JPH07117813A - マガジンラック供給取出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 マガジンラックに収納された基板を後工程へ
自動供給するためのマガジンラック供給取出装置に関
し、ラック交換時間の短縮と基板供給精度の向上を図る
ことを目的とする。 【構成】 循環式の間欠昇降部３にラック保持部１０を
設けたエレベータ部２と、エレベータ部２の側部の最下
段部に対応する位置にラック搬入コンベア３０を、最上
段部に対応する位置にラック搬出コンベア５０を配置し
た構成とすることにより、ラック１のエレベータ部２へ
の搬入と搬出を同時に行うことが可能になり、ラック交
換時間を大幅に短縮することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はマガジンラックに収納さ
れたプリント基板を後工程へ自動供給したり、もしくは
前工程のプリント基板をマガジンラックに自動収納した
りする際に使用されるマガジンラック供給取出装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板（以下、基板と呼ぶ）の運
搬、保管及び保護のために、基板を収納するための溝を
一定間隔に設けたマガジンラック（以下、ラックと呼
ぶ）が多く利用されている。

【０００３】上記ラックに基板を供給または収納するた
めに使用される従来のマガジンラック供給取出装置につ
いて以下に図面を用いて説明する。

【０００４】図１６は従来の代表的なマガジンラック供
給取出装置を示す正面図、図１７は図１６のＫ断面にお
ける断面図、図１８は同装置の動作を示すフローチャー
トである。

【０００５】図１６，図１７においてマガジンラック供
給取出装置はフレーム１０２に固定されたシリンダ１０
３と連結され支点Ｊで揺動できるクランプレバー１０４
と、モータ１０６に取り付けたプーリ１１８、ベルト１
１９にて駆動されるプーリ１０７、ベルト１０８を備え
たラック保持部１０１と、一端に検出円盤１１０と、モ
ータ１１１を取り付けたボールネジ１１２と、検出円盤
１１０を検出するセンサ１１３と、ラック保持部１０１
をガイドしているスライド軸１０９を備えた駆動部１０
５から成るエレベータ部１００と、エレベータ部１００
の最下点に対応する位置に配置したラック搬入コンベア
１１４と、エレベータ部１００の最上点に対応する位置
に配置したラック搬出コンベア１１５と、ラック搬出コ
ンベア１１５の下面で基板８０を次工程へ排出する位置
に固定したシリンダ１１６により構成されている。

【０００６】上記のように構成された従来のマガジンラ
ック供給取出装置について図１８のフローチャートを参
照しながらその動作を説明する。

【０００７】まず、ラック保持部１０１のラック１に収
納された最終の基板８０がシリンダ１１６にて前工程に
排出されると、ラック保持部１０１はボールネジ１１２
の回転によりエレベータ１００の最上点部にあるラック
搬出コンベア１１５に対応した位置まで上昇し、ラック
保持部１０１のクランプレバー１０４が解除されてベル
ト１０８により空になったラック１をラック搬出コンベ
ア１１５へ搬出する。

【０００８】ラック１の搬出が完了するとラック保持部
１０１は最下点部のラック搬入コンベア１１４に対応す
る位置まで降下し、ラック搬入コンベア１１４上に待機
している基板８０を収納したラック１をラック保持部１
０１に搬入し、ラック１が搬入されるとシリンダ１０３
が駆動してクランプレバー１０４にてラック１の下部側
面を挟持する。

【０００９】搬入が完了するとラック１の最初の基板８
０が次工程へ排出できる高さまで上昇し、シリンダ１１
６により基板８０を排出すると次の基板８０が排出され
るまで上昇、排出を繰り返す。

【００１０】なお、ラック保持部１０１が昇降するため
のボールネジ１１２の回転数は検出円盤１１０とセンサ
１１３により検知している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成ではラック１に収納された基板８０を全て排出し
た後、ラック１を交換するためにラック保持部１０１が
エレベータ部１００の最上点に対応する位置にあるラッ
ク搬出コンベア１１５まで上昇してラック１を搬出した
後、最下段に対応する位置にあるラック搬入コンベア１
１４まで降下してラック１を搬入後、再度ラック１に収
納された最初の基板８０の排出位置まで上昇した後基板
８０を排出するまでの所要時間が長く、その間次工程が
毎回基板待ち状態になるものであった。

