CN109142388B - 基板检测器、驱动装置以及基板清洁设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种用于基板清洁设备的基板检测器，基板检测器包括检测杆和传感器，检测杆可摆动地设置在基板检测器中，检测杆的一端用于与待清洁的基板接触，传感器包括第一传感器和第二传感器，第一传感器和第二传感器间隔地设置在检测杆的摆动范围内，以使得检测杆的另一端能够到达第一传感器的检测范围和第二传感器的检测范围，第一传感器和第二传感器均用于在检测到检测杆的另一端时生成传感信号。本发明还提供了一种包括基板检测器的驱动装置以及一种包括驱动装置的基板清洁设备，基板检测器可以在对基板进行检测时，生成传感信号并不受基板的运动方向限制。

Description

基板检测器、驱动装置以及基板清洁设备

技术领域

本发明涉及显示面板装备制造领域，具体地，涉及一种用于基板清洁设备的基板检测器，包括该基板检测器的驱动装置以及一种包括所述驱动装置的基板清洁设备。

背景技术

在显示面板的制程中包括对基板的清洁工艺，通过清洁设备对基板进行清洁，除去所述基板表面的杂质粒子，保证后续工艺(例如，激光剥离工艺)不会受到杂质粒子影响。现有技术中，清洁设备包括两个传感器，该两个传感器沿所述基板运动方向设置在所述清洗设备两侧，并且两个传感器分别用于执行加速检测和减速检测。当所述基板运动方向与所述清洗设备的加/减速对应时，所述清洗设备能够提供正常的转速以保证对所述基板的清洁效果，但是，当所述基板运动方向与所述清洗设备的加/减速不对应时，所述清洗设备就不能提供正常的转速，也就不能保证对所述基板的清洁效果。

这就导致了所述清洁设备在执行对所述基板的清洁时，只能提供沿所述基板初始运动方向的单向转速控制，当需要对所述基板退回清洁时，则不能提供与所述基板初始运动方向反方向对应的转速控制。

因此，如何设计一种基板清洁设备，以使得所述基板清洁设备在对所述基板执行清洁时，能够提供对应所述基板正向运动的转速控制以及反向运动时的转速控制成为本领域亟需解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于基板清洁设备的基板检测器、一种包括所述基板检测器的驱动装置以及一种包括所述驱动装置的基板清洁设备，所述基板检测器可以在对所述基板进行检测时，生成所述传感信号并不受所述基板的运动方向限制。

为解决上述问题，作为本发明第一个方面，提供了一种用于基板清洁设备的基板检测器，其中，所述基板检测器包括检测杆和传感器，所述检测杆可摆动地设置在所述基板检测器中，所述检测杆的一端用于与待清洁的基板接触，

所述传感器包括第一传感器和第二传感器，所述第一传感器和所述第二传感器间隔地设置在所述检测杆的另一端的摆动范围内，所述第一传感器和所述第二传感器均用于在检测到所述检测杆的另一端时生成传感信号。

优选地，所述基板检测器还包括底座，所述第一传感器和所述第二传感器间隔地设置在所述底座的朝向所述检测杆一侧的表面上。

优选地，所述第一传感器用于在接触所述检测杆的另一端时生成所述传感信号，所述第二传感器用于在接触所述检测杆的另一端时生成所述传感信号。

优选地，所述检测杆包括滚轮和检测杆本体，所述检测杆本体朝向所述底座的一端形成为所述检测杆的另一端，所述滚轮可转动地设置在所述检测杆本体背向所述底座的一端。

作为本发明的第二个方面，提供一种驱动装置，所述驱动装置用于基板清洁设备，其中，所述驱动装置包括控制单元、驱动单元和至少一对基板检测器，所述基板检测器为本发明所提供的上述基板检测器，同一对基板检测器中的两个基板检测器沿所述基板的运动方向间隔设置，所述控制单元用于在接收到所述第一传感器和所述第二传感器中的至少一者发出的传感信号时生成第一控制信号，并将所述第一控制信号发送给所述驱动单元，所述驱动单元用于在接收所述第一控制信号时控制该驱动单元的输出轴按照第一转速转动；

