KR100924266B1 - 기판 이송장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 기판을 이송하는 기판이송유닛; 및상기 기판이송유닛과 연결되고 이송된 상기 기판의 방향을 전환시키는 방향전환유닛을 구비하며,상기 방향전환유닛은,장치본체;상기 장치본체에 결합되어 상기 기판을 이송 지지하는 기판이송지지유닛;상기 기판을 순차적으로 정지시키기 위한 기판순차정지유닛; 및상기 기판순차정지유닛이 적어도 일부 영역에서 상기 기판과 함께 이동하면서 상기 기판과 접촉되어 상기 기판을 정지시키도록 기판순차정지유닛을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판순차정지유닛은 상기 기판이송지지유닛 내에 배치되되 상기 기판과 접촉되는 적어도 일부분이 상기 기판이송지지유닛의 상부로 돌출되도록 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판순차정지유닛은,유닛몸체;일단은 상기 유닛몸체에 결합되고 타단은 상기 기판의 이송 방향을 따라 상기 장치본체에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 슬라이딩 축부; 및상기 유닛몸체에 결합되어 상기 기판의 측면이 접촉되는 접촉부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제3항에 있어서,상기 접촉부재는 상기 슬라이딩 축부를 사이에 두고 한 쌍으로 마련되는 완충롤러인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제3항에 있어서,상기 기판순차정지유닛은 상기 유닛몸체에 결합되어 상기 기판의 이송 속도를 감지하는 기판속도감지부를 더 포함하며,상기 제어부는 상기 기판속도감지부에서 감지된 상기 기판의 이송 속도에 기초하여 상기 기판순차정지유닛을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제5항에 있어서,상기 기판속도감지부는 상기 유닛몸체의 중앙 영역에 마련된 브래킷에 결합되는 레이저 센서인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판이송지지유닛은,상호 이격 배치되며, 상기 기판의 부상을 위해 상기 기판으로 공기를 분사하는 다수의 공기분사모듈;상기 다수의 공기분사모듈과 더불어 상기 기판을 이송 지지하되 상기 기판의 이송 방향으로 상호 이격 배치되는 다수의 제1 구동롤러; 및상기 제1 구동롤러들과 상호 교차되는 방향으로 상호 이격 배치되는 다수의 제2 구동롤러를 포함하며,상기 기판순차정지유닛은 상기 다수의 공기분사모듈 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제7항에 있어서,상기 제1 및 제2 구동롤러는 각각 2개씩 마련되되 상기 공기분사모듈에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제7항에 있어서,상기 제1 및 제2 구동롤러는 각각 4개씩 마련되되 상기 공기분사모듈에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제7항에 있어서,상기 기판이송지지유닛은 상기 제1 및 제2 구동롤러를 상호 독립적으로 승하강 구동 및 회전시키는 승하강 구동회전부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제10항에 있어서,상기 승하강 구동회전부는,상기 제1 및 제2 구동롤러의 회전을 위해 마련되는 단일의 액추에이터;상기 액추에이터의 단부에 마련되어 상기 액추에이터에 의해 선택적으로 회전 가능한 마그네틱 롤러;상기 제1 및 제2 구동롤러에 각각 결합되어 상기 제1 및 제2 구동롤러를 독립적으로 승하강시키는 제1 및 제2 실린더; 및상기 제1 및 제2 실린더와 상기 제1 및 제2 구동롤러를 각각 연결하는 연결축에 마련되며, 상기 마그네틱 롤러와 자기적으로 상호작용하여 상기 제1 및 제2 구동롤러를 선택적으로 회전시키는 제1 및 제2 마그네틱부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제7항에 있어서,상기 기판이송지지유닛은, 상기 제1 및 제2 구동롤러의 회전속도를 제어감지하는 롤러 속도 제어감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제7항에 있어서,상기 기판이송지지유닛은 인입영역 및 인출영역의 일부분에 마련되어 상기 기판의 인입 및 인출을 안내하는 복수의 인입안내롤러 및 인출안내롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판이송유닛에 마련되어 상기 방향전환유닛으로 진입되는 상기 기판의 진입여부를 감지하는 기판진입감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제14항에 있어서,상기 기판진입감지부는,제1 센서; 및상기 기판이 진입되는 방향을 따라 상기 제1 센서에 이격 배치되는 제2 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판의 이송 방향을 따라 상기 방향전환유닛의 초입부분에 마련되며, 상기 방향전환유닛 내로 인입된 상기 기판의 후단에 접촉 가압됨으로써 상기 기판의 흔들림을 저지시키는 적어도 하나의 얼라이너(aligner)를 더 포함하는 것을 특 징으로 하는 기판 이송장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판은 LCD(Liquid Crystal Display) 기판인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080005663A KR100924266B1 (ko) | 2008-01-18 | 2008-01-18 | 기판 이송장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090079577A KR20090079577A (ko) | 2009-07-22 |
KR100924266B1 true KR100924266B1 (ko) | 2009-10-30 |
Family
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100924266B1 (ko) |
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