
该旋转货架21的旋转通过下述方式进行,该方式为:使旋转货架驱动机构41中的旋转驱动部42启动,通过驱动轴43,驱动齿轮44,以及环形齿轮45,使纵轴体27沿正反向的任意反向旋转。然而,由于支承于纵轴体27上的各层的货物接纳部组绕旋转货架轴心22成整体转动,故当入库对象的1个货物接纳部32到达转动通路23上的货物交接位置P时,可使该旋转货架21的旋转停止。
此外,由于旋转货架21的旋转按照沿入库对象的货物接纳部32到达上述货物交接位置P时的旋转距离较短的方式,在最大180°的角度范围内,沿正向或反向进行,故可缩短入库准备的时间。另外,在通过移动装载机构51中的移动装载作用部81,从入库机构111a侧接收盒7的作业中,进行使旋转货架21旋转的入库准备,由此,可提高设备整体的作业效率。显然,在旋转货架21侧的入库对象的货物接纳部32从最初,位于盒交接位置P时,旋转货架21的旋转是不进行的。
如上所述,在将旋转货架21侧的入库对象的货物接纳部32调用到货物交接位置P的场合,按照与相对在先描述的固定货架101中的货物支承部103的盒7的移动装载作业相同的要领,使移动装载机构51,相对等待于交接位置P的旋转货架21侧的入库对象的货物接纳部32,实现运转,可将通过移动装载作用部81支承的盒7,如图1,图5所示,装载于旋转货架21侧的货物接纳部32上。此时,使货物接纳部32上的定位销35,与盒7的嵌合部8的外端侧嵌合。由此,将盒移动装载后的移动装载作用部81,从对盒7进行了移动装载的货物接纳部32的底侧位置,后退移动到旋转体70侧,由此,相对旋转货架21的一系列的盒入库作业结束。
通过该货物保管设备的出库作业,即,将支承于旋转货架21的出库对象的货物接纳部32上的盒7,或通过固定货架101的出库对象的货物支承部103支承的盒7,送出到出库机构111b的出库作业按照下述方式进行。
即,通过移动装载机构51中的移动装载作用部81接收旋转货架21内的保管盒7或固定货架101内的保管盒7的作业可按照在前面描述的入库作业时的相反顺序,对移动装载机构51进行操纵。即,可按照下述方式对移动装载机构51进行操纵,该方式为:在比出库对象的盒7的底面低一定高度的盒抄起标高处,使移动装载作用部81朝向该盒7的底侧前进移动后,使移动装载作用部81上升规定高度,将盒7抄起,然后,使移动装载作用部81后退移动到旋转体70上,将所支承的盒7牵引到旋转体70上。然而,如果移动装载机构51中的移动装载作用部81从旋转货架21或固定货架101接收盒7,则根据需要适当地进行该移动装载机构51中的移动装载作用部81的旋转与升降这两个动作,或该两个动作的任何一个动作,由此,将该移动装载作用部81移动到相对出库机构111b的内端部的带支座的定位销143的盒下降位置。该盒下降位置,为移动装载作用部81所支承的盒7的底面比带支座的定位销143稍高的标高。
接着,使移动装载作用部81相对旋转体70前进移动,将所支承的盒7,移动到出库机构111b的内端部的带支座的定位销143的上方的规定位置,然后,使移动装载作用部81下降规定高度,使所支承的盒7的嵌合部8的外端侧,与带支座的定位销143嵌合,将盒7支承于该带支座的定位销143的支座部上,使移动装载作用部81的定位销82,从下方与该盒7的嵌合部8脱离,在此状态,将该移动装载作用部81后退移动到旋转体70上。由此,从旋转货架21,或固定货架101,到出库机构111b的盒7的运出作业结束。
此后,按照与入库机构111a相反的顺序,使出库机构111b动作,将支承于带支座的定位销143中的支座部上的盒7,转移到出库机构111b的外端部的临时接纳体113上。即,如图11中的符号H所示,使位于支承在带支座的定位销143中的支座部上的盒7的正下方的规定位置的盒接收姿势的支承台142上升规定高度,通过该支承台142,将支承于带支座的定位销143中的支座部上的盒7上抬,使盒7的嵌合部8从上方,与带支座的定位销143脱离,并且使支承台142上的定位销142a,与该盒7的嵌合部8的内端侧嵌合。
然后,如图11中的符号I所示,在将支承台142的方向变为正姿势的过程中,在将移动体117由导轨116支承导向的同时,将其朝向出库机构111b的外端部148移动。此时,通过升降装置125、旋转装置135,支承台142也成一体移动,支承台142所支承的盒7通过出库用贯通部110b,传送到货物保管室17之外。当支承台142到达出库机构111b的外端部规定位置,停止于该位置时,该支承台142位于在出库机构111b的外端部148的临时接纳体113的正上方的规定位置。在该状态,将支承台142通过临时接纳体113的升降作用部114下降到下降限制位置,将所支承的盒7移动装载到临时接纳体113上,使该盒7的嵌合部8的外端侧,与临时接纳体113上的定位销115嵌合,并且使支承台142的定位销142a,从下方与盒7的嵌合部8脱离。于是,盒7从货物保管室17内的一系列的出库作业结束。
另外,可将上述入库作业的一部分,出库作业的一部分组合,通过移动装载机构51,将保管于固定货架101上的盒7,转移到旋转货架21内的任意的货物接纳部32上,进行保管,也可与此相反,通过移动装载机构51,将保管于旋转货架21上的盒7转移到固定货架101内的任意的货物支承部103上,进行保管。在将盒7从固定货架101转移到旋转货架21的场合,当旋转货架21侧的入库对象中的货物接纳部32不位于货物交接位置P时,在通过移动装载机构51从固定货架101中的货物支承部103上接收盒7的作业中,先使旋转货架21旋转,进行入库准备,由此,可提高设备整体的作业效率。
通过在先描述的出库作业,运出到出库机构111b的外端部的临时接纳体113上的盒7可通过贮存机构151,临时等待。即,将贮存机构151的移动部件157移动到出库机构111b侧,使位于下降限制位置的支承台174,位于临时接纳体113中的升降作用部114的底侧规定位置。接着,使支承台174上升,如图13中的假想线所示,通过支承台174,将临时接纳体113上的盒7上抬,使该支承台174上的定位销174a与盒7的嵌合部8的内端侧嵌合,并且使该盒7的嵌合部8从上方,与临时接纳体113上的定位销115脱离,然后,使移动部件157朝向自由端部侧移动,由此,如图11中的符号K,图13中的实线,以及图14所示,将盒7传送到贮存机构151的临时接纳体153的上方规定位置。
接着,使支承台174,通过临时接纳体153的升降作用部154而下降,将所支承的盒7装载于临时接纳体153侧,使该盒7中的嵌合部8的外端侧,与临时接纳体153上的定位销155嵌合,并且使支承台174上的定位销174a从下方与该盒7中的嵌合部8脱离。由此,采用贮存机构151的出库盒7的临时等待作业结束。
在以上的各项作业中,盒7中的嵌合部8经常与定位销35,82,106,115,142a,143,155,174a的任何一个嵌合,由此,可防止由于盒旋转中的离心力等的作用,盒7的位置发生偏离,盒脱落的情况。
如上所述,通过出库机构111b,运出到洁净室5内的货物移动装载部148中的盒7,或通过贮存机构151的临时接纳体153贮存的盒7可通过在盒7入库作业时已采用的货物传送机构181,运送到所需的场所。即,使货物传送机构181的行走体183在传送通路186上移动,使其停止于盒7的上方,该盒7支承于出库机构111b的临时接纳体113(货物移动装载部148)或贮存机构151的临时接纳体153上。
然后,使货物起吊装置185下降,通过该起吊装置185,夹持上述盒7,然后,使该起吊装置185上升,将盒7吊起,通过行走体183的货物保持部184,保持该盒7。在该状态,将行走体183移动到传送通路186上,由此,可将出库盒7传送到所需场所。
下面根据图15,图16,对本发明的第2~第6的各实施例进行描述。
图15(a)表示第2实施例,其由下述部件形成,该部件包括并列设置的2个旋转货架21;1个移动装载机构51,该移动装载机构51设置于该旋转货架的中间位置;1个(也可为多个)的固定货架101,其设置于该移动装载机构51的周围,2个旋转货架21中的各旋转货架轴心22与移动装载机构51的移动装载轴心52在俯视时,设置于1条线109上。另外,入库机构111a与出库机构111b在俯视时,按照下述方式设置,该方式为:在其内端部与其中一个旋转货架21重合的状态(进入到形成于其中一个旋转货架21的底部的空间部分的状态),相应的入出库方向145与上述线109保持平行。在本实施例中,在各旋转货架21中,设置有与中间的1个移动装载机构51之间的货物交接位置P。
图15(b)表示第3实施例,其为上述第2实施例的变换实例,在俯视时,将移动装载机构51靠近一侧设置,以便使两个旋转货架21的旋转货架轴心22与中间位置的移动装载机构51的移动装载轴心52之间的连线109在移动装载轴心52的位置弯曲。另外,多个固定货架101设置于移动装载机构51的周围(在图示实例中,为2台)。
图15(c)表示表示第4实施例,其采用下述方案,其中,在图15(a)所示的第2实施例的移动装载机构51的横侧方,添加有1个旋转货架21。设置有多个在移动装载机构51的周围的固定货架101(在图示的实例中,为2个)。在本实施例中,在3个旋转货架21的每个中,设置有与中间的1个移动装载机构51之间的货物交接位置P。
如上述第2实施例,第3实施例,以及第4实施例所示,当在旋转货架21上同时设置有入库机构111a和出库机构111b时,在入库机构111a,或出库机构111b与移动装载机构51之间,不能够直接进行货物(盒7)的交接,由此,按照下述方式形成的方案是必要的,该方式为:在旋转货架21中的货物接纳部32内,单独地设置在处于与入库机构111a,或出库机构111b相同标高的特定层的货物接纳部32与上述入库机构111a或出库机构111b之间,进行货物(盒7)交接的专用的移动装载机构,通过位于该旋转货架21的特定层的货物接纳部32,在上述入库机构111a或出库机构111b与移动装载机构51之间,可对货物(盒7)进行交接处理。
图16(a)表示第5实施例,其中,并列设置有2个移动装载机构51,在该2个移动装载机构51的中间横侧方,设置有1个旋转货架21,在各移动装载机构51的周围,分别设置有多个固定货架101。另外,入库机构111a与出库机构111b在俯视时,按照下述方式设置,该方式为:在其内端部与其中一个移动装载机构51的周围的2个固定货架101重合的状态(进入到形成于各固定货架101的底部的空间部分的状态),相应的入出库方向145与连接两个移动装载机构51的移动装载轴心52的方向保持平行。在本实施例中,在1个旋转货架21上,设置有与2个中的每个移动装载机构51之间的货物交接位置P。