所述控制单元还用于在未接收到任何传感信号时生成第二控制信号，并将所述第二控制信号发送给所述驱动单元，所述驱动单元用于在接收到所述第二控制信号时控制该驱动单元的输出轴按照第二转速转动，所述第二转速小于所述第一转速。

作为本发明的第三个方面，提供一种基板清洁设备，所述基板清洁设备包括清洗装置和驱动装置，其中，所述驱动装置为本发明所提供的上述驱动装置，所述清洗装置设置在同一对基板检测器中的两个基板检测器之间，所述清洗装置包括清洗单元，所述驱动单元的输出轴用于带动所述清洗单元转动。

优选地，所述清洗装置还包括容纳槽和挡板，所述容纳槽用于容纳清洁液，所述清洗单元的一部分设置在所述容纳槽内，所述挡板设置在所述容纳槽上方，所述挡板包括开口区，所述清洗单元的一部分能够从所述开口区穿出。

优选地，所述检测杆处于竖直状态时，所述检测杆的一端不低于所述挡板的上表面。

优选地，所述清洗单元包括滚动毛刷。

优选地，所述基板清洁设备还包括喷气装置，所述喷气装置设置在所述清洗装置上方，用于朝向基板表面喷出气体。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为本发明所提供的用于基板清洁设备的基板检测器的结构示意图；

图2为本发明所提供的所述基板清洁设备的结构示意图；

图3为本发明所提供的所述基板清洁设备工作时，所述基板从左向右移动时的工作原理示意图；

图4为本发明所提供的所述基板清洁设备工作时，所述基板从右向左移动时的工作原理示意图。

附图标记说明

100：基板检测器 101：第一传感器

102：第二传感器 103：检测杆本体

104：滚轮 105：底座

200：清洗装置 201：容纳槽

202：挡板 203：清洗单元

300：基板

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

作为本发明的第一个方面，提供了一种用于基板清洁设备的基板检测器，其中，如图1所示，基板检测器100包括检测杆和传感器，所述检测杆可摆动地设置在基板检测器100中，所述检测杆的一端用于与基板接触，所述传感器包括第一传感器101和第二传感器102，第一传感器101和第二传感器102间隔地设置在所述检测杆的摆动范围内，以使得所述检测杆的另一端能够到达第一传感器101的检测范围和第二传感器102的检测范围，第一传感器101和第二传感器102均用于在检测到所述检测杆的另一端时生成传感信号。

如图1所示，当所述基板沿箭头X自左向右运动至与所述检测杆的一端与所述基板接触时，所述检测杆会发生顺时针摆动；反之，当所述基板自右向左运动至与所述检测杆的一端与所述基板接触时，所述检测杆会发生逆时针摆动。

如上所述，第一传感器101和第二传感器102间隔地设置在所述检测杆的摆动范围内，以使得所述检测杆的另一端能够在摆动的过程中到达第一传感器101的检测范围或第二传感器102的检测范围。

基于上述内容可知，无论所述检测杆是顺时针摆动或者是逆时针摆动，所述检测杆的另一端到达第一传感器101的检测范围时，则第一传感器101就会检测到所述检测杆的另一端并生成传感信号，类似的，所述检测杆的另一端到达第二传感器102的检测范围时，则第二传感器102就会检测到所述检测杆的另一端并生成传感信号。

以上，本发明所提供的基板检测器100在对所述基板进行检测时，生成所述传感信号并不受所述基板的运动方向限制，即无论所述基板正向运动、还是反方向运动，基板检测器100均能够提供相同的传感信号。

进而，若将基板检测器100应用于基板清洁设备中，可以将两个相同的基板检测器100沿所述基板运动方向设置在所述基板清洁设备的两侧。无论所述基板正向运动(例如，从左向右移动)、还是反向运动(例如，从左向右移动)，只要所述检测杆在所述基板的带动下到达第一传感器101的检测范围，第一传感器101会生成传感信号，或者检测杆的另一端到达第二传感器102的检测范围，第二传感器102会生成所述传感信号，进而所述基板清洁设备根据所述传感信号对清洗装置进行相应控制(具体地原理在后续部分进行描述，在此先不赘述)，以实现预期的清洁效果。