【００１２】このため従来のマガジンラック供給取出装
置では基板待ち状態にならないようにできる限り昇降速
度を速くしているが、昇降速度が速くなるほど停止精度
が悪くなるという問題点があった。

【００１３】さらにラック１の下端をクランプレバー１
０４により位置決めするので、ラック１に変形等があっ
た場合、クランプ位置より遠い位置に収納された基板８
０になるにつれて基板排出の信頼性が悪くなるという問
題があった。

【００１４】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
でラック交換時間の短縮と、基板排出または収納位置精
度を向上し、基板移載の信頼性が高いマガジンラック供
給取出装置を提供することを目的とするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明によるマガジンラック供給取出装置は、対向し
て一対で配置され上下方向に間欠的に循環する環状経路
を形成した昇降部と、この昇降部の下部に連結されて複
数の基板を収納したマガジンラックを上記昇降部に搬入
するラック搬入コンベアと、同じく昇降部の上部に連結
されて昇降部からマガジンラックを搬出するラック搬出
コンベアと、上記昇降部に搬入されたマガジンラックが
昇降部の最下点部にある時にマガジンラックの高さより
高く、かつ搬出コンベアより低い位置に配置されて昇降
しマガジンラックに収納された基板を順次排出するプッ
シャー部と、上記昇降部にその循環経路長を３等分する
と共に上記搬入コンベアから搬出コンベアまでの距離に
ほぼ等しい間隔に取り付けられた上記マガジンラックを
保持する３組のラック保持部からなる構成としたもので
ある。

【００１６】

【作用】この構成によって間欠的に循環する昇降部にラ
ック保持部を設けることにより、ラックのエレベータ部
への搬入と搬出を同時に行うことが可能となり、ラック
交換時間を大幅に短縮することができる。

【００１７】

【実施例】

（実施例１）以下、本発明の第１の実施例について図面
を参照しながら説明する。

【００１８】図１は同実施例によるマガジンラック供給
取出装置の全体構成を示す斜視図、図２は同装置のエレ
ベータ部の詳細を示す要部斜視図、図３は図１のＡ−Ａ
から見た断面図、図４は図１のＣ−Ｃから見た断面図、
図５は図４のＤ矢視図、図６はプッシャー部の正面図、
図７は図６のＥ矢視図、図８は本実施例によるマガジン
ラック供給取出装置の動作を示すフローチャートであ
る。

【００１９】まず図１に示すように本発明によるマガジ
ンラック供給取出装置は、エレベータ部２と、エレベー
タ部２を間欠昇降させるための動力部１８と、エレベー
タ部２の下方に配置したラック搬入コンベア３０と、そ
の上側のラック保持部１０と対応するように配置したラ
ック搬出コンベア５０と、ラック保持部１０に搭載され
たラック１に収納された基板８０を排出するためのプッ
シャー部７０により構成される。

【００２０】以下に上記各部の詳細な構成を説明する。
図２，図３においてエレベータ部２は本体フレーム４の
内部の上下に配置した回転可能なシャフト５，６と、こ
のシャフト５，６に固定したプーリ７と、歯付ベルト８
により上下方向に間欠循環する環状経路を形成した間欠
昇降部３と、上記歯付ベルト８の背面に等間隔で取り付
けられたフレーム１１とプーリ１２、ベルト１３から成
る複数組のラック保持部１０から構成されている。

【００２１】なおシャフト６の一端にはウォームホイー
ル１４が取り付けられている。上記フレーム１１の両端
面にはローラ１５が取り付けてあり、このローラ１５が
本体フレーム４の内側面に固着した凹形のガイド９には
まり合ってラック保持部１０をガイドしている。またラ
ック保持部１０のラック１の進入方向終端にはストッパ
ー１６が設けてある。

【００２２】上記本体フレーム４は下部のベース１７の
上面にラック保持部１０にてラック１を搭載できるよう
に対向して取り付けられている。

【００２３】図３より動力部１８は上記ベース１７の上
面に固定したモータ１９のプーリ２０と歯付ベルト２
１、シャフト２２の中央部に取り付けたプーリ２３とそ
の両端に取り付けたウォームギヤ２４とから成り、間欠
昇降部３の下段のシャフト６に取り付けたウォームホイ
ール１４と噛み合っている。