图16(b)表示第6实施例,其中,在第1实施例中的移动装载机构51的横侧方,设置第2旋转货架21,并且在第1实施例中的旋转货架21的横侧方,按照与上述第2旋转货架21相邻接的方式,设置上述第2移动装载机构51。在各移动装载机构51的周围,分别设置有多个固定货架101。在本实施例中,可设置和与各旋转货架21邻接的2个中的每个移动装载机构51之间的货物交接位置P。
在在先已具体描述的第1实施例中,不使支承移动装载作用部81的升降部60旋转,支承于该升降部60上,并且以可进退移动的方式支承移动装载作用部81的旋转体70按照可绕移动装载轴心52旋转的方式形成,但是也可按照下述方式形成,该方式为:整个移动装载机构51通过比如,借助轴以可绕垂直轴心旋转的方式支承支柱55的基座等的方式,绕移动装载轴心52旋转。
另外,作为移动装载机构51中的移动装载作用部81,给出了支承盒7的底面的形式,但是,也可为夹持盒7将其吊起的形式的移动装载作用部81,也可以为与从盒7的侧部或顶部突出的被止动部接合的移动装载作用部81。
此外,根据可确保的空间,设置于移动装载机构51的周围的固定货架101的数量,可设置1~多个的任意的数量。
还有,旋转货架21按照可沿正反向的任何方向,在最大180°的角度范围内旋转的方式形成,但是也可为能够在沿正反向的任何方向,在大于180°的角度范围内旋转的形式,可仅仅沿1个方向旋转的形式。
再有,最好,入库机构111a和出库机构111b,针对不同的2个固定货架101而同时设置,但是,在象第1实施例那样,固定货架101为3个以上的场合,作为同时设有入库机构111a和出库机构111b的固定货架101,也可选择位于任意位置的固定货架101。另外,入库机构111a和出库机构111b不限于1个,根据需要,可分别同时设置多个,还可与固定货架101的数量无关,同时在1个固定货架101上,同时设置入库机构111a和出库机构111b这两者。此外,也可采用同时用作入库机构111a和出库机构111b的1个入出库机构。显然,象在先描述的那样,如果单独设置专用的移动装载机构,则也可在旋转货架21上,设置入库机构111a和出库机构111b。另外,在同时设置入出库机构的场合,在俯视时,也可在与旋转货架22,固定货架101离开的位置,在与移动装载机构51中的移动装载作用部81之间,可进行货物交接的位置同时设置该机构。
入库机构111a,出库机构111b的方案不限于上述的实施例。比如,也可采用利用辊式输送机的形式,可升降的带式传送器的形式等。
在上述的实施例中,在出库机构111b上,同时设置有贮存机构151,但是也可在入库机构111a侧设置贮存机构,如果不需要,可省略该贮存机构151。
在上述的实施例中,入库机构111a和出库机构111b按照其入出库方向145相互平行的方式形成。如果采用该方案,在该入库机构111a和出库机构111b的内端侧(与移动装载机构51之间的交接侧),必须要求下述机构,该机构将货物(盒7)变为朝向移动装载机构51的移动装载轴心52的姿势与朝向入出库方向的姿势,但是,也可按照从移动装载机构51的移动装载轴心52看呈辐射状的方式,设置入库机构111a和出库机构111b。另外,在俯视时,按照在与固定货架101、旋转货架21内部重合的方式,形成入库机构111a、出库机构111b的内端侧的场合,最好,象也在实施例中给出的那样,从货物保管用空间,去除固定货架101、旋转货架21的底部多层,形成空间,在该空间内,设置入库机构111a,出库机构111b的内端部,但是,该空间也形成于固定货架101、旋转货架21的中间高度部分、顶端侧。
在上述的实施例中,将旋转货架21、移动装载机构51、以及固定货架101设置于由围壁体11形成的货物保管室17内,入库机构111a和出库机构111b按照在货物保管室17内和其外侧的洁净室5内之间对货物(盒7)进行进出库操作的方式设置,但是也可按照下述方式形成,该方式为:将净化空气A供给到由围壁体11形成的货物保管室17内,将该货物保管室17内部保持在清洁气氛中,还可省略由围壁体11形成的货物保管室17,将由旋转货架21、移动装载机构51、以及固定货架101形成的货物保管设备直接设置于洁净室5内部。
另外,在上述的实施例中,由于形成货物保管室17的围壁体11的外板13,14同时用作洁净室5的隔壁体180,故整体的材料使用量减少,可以较低的价格形成,并且可形成相互增强的结构。但是,也可分别单独地设置形成洁净室5的隔壁体180和形成货物保管室17的围壁体11的外板13,14。在此场合,也可在形成洁净室5的隔壁体180上,形成货物进出库用开口部。
此外,在上述的实施例中,为了相对货物保管设备10,进行盒7的交接,在天花板侧,同时设置自动行走的货物传送机构181,但是作为货物传送机构,也可为设置于地板侧的各种传送器,比如,在地板面上自动行走的台车式传送器,还可为在地板侧通过手推操作的台车等。显然,也可省略这样的货物传送机构,在洁净室5内,通过人手在入库机构111a、出库机构111b之间,进行盒7的交接。
还有,作为货物的一个实例,例举了接纳物品的容器状的盒7,但是也可为运送用的托板等,其它的任何的形式的货物。
Claims (9)
1.一种货物保管设备,其特征在于该货物保管设备由旋转货架、移动装载机构、固定货架、以及入出库机构形成,该旋转货架包括可绕垂直轴心旋转的上下多层的货物接纳部组,各层的货物接纳部组由沿其旋转周向设置的多个货物接纳部形成,上述移动装载机构并列设置于上述旋转货架中,其包括可绕垂直轴心旋转并且可升降的移动装载作用部,上述固定货架设置于上述移动装载机构的周围,其包括上下多层的货物支承部,上述入出库机构在俯视时,按照与上述固定货架或旋转货架重合的方式设置,上述移动装载机构中的移动装载作用部按照下述方式形成,该方式为:通过上述移动装载作用部的旋转升降动作,与上述旋转货架中的任意的货物接纳部之间、与上述固定货架中的任意的货物支承部之间、与上述入出库机构之间进行货物交接操作。
2.根据权利要求1所述的货物保管设备,其特征在于上述入出库机构在俯视时,按照与上述固定货架重合的方式设置,上述移动装载机构中的移动装载作用部按照与上述入出库机构之间直接进行货物交接的方式构成。
3.根据权利要求2所述的货物保管设备,其特征在于在相对上述旋转货架并列设置的移动装载机构的周围,至少设置有2个上述的固定货架,且这些固定货架分开设置在上述旋转货架的旋转轴心和移动装载机构中的移动装载作用部的旋转轴心的连线的左右两侧,在该左右两侧的2个固定货架的相应货架中,分为入库用和出库用的上述入出库机构按照下述方式并列地设置,该方式为:在俯视时,与各固定货架重合,并且其入出库方向与上述旋转货架的旋转轴心和移动装载机构中的移动装载作用部的旋转轴心的连线保持平行。
4.根据权利要求3所述的货物保管设备,其特征在于上述入出库机构包括在其内外两端之间移动的货物支承台和旋转装置,当货物支承台位于与固定货架重合的内端时,该旋转装置按照将由该货物支承台支承的货物的姿势转换为由上述移动装载机构中的移动装载作用部进行交接时的交接姿势的方式进行旋转。
5.根据权利要求1所述的货物保管设备,其特征在于上述移动装载机构由下述部件形成,该部件包括相对位置固定的支柱实现升降的升降部;旋转体,该旋转体支承于该升降部上,并且绕垂直轴心旋转;移动装载作用部,该移动装载作用部支承于该旋转体上,并且沿相对该旋转体的旋转轴心的半径方向进退移动,该移动装载机构按照下述方式形成,该方式为:通过该移动装载作用部的进退移动和升降,与上述旋转货架中的货物接纳部和固定货架中的货物支承部之间,进行货物交接操作。
6.根据权利要求5所述的货物保管设备,其特征在于上述移动装载机构中的移动装载作用部由支承货物的底面的板状体形成,上述旋转货架中的货物接纳部和固定货架中的货物支承部由具有允许前进状态的移动装载作用部的升降的凹部的板状体形成,在上述移动装载作用部、上述旋转货架中的货物接纳部、以及固定货架中的货物支承部上,分别立设有定位销,在货物的底面,设置有嵌合部,该嵌合部可嵌合上述移动装载作用部上的定位销、上述旋转货架中的货物接纳部上的定位销、以及固定货架中的货物支承部上的定位销。
7.根据权利要求6所述的货物保管设备,其特征在于上述移动装载作用部上的定位销,立设于该移动装载作用部的周边,上述旋转货架中的货物接纳部上的定位销和固定货架中的货物支承部上的定位销,立设于下述位置,该位置指在上述移动装载作用部位于这些货物接纳部中的凹部或货物支承部中的凹部内时与移动装载作用部上的定位销相邻接的位置,货物的底面的嵌合部呈长孔状,该长孔可同时嵌合移动装载作用部上的定位销,以及旋转货架中的货物接纳部上的定位销,或固定货架中的货物支承部上的定位销。
8.根据权利要求7所述的货物保管设备,其特征在于上述旋转货架中的货物接纳部和固定货架中的货物支承部,由包括立设于其上的定位销的、同一形状的板状体构成。
9.根据权利要求1所述的货物保管设备,其特征在于上述旋转货架,移动装载机构,以及固定货架设置于由围壁体形成的货物保管室内,入出库机构在该货物保管室内与外面的洁净室内之间传送货物。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102167209A (zh) * | 2011-03-21 | 2011-08-31 | 王惠云 | 物品仓储实时管理系统 |
CN104909101A (zh) * | 2014-03-11 | 2015-09-16 | 株式会社大福 | 容器运送设备 |
Families Citing this family (321)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW522127B (en) * | 2001-02-21 | 2003-03-01 | Daifuku Kk | Cargo storage facility |
JP3832293B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2006-10-11 | 株式会社ダイフク | 荷保管設備 |
JP3832292B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2006-10-11 | 株式会社ダイフク | 荷保管設備 |
TWI290901B (en) * | 2003-06-23 | 2007-12-11 | Au Optronics Corp | Warehousing conveyor system |