特别需要解释的是，由于所述基板的边缘容易受到污染，因此需要着重清洁。具体地，基于上述基板清洁设备，当所述传感器检测到所述基板，但所述基板还未进入所述基板清洁设备的清洗区时，所述基板清洁设备就立即控制位于所述清洗区内的清洗装置加速运转，从而提升所述清洗装置对所述基板边缘的清洗能力，进而保证所述基板边缘的清洁效果。

在本发明中，所述基板检测器包括底座，所述第一传感器和所述第二传感器间隔地设置在所述底座的朝向所述检测杆一侧的表面上。

容易理解的是，设置所述底座的目的在于，为所述第一传感器和所述第二传感器提供安装位置。

本发明对所述底座的具体结构不作限定，例如，作为一种优选地实施方式，如图1所示，底座105可以为圆管的一部分，进一步地，第一传感器101和第二传感器102间隔设置在底座105的内表面上，并且，第一传感器101和第二传感器102均位于所述检测杆的摆动范围内，以使得当所述检测杆的另一端能够顺时针摆动到达第一传感器101的检测范围，并且所述检测杆的另一端还能够逆时针摆动到达第二传感器102的检测范围。

在本发明中，对所述第一传感器以及所述第二传感器的类型以及所述第一传感器、所述第二传感器检测所述检测杆的方式不做具体限定。

作为一种可选地实施方式，所述第一传感器和所述第二传感器可以为光感传感器，所述光感传感器对所述检测杆的检测方式为非接触式的检测，具体地，当所述检测杆的另一端到达所述光感传感器的检测范围时，所述光感传感器根据所述检测杆的另一端引起的光线变化检测到所述检测杆，并生成传感信号。

由于在所述基板清洁设备周围会存在浓度很高的雾化的清洗溶液，为了避免雾化的清洗液对传感器的感应干扰，作为本发明一种优选地实施方式，所述第一传感器用于在接触所述检测杆的另一端时生成所述传感信号，所述第二传感器用于在接触所述检测杆的另一端时生成所述传感信号。

在上述实施方式中，所述第一传感器和所述第二传感器可以为物理接触式传感器。如上所述，由于所述物理接触式传感器通过在与所述检测杆的另一端接触从而生成传感信号，因此不受周围环境中水雾的影响，检测精度更高。

在本发明中，如图1所示，所述检测杆包括滚轮104和检测杆本体103，检测杆本体103朝向底座105的一端形成为所述检测杆的另一端，滚轮104可转动地设置在检测杆本体103背向所述底座的一端。

如上所述，滚轮104可转动地设置在检测杆本体103的一端，用于与经过其上方的所述基板接触，一方面，由于滚轮104可以转动，将所述滚轮104与所述基板的接触面上的滑动摩擦变为滚动摩擦，减小了所述接触面上的摩擦力，从而避免在所述基板的表面形成划痕。另一方面，在所述基板与滚轮104接触的同时，所述基板会压低滚轮104，从而滚轮104会带动检测杆本体103摆动，当所述检测杆本体的另一端到达所述第一传感器的检测范围或所述第二传感器的检测范围时，所述第一传感器和所述第二传感器中相应的一者会检测到所述检测杆的另一端并生成传感信号。

作为本发明第二个方面，提供了一种驱动装置，所述驱动装置用于基板清洁设备，其中，所述驱动装置包括控制单元、驱动单元和至少一对基板检测器，所述基板检测器为本发明所提供的上述基板检测器，同一对基板检测器中的两个基板检测器沿所述基板的运动方向间隔设置，所述控制单元用于在接收到所述第一传感器和所述第二传感器中的至少一者发出的传感信号时生成第一控制信号，并将所述第一控制信号发送给所述驱动单元，所述驱动单元用于在接收所述第一控制信号时控制该驱动单元的输出轴按照第一转速转动。

所述控制单元还用于在未接收到任何传感信号时生成第二控制信号，并将所述第二控制信号发送给所述驱动单元，所述驱动单元用于在接收到所述第二控制信号时控制该驱动单元的输出轴按照第二转速转动，所述第二转速小于所述第一转速。