【００２４】またモータ１９はプーリ２０と歯付ベルト
２５、プーリ２６を介してエンコーダ２７に結合されて
いる。

【００２５】図３においてエレベータ部２の下方のラッ
ク搬入コンベア３０はコンベアフレーム３１の内側に配
置したモータ３２とスプロケット３３、チェーン３４、
スプロケット３５を介してコンベアフレーム３１の端に
配置した駆動軸３６と結合している。

【００２６】駆動軸３６の両端にはスプロケット３７が
取り付けてあり、コンベアフレーム３１の他端のシャフ
ト３８の両端のスプロケット３９と相対するようにコン
ベアチェーン４０が掛けてある。

【００２７】なおラック搬入コンベア３０はラック保持
部１０のストッパー１６の所まで伸びている。

【００２８】図４，図５においてラック搬出コンベア５
０はエレベータ部２の側部でラック搬入コンベア３０の
上段で上側のラック保持部１０に対応する位置にラック
搬入コンベア３０と同様にコンベアフレーム５１の内部
に配置したモータ５２とスプロケット５３、チェーン５
４、スプロケット５５を介してコンベアフレーム５１の
端に配置した駆動軸５６と結合している。

【００２９】駆動軸５６の両端にはスプロケット５７が
取り付けてあり、コンベアフレーム５１の他端に配置し
たシャフト５８の両端に取り付けたスプロケット５９と
相対するようにコンベアチェーン６０が掛けてあり、シ
ャフト５８の最両端にはローラ６５とゴムローラ６６を
備えている。

【００３０】図６，図７に示すプッシャー部７０はラッ
ク１に収納された基板８０を次工程へ排出する位置に配
置され、フレーム７１に固着したローラ７２と支点Ｆで
揺動するレバー７３に取り付けたローラ７４とモータ７
５に取り付けた駆動ローラ７６によりロッド７７を挟持
している。

【００３１】なおフレーム７１とレバー７３の間には引
張バネ７８が掛けられている。上記のように構成された
本実施例のマガジンラック供給取出装置について、以下
に図８のフローチャートを参照しながらその動作を説明
する。

【００３２】まず、ラック保持部１０のラック１に収納
された最終の基板８０がプッシャー部７０のモータ７５
の回転によりロッド７７が移動して排出されると、空に
なったラック１を搭載したラック保持部１０は最上段部
のラック搬出コンベア５０の位置まで上昇する。

【００３３】ラック搬出コンベア５０の位置まで上昇す
ると図６に示すゴムローラ６６がラック保持部１０のベ
ルト１３の背面に接触することによりラック搬出コンベ
ア５０の動力が伝達され、ラック１はラック保持部１０
よりラック搬出コンベア５０に搬出される。

【００３４】この時、次のラック保持部１０は最下段部
のラック搬入コンベア３０に位置しており、これによっ
てラック搬入コンベア３０に待機している次のラック１
を同時にラック保持部１０のストッパー１６まで搬入す
ることができる。

【００３５】なお、ラック保持部１０はラック搬入コン
ベア３０より僅か下方に位置するように設定しておく方
が良い。

【００３６】ラック１の搬入と搬出が完了すると、ラッ
ク保持部１０はラック１に収納されている最初の基板８
０が排出できる位置まで上昇して停止し、上記説明のよ
うにプッシャー部７０のロッド７７が対応する基板８０
を排出する。

【００３７】ここでフレーム７１とレバー７３に掛けた
引張バネ７８は、ローラ７４をロッド７７に圧着させる
ためであり、引張バネ７８を適当なバネ力に設定するこ
とによりロッド７７に過負荷が働いた時、駆動ローラ７
６をスリップさせて基板８０の破損を防止することがで
きる。

【００３８】基板８０を排出しロッド７７が元の位置ま
で戻ると、ラック保持部１０は次の基板８０の所まで上
昇して停止する。

【００３９】以後基板８０の排出をくり返し、空になっ
たラック１と次のラック１との搬入・搬出動作を同様に
繰り返す。

【００４０】また、基板排出位置及びラック搬入搬出位
置は、動力部１８のエンコーダ２７により各停止位置を
検出しているので、プログラムの設定パルス数を変更す
るだけでラック１の基板収納ピッチ及び収納枚数の変更
に容易に対応することができるように構成されたもので
あり、本実施例では装置操作盤（図示せず）でこれらが
対応できるようにしている。