KR100701220B1 (ko) * | 2004-11-15 | 2007-03-29 | 한국정보통신대학교 산학협력단 | 인포하이브 정보전달 및 디스플레이 장치 |
US7510067B2 (en) * | 2005-07-14 | 2009-03-31 | Easom Automation Systems, Inc. | Low profile turntable assembly |
JP5062485B2 (ja) * | 2008-04-09 | 2012-10-31 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US10378106B2 (en) | 2008-11-14 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming insulation film by modified PEALD |
JP5131558B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2013-01-30 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
CN101628663B (zh) * | 2009-08-13 | 2011-12-14 | 北京清大天达光电科技有限公司 | 一种重载工件的回转传送装置 |
US8802201B2 (en) | 2009-08-14 | 2014-08-12 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species |
US8759084B2 (en) | 2010-01-22 | 2014-06-24 | Michael J. Nichols | Self-sterilizing automated incubator |
JP5370775B2 (ja) * | 2010-02-01 | 2013-12-18 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
US8899903B1 (en) * | 2010-05-18 | 2014-12-02 | The Boeing Company | Vehicle base station |
CN102114961B (zh) * | 2010-12-31 | 2012-12-12 | 苏州艾隆科技有限公司 | 旋转式自动上药机 |
US9312155B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-04-12 | Asm Japan K.K. | High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules |
US10364496B2 (en) | 2011-06-27 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Dual section module having shared and unshared mass flow controllers |
US10854498B2 (en) | 2011-07-15 | 2020-12-01 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer-supporting device and method for producing same |
US20130023129A1 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Asm America, Inc. | Pressure transmitter for a semiconductor processing environment |
US9017481B1 (en) | 2011-10-28 | 2015-04-28 | Asm America, Inc. | Process feed management for semiconductor substrate processing |
US9659799B2 (en) | 2012-08-28 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Systems and methods for dynamic semiconductor process scheduling |
US10714315B2 (en) | 2012-10-12 | 2020-07-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Semiconductor reaction chamber showerhead |
US20160376700A1 (en) | 2013-02-01 | 2016-12-29 | Asm Ip Holding B.V. | System for treatment of deposition reactor |
US9589770B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-03-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species |
US9484191B2 (en) | 2013-03-08 | 2016-11-01 | Asm Ip Holding B.V. | Pulsed remote plasma method and system |
US9240412B2 (en) | 2013-09-27 | 2016-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor structure and device and methods of forming same using selective epitaxial process |
US10683571B2 (en) | 2014-02-25 | 2020-06-16 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same |
US10167557B2 (en) | 2014-03-18 | 2019-01-01 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same |
US11015245B2 (en) | 2014-03-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof |
US10858737B2 (en) | 2014-07-28 | 2020-12-08 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead assembly and components thereof |
US9890456B2 (en) | 2014-08-21 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system for in situ formation of gas-phase compounds |
JP6315098B2 (ja) * | 2014-08-26 | 2018-04-25 | 村田機械株式会社 | 仕分けシステムと仕分け方法 |
US9657845B2 (en) | 2014-10-07 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Variable conductance gas distribution apparatus and method |
US10941490B2 (en) | 2014-10-07 | 2021-03-09 | Asm Ip Holding B.V. | Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same |
CN104370046B (zh) * | 2014-11-11 | 2017-02-01 | 厦门积硕科技股份有限公司 | 一种样品存储查取方法及装置 |
KR102263121B1 (ko) | 2014-12-22 | 2021-06-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
US10529542B2 (en) | 2015-03-11 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Cross-flow reactor and method |
US10276355B2 (en) | 2015-03-12 | 2019-04-30 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same |
JP6332133B2 (ja) | 2015-05-14 | 2018-05-30 | 株式会社ダイフク | 容器搬送設備 |
US10458018B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-10-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same |
US10600673B2 (en) | 2015-07-07 | 2020-03-24 | Asm Ip Holding B.V. | Magnetic susceptor to baseplate seal |
US9960072B2 (en) | 2015-09-29 | 2018-05-01 | Asm Ip Holding B.V. | Variable adjustment for precise matching of multiple chamber cavity housings |