如上所述，所述驱动装置的工作原理如下：所述基板检测器中的所述第一传感器和所述第二传感器中至少一者检测到所述检测杆的另一端时会生成传感信号，并将所述传感信号发送给所述控制单元。当所述控制单元接收到所述传感信号时，说明有基板经过所述基板检测器，此时，所述控制单元输出第一控制信号给所述驱动单元，所述驱动单元根据接收到的所述第一控制信号控制该驱动单元的输出轴按照第一转速转动。当所述控制单元未接收到任何所述传感信号时，说明没有基板经过所述基板检测器，此时，所述控制单元输出第二控制信号给所述驱动单元，所述驱动单元根据接收到的所述第二控制信号控制该驱动单元的输出轴按照第二转速转动。

如果将所述驱动装置应用于基板清洁设备中，则所述基板清洁设备中的清洗装置根据所述驱动单元的输出轴输出的第一转速或者第二转速运转。进一步地，基于所述驱动装置的工作原理容易理解的是，所述第二转速小于所述第一转速，说明所述清洗装置在清洁所述基板过程中(工作阶段)以第一转速运转，较高的转速能够提升所述清洗装置的清洁能力，以保证对所述基板的清洁效果，当所述清洗装置没有清洁所述基板(待机阶段)时，以第二转速运转能够减低能耗，节约成本。除此之外，当驱动装置以速度较低的第二转速带动清洗单元转动时，可以确保清洗单元有足够长的时间浸泡在清洗液中，膨胀完全，并实现更好的清洗效果。

当所述驱动装置包括多对基板检测器时，该多对检测器沿垂直于基板运动方向的方向排列。如果其中一对基板检测器发生故障，其他的基板检测器仍然能够完成检测工作。

在本发明中，作为一种优选地实施方式，所述驱动单元可以是伺服电机。

作为本发明第三个方面，提供了一种基板清洁设备，如图2所示，所述基板清洁设备包括清洗装置200和驱动装置，其中，所述驱动装置为本发明所提供的所述驱动装置，清洗装置200设置在同一对基板检测器中的两个基板检测器100之间，清洗装置200包括清洗单元203，所述驱动单元的输出轴用于带动清洗单元203转动。

需要说明的是，由于基板检测器100在对所述基板进行检测时，生成所述传感信号并不受所述基板的运动方向限制，即无论所述基板正向运动、还是反方向运动，基板检测器100均能够提供相同的传感信号。因此，将清洗装置200设置在两个基板检测器100之间所形成的所述基板清洁设备，具备了基于包括基板检测器100的所述驱动装置的双边变速功能。

具体地，无论所述基板沿正向移动、还是沿反向移动，只要基板检测器100检测到所述基板，基板检测器100就会输出传感信号，所述驱动装置中的控制单元接收所述传感信号，并根据所述传感信号生成第一控制信号，所述驱动单元接收所述第一控制信号，并根据所述第一控制信号生成控制该驱动单元的输出轴按照第一转速转动，进而带动清洗单元203转动；当基板检测器100未检测到所述基板时，基板检测器100不会输出传感信号，所述驱动装置中的控制单元未接收到所述传感信号时生成第二控制信号，所述驱动单元接收所述第二控制信号，并根据所述第二控制信号生成控制该驱动单元的输出轴按照第二转速转动，进而带动清洗单元203转动。

基于上述内容可知，本发明所提供的所述基板清洁设备，无论所述基板沿正向进入所述基板清洁设备、还是沿反向进入所述基板清洁设备，只要所述基板检测器检测到所述待清洁基板，所述清洗单元就会以第一转速转动，而当所述基板检测器未检测到所述待清洁基板时，所述清洗单元就会以第二转速转动。

进而本发明所提供的所述基板清洁设备在对所述基板进行清洁时，能够对应基板运动方向(即基板的正向运动、反向运动)，实现对所述清洗单元的变速控制(双边变速功能)，从而在保证清洁效果的前提下，提升工艺流程的可操作性，并同时降低能耗，节约成本。

此外，需要说明的是，本发明对于所述驱动单元的输出轴与所述清洗单元之间的连接结构不做限定，例如，作为一种实施方式，所述驱动单元的输出轴与所述清洗单元之间可以直接相连，或者，也可以通过减速机构相连。