【００４１】また、動力部１８のウォームギヤ２４とウ
ォームホイール１４によって構成されるセルフロック機
能により、モータ１９に通電しない時でもラック１の自
重による自然落下の心配はない。

【００４２】なお、エレベータ部２と動力部１８で使用
している歯付ベルト８，２１，２５は、ローラーチェー
ンであってもよい。

【００４３】また、ラック搬入コンベア３０とラック搬
出コンベア５０に使用しているコンベアチェーン４０，
６０は平ベルトであってもよい。

【００４４】また、プッシャー部７０はエアシリンダに
置き換えてもよい。また、本実施例ではラック保持部１
０にベルトコンベアを備えた構成としているが、ラック
１の保持と搬入搬出用のガイドを設けてラック１を摺動
できるレールまたはコロで構成することも可能である。

【００４５】（実施例２）以下、本発明の第２の実施例
について図面を用いて説明する。本実施例は上記第１の
実施例によるマガジンラック供給取出装置にラックを保
持するクランプ部を設けたものであり、このクランプ部
以外の構成は実施例１と同じであるために同一部品には
同一符号を付与してその説明は省略し、異なる部分につ
いて詳細な説明を行う。

【００４６】図９は図１のＢ矢視図でクランプ部の配置
を示し、図１０は同クランプ部の詳細を示す要部正面
図、図１１は同クランプ部の動作を示すフローチャー
ト、図１２（ａ），（ｂ）はラックの矯正方向を示す正
面図である。

【００４７】図９に示すようにクランプ部９０はエレベ
ータ部２内のラック１の両サイドに位置するように配置
され、その構成は図１０にその詳細を示すようにエレベ
ータ部２の本体フレーム４の内部に設けた支点Ｇにより
揺動できるレバー９２と、このレバー９２を駆動するた
めに一端に連結されたシリンダ９１と、上記レバー９２
と対向するように配置した支点Ｈにより揺動できるレバ
ー９３と、このレバー９３の支点Ｈと同軸に結合され一
端がエアシリンダ９４と連結し他端はピン９６によりは
め込まれた圧縮バネ９５を介してレバー９３を押圧する
レバー９７により構成され、レバー９２とレバー９３に
よりラック１の側面のプッシャー部７０で各基板８０が
排出される位置を挟持するように押さえるようにしてい
る。

【００４８】以上のように構成された本実施例によるマ
ガジンラック供給取出装置について、以下に図１１のフ
ローチャートを参照しながらその動作を説明する。

【００４９】ラック搬入コンベア３０により送られたラ
ック１はラック保持部１０に移載され、最初に搬出する
基板８０に対応する位置まで上昇して停止する。レバー
９２はエアシリンダ９１の推力によって基準位置まで揺
動し、同様にレバー９３もシリンダ９４によって揺動す
るが、レバー９３はエアシリンダ９４の推力に関係なく
圧縮バネ９５の押圧力によってラック１の側面を挟持す
る。例えば図１２（ａ）に示すようにラック１が傾いて
位置がずれている場合には、ラック１を、基板８０が排
出される位置に破損することなく移動し、常に同じ位置
から基板８０の搬出ができるように準備を行い、また、
図１２（ｂ）に示すようにラック１が湾曲している場合
には、ラック１を基板８０が排出される位置に破損する
ことなく矯正し、常に同じ位置から基板８０の搬出がで
きるように準備を行うものである。

【００５０】次にプッシャー部７０によってラック１に
収納された基板８０を後工程に排出するとクランプ部９
０を解除し、次の基板８０の位置までクランプ部９０を
上昇して停止する。

【００５１】以降、上記動作が繰り返され、ラック１の
基板８０が全て排出されるとラック搬出コンベア５０と
ラック搬入コンベア３０によりラック１の搬出と搬入を
繰り返す。

【００５２】（実施例３）以下、本発明の第３の実施例
について図面を用いて説明する。

【００５３】本実施例は上記実施例１、あるいは実施例
２によるマガジンラック供給取出装置のラック搬出コン
ベア５０の動力をラック保持部１０に伝達するための可
動式の動力伝達部８１を設けたものであり、この動力伝
達部８１以外の構成、動作は実施例１、あるいは実施例
２と同様であるために同一部品には同じ符号を付与して
詳細な説明は省略し、異なる部分について詳細に説明す
る。