US10211308B2 (en) | 2015-10-21 | 2019-02-19 | Asm Ip Holding B.V. | NbMC layers |
US10322384B2 (en) | 2015-11-09 | 2019-06-18 | Asm Ip Holding B.V. | Counter flow mixer for process chamber |
US11139308B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices |
US10529554B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-01-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
US10468251B2 (en) | 2016-02-19 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming spacers using silicon nitride film for spacer-defined multiple patterning |
US10501866B2 (en) | 2016-03-09 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution apparatus for improved film uniformity in an epitaxial system |
US10343920B2 (en) | 2016-03-18 | 2019-07-09 | Asm Ip Holding B.V. | Aligned carbon nanotubes |
US9892913B2 (en) | 2016-03-24 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Radial and thickness control via biased multi-port injection settings |
US10190213B2 (en) | 2016-04-21 | 2019-01-29 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
US10865475B2 (en) | 2016-04-21 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides and silicides |
US10032628B2 (en) | 2016-05-02 | 2018-07-24 | Asm Ip Holding B.V. | Source/drain performance through conformal solid state doping |
US10367080B2 (en) | 2016-05-02 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a germanium oxynitride film |
KR102592471B1 (ko) | 2016-05-17 | 2023-10-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 금속 배선 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법 |
US11453943B2 (en) | 2016-05-25 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor |
US10388509B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of epitaxial layers via dislocation filtering |
US9859151B1 (en) | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Selective film deposition method to form air gaps |
US10612137B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-04-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Organic reactants for atomic layer deposition |
US10714385B2 (en) | 2016-07-19 | 2020-07-14 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of tungsten |
KR102354490B1 (ko) | 2016-07-27 | 2022-01-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
KR102532607B1 (ko) | 2016-07-28 | 2023-05-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 가공 장치 및 그 동작 방법 |
US10395919B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-08-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US9887082B1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US9812320B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-11-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
KR102613349B1 (ko) | 2016-08-25 | 2023-12-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배기 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치와 박막 제조 방법 |
CN106241170B (zh) * | 2016-09-23 | 2018-09-21 | 深圳百泰投资控股集团有限公司 | 一种珠宝类产品的仓储自动化管理方法 |
US10410943B2 (en) | 2016-10-13 | 2019-09-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method for passivating a surface of a semiconductor and related systems |
US10643826B2 (en) | 2016-10-26 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for thermally calibrating reaction chambers |
US11532757B2 (en) | 2016-10-27 | 2022-12-20 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of charge trapping layers |
US10714350B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-07-14 | ASM IP Holdings, B.V. | Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10435790B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-10-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap |
US10229833B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-03-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10643904B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures |
US10134757B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method |
KR102546317B1 (ko) | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US10340135B2 (en) | 2016-11-28 | 2019-07-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of topologically restricted plasma-enhanced cyclic deposition of silicon or metal nitride |
US10672639B2 (en) * | 2016-12-07 | 2020-06-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for automatic sending cassette pod |
KR20180068582A (ko) | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11581186B2 (en) | 2016-12-15 | 2023-02-14 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus |
US11447861B2 (en) | 2016-12-15 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure |
KR20180070971A (ko) | 2016-12-19 | 2018-06-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US10867788B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US11390950B2 (en) | 2017-01-10 | 2022-07-19 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process |
US10655221B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD |
US10468261B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10283353B2 (en) | 2017-03-29 | 2019-05-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern |
US10529563B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
KR102457289B1 (ko) | 2017-04-25 | 2022-10-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10892156B2 (en) | 2017-05-08 | 2021-01-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10446393B2 (en) | 2017-05-08 | 2019-10-15 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures |
US10504742B2 (en) | 2017-05-31 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using hydrogen plasma |
US10886123B2 (en) | 2017-06-02 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures |
US11306395B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus |
US10685834B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-06-16 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures |
KR20190009245A (ko) | 2017-07-18 | 2019-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물 |
US11018002B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US11374112B2 (en) | 2017-07-19 | 2022-06-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10541333B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10590535B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-17 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same |
US10605530B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace |
US10312055B2 (en) | 2017-07-26 | 2019-06-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing film by PEALD using negative bias |
US10770336B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate lift mechanism and reactor including same |
US10692741B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-23 | Asm Ip Holdings B.V. | Radiation shield |
US10249524B2 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly |
US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US11139191B2 (en) | 2017-08-09 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
USD900036S1 (en) | 2017-08-24 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Heater electrical connector and adapter |
US11830730B2 (en) | 2017-08-29 | 2023-11-28 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
KR102491945B1 (ko) | 2017-08-30 | 2023-01-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11056344B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method |
US11295980B2 (en) | 2017-08-30 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
KR102401446B1 (ko) | 2017-08-31 | 2022-05-24 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10607895B2 (en) | 2017-09-18 | 2020-03-31 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal |
KR102630301B1 (ko) | 2017-09-21 | 2024-01-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치 |
US10844484B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US10658205B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-05-19 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber |
US10403504B2 (en) | 2017-10-05 | 2019-09-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a metallic film on a substrate |
US10319588B2 (en) | 2017-10-10 | 2019-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition |
US10923344B2 (en) | 2017-10-30 | 2021-02-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures |
CN107840056B (zh) * | 2017-11-13 | 2020-02-04 | 英华达(上海)科技有限公司 | 仓储系统 |
US10910262B2 (en) | 2017-11-16 | 2021-02-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure |
KR102443047B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11022879B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer |
CN111344522B (zh) | 2017-11-27 | 2022-04-12 | 阿斯莫Ip控股公司 | 包括洁净迷你环境的装置 |
KR102597978B1 (ko) | 2017-11-27 | 2023-11-06 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배치 퍼니스와 함께 사용하기 위한 웨이퍼 카세트를 보관하기 위한 보관 장치 |
US10290508B1 (en) | 2017-12-05 | 2019-05-14 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning |
CN109956246A (zh) * | 2017-12-25 | 2019-07-02 | 北京京东尚科信息技术有限公司 | 缓存库、缓存装置、拣选线、立体仓库及拣选方法 |
US10872771B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-12-22 | Asm Ip Holding B. V. | Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures |
KR20200108016A (ko) | 2018-01-19 | 2020-09-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 플라즈마 보조 증착에 의해 갭 충진 층을 증착하는 방법 |
TW202325889A (zh) | 2018-01-19 | 2023-07-01 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 沈積方法 |
USD903477S1 (en) | 2018-01-24 | 2020-12-01 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal clamp |
US11018047B2 (en) | 2018-01-25 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Hybrid lift pin |
US10535516B2 (en) | 2018-02-01 | 2020-01-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures |
USD880437S1 (en) | 2018-02-01 | 2020-04-07 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus |
US11081345B2 (en) | 2018-02-06 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method of post-deposition treatment for silicon oxide film |
CN111699278B (zh) | 2018-02-14 | 2023-05-16 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环沉积工艺在衬底上沉积含钌膜的方法 |
US10896820B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10731249B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-08-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus |
US10658181B2 (en) | 2018-02-20 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication |
KR102636427B1 (ko) | 2018-02-20 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 장치 |
US10975470B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-13 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment |
US11473195B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-10-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate |
US11629406B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate |
US11114283B2 (en) | 2018-03-16 | 2021-09-07 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same |
KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
US11088002B2 (en) | 2018-03-29 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate rack and a substrate processing system and method |
US10510536B2 (en) | 2018-03-29 | 2019-12-17 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber |
US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102501472B1 (ko) | 2018-03-30 | 2023-02-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
TWI811348B (zh) | 2018-05-08 | 2023-08-11 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構 |
TW202349473A (zh) | 2018-05-11 | 2023-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構 |
KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
US11270899B2 (en) | 2018-06-04 | 2022-03-08 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer handling chamber with moisture reduction |
US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
TWI815915B (zh) | 2018-06-27 | 2023-09-21 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於形成含金屬材料及包含含金屬材料的膜及結構之循環沉積方法 |
CN112292478A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
KR20200002519A (ko) | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10767789B2 (en) | 2018-07-16 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components |
US10483099B1 (en) | 2018-07-26 | 2019-11-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming thermally stable organosilicon polymer film |
US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
US10883175B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein |
US10829852B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-11-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution device for a wafer processing apparatus |
US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR20200030162A (ko) | 2018-09-11 | 2020-03-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
US11049751B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith |
CN110970344A (zh) | 2018-10-01 | 2020-04-07 | Asm Ip控股有限公司 | 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法 |
US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
US10847365B2 (en) | 2018-10-11 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD |
US10811256B2 (en) | 2018-10-16 | 2020-10-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for etching a carbon-containing feature |
KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
USD948463S1 (en) | 2018-10-24 | 2022-04-12 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus |
US10381219B1 (en) | 2018-10-25 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film |
US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
US11031242B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
US10559458B1 (en) | 2018-11-26 | 2020-02-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming oxynitride film |