在本发明中，清洗装置200还包括容纳槽201和挡板202，容纳槽201用于容纳清洁液，清洗单元203的一部分设置在容纳槽201内，挡板202设置在容纳槽201上方，挡板202包括开口区，清洗单元203的一部分能够从所述开口区穿出。

如上所述，当容纳槽201注入清洁液后，清洗单元203的一部分浸润在所述清洁液中，另一部分位于所述清洁液的液面之上且对应所述开口区，在清洁过程中，清洗单元203一直处于转动状态，始终保持有一部分从所述开口区穿出，并利用所述清洁液对位于挡板202上方的基板进行清洗。挡板202除了用于支撑所述基板外，还用于防止高速旋转的清洗单元203将清洁液溅落在所述基板的上表面。

本发明对于所述清洁液不做限定，例如，作为一种实施方式，所述清洁液可以为水。

在本发明中，如图2所示，所述检测杆处于竖直状态时，所述检测杆的一端不低于挡板202的上表面。

需要说明的是，由于所述检测杆包括检测杆本体103和滚轮104，因此，所述检测杆处于竖直状态时，检测杆本体103设置有滚轮104的一端不低于挡板202的上表面，以使得当有所述基板在所述挡板上移动时，滚轮104能够接触到所述基板，进而使得所述检测杆能够的摆动以实现第一传感器101、第二传感器102对所述检测杆另一端的检测。

在本发明中，作为一种优选地实施方式，所述清洗单元包括滚动毛刷。

基于所述驱动单元为伺服电机的实施方式，所述伺服电机的输出轴与所述滚动毛刷连接，从而驱动所述滚动毛刷转动以清洁位于所述挡板上方的基板。

在本发明中，所述基板清洁设备还包括喷气装置，所述喷气装置设置在所述清洗装置上方，用于朝向基板表面喷出气体。

如上所述，由于所述基板清洁设备在工作中，清洗单元一直在运转，从而导致所述基板清洁设备周围环境中的充满雾化的清洁液，为此，本发明利用所述喷气装置朝向基板表面喷出气体，以保证所述基板的表面没有雾化的清洁液，以及其他杂质。

下面以图3和图4为例对本发明所提供的所述基板清洁设备的工作过程进行描述：

如图3所示，基板300沿从左向右的运动方向朝向所述基板清洁设备运动，具体地：

在第一阶段(图中未示出)，基板300未与位于左侧的所述基板检测器中的滚轮接触，此时所述清洗单元以第二转速转动；在第二阶段，基板300与位于左侧的所述基板检测器中的滚轮接触，并使得所述检测杆本体另一端摆动至第一传感器101的检测范围，第一传感器101生成并输出传感信号，此时所述清洗单元切换至以第一转速转动；在第三阶段，基板300同时与左、右两侧的所述基板检测器中的滚轮接触，并使得左、右两侧的所述基板检测器中的所述检测杆本体另一端均摆动至第一传感器101的检测范围，左、右两侧的所述基板检测器中的第一传感器101均生成并输出传感信号，此时所述清洗单元保持以第一转速转动；在第四阶段，基板300与位于右侧的所述基板检测器中的滚轮接触，并使得所述检测杆本体另一端摆动至第一传感器101的检测范围，第一传感器101生成并输出传感信号，此时所述清洗单元保持以第一转速转动；在第五阶段(图中未示出)，基板300脱离位于右侧的所述基板检测器中的滚轮，此时所述清洗单元切换至以第二转速转动。