【００５４】図１３は図１のＣ矢視断面図、図１４は図
１３のＪ矢視断面図であり、動力伝達部８１はエレベー
タ部２の側部上段のラック搬出コンベア５０のシャフト
５８の最両端に配置されたローラ８２と、シャフト５８
を支点に揺動できると共に一端にシリンダ８３が結合し
他端に上記ローラ８２と接触しながら回転できるゴムロ
ーラ８４を取り付けたレバー８５より構成されており、
レバー８５が揺動した時にゴムローラ８４でラック保持
部１０のベルト１３の背面を圧着するようにしている。

【００５５】以上のように構成された本実施例のマガジ
ンラック供給取出装置について以下に図１５のフローチ
ャートを参照しながらその動作を説明する。

【００５６】ラック保持部１０のラック１に収納された
最終の基板８０がプッシャー部７０のロッド７７により
排出されてラック保持部１０がラック搬出コンベア５０
まで上昇して停止した時、動力伝達部８１のゴムローラ
８４がシリンダ８３によりラック保持部１０のベルト１
３の背面を圧着することによりラック搬出コンベア５０
の動力が伝達されてラック１を搬出する。

【００５７】なお、図１４の矢印Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃は各ロ
ーラの回転方向を示し、搬出が完了するとレバー８５は
元の位置に戻る。

【００５８】この時同時に下段のラック保持部１０に基
板８０を収納した新しいラック１が搬入され、ラック１
をこのラック１に収納した最初の基板８０を排出する位
置まで上昇し、ロッド７７により基板８０を全て排出す
ると以降同様にラック１の搬出、搬入を繰り返す。

【００５９】なお、上記ゴムローラ８４を可動式にする
ことによって、上記ラック搬出コンベア５０をラック搬
入コンベア３０とした時、このコンベア上に待機してい
る複数個のラック１が密着してラック保持部１０に搬入
された場合、ゴムローラ８４をラック保持部１０と切り
離し、上記ラック搬入コンベア３０としたモータ５２を
Ｒ₁方向と逆に回転させてラック保持部１０とラック搬
入コンベア３０のラック１を密着状態から切り離すこと
ができ、ラック１を個別にラック保持部１０に供給する
ことができる。

【００６０】なお、上記実施例１〜３においては、エレ
ベータ部２の上下にそれぞれ連結したコンベアの下段を
ラック搬入コンベア３０、上段をラック搬出コンベア５
０とし、下段のラック搬入コンベア３０にラック１を待
機させてエレベータ部２にて順次上昇し、上段のラック
搬出コンベア５０へラック１を搬出する構成と流れで説
明してきたが、本発明はこれに限定されるものでなく、
その逆で上段のコンベアにラック１を待機させてエレベ
ータ部２にて順次降下し、下段のコンベアへラック１を
搬出する構成とすることも可能であることは言うまでも
ない。

【００６１】また、エレベータ部２で昇降されるラック
１に収納された基板８０を順次排出するという構成で説
明したが、逆にラック１に順次基板８０を収納する構成
とすることも可能であることは言うまでもない。

【００６２】

【発明の効果】以上のように本発明によるマガジンラッ
ク供給取出装置は、循環式の昇降部にラック保持部を設
けたエレベータ部を構成することによりラックの搬入と
搬出を同時に行うことが可能になり、搬入から搬出まで
の一連の作業タクト内で最も時間を必要とするラック交
換時間を大幅に短縮することができる。

【００６３】また、基板を次工程へ排出または前工程の
基板を収納する位置でラックの保持を行うことにより、
ラックに変形等があった場合でも、基板が所定の位置に
くるようにラックを移動または矯正することができるの
で信頼性の高い基板受け渡しが可能となる。

【００６４】さらに揺動できるレバーによる動力伝達部
を設けることにより、ラックが数個密着してラック保持
部に搬入されても、ゴムローラを断続させることにより
密着状態から切り離すことができるのでラックの密着に
よる当りやずれや落下等のトラブルを避けることができ
る。

【００６５】また、複数組のラック保持部に動力部が不
要となるため簡単な構造にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例によるマガジンラック供
給取出装置の全体構成を示す斜視図