US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
TW202037745A (zh) | 2018-12-14 | 2020-10-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統 |
TW202405220A (zh) | 2019-01-17 | 2024-02-01 | 荷蘭商Asm Ip 私人控股有限公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
JP2020136678A (ja) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置 |
CN111593319B (zh) | 2019-02-20 | 2023-05-30 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于填充在衬底表面内形成的凹部的循环沉积方法和设备 |
KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
KR20200102357A (ko) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법 |
JP2020133004A (ja) | 2019-02-22 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材を処理するための基材処理装置および方法 |
US11742198B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-08-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structure including SiOCN layer and method of forming same |
KR20200108242A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체 |
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US11447864B2 (en) | 2019-04-19 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
KR20200125453A (ko) | 2019-04-24 | 2020-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
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JP2020188254A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
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USD947913S1 (en) | 2019-05-17 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
USD922229S1 (en) | 2019-06-05 | 2021-06-15 | Asm Ip Holding B.V. | Device for controlling a temperature of a gas supply unit |
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USD944946S1 (en) | 2019-06-14 | 2022-03-01 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
USD931978S1 (en) | 2019-06-27 | 2021-09-28 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead vacuum transport |
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JP7499079B2 (ja) | 2019-07-09 | 2024-06-13 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法 |
CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
KR20210010307A (ko) | 2019-07-16 | 2021-01-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
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US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
CN112242296A (zh) | 2019-07-19 | 2021-01-19 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 |
TW202113936A (zh) | 2019-07-29 | 2021-04-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法 |
CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
CN112323048B (zh) | 2019-08-05 | 2024-02-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于化学源容器的液位传感器 |
USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD965524S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-10-04 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor support |
JP2021031769A (ja) | 2019-08-21 | 2021-03-01 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 |
USD949319S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust duct |
KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
USD930782S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor |
USD940837S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-01-11 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode |
USD979506S1 (en) | 2019-08-22 | 2023-02-28 | Asm Ip Holding B.V. | Insulator |
US11286558B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film |
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US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
CN112635282A (zh) | 2019-10-08 | 2021-04-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 具有连接板的基板处理装置、基板处理方法 |
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US12009241B2 (en) | 2019-10-14 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette |
TWI834919B (zh) | 2019-10-16 | 2024-03-11 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法 |
US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
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US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
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US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
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US11450529B2 (en) | 2019-11-26 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface |
CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
JP2021090042A (ja) | 2019-12-02 | 2021-06-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 基板処理装置、基板処理方法 |
KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11885013B2 (en) | 2019-12-17 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming vanadium nitride layer and structure including the vanadium nitride layer |
KR20210080214A (ko) | 2019-12-19 | 2021-06-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
TW202140135A (zh) | 2020-01-06 | 2021-11-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氣體供應總成以及閥板總成 |
US11993847B2 (en) | 2020-01-08 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Injector |
TW202129068A (zh) | 2020-01-20 | 2021-08-01 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 形成薄膜之方法及修飾薄膜表面之方法 |
TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
TW202146882A (zh) | 2020-02-04 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統 |
US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
TW202146715A (zh) | 2020-02-17 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於生長磷摻雜矽層之方法及其系統 |
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CN113394086A (zh) | 2020-03-12 | 2021-09-14 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法 |
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US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
US11996289B2 (en) | 2020-04-16 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods |
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KR20210141379A (ko) | 2020-05-13 | 2021-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구 |
KR20210143653A (ko) | 2020-05-19 | 2021-11-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210145078A (ko) | 2020-05-21 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법 |
KR20210145080A (ko) | 2020-05-22 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치 |
TWI779341B (zh) * | 2020-05-29 | 2022-10-01 | 盟立自動化股份有限公司 | 儲料設備 |
TW202201602A (zh) | 2020-05-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
CN212402323U (zh) * | 2020-05-29 | 2021-01-26 | 盟立自动化股份有限公司 | 储料设备 |
TW202218133A (zh) | 2020-06-24 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含矽層之方法 |
TW202217953A (zh) | 2020-06-30 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
KR20220006455A (ko) | 2020-07-08 | 2022-01-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
KR20220010438A (ko) | 2020-07-17 | 2022-01-25 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법 |
TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
US11725280B2 (en) | 2020-08-26 | 2023-08-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming metal silicon oxide and metal silicon oxynitride layers |
USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
US12009224B2 (en) | 2020-09-29 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for etching metal nitrides |
TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
TW202217037A (zh) | 2020-10-22 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成 |
TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
KR20220076343A (ko) | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터 |
US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2873020A (en) * | 1956-11-19 | 1959-02-10 | Joseph Lamb Company F | Storage and delivery apparatus |
US3700121A (en) * | 1971-02-22 | 1972-10-24 | Baker Perkins Inc | Rack loading and unloading apparatus |
IT1233253B (it) * | 1983-05-31 | 1992-03-24 | Lowing Michael Manning | Struttura rotante per l'immagazzinamento di merci ed articoli vari |
KR930002562B1 (ko) * | 1986-11-20 | 1993-04-03 | 시미즈 겐세쯔 가부시끼가이샤 | 클린룸내에서 사용되는 방진저장 캐비넷장치 |
KR970003835B1 (en) * | 1993-10-06 | 1997-03-22 | Lg Semicon Co Ltd | Manufacture of mos transistor of semiconductor device |
DE9414323U1 (de) * | 1994-09-03 | 1994-11-10 | Groninger & Co Gmbh, 74564 Crailsheim | Transporteinrichtung für längliche Gegenstände |
JPH09317247A (ja) * | 1996-05-25 | 1997-12-09 | Fujitac:Kk | 霊廟礼拝堂装置 |
NL1008143C2 (nl) * | 1998-01-27 | 1999-07-28 | Asm Int | Stelsel voor het behandelen van wafers. |
JP3832293B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2006-10-11 | 株式会社ダイフク | 荷保管設備 |
-
2001
- 2001-08-31 JP JP2001262584A patent/JP3832293B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-08-17 KR KR10-2002-0048661A patent/KR100518406B1/ko active IP Right Grant
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102167209A (zh) * | 2011-03-21 | 2011-08-31 | 王惠云 | 物品仓储实时管理系统 |
CN102167209B (zh) * | 2011-03-21 | 2014-10-29 | 王惠云 | 物品仓储实时管理系统 |
CN104909101A (zh) * | 2014-03-11 | 2015-09-16 | 株式会社大福 | 容器运送设备 |
Also Published As
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