如图4所示，基板300沿从右向左的运动方向朝向所述基板清洁设备运动，具体地：

在第一阶段(图中未示出)，基板300未与位于右侧的所述基板检测器中的滚轮接触，此时所述清洗单元以第二转速转动；在第二阶段，基板300与位于右侧的所述基板检测器中的滚轮接触，并使得所述检测杆本体另一端摆动至第二传感器102的检测范围，第二传感器102生成并输出传感信号，此时所述清洗单元切换至以第一转速转动；在第三阶段，基板300同时与左、右两侧的所述基板检测器中的滚轮接触，并使得左、右两侧的所述基板检测器中的所述检测杆本体另一端均摆动至第二传感器102的检测范围，左、右两侧的所述基板检测器中的第二传感器102均生成并输出传感信号，此时所述清洗单元保持以第一转速转动；在第四阶段，基板300与位于左侧的所述基板检测器中的滚轮接触，并使得所述检测杆本体另一端摆动至第二传感器102的检测范围，第二传感器102生成并输出传感信号，此时所述清洗单元保持以第一转速转动；在第五阶段(图中未示出)，基板300脱离位于左侧的所述基板检测器中的滚轮，此时所述清洗单元切换至以第二转速转动。

如上所述，图3所示的基板300运动方向与图4所示的基板300运动方向相反，由此可知，本发明所提供的所述基板清洁设备在对所述基板进行清洁时，能够对应基板运动方向(即基板的正向运动、反向运动)，实现对所述清洗单元的变速控制，从而在保证清洁效果的前提下，提升工艺流程的可操作性，并同时降低能耗，节约成本。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种用于基板清洁设备的基板检测器，其特征在于，所述基板检测器包括检测杆和传感器，所述检测杆可摆动地设置在所述基板检测器中，所述检测杆的一端用于与待清洁的基板接触，

所述传感器包括第一传感器和第二传感器，所述第一传感器和所述第二传感器间隔地设置在所述检测杆的另一端的摆动范围内，所述第一传感器和所述第二传感器均用于在检测到所述检测杆的另一端时生成传感信号，所述基板检测器还包括底座，所述第一传感器和所述第二传感器间隔地设置在所述底座的朝向所述检测杆一侧的表面上，所述第一传感器用于在接触所述检测杆的另一端时生成所述传感信号，所述第二传感器用于在接触所述检测杆的另一端时生成所述传感信号。

2.根据权利要求1所述的基板检测器，其特征在于，所述检测杆包括滚轮和检测杆本体，所述检测杆本体朝向所述底座的一端形成为所述检测杆的另一端，所述滚轮可转动地设置在所述检测杆本体背向所述底座的一端。

3.一种驱动装置，所述驱动装置用于基板清洁设备，其特征在于，所述驱动装置包括控制单元、驱动单元和至少一对基板检测器，所述基板检测器为权利要求1或2所述的基板检测器，同一对基板检测器中的两个基板检测器沿所述基板的运动方向间隔设置，所述控制单元用于在接收到所述第一传感器和所述第二传感器中的至少一者发出的传感信号时生成第一控制信号，并将所述第一控制信号发送给所述驱动单元，所述驱动单元用于在接收所述第一控制信号时控制该驱动单元的输出轴按照第一转速转动；

所述控制单元还用于在未接收到任何传感信号时生成第二控制信号，并将所述第二控制信号发送给所述驱动单元，所述驱动单元用于在接收到所述第二控制信号时控制该驱动单元的输出轴按照第二转速转动，所述第二转速小于所述第一转速。

4.一种基板清洁设备，所述基板清洁设备包括清洗装置和驱动装置，其特征在于，所述驱动装置为权利要求3所述的驱动装置，所述清洗装置设置在同一对基板检测器中的两个基板检测器之间，所述清洗装置包括清洗单元，所述驱动单元的输出轴用于带动所述清洗单元转动。

5.根据权利要求4所述的基板清洁设备，其特征在于，所述清洗装置还包括容纳槽和挡板，所述容纳槽用于容纳清洁液，所述清洗单元的一部分设置在所述容纳槽内，所述挡板设置在所述容纳槽上方，所述挡板包括开口区，所述清洗单元的一部分能够从所述开口区穿出。

6.根据权利要求5所述基板清洁设备，其特征在于，所述检测杆处于竖直状态时，所述检测杆的一端不低于所述挡板的上表面。

7.根据权利要求4所述基板清洁设备，其特征在于，所述清洗单元包括滚动毛刷。

8.根据权利要求4至7中任意一项所述的基板清洁设备，其特征在于，所述基板清洁设备还包括喷气装置，所述喷气装置设置在所述清洗装置上方，用于朝向基板表面喷出气体。

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