【図２】同装置のエレベータ部の詳細を示す要部斜視図

【図３】同図１のＡ−Ａにおける断面図

【図４】同図１のＣ−Ｃにおける断面図

【図５】同図４のＤ−Ｄにおける断面図

【図６】同装置のプッシャー部の正面図

【図７】同図６のＥ矢視図

【図８】同装置の動作を示すフローチャート

【図９】本発明の第２の実施例によるクランプ部の構成
を示す図１のＢ矢視図

【図１０】同クランプ部の詳細を示す要部正面図

【図１１】同クランプ部の動作を示すフローチャート

【図１２】（ａ）同クランプ部によりラックが傾いてい
る場合の矯正状態を示す正面図 （ｂ）同クランプ部によりラックが湾曲している場合の
矯正状態を示す正面図

【図１３】本発明の第３の実施例による動力伝達部の構
成を示す図１のＣ−Ｃにおける断面図

【図１４】同図１３のＪ−Ｊにおける断面図

【図１５】同動力伝達部の動作を示すフローチャート

【図１６】従来のマガジンラック供給取出装置の構成を
示す正面図

【図１７】図１６のＫ断面図

【図１８】同装置の動作を示すフローチャート

【符号の説明】

１ ラック ２ エレベータ部 ３ 間欠昇降部 ４ 本体フレーム ５ シャフト ６ シャフト ７ プーリ ８ 歯付ベルト ９ ガイド １０ ラック保持部 １１ フレーム １２ プーリ １３ ベルト １４ ウォームホイール １５ ローラ １６ ストッパー １７ ベース １８ 動力部 １９ モータ ２０ プーリ ２１ 歯付ベルト ２２ シャフト ２３ プーリ ２４ ウォームギヤ ２５ 歯付ベルト ２６ プーリ ２７ エンコーダ ３０ ラック搬入コンベア ３１ コンベアフレーム ３２ モータ ３３ スプロケット ３４ チェーン ３５ スプロケット ３６ 駆動軸 ３７ スプロケット ３８ シャフト ３９ スプロケット ４０ コンベアチェーン ５０ ラック搬出コンベア ５１ コンベアフレーム ５２ モータ ５３ スプロケット ５４ チェーン ５５ スプロケット ５６ 駆動軸 ５７ スプロケット ５８ シャフト ５９ スプロケット ６０ コンベアチェーン ６５ ローラ ６６ ゴムローラ ７０ プッシャー部 ７１ フレーム ７２ ローラ ７３ レバー ７４ ローラ ７５ モータ ７６ 駆動ローラ ７７ ロッド ７８ 引張バネ ８０ 基板 ８１ 動力伝達部 ８２ ローラ ８３ シリンダ ８４ ゴムローラ ８５ レバー ９０ クランプ部 ９１ シリンダ ９２ レバー ９３ レバー ９４ シリンダ ９５ 圧縮バネ ９６ ピン ９７ レバー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田村 聡一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向して一対で配置され上下方向に間欠
   的に循環する環状経路を形成した昇降部と、この昇降部
   の下部に連結されて複数の基板を収納したマガジンラッ
   クを上記昇降部に搬入するラック搬入コンベアと、同じ
   く昇降部の上部に連結されて昇降部からマガジンラック
   を搬出するラック搬出コンベアと、上記昇降部に搬入さ
   れたマガジンラックが昇降部の最下点部にある時にマガ
   ジンラックの高さより高く、かつ搬出コンベアより低い
   位置に配置されて昇降しマガジンラックに収納された基
   板を順次排出するプッシャー部と、上記昇降部にその循
   環経路長を３等分すると共に上記搬入コンベアから搬出
   コンベアまでの距離にほぼ等しい間隔に取り付けられた
   上記マガジンラックを保持する３組のラック保持部から
   なるマガジンラック供給取出装置。
2. 【請求項２】 マガジンラックに収納された複数の基板
   を順次所定の位置で排出する際に、対象となる基板位置
   に対応するマガジンラックの両側面を挟持して所定の位
   置に規正するクランプ部を設けた請求項１記載のマガジ
   ンラック供給取出装置。
3. 【請求項３】 ラック保持部にベルトコンベアを設ける
   と共に、少なくともラック搬出コンベアまたはラック搬
   入コンベアのいずれか一方に上記ベルトコンベアに当接
   するローラを一端に備えたレバーをコンベアの駆動軸に
   揺動自在に連結した動力伝達部を設け、上記レバーを揺
   動することによりラック搬出コンベア、ラック搬入コン
   ベアの駆動力をラック保持部のベルトコンベアに伝達す
   るようにした請求項１記載のマガジンラック供給取出装
   